KR20100005159A - 데이터 표시 장치, 데이터 표시 방법 및, 프로그램이 기록된 기록 매체 - Google Patents

데이터 표시 장치, 데이터 표시 방법 및, 프로그램이 기록된 기록 매체 Download PDF

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Abstract

(과제) 종래의 데이터 표시 장치 등에 있어서는, 반도체 프로세스로부터 측정된 데이터 등의 시계열의 데이터를 적절히 표시할 수 없다는 과제가 있었다.
(해결 수단) 반도체 프로세스의 처리시의 상태에 관한 시계열 데이터인 복수의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응 지어서 제1 표시폭으로 표시하는 제1 표시부(1307)와, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 프로세스 관련 데이터 내의 일부의 범위인 표시 대상 범위의 지정을 접수하는 범위 지정 접수부(1308)와, 복수의 프로세스 관련 데이터의 각각으로부터, 표시 대상 범위에 대응하는 기간인 표시 기간 내의 프로세스 관련 데이터를 취득하여, 시간축과 대응 지어서, 상기 표시 대상 범위의 폭보다도 넓은 제2 표시폭으로 표시하는 제2 표시부(1310)를 구비하고, 제1 표시부(1307)가, 표시 대상 범위를 나타내는 정보를 제1 표시부(1307)가 표시하는 1 이상의 프로세스 관련 데이터와 대응지어서 표시하도록 했다.
반도체, 프로세스, 시계열, 데이터

Description

데이터 표시 장치, 데이터 표시 방법, 프로그램 {DATA DISPLAY, DATA DISPLAY METHOD, AND PROGRAM}
본 발명은 반도체 프로세스의 처리시의 상태에 관한 시계열 데이터인 프로세스 관련 데이터를 복수 표시하는 데이터 표시 장치 등에 관한 것이다.
피(被)처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 복수의 제조 장치와, 당해 복수의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치를 구비하는 군(群)관리 시스템에 있어서의 측정 데이터 가공 방법으로서, 종래, 측정기로부터 보내져 오는 데이터를 자동적으로, 그리고 정확하게 가공하는 방법이 알려져 있었다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 본 측정 데이터 가공 방법은, 측정 데이터를 가공하는 계산식을 미리 등록해 두고, 측정 데이터를 수신했을 때, 이 측정 데이터를 측정 데이터 수신 버퍼에 격납함과 아울러, 측정 데이터가 갖는 레시피(recipe) 명칭에 기초하여, 등록된 계산식 중에서 측정 데이터를 가공하는 데에 적합한 적어도 1개의 동일한 레시피 명칭을 갖는 계산식을 선택하여 계산식 격납 버퍼에 격납하고, 격납된 상기 측정 데이터를 상기 선택된 계산식에 적용하여 계산하고, 계산 결과를 가공이 끝난 데이터 격납 버퍼에 기억하는 것이다.
또한, 종래의 반도체 제조 장치 등을 구비한 군관리 시스템에서는, 반도체 제조 장치에서 측정된 시계열의 정보(이하 차트로 기재)를 표시하는 기능을 갖고 있었다. 이 차트에는, 군관리 시스템이 관리하는 복수의 반도체 제조 장치의 정보가 표시되어 있었다. 그리고, 종래의 군관리 시스템에서는, 차트를 이용하여 이상(異常) 검지(檢知)를 행하고, 그 후 이상 분류를 행하는 FDC(fault detection and classification)이라는 기능을 갖고 있었다.
[특허문헌 1] 일본공개특허공보 평11-354395호(제1쪽, 제1 도 등)
(발명의 개시)
(발명이 해결하고자 하는 과제)
그러나, 종래의 군관리 시스템 등에 있어서는, 반도체 프로세스에 있어서 측정된 데이터 등의 시계열의 데이터를 적절히 표시할 수 없다는 과제가 있었다.
예를 들면, 복수의 시계열 데이터에 대한 해석 등을 행할 때에, 그래프 등으로 표시한 복수의 시계열 데이터를 나란히 표시함으로써, 각 데이터끼리를 비교하는 것이 가능해진다.
그러나, 종래는, 이와 같이 복수의 시계열 데이터를 나란히 표시한 경우, 하나의 시계열 데이터의 표시 대상이 되는 기간을 변경하거나, 표시 대상이 되는 기간을 이동시킨 경우, 다른 시계열 데이터의 표시 대상으로 하고 있는 기간도 개별적으로 변경하지 않으면, 그래프마다 표시하고 있는 기간이 달라져 버려, 데이터끼리를 비교하는 것이 곤란했다.
또한, 그래프 등으로 표시되어 있는 시계열 데이터의 일부를 확대하거나 축소하거나 하여, 표시하는 기간의 범위를 변경한 경우, 현재의 표시 범위가 시계열 데이터 전체 중 어디쯤의 위치인지를 곧바로 파악할 수 없고, 또한, 다른 표시 기간을 곧바로 지정할 수 없었다.
