KR20130028038A - 진공 처리 장치, 그래프선 표시 방법 - Google Patents
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Abstract
측정치의 일부를 추출하고 그래프화하여, 추출한 측정치끼리를 간단하게 비교할 수 있도록 한다. 다량의 측정치를 읽어들여 화면 (100) 상에 1 차 그래프선 (132) 으로서 표시시키고, 시점을 지시하여 비교 대상이 되는 측정치를 추출하고, 추출한 측정치를 2 차 그래프선 (134a, 134b) 으로 표시한다. 2 차 그래프선 (134a, 134b) 이 중첩되어 있지 않을 때에는, 제 1, 제 2 주메이저선 (101, 102) 에 의해 그래프선 (134a, 134b) 의 어긋남량을 측정하고, 어긋나 있는 2 차 그래프선 (134a, 134b) 의 일방을 이동시켜 중첩시킬 수 있다.
Description
본 발명은, 진공 처리 장치의 기술 분야에 관련된 것으로, 특히, 진공 처리 장치를 사용한 양산 기술에 관한 것이다.
진공 처리 기술은, 스퍼터링 방법, CVD 방법, 증착 방법 등의 성막 기술이나, 에칭 기술, 표면 개질 기술, 불순물 주입 기술, 진공 건조 기술 등이 있으며, 넓은 분야에서 사용되고 있다.
진공 처리 기술에 의해 동일 품종의 제품을 양산하는 경우, 동일 규격의 처리 대상물에 동일한 진공 처리를 실시하지만, 품질에 편차가 발생한다.
품질의 편차가 발생한 원인을 확인하는 경우나, 편차가 불량품을 발생시키지 않도록 제조 공정을 관리하는 경우에는, 동작 중인 진공 처리 장치의 상태를 측정하고, 측정 결과를 로트간에서 비교, 검증하는 것이 실시되고 있다.
특히, 진공 처리 장치 내의 기기의 동작 전류량, 온도, 압력 등의 물리량의 차이를 로트간이나 진공 처리 장치간에서 정량적으로 확인하고자 하는 경우에는, 제조 공정 중에 여러 가지의 물리량을 측정하여, 측정치를 기억해 두고, 검사 장치에 의해 측정치를 그래프화하여, 그 형태의 비교를 실시하고 있다.
그러나, 진공 처리 장치 내의 측정 대상의 기기가 증가하고, 또, 측정하는 항목인 물리량의 종류도 증가하여, 대량의 측정치를 그래프화하여 비교하는 것이 곤란해지고 있다.
＜제 1 발명＞
특히, 측정치의 중요한 부분을 그래프화하여 비교하는 것은 중요하지만, 다량의 측정 데이터로부터 보고자 하는 부분을 추출하는 작업은 번잡하고, 추출 데이터끼리를 비교하는 것도 곤란하다.
＜제 2 발명＞
또, 시인에 의해 장치 데이터를 비교할 수 있는 것은 최근 중요해졌는데, 복수의 진공 처리에 대한 측정치를 그래프화하였을 때, 복수의 그래프선을 중첩시켜 비교할 수 있으면 시인성이 향상되지만, 측정 시각이나 측정치를 조작하여 중첩시키는 것은 매우 수고스럽다.
＜제 3 발명＞
그리고 또한, 종래부터, 진공 처리 장치 내의 기기의 동작 전류량, 온도, 압력 등의 차이를 로트간이나 진공 처리 장치간에서 정량적으로 확인하고자 하는 경우, 제조 공정 중에 측정하여 측정치를 기억해 두고, 검사 장치에 의해 측정치를 그래프화하여, 그 형태의 비교를 실시하였지만, 진공 처리 장치 내의 측정 대상의 기기가 증가하고, 또한 측정하는 항목인 물리량의 종류도 증가하여, 대량의 측정치를 그래프화하여 비교하는 것이 곤란해졌다.
본 발명은 상기 종래 기술의 문제점을 해결하는 기술을 제공하는 것을 과제로 하고 있으며, 본 발명 중, 제 1 발명은, 다종 다량의 측정치로부터 보고자 하는 부분을 간단, 정확하게 추출하고, 추출한 측정치마다 그래프화하여 비교할 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또, 본 발명 중 제 2 발명에 의하면, 다종 다량의 측정치를 간단, 정확하게 중첩시켜 비교하는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또, 본 발명 중 제 3 발명에 의하면, 다종 다량의 측정치를 간단, 정확하게 비교할 수 있게 된다.
이상과 같이, 본 발명은, 진공 처리의 분석을 간단하고 정확하게 실시할 수 있는 기술을 제공하는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 제 1 발명에서는, 진공조 내에 배치된 처리 대상물을 진공 처리하는 진공 처리부와, 상기 진공 처리부가 출력한 복수의 측정치를, 측정 시각과 함께 상기 진공 처리와 대응시켜 기억하는 기억 장치와, 상기 측정치를 연산하는 연산 장치와, 상기 연산 장치의 연산 결과를 표시하는 표시 장치를 갖는 진공 처리 장치로서, 상기 기억 장치에는, 데이터 분석 프로그램이 기억되고, 상기 데이터 분석 프로그램은, 상기 기억 장치 내에 기억된 복수의 상기 측정치로부터, 그래프선을 표시하는 측정치가 선택되면, 선택된 상기 측정치의 상기 측정 시각을, 소정의 기준 시각으로부터의 시간인 X 축 상 환산 시각으로 환산하고, X-Y 좌표의 X 축 상의 소정 위치를 상기 기준 시각의 위치로 하여, 상기 X 축 상 환산 시각으로부터 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정치의 크기로부터 Y 축 상의 위치를 구하고, 측정 시각이 연속되어 있는 복수의 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치와 상기 Y 축 상의 위치로부터 제 1 차 그래프선을 생성하여 상기 X-Y 좌표와 함께 표시 장치에 표시하고, 표시한 상기 제 1 차 그래프선의 상기 측정 시각 중 1 개를 추출 시점(始點) 시각으로 하고, 상기 제 1 차 그래프선의 상기 측정치 중, 상기 측정 시각이 상기 추출 시점 시각 이후인 상기 측정치를 추출하고, 상기 시점 개시 시각을 상기 기준 시각으로 하여, 추출한 상기 측정치와 상기 측정 시각으로부터, 상기 X-Y 좌표 상에 제 2 차 그래프선을 표시하도록 구성된 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 1 발명에서는, 상기 데이터 분석 프로그램은, 상기 측정치로부터 복수의 상기 제 1 차 그래프선을 생성하여 상기 표시 장치에 표시하고, 1 개의 상기 1 차 그래프의 상기 측정치 중 1 개를 그 상기 제 1 차 그래프선의 상기 추출 시점 시각으로 하고, 다른 상기 제 1 차 그래프선의 상기 추출 시점 시각을 구하고, 표시한 상기 제 1 차 그래프선으로부터 상기 제 2 차 그래프선을 생성하여 상기 표시 장치에 표시하는 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 1 발명에서는, 상기 데이터 분석 프로그램은, 표시한 상기 제 2 차 그래프선 중, 선택된 상기 제 2 차 그래프선은, 상기 표시 장치 상에서, 상기 X 축과 평행하게 이동시키는 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 1 발명에서는, 상기 데이터 분석 프로그램은, 이동한 상기 제 2 차 그래프선의 상기 측정치에 대응하는 상기 X 축 상 환산 시각을, 이동한 상기 제 2 차 그래프선의 상기 X 축 상의 이동량 수정하는 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 1 발명에서는, 상기 진공 처리를 실시하는 처리 장치를 동작시키는 동작 신호와, 동작을 정지시키는 정지 신호가 포함되는 제어 신호가 상기 제어 장치로부터 출력되고, 상기 제어 신호는, 상기 동작을 개시하는 동작 개시 시각과 상기 동작의 정지를 개시하는 동작 정지 시각과 함께 상기 기억 장치에 기억되고, 상기 데이터 분석 프로그램은, 상기 기억 장치에 기억된 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의, 상기 기준 시각으로부터의 시간인 시간축 상 환산 시각을 구하고, 상기 표시 장치 상에서는, 상기 X 축과 이간된 위치에, 상기 X 축과 평행하게 시간축을 표시하고, 상기 Y 축과 평행한 일직선이 상기 X 축과 상기 시간축에 교차한 교점이 각각 나타내는 상기 X 축 상 환산 시각과 상기 시간축 상 환산 시각은 동일한 시각이 되도록 하여 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의 상기 시간축 상의 위치를 구하고, 상기 표시 장치 상에는, 상기 시간축 상에서, 상기 동작 신호와 상기 정지 신호를 나타내는 높이가 상이한 횡선분을 갖는 타이밍 차트로 상기 제어 신호를 표시하고, 원하는 상기 동작 개시 시각 또는 상기 동작 정지 시각을 상기 추출 시점 시각으로서 지정할 수 있도록 하는 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 1 발명에서는, 상기 데이터 분석 프로그램은, 상기 타이밍 차트의, 상기 시점 추출 시각보다 늦은 시각의 상기 동작 개시 시각 또는 상기 동작 정지 시각을 추출 종점 시각으로서 지정하고, 상기 추출 시점 시각과 상기 추출 종점 시각 사이의 상기 측정 시각에 대응한 상기 측정치를 추출하여 상기 제 2 차 그래프선을 생성하는 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 1 발명에서는, 진공조 내에 배치된 처리 대상물을 진공 처리하는 진공 처리부와, 상기 진공 처리부가 출력한 복수의 측정치를, 측정 시각과 함께 상기 진공 처리와 대응시켜 기억하는 기억 장치와, 상기 측정치를 연산하는 연산 장치와, 상기 연산 장치의 연산 결과를 표시하는 표시 장치를 갖는 진공 처리 장치의, 상기 기억 장치에 기억된 상기 측정치의 그래프선을 상기 표시 장치에 표시하는 그래프 표시 방법으로서, 상기 기억 장치 내에 기억된 복수의 상기 측정치로부터, 그래프선을 표시하는 측정치가 선택되면, 선택된 상기 측정치의 상기 측정 시각을, 소정의 기준 시각으로부터의 시간인 X 축 상 환산 시각으로 환산하고, X-Y 좌표의 X 축 상의 소정 위치를 상기 기준 시각의 위치로 하여, 상기 X 축 상 환산 시각으로부터 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정치의 크기로부터 Y 축 상의 위치를 구하고, 측정 시각이 연속되어 있는 복수의 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치와 상기 Y 축 상의 위치로부터 제 1 차 그래프선을 생성하여 상기 X-Y 좌표와 함께 표시 장치에 표시하고, 표시한 상기 제 1 차 그래프선의 상기 측정 시각 중 1 개를 추출 시점 시각으로 하고, 상기 제 1 차 그래프선의 상기 측정치 중, 상기 측정 시각이 상기 추출 시점 시각 이후인 상기 측정치를 추출하고, 상기 시점 개시 시각을 상기 기준 시각으로 하여, 추출한 상기 측정치와 상기 측정 시각으로부터, 상기 X-Y 좌표 상에 제 2 차 그래프선을 표시하는 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 1 발명에서는, 상기 데이터 분석 프로그램은, 상기 측정치로부터 복수의 상기 제 1 차 그래프선을 생성하여 상기 표시 장치에 표시하고, 1 개의 상기 1 차 그래프의 상기 측정치 중 1 개를 그 상기 제 1 차 그래프선의 상기 추출 시점 시각으로 하고, 다른 상기 제 1 차 그래프선의 상기 추출 시점 시각을 구하고, 표시한 상기 제 1 차 그래프선으로부터 상기 제 2 차 그래프선을 생성하여 상기 표시 장치에 표시하는 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 1 발명에서는, 표시한 상기 제 2 차 그래프선 중 원하는 것을 선택시키고, 선택된 상기 제 2 차 그래프선은, 상기 표시 장치 상에서, 상기 X 축과 평행하게 이동시키는 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 1 발명에서는, 이동한 상기 제 2 차 그래프선의 상기 측정치에 대응하는 상기 X 축 상 환산 시각을, 이동한 상기 제 2 차 그래프선의 상기 X 축 상의 이동량 수정하는 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 1 발명에서는, 상기 진공 처리를 실시하는 처리 장치를 동작시키는 동작 신호와, 동작을 정지시키는 정지 신호가 포함되는 제어 신호가 상기 제어 장치로부터 출력되고, 상기 제어 신호는, 상기 동작을 개시하는 동작 개시 시각과 상기 동작의 정지를 개시하는 동작 정지 시각과 함께 상기 기억 장치에 기억된 그래프 표시 방법으로서, 상기 기억 장치에 기억된 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의, 상기 기준 시각으로부터의 시간인 시간축 상 환산 시각을 구하고, 상기 표시 장치 상에서는, 상기 X 축과 이간된 위치에, 상기 X 축과 평행하게 시간축을 표시하고, 상기 Y 축과 평행한 일직선이 상기 X 축과 상기 시간축에 교차한 교점이 각각 나타내는 상기 X 축 상 환산 시각과 상기 시간축 상 환산 시각은 동일한 시각이 되도록 하여 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의 상기 시간축 상의 위치를 구하고, 상기 표시 장치 상에는, 상기 시간축 상에서, 상기 동작 신호와 상기 정지 신호를 나타내는 높이가 상이한 횡선분을 갖는 타이밍 차트로 상기 제어 신호를 표시하고, 원하는 상기 동작 개시 시각 또는 상기 동작 정지 시각을 상기 추출 시점 시각으로서 지정할 수 있는 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 1 발명에서는, 상기 타이밍 차트의, 상기 시점 추출 시각보다 늦은 시각의 상기 동작 개시 시각 또는 상기 동작 정지 시각을 추출 종점 시각으로서 지정하고, 상기 추출 시점 시각과 상기 추출 종점 시각 사이의 상기 측정 시각에 대응한 상기 측정치를 추출하여 상기 제 2 차 그래프선을 생성하는 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 2 발명에서는, 진공조 내에 배치된 처리 대상물을 진공 처리하는 진공 처리부와, 상기 진공 처리부가 출력한 복수의 측정치를, 상기 측정치의 측정 시각과 함께 상기 진공 처리와 대응시켜 기억하는 기억 장치와, 상기 측정치를 연산하는 연산 장치와, 상기 연산 장치의 연산 결과를 표시하는 표시 장치를 갖고, 소정 장수의 상기 처리 대상물을 연속해서 동일한 상기 진공 처리하였을 때의 상기 측정치를 1 로트로 하고, 복수의 상기 로트의 상기 측정치가 상기 기억 장치에 기억된 진공 처리 장치로서, 상기 기억 장치에는, 데이터 분석 프로그램이 기억되고, 상기 데이터 분석 프로그램은, 상기 기억 장치 내에 기억된 복수의 상기 측정치로부터, 그래프선을 표시하는 측정치가 선택되면, 선택된 상기 측정치의 상기 측정 시각을, 소정의 기준 시각으로부터의 시간인 X 축 상 환산 시각으로 환산하고, X-Y 좌표의 X 축 상의 소정 위치를 상기 기준 시각의 위치로 하여, 상기 X 축 상 환산 시각으로부터 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정치의 크기로부터 Y 축 상의 위치를 구하고, 측정 시각이 연속되어 있는 복수의 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치와 상기 Y 축 상의 위치로부터 그래프선을 생성하여 상기 X-Y 좌표와 함께 표시 장치에 표시하고, 표시한 상기 그래프선 중, 어느 1 개의 상기 그래프선이 선택되면, 선택된 상기 그래프선의 상기 로트에 속하는 다른 표시된 상기 그래프선도 함께 선택되고, 선택된 상기 그래프선은 상기 X-Y 좌표 상을 상기 X 축이 신장되는 방향으로 함께 동거리 이동할 수 있도록 구성된 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 2 발명에서는, 상기 진공 처리를 실시하는 처리 장치를 동작시키는 동작 신호와, 동작을 정지시키는 정지 신호가 포함되는 제어 신호가 상기 제어 장치로부터 출력되고, 상기 제어 신호는, 상기 동작을 개시하는 동작 개시 시각과 상기 동작의 정지를 개시하는 동작 정지 시각과 함께 상기 기억 장치에 기억되고, 상기 데이터 분석 프로그램은, 상기 기억 장치 내에 기억된 복수의 상기 측정치로부터, 그래프선을 표시하는 측정치가 선택되면, 선택된 상기 측정치의 상기 측정 시각을, 소정의 기준 시각으로부터의 시간인 X 축 상 환산 시각으로 환산하고, 상기 표시 장치 상에서는, 상기 X 축과 이간된 위치에, 상기 X 축과 평행하게 시간축을 표시하고, 상기 시간축 상의 소정 위치를 상기 기준 시각으로 하고, 상기 Y 축과 평행한 일직선이 상기 X 축과 상기 시간축에 교차한 교점이 각각 나타내는 상기 X 축 상 환산 시각과 상기 시간축 상 환산 시각은 동일한 시각이 되도록 하여 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의 상기 시간축 상의 위치를 구하고, 상기 표시 장치 상에는, 상기 시간축 상에서, 상기 동작 신호와 상기 정지 신호를 나타내는 높이가 상이한 횡선분을 갖는 타이밍 차트로 상기 제어 신호를 표시하고, 선택된 상기 그래프선과 동일한 상기 로트에 속하는 상기 타이밍 차트는, 선택된 상기 그래프선과 함께, 상기 시간축과 평행하고 동방향으로 동거리 이동시키는 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 2 발명에서는, 진공조 내에 배치된 처리 대상물을 진공 처리하는 진공 처리부와, 상기 진공 처리부가 출력한 복수의 측정치를, 측정 시각과 함께 상기 진공 처리와 대응시켜 기억하는 기억 장치와, 상기 측정치를 연산하는 연산 장치와, 상기 연산 장치의 연산 결과를 표시하는 표시 장치를 갖고, 연속해서 진공 처리된 소정 장수의 기판을 1 로트로 하고, 소정 장수의 상기 처리 대상물을 연속해서 동일한 상기 진공 처리하였을 때의 상기 측정치를 1 로트로 하고, 복수의 상기 로트의 상기 측정치가 상기 기억 장치에 기억되고, 상기 진공 처리를 실시하는 장치를 동작시키는 동작 신호와, 상기 동작을 정지시키는 정지 신호가 포함되는 제어 신호가, 상기 동작을 개시하는 동작 개시 시각과 상기 동작을 정지하는 동작 정지 시각과 함께, 상기 진공 처리에 대응시켜 상기 기억 장치에 기억된 진공 처리 장치로서, 상기 기억 장치에는, 데이터 분석 프로그램이 기억되고, 상기 데이터 분석 프로그램은, 상기 기억 장치 내에 기억된 복수의 상기 측정치로부터, 그래프선을 표시하는 측정치가 선택되면, 선택된 상기 측정치의 상기 측정 시각을, 소정의 기준 시각으로부터의 시간인 X 축 상 환산 시각으로 환산하고, X-Y 좌표의 X 축 상의 소정 위치를 상기 기준 시각의 위치로 하여, 상기 X 축 상 환산 시각으로부터 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정치의 크기로부터 Y 축 상의 위치를 구하고, 측정 시각이 연속되어 있는 복수의 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치와 상기 Y 축 상의 위치로부터 복수의 그래프선을 생성하여 상기 X-Y 좌표와 함께 표시 장치에 표시하고, 상기 기억 장치에 기억된 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의, 상기 기준 시각으로부터의 시간인 시간축 상 환산 시각을 구하고, 상기 표시 장치 상에서는, 상기 X 축과 이간된 위치에, 상기 X 축과 평행하게 시간축을 표시하고, 상기 Y 축과 평행한 일직선이 상기 X 축과 상기 시간축에 교차한 교점이 각각 나타내는 상기 X 축 상 환산 시각과 상기 시간축 상 환산 시각은 동일한 시각이 되도록 하여 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의 상기 시간축 상의 위치를 구하고, 상기 표시 장치 상에는, 상기 시간축 상에서, 상기 동작 신호와 상기 정지 신호를 나타내는 높이가 상이한 횡선분을 갖는 타이밍 차트로 상기 제어 신호를 표시하고, 표시한 상기 타이밍 차트 중, 어느 1 개의 상기 타이밍 차트를 선택하면, 선택된 상기 타이밍 차트가 속하는 상기 로트에 속하는 다른 표시된 상기 타이밍 차트도 함께 선택되고, 선택된 상기 타이밍 차트는 상기 시간축 상을 상기 시간축이 신장되는 방향으로 함께 동방향으로 동거리 이동할 수 있도록 구성되고, 선택된 상기 타이밍 차트와 동일한 상기 로트에 속하는 상기 그래프선은, 선택된 상기 타이밍 차트와 함께 동방향으로 동거리 이동되도록 구성된 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 2 발명에서는, 이동된 상기 그래프선의 상기 측정치의 상기 X 축의 위치로부터 상기 X 축 상 환산 시각을 재계산하고, 상기 표시 장치에 표시한 복수의 상기 그래프선 중에서 2 개 이상의 상기 그래프선이 제 1 선택군으로서 선택되고, 상기 X 축 상의 상기 X 축 환산 시각이 제 1 시각으로서 지시되면, 상기 제 1 선택군의 각 상기 그래프선의 상기 X 축 상 환산 시각 중, 상기 제 1 시각에 가장 가까운 상기 X 축 상 환산 시각에 대응된 측정치인 제 1 측정치를 각 상기 그래프선마다의 제 1 측정치로 하고, 상기 표시 장치 상에서, 상기 제 1 측정치를 선택된 상기 그래프마다 표시하고, 상기 제 1 측정치끼리의 차를 표시하도록 구성된 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 2 발명에서는, 상기 표시 장치에 표시되고, 상기 제 1 선택군 이외의 복수의 상기 그래프선 중에서 제 2 선택군의 그래프선이 선택되고, 상기 X 축 상의 상기 X 축 환산 시각이 제 2 시각으로서 지시되면, 상기 제 2 선택군의 각 상기 그래프선의 상기 X 축 상 환산 시각 중, 상기 제 2 시각에 가장 가까운 상기 X 축 상 환산 시각에 대응된 측정치인 제 2 측정치를 각 상기 그래프선마다의 제 2 측정치로 하고, 상기 제 1 측정치와 상기 제 2 측정치의 차를 상기 표시 장치에 표시시키도록 구성된 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 2 발명에서는, 상기 표시 장치에 상기 Y 축과 평행한 제 1, 제 2 주메이저선을 표시하고, 상기 제 1 선택군의 각 상기 그래프선과 상기 제 1 주메이저선의 교점의 상기 X 축 상 환산 시각을, 각 상기 그래프마다의 상기 제 1 시각으로 하고, 상기 제 2 선택군의 각 상기 그래프선과 상기 제 2 주메이저선의 교점의 상기 X 축 상 환산 시각을, 각 상기 그래프마다의 상기 제 2 시각으로 하고, 상기 제 1, 제 2 주메이저선의 위치는 변경할 수 있도록 구성되고, 상기 제 1, 제 2 주메이저선의 위치가 변경되면, 상기 제 1, 제 2 시각은, 변경된 상기 제 1, 제 2 주메이저선이 나타내는 상기 X 축 상 환산 시각으로 각각 변경되도록 구성된 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 