JP5401610B2 - グラフの特定期間の切り出し方法 - Google Patents
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Description
また、真空処理を行った後、その真空処理に関する測定値の表示範囲を有効に変え、不良の原因を示す測定値を発見できる技術を提供することにある。
この場合、通常の観察範囲の測定値のグラフ化では、品質のバラツキ原因は分かっても、不良品の発生等、大きな変化があったときの原因を見つけられないため、真空処理を開始する前であっても、不良の原因を示す測定値を簡単に発見できる技術を開発した。
また、本発明は、表示変更の前記指示は、演算装置に接続された入力装置から入力される表示方法である。
また、本発明は、前記仮表示開始時刻に設定された前記動作変化時刻を出力した前記処理機器以外の前記処理機器が出力した動作変化時刻であって、前記仮表示開始時刻よりも前の、前記仮表示開始時刻に最も近い時刻の前記動作変化時刻を前記本表示開始時刻にする表示方法である。
また、本発明は、前記仮表示開始時刻に設定された前記動作変化時刻を出力した前記処理機器以外の前記処理機器が出力した動作変化時刻であって、前記仮表示開始時刻よりも前の、動作開始を示す前記動作状態信号の前記動作変化時刻のうち、前記仮表示開始時刻に最も近い時刻の前記動作変化時刻を前記本表示開始時刻にする表示方法である。
また、本発明は、前記仮表示開始時刻に設定された前記動作変化時刻を出力した前記処理機器以外の前記処理機器が出力した動作変化時刻であって、前記仮表示開始時刻よりも前の、動作停止を示す前記動作状態信号の前記動作変化時刻のうち、前記仮表示開始時刻に最も近い時刻の前記動作変化時刻を前記本表示開始時刻にする表示方法である。
また、本発明は、前記仮表示開始時刻よりも後の前記動作変化時刻であって、所望の前記処理機器が出力した動作変化時刻を前記表示終了時刻にする表示方法である。
制御信号に基づいて抽出することができるので、比較するグラフデータの作業の時刻を一致させやすい。
また、抽出した測定値によるグラフの所望のものを移動できるので、ピーク位置などを同じX座標に位置させて正確にグラフを重ね合わせて分析することができる。
ここでは一台の真空処理部20を有しているものとして説明すると、真空処理部20は、真空槽11を有しており、真空槽11の内部と外部には、処理対象物の真空処理を行う処理機器群24が配置されている。
また、真空処理部20には、処理機器群24の全部又は一部を制御する制御装置21と、真空槽11内の圧力や温度等を測定するセンサ群23とが配置されている。
図1の符号15は、半導体基板やガラス基板から成る処理対象物であり、成膜面を蒸着源である処理機器34に向けて真空槽11内の保持装置である処理機器31に保持されている。
ヒータである処理機器32は供給された電力で発熱し、保持装置である処理機器31を昇温させて真空雰囲気中で処理対象物15を加熱する。
センサ群23には、処理対象物15の温度を測定する温度センサであるセンサ装置28や、真空槽11内部の圧力を測定する真空計であるセンサ装置29や、蒸着材料の蒸気放出速度を測定する膜厚センサであるセンサ装置30とが含まれる。
動作状態信号が変化した時刻を「動作変化時刻」とすると、動作変化時刻は計測され、動作状態信号は、動作変化時刻と共に制御装置21に出力される。
また、制御信号はセンサ群23に含まれるセンサ装置(符号28〜30で示されたセンサ装置の他、符号を付されていないセンサ装置を含む)にも出力されており、センサ装置を特定して測定を行うことを求めることを示す制御信号が、各センサ装置に入力されると、測定を求めて特定されたセンサ装置が動作し、そのセンサ装置に対応する物理量が測定されて測定値が求められ、測定値と測定時刻とが対応付けられてセンサ群23内のセンサ装置から出力される。
記憶装置43と、入力装置46とは演算装置42に接続されており、複数枚数の処理対象物15を連続して真空処理を行う製造工程は、遠隔地からシーケンサ41に入力される処理開始信号や、入力装置46からシーケンサ41に入力される処理開始信号によって開始される。
連続して処理される多数の処理対象物15は、所定枚数ごとに一群にされ、各群には、それぞれ一群毎にロット番号が付与されており、測定値は、測定値が得られたときの真空処理を行ったロット番号と対応付けて記憶される。
記憶装置43には、真空処理の分析を行うデータ分析プログラムが記憶されており、このデータ分析プログラムを起動し、所望のロット、真空処理、種類の測定値を分析する。
そして、仮表示開始時刻よりも後の時刻、例えば動作終了を示す動作変化時刻を仮表示終了時刻として設定する。次いで、演算装置42の演算により、測定時刻が、仮表示開始時刻以後、仮表示終了時刻までの範囲に含まれる測定値を、画面50上にグラフにして表示する。
また、ここでは、電子放出終了を示す動作変化時刻を仮表示終了時刻に設定している。
グラフ表示を説明すると、画面50に表示される画像には、グラフ表示領域58とタイミングチャート表示領域59が設けられている。
ここでは、仮表示開始時刻は、画面50上のX軸とY軸とが交差する位置よりも右方の位置に設定した。