특히 최근은, 반도체 프로세스를 정밀도 좋게 제어하기 위해, 반도체 제조 장치 등으로부터 1MHz 정도의 높은 샘플링 레이트로 측정 데이터를 취득할 수 있게 되고 있어, 취득되는 데이터양이 증가해가고 있다. 이 때문에, 측정 데이터의 일부를 확대 표시함으로써, 보다 세밀한 부분의 분석이 가능해지고 있다. 그러나, 세부만을 확대 표시한 경우, 측정 데이터 전체의 경향을 파악할 수 없고, 또한, 측정 데이터 전체 중의 확대한 부분의 위치 관계도 판단할 수 없어, 적절한 분석을 행할 수 없다는 문제가 있었다.
(과제를 해결하기 위한 수단)
본 발명의 데이터 표시 장치는, 반도체 프로세스의 처리시의 상태에 관한 시계열 데이터인 프로세스 관련 데이터가 복수 격납될 수 있는 격납부와, 상기 격납부로부터, 1 이상의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 데이터 취득부와, 상기 데이터 취득부가 취득한 1 이상의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서 제1 표시폭으로 표시하는 제1 표시부와, 상기 제1 표시부가 표시하고 있는 상기 프로세스 관련 데이터 내의 일부의 범위인 표시 대상 범위의 지정을 접수하는 범위 지정 접수부와, 상기 복수의 프로세스 관련 데이터의 각각으로부터, 상기 표시 대상 범위에 대응하는 기간인 표시 기간 내의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 표시 데이터 취득부와, 상기 표시 데이터 취득부가 취득한 상기 표시 기간 내의 복수의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서, 상기 표시 대상 범위의 폭보다도 넓은 제2 표시폭으로 표시하는 제2 표시부를 구비하고, 상기 제1 표시부는, 상기 범위 지정 접수부가 접수한 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 당해 제1 표시부가 표시하는 상기 1 이상의 프로세스 관련 데이터와 대응지어서, 추가로 표시하는 데이터 표시 장치이다.
이러한 구성에 의해, 반도체 프로세스에 관한 시계열의 데이터의 세부를 그래프로 표시하여, 보다 세밀한 분석이 가능해짐과 아울러, 제2 표시부(1310)가 확대 표시하고 있는 데이터의 기간이, 제1 및 제2 측정 데이터 전체 중의 어느 부분의 기간인지를, 시각적으로 곧바로 파악하는 것이 가능해진다. 이에 따라, 반도체 프로세스에 관한 시계열의 데이터를 적절히 표시하는 것이 가능해진다.
또한, 본 발명의 데이터 표시 장치는, 반도체 프로세스의 처리시의 상태에 관한 시계열 데이터인 하나의 프로세스 관련 데이터가 격납될 수 있는 격납부와, 상기 격납부로부터, 상기 하나의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 데이터 취득부와, 상기 데이터 취득부가 취득한 하나의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서 제1 표시폭으로 표시하는 제1 표시부와, 상기 제1 표시부가 표시하고 있는 하나의 프로세스 관련 데이터에 대해서, 복수의 범위인 복수의 표시 대상 범위의 지정을 접수하는 범위 지정 접수부와, 상기 하나의 프로세스 관련 데이터로부터, 상기 복수의 표시 대상 범위에 각각 대응하는 기간인 복수의 표시 기간 내의 복수의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 표시 데이터 취득부와, 상기 표시 데이터 취득부가 취득한 복수의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서, 상기 표시 대상 범위의 폭보다도 넓은 제2 표시폭으로 표시하는 제2 표시부를 구비하고, 상기 제1 표시부는, 상기 범위 지정 접수부가 접수한 복수의 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 당해 제1 표시부가 표시하는 상기 하나의 프로세스 관련 데이터와 대응지어서, 추가로 표시하는 데이터 표시 장치이다.
이러한 구성에 의해, 하나의 프로세스 관련 데이터의 복수의 영역으로부터 취득한 데이터를 제2 표시폭으로 표시할 수 있어, 하나의 프로세스 관련 데이터 내에서의 데이터의 비교 등이 용이해져, 이상(異常)의 검출 등을 효율적으로 행할 수 있다.
또한, 본 발명의 데이터 표시 장치는, 상기 데이터 표시 장치에 있어서, 상기 제1 표시부는, 데이터 취득부가 취득한 하나의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서 제1 표시폭으로 복수 표시하고, 상기 범위 지정 접수부는, 상기 제1 표시부가 복수 표시하고 있는 상기 하나의 프로세스 관련 데이터의 각각에 대해서 표시 대상 범위의 지정을 접수하고, 상기 표시 데이터 취득부는, 상기 하나의 프로세스 관련 데이터로부터, 상기 범위 지정 접수부가 지정을 접수한 복수의 표시 대상 범위에 대응하는 복수의 프로세스 관련 데이터를 취득하고, 상기 제2 표시부는, 상기 표시 데이터 취득부가 취득한 복수의 프로세스 관련 데이터를, 각각 시간축과 대응지어서, 상기 표시 대상 범위의 폭보다도 넓은 제2 표시폭으로 표시하고, 상기 제1 표시부는, 상기 범위 지정 접수부가 접수한 복수의 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 각각이 지정을 접수한, 상기 제1 표시부가 표시하는 복수의 상기 하나의 프로세스 관련 데이터에 각각 대응지어서, 추가로 표시하는 데이터 표시 장치이다.