2 발명에서는, 진공조 내에 배치된 처리 대상물을 진공 처리하는 진공 처리부와, 상기 진공 처리부가 출력한 복수의 측정치를, 상기 측정치의 측정 시각과 함께 상기 진공 처리와 대응시켜 기억하는 기억 장치와, 상기 측정치를 연산하는 연산 장치와, 상기 연산 장치의 연산 결과를 표시하는 표시 장치를 갖고, 소정 장수의 상기 처리 대상물을 연속해서 상기 진공 처리하였을 때의 상기 측정치를 1 로트로 하고, 복수의 상기 로트의 상기 측정치가 상기 기억 장치에 기억된 진공 처리 장치의, 상기 기억 장치에 기억된 상기 측정치의 그래프선을 상기 표시 장치에 표시하는 그래프 표시 방법으로서, 상기 기억 장치 내에 기억된 복수의 상기 측정치로부터, 그래프선을 표시하는 측정치가 선택되면, 선택된 상기 측정치의 상기 측정 시각을, 소정의 기준 시각으로부터의 시간인 X 축 상 환산 시각으로 환산하고, X-Y 좌표의 X 축 상의 소정 위치를 상기 기준 시각의 위치로 하여, 상기 X 축 상 환산 시각으로부터 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정치의 크기로부터 Y 축 상의 위치를 구하고, 측정 시각이 연속되어 있는 복수의 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치와 상기 Y 축 상의 위치로부터 그래프선을 생성하여 상기 X-Y 좌표와 함께 표시 장치에 표시하고, 표시한 상기 그래프선 중, 원하는 그래프선을 선택할 수 있도록 하고, 어느 1 개의 상기 그래프선이 선택되면, 선택된 상기 그래프선의 상기 로트에 속하는 다른 표시된 상기 그래프선도 함께 선택되고, 선택된 상기 그래프선은 상기 X-Y 좌표 상을 상기 X 축이 신장되는 방향으로 함께 동거리 이동할 수 있게 된 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 2 발명에서는, 상기 진공 처리를 실시하는 처리 장치를 동작시키는 동작 신호와, 동작을 정지시키는 정지 신호가 포함되는 제어 신호가 상기 제어 장치로부터 출력되고, 상기 제어 신호는, 상기 동작을 개시하는 동작 개시 시각과 상기 동작의 정지를 개시하는 동작 정지 시각과 함께 상기 기억 장치에 기억되어 있고, 상기 기억 장치 내에 기억된 복수의 상기 측정치로부터, 그래프선을 표시하는 측정치가 선택되면, 선택된 상기 측정치의 상기 측정 시각을, 소정의 기준 시각으로부터의 시간인 X 축 상 환산 시각으로 환산하고, 상기 표시 장치 상에서는, 상기 X 축과 이간된 위치에, 상기 X 축과 평행하게 시간축을 표시하고, 상기 시간축 상의 소정 위치를 상기 기준 시각으로 하고, 상기 Y 축과 평행한 일직선이 상기 X 축과 상기 시간축에 교차한 교점이 각각 나타내는 상기 X 축 상 환산 시각과 상기 시간축 상 환산 시각은 동일한 시각이 되도록 하여 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의 상기 시간축 상의 위치를 구하고, 상기 표시 장치 상에는, 상기 시간축 상에서, 상기 동작 신호와 상기 정지 신호를 나타내는 높이가 상이한 횡선분을 갖는 타이밍 차트로 상기 제어 신호를 표시하고, 선택된 상기 그래프선과 동일한 상기 로트에 속하는 상기 타이밍 차트는, 선택된 상기 그래프선과 함께, 상기 시간축과 평행하고 동방향으로 동거리 이동시키는 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 2 발명에서는, 진공조 내에 배치된 처리 대상물을 진공 처리하는 진공 처리부와, 상기 진공 처리부가 출력한 복수의 측정치를, 측정 시각과 함께 상기 진공 처리와 대응시켜 기억하는 기억 장치와, 상기 측정치를 연산하는 연산 장치와, 상기 연산 장치의 연산 결과를 표시하는 표시 장치를 갖고, 연속해서 진공 처리된 소정 장수의 기판을 1 로트로 하고, 소정 장수의 상기 처리 대상물을 연속해서 동일한 상기 진공 처리하였을 때의 상기 측정치를 1 로트로 하고, 복수의 상기 로트의 상기 측정치가 상기 기억 장치에 기억되고, 상기 진공 처리를 실시하는 장치를 동작시키는 동작 신호와, 상기 동작을 정지시키는 정지 신호가 포함되는 제어 신호가, 상기 동작을 개시하는 동작 개시 시각과 상기 동작을 정지하는 동작 정지 시각과 함께, 상기 진공 처리에 대응시켜 상기 기억 장치에 기억된 진공 처리 장치의, 상기 기억 장치에 기억된 상기 측정치의 그래프선을 상기 표시 장치에 표시하는 그래프 표시 방법으로서, 상기 기억 장치 내에 기억된 복수의 상기 측정치로부터, 그래프선을 표시하는 측정치가 선택되면, 선택된 상기 측정치의 상기 측정 시각을, 소정의 기준 시각으로부터의 시간인 X 축 상 환산 시각으로 환산하고, X-Y 좌표의 X 축 상의 소정 위치를 상기 기준 시각의 위치로 하여, 상기 X 축 상 환산 시각으로부터 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정치의 크기로부터 Y 축 상의 위치를 구하고, 측정 시각이 연속되어 있는 복수의 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치와 상기 Y 축 상의 위치로부터 복수의 그래프선을 생성하여 상기 X-Y 좌표와 함께 표시 장치에 표시하고, 상기 기억 장치에 기억된 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의, 상기 기준 시각으로부터의 시간인 시간축 상 환산 시각을 구하고, 상기 표시 장치 상에서는, 상기 X 축과 이간된 위치에, 상기 X 축과 평행하게 시간축을 표시하고, 상기 Y 축과 평행한 일직선이 상기 X 축과 상기 시간축에 교차한 교점이 각각 나타내는 상기 X 축 상 환산 시각과 상기 시간축 상 환산 시각은 동일한 시각이 되도록 하여 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의 상기 시간축 상의 위치를 구하고, 상기 표시 장치 상에는, 상기 시간축 상에서, 상기 동작 신호와 상기 정지 신호를 나타내는 높이가 상이한 횡선분을 갖는 타이밍 차트로 상기 제어 신호를 표시하고, 표시한 상기 타이밍 차트 중, 어느 1 개의 상기 타이밍 차트를 선택하면, 선택된 상기 타이밍 차트가 속하는 상기 로트에 속하는 다른 표시된 상기 타이밍 차트도 함께 선택되고, 선택된 상기 타이밍 차트는 상기 시간축 상을 상기 시간축이 신장되는 방향으로 함께 동방향으로 동거리 이동할 수 있도록 구성되고, 선택된 상기 타이밍 차트와 동일한 상기 로트에 속하는 상기 그래프선은, 선택된 상기 타이밍 차트와 함께 동방향으로 동거리 이동시키는 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 2 발명에서는, 이동시킨 상기 그래프선의 상기 측정치의 상기 X 축의 위치로부터 상기 X 축 상 환산 시각을 재계산하고, 상기 표시 장치에 표시한 복수의 상기 그래프선 중에서 2 개 이상의 상기 그래프선을 제 1 선택군으로서 선택시키고, 상기 X 축 상의 상기 X 축 환산 시각이 제 1 시각으로서 지시되면, 상기 제 1 선택군의 각 상기 그래프선의 상기 X 축 상 환산 시각 중, 상기 제 1 시각에 가장 가까운 상기 X 축 상 환산 시각에 대응된 측정치인 제 1 측정치를 각 상기 그래프선마다의 제 1 측정치로 하고, 상기 표시 장치 상에서, 상기 제 1 측정치를 선택된 상기 그래프마다 표시하고, 상기 제 1 측정치끼리의 차를 표시하는 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 2 발명에서는, 상기 표시 장치에 표시한, 상기 제 1 선택군 이외의 복수의 상기 그래프선 중에서 제 2 선택군의 그래프선을 선택시키고, 상기 X 축 상의 상기 X 축 환산 시각이 제 2 시각으로서 지시되면, 상기 제 2 선택군의 각 상기 그래프선의 상기 X 축 상 환산 시각 중, 상기 제 2 시각에 가장 가까운 상기 X 축 상 환산 시각에 대응된 측정치인 제 2 측정치를 각 상기 그래프선마다의 제 2 측정치로 하고, 상기 제 1 측정치와 상기 제 2 측정치의 차를 상기 표시 장치에 표시시키는 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 2 발명에서는, 상기 표시 장치에 상기 Y 축과 평행한 제 1, 제 2 주메이저선을 표시하고, 상기 제 1 선택군의 각 상기 그래프선과 상기 제 1 주메이저선의 교점의 상기 X 축 상 환산 시각을, 각 상기 그래프마다의 상기 제 1 시각으로 하고, 상기 제 2 선택군의 각 상기 그래프선과 상기 제 2 주메이저선의 교점의 상기 X 축 상 환산 시각을, 각 상기 그래프마다의 상기 제 2 시각으로 하고, 상기 제 1, 제 2 주메이저선의 위치는 변경할 수 있도록 구성되고, 상기 제 1, 제 2 주메이저선의 위치가 변경되면, 상기 제 1, 제 2 시각은, 변경된 상기 제 1, 제 2 주메이저선이 나타내는 상기 X 축 상 환산 시각으로 각각 변경하는 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 3 발명에서는, 진공조 내에 배치된 처리 대상물을 진공 처리하는 진공 처리부와, 상기 진공 처리부가 출력한 복수의 측정치를, 측정 시각과 함께 상기 진공 처리와 대응시켜 기억하는 기억 장치와, 상기 측정치를 연산하는 연산 장치와, 상기 연산 장치의 연산 결과를 표시하는 표시 장치를 갖고, 연속해서 진공 처리된 소정 장수의 기판을 1 로트로 하고, 소정 장수의 상기 처리 대상물을 연속해서 동일한 상기 진공 처리하였을 때의 상기 측정치를 1 로트로 하고, 복수의 상기 로트의 상기 측정치가 상기 기억 장치에 기억되고, 상기 진공 처리를 실시하는 장치를 동작시키는 동작 신호와, 상기 동작을 정지시키는 정지 신호가 포함되는 제어 신호가, 상기 동작을 개시하는 동작 개시 시각과 상기 동작을 정지하는 동작 정지 시각과 함께, 상기 진공 처리에 대응시켜 상기 기억 장치에 기억된 진공 처리 장치로서, 상기 기억 장치에는, 데이터 분석 프로그램이 기억되고, 상기 데이터 분석 프로그램은, 상기 기억 장치 내에 기억된 복수의 상기 측정치로부터, 그래프선을 표시하는 측정치가 선택되면, 선택된 상기 측정치의 상기 측정 시각을, 소정의 기준 시각으로부터의 시간인 X 축 상 환산 시각으로 환산하고, X-Y 좌표의 X 축 상의 소정 위치를 상기 기준 시각의 위치로 하여, 상기 X 축 상 환산 시각으로부터 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정치의 크기로부터 Y 축 상의 위치를 구하고, 측정 시각이 연속되어 있는 복수의 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치와 상기 Y 축 상의 위치로부터 복수의 그래프선을 생성하여 상기 X-Y 좌표와 함께 표시 장치에 표시하고, 상기 표시 장치에 표시한 복수의 상기 그래프선 중에서 2 개 이상의 상기 그래프선이 제 1 선택군으로서 선택되고, 상기 표시 장치에 상기 Y 축과 평행한 제 1 주메이저선이 표시되면, 상기 제 1 선택군의 각 상기 그래프선과 상기 제 1 주메이저선의 교점의 상기 X 축 상 환산 시각을, 각 상기 그래프마다의 제 1 시각으로 하고, 상기 제 1 선택군의 각 상기 그래프선의 상기 X 축 상 환산 시각 중, 상기 제 1 시각에 가장 가까운 상기 X 축 상 환산 시각에 대응된 측정치인 제 1 측정치를 각 상기 그래프선마다의 제 1 측정치로 하고, 상기 표시 장치 상에서, 상기 제 1 측정치를 선택된 상기 그래프마다 표시하고, 상기 제 1 측정치끼리의 차의 값을 표시하는 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 3 발명에서는, 상기 제 1 시각에 추가하여, 상기 X 축에 포함되는 상기 X 축 상 환산 시각의 범위 내의 제 2 시각이 지시되면, 상기 제 1 선택군의 상기 그래프마다, 상기 X 축 상 환산 시각이 상기 제 2 시각에 가장 가까운 상기 측정치가 제 2 측정치로서 특정되고, 하나의 상기 그래프의 상기 제 1 측정치와, 다른 상기 그래프의 상기 제 2 측정치의 차의 값과, 상기 제 2 측정치 모두 상기 표시 장치에 표시하도록 구성된 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 3 발명에서는, 표시된 복수의 상기 그래프 중, 2 개 이상의 상기 그래프를 선택할 수 있고, 선택된 상기 그래프에 포함되는 측정치로부터, 상기 제 1, 제 2 측정치가 특정되는 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 3 발명에서는, 상이한 상기 그래프간의 상기 제 2 측정치끼리의 차의 값도 상기 표시 장치에 표시되는 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 3 발명에서는, 상기 제 1 시각과 상기 제 2 시각이 상기 표시 장치에 표시되는 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 3 발명에서는, 상기 제 1 시각과 상기 제 2 시각의 차인 시간이 상기 표시 장치에 표시되는 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 3 발명에서는, 상기 제 1 주메이저선에 추가하여, 상기 표시 장치에 상기 Y 축과 평행한 제 2 주메이저선이 표시되면, 상기 제 1 선택군의 각 상기 그래프선과 상기 제 1 주메이저선의 교점의 상기 X 축 상 환산 시각을, 각 상기 그래프마다의 상기 제 1 시각으로 하고, 상기 제 2 선택군의 각 상기 그래프선과 상기 제 2 주메이저선의 교점의 상기 X 축 상 환산 시각을, 각 상기 그래프마다의 상기 제 2 시각으로 하고, 상기 제 1, 제 2 주메이저선의 위치를 변경하면, 상기 제 1, 제 2 시각은, 위치가 변경된 상기 제 1, 제 2 주메이저선의 상기 X 축 상 환산 시각으로 각각 변경되도록 구성된 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 3 발명에서는, 상기 진공 처리를 실시하는 처리 장치를 동작시키는 동작 신호와, 동작을 정지시키는 정지 신호가 포함되는 제어 신호가 상기 제어 장치로부터 출력되고, 상기 제어 신호는, 상기 동작을 개시하는 동작 개시 시각과 상기 동작의 정지를 개시하는 동작 정지 시각과 함께 상기 기억 장치에 기억되고, 상기 데이터 분석 프로그램은, 상기 기억 장치에 기억된 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의, 상기 기준 시각으로부터의 시간인 시간축 상 환산 시각을 구하고, 상기 표시 장치 상에서는, 상기 X 축과 이간된 위치에, 상기 X 축과 평행하게 시간축을 표시하고, 상기 Y 축과 평행한 일직선이 상기 X 축과 상기 시간축에 교차한 교점이 각각 나타내는 상기 X 축 상 환산 시각과 상기 시간축 상 환산 시각은 동일한 시각이 되도록 하여 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의 상기 시간축 상의 위치를 구하고, 상기 표시 장치에는, 상기 시간축 상에서, 상기 동작 신호와 상기 정지 신호를 나타내는 높이가 상이한 횡선분을 갖는 타이밍 차트로 상기 제어 신호를 표시하도록 구성된 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 3 발명에서는, 상기 X-Y 좌표 상에는 표시된 상기 타이밍 차트의 상기 제어 신호에 의해 실시된 상기 진공 처리 중에 측정된 상기 측정치로부터 생성된 상기 그래프선이 표시되도록 구성된 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 3 발명에서는, 상기 제 1, 제 2 주메이저선의 연장선 상에, 상기 제어 신호의 표시와 교차하는 제 3, 제 4 주메이저선이 각각 표시되고, 상기 제 1, 제 2 주메이저선의 위치가 변경되면, 상기 제 3, 제 4 주메이저선은, 위치가 변경된 상기 제 1, 제 2 주메이저선의 연장선 상의 위치에 이동되고, 상기 제 3, 제 4 주메이저선의 위치가 변경되면, 상기 제 1, 제 2 주메이저선은, 위치가 변경된 상기 제 3, 제 4 주메이저선의 연장선 상의 위치에 각각 이동되도록 구성된 진공 처리 장치이다.
또, 본 발명의 제 3 발명에서는, 진공조 내에 배치된 처리 대상물을 진공 처리하는 진공 처리부와, 상기 진공 처리부가 출력한 복수의 측정치를, 측정 시각과 함께 상기 진공 처리와 대응시켜 기억하는 기억 장치와, 상기 측정치를 연산하는 연산 장치와, 상기 연산 장치의 연산 결과를 표시하는 표시 장치를 갖고, 연속해서 진공 처리된 소정 장수의 기판을 1 로트로 하고, 소정 장수의 상기 처리 대상물을 연속해서 동일한 상기 진공 처리하였을 때의 상기 측정치를 1 로트로 하고, 복수의 상기 로트의 상기 측정치가 상기 기억 장치에 기억되고, 상기 진공 처리를 실시하는 장치를 동작시키는 동작 신호와, 상기 동작을 정지시키는 정지 신호가 포함되는 제어 신호가, 상기 동작을 개시하는 동작 개시 시각과 상기 동작을 정지하는 동작 정지 시각과 함께, 상기 진공 처리에 대응시켜 상기 기억 장치에 기억된 진공 처리 장치의, 상기 기억 장치에 기억된 상기 측정치의 그래프선을 상기 표시 장치에 표시하는 그래프 표시 방법으로서, 상기 기억 장치 내에 기억된 복수의 상기 측정치로부터, 그래프선을 표시하는 측정치를 선택시키고, 선택된 상기 측정치의 상기 측정 시각을, 소정의 기준 시각으로부터의 시간인 X 축 상 환산 시각으로 환산하고, X-Y 좌표의 X 축 상의 소정 위치를 상기 기준 시각의 위치로 하여, 상기 X 축 상 환산 시각으로부터 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정치의 크기로부터 Y 축 상의 위치를 구하고, 측정 시각이 연속되어 있는 복수의 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치와 상기 Y 축 상의 위치로부터 복수의 그래프선을 생성하여 상기 X-Y 좌표와 함께 표시 장치에 표시하고, 상기 표시 장치에 표시한 복수의 상기 그래프선 중에서 2 개 이상의 상기 그래프선을 제 1 선택군으로서 선택시키고, 상기 표시 장치에 상기 Y 축과 평행한 제 1 주메이저선이 표시하고, 상기 제 1 선택군의 각 상기 그래프선과 상기 제 1 주메이저선의 교점의 상기 X 축 상 환산 시각을, 각 상기 그래프마다의 제 1 시각으로 하고, 상기 제 1 선택군의 각 상기 그래프선의 상기 X 축 상 환산 시각 중, 상기 제 1 시각에 가장 가까운 상기 X 축 상 환산 시각에 대응된 측정치인 제 1 측정치를 각 상기 그래프선마다의 제 1 측정치로 하고, 상기 표시 장치 상에서, 상기 제 1 측정치를 선택된 상기 그래프마다 표시하고, 상기 제 1 측정치끼리의 차의 값을 표시하는 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 3 발명에서는, 상기 제 1 시각에 추가하여, 상기 X 축에 포함되는 상기 X 축 상 환산 시각의 범위 내의 제 2 시각을 지시시키고, 상기 제 1 선택군의 상기 그래프마다, 상기 X 축 상 환산 시각이 상기 제 2 시각에 가장 가까운 상기 측정치를 제 2 측정치로서 특정하고, 하나의 상기 그래프의 상기 제 1 측정치와, 다른 상기 그래프의 상기 제 2 측정치의 차의 값과, 상기 제 2 측정치 모두 상기 표시 장치에 표시하는 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 3 발명에서는, 표시된 복수의 상기 그래프 중, 2 개 이상의 상기 그래프를 선택할 수 있고, 선택된 상기 그래프에 포함되는 측정치로부터, 상기 제 1, 제 2 측정치를 특정시키는 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 3 발명에서는, 상이한 상기 그래프간의 상기 제 2 측정치끼리의 차의 값도 상기 표시 장치에 표시하는 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 3 발명에서는, 상기 제 1 시각과 상기 제 2 시각이 상기 표시 장치에 표시하는 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 3 발명에서는, 상기 제 1 시각과 상기 제 2 시각의 차인 시간이 상기 표시 장치에 표시되는 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 3 발명에서는, 상기 제 1 주메이저선에 추가하여, 상기 표시 장치에 상기 Y 축과 평행한 제 2 주메이저선을 표시하면, 상기 제 1 선택군의 각 상기 그래프선과 상기 제 1 주메이저선의 교점의 상기 X 축 상 환산 시각을, 각 상기 그래프마다의 상기 제 1 시각으로 하고, 상기 제 2 선택군의 각 상기 그래프선과 상기 제 2 주메이저선의 교점의 상기 X 축 상 환산 시각을, 각 상기 그래프마다의 상기 제 2 시각으로 하고, 상기 제 1, 제 2 주메이저선의 위치를 변경하면, 상기 제 1, 제 2 시각은, 위치가 변경된 상기 제 1, 제 2 주메이저선의 상기 X 축 상 환산 시각으로 각각 변경하는 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 3 발명에서는, 상기 진공 처리를 실시하는 처리 장치를 동작시키는 동작 신호와, 동작을 정지시키는 정지 신호가 포함되는 제어 신호가 상기 제어 장치로부터 출력되고, 상기 제어 신호는, 상기 동작을 개시하는 동작 개시 시각과 상기 동작의 정지를 개시하는 동작 정지 시각과 함께 상기 기억 장치에 기억되고, 상기 데이터 분석 프로그램은, 상기 기억 장치에 기억된 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의, 상기 기준 시각으로부터의 시간인 시간축 상 환산 시각을 구하고, 상기 표시 장치 상에서는, 상기 X 축과 이간된 위치에, 상기 X 축과 평행하게 시간축을 표시하고, 상기 Y 축과 평행한 일직선이 상기 X 축과 상기 시간축에 교차한 교점이 각각 나타내는 상기 X 축 상 환산 시각과 상기 시간축 상 환산 시각은 동일한 시각이 되도록 하여 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의 상기 시간축 상의 위치를 구하고, 상기 표시 장치 상에는, 상기 시간축 상에서, 상기 동작 신호와 상기 정지 신호를 나타내는 높이가 상이한 횡선분을 갖는 타이밍 차트로 상기 제어 신호를 표시하는 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 3 발명에서는, 상기 X-Y 좌표 상에는, 표시된 상기 타이밍 차트의 상기 제어 신호에 의해 실시된 상기 진공 처리 중에 측정된 상기 측정치로부터 생성된 상기 그래프선을 표시하는 그래프 표시 방법이다.