仮表示終了時刻のX軸上の位置は、仮表示開始時刻の位置よりも右方であり、画面50上に表示される位置によって、画面50上のX軸上の距離と時間との関係が決まる。
そして、仮表示開始時刻と仮表示終了時刻との間に測定時刻が位置する測定値のうち、指定された種類の測定値(ここでは圧力)を記憶内容から抽出する。
測定値の値から測定値のY軸上の位置が決定される計算が成され、測定時刻と測定値の値(圧力)によって、X軸上の位置とY軸上の位置とが決められることで各測定値の画面50上の位置が決められる。
位置決めされた測定値の位置間を曲線(直線も含む)で結んで曲線が表示されることで、グラフ表示が行われる。
データ分析プログラムは、その指示がされると、先ず、処理機器群24に含まれる各処理機器31〜38の動作状態信号を検索し、仮表示開始時刻よりも前の時刻の動作変化時刻を検出する。
ここでは、仮表示開始時刻に一番近い動作変化時刻を有する動作状態信号を抽出し、その動作変化時刻を本表示開始時刻として設定した。二番目に近い動作変化時刻や、三番目に近い動作変化時刻など所望番目に近い動作変化時刻でも採用することができる。
そして、本表示開始時刻と仮表示終了時刻とが、画面50上のX軸で示す時刻に含まれるように、X軸の画面50上の距離と時間との関係を設定し直し、グラフ表示領域58のX軸とタイミングチャート表示領域59のX軸と、X軸の位置と時間とを対応させる数値を表示し直す。両方のX軸の本表示開始時刻の位置と仮表示終了時刻の位置は画面50の横方向上で同じ位置にする。
図3の画面50上には、選択した種類の測定値のうち、本表示開始時刻と仮終了時刻の間に測定時刻を有する測定値を抽出し、仮表示開始時刻を表示開始時刻として表示した曲線L11、L21は消去し、測定値から作成された曲線L 12 、L 22 を再表示した。
本表示開始時刻を決定する装置の動作状態を示すタイミングチャート511と、他の装置の動作状態を示すタイミングチャート521として再表示した。
ここでは、X軸の画面50上での長さは同じであるが、X軸上に対応付けられた時間は長時間になっており、本表示開始時刻から仮表示終了時刻までの時間が図2と同じ長さのX軸に割り振られている。X軸上の“0”の位置の時刻は、仮表示開始時刻である。
本例では、動作開始を示す動作状態信号の動作変化時刻を本表示時刻にしたが、動作停止を示す動作状態信号の動作変化時刻から選択して本表示時刻にしてもよい。動作開始と動作停止を示す両方の動作状態信号の動作時刻から選択しても良い。
11……真空槽
15……処理対象物
20……真空処理部
21……制御装置
23……センサ群
24……処理機器群
31〜38……処理機器
40……コンピュータ
42……演算装置
43……記憶装置
44……表示装置
Claims (6)
- 真空槽と、前記真空槽内に配置された処理対象物を真空処理するために動作し、動作したときの動作状態を示す動作状態信号を出力する複数の処理機器と、
前記真空処理に伴う測定を行い、測定した測定値を出力する複数のセンサ装置と、
前記処理機器と前記センサ装置とを動作させ、前記動作状態信号を前記動作状態信号が変化した時刻である動作変化時刻と対応させ、前記測定値を、前記測定値が測定された測定時刻と対応させて記憶する制御装置と、
を有する真空処理装置の、前記制御装置内の記憶を表示する表示方法であり、
前記表示方法は、前記処理機器のうち、予め設定された前記処理機器の前記動作変化時刻を仮表示開始時刻として、
前記仮表示開始時刻と、前記仮表示開始時刻よりも後の時刻である表示終了時刻の間の前記測定時刻に対応する前記測定値を表示装置上にグラフ化して表示できる表示方法であって、
前記表示方法は、表示変更の指示が示されると、前記仮表示開始時刻よりも前の前記動作変化時刻を本表示開始時刻とし、
前記本表示開始時刻と前記表示終了時刻の間の前記測定時刻に対応する前記測定値を前記表示装置上にグラフ化して表示する表示方法。 - 表示変更の前記指示は、演算装置に接続された入力装置から入力される請求項1記載の表示方法。
- 前記仮表示開始時刻に設定された前記動作変化時刻を出力した前記処理機器以外の前記処理機器が出力した動作変化時刻であって、
前記仮表示開始時刻よりも前の、前記仮表示開始時刻に最も近い時刻の前記動作変化時刻を前記本表示開始時刻にする請求項1又は2のいずれか1項記載の表示方法。 - 前記仮表示開始時刻に設定された前記動作変化時刻を出力した前記処理機器以外の前記処理機器が出力した動作変化時刻であって、
前記仮表示開始時刻よりも前の、動作開始を示す前記動作状態信号の前記動作変化時刻のうち、前記仮表示開始時刻に最も近い時刻の前記動作変化時刻を前記本表示開始時刻にする請求項1又は2のいずれか1項記載の表示方法。 - 前記仮表示開始時刻に設定された前記動作変化時刻を出力した前記処理機器以外の前記処理機器が出力した動作変化時刻であって、
前記仮表示開始時刻よりも前の、動作停止を示す前記動作状態信号の前記動作変化時刻のうち、前記仮表示開始時刻に最も近い時刻の前記動作変化時刻を前記本表示開始時刻にする請求項1又は2のいずれか1項記載の表示方法。 - 前記仮表示開始時刻よりも後の前記動作変化時刻であって、所望の前記処理機器が出力した動作変化時刻を前記表示終了時刻にする請求項1記載の表示方法。
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