이러한 구성에 의해, 하나의 프로세스 관련 데이터의 복수의 영역으로부터 취득한 데이터를, 제2 표시폭으로 표시할 수 있어, 하나의 프로세스 관련 데이터 내에서의 데이터의 비교 등이 용이해져, 이상의 검출 등을 효율적으로 행할 수 있다.
또한, 본 발명의 데이터 표시 장치는, 상기 데이터 표시 장치에 있어서, 상기 표시 데이터 취득부가 취득한 복수의 데이터에 대해서 소정의 해석을 행하는 해석부와, 상기 해석부의 해석 결과를 표시하는 제3 표시부를 추가로 구비한 데이터 표시 장치이다.
이러한 구성에 의해, 하나의 프로세스 관련 데이터 내의 복수의 영역의 데이터에 대한 해석 결과를, 하나의 프로세스 관련 데이터나, 하나의 프로세스 관련 데이터 내의 복수의 영역의 데이터와 나란히 표시함으로써, 데이터간의 비교가 용이해져, 데이터의 이상 등을 인식하기 쉽게 할 수 있다.
또한, 본 발명의 데이터 표시 장치는, 상기 데이터 표시 장치에 있어서, 상기 표시 데이터 취득부가 취득한 프로세스 관련 데이터의 1 이상에 대하여, 소정의 연산 처리를 행하는 데이터 처리부를 추가로 구비하고, 상기 제2 표시부는, 상기 표시 데이터 취득부가 취득한 프로세스 관련 데이터 및, 상기 데이터 처리부에 의해 연산 처리된 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서, 상기 표시 대상 범위의 폭보다도 넓은 제2 표시폭으로 표시하는 데이터 표시 장치이다.
이러한 구성에 의해, 측정 데이터의 표시 대상 범위만을 데이터 처리부가 처리함으로써, 데이터 처리부의 데이터의 처리량을 삭감할 수 있다. 또한, 표시할 때에 데이터 처리를 행하기 때문에, 실시간으로 데이터 처리한 프로세스 관련 데이터를 표시할 수 있다.
또한, 본 발명의 데이터 표시 장치는, 상기 데이터 표시 장치에 있어서, 상기 범위 지정 접수부는, 상기 표시 대상 범위의 지정을, 상기 제1 표시부가 표시하는 프로세스 관련 데이터에 대한 지정 디바이스를 이용한 조작에 의해 접수하는 데이터 표시 장치이다.
이러한 구성에 의해, 제1 표시부가 표시하는 프로세스 관련 데이터를 이용하여 표시 대상 범위를 지정할 수 있어, 감각적인 조작이 가능해져, 조작성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 데이터 표시 장치는, 상기 데이터 표시 장치에 있어서, 상기 제1 표시부는, 상기 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 당해 제1 표시부가 표시하는 프로세스 관련 데이터와 겹쳐서 표시하고, 상기 범위 지정 접수부는, 상기 표시 대상 범위의 지정을, 상기 제1 표시부가 표시하는 표시 대상 범위를 나타내는 정보에 대한, 지시 디바이스를 이용한 이동 및 폭의 변경의 조작에 따라서 접수하는 데이터 표시 장치이다.
이러한 구성에 의해, 표시 대상 범위의 변경을, 감각적인 조작으로 행하는 것이 가능해져, 조작성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 데이터 표시 장치는, 상기 데이터 표시 장치에 있어서, 데이터 취득부가 취득한 프로세스 관련 데이터 중 하나로부터 특이점을 검출하는 검출부를 추가로 구비하고, 상기 범위 지정 접수부는, 상기 검출부가 검출한 특이점이 발생한 기간을 나타내는 정보를, 상기 표시 대상 범위를 지정하는 정보로서 접수하는 데이터 표시 장치이다.
이러한 구성에 의해, 표시 대상 범위를 나타내는 정보를 자동 취득할 수 있다. 이에 따라, 표시 대상 범위를 지정하기 위한 사용자의 노력을 삭감할 수 있다. 또한, 제2 표시폭으로 표시해야 할 부분의 검출 누락을 없앨 수 있다.
(발명의 효과)
본 발명에 의한 데이터 표시 장치 등에 따르면, 반도체 프로세스에 관한 시계열의 데이터를 적절히 표시할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 군관리 시스템의 개념도를 나타내는 도면이다.
도 2는 동(同) 군관리 시스템의 블록도이다.
도 3은 동 제조 장치의 예를 나타내는 도면이다.
도 4는 동 데이터 표시 장치의 동작에 대해서 설명하는 플로우 차트이다.
도 5는 동 표시예를 나타내는 도면이다.