또, 본 발명의 제 3 발명에서는, 상기 제 1, 제 2 주메이저선의 연장선 상에, 상기 제어 신호의 표시와 교차하는 제 3, 제 4 주메이저선을 각각 표시시키고, 상기 제 1, 제 2 주메이저선의 위치가 변경되면, 상기 제 3, 제 4 주메이저선은, 위치가 변경된 상기 제 1, 제 2 주메이저선의 연장선 상의 위치에 이동되고, 상기 제 3, 제 4 주메이저선의 위치가 변경되면, 상기 제 1, 제 2 주메이저선은, 위치가 변경된 상기 제 3, 제 4 주메이저선의 연장선 상의 위치에 각각 이동되도록 구성된 그래프 표시 방법이다.
＜제 1 발명＞
본 발명 중, 제 1 발명은, 진공 처리를 실시한 측정치의 원하는 부분을 추출하여 그래프화할 수 있으므로, 진공 처리간의 비교 분석을 용이하게 실시할 수 있다.
제어 신호나 동작 상태 신호에 기초하여 추출할 수 있기 때문에, 비교하는 그래프 데이터의 작업의 시각을 일치시키기 쉽다.
또, 제 1 발명은, 화면상에서 보면서 추출할 수 있으므로 제어 신호나 동작 상태 신호 중의 노이즈를 볼 수 있어, 노이즈에 의한 잘못된 추출을 방지할 수 있다.
또, 제 1 발명은, 추출한 측정치에 의한 그래프의 원하는 것을 이동시킬 수 있으므로, 피크 위치 등을 동일한 X 좌표에 위치시켜 정확하게 그래프를 중첩시켜 분석할 수 있다.
＜제 2 발명＞
제 2 발명은, 측정치의 그래프선을 간단하게 중첩시켜 비교할 수 있기 때문에, 진공 처리의 분석을 용이하게 실시할 수 있다.
제어 신호나 동작 상태 신호의 절선(折線)을 일치시킴으로써 진공 처리의 측정치의 그래프선을 중첩시킬 수 있기 때문에, 제어 신호나 동작 상태 신호에 기초한 비교를 실시할 수 있다.
노이즈에 의해 흐트러진 그래프 시점을 일치시킬 수 있기 때문에, 비교가 정확해진다. 그래프선의 이동을 제어 신호나 동작 상태 신호의 절선이나 그래프선의 형상을 보면서 할 수 있으므로, 수정이 간단하다.
＜제 3 발명＞
제 3 발명에서는, 진공 처리끼리의 처리 내용을 간단하게 비교할 수 있기 때문에, 진공 처리의 분석을 실시할 수 있다.
또, 로트간의 진공 처리를 비교할 수 있으므로, 진공 처리를 실시한 처리 대상물의 특성을, 진공 처리마다 검토를 할 수 있다.
도 1 은, 본 발명 중 제 1 발명의 진공 처리 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도 2 는, 제 1 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (1) 이다.
도 3 은, 제 1 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (2) 이다.
도 4 는, 제 1 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (3) 이다.
도 5 는, 제 1 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (4) 이다.
도 6 은, 제 1 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (5) 이다.
도 7 은, 제 1 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (6) 이다.
도 8 은, 제 2 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (1) 이다.
도 9 는, 제 2 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (2) 이다.
도 10 은, 제 2 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (3) 이다.
도 11 은, 제 2 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (4) 이다.
도 12 는, 제 2 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (5) 이다.
도 13 은, 제 3 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (1) 이다.
도 14 는, 제 3 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (2) 이다.
도 15 는, 제 3 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (3) 이다.
도 16 은, 제 3 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (4) 이다.
도 2 는, 제 1 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (1) 이다.
도 3 은, 제 1 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (2) 이다.
도 4 는, 제 1 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (3) 이다.
도 5 는, 제 1 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (4) 이다.
도 6 은, 제 1 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (5) 이다.
도 7 은, 제 1 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (6) 이다.
도 8 은, 제 2 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (1) 이다.
도 9 는, 제 2 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (2) 이다.
도 10 은, 제 2 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (3) 이다.
도 11 은, 제 2 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (4) 이다.
도 12 는, 제 2 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (5) 이다.
도 13 은, 제 3 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (1) 이다.
도 14 는, 제 3 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (2) 이다.
도 15 는, 제 3 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (3) 이다.
도 16 은, 제 3 발명의 진공 처리의 분석 방법을 설명하기 위한 표시 장치의 화면 (4) 이다.
도 1 의 부호 1 은, 본 발명 중 제 1 발명의 진공 처리 장치의 일례로, 진공 처리부 (20) 와 제어부 (21) 를 갖고 있다.
진공 처리부 (20) 는, 진공조 (11) 와, 진공조 (11) 의 내부에 배치된 처리 대상물의 진공 처리를 각각 실시하는 진공조 (11) 의 내부에 배치된 처리 기기군 (23) 과, 외부에 배치된 처리 기기군 (24) 을 갖고 있다. 여기서는 처리 대상물은 기판이다.
처리 기기군 (23, 24) 은, 처리 대상물인 기판의 진공 처리를 실시하는 장치로, 진공조 (11) 내부의 처리 기기군 (23) 은, 진공조 (11) 의 바닥면에 배치된 증착원인 처리 기기 (34) 와, 증착원인 처리 기기 (34) 에 전자선을 조사하는 EB 건인 처리 기기 (33) 와, 증착원인 처리 기기 (34) 의 상방에 배치된 유지 장치인 처리 기기 (31) 와, 유지 장치의 처리 기기 (31) 의 내부에 배치된 히터인 처리 기기 (32) 가 포함된다.
또, 진공조 (11) 외부의 처리 기기군 (24) 에는, 복수의 처리 기기를 갖고 있으며, 여기서는 증착용 전원인 처리 기기 (35) 와, 진공 배기계인 처리 기기 (36) 와, 가스 도입계인 처리 기기 (37) 와, 히터용 전원인 처리 기기 (38) 가 포함된다.
제어부 (21) 는 진공조 (11) 의 외부에 배치되어 있다.
도 1 의 부호 15 는, 처리 대상물인 기판으로, 성막면을 증착원인 처리 기기 (34) 를 향하게 하여 유지 장치의 처리 기기 (31) 에 유지되어 있다.
진공 배기계의 처리 기기 (36) 와 가스 도입계의 처리 기기 (37) 는 진공조 (11) 에 접속되어 있고, 진공 배기계의 처리 기기 (36) 를 동작시켜 진공조 (11) 의 내부를 진공 배기할 수 있다. 또, 가스 도입계의 처리 기기 (37) 를 동작시켜 진공조 (11) 의 내부에 가스 도입계의 처리 기기 (37) 로부터 반응성 가스 등의 가스를 도입할 수 있다.
히터용 전원의 처리 기기 (38) 와 증착용 전원의 처리 기기 (35) 는, 히터의 처리 기기 (32) 와 EB 건의 처리 기기 (33) 에 각각 접속되어 있고, 히터용 전원의 처리 기기 (38) 와 증착용 전원의 처리 기기 (35) 로부터 히터의 처리 기기 (32) 와 EB 건의 처리 기기 (33) 에 각각 전력을 공급한다.
히터의 처리 기기 (32) 는 공급된 전력으로 발열하여, 유지 장치의 처리 기기 (31) 를 승온시켜 진공 분위기 중에서 기판 (15) 을 가열한다. EB 건의 처리 기기 (33) 는 공급된 전력으로 증착원의 처리 기기 (34) 에 전자빔을 조사하여, 증착원의 처리 기기 (34) 내에 배치된 증착 재료를 가열하여, 진공조 (11) 내의 진공 분위기 중에 증착 재료의 증기를 방출시킨다.
이 증기는 진공 분위기나 반응 가스 분위기 중에서 기판 (15) 에 도달하여, 그 성막면에 박막을 형성한다.
처리 기기군 (23, 24) 에는, 온도나 압력을 검출하는 센서나, 센서가 검출하여 출력하는 신호로부터 온도 측정이나 압력 측정 등의 물리량의 측정을 실시하는 측정 장치도 포함되어 있고, 또, 히터용 전원의 처리 기기 (38) 나 증착용 전원의 처리 기기 (35) 등의 처리 기기의 내부에 배치되어, 전류나 전압 등의 물리량을 측정하는 측정 장치도 포함되어 있다.
측정한 진공조 (11) 내의 압력, 기판 (15) 의 온도, 가스 도입량, 히터인 처리 기기 (32) 에 흐른 전류량, EB 건의 처리 기기 (33) 에 공급한 전력 등의 측정치는, 측정한 시각인 측정 시각이 대응되어, 처리 기기군 (23, 24) 으로부터 제어부 (21) 에 출력되어 있다.
제어부 (21) 에는, 시퀀서 (41) 와 컴퓨터 (40) 가 배치되어 있고, 처리 기기군 (23, 24) 으로부터 입력된 측정치와 측정 시각은, 시퀀서 (41) 를 개재하여 컴퓨터 (40) 에 입력된다.
컴퓨터 (40) 는, 연산 장치 (42) 와, 기억 장치 (43) 와, 표시 장치 (44) 와, 입력 장치 (46) 를 갖고 있고, 컴퓨터 (40) 에 입력된 측정치와 측정 시각은, 기억 장치 (43) 에 기억된다. 입력 장치 (46) 는, 일례로는 키보드이다.
진공 처리는, 예를 들어, 전처리, 박막 형성, 에칭 처리는, 각각 1 회의 진공 처리이고, 하나의 진공조 (11) 내에서는, 복수의 성막 대상물 (기판 (15)) 을 한 장 또는 복수 장씩 동종류의 진공 처리를 반복 연속해서 실시하고 있으며, 기판 (15) 은, 연속해서 진공 처리되는 소정 장수마다, 동일한 로트에 속하도록 되어 있다.
측정치가 기억되는 파일 명칭은, 측정치가 속하는 로트와, 측정치의 종류, 측정치를 얻은 처리 기기와, 진공 처리의 내용을 알 수 있도록 되어 기억 장치 (43) 에 기억되어 있다. 로트는 번호에 의해 구별되어 있다.
한 장의 기판 (15) 의 하나의 진공 처리의 측정치는 일정한 시간 간격으로 연속되어 있고, 그 측정치는 파일 명칭이 붙여져 기억되어 있다. 파일 명칭에는, 로트 번호나 로트 명칭 등, 로트를 구별할 수 있는 표시가 포함되어 있고, 또, 1 개의 로트 내에서도, 상이한 진공 처리는 구별할 수 있도록, 진공 처리 번호 등의 진공 처리를 구별할 수 있는 표시도 포함되어 있다. 따라서, 측정치는, 그 파일 명칭으로부터, 로트와 진공 처리에 대응시켜져 있다. 복수의 진공 처리의 측정치가 하나의 파일 명칭에 의해 기억되어 있어도, 그 파일 명칭의 측정치로부터, 원하는 진공 처리의 측정치를 추출할 수 있도록 해도 된다.
기억 장치 (43) 에는, 측정치의 그래프화와 분석을 실시하는 데이터 분석 프로그램이 기억되어 있고, 시퀀서 (41) 에는, 진공 처리부 (20) 를 동작시키는 순서가 기억되어 있다.
시퀀서 (41) 는, 처리 기기군 (23, 24) 에 대하여, 각 항 처리 기기 (31 ～ 38) (센서를 포함한다) 를 제어하면서 동작시켜 진공 처리를 실시시키는 제어 신호를 출력하고 있다. 이 제어 신호에는, 처리 기기 (31 ～ 38) 에 대하여 동작의 개시를 지시하는 동작 신호와, 동작의 정지를 지시하는 정지 신호가 적어도 포함되어 있다. 제어 신호는, 처리 기기군 (24) 에 포함되는 처리 기기 (23, 24) 에 포함되는 처리 기기 (31 ～ 38) 에 출력됨과 함께, 컴퓨터 (40) 에도 출력되어 있다.
처리 기기 (31 ～ 38) 는, 제어 신호에 따라 동작을 개시, 또는 종료하고 있고, 처리 기기 (31 ～ 38) 로부터는, 동작 중인 신호와, 동작 정지의 신호 중 어느 것인 동작 상태 신호와, 동작 상태를 변경한 변경 시각이, 시퀀서 (41) 를 개재하여 컴퓨터 (40) 에 출력되어, 기억 장치 (43) 에 기억된다.
동작 상태 신호 중의 동작 정지로부터 동작 중으로의 변경이 동작 개시이고, 동작 개시의 시각을 나타내는 변경 시각이 동작 개시 시각이며, 동작 중으로부터 동작 정지로의 변경이 동작 정지이고, 동작 정지의 시각을 나타내는 변경 시각이 동작 정지 시각이다.
제어 신호도, 제어 신호에 의해 실시된 진공 처리의 로트 번호나 진공 처리 번호 등이 붙여져 로트와 진공 처리에 대응시켜지고, 동작 개시를 지시하는 신호의 시각이 동작 개시 시각이 되고, 동작의 정지를 지시하는 시각이 동작 정지 시각이 되어, 동작의 개시 또는 정지를 지시하는 제어 신호로서 함께 기억 장치 (43) 에 기억된다.
이 진공 처리 장치 (1) 에서는, 진공조 (11) 내에서 기판 (15) 이 처리되면 반출되고, 미처리의 기판이 반입되어 진공조 (11) 내에서 연속해서 진공 처리가 실시되도록 되어 있고, 그와 같이, 복수 로트의 기판의 진공 처리가 실시된다.
기억 장치 (43) 에는, 복수 로트의 진공 처리의 측정치와, 측정치에 대응한 측정 시각과, 그 진공 처리를 제어한 제어 신호와, 처리 기기 (31 ～ 38) 의 동작 상태 신호와, 동작 상태 신호에 대응시켜진 변경 시각이 기억되어 있다. 변경 시각에는, 동작 개시 시각과 동작 정지 시각이 포함된다.
복수의 진공 처리의 측정 결과를 비교하여 분석할 때에는, 컴퓨터 (40) 는, 측정치를 그래프화하는 데이터 분석 프로그램에 따라 동작한다.
측정치가 생성된 로트 번호, 기판 (15) 의 번호, 진공 처리의 종류, 측정치의 종류는, 측정치의 파일 명칭에 기재되어 있어, 파일 명칭에 의해, 연산 장치 (42) 는, 원하는 측정치 및 측정 시각과, 그 측정치에 관련된 동작 상태 신호 및 변경 시각을 얻을 수 있다. 연산 장치 (42) 는, 그것들을 기억 장치 (43) 로부터, 보다 고속의 메모리 등에 읽어들이게 할 수 있다.
또한, 분석하여 비교하는 상이한 기판의 측정치는, 동일한 처리 기기 (31 ～ 38) 또는 센서 장치, 측정 장치의 동일한 종류의 물리량이고, 측정 시각의 간격은, 하나의 진공 처리 중에서는 일정하게 되어 있다. 또, 진공 처리와 진공 처리의 사이에서도 측정은 이루어지고 있으며, 그 측정 시각의 간격도, 진공 처리 중과 동일한 일정치이도록 되어 있다.
제어 신호나 동작 상태 신호의 로트, 기판, 진공 처리와의 대응 관계나, 측정치와의 관계는, 제어 신호의 파일의 명칭이나 동작 상태 신호의 파일의 명칭으로부터 알 수 있는 것으로 한다.
다음으로, 본 발명 중, 제 1 발명의 실시예를 설명한다.
＜제 1 발명의 실시예＞
도 2 의 부호 100 은, 컴퓨터 (40) 에 접속된 표시 장치 (44) 의 화면을 나타내고 있다. 컴퓨터 (40) 와 LAN 등의 수단에 의해 교신하는 다른 컴퓨터의 표시 장치의 화면이어도 된다.
화면 (100) 에는, 그래프화할 후보의 측정치와, 그 측정치에 대응하는 제어 신호 또는 동작 상태 신호를 특정하기 위해서, 측정치 특정란 (110) 과, 신호 특정란 (120) 이 형성되어 있고, 측정치의 변화와, 제어 신호 또는 동작 상태 신호의 변화를 대응하여 시인할 수 있도록, 측정치의 그래프선을 표시하는 그래프 표시 영역 (130) 과, 제어 신호 또는 동작 상태 신호를 표시하는 타이밍 차트 표시 영역 (140) 으로 구분되어 있다.
신호 특정란 (120) 에 의해, 제어 신호가 특정되도록 되어 있고, 타이밍 차트 표시 영역 (140) 에서는, 동작 신호와 정지 신호를 구별할 수 있고, 동작 개시 시각과 정지 시각의 위치를 알 수 있도록 제어 신호가 표시된다.
측정치는, 예를 들어 기판 1 장의 1 개의 센서에 의한 등시간 간격으로 연속하는 복수의 측정치가 1 개의 파일 명칭이 붙여져 기억되어 있고, 측정치의 파일 명칭 (151) 에서, 로트와, 진공 처리의 종류와, 측정치의 종류 (예를 들어, 전류치, 전압, 압력 등) 를 특정할 수 있도록 되어 있다. 측정치 특정란 (110) 에는, 그래프의 표시의 후보가 된 각 측정치의 파일 명칭 (151) (명칭 1 ～ 6) 을 종(縱) 일렬로 표시하는 명칭 표시열 (111) 이 형성되어 있다.
또, 측정치 특정란 (110) 에는, 그래프 표시의 후보로 한 측정치 중, 실제로 그래프 표시를 하는 측정치를 지시하기 위한 표시 지시열 (114) 이 형성되어 있다.
화면 (100) 상에 그래프의 일부로서 표시하는 X-Y 좌표는, Y 축을 좌측과 우측의 2 개 갖고 있고, 측정치를 좌측의 Y 축의 눈금이나, 우측의 Y 축의 눈금 중 어느 것에 대응시킬 수 있도록 되어 있다. 어느 Y 축에 대응시키기 위해서, 측정치 특정란 (110) 에는, Y 축을 선택하기 위한 Y 축 지시열 (115) 이 형성되어 있고, 또, 측정치 특정란 (110) 에는, 후술하는 주메이저선의 표시를 지시하는 메이저 지시열 (113) 이 형성되어 있다.
표시 지시열 (114) 에 종 일렬로 표시되는 체크 박스 (154) 에 체크하면, 체크가 된 측정치가 그래프 표시 영역 (130) 에 곡선이 되어 표시되고, 곡선과 X 축, Y 축으로 그래프가 표시된다.
이 때, Y 축 지시열 (115) 에 각각 종 일렬로 표시된 좌측의 Y 축의 체크 박스 (156) 와, 우측의 Y 축의 체크 박스 (155) 중 어느 일방에 체크를 함으로써, 측정치를 대응시키는 Y 축이 왼쪽인지 오른쪽인지가 선택된다. 메이저 지시열 (113) 에 종 일렬로 배치되는 체크 박스 (153) 에 1 개용의 마크 또는 2 개용의 마크를 함으로써, 원하는 주메이저선이 표시된다.
또, 측정치 특정란 (110) 에는, 그래프선의 색을 지시하기 위한 색 지시열 (112) 이 형성되어 있고, 색 지시열 (112) 에 종 일렬로 표시되는 색 샘플 (152) 의 색을 변경함으로써, 표시되는 그래프선의 색을 변경할 수 있다.
각 열 (111 ～ 114) 의 체크 박스 등의 표시 내용은, 표시 내용과 측정치의 파일 명칭 (151) 의 대응이 보기 쉽도록, 표시 내용과 파일 명칭 (151) 은 동일 높이에 표시되어 있다.
신호 특정란 (120) 에 대해서도, Y 축 지시열 (115) 이외에는, 측정치 특정란 (110) 과 동일하게 되어 있고, 명칭 표시열 (121) 과, 색 지시열 (122) 과, 메이저 지시열 (123) 과, 표시 지시열 (124) 이 형성되어 있다.
메이저 지시열 (123) 에서 지시된 주메이저선과 제어 신호의 타이밍 차트 (절선) 의 교점의 제어 신호가, 제어 신호가 지시하는 처리 기기 (31 ～ 38) 의 동작 중을 나타내는 경우에는 하이를 나타내는 값이 화면 (100) 상에 표시되고, 정지 중인 경우에는 로우를 나타내는 수치가 표시된다.