도 6은 동 표시예를 나타내는 도면이다.
도 7은 동 데이터 표시 장치에 대한 조작을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 동 데이터 표시 장치에 대한 조작을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 동 표시예를 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시 형태 2에 있어서의 군관리 시스템의 블록도이다.
도 11은 동 데이터 표시 장치의 동작에 대해서 설명하는 플로우 차트이다.
도 12는 본 발명의 실시 형태 3에 있어서의 군관리 시스템의 블록도이다.
도 13은 동 데이터 표시 장치의 동작에 대해서 설명하는 플로우 차트이다.
도 14는 동 표시예를 나타내는 도면이다.
도 15는 동 표시예를 나타내는 도면이다.
도 16은 동 표시예를 나타내는 도면이다.
도 17은 본 발명의 실시 형태 4에 있어서의 군관리 시스템의 블록도이다.
도 18은 동 데이터 표시 장치의 동작에 대해서 설명하는 플로우 차트이다.
도 19는 동 데이터 표시 장치의 패턴 격납부에 격납되어 있는 파형 패턴의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 20은 동 데이터 표시 장치가 격납하고 있는 제3 측정 데이터의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 21은 동 표시예를 나타내는 도면이다.
도 22는 동 실시 형태에 있어서의 컴퓨터 시스템의 외관의 일 예를 나타내는 모식도이다.
도 23은 동 실시 형태에 있어서의 컴퓨터 시스템의 구성의 일 예를 나타내는 도면이다.
(발명을 실시하기 위한 최량의 형태)
이하, 데이터 표시 장치 등의 실시 형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한 다. 또한, 실시 형태에 있어서 동일한 부호를 붙인 구성 요소는 동일한 동작을 행하기 때문에, 재차의 설명을 생략하는 경우가 있다.
(실시 형태 1)
도 1은, 본 실시 형태에 있어서의 군관리 시스템의 개념도이다. 군관리 시스템은, 예를 들면, 반도체 제조 장치나, 액정 패널 제조 장치 등의 제조 장치를 관리하는 시스템이다. 또한, 군관리 시스템은, 1 이상의 제조 장치(11)(제조 장치(11a)로부터 제조 장치(11n)(단 n은 임의의 수를 나타냄)), 서버 장치(12) 및, 데이터 표시 장치(13)를 갖는다.
제조 장치(11)와 서버 장치(12) 및, 데이터 표시 장치(13)와 서버 장치(12)는, 각각 통신 회선 등을 통하여 정보의 송수신이 가능하다. 각 장치는, 예를 들면, 인터넷이나, 무선이나 유선의 LAN 등의 네트워크로 접속되어 있어도 좋고, 블루투스(등록 상표) 등의 근거리 무선 통신에 의해 접속되어 있어도 좋다. 또한, USB나 IEEE 1394와 같은 버스 등에 의해 접속되어 있어도 좋다. 단, 각 장치간의 접속 방법은 불문한다. 또한, 정보의 송수신의 수단은 통신 수단이라도 방송 수단 등이라도 좋다.
도 2는, 본 실시 형태에 있어서의 군관리 시스템의 구성을 나타내는 블록도이다. 또한, 여기에서는 설명의 편의상, 제조 장치(11)가 1개인 경우를 예로 들어 나타내고 있다.
제조 장치(11)는, 피처리 기판, 예를 들면, 반도체 웨이퍼나 액정 패널 기판 등에 대한 소정의 반도체 프로세스를 행하는 장치이다. 제조 장치(11)는, 예를 들 면, 성막 처리, 에칭 처리, 열산화 처리 등의 피처리 기판에 대한 각종 처리를 행한다. 제조 장치(11)는, 예를 들면, 반도체 웨이퍼 제조 장치 등의 반도체 제조 장치나, 액정 패널 제조 장치, 플라즈마 디스플레이용 패널 제조 장치 등이다.
도 3은, 제조 장치(11)의 일 예인 반도체 웨이퍼 제조 장치를 나타내는 도면이다. 도 3의 반도체 웨이퍼 제조 장치는, 반도체 웨이퍼에 대하여 각종의 처리, 예를 들면, 성막 처리나 에칭 처리나 열산화 처리 등을 행하는 복수, 예를 들면, 3개의 프로세스 챔버(1, 2, 3)와, 다수매, 예를 들면, 50매의 웨이퍼(W)를 수납할 수 있는 카세트(C1, C2)를 수용하는 카세트 챔버(4, 5)와, 프로세스 챔버(1, 2, 3)와 카세트 챔버(4, 5)와의 사이에서 웨이퍼(W)의 인수인도를 행하는 반송 챔버(6)를 구비하여 구성된다. 각 챔버 사이는, 게이트 밸브(G)를 통하여 개폐가 자유롭게 연결되어 있다. 반송 챔버(6) 내에는, 신장과 굴절 동작 및 회전 동작이 가능한 예를 들면 다관절식의 반송 아암(7)이 형성되어 있고, 이 반송 아암(7)에 의해 챔버 사이에서의 웨이퍼(W)의 반송이 행해진다. 카세트(C1, C2)는, 카세트 챔버(4, 5) 내에 취입될 때에 90도 반전(反轉)됨과 아울러, 그 카세트(C1, C2)의 웨이퍼 삽탈구(揷脫口)가 반송 챔버(6) 내의 중심을 향하도록 회전되어, 반송 아암(7)에 의한 웨이퍼(W)의 출입이 가능한 자세로 설치된다.