하이, 로우를 나타내는 수치가 아니라, 동작과 정지를 구별하는 도형 등의 다른 표시여도 된다.
도면 중, 부호 161 은 로트나 진공 처리를 특정할 수 있는 제어 신호의 명칭 (명칭 11 ～ 16) 을 나타내고, 부호 162 는 색 샘플, 부호 163, 164 는, 체크 박스를 나타내고 있다.
측정치 특정란 (110) 과 신호 특정란 (120) 의 체크 박스 (153 ～ 156, 163, 164) 를 사용하여, 체크를 기재하고, 표시 후보의 측정치 중에서 실제로 그래프화하여 표시하는 측정치를 선택한다.
기억 장치 (42) 에는, 다량의 측정치로 이루어지는 일련의 측정치가 1 파일로 되어 기억되어 있고, 그들 중 원하는 파일이 선택되어, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 그래프 표시 영역 (130) 에는, 선택된 파일 중의 측정치로부터 생성된 곡선으로 이루어지는 제 1 차 그래프선 (132) 이 표시되어 있다. 이 제 1 차 그래프선 (132) 은, X-Y 좌표 (131) 와 함께 표시되어 그래프 표시가 이루어져 있다.
타이밍 차트 표시 영역 (140) 에는, 표시된 측정치에 대응한 제어 신호로부터, 동작 신호와 정지 신호가, 높이가 상이한 횡선분으로 구성된 타이밍 차트 (142) 로서 표시되어 있고, 시간축 (141) 과 함께 표시되어 있다. 동작 신호의 횡선분은 정지 신호의 횡선분보다 일정 높이 높은 위치에 표시된다. 시간축 (141) 은, 화면 (100) 상에서 X-Y 좌표 (131) 의 X 축의 바로 아래에 위치하고, X 축과 평행하다.
이 제 1 발명과 후술하는 제 2, 제 3 발명에서도, 제어 신호가 아니라, 동작 상태 신호를, 동작 중과 정지 중에서 높이가 상이한 횡선분으로 하여 절선을 제작하고, 화면 (100) 에 타이밍 차트로서 표시하도록 해도 된다.
제 1 ～ 제 3 발명의 시각에 대하여 설명한다.
측정치에 대응한 측정 시각과, 제어 신호의 동작 개시 시각과 동작 정지 시각은, 하루를 24 시간으로 하고, 오전 0 시를 시점으로 한 시각이며, 또한, 서기 및 월, 일자도 포함하는 시각이다. 따라서, 24 시간 중에서는 동일 수치의 시각이라도 서기, 월, 또는 일자 중 하나가 다르면, 상이한 시각으로 판단된다.
기판이 상이한 동일한 진공 처리에 대해서는, 상이한 시각인 기준 시각이 각각 설정되어 있고, 본 예와 후술하는 각 예에서도, 표시 후보가 된 측정치에 대응하여 측정 시각을, 설정된 기준 시각으로부터의 경과 시간인 X 축 상 환산 시각으로 변환한다. 이 변환에 의해, 상이한 파일에 포함되는 상이한 측정 시각의 측정치여도, 서로 상이한 기준 시각으로부터의 경과 시간이, 동일한 값인 측정치는, 동일한 X 축 상 환산 시각을 갖는 측정치가 된다.
그래프 표시를 실시하는 측정치의 측정 시각은, X 축 상 환산 시각으로 환산하고, 측정치와 대응시켜 메모리나 기억 장치 (43) 에 기억한다.
기준 시각에는, 그래프 표시하는 측정치가 측정된 진공 처리를 실시한 처리 기기군 (24) 이나 처리 기기군 (23) 을 제어한 제어 신호에 포함되는 동작 개시 시각이나 동작 정지 시각 등을 사용할 수 있다.
여기서는, 기준 시각에는, 그래프 표시하는 측정치의 진공 처리를 실시한 제어 신호에 포함되는 맨 처음의 동작 개시 시각을 채용하고 있고, 화면 (100) 상에는, 미리 설정된 개수의 세트의, 동작 신호와 정지 신호가 표시되도록, 제 1 차 그래프선 (132) 과 타이밍 차트 (142) 가 표시되는 시간 범위가 결정된다.
이 경우, X 축의 단위길이당의 시간은, 키보드로부터 입력되거나, 또는, 읽어들이는 측정치의 시간 등으로부터 산출되어 있고, 측정치의 X 좌표는, 기준 시각의 X 축 상의 위치와 X 축의 단위길이당의 시간에 의해, 측정치에 대응한 X 축 상 환산 시각으로부터, 각 측정점의 X 축 상의 위치가 구해지고 있다.
여기서는 X 축과 선택된 좌측 Y 축의 교점이 X-Y 좌표의 원점이 되어 있고, 기준 시각의 위치는, 원점보다 우측의 X 축 상의 소정 위치로 되어 있다.
동일한 처리 기기 (31 ～ 38) 는, 일정한 동일한 시간 간격으로 측정하고 있고, 따라서, 측정 시각간의 간격은, 일정 시간으로 되어 있다. 이 측정 시간의 간격은, 동일한 처리 기기 (31 ～ 38) 의 측정치이면, 진공 처리가 상이해도, 동일한 시간이 되도록 되어 있다.
따라서, 복수의 파일의 측정치의 측정 시각이 될 수 있는 시각을, 각 파일의 기준 시각으로 하여 X 축 상 환산 시각을 산출하여 측정치를 표시하도록 하면, 1 개의 X 축 상 환산 시각에 대하여 복수의 측정치가 대응되게 된다.
좌우의 Y 축 중, Y 축 지시열 (115) 에 의해 지정된 Y 축 상의 단위길이당의 값과, Y 축 상의 소정 위치의 기준점의 값은, 입력 장치 (46) 에 의해 입력되거나, 또는, 측정치의 크기로부터 계산하여 적당한 값이 구해져, 기준점의 값으로서 설정된다. 여기서는 X 축과 선택된 Y 축의 교점이 기준점으로 되어 있지만, 그것에 한정되는 것은 아니다.
따라서, Y 축의 기준점의 측정치의 값과 Y 축 상의 단위길이당의 측정치의 크기에 의해, 선택된 Y 축 상의 각 측정치의 위치인 Y 좌표는, 각 측정치의 크기로부터 구해진다.
이와 같이, 표시하는 측정치의 X 좌표와 Y 좌표가 구해지고, X-Y 좌표로 나타내는 측정치의 위치를 곡선이나 선분으로 연결하여 1 개의 선 (곡선 또는 절선) 을 표시함으로써 그래프화한다. 최소 이승법 등의 곡선을 생성하는 방법으로, 측정치의 X-Y 좌표를 통과하지 않는 곡선을 구하여 그래프화할 수도 있다.
도 3 은, 표시 지시열 (114) 내의 체크 박스 (154) 에 체크가 된 파일의 측정치가 제 1 차 그래프선 (132) 으로서 표시되어 있다.
다음으로, 타이밍 차트 표시 영역 (140) 의 표시에 대하여 설명한다.
동작 개시 시각과 동작 정지 시각은, 측정치와 동일한 기준 시각을 기준으로 하고, 기준 시각으로부터의 시간축 (141) 상의 시간인 시간축 상 환산 시각으로 환산되어 있다.
시간축 (141) 의 원점은, X-Y 좌표 (131) 의 좌측의 Y 축의 연장선이 시간축 (141) 과 교차하는 점이고, 시간축 (141) 상의 기준 시각의 위치는, X 축 상의 기준 시각을 통과하여, X 축에 대하여 수직인 직선이 시간축 (141) 과 교차하는 점으로 되어 있다. 시간축의 단위길이당의 시간은, 미리 결정되어 있고, 따라서, 동작 개시 시각과 동작 정지 시각은, 그들의 시간축 상 환산 시각의 값에 따른 시간축 (141) 상의 위치가 된다.
본 예에서는, 시간축의 단위길이당의 시간은, X 축의 단위길이당의 시간과 동일하게 되어 있고, 따라서, X 축과 시간축 (141) 에 수직으로 교차하는 직선은, 동일한 값의 X 축 상 환산 시각과 시간축 상 환산 시각을 통과하게 되어 있다.
제어 신호에 포함되는 동작 신호와 정지 신호는, 시간축 (141) 과 평행하고, 높이가 상이한 횡선분으로 표시되어 있고, 동작 개시 시각을 환산한 시간축 상 시각에서는, 1 개의 정지 신호의 종점과 다음의 동작 신호의 시점 사이와, 1 개의 동작 신호의 종점과, 다음의 정지 신호의 시점이, 수직인 종선분으로 연결되어 형성된 타이밍 차트 (142) 에 의해 제어 신호가 표시되어 있다.
종선분은, 동작 개시 시각 또는 동작 정지 시각을 환산한 시간축 상의 시각에 위치하고 있다. 동작 상태 신호를 표시하는 경우에는, 동작 변경 시각을 시간축 상의 시각으로 환산한 위치가 종선분이 표시되는 위치이다.
본 예에서는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 그래프 표시 영역 (130) 과 타이밍 차트 표시 영역 (140) 에는, 1 개의 제 1 차 그래프선 (132) 과, 그 제 1 차 그래프선 (132) 의 측정치에 대응한 제어 신호의 타이밍 차트 (142) 가 각각 표시되어 있다.
각 측정치에 대한 제어 신호 중에는 복수의 동작 개시 시각이 포함되어 있고, 그들의 개시 시각 중, 각 파일 중의 특정 처리 장치의 맨 처음의 개시 시각이 기준 시각으로 되어 있다.
제어 신호의 타이밍 차트 (142) 에는 복수의 정지 시각도 포함되어 있고, 동작 신호의 횡선과 정지 신호의 횡선의 높이는 상이하므로, 각 개시 시각과 각 정지 시각에 대응하여, 제 1 차 그래프선 (132) 중에 요철이 보인다.
제 1 차 그래프선 (132) 중의 이들 요철의 일부를 선택하고, 확대하여 다른 측정치와 비교하기 위해서, 제 1 차 그래프선 (132) 의 일부를 특정하고, 그 부분을 구성하는 측정치를 추출한다. 중요한 부분을 추출하면, 추출한 부분의 비교에 의해 진공 처리의 상이를 분명하게 할 수 있다.
제 1 차 그래프선 (132) 의 측정치로부터의 추출을 개시하는 추출 시점과, 추출을 종료시키는 추출 종점은, 화면에 표시된 제 1 차 그래프선 (132) 상의 원하는 위치를 마우스 포인터를 올려놓고 클릭함으로써 지정할 수 있다. 또, X 축 상 환산 시각이나 시간축 상 환산 시각을 입력 장치 (46) 에 의해 입력함으로써, 입력한 X 축 상 환산 시각이나 시간축 상 환산 시각을 측정 시각으로 역산하여, 추출 시점 시각과 추출 종점 시각으로 할 수 있다.
또, X 축 상의 임의의 점을 마우스 포인터를 올려놓고 클릭함으로써 지정할 수도 있다.
여기서는, 제어 신호에 대응하여 기억된 복수의 개시 시각과 정지 시각 중, 시각순으로 늘어놓았을 때에, 기준 시각보다 후의 개시 시각으로서, 기준 시각으로부터 원하는 개수째의 개시 시각을 추출 시점 시각으로 하고, 추출 시점으로부터의 경과 시간을 입력 장치 (46) 에 의해 입력하여 추출 종점 시각을 지정하게 되어 있다.
타이밍 차트 (142) 에서는, 로우에서 하이로 변하는 위치의 세로 막대를 상승, 하이에서 로우로 변하는 세로 막대를 하강이라고 부르며, 도 3 에서는, 제어 신호 중의 개시 시각을 나타내는 세로 막대가 상승 (148), 정지 시각을 나타내는 세로 막대가 하강 (149) 으로서 표시되어 있다.
제 1 차 그래프선 (132) 으로부터, 제 1 차 그래프선 (132) 의 일부인 볼록상 부분 (133) 을 추출하기 위해서, 5 개째의 상승 (148) 이 추출 시점으로서 지정되고, 추출 시점의 측정 시각인 추출 시점 시각 이후의 측정점이 추출된다.
본 예에서는, 입력 장치 (46) 에 의해 컴퓨터 (40) 에 경과 시간이 입력되고, 추출 시점 시각으로부터 입력된 경과 시간이 경과하는 시각을 추출 종점 시각으로 하여, 추출 시점 시각과 추출 종점 시각 사이의 범위에, 대응시켜진 측정 시각이 포함되는 측정치가 추출된다.
추출된 측정치에 의해 형성되는 그래프선을 크게 표시시키기 위해서, 추출에 사용한 추출 시점 시각이 기준 시각이 되고, 기준 시각이 X 축의 소정 위치에 배치되고, 측정 시간으로부터, 기준 시각으로부터의 경과 시간인 X 축 상 환산 시각이 재계산된다.
X 축의 단위길이당의 시간도 재설정되고, 추출된 측정치에 대응하는 재계산하여 구해진 X 축 상 환산 시각에 의해, 추출된 측정치의 X 축 상의 위치인 X 좌표가 구해진다.
자동적인 계산 또는 입력 장치 (46) 를 사용한 입력에 의해, Y 축 상의 단위길이당의 측정치의 크기도 재설정하고, 또, Y 축과 X 축이 교차하는 교점 위치의 측정치도 재설정하면, 추출된 측정치의 X 축, Y 축 상의 위치는 재계산된다.
제 1 차 그래프선 (132) 을 화면 (100) 상에 표시하였을 때보다, Y 축 상의 단위길이당의 측정치의 크기를 작게 하고, X 축 상의 단위길이당의 시간의 길이를 짧게 하면, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 측정치를 연결하여 화면 (100) 상에 표시되는 제 2 차 그래프선 (134) 은 제 1 차 그래프선 (132) 보다 확대되고, 그 결과, 제 2 차 그래프선 (134) 과 X 축 Y 축으로 이루어지는 그래프 표시도 확대된다.
시간축 (141) 의 기준 시각도 추출 시점 시각이 되고, 시간축 (141) 의 단위길이당의 시간은, 제 2 차 그래프선 (134) 을 화면 (100) 에 표시하였을 때의, X 축의 단위길이당의 시간과 동일한 값으로 변경되어 있다. 그것에 의해, 추출 시점 시각과 추출 종점 시각 사이에 위치하는 개시 시각과 정지 시각의 시간축 상 시각은, 재계산되고, 개시 시각과 정지 시각의 시간축 상의 위치가 구해지고, 일부가 확대된 절선으로 이루어지는 타이밍 차트 (144) 가 표시된다. 제 2 차 그래프선 (134) 과 타이밍 차트 (144) 사이의 상대적인 위치 관계는, 제 1 차 그래프선 (132) 과 타이밍 차트 (142) 사이의 상대적인 위치 관계와 동일하다.
상이한 진공 처리마다 측정치의 일부를 추출하고, 추출된 측정치를 진공 처리간에서 비교하는 경우에는, 복수의 진공 처리마다 다량의 측정치를 읽어들여, 각 진공 처리간에는 동일한 기준으로 추출 시점 시각과 추출 종점 시각을 설정하고, 복수의 진공 처리마다 측정치 중, 측정 시각이 추출 시점 시각과 추출 종점 시각 사이에 있는 부분을 추출하고, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 복수 (여기서는 2 개) 의 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 이 동일한 X-Y 좌표 (131) 상에 표시된다.
도 5 에서는, 시간축 (141) 상에서는, 추출된 측정치에 대응하는 부분의 제어 신호에 의해, 절선으로 이루어지는 복수의 타이밍 차트 (144a, 144b) 가 표시되어 있다.
여기서는 표시된 타이밍 차트 (144a, 144b) 는, 표시된 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 에 대응하고 있고, 복수의 타이밍 차트 (144a, 144b) 의 제어 신호 중, 하나의 제어 신호에서는, 정지 신호로부터 동작 신호로 변화하는 제어 신호의 상승인 개시 시각을 기준 시각으로 하여 측정치를 추출하고 있지만, 다른 제어 신호에서는, 제어 신호에 포함되는 노이즈 (147) 의 상승이 기준 시각이 되어 측정치가 추출되어 버렸다. 따라서, 그들의 제어 신호에 대응하는 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 은 화면 (100) 상에서 중첩되어 있지 않다.
이 데이터 분석 프로그램에서는, 그래프 표시 영역 (130) 에는, X 축과 수직 (Y 축과는 평행) 인 복수 (본 예에서는 2 개) 의 주메이저선을 표시시킬 수 있고, 또, 타이밍 차트 표시 영역 (140) 에도, 시간축 (141) 에 수직인 복수 (본 예에서는 2 개) 의 보조 메이저선을 표시시킬 수 있다.
주메이저선과 보조 메이저선을 각각 표시시키는 경우에는, 메이저 지시열 (113, 123) 의 체크 박스 (153, 163) 에 마크를 한다.
본 예에서는, 주메이저선과 보조 메이저선은, 1 개씩 또는 2 개씩 표시되도록 구성되어 있고, 본 예에서는, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 의 피크 위치를 각각 통과하도록, 제 1, 제 2 주메이저선 (101, 102) 이 표시되어 있다.
또, 본 예에서는, 타이밍 차트 표시 영역 (140) 에는, 제 1, 제 2 주메이저선 (101, 102) 이 위치하는 X 축 상 환산 시각과 동시각의 시간축 상에, 제 1, 제 2 보조 메이저선 (103, 104) 이 각각 시간축과 수직으로 표시되도록 되어 있다.
제 1, 제 2 주메이저선 (101, 102) 과 제 1, 제 2 보조 메이저선 (103, 104) 은, 모두 시각이나 이동 시간을 입력하는 것이나, 마우스나 커서로 움직이게 하는 것에 의해 이동시킬 수 있다.
제 1, 제 2 주메이저선 (101, 102) 을 이동시키는 경우, 이동처의 X 축 상 환산 시각은 측정치와 대응될 수 있는 시각일 필요가 있다. 이동을 위해서 입력된 X 축 상 환산 시각이나, 마우스로 지시된 이동처의 X 축 상 환산 시각이, 그래프 표시가 되어 있는 측정치 중에 대응할 수 있는 시각은 아닌 경우에는, 그래프 표시가 된 측정치 중에서, 이동처가 된 X 축 상 환산 시각에 가장 가깝고, 대응시켜지는 측정치가 있는 X 축 상 환산 시각이 이동처가 되고, 제 1, 제 2 주메이저선 (101, 102) 은, 그 시각으로 이동되면 제 1, 제 2 주메이저선 (101, 102) 은 측정치를 통과하게 된다.
제 1, 제 2 보조 메이저선 (103, 104) 은, 제 1, 제 2 주메이저선 (101, 102) 이 이동된 X 축 상 환산 시각과 동일한 시각인 시간축 상 환산 시각으로 각각 이동된다.
제 1, 제 2 주메이저선 (101, 102) 을 이동시켜 제 1, 제 2 보조 메이저선 (103, 104) 을 추종시키는 것이 아니라, 반대로, 제 1, 제 2 보조 메이저선 (103, 104) 을 이동시킴으로써, 이동된 제 1, 제 2 보조 메이저선 (103, 104) 의 시간축 상 환산 시각과 동시각의 X 축 상 환산 시각으로 제 1, 제 2 주메이저선 (101, 102) 을 각각 이동시킬 수도 있다.
제 1, 제 2 보조 메이저선 (103, 104) 의 이동에 의해 제 1, 제 2 주메이저선 (101, 102) 이 이동될 때, 제 1, 제 2 주메이저선 (101, 102) 의 이동처의 X 축 상 환산 시각에 측정치가 대응되어 있었던 경우에는, 제 1, 제 2 주메이저선 (101, 102) 이 그 X 축 상 환산 시각으로 이동되고, 제 1, 제 2 보조 메이저선 (103, 104) 은, 그 X 축 상 환산 시각과 동시각의 시간축 상 환산 시각으로 이동된다.
제 1, 제 2 보조 메이저선 (103, 104) 의 이동에 의해 제 1, 제 2 주메이저선 (101, 102) 이 이동될 때, 제 1, 제 2 주메이저선 (101, 102) 의 이동처의 X 축 상 환산 시각이, 측정치가 위치할 수 있는 시각은 아니었던 경우에는, 그래프 표시가 되어 있는 측정치 중에서, 이동처가 된 X 축 상 환산 시각에 가장 가깝고 측정치가 대응시켜져 있는 X 축 상 환산 시각이 이동처가 되고, 그 X 축 상 환산 시각과, 그것과 동시각의 시간축 상 환산 시각으로, 제 1 또는 제 2 주메이저선 (101, 102) 과 제 1 또는 제 2 보조 메이저선 (103, 104) 이 각각 이동된다.
제 1, 제 2 주메이저선 (101, 102) 이 위치하는 X 축 상 환산 시각을 제 1, 제 2 시각으로 하고, 표시되어 있는 제 2 차 그래프선의 측정치 중에서, 제 1, 제 2 시각에 대응시켜져 있는 측정치를 제 1, 제 2 측정치라고 부르기로 하면, 제 1, 제 2 시각은, 그 위치를 알 수 있도록, 시각을 나타내는 수치와, 제 1, 제 2 시각간의 차인 시간차가 화면 (100) 에 표시된다.
또, 제 1, 제 2 측정치는, 제 1, 제 2 주메이저선 (101, 102) 과 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 의 교점을 구별하는 기호 P1 ～ P4 와 함께 화면 (100) 에 표시되어 있고, 상이한 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 간의 제 1 측정치끼리의 차와, 제 2 측정치끼리의 차도 표시되어 있고, 또한, 동일한 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 의 측정치 중에서의, 제 1 측정치와 제 2 측정치의 차도 화면 (100) 에 표시된다. 제 1 측정치가 3 개 이상 있는 경우에는, 인접하는 제 1 측정치끼리의 차를 표시할 수 있다. 제 2 측정치에 대해서도, 3 개 이상 있는 경우에는, 인접하는 제 2 측정치끼리의 차를 표시할 수 있다.