제조 장치(11)는, 예를 들면, 웨이퍼에 대한 소정의 프로세스에 관한 정보인 레시피를 격납하고 있고, 당해 레시피를 이용하여 제조 프로세스의 제어를 행한다. 레시피란, 통상 프로세스 조건값 등의 집합이다.
또한, 제조 장치(11)는, 장치 자신의 상황에 관한 시계열의 데이터(이하 시 계열 데이터라고 칭함)인 상황 데이터를 1 이상 취득하여, 서버 장치(12)에 송신한다. 여기에서 서술하는 각 시계열 데이터는, 예를 들면, 시간에 대응한 1 이상의 데이터에 의해 구성되는 데이터이다. 상황에 관한 시계열의 데이터란, 구체적으로는, 시계열을 따라서 취득된 제조 장치의 이용 상황에 관련된 데이터나, 동작 상황에 관련된 데이터이다. 이용 상황에 관련된 데이터란, 예를 들면, 제조 장치가 어떠한 처리나 제어를 개시했는지 실행중인지 등을 나타내는 데이터나, 제조 장치를 제어할 때의 제어값의 변동을 나타내는 데이터 등이다. 제조 장치의 동작 상황에 관련된 데이터란, 예를 들면, 제조 장치 내의 온도나 압력, 제조 장치에 공급되는 전력량, 재료 가스의 유량 등의 제조 장치의 동작시 등에 실측된 측정 데이터 등이다. 이 측정 데이터는, 1 이상의 온도 센서나, 1 이상의 진동 센서나, 1 이상의 유량 센서 등을 이용하여 취득된다. 제조 장치(11)가, 통상 상황 데이터에, 당해 상황 데이터가 구성된 시각이나, 당해 상황 데이터를 구성하는 측정 정보나 이용 상황을 나타내는 데이터가 취득된 시각 등을 나타내는 정보인 시각 데이터를, 측정 데이터나 이용 상황을 나타내는 데이터와 대응지어서 부가하여 출력한다. 단, 상황 데이터를 수신한 서버 장치(12)가 상황 데이터를 수신한 시간에 대응하는 시각 데이터를, 상황 데이터에 대응지어서 부가하도록 해도 좋다. 또한, 상황 데이터에 「온도」, 「압력」 등의 측정 데이터의 종류를 나타내는 정보를 부가하여 출력해도 좋다. 통상은, 하나의 제조 장치(11)는, 다른 종류의 복수의 상황 데이터를 송신한다. 단, 복수의 제조 장치(11)가 1 이상의 상황 데이터를 송신해도 좋다. 또한, 제조 장치(11)가 복수 존재하는 경우, 각 제조 장치(11)로부터 출력되는 상황 데이터를 식별할 수 있도록, 상황 데이터에 각 제조 장치(11)를 식별하기 위한 식별 정보를 부가하여 송신해도 좋다.
또한, 제조 장치(11)가, 웨이퍼 등의 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스에 관한 처리를 실행하는 구성이나, 상황 데이터를 취득하여 송신하는 구성 등에 대해서는, 공지 기술이기 때문에 상세한 설명은 생략한다.
서버 장치(12)는, 군관리 시스템을 구성하는 서버 장치로서, 1 이상의 제조 장치(11)로부터 송신되는, 시계열 데이터인 상황 데이터를 복수 수신하여, 도시하지 않는 격납부 등에 축적한다. 그리고, 데이터 표시 장치(13)로부터 송신된, 상황 데이터의 송신을 요구하는 정보인 요구 정보에 따른 상황 데이터를 격납부로부터 판독하여, 데이터 표시 장치(13)로 송신한다. 데이터 표시 장치(13)로부터 송신되는 상황 데이터의 송신을 요구하는 정보는, 예를 들면, 소망하는 제조 장치에 대한 상황 데이터의 송신을 지정하기 위한, 소망하는 제조 장치의 장치 식별 정보를 포함해도 좋다. 또한, 송신을 요구하는 상황 데이터의 범위, 바꿔 말하면 기간을 지정하기 위한, 개시 시각과 종료 시각이나, 개시 시각과 필요로 하는 시간을 지정하는 정보를 포함해도 좋다. 이러한 경우, 서버 장치(12)는, 요구 정보가 지정하는 제조 장치의, 요구 정보가 지정하는 기간 내의 상황 정보를, 격납부로부터 판독하여, 요구 정보의 송신원(送信元)이 되는 데이터 표시 장치(13)로 송신한다. 단, 서버 장치(12)는, 요구 정보와는 관계 없이, 미리 지정되어 있는 데이터 표시 장치(13)로, 미리 지정되어 있는 일정 또는 부정(不定)한 소정의 타이밍으로, 상황 데이터를 판독하여 송신해도 좋다. 또한, 서버 장치(12)는, 격납된 상황 데이터를 가공하여 새로운 상황 데이터를 구성해도 좋다. 또한, 반도체 제조 장치의 군관리 시스템에 있어서의 서버 장치(12)가, 상황 데이터를 수신하여 축적하는 구성이나, 격납된 상황 정보를 판독하여 송신하는 구성 등은, 공지 기술이기 때문에 상세한 설명은 생략한다.