다음으로, 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 의 이동에 대하여 설명하면, 본 발명 중, 제 1 발명에서는, 표시된 복수의 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 중, 1 이상의 원하는 개수의 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 을 선택하여 이동할 수 있도록 구성되어 있고, 원하는 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 을 마우스나 키보드로부터의 입력 등에 의해 화면 (100) 상에서 클릭하거나 하여 선택함과 함께, 이동 시간을 입력 장치 (46) 로부터 입력하거나, 또는, 이동처의 X 축 상 환산 시각의 입력, 마우스 포인터에 의한 지시 등의 수단에 의해, 선택한 원하는 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 을 X 축과 평행하게 이동시킬 수 있다.
상기 서술한 바와 같이, 측정치의 측정 시간은 등간격이고, 따라서, 측정치에 대응하는 X 축 상 환산 시각도 등간격으로 되어 있다. 1 개의 제 2 차 그래프선 (134a 또는 134b) 중의 1 개의 측정치에 대응된 X 축 상 환산 시각에는, 다른 제 2 차 그래프선 (134a 또는 134b) 중의 측정치도 대응되어 있고, 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 의 이동량은, 인접하는 X 축 상 환산 시각간의 시간을 단위시간으로 하여, 단위시간의 정수 배로 되어 있다.
제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 의 이동량으로서 지정된 이동 시간이나, 이동처로서 지정된 X 축 상 환산 시각으로부터 구해진 이동 시간은, 반올림, 올림, 버림 등에 의해 단위시간의 정수 배의 이동 시간으로 변환되고, 각 측정점의 X 축 상 환산 시각은, 변환된 이동 시간에 기초하여 변경되고, 그 측정치의 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 도 이동 후의 X 축 상 환산 시각에 기초하여 재기록된다.
이 때, 선택된 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 에 관련되는 제어 신호, 예를 들어, 선택된 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 의 진공 처리를 실시한 제어 신호는, 개시 시각과 정지 시각의 시간축 상 변환 시각이 X 축 상 환산 시각을 변경하는 이동 시간과 동시간 변경되고, 타이밍 차트 (144a, 144b) 도, 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 의 이동 시간과 동시간, 동방향으로 시간축 (141) 과 평행하게 이동된다.
타이밍 차트 표시 영역 (140) 에 표시된 타이밍 차트 (144a, 144b) 의 원하는 것을 선택하고, 입력 장치 (46) 로부터의 입력에 의한 이동, 이동처의 X 축 상 환산 시각의 지정에 의한 이동, 마우스 포인터의 이동에 부수된 이동, 커서의 이동에 부수된 이동 등, 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 의 이동시와 동일한 이동 수단에 의해 이동시키고, 이동시키는 제어 신호에 관련된 측정치의 제 2 차 그래프선 (134a, 134b), 예를 들어, 선택한 타이밍 차트 (144a, 144b) 의 제어 신호가 제어한 진공 처리시에 측정된 측정치의 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 을 함께 이동시켜도 된다.
이 경우도, 인접하는 측정치의 X 축 상 환산 시각간의 시간을 단위시간으로 하면, 이동량은 단위시간의 정수 배이고, 입력된 시간이나, 이동처의 시간축 상 환산 시각은, 상기와 동일하게, 반올림, 올림, 버림 등에 의해 단위시간의 정수 배인 이동 시간으로 변환되고, 이동되는 제어 신호의 시간축 상 변환 시각이나, 이동되는 측정치의 X 축 상 환산 시각은, 변환된 이동 시간에 기초하여 계산되어 표시된다.
도 6 에서는 제 1, 제 2 주메이저선 (101, 102) 이 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 의 피크 위치에 각각 배치되어 있다.
따라서, 중첩되어 있지 않은 2 개의 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 의 피크의 시간차는, 제 1, 제 2 주메이저선 (101, 102) 사이의 시간차로서 화면 (100) 에 표시되어 있고, 이동시킨 후의 화면 (100) 에 표시되는 시간차가 제로가 되도록 하면 피크가 동일한 X 축 상 환산 시각에 배치되게 되기 때문에, 일방의 제 2 차 그래프선 (134a 또는 134b) 을 선택하고, 중첩되도록 부호를 붙여 표시된 시간차를 입력할 수 있다.
또, 제 1, 제 2 보조 메이저선 (103, 104) 을, 시간축 (141) 상의 개시 시각의 위치에 배치하고, 타이밍 차트 (144a, 144b) 의 개시 시각의 시간차를 화면 (100) 상에 표시시키면, 제 2 차 그래프선 (134a 또는 134b) 을 이동시켜 개시 시각이 동일한 시간축 상 환산 시각에 위치하도록 할 수 있다.
도 7 은, 이동하여 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 을 중첩시킨 상태의 화면 (100) 이다.
이동된 제 2 차 그래프선 (134a 또는 134b) 의 측정치에 대응하는 X 축 상 환산 시각은, 이동한 시간만큼 수정된다.
제 1 또는 제 2 주메이저선 (101, 102) 이나 제 2 차 그래프선 (134a, 134b) 이 이동한 후에는, 화면 (100) 에는 이동 후의 제 1, 제 2 시각이나 제 1, 제 2 측정치, 그들의 차가 표시된다.
또한, 제 1, 제 2 측정치는, 측정 시각이 수정 후의 X 축 상 환산 시각과 동등한 측정치가 된다. 따라서, 지정된 제 1 차 그래프선 (132) 의 제 1 측정치의 차는, 이동하지 않은 제 1 차 그래프선 (132) 의 제 1 측정치와, 이동 후의 제 1 차 그래프선 (132) 의 제 1 측정치의 차가 된다.
또한, 복수의 제 1 차 그래프선이 화면 (100) 상에 표시되어 있는 경우, 그들의 제 1 차 그래프선 중, 하나의 제 1 차 그래프선을 선택하고, 하나의 제 1 차 그래프선에 포함되는 1 개의 측정 시각이, 하나의 제 1 차 그래프선의 추출 시점 시각이 되면, 그 추출 시점 시각의 X 축 상 환산 시각은, 다른 제 1 차 그래프선에 포함되는 측정 시각의 X 축 상 환산 시각과 다른 제 1 차 그래프선마다 1 개씩 동일해진다. 따라서, 다른 제 1 차 그래프선에서는, 하나의 제 1 차 그래프선의 추출 시점 시각의 X 축 상 환산 시각에 대응된 측정치의 측정 시각을 추출 시점 시각으로 하면 된다.
＜제 2 발명의 실시예＞
본 발명은, 상기 제 1 발명에서 설명한 내용에 추가하여, 하기에 설명하는 제 2 발명의 내용도 갖고 있다.
제 2 발명을 설명하면, 도 8 의 부호 200 은, 컴퓨터 (40) 에 접속된 표시 장치 (44) 의 화면을 나타내고 있다. 컴퓨터 (40) 와 LAN 등의 수단에 의해 교신하는 다른 컴퓨터의 표시 장치의 화면이어도 된다.
이 화면 (200) 에는, 제 2 발명의 동작에 의한 표시가 이루어져 있고, 상기 제 1 발명의 화면 (100) 과 동일하게, 그래프 표시를 실시하는 측정치와, 그 측정치에 대응하는 제어 신호를 특정하기 위해서, 측정치 특정란 (210) 과, 신호 특정란 (220) 이 형성되어 있다.
또, 화면 (200) 에는, 측정치의 변화와, 제어 신호의 변화에 대응하여 시인할 수 있도록, 측정치의 그래프선을 표시하는 그래프 표시 영역 (230) 과, 제어 신호를 표시하는 타이밍 차트 표시 영역 (240) 으로 구분되어 있다. 타이밍 차트 표시 영역 (240) 에서는, 동작 신호와 정지 신호를 구별할 수 있고, 개시 시각과 정지 시각의 위치를 알 수 있도록 제어 신호가 표시된다.
측정치는, 제 1 발명과 동일하게, 기판 (15) 1 장의 측정치가, 파일 명칭 (251) 이 붙여져 기억 장치 (43) 에 기억되어 있다.
측정치의 종류 (예를 들어, 전류치, 전압, 압력 등) 와, 로트와, 진공 처리의 종류는, 파일 명칭으로부터 특정할 수 있다. 측정치 특정란 (210) 에는, 읽어들인 각 측정치의 파일 명칭 (251) (명칭 1 ～ 6) 을 종 일렬로 표시하는 명칭 표시열 (211) 이 형성되어 있다.
또, 측정치 특정란 (210) 에는, 읽어들인 측정치 중, 그래프 표시를 하는 측정치를 지시하기 위한 표시 지시열 (214) 이 형성되어 있다.
상기 서술한 화면 (100) 과 동일하게, 표시하는 X-Y 좌표는, Y 축을 좌측과 우측의 2 개 갖고 있고, 측정치를 좌측의 Y 축의 눈금이나, 우측의 Y 축의 눈금 중 어느 것에 대응시켜 그래프를 표시할 수 있고, 측정치 특정란 (210) 에는, Y 축을 선택하기 위한 Y 축 지시열 (215) 이 형성되어 있고, 또, 주메이저선의 표시를 지시하는 메이저 지시열 (213) 이 형성되어 있다.
표시 지시열 (214) 에 종 일렬로 표시된 체크 박스 (254) 에 체크하면, 체크가 된 측정치가 그래프 표시 영역 (230) 에, 곡선으로서 표시되고, Y 축 지시열 (215) 에 각각 종 일렬로 표시된 좌측의 Y 축의 체크 박스 (256) 와, 우측의 Y 축의 체크 박스 (255) 중 어느 일방에 체크를 함으로써, 측정치에 대응하는 Y 축이 왼쪽인지 오른쪽인지가 선택된다. 메이저 지시열 (213) 에 종 일렬로 배치된 체크 박스 (253) 에 1 개용의 마크 또는 2 개용의 마크를 함으로써, 1 개 또는 2 개의 주메이저선을 표시할 수 있다.
또, 측정치 특정란 (210) 에는, 그래프선의 색을 지시하기 위한 색 지시열 (212) 이 형성되어 있고, 색 지시열 (212) 에 종 일렬로 표시되는 색 샘플 (252) 의 색을 변경함으로써, 표시되는 그래프선의 색을 변경할 수 있다.
각 열 (211 ～ 214) 의 체크 박스 등의 표시 내용은, 표시 내용과 측정치의 파일 명칭 (251) 의 대응이 보기 쉽도록, 표시 내용과 파일 명칭 (251) 은 동일 높이에 표시되어 있다.
신호 특정란 (220) 에 대해서도, Y 축 지시열 (215) 이외에는, 측정치 특정란 (210) 과 동일하게 되어 있고, 명칭 표시열 (221) 과, 색 지시열 (222) 과, 메이저 지시열 (223) 과, 표시 지시열 (224) 이 형성되어 있다.
메이저 지시열 (223) 에서 지시된 주메이저선과 제어 신호의 타이밍 차트 (절선) 의 교점은, 교점이 위치하는 부분의 제어 신호가 동작 신호인지 정지 신호인지의 신호 상태를, 하이를 나타내는 수치나 로우를 나타내는 수치로 화면 (200) 에 표시한다. 하이를 나타내는 수치와 로우를 나타내는 수치 대신에, 기호나 도형 등, 다른 방법으로 신호 상태를 나타내도 된다.
도면 중, 부호 261 은 로트나 진공 처리를 특정할 수 있는 제어 신호의 명칭 (「명칭 11」～「명칭 16」) 을 나타내고, 부호 262 는 색 샘플, 부호 263, 264 는, 체크 박스를 나타내고 있다.
측정치 특정란 (210) 과 신호 특정란 (220) 의 체크 박스 (253 ～ 256, 263, 264) 를 사용하고, 체크를 기재하여 표시하는 측정치를 선택하면, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 그래프 표시 영역 (230) 에, 선택된 측정치로부터 제작된 복수의 그래프선 (232) 이 표시된다. 이 그래프선 (232) 은, 진공 처리마다 상이한 곡선으로서 X-Y 좌표 (231) 상에 표시된다.
타이밍 차트 표시 영역 (240) 에는, 제어 신호로부터 제작된 절선으로 이루어지는 타이밍 차트 (234) 가 시간축 (241) 과 함께 표시되어 있다. 시간축 (241) 은, 화면 (200) 상에서 X-Y 좌표 (231) 의 X 축의 바로 아래에 위치하고, X 축과 평행하다.
본 예에서도, 그래프 표시하는 측정치는, 상이한 로트에 속하는 기판인 것으로 하고, 측정치가 얻어진 진공 처리를 제어한 제어 신호에 포함되는 맨 처음의 동작 정지로부터 동작 중으로 변경된 변경 시각을 기준 시각으로 하여 설정되어 있다.
X 축의 단위길이당의 시간, Y 축의 단위길이당의 측정치의 크기, 각 측정치의 X 축 상 환산 시각, X-Y 좌표의 원점, 기준 시각의 위치, 시간축 상 환산 시각 등, X-Y 좌표나 곡선, 개시 시각, 정지 시각, 타이밍 차트의 표시 방법은, 본 제 2 발명과 후술하는 제 3 발명에서도 상기 서술한 바와 같으며, 각 측정치의 X 좌표와 Y 좌표가 구해지고, 하나의 기판의 측정치를 최소 이승법 등으로 1 개의 그래프선으로 하여 표시하거나, 측정치의 좌표치의 점을 선분으로 연결하여 그래프선으로서 표시할 수 있다.
또, 본 제 2 발명과 후술하는 제 3 발명에서도, 제 1 발명과 동일하게, 측정치는, 처리 기기 (31 ～ 38) 나 센서 장치가 출력한 측정 결과를 나타내는 값이다.
도 9 에 나타내는 바와 같이, 표시 지시열 (214) 의 체크 박스 (254) 에 대한 체크에 의해 표시하는 파일 명칭을 지시하면, 지시된 파일 명칭의 측정치가 그래프선 (232) 으로서 표시된다. 여기서는 그래프선 (232) 은 5 개이다.
도 9 에 나타내는 바와 같이, 그래프 표시 영역 (230) 과 타이밍 차트 표시 영역 (240) 에는, 복수의 그래프선 (232) 과 복수의 타이밍 차트 (234) 가 각각 표시되어 있고, 각 측정치에 대한 제어 신호 중의 맨 처음의 개시 시각이 기준 시각이 된 그래프선 (232) 중에서는, 그래프선 (232) 의 피크 위치가 좌방에 있는 산형 형상의 그래프선 (232a) 과 우방에 있는 산형 형상의 그래프선 (232b) 이 보인다.
본 발명의 데이터 분석 프로그램에서는, 그래프 표시 영역 (230) 에는, X 축과 수직인 복수 (본 예에서는 2 개) 의 주메이저선을 표시시킬 수 있고, 또, 타이밍 차트 표시 영역 (240) 에도, 시간축 (241) 에 수직인 복수 (본 예에서는 2 개) 의 보조 메이저선을 표시시킬 수 있다.
주메이저선과 보조 메이저선을 각각 표시시키는 경우에는, 메이저 지시열 (213, 223) 의 체크 박스 (253, 263) 에 마크를 한다.
본 예에서는, 컴퓨터 (40) 는, 주메이저선과 보조 메이저선을 2 개씩 표시시키도록 구성되어 있고, 도 10 에서는, 제 1 주메이저선 (201) 이, 좌방의 산형 형상의 그래프선 (232a) 의 피크를 통과하고, 제 2 주메이저선 (202) 이, 우방의 산형 형상의 그래프선 (232b) 의 피크를 통과하도록 배치되어 있다.
주메이저선과 보조 메이저선은 X 축 상 환산 시각이나 시간축 상 환산 시각을 입력하고, 입력한 X 축 상 환산 시각이나 시간축 상 환산 시각으로 이동시키거나, 마우스 등으로 클릭하여 마우스의 이동량에 대응한 거리를 이동시킬 수 있다.
제 1 주메이저선 (201) 이 위치하는 X 축 상 환산 시각과 제 1 보조 메이저선 (203) 이 위치하는 시간축 상 환산 시각은 동일해지도록 되어 있고, 또, 제 2 주메이저선 (202) 이 위치하는 X 축 상 환산 시각과 제 2 보조 메이저선 (204) 이 위치하는 시간축 상 환산 시각도 동일해지도록 되어 있다.
제 1, 제 2 주메이저선 (201, 202) 을 이동시키는 경우, 메이저 지시열 (213) 에서 마크가 되어 선택된 측정치 중에, 이동을 위해서 입력된 X 축 상 환산 시각이나, 마우스에 의한 이동에 의한 이동처의 X 축 상 환산 시각에 대응하는 측정치가 없었던 경우에는, 마크로 선택된 측정치 중에서, 입력된 X 축 상 환산 시각에 가장 가깝고, 측정치와 대응시켜져 있는 X 축 상 환산 시각으로 제 1, 제 2 주메이저선 (201, 202) 은 이동된다.
제 1, 제 2 보조 메이저선 (203, 204) 은, 제 1, 제 2 주메이저선 (201, 202) 이 이동된 X 축 상 환산 시각과 동일한 시각인 시간축 상 환산 시각으로 이동된다.
반대로, 제 1, 제 2 보조 메이저선 (203, 204) 을 이동시키면, 이동된 제 1, 제 2 보조 메이저선 (203, 204) 의 시간축 상 환산 시각과 동일한 시각의 X 축 상 환산 시각으로 제 1 주메이저선 (201) 이 이동된다.
이 때, 제 1, 제 2 주메이저선 (201, 202) 의 이동처의 X 축 상 환산 시각에 측정치가 대응되어 있는 경우에는, 제 1, 제 2 주메이저선 (201, 202) 이 그 X 축 상 환산 시각으로 이동되고, 제 1, 제 2 보조 메이저선 (203, 204) 은, 그 X 축 상 환산 시각과 동시각의 시간축 상 환산 시각으로 이동된다.
한편, 이동처의 X 축 상 환산 시각에 측정치가 대응되어 있지 않은 경우에는, 메이저 지시열 (213) 의 마크에 의해 선택된 측정치 중에서, 이동처의 X 축 상 환산 시각에 가장 가깝고, 측정치에 대응시켜져 있는 X 축 상 환산 시각이 선택되고, 그 X 축 상 환산 시각과, 그것과 동시각의 시간축 상 환산 시각으로, 제 1 또는 제 2 주메이저선 (201, 202) 과 제 1 또는 제 2 보조 메이저선 (203, 204) 이 각각 이동된다.
또, 메이저 지시열 (213) 에서 마크가 되어 선택된 측정치 중에서, 제 1, 제 2 주메이저선 (201, 202) 이 위치하는 X 축 상 환산 시각을 제 1, 제 2 시각으로 하고, 제 1, 제 2 시각에 대응하는 측정치를 제 1, 제 2 측정치라고 부르는 것으로 하면, 제 1, 제 2 시각은 위치를 알 수 있게 되고, 제 1, 제 2 시각간의 시간과 함께 도 10 의 「계산치 1」로서 화면 (200) 에 표시되고, 제 1, 제 2 측정치는, 제 1, 제 2 주메이저선 (201, 202) 과 그래프선 (232) 의 교점을 구별하는 기호 「P1」～「P4」와 함께 화면 (200) 에 표시된다.
본 발명은, 표시된 복수의 그래프선 (232) 중, 1 이상의 원하는 개수의 그래프선 (232) 을 선택하고, 선택한 1 개 이상의 그래프선 (232) 을 1 개의 선택군으로 하여, 1 개의 선택군에 포함되는 그래프선 (232) 을 함께 이동할 수 있도록 구성되어 있고, 선택하여 이동시키는 X 축 상의 거리를 시간으로서 키보드로부터 입력하거나, 또는, 그래프선 (232) 중에서 지정한 측정점을 위치시키는 X 축 상 환산 시각을 입력하거나, 마우스로 원하는 개수 선택하여 마우스 포인터와 함께 이동시키고, 또는, 원하는 개수 선택한 후, 키보드의 특정 키의 압하 시간에 대응시켜 이동하는 등의 이동 방법에 의해, 선택된 원하는 개수의 그래프선 (232) 을 X 축과 평행하게 이동할 수 있도록 되어 있다.
선택한 2 개 이상의 그래프선을 제 1 선택군, 그 밖에 선택한 2 개 이상의 그래프선을 제 2 선택군으로 하면, 제 1 측정치는, 주메이저선과 교차한 제 1 선택군 중의 각 그래프선의, 교차한 점의 X 축 상 환산 시각에 가장 가까운 X 축 상 환산 시각에 대응된 측정치이고, 제 2 측정치는, 주메이저선과 교차한 제 2 선택군 중의 각 그래프선의, 교차한 점의 X 축 상 환산 시각에 가장 가까운 X 축 상 환산 시각에 대응된 측정치이고, 그래프선마다 제 1, 제 2 측정치가 설정된다.
제 1, 제 2 측정치는, 입력 장치 (46) 에 의해 입력해도 된다.
또한, 상기 서술한 바와 같이, 측정치의 측정 시간은 등간격이고, 따라서, 측정치에 대응하는 X 축 상 환산 시각도 등간격으로 되어 있다. 1 개의 그래프선 (232) 중의 1 개의 측정치에 대응된 X 축 상 환산 시각에는, 다른 그래프선 (232) 중의 측정치도 대응되어 있고, 그래프선 (232) 의 이동량은, 인접하는 X 축 상 환산 시각간의 시간을 단위시간으로 하여, 단위시간의 정수 배로 되어 있다.
따라서, 그래프선 (232) 의 이동량으로서 지정된 이동 시간이나, 이동처로서 지정된 X 축 상 환산 시각으로부터 구해진 이동 시간은, 반올림, 올림, 버림 등에 의해 단위시간의 정수 배의 이동 시간으로 변환되고, 각 측정점의 X 축 상 환산 시각은, 변환된 이동 시간에 기초하여 변경되고, 그 측정치의 그래프선 (232) 도 이동 후의 X 축 상 환산 시각에 기초하여 재기록된다.
이 때, 선택된 그래프선 (232) 에 관련되는 제어 신호, 예를 들어, 선택된 그래프선 (232) 의 진공 처리를 실시한 제어 신호는, 개시 시각과 정지 시각의 시간축 상 변환 시각이 X 축 상 환산 시각을 변경하는 이동 시간과 동시간 변경되고, 타이밍 차트 (241) 도, 그래프선 (232) 의 이동 시간과 동시간, 동방향으로 시간축 (241) 과 평행하게 이동된다.
타이밍 차트 표시 영역 (240) 에 표시된 타이밍 차트 (241) 중 원하는 것을 선택하고, 키보드에 의한 입력, 이동처의 X 축 상 환산 시각의 지정, 마우스 포인터의 이동과 함께 이동, 커서에 의한 이동 등, 그래프선 (232) 을 이동시킬 때와 동일한 수단에 의해 이동시키고, 이동시키는 제어 신호에 관련된 측정치의 그래프선 (232), 예를 들어, 선택한 타이밍 차트 (234) 의 제어 신호가 제어한 진공 처리시에 측정된 측정치의 그래프선 (232) 을 함께 이동시켜도 된다.
이 경우도, 인접하는 측정치의 X 축 상 환산 시각간의 시간을 단위시간으로 하면, 이동량은 단위시간의 정수 배이고, 입력된 시간이나, 이동처의 시간축 상 환산 시각은, 상기와 동일하게, 반올림, 올림, 버림 등에 의해 단위시간의 정수 배인 이동 시간으로 변환되고, 이동되는 제어 신호의 시간축 상 변환 시각이나, 이동되는 측정치의 X 축 상 환산 시각은, 변환된 이동 시간에 기초하여 계산되어 표시된다.
제 1 시각과 제 2 시각의 차는, 좌방의 산형 형상의 그래프선 (232a) 의 피크 위치와, 우방의 산형 형상의 그래프선 (232b) 의 피크 위치의 시간차이고, 마우스 등에 의해 일방의 산형 형상의 그래프선 (232a 또는 232b) 을 선택하고, 타방의 산형 형상 (232a 또는 232b) 의 그래프선과의 사이의 피크 위치의 시간차가 제로가 되도록 이동시키면, 각 그래프선 (232) 의 피크 위치가 도 11 에 나타내는 바와 같이 중첩되어, 각 그래프선 (232a, 232b) 의 형상이나 높이를 간단하게 비교할 수 있다.
또, 타이밍 차트 (234) 는, 동작 신호를 위, 정지 신호를 아래로 하여 그려져 있고, 타이밍 차트 표시 영역 (240) 에서는, 타이밍 차트 (234) 에는, 동작 신호의 상승 (281) 의 시각이 기준 시각이 된 형상 (234a) 의 것과, 제어 신호에 포함되는 노이즈의 상승 (282) 이 동작 신호로 오인되어, 기준 신호가 된 형상 (234b) 이 있는 것을 알 수 있다.
각 그래프선 (232) 은, 각 그래프선 (232) 에 대응한 제어 신호에 포함되는 맨 처음의 동작 신호의 시간축 상 환산 시각을 기준 시각으로 하고 있지만, 오인된 형상 (234b) 의 올바른 상승 (283) 을 기준 시각의 위치에 이동시키도록, 타이밍 차트 (234) 를 이동시키고, 대응하는 그래프선 (232) 을 함께 이동시켜 중첩시켜도 된다.
그래프선 (232) 이 이동되고, 측정치에 대응한 X 축 상 환산 시각은 이동량만큼 수정되므로, 화면 (200) 에 표시되는 제 1, 제 2 측정치는, 측정 시각이 수정 후의 X 축 상 환산 시각에 동등한 측정치가 된다. 따라서, 지정된 그래프선 (232) 의 제 1 측정치의 차는, 이동하지 않은 그래프선 (232) 의 제 1 측정치와 이동 후의 그래프선 (232) 의 제 1 측정치의 차가 된다.
도 12 는, 각 그래프선 (232) 의 피크가 일치된 상태이고, 제 1, 제 2 주메이저선 (201, 202) 을 일치 후의 그래프선 (232) 상에서 이동시킴으로써, 관찰하고자 하는 위치의 X 축 상 환산 시각이나 제 1, 제 2 측정치를 표시시킬 수 있다.
＜제 3 발명의 실시예＞
본 발명은, 상기 제 1, 제 2 발명에서 설명한 내용에 추가하여, 하기에 설명하는 제 3 발명의 내용도 갖고 있다.
도 13 의 부호 300 은, 컴퓨터 (40) 에 접속된 표시 장치 (44) 의 화면을 나타내고 있다. 컴퓨터 (40) 와 LAN 등의 수단에 의해 교신하는 다른 컴퓨터의 표시 장치의 화면이어도 된다.
화면 (300) 에도, 제 1, 제 2 발명의 화면 (100, 200) 과 동일하게, 그래프 표시하는 측정치와, 그 측정치에 대응하는 제어 신호를 특정하기 위해서, 측정치 특정란 (310) 과, 신호 특정란 (320) 이 형성되어 있고, 측정치의 변화와, 제어 신호의 변화를 대응하여 시인할 수 있도록, 측정치의 그래프선을 표시하는 그래프 표시 영역 (330) 과, 제어 신호를 표시하는 타이밍 차트 표시 영역 (340) 으로 구분되어 있다. 타이밍 차트 표시 영역 (340) 에서는, 동작 신호와 정지 신호를 구별할 수 있고, 개시 시각과 정지 시각의 위치를 알 수 있도록 제어 신호가 표시된다.
측정치의 내용은 상기 서술한 바와 같고, 이 화면 (300) 에서는, 측정치 특정란 (310) 에, 명칭 표시열 (311) 이 형성되고, 그 중에, 그래프 표시를 대상으로 하는 측정치의 파일 명칭 (351) (명칭 1 ～ 5) 을 종 일렬로 표시하도록 되어 있다.
또, 측정치 특정란 (310) 에는, 그래프 표시를 하는 측정치를 지시하기 위한 표시 지시열 (314) 이 형성되어 있다.
상기 서술한 화면 (100, 200) 과 동일하게, 표시하는 X-Y 좌표는, Y 축을 좌측과 우측의 2 개 갖고 있고, 측정치를 좌측의 Y 축의 눈금이나, 우측의 Y 축의 눈금 중 어느 것에 대응시켜 그래프를 표시할 수 있고, 측정치 특정란 (310) 에는, Y 축을 선택하기 위한 Y 축 지시열 (315) 이 형성되어 있고, 또, 후술하는 주메이저선의 표시의 지시를 하는 메이저 지시열 (313) 이 형성되어 있다.
표시 지시열 (314) 에 종 일렬로 표시된 체크 박스 (354) 에 체크하면, 체크가 된 측정치가 그래프 표시 영역 (330) 에 그래프 표시되고, Y 축 지시열 (315) 에 각각 종 일렬로 표시된 좌측의 Y 축의 체크 박스 (356) 와, 우측의 Y 축의 체크 박스 (355) 중 어느 일방에 체크를 함으로써, 측정치를 대응시키는 Y 축이 왼쪽인지 오른쪽인지가 선택되고, 메이저 지시열 (313) 에 종 일렬로 배치된 체크 박스 (353) 에 1 개용의 마크 또는 2 개용의 마크를 함으로써, 원하는 주메이저선이 표시된다.
또, 측정치 특정란 (310) 에는, 그래프선의 색을 지시하기 위한 색 지시열 (312) 이 형성되어 있고, 색 지시열 (312) 에 종 일렬로 표시되는 색 샘플 (352) 의 색을 변경함으로써, 표시되는 그래프선의 색을 변경할 수 있다.
각 열 (311 ～ 314) 의 체크 박스 등의 표시 내용은, 표시 내용과 측정치의 명칭 (351) 의 대응이 보기 쉽도록, 표시 내용과 파일 명칭 (351) 은 동일 높이에 표시되어 있다.
신호 특정란 (320) 에 대해서도, Y 축 지시열 (315) 이외에는, 측정치 특정란 (310) 과 동일하게 되어 있고, 명칭 표시열 (321) 과, 색 지시열 (322) 과, 메이저 지시열 (323) 과, 표시 지시열 (324) 이 형성되어 있다.
메이저 지시열 (323) 에서 지시된 주메이저선과 제어 신호의 타이밍 차트 (절선) 의 교점의 신호 상태의 표시는 상기 서술한 바와 같다.
도면 중, 부호 361 은 제어 신호의 명칭을 나타내고, 부호 362 는 색 샘플, 부호 363, 364 는, 체크 박스를 나타내고 있다.
제 1 ～ 제 3 발명에 있어서, 명칭 표시열 (121, 221, 321) 에 표시된 제어 신호의 명칭에 의해, 제어 신호가 출력된 로트나, 제어 신호가 제어한 진공 처리를 특정할 수 있다.
측정치 특정란 (310) 과 신호 특정란 (320) 의 체크 박스 (353 ～ 356, 363, 364) 를 사용하고, 체크를 기재하여 측정치를 그래프선으로 하여 표시하는 파일명을 선택하고, 도 14 에 나타내는 바와 같이, 그래프 표시 영역 (330) 에는, 선택된 파일명의 측정치로부터 제작된 그래프선 (332) 이 표시된다. 이 그래프선 (332) 은, 상이한 기판의 측정치마다 따로 따로, X-Y 좌표 (331) 상에 X-Y 좌표 (331) 와 함께 표시된다.
타이밍 차트 표시 영역 (340) 에는, 제어 신호로부터 제작된 타이밍 차트 (334) 가 시간축 (341) 과 함께 표시되어 있다. 상기 예와 마찬가지로, 시간축 (341) 은, 화면 (300) 상에서 X-Y 좌표 (331) 의 X 축의 바로 아래에 위치하고, X 축과 평행하다.
또, 좌우의 Y 축 중, Y 축 지시열 (315) 에 의해 지정된 Y 축 상의 단위시간당의 값과, X 축과 지시된 Y 축의 교점 (좌측 Y 축과 X 축의 교점이 X-Y 좌표 (331) 의 원점이다) 의 값은, 입력되거나, 또는 측정치의 크기로부터 구해져 있다.
본 예에서도, 도 14 에 나타내는 바와 같이, 표시 지시열 (314) 의 체크 박스 (354) 에 대한 체크에 의해 지시된 측정치가 그래프선 (332) 으로서 표시되고, 그 제어 신호가 타이밍 차트 (334) 로서 표시되어 있다. 개시 시각과 정지 시각은, 그 시간축 상 환산 시각의 값에 따른 시간축 (341) 상의 위치이다.
이 데이터 분석 프로그램에서는, 그래프 표시 영역 (330) 에는, X 축과 수직인 1 개, 또는 2 개 이상 (본 예에서는 2 개) 의 주메이저선 (제 1, 제 2 주메이저선) 을 표시시킬 수 있다. 또, 타이밍 차트 표시 영역 (340) 에도, 시간축 (341) 에 수직인 1 개, 또는 2 개 이상 (본 예에서는 2 개) 의 보조 메이저선 (제 3, 제 4 주메이저선) 을 표시시킬 수 있다.
1 개의 주메이저선과 1 개의 보조 메이저선을 표시시키는 경우에는, 메이저 지시열 (313, 323) 의 1 또는 복수의 체크 박스 (353, 363) 에, 1 개 표시용의 마크를 한다.
도 15 는 그 상태이며, 측정치 특정란 (310) 과 신호 특정란 (320) 에는, 각각 2 개의 체크 박스 (353, 363) 에 1 개용의 마크가 되어 있다. 1 개용의 마크가 되면, 그래프 표시 영역 (330) 의 미리 설정된 위치에 제 1 주메이저선 (301) 이 표시된다. 이 때, 타이밍 차트 표시 영역 (340) 에서는, 제 1 주메이저선 (301) 이 위치하는 X 축 상 환산 시각과 동일한 시각의 시간축 상 환산 시각에, 제 1 보조 메이저선 (303) 이 표시된다.
여기서는, 기준 시각의 위치로부터 미리 설정된 거리만큼 이간된 X 축 상 환산 시각과 시간축 상 환산 시각의 위치에 제 1 주메이저선 (301) 과 제 1 보조 메이저선 (303) 이 각각 표시되도록 되어 있다.
1 개용의 마크가 되어 선택된 측정치 중에서, 제 1 주메이저선 (301) 이 표시되는 위치의 X 축 상 환산 시각에 대응하는 측정치가 있었던 경우에는, 그 측정치는, 교점인 것과, 교점을 나타내는 「P」를 첨부 숫자로 구별하기 위한 부호 「P1」, 「P2」와 함께, 그래프 표시 영역 (330) 에 표시된다.
제 1 주메이저선 (301) 이 표시되는 위치의 X 축 상 환산 시각에 대응하는 측정치가 없었던 경우에는, 1 개용의 마크로 선택된 측정치 중에서, 제 1 주메이저선 (301) 의 X 축 상 환산 시각에 가장 가깝고, 측정치와 대응시켜져 있는 X 축 상 환산 시각으로 제 1 주메이저선 (301) 은 이동된다. 제 1 보조 메이저선 (303) 도, 제 1 주메이저선 (301) 이 이동된 X 축 상 환산 시각과 동일한 시각인 시간축 상 환산 시각으로 이동된다.
그리고, 이동 후의 X 축 상 환산 시각에 대응시켜진 측정치는, 상기와 같이, 교점을 구별하기 위한 기호 「P1」, 「P2」와 함께, 그래프 표시 영역 (330) 에 표시된다.
이 때, 복수의 체크 박스 (353) 에 1 개용의 마크가 되고, 복수의 파일명이 선택되어 있는 경우에는, 선택된 파일명의 그래프선을 제 1 선택군으로 하면, 제 1 선택군 중의 그래프선 중의 측정치 중에서, 제 1 주메이저선 (301) 의 X 축 상 환산 시각과 대응된 측정치는 그래프선마다 상이하고, 상이한 그래프선 중의, 제 1 주메이저선 (301) 의 X 축 상 환산 시각과 대응된 측정치끼리의 차가 계산되어, 차가 어느 그래프선 (332) 의 값끼리의 차인지와 함께, 화면 (300) 에 표시된다 (「계산치 1」).
또, 제 1 보조 메이저선 (303) 과 타이밍 차트 (334) 의 교점이 동작 신호인지 정지 신호인지의 신호 상태를 알 수 있도록, 교점이 동작 신호 또는 정지 신호를 구별할 수 있는 값이나 기호가 교점을 구별하기 위한 기호 「P1」, 「P2」와 함께 화면 (300) 에 표시된다.
제 1 주메이저선 (301) 이나 제 1 보조 메이저선 (303), 및 후술하는 제 2 주메이저선 (302) 이나 제 2 보조 메이저선 (304) 은, 시각을 입력하는 것이나, 마우스나 커서로 움직이게 하는 것에 의해 이동시킬 수 있다.
제 1 주메이저선 (301) 을 이동시키는 경우, 이동된 제 1 주메이저선 (301) 의 X 축 상 환산 시각과 동일한 시각의 시간축 상 환산 시각으로 제 1 보조 메이저선 (303) 이 이동되고, 반대로, 제 1 보조 메이저선 (303) 을 이동시키면, 이동된 제 1 보조 메이저선 (303) 의 시간축 상 환산 시각과 동일한 시각의 X 축 상 환산 시각으로 제 1 주메이저선 (301) 이 이동된다.
이 때, 제 1 주메이저선 (301) 의 이동처의 X 축 상 환산 시각에 측정치가 대응되어 있는 경우에는, 제 1 주메이저선 (301) 이 그 X 축 상 환산 시각으로 이동되고, 제 1 보조 메이저선 (303) 은, 그 X 축 상 환산 시각과 동시각의 시간축 상 환산 시각으로 이동되고, 표시되는 측정치와, 표시되는 측정치끼리의 차는, 이동 후의 측정치를 사용한 것으로 변경된다.
이동처의 X 축 상 환산 시각에 측정치가 대응되어 있지 않았던 경우에는, 메이저 지시열 (313) 의 마크에 의해 선택된 측정치 중에서, 이동처의 X 축 상 환산 시각에 가장 가깝고, 측정치에 대응시켜져 있는 X 축 상 환산 시각이 선택되고, 그 X 축 상 환산 시각과, 그것과 동시각의 시간축 상 환산 시각으로, 제 1 주메이저선 (301) 과 제 1 보조 메이저선 (303) 이 각각 이동되고, 이동 후의 측정치와 이동 후의 교점의 신호 상태를 사용한 표시가 된다.
시각의 입력이나 화면상에서의 마우스 등을 사용한 이동에 의해, 제 1 보조 메이저선 (303) 을 이동시킴으로써, 제 1 주메이저선 (301) 을 연동하여 이동시킬 수도 있다.
이동처의 시간축 상 환산 시각과 동시각의 X 축 상 환산 시각에 측정치가 대응시켜져 있지 않은 경우에는, 메이저 지시열 (313) 의 마크에 의해 선택된 측정치 중에서, 이동처의 시간축 상 환산 시각과 동시각의 X 축 상 환산 시각에 가장 가깝고, 측정치에 대응시켜져 있는 X 축 상 환산 시각이 선택되고, 제 1 주메이저선 (301) 이 이동된다. 이동되는 X 축 상 환산 시각과 동시각의 시간축 상 환산 시각으로 제 1 보조 메이저선 (303) 이 이동된다. 측정치나 차의 표시는 이동 후의 측정치를 사용한 값이 표시된다.
다음으로, 메이저 지시열 (313, 323) 의 체크 박스 (353, 363) 는, 마크가 되어 있지 않은 상태에서는, 맨 처음에 1 개용의 마크를 할 수 있도록 구성되어 있고, 다음으로, 1 개용의 마크가 되어 있을 때에는, 그것을 2 개용의 마크로 재기록할 수 있도록 되어 있다. 도 15, 도 16 의 마크의 색으로 표시된다.
2 개용의 마크가 되면, 제 1 주메이저선 (301) 과 제 1 보조 메이저선 (303) 에 추가하여, 도 16 에 나타내는 바와 같이, 제 2 주메이저선 (302) 과 제 2 보조 메이저선 (304) 이 X-Y 좌표 (331) 상과 시간축 (341) 상의 미리 설정된 위치에 각각 표시된다.
제 2 주메이저선 (302) 과 제 2 보조 메이저선 (304) 에 대해서도, 제 1 주메이저선 (301) 과 제 1 보조 메이저선 (303) 과 동일하게 제 2 주메이저선 (302) 은, 측정치에 대응된 X 축 상 환산 시각에 위치할 수 있고, 이동처의 X 축 상 환산 시각에 측정치가 대응되어 있지 않은 경우, 제 1 주메이저선 (301) 과 동일한 순서로, 측정치에 대응된 X 축 상 환산 시각으로 이동되고, 그 X 축 상 환산 시각과 동시각의 시간축 상 시각으로 제 2 보조 메이저선 (304) 은 이동된다.
또, 제 2 주메이저선 (302) 과 제 2 보조 메이저선 (304) 에 대해서도, 제 1 주메이저선 (301) 과 제 1 보조 메이저선 (303) 과 동일하게 위치를 변경할 수 있고, 이동은 시각 입력이어도 되고 마우스나 커서 등에 의한 이동이어도 된다.
제 1 주메이저선 (301) 이 위치하는 X 축 상 환산 시간을 제 1 시각, 제 2 주메이저선 (302) 이 위치하는 시각을 제 2 시각으로 하면, 화면 (300) 에는, 제 1 시각과 제 2 시각과 함께, 제 1 시각과 제 2 시각의 차인 시간이 표시된다.
또, 선택된 측정치 중의 제 1 시각에 대응시켜진 측정치를 제 1 측정치로 하고, 각 그래프선 (332) 간의 제 1 측정치끼리의 차를 구하여 표시하고, 또, 제 2 시각에 대응시켜진 측정치를 제 2 측정치로 하면, 각 그래프선 (332) 간의 제 2 측정치끼리의 차를 구하여 표시하고, 또한, 2 개용의 마크가 된 그래프선 (332) 중의 측정치로서, 1 개의 그래프선 (332) 의 제 1 측정치와 제 2 측정치의 차를, 2 개용의 마크가 된 측정치의 그래프선 (332) 마다 표시한다. 도 16 중에서는 「계산치 2」의 란이다.
제 1 측정치 또는 제 2 측정치에 복수의 측정치가 포함되는 경우에는, 제 1 측정치의 평균치, 또는 제 2 측정치의 평균치를 구하여, 평균치끼리의 차, 또는 평균치와 제 1 또는 제 2 측정치의 차를 구하게 할 수도 있다.
각 차의 값은, 정부(正負) 부호를 포함시켜도 되고, 절대치로 나타내도 된다.
1 개의 그래프선 (332) 의, 제 1 측정치와 제 2 측정치의 차를, 그래프선 (332) 끼리 비교함으로써, 각 그래프선 (332) 이 그려진 진공 처리 상태의 차를 알 수 있고, 진공 처리가 실시된 기판 (15) 의 특성을 측정한 결과의 비교와, 진공 처리의 비교에 의해, 장치 상태의 변화 등을 알 수 있게 된다. 특히, 처리 기기군 (23, 24) 에 포함되는 처리 기기 (31 ～ 38) 의 동작이 개시되는 시각을 기준 시각으로 하여, 복수의 진공 처리에 대하여, 각각 제 1, 제 2 시각 사이의 차를 구하여 비교하면, 비교 대상이 된 측정치에 관계되는 처리 기기 (31 ～ 38) 의 처리 내용을 비교할 수 있다.