데이터 표시 장치(13)는, 지시 접수부(1301), 요구 정보 송신부(1302), 데이터 수신부(1303), 격납부(1304), 데이터 처리부(1305), 데이터 취득부(1306), 제1 표시부(1307), 범위 지정 접수부(1308), 표시 데이터 취득부(1309), 제2 표시부(1310)를 구비한다.
지시 접수부(1301)는, 서버 장치(12)에 격납되어 있는 복수의 프로세스 관련 데이터인 상황 데이터의 송신을 요구하는 정보인 요구 정보를 송신하는 지시를 접수한다. 프로세스 관련 데이터에 대해서는 후술한다. 지시 접수부(1301)가 접수하는 지시는, 상황 데이터의 종류를 지정하는 정보나, 상황 데이터의 범위, 바꿔 말하면 기간을 지정하기 위한, 개시 시각과 종료 시각이나, 개시 시각과 필요로 하는 시간을 지정하는 정보를 포함해도 좋다. 또한, 소망하는 제조 장치(11)에 대한 상황 데이터를 요구하기 위한, 식별 정보 등의 제조 장치(11)를 지정하는 정보를 포함해도 좋다. 여기에서 서술하는 접수란, 예를 들면, 입력 수단으로부터의 접수나, 다른 기기 등으로부터 송신되는 입력 신호의 수신 등이다. 지시 접수부(1301)가 접수하는 지시의 입력 수단은, 텐키(ten key)나 키보드나 마우스나 메뉴 화면에 의한 것 등, 무엇이라도 좋다. 지시 접수부(1301)는, 텐키나 키보드 등의 입력 수단의 디바이스 드라이버나, 메뉴 화면의 제어 소프트웨어 등으로 실현될 수 있다.
요구 정보 송신부(1302)는, 지시 접수부(1301)가 접수한 지시에 따른 요구 정보를 구성하여, 서버 장치(12)로 송신한다. 지시 접수부(1301)가 접수한 지시에 따른 요구 정보란, 구체적으로는, 상황 데이터의 종류를 지정하는 정보나, 상황 데이터의 범위, 즉 기간을 지정하는 정보나, 제조 장치(11)를 지정하는 정보 등에 대응한, 상황 정보의 송신을 요구하는 정보이다. 요구 정보 송신부(1302)는, 유선 또는 무선의 통신 수단 등에 의해 실현된다.
또한, 요구 정보와 관계 없이 서버 장치(12)로부터 상황 데이터 등이 송신되는 경우, 지시 접수부(1301)나 요구 정보 송신부(1302) 등은 생략해도 좋다.
데이터 수신부(1303)는, 서버 장치(12)로부터 송신되는 프로세스 관련 데이터인 상황 데이터를 수신한다. 데이터 수신부(1303)는, 유선 또는 무선의 통신 수단 등에 의해 실현된다.
격납부(1304)에는, 반도체 프로세스의 처리시의 상태에 관한 시계열 데이터인 프로세스 관련 데이터가 복수 격납될 수 있다. 프로세스 관련 데이터란, 구체적으로는, 전술한 데이터 수신부(1303)가 수신한 상황 데이터나, 후술하는 데이터처리부(1305)가, 데이터 수신부(1303)가 수신한 상황 데이터에 대하여 소정의 처리를 행하여 얻어진 시계열 데이터이다. 예를 들면, 제조 장치(11)에 대해서 소정의 시간 간격으로 반복하여 측정된 측정 데이터 등이 격납된다. 격납부(1304)에 격납되는 프로세스 관련 데이터에는, 통상 각 데이터를 취득한 시간을 나타내는 시간 정보가 부가되어 있다. 예를 들면, 격납부(1304)에는, 데이터 수신부(1303)가 수신한 상황 데이터나, 도시하지 않는 판독부 등이 기록 매체 등으로부터 판독한, 반 도체 프로세스의 처리시의 상태에 관한 시계열 데이터인 상이한 복수의 프로세스 관련 데이터나, 후술하는 데이터 처리부(1305)가 처리한 프로세스 관련 데이터 등이 축적된다. 여기에서 서술하는 격납이란, 일시 기억도 포함하는 개념이다. 격납부(1304)는, 불휘발성의 기록 매체라도 휘발성의 기록 매체라도 좋다.