1 : 진공 처리 장치
11 : 진공조
15 : 처리 대상물
20 : 진공 처리부
21 : 제어부
23, 24 : 처리 기기군
31 ～ 38 : 처리 기기
40 : 컴퓨터
42 : 연산 장치
43 : 기억 장치
44 : 표시 장치
46 : 입력 장치
131 : X-Y 좌표
132 : 제 1 차 그래프선
134, 134a, 134b : 제 2 차 그래프선
141 : 시간축
144a, 144b : 타이밍 차트
201 : 제 1 주메이저선
202 : 제 2 주메이저선
203 : 제 1 보조 메이저선
204 : 제 2 보조 메이저선
231 : X-Y 좌표
241 : 시간축
301 : 제 1 주메이저선
302 : 제 2 주메이저선
303 : 제 3 주메이저선
304 : 제 4 주메이저선
331 : X-Y 좌표
332 : 그래프
334 : 타이밍 차트
341 : 시간축
11 : 진공조
15 : 처리 대상물
20 : 진공 처리부
21 : 제어부
23, 24 : 처리 기기군
31 ～ 38 : 처리 기기
40 : 컴퓨터
42 : 연산 장치
43 : 기억 장치
44 : 표시 장치
46 : 입력 장치
131 : X-Y 좌표
132 : 제 1 차 그래프선
134, 134a, 134b : 제 2 차 그래프선
141 : 시간축
144a, 144b : 타이밍 차트
201 : 제 1 주메이저선
202 : 제 2 주메이저선
203 : 제 1 보조 메이저선
204 : 제 2 보조 메이저선
231 : X-Y 좌표
241 : 시간축
301 : 제 1 주메이저선
302 : 제 2 주메이저선
303 : 제 3 주메이저선
304 : 제 4 주메이저선
331 : X-Y 좌표
332 : 그래프
334 : 타이밍 차트
341 : 시간축
Claims (44)
- 진공조 내에 배치된 처리 대상물을 진공 처리하는 진공 처리부와,
상기 진공 처리부가 출력한 복수의 측정치를, 측정 시각과 함께 상기 진공 처리와 대응시켜 기억하는 기억 장치와,
상기 측정치를 연산하는 연산 장치와,
상기 연산 장치의 연산 결과를 표시하는 표시 장치를 갖는 진공 처리 장치로서,
상기 기억 장치에는, 데이터 분석 프로그램이 기억되고,
상기 데이터 분석 프로그램은,
상기 기억 장치 내에 기억된 복수의 상기 측정치로부터, 그래프선을 표시하는 측정치가 선택되면, 선택된 상기 측정치의 상기 측정 시각을, 소정의 기준 시각으로부터의 시간인 X 축 상 환산 시각으로 환산하고,
X-Y 좌표의 X 축 상의 소정 위치를 상기 기준 시각의 위치로 하여, 상기 X 축 상 환산 시각으로부터 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정치의 크기로부터 Y 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정 시각이 연속되어 있는 복수의 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치와 상기 Y 축 상의 위치로부터 제 1 차 그래프선을 생성하여 상기 X-Y 좌표와 함께 표시 장치에 표시하고,
표시한 상기 제 1 차 그래프선의 상기 측정 시각 중 1 개를 추출 시점(始點) 시각으로 하고,
상기 제 1 차 그래프선의 상기 측정치 중, 상기 측정 시각이 상기 추출 시점 시각 이후인 상기 측정치를 추출하고,
상기 추출 시점 시각을 상기 기준 시각으로 하여, 추출한 상기 측정치와 상기 측정 시각으로부터, 상기 X-Y 좌표 상에 제 2 차 그래프선을 표시하도록 구성되고,
상기 진공 처리를 실시하는 처리 장치를 동작시키는 동작 신호와, 동작을 정지시키는 정지 신호가 포함되는 제어 신호가 상기 제어 장치로부터 출력되고,
상기 제어 신호는, 상기 동작을 개시하는 동작 개시 시각과 상기 동작의 정지를 개시하는 동작 정지 시각과 함께 상기 기억 장치에 기억되고,
상기 데이터 분석 프로그램은,
상기 기억 장치에 기억된 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의, 상기 기준 시각으로부터의 시간인 시간축 상 환산 시각을 구하고,
상기 표시 장치 상에서는, 상기 X 축과 이간된 위치에, 상기 X 축과 평행하게 시간축을 표시하고,
상기 Y 축과 평행한 일직선이 상기 X 축과 상기 시간축에 교차한 교점이 각각 나타내는 상기 X 축 상 환산 시각과 상기 시간축 상 환산 시각은 동일한 시각이 되도록 하여 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의 상기 시간축 상의 위치를 구하고,
상기 표시 장치 상에는, 상기 시간축 상에서, 상기 동작 신호와 상기 정지 신호를 나타내는 높이가 상이한 횡선분을 갖는 타이밍 차트로 상기 제어 신호를 표시하고,
원하는 상기 동작 개시 시각 또는 상기 동작 정지 시각을 상기 추출 시점 시각으로서 지정할 수 있도록 하고,
상기 데이터 분석 프로그램은, 상기 타이밍 차트의, 상기 추출 시점 시각보다 늦은 시각의 상기 동작 개시 시각 또는 상기 동작 정지 시각을 추출 종점 시각으로서 지정하고, 상기 추출 시점 시각과 상기 추출 종점 시각 사이의 상기 측정 시각에 대응한 상기 측정치를 추출하여 상기 제 2 차 그래프선을 생성하는, 진공 처리 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 데이터 분석 프로그램은, 상기 측정치로부터 복수의 상기 제 1 차 그래프선을 생성하여 상기 표시 장치에 표시하고,
1 개의 상기 제 1 차 그래프선의 상기 측정치 중 1 개를 그 상기 제 1 차 그래프선의 상기 추출 시점 시각으로 하고, 다른 상기 제 1 차 그래프선의 상기 추출 시점 시각을 구하고, 표시한 상기 제 1 차 그래프선으로부터 상기 제 2 차 그래프선을 생성하여 상기 표시 장치에 표시하는, 진공 처리 장치. - 제 2 항에 있어서,
상기 데이터 분석 프로그램은,
표시한 상기 제 2 차 그래프선 중, 선택된 상기 제 2 차 그래프선을, 상기 표시 장치 상에서, 상기 X 축과 평행하게 이동시키는, 진공 처리 장치. - 제 3 항에 있어서,
상기 데이터 분석 프로그램은,
이동한 상기 제 2 차 그래프선의 상기 측정치에 대응하는 상기 X 축 상 환산 시각을, 이동한 상기 제 2 차 그래프선의 상기 X 축 상의 이동량을 환산한 시간 수정하는, 진공 처리 장치. - (삭제)
- (삭제)
- 진공조 내에 배치된 처리 대상물을 진공 처리하는 진공 처리부와,
상기 진공 처리부가 출력한 복수의 측정치를, 측정 시각과 함께 상기 진공 처리와 대응시켜 기억하는 기억 장치와,
상기 측정치를 연산하는 연산 장치와,
상기 연산 장치의 연산 결과를 표시하는 표시 장치를 갖는 진공 처리 장치의, 상기 기억 장치에 기억된 상기 측정치의 그래프선을 상기 표시 장치에 표시하는 그래프선 표시 방법으로서,
상기 기억 장치 내에 기억된 복수의 상기 측정치로부터, 그래프선을 표시하는 측정치가 선택되면, 선택된 상기 측정치의 상기 측정 시각을, 소정의 기준 시각으로부터의 시간인 X 축 상 환산 시각으로 환산하고,
X-Y 좌표의 X 축 상의 소정 위치를 상기 기준 시각의 위치로 하여, 상기 X 축 상 환산 시각으로부터 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정치의 크기로부터 Y 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정 시각이 연속되어 있는 복수의 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치와 상기 Y 축 상의 위치로부터 제 1 차 그래프선을 생성하여 상기 X-Y 좌표와 함께 표시 장치에 표시하고,
표시한 상기 제 1 차 그래프선의 상기 측정 시각 중 1 개를 추출 시점 시각으로 하고,
상기 제 1 차 그래프선의 상기 측정치 중, 상기 측정 시각이 상기 추출 시점 시각 이후인 상기 측정치를 추출하고,
상기 시점 개시 시각을 상기 기준 시각으로 하여, 추출한 상기 측정치와 상기 측정 시각으로부터, 상기 X-Y 좌표 상에 제 2 차 그래프선을 표시하고,
상기 진공 처리를 실시하는 처리 장치를 동작시키는 동작 신호와, 동작을 정지시키는 정지 신호가 포함되는 제어 신호가 상기 제어 장치로부터 출력되고,
상기 제어 신호는, 상기 동작을 개시하는 동작 개시 시각과 상기 동작을 정지하는 동작 정지 시각과 함께 상기 기억 장치에 기억되고,
상기 기억 장치에 기억된 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의, 상기 기준 시각으로부터의 시간인 시간축 상 환산 시각을 구하고,
상기 표시 장치 상에서는, 상기 X 축과 이간된 위치에, 상기 X 축과 평행하게 시간축을 표시하고,
상기 Y 축과 평행한 일직선이 상기 X 축과 상기 시간축에 교차한 교점이 각각 나타내는 상기 X 축 상 환산 시각과 상기 시간축 상 환산 시각은 동일한 시각이 되도록 하여 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의 상기 시간축 상의 위치를 구하고,
상기 표시 장치 상에는, 상기 시간축 상에서, 상기 동작 신호와 상기 정지 신호를 나타내는 높이가 상이한 횡선분을 갖는 타이밍 차트로 상기 제어 신호를 표시하고,
원하는 상기 동작 개시 시각 또는 상기 동작 정지 시각을 상기 추출 시점 시각으로서 지정할 수 있는, 그래프선 표시 방법. - 제 7 항에 있어서,
상기 데이터 분석 프로그램은, 상기 측정치로부터 복수의 상기 제 1 차 그래프선을 생성하여 상기 표시 장치에 표시하고,
1 개의 상기 제 1 차 그래프선의 상기 측정치 중 1 개를 그 상기 제 1 차 그래프선의 상기 추출 시점 시각으로 하고, 다른 상기 제 1 차 그래프선의 상기 추출 시점 시각을 구하고, 표시한 상기 제 1 차 그래프선으로부터 상기 제 2 차 그래프선을 생성하여 상기 표시 장치에 표시하는, 그래프선 표시 방법. - 제 8 항에 있어서,
표시한 상기 제 2 차 그래프선 중 원하는 것을 선택시키고, 선택된 상기 제 2 차 그래프선은, 상기 표시 장치 상에서, 상기 X 축과 평행하게 이동시키는, 그래프선 표시 방법. - 제 9 항에 있어서,
이동한 상기 제 2 차 그래프선의 상기 측정치에 대응하는 상기 X 축 상 환산 시각을, 이동한 상기 제 2 차 그래프선의 상기 X 축 상의 이동량 수정하는, 그래프선 표시 방법. - (삭제)
- 제 7 항에 있어서,
상기 타이밍 차트의, 상기 추출 시점 시각보다 늦은 시각의 상기 동작 개시 시각 또는 상기 동작 정지 시각을 추출 종점 시각으로서 지정하고, 상기 추출 시점 시각과 상기 추출 종점 시각 사이의 상기 측정 시각에 대응한 상기 측정치를 추출하여 상기 제 2 차 그래프선을 생성하는, 그래프선 표시 방법. - 진공조 내에 배치된 처리 대상물을 진공 처리하는 진공 처리부와,
상기 진공 처리부가 출력한 복수의 측정치를, 상기 측정치의 측정 시각과 함께 상기 진공 처리와 대응시켜 기억하는 기억 장치와,
상기 측정치를 연산하는 연산 장치와,
상기 연산 장치의 연산 결과를 표시하는 표시 장치를 갖고,
소정 장수의 상기 처리 대상물을 연속해서 동일한 상기 진공 처리하였을 때의 상기 측정치를 1 로트로 하고, 복수의 상기 로트의 상기 측정치가 상기 기억 장치에 기억되는 진공 처리 장치로서,
상기 기억 장치에는, 데이터 분석 프로그램이 기억되고,
상기 데이터 분석 프로그램은,
상기 기억 장치 내에 기억된 복수의 상기 측정치로부터, 그래프선을 표시하는 측정치가 선택되면, 선택된 상기 측정치의 상기 측정 시각을, 소정의 기준 시각으로부터의 시간인 X 축 상 환산 시각으로 환산하고,
X-Y 좌표의 X 축 상의 소정 위치를 상기 기준 시각의 위치로 하여, 상기 X 축 상 환산 시각으로부터 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정치의 크기로부터 Y 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정 시각이 연속되어 있는 복수의 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치와 상기 Y 축 상의 위치로부터 그래프선을 생성하여 상기 X-Y 좌표와 함께 표시 장치에 표시하고,
표시한 상기 그래프선 중, 어느 1 개의 상기 그래프선이 선택되면, 선택된 상기 그래프선의 상기 로트에 속하는 다른 표시된 상기 그래프선도 함께 선택되고, 선택된 상기 그래프선은 상기 X-Y 좌표 상을 상기 X 축이 신장되는 방향으로 함께 동거리 이동할 수 있도록 구성되고,
상기 진공 처리를 실시하는 처리 장치를 동작시키는 동작 신호와, 동작을 정지시키는 정지 신호가 포함되는 제어 신호가 상기 제어 장치로부터 출력되고,
상기 제어 신호는, 상기 동작을 개시하는 동작 개시 시각과 상기 동작을 정지하는 동작 정지 시각과 함께 상기 기억 장치에 기억되고,
상기 데이터 분석 프로그램은,
상기 기억 장치 내에 기억된 복수의 상기 측정치로부터, 그래프선을 표시하는 측정치가 선택되면, 선택된 상기 측정치의 상기 측정 시각을, 소정의 기준 시각으로부터의 시간인 X 축 상 환산 시각으로 환산하고,
상기 표시 장치 상에서는, 상기 X 축과 이간된 위치에, 상기 X 축과 평행하게 시간축을 표시하고,
상기 시간축 상의 소정 위치를 상기 기준 시각으로 하고,
상기 Y 축과 평행한 일직선이 상기 X 축과 상기 시간축에 교차한 교점이 각각 나타내는 상기 X 축 상 환산 시각과 상기 시간축 상 환산 시각은 동일한 시각이 되도록 하여 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의 상기 시간축 상의 위치를 구하고,
상기 표시 장치 상에는, 상기 시간축 상에서, 상기 동작 신호와 상기 정지 신호를 나타내는 높이가 상이한 횡선분을 갖는 타이밍 차트로 상기 제어 신호를 표시하고,
선택된 상기 그래프선과 동일한 상기 로트에 속하는 상기 타이밍 차트는, 선택된 상기 그래프선과 함께, 상기 시간축과 평행하고 동방향으로 동거리 이동시키는, 진공 처리 장치. - (삭제)
- 진공조 내에 배치된 처리 대상물을 진공 처리하는 진공 처리부와,
상기 진공 처리부가 출력한 복수의 측정치를, 측정 시각과 함께 상기 진공 처리와 대응시켜 기억하는 기억 장치와,
상기 측정치를 연산하는 연산 장치와,
상기 연산 장치의 연산 결과를 표시하는 표시 장치를 갖고,
연속해서 상기 진공 처리된 소정 장수의 기판을 1 로트로 하고,
소정 장수의 상기 처리 대상물을 연속해서 동일한 상기 진공 처리하였을 때의 상기 측정치를 1 로트로 하고, 복수의 상기 로트의 상기 측정치가 상기 기억 장치에 기억되고,
상기 진공 처리를 실시하는 장치를 동작시키는 동작 신호와, 상기 동작을 정지시키는 정지 신호가 포함되는 제어 신호가, 상기 동작을 개시하는 동작 개시 시각과 상기 동작을 정지하는 동작 정지 시각과 함께, 상기 진공 처리에 대응시켜 상기 기억 장치에 기억되는 진공 처리 장치로서,
상기 기억 장치에는, 데이터 분석 프로그램이 기억되고,
상기 데이터 분석 프로그램은,
상기 기억 장치 내에 기억된 복수의 상기 측정치로부터, 그래프선을 표시하는 측정치가 선택되면, 선택된 상기 측정치의 상기 측정 시각을, 소정의 기준 시각으로부터의 시간인 X 축 상 환산 시각으로 환산하고,
X-Y 좌표의 X 축 상의 소정 위치를 상기 기준 시각의 위치로 하여, 상기 X 축 상 환산 시각으로부터 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정치의 크기로부터 Y 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정 시각이 연속되어 있는 복수의 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치와 상기 Y 축 상의 위치로부터 복수의 그래프선을 생성하여 상기 X-Y 좌표와 함께 표시 장치에 표시하고,
상기 기억 장치에 기억된 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의, 상기 기준 시각으로부터의 시간인 시간축 상 환산 시각을 구하고,
상기 표시 장치 상에서는, 상기 X 축과 이간된 위치에, 상기 X 축과 평행하게 시간축을 표시하고,
상기 Y 축과 평행한 일직선이 상기 X 축과 상기 시간축에 교차한 교점이 각각 나타내는 상기 X 축 상 환산 시각과 상기 시간축 상 환산 시각은 동일한 시각이 되도록 하여 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의 상기 시간축 상의 위치를 구하고,
상기 표시 장치 상에는, 상기 시간축 상에서, 상기 동작 신호와 상기 정지 신호를 나타내는 높이가 상이한 횡선분을 갖는 타이밍 차트로 상기 제어 신호를 표시하고,
표시한 상기 타이밍 차트 중, 어느 1 개의 상기 타이밍 차트를 선택하면, 선택된 상기 타이밍 차트가 속하는 상기 로트에 속하는 다른 표시된 상기 타이밍 차트도 함께 선택되고, 선택된 상기 타이밍 차트는 상기 시간축 상을 상기 시간축이 신장되는 방향으로 함께 동방향으로 동거리 이동할 수 있도록 구성되고,
선택된 상기 타이밍 차트와 동일한 상기 로트에 속하는 상기 그래프선은, 선택된 상기 타이밍 차트와 함께 동방향으로 동거리 이동되도록 구성된, 진공 처리 장치. - 제 13 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,
이동된 상기 그래프선의 상기 측정치의 상기 X 축의 위치로부터 상기 X 축 상 환산 시각을 재계산하고,
상기 표시 장치에 표시한 복수의 상기 그래프선 중에서 2 개 이상의 상기 그래프선을 제 1 선택군으로서 선택하고,
상기 X 축 상의 상기 X 축 환산 시각이 제 1 시각으로서 지시되면,
상기 제 1 선택군의 각 상기 그래프선의 상기 X 축 상 환산 시각 중, 상기 제 1 시각에 가장 가까운 상기 X 축 상 환산 시각에 대응된 측정치인 제 1 측정치를 각 상기 그래프선마다의 제 1 측정치로 하고, 상기 표시 장치 상에서, 상기 제 1 측정치를 선택된 상기 그래프선마다 표시하고,
상기 제 1 측정치끼리의 차를 표시하도록 구성된, 진공 처리 장치. - 제 16 항에 있어서,
상기 표시 장치에 표시되고, 상기 제 1 선택군 이외의 복수의 상기 그래프선 중에서 제 2 선택군의 그래프선이 선택되고,
상기 X 축 상의 상기 X 축 환산 시각이 제 2 시각으로서 지시되면,
상기 제 2 선택군의 각 상기 그래프선의 상기 X 축 상 환산 시각 중, 상기 제 2 시각에 가장 가까운 상기 X 축 상 환산 시각에 대응된 측정치인 제 2 측정치를 각 상기 그래프선마다의 제 2 측정치로 하고,
상기 제 1 측정치와 상기 제 2 측정치의 차를 상기 표시 장치에 표시시키도록 구성된, 진공 처리 장치. - 제 17 항에 있어서,
상기 표시 장치에 상기 Y 축과 평행한 제 1, 제 2 주메이저선을 표시하고,
상기 제 1 선택군의 각 상기 그래프선과 상기 제 1 주메이저선의 교점의 상기 X 축 상 환산 시각을, 각 상기 그래프선마다의 상기 제 1 시각으로 하고,
상기 제 2 선택군의 각 상기 그래프선과 상기 제 2 주메이저선의 교점의 상기 X 축 상 환산 시각을, 각 상기 그래프선마다의 상기 제 2 시각으로 하고,
상기 제 1, 제 2 주메이저선의 위치는 변경할 수 있도록 구성되고,
상기 제 1, 제 2 주메이저선의 위치가 변경되면, 상기 제 1, 제 2 시각은, 변경된 상기 제 1, 제 2 주메이저선이 나타내는 상기 X 축 상 환산 시각으로 각각 변경되도록 구성된, 진공 처리 장치. - 진공조 내에 배치된 처리 대상물을 진공 처리하는 진공 처리부와,
상기 진공 처리부가 출력한 복수의 측정치를, 상기 측정치의 측정 시각과 함께 상기 진공 처리와 대응시켜 기억하는 기억 장치와,
상기 측정치를 연산하는 연산 장치와,
상기 연산 장치의 연산 결과를 표시하는 표시 장치를 갖고,
소정 장수의 상기 처리 대상물을 연속해서 상기 진공 처리하였을 때의 상기 측정치를 1 로트로 하고, 복수의 상기 로트의 상기 측정치가 상기 기억 장치에 기억된 진공 처리 장치의, 상기 기억 장치에 기억된 상기 측정치의 그래프선을 상기 표시 장치에 표시하는 그래프 표시 방법으로서,
상기 기억 장치 내에 기억된 복수의 상기 측정치로부터, 그래프선을 표시하는 측정치가 선택되면, 선택된 상기 측정치의 상기 측정 시각을, 소정의 기준 시각으로부터의 시간인 X 축 상 환산 시각으로 환산하고,
X-Y 좌표의 X 축 상의 소정 위치를 상기 기준 시각의 위치로 하여, 상기 X 축 상 환산 시각으로부터 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정치의 크기로부터 Y 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정 시각이 연속되어 있는 복수의 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치와 상기 Y 축 상의 위치로부터 그래프선을 생성하여 상기 X-Y 좌표와 함께 상기 표시 장치에 표시하고,
표시한 상기 그래프선 중, 원하는 그래프선을 선택할 수 있도록 하고, 어느 1 개의 상기 그래프선이 선택되면, 선택된 상기 그래프선의 상기 로트에 속하는 다른 표시된 상기 그래프선도 함께 선택되고, 선택된 상기 그래프선은 상기 X-Y 좌표 상을 상기 X 축이 신장되는 방향으로 함께 동거리 이동할 수 있게 되고,
상기 진공 처리를 실시하는 처리 장치를 동작시키는 동작 신호와, 동작을 정지시키는 정지 신호가 포함되는 제어 신호가 상기 제어 장치로부터 출력되고,
상기 제어 신호는, 상기 동작을 개시하는 동작 개시 시각과 상기 동작을 정지하는 동작 정지 시각과 함께 상기 기억 장치에 기억되어 있고,
상기 기억 장치 내에 기억된 복수의 상기 측정치로부터, 그래프선을 표시하는 측정치가 선택되면, 선택된 상기 측정치의 상기 측정 시각을, 소정의 기준 시각으로부터의 시간인 X 축 상 환산 시각으로 환산하고,
상기 표시 장치 상에서는, 상기 X 축과 이간된 위치에, 상기 X 축과 평행하게 시간축을 표시하고,
상기 시간축 상의 소정 위치를 상기 기준 시각으로 하고,
상기 Y 축과 평행한 일직선이 상기 X 축과 상기 시간축에 교차한 교점이 각각 나타내는 상기 X 축 상 환산 시각과 상기 시간축 상 환산 시각은 동일한 시각이 되도록 하여 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의 상기 시간축 상의 위치를 구하고,
상기 표시 장치 상에는, 상기 시간축 상에서, 상기 동작 신호와 상기 정지 신호를 나타내는 높이가 상이한 횡선분을 갖는 타이밍 차트로 상기 제어 신호를 표시하고,
선택된 상기 그래프선과 동일한 상기 로트에 속하는 상기 타이밍 차트는, 선택된 상기 그래프선과 함께, 상기 시간축과 평행하고 동방향으로 동거리 이동시키는, 그래프선 표시 방법. - (삭제)
- 진공조 내에 배치된 처리 대상물을 진공 처리하는 진공 처리부와,
상기 진공 처리부가 출력한 복수의 측정치를, 측정 시각과 함께 상기 진공 처리와 대응시켜 기억하는 기억 장치와,
상기 측정치를 연산하는 연산 장치와,
상기 연산 장치의 연산 결과를 표시하는 표시 장치를 갖고,
연속해서 진공 처리된 소정 장수의 기판을 1 로트로 하고,
소정 장수의 상기 처리 대상물을 연속해서 동일한 상기 진공 처리하였을 때의 상기 측정치를 1 로트로 하고, 복수의 상기 로트의 상기 측정치가 상기 기억 장치에 기억되고,
상기 진공 처리를 실시하는 장치를 동작시키는 동작 신호와, 상기 동작을 정지시키는 정지 신호가 포함되는 제어 신호가, 상기 동작을 개시하는 동작 개시 시각과 상기 동작을 정지하는 동작 정지 시각과 함께, 상기 진공 처리에 대응시켜 상기 기억 장치에 기억된 진공 처리 장치의, 상기 기억 장치에 기억된 상기 측정치의 그래프선을 상기 표시 장치에 표시하는 그래프선 표시 방법으로서,
상기 기억 장치 내에 기억된 복수의 상기 측정치로부터, 그래프선을 표시하는 측정치가 선택되면, 선택된 상기 측정치의 상기 측정 시각을, 소정의 기준 시각으로부터의 시간인 X 축 상 환산 시각으로 환산하고,
X-Y 좌표의 X 축 상의 소정 위치를 상기 기준 시각의 위치로 하여, 상기 X 축 상 환산 시각으로부터 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정치의 크기로부터 Y 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정 시각이 연속되어 있는 복수의 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치와 상기 Y 축 상의 위치로부터 복수의 그래프선을 생성하여 상기 X-Y 좌표와 함께 상기 표시 장치에 표시하고,
상기 기억 장치에 기억된 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의, 상기 기준 시각으로부터의 시간인 시간축 상 환산 시각을 구하고,
상기 표시 장치 상에서는, 상기 X 축과 이간된 위치에, 상기 X 축과 평행하게 시간축을 표시하고,
상기 Y 축과 평행한 일직선이 상기 X 축과 상기 시간축에 교차한 교점이 각각 나타내는 상기 X 축 상 환산 시각과 상기 시간축 상 환산 시각은 동일한 시각이 되도록 하여 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의 상기 시간축 상의 위치를 구하고,
상기 표시 장치 상에는, 상기 시간축 상에서, 상기 동작 신호와 상기 정지 신호를 나타내는 높이가 상이한 횡선분을 갖는 타이밍 차트로 상기 제어 신호를 표시하고,
표시한 상기 타이밍 차트 중, 어느 1 개의 상기 타이밍 차트를 선택하면, 선택된 상기 타이밍 차트가 속하는 상기 로트에 속하는 다른 표시된 상기 타이밍 차트도 함께 선택되고, 선택된 상기 타이밍 차트는 상기 시간축 상을 상기 시간축이 신장되는 방향으로 함께 동방향으로 동거리 이동할 수 있도록 구성되고,
선택된 상기 타이밍 차트와 동일한 상기 로트에 속하는 상기 그래프선은, 선택된 상기 타이밍 차트와 함께 동방향으로 동거리 이동시키는, 그래프선 표시 방법. - 제 19 항 내지 제 21 항 중 어느 한 항에 있어서,
이동시킨 상기 그래프선의 상기 측정치의 상기 X 축의 위치로부터 상기 X 축 상 환산 시각을 재계산하고,
상기 표시 장치에 표시한 복수의 상기 그래프선 중에서 2 개 이상의 상기 그래프선을 제 1 선택군으로서 선택시키고,
상기 X 축 상의 상기 X 축 환산 시각이 제 1 시각으로서 지시되면,
상기 제 1 선택군의 각 상기 그래프선의 상기 X 축 상 환산 시각 중, 상기 제 1 시각에 가장 가까운 상기 X 축 상 환산 시각에 대응된 측정치인 제 1 측정치를 각 상기 그래프선마다의 제 1 측정치로 하고, 상기 표시 장치 상에서, 상기 제 1 측정치를 선택된 상기 그래프선마다 표시하고,
상기 제 1 측정치끼리의 차를 표시하는, 그래프선 표시 방법. - 제 22 항에 있어서,
상기 표시 장치에 표시한, 상기 제 1 선택군 이외의 복수의 상기 그래프선 중에서 제 2 선택군의 그래프선을 선택시키고,
상기 X 축 상의 상기 X 축 환산 시각이 제 2 시각으로서 지시되면,
상기 제 2 선택군의 각 상기 그래프선의 상기 X 축 상 환산 시각 중, 상기 제 2 시각에 가장 가까운 상기 X 축 상 환산 시각에 대응된 측정치인 제 2 측정치를 각 상기 그래프선마다의 제 2 측정치로 하고,
상기 제 1 측정치와 상기 제 2 측정치의 차를 상기 표시 장치에 표시시키는, 그래프선 표시 방법. - 제 23 항에 있어서,
상기 표시 장치에 상기 Y 축과 평행한 제 1, 제 2 주메이저선을 표시하고,
상기 제 1 선택군의 각 상기 그래프선과 상기 제 1 주메이저선의 교점의 상기 X 축 상 환산 시각을, 각 상기 그래프선마다의 상기 제 1 시각으로 하고,
상기 제 2 선택군의 각 상기 그래프선과 상기 제 2 주메이저선의 교점의 상기 X 축 상 환산 시각을, 각 상기 그래프선마다의 상기 제 2 시각으로 하고,
상기 제 1, 제 2 주메이저선의 위치는 변경할 수 있도록 구성되고,
상기 제 1, 제 2 주메이저선의 위치가 변경되면, 상기 제 1, 제 2 시각은, 변경된 상기 제 1, 제 2 주메이저선이 나타내는 상기 X 축 상 환산 시각으로 각각 변경하는, 그래프선 표시 방법. - 진공조 내에 배치된 처리 대상물을 진공 처리하는 진공 처리부와,
상기 진공 처리부가 출력한 복수의 측정치를, 측정 시각과 함께 상기 진공 처리와 대응시켜 기억하는 기억 장치와,
상기 측정치를 연산하는 연산 장치와,
상기 연산 장치의 연산 결과를 표시하는 표시 장치를 갖고,
소정 장수의 상기 처리 대상물을 연속해서 동일한 상기 진공 처리하였을 때의 상기 측정치를 1 로트로 하고, 복수의 상기 로트의 상기 측정치가 상기 기억 장치에 기억되고,
상기 진공 처리를 실시하는 장치를 동작시키는 동작 신호와, 상기 동작을 정지시키는 정지 신호가 포함되는 제어 신호가, 상기 동작을 개시하는 동작 개시 시각과 상기 동작을 정지하는 동작 정지 시각과 함께, 상기 진공 처리에 대응시켜 상기 기억 장치에 기억되는 진공 처리 장치로서,
상기 기억 장치에는, 데이터 분석 프로그램이 기억되고,
상기 데이터 분석 프로그램은,
상기 기억 장치 내에 기억하는 복수의 상기 측정치로부터, 그래프선을 표시하는 측정치가 선택되면, 선택된 상기 측정치의 상기 측정 시각을, 소정의 기준 시각으로부터의 시간인 X 축 상 환산 시각으로 환산하고,
X-Y 좌표의 X 축 상의 소정 위치를 상기 기준 시각의 위치로 하여, 상기 X 축 상 환산 시각으로부터 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정치의 크기로부터 Y 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정 시각이 연속되어 있는 복수의 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치와 상기 Y 축 상의 위치로부터 복수의 그래프선을 생성하여 상기 X-Y 좌표와 함께 표시 장치에 표시하고,
상기 표시 장치에 표시한 복수의 상기 그래프선 중에서 2 개 이상의 상기 그래프선이 제 1 선택군으로서 선택되고, 상기 표시 장치에 상기 Y 축과 평행한 제 1 주메이저선이 표시되면,
상기 제 1 선택군의 각 상기 그래프선과 상기 제 1 주메이저선의 교점의 상기 X 축 상 환산 시각을, 각 상기 그래프선마다의 제 1 시각으로 하고,
상기 제 1 선택군의 각 상기 그래프선의 상기 X 축 상 환산 시각 중, 상기 제 1 시각에 가장 가까운 상기 X 축 상 환산 시각에 대응된 측정치인 제 1 측정치를 각 상기 그래프선마다의 제 1 측정치로 하고, 상기 표시 장치 상에서, 상기 제 1 측정치를 선택된 상기 그래프선마다 표시하고, 상기 제 1 측정치끼리의 차의 값을 표시하는, 진공 처리 장치. - 제 25 항에 있어서,
상기 제 1 시각에 추가하여, 상기 X 축에 포함되는 상기 X 축 상 환산 시각의 범위 내의 제 2 시각이 지시되면, 상기 제 1 선택군의 상기 그래프선마다, 상기 X 축 상 환산 시각이 상기 제 2 시각에 가장 가까운 상기 측정치가 제 2 측정치로서 특정되고,
하나의 상기 그래프선의 상기 제 1 측정치와, 다른 상기 그래프선의 상기 제 2 측정치의 차의 값과, 상기 제 2 측정치 모두 상기 표시 장치에 표시하도록 구성된, 진공 처리 장치. - 제 26 항에 있어서,
표시된 복수의 상기 그래프선 중, 2 개 이상의 상기 그래프선을 선택할 수 있고,
선택된 상기 그래프선에 포함되는 측정치로부터, 상기 제 1, 제 2 측정치가 특정되는, 진공 처리 장치. - 제 26 항 또는 제 27 항에 있어서,
상이한 상기 그래프선간의 상기 제 2 측정치끼리의 차의 값도 상기 표시 장치에 표시하는, 진공 처리 장치. - 제 26 항에 있어서,
상기 제 1 시각과 상기 제 2 시각이 상기 표시 장치에 표시되는 진공 처리 장치. - 제 26 항에 있어서,
상기 제 1 시각과 상기 제 2 시각의 차인 시간이 상기 표시 장치에 표시되는, 진공 처리 장치. - 제 26 항에 있어서,
상기 제 1 주메이저선에 추가하여, 상기 표시 장치에 상기 Y 축과 평행한 제 2 주메이저선이 표시되면,
상기 제 1 선택군의 각 상기 그래프선과 상기 제 1 주메이저선의 교점의 상기 X 축 상 환산 시각을, 각 상기 그래프선마다의 상기 제 1 시각으로 하고,
상기 제 2 선택군의 각 상기 그래프선과 상기 제 2 주메이저선의 교점의 상기 X 축 상 환산 시각을, 각 상기 그래프선마다의 상기 제 2 시각으로 하고,
상기 제 1, 제 2 주메이저선의 위치를 변경하면, 상기 제 1, 제 2 시각은, 위치가 변경된 상기 제 1, 제 2 주메이저선의 상기 X 축 상 환산 시각으로 각각 변경되도록 구성된, 진공 처리 장치. - 제 31 항에 있어서,
상기 진공 처리를 실시하는 처리 장치를 동작시키는 동작 신호와, 동작을 정지시키는 정지 신호가 포함되는 제어 신호가 상기 제어 장치로부터 출력되고,
상기 제어 신호는, 상기 동작을 개시하는 동작 개시 시각과 상기 동작을 정지하는 동작 정지 시각과 함께 상기 기억 장치에 기억되고,
상기 데이터 분석 프로그램은,
상기 기억 장치에 기억된 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의, 상기 기준 시각으로부터의 시간인 시간축 상 환산 시각을 구하고,
상기 표시 장치 상에서는, 상기 X 축과 이간된 위치에, 상기 X 축과 평행하게 시간축을 표시하고,
상기 Y 축과 평행한 일직선이 상기 X 축과 상기 시간축에 교차한 교점이 각각 나타내는 상기 X 축 상 환산 시각과 상기 시간축 상 환산 시각은 동일한 시각이 되도록 하여 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의 상기 시간축 상의 위치를 구하고,
상기 표시 장치에는, 상기 시간축 상에서, 상기 동작 신호와 상기 정지 신호를 나타내는 높이가 상이한 횡선분을 갖는 타이밍 차트로 상기 제어 신호를 표시하도록 구성된, 진공 처리 장치. - 제 32 항에 있어서,
상기 X-Y 좌표 상에는, 표시된 상기 타이밍 차트의 상기 제어 신호에 의해 실시된 상기 진공 처리 중에 측정된 상기 측정치로부터 생성된 상기 그래프선이 표시되도록 구성된, 진공 처리 장치. - 제 33 항에 있어서,
상기 제 1, 제 2 주메이저선의 연장선 상에, 상기 제어 신호의 표시와 교차하는 제 3, 제 4 주메이저선이 각각 표시되고,
상기 제 1, 제 2 주메이저선의 위치가 변경되면, 상기 제 3, 제 4 주메이저선은, 위치가 변경된 상기 제 1, 제 2 주메이저선의 연장선 상의 위치에 이동되고,
상기 제 3, 제 4 주메이저선의 위치가 변경되면, 상기 제 1, 제 2 주메이저선은, 위치가 변경된 상기 제 3, 제 4 주메이저선의 연장선 상의 위치에 각각 이동되도록 구성된, 진공 처리 장치. - 진공조 내에 배치된 처리 대상물을 진공 처리하는 진공 처리부와,
상기 진공 처리부가 출력한 복수의 측정치를, 측정 시각과 함께 상기 진공 처리와 대응시켜 기억하는 기억 장치와,
상기 측정치를 연산하는 연산 장치와,
상기 연산 장치의 연산 결과를 표시하는 표시 장치를 갖고,
연속해서 진공 처리된 소정 장수의 기판을 1 로트로 하고,
소정 장수의 상기 처리 대상물을 연속해서 동일한 상기 진공 처리하였을 때의 상기 측정치를 1 로트로 하고, 복수의 상기 로트의 상기 측정치가 상기 기억 장치에 기억되고,
상기 진공 처리를 실시하는 장치를 동작시키는 동작 신호와, 상기 동작을 정지시키는 정지 신호가 포함되는 제어 신호가, 상기 동작을 개시하는 동작 개시 시각과 상기 동작을 정지하는 동작 정지 시각과 함께, 상기 진공 처리에 대응시켜 상기 기억 장치에 기억된 진공 처리 장치의, 상기 기억 장치에 기억된 상기 측정치의 그래프선을 상기 표시 장치에 표시하는 그래프선 표시 방법으로서,
상기 기억 장치 내에 기억된 복수의 상기 측정치로부터, 그래프선을 표시하는 측정치를 선택시키고, 선택된 상기 측정치의 상기 측정 시각을, 소정의 기준 시각으로부터의 시간인 X 축 상 환산 시각으로 환산하고,
X-Y 좌표의 X 축 상의 소정 위치를 상기 기준 시각의 위치로 하여, 상기 X 축 상 환산 시각으로부터 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정치의 크기로부터 Y 축 상의 위치를 구하고, 상기 측정 시각이 연속되어 있는 복수의 상기 측정치의 상기 X 축 상의 위치와 상기 Y 축 상의 위치로부터 복수의 그래프선을 생성하여 상기 X-Y 좌표와 함께 표시 장치에 표시하고,
상기 표시 장치에 표시한 복수의 상기 그래프선 중에서 2 개 이상의 상기 그래프선을 제 1 선택군으로서 선택시키고, 상기 표시 장치에 상기 Y 축과 평행한 제 1 주메이저선을 표시하고,
상기 제 1 선택군의 각 상기 그래프선과 상기 제 1 주메이저선의 교점의 상기 X 축 상 환산 시각을, 각 상기 그래프선마다의 제 1 시각으로 하고,
상기 제 1 선택군의 각 상기 그래프선의 상기 X 축 상 환산 시각 중, 상기 제 1 시각에 가장 가까운 상기 X 축 상 환산 시각에 대응된 측정치인 제 1 측정치를 각 상기 그래프선마다의 제 1 측정치로 하고, 상기 표시 장치 상에서, 상기 제 1 측정치를 선택된 상기 그래프선마다 표시하고, 상기 제 1 측정치끼리의 차의 값을 표시하는, 그래프선 표시 방법. - 제 35 항에 있어서,
상기 제 1 시각에 추가하여, 상기 X 축에 포함되는 상기 X 축 상 환산 시각의 범위 내의 제 2 시각을 지시시키고, 상기 제 1 선택군의 상기 그래프선마다, 상기 X 축 상 환산 시각이 상기 제 2 시각에 가장 가까운 상기 측정치를 제 2 측정치로서 특정하고,
하나의 상기 그래프선의 상기 제 1 측정치와, 다른 상기 그래프선의 상기 제 2 측정치의 차의 값과, 상기 제 2 측정치 모두 상기 표시 장치에 표시하는, 그래프선 표시 방법. - 제 36 항에 있어서,
표시된 복수의 상기 그래프선 중, 2 개 이상의 상기 그래프선을 선택할 수 있고,
선택된 상기 그래프선에 포함되는 측정치로부터, 상기 제 1, 제 2 측정치를 특정시키는, 그래프선 표시 방법. - 제 36 항 또는 제 37 항에 있어서,
상이한 상기 그래프선간의 상기 제 2 측정치끼리의 차의 값도 상기 표시 장치에 표시하는, 그래프선 표시 방법. - 제 36 항에 있어서,
상기 제 1 시각과 상기 제 2 시각을 상기 표시 장치에 표시하는, 그래프선 표시 방법. - 제 36 항에 있어서,
상기 제 1 시각과 상기 제 2 시각의 차인 시간을 상기 표시 장치에 표시하는, 그래프선 표시 방법. - 제 36 항에 있어서,
상기 제 1 주메이저선에 추가하여, 상기 표시 장치에 상기 Y 축과 평행한 제 2 주메이저선을 표시하면,
상기 제 1 선택군의 각 상기 그래프선과 상기 제 1 주메이저선의 교점의 상기 X 축 상 환산 시각을, 각 상기 그래프선마다의 상기 제 1 시각으로 하고,
상기 제 2 선택군의 각 상기 그래프선과 상기 제 2 주메이저선의 교점의 상기 X 축 상 환산 시각을, 각 상기 그래프선마다의 상기 제 2 시각으로 하고,
상기 제 1, 제 2 주메이저선의 위치를 변경하면, 상기 제 1, 제 2 시각은, 위치가 변경된 상기 제 1, 제 2 주메이저선의 상기 X 축 상 환산 시각으로 각각 변경하는, 그래프선 표시 방법. - 제 41 항에 있어서,
상기 진공 처리를 실시하는 처리 장치를 동작시키는 동작 신호와, 동작을 정지시키는 정지 신호가 포함되는 제어 신호가 상기 제어 장치로부터 출력되고,
상기 제어 신호는, 상기 동작을 개시하는 동작 개시 시각과 상기 동작을 정지하는 동작 정지 시각과 함께 상기 기억 장치에 기억되고,
상기 데이터 분석 프로그램은,
상기 기억 장치에 기억된 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의, 상기 기준 시각으로부터의 시간인 시간축 상 환산 시각을 구하고,
상기 표시 장치 상에서는, 상기 X 축과 이간된 위치에, 상기 X 축과 평행하게 시간축을 표시하고,
상기 Y 축과 평행한 일직선이 상기 X 축과 상기 시간축에 교차한 교점이 각각 나타내는 상기 X 축 상 환산 시각과 상기 시간축 상 환산 시각은 동일한 시각이 되도록 하여 상기 동작 개시 시각과 상기 동작 정지 시각의 상기 시간축 상의 위치를 구하고,
상기 표시 장치 상에는, 상기 시간축 상에서, 상기 동작 신호와 상기 정지 신호를 나타내는 높이가 상이한 횡선분을 갖는 타이밍 차트로 상기 제어 신호를 표시하는, 그래프선 표시 방법. - 제 42 항에 있어서,
상기 X-Y 좌표 상에는, 표시된 상기 타이밍 차트의 상기 제어 신호에 의해 실시된 상기 진공 처리 중에 측정된 상기 측정치로부터 생성된 상기 그래프선을 표시하는, 그래프선 표시 방법. - 제 43 항에 있어서,
상기 제 1, 제 2 주메이저선의 연장선 상에, 상기 제어 신호의 표시와 교차하는 제 3, 제 4 주메이저선을 각각 표시하고,
상기 제 1, 제 2 주메이저선의 위치가 변경되면, 상기 제 3, 제 4 주메이저선은, 위치가 변경된 상기 제 1, 제 2 주메이저선의 연장선 상의 위치에 이동되고,
상기 제 3, 제 4 주메이저선의 위치가 변경되면, 상기 제 1, 제 2 주메이저선은, 위치가 변경된 상기 제 3, 제 4 주메이저선의 연장선 상의 위치에 각각 이동되도록 구성된, 그래프선 표시 방법.
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