데이터 처리부(1305)는, 데이터 수신부(1303)가 수신한 프로세스 관련 데이터인 상황 데이터에 대하여 소정의 처리를 행하여, 새로운 프로세스 관련 데이터를 구성한다. 그리고, 구성한 프로세스 관련 데이터를 격납부(1304)에 축적한다. 소정의 처리는 어떠한 처리라도 좋아, 예를 들면, 웨이블릿(wavelet) 변환이나, 데이터의 표준화·정규화의 처리 등이다. 또한, 어떠한 처리를 행할지는, 미리 정해져 있어도 좋고, 도시하지 않는 접수부 등으로부터 접수한 지시에 따라서 지정되어도 좋다. 데이터 처리부(1305)는, 데이터 수신부(1303)가 수신한 상황 데이터에 직접 처리를 행해도 좋고, 일단, 격납부(1304)에 격납된 상황 데이터를 판독하여 처리를 행해도 좋다. 데이터 처리부(1305)는, 통상 MPU나 메모리 등으로 실현될 수 있다. 데이터 처리부(1305)의 처리 순서는 통상 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
또한, 상황 데이터에 대하여 소정의 처리를 행하여 구성한 새로운 프로세스 관련 데이터가 불필요한 경우, 데이터 처리부(1305)는 생략해도 좋다.
데이터 취득부(1306)는, 격납부(1304)로부터 1 이상의 프로세스 관련 데이터를 취득한다. 데이터 취득부(1306)는, 격납부(1304)에 격납되어 있는 프로세스 관 련 데이터의 모든 기간의 데이터를 취득해도 좋고, 일부 기간의 데이터를 취득해도 좋다. 이 기간의 지정은, 미리 정해져 있어도 좋고, 지시 접수부(1301)나 도시하지 않는 접수부 등으로부터 접수한, 개시 시각과 종료 시각이나, 개시 시각과 필요로 하는 시간을 지정하는 정보 등에 기초하여 결정되어도 좋다. 또한, 기간의 지정이 없는 경우에, 격납부(1304)에 격납되어 있는 프로세스 관련 데이터의 모든 기간의 프로세스 관련 데이터를 취득하도록 해도 좋다. 데이터 취득부(1306)가 취득하는 1 이상의 프로세스 관련 데이터는, 격납부(1304)에 축적되어 있는 복수의 프로세스 관련 데이터 전부라도 좋고, 그 일부라도 좋다. 이 취득 대상으로 하는 일부의 프로세스 관련 데이터가 어떻게 지정되는지는 불문한다. 예를 들면 도시하지 않는 접수부 등을 통하여 사용자로부터 데이터의 종류나, 장치 식별 정보 등을 이용하여 지정되어도 좋고, 미리 설정되어 있어도 좋다. 또한, 지정된 소정의 기간 내의, 프로세스 관련 데이터가 존재하지 않는 부분에 대해서는, 프로세스 관련 데이터가 없는, 즉 「0」인 것을 나타내는 정보를 취득하도록 해도 좋다. 데이터 취득부(1306)는, 통상 MPU나 메모리 등으로 실현될 수 있다. 데이터 취득부(1306)의 처리 순서는 통상 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
제1 표시부(1307)는, 데이터 취득부(1306)가 취득한 1 이상의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서 제1 표시폭으로 표시한다. 시간축과 대응지어서 표시란, 구체적으로는, 각 프로세스 관련 데이터를, 시간축을 횡축, 혹은 종축으로 한 그래프를 이용하여 표시하는 것 등이다. 제1 표시폭으로 표시란, 데이터 취득 부(1306)가 취득한 1 이상의 프로세스 관련 데이터의 개시 시각과, 종료 시각이, 제1 표시폭의 양단에 위치하도록, 1 이상의 프로세스 관련 데이터를 표시하는 것이다. 여기에서 서술하는 폭이란, 시간축 방향의 길이를 말한다. 제1 표시폭은 고정이어도 좋고, 도시하지 않는 접수부 등이 접수한 지시 등에 따라서 변경 가능한 것이어도 좋다. 또한, 제1 표시부(1307)는, 제1 표시폭에 따라서, 표시를 행하는 데에 있어서 실질적으로 불필요한 프로세스 관련 데이터를 솎아내거나, 프로세스 관련 데이터를 순조롭게 표시할 수 있도록 보간(interpolation)하도록 해도 좋다. 또한, 제1 표시부(1307)가 표시하는 1 이상의 프로세스 관련 데이터는 어떻게 결정되어도 좋다. 또한, 복수의 프로세스 관련 데이터를 표시하는 경우, 복수의 프로세스 관련 데이터를 서로 겹쳐서 표시해도 좋다.
또한, 제1 표시부(1307)는, 후술하는 범위 지정 접수부(1308)가 접수한 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 상기 제1 표시부(1307)가 제1 표시폭으로 표시하는 1 이상의 프로세스 관련 데이터와 대응지어서 표시한다. 대응지어서 표시란, 표시 대상 범위가, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 프로세스 관련 데이터 중 어느 범위인지가 일의적(一義的)으로 파악될 수 있도록 표시하는 것이다. 즉, 표시 대상 범위가, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 프로세스 관련 데이터 중 어느 범위인지가, 다른 영역과 구별될 수 있도록 표시하는 것이다. 구체적으로는, 표시 대상 범위가 나타내는 범위를 나타내는 화상을, 프로세스 관련 데이터에 겹쳐서 표시하거나, 프로세스 관련 데이터의 시간축을 따라서 표시하거나 하는 것이다. 이 표시 대상 범위를 나타내는 정보는, 예를 들면, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 1 이 상의 프로세스 관련 데이터의 표시 대상 범위에 상당하는 범위를, 다른 범위와 판별할 수 있도록 표시할 수 있는 정보, 예를 들면 오브젝트 화상이면 좋아, 예를 들면, 표시 대상 범위에 상당하는 범위를, 오버레이 등에 의해 착색 표시하는 정보나, 점선이나 경계선 등으로 둘러싸거나 구획하거나 하는 정보이다. 또한, 표시 대상 범위의 시계열 정보의 색 등을 반전 표시시킨 정보라도 좋다. 여기에서 서술하는 범위란, 구체적으로는 기간을 말한다. 또한, 표시 대상 범위에 상당하는 범위를 표시하는 기술은, 지시 디바이스 등으로 지정된 영역, 예를 들면 선택 범위를 나타내는 정보를 표시하는 기술 등으로서, 공지이기 때문에 상세한 설명은 생략한다. 여기에서 서술하는 표시란, 디스플레이 등으로의 표시를 포함하는 개념이다. 제1 표시부(1307)는, 디스플레이 등의 표시 디바이스 등을 포함한다고 생각해도, 포함하지 않는다고 생각해도 좋다. 제1 표시부(1307)는, 표시 디바이스의 드라이버 소프트 또는, 표시 디바이스의 드라이버 소프트와 표시 디바이스 등으로 실현될 수 있다.
범위 지정 접수부(1308)는, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 프로세스 관련 데이터 내의 일부의 범위인 표시 대상 범위의 지정을 접수한다. 표시 대상 범위는, 시간축을 따른 시점과 종점을 적어도 특정할 수 있는 범위를 나타내는 정보이면 좋다. 표시 대상 범위는, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 프로세스 관련 데이터상의 범위이다. 범위 지정 접수부(1308)는, 예를 들면, 표시 대상 범위의 지정을, 제1 표시부(1307)가 표시하는 프로세스 관련 데이터에 대한 마우스 등의 지시 디바이스를 이용한 조작에 의해 접수하는 것이 직감적으로 조작을 할 수 있는 점에서 바람직하다. 구체적으로는, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 1 이상의 프로세스 관련 데이터상의 표시 대상으로 하고 싶은 범위를, 지시 디바이스 등을 조작하여, 덧그리거나, 버튼 등을 클릭하면서 드래그함으로써, 범위의 지정을 접수해도 좋다. 또한, 표시 대상 범위를 나타내는 정보가, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 프로세스 관련 데이터상, 또는 프로세스 관련 데이터의 주변에 이미 표시되어 있는 경우, 이 표시되어 있는 표시 대상 범위를 나타내는 정보에 대한, 지시 디바이스를 이용한 이동 및 폭의 변경의 조작에 따라서, 표시 대상 범위의 지정을 접수해도 좋다. 예를 들면, 표시 대상 범위를 나타내는 직사각형의 오브젝트 화상이, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 프로세스 관련 데이터상에 겹쳐서 투과 표시되고 있는 경우, 이 오브젝트 화상의 중심을 지시 디바이스를 이용하여 드래그함으로써, 표시 대상 범위의 이동을 접수하도록 해도 좋다. 또한, 직사각형의 오브젝트 화상의 시간축 방향의 단부를 지시 디바이스를 이용하여 드래그함으로써, 표시 대상 범위가 나타내는 범위의 변경을 접수하도록 해도 좋다. 단, 범위 지정 접수부(1308)가, 표시 대상 범위의 지정을 어떻게 접수하는지는 불문한다. 예를 들면, 표시 대상 범위의 시점과 종점을 나타내는 시각 등의 값을 접수함으로써, 표시 대상 범위의 지정이나 변경 등을 접수해도 좋다. 여기에서 서술하는 접수란, 예를 들면, 입력 수단으로부터의 접수나, 다른 기기 등으로부터 송신되는 입력 신호의 수신 등이다. 입력 수단은, 텐키나 키보드나 마우스나 메뉴 화면에 의한 것 등, 무엇이라도 좋다. 범위 지정 접수부(1308)는, 텐키나 키보드 등의 입력 수단의 디바이스 드라이버나, 메뉴 화면의 제어 소프트웨어 등으로 실현될 수 있다.
표시 데이터 취득부(1309)는, 격납부(1304)에 격납되어 있는 복수의 프로세스 관련 데이터의 각각으로부터, 범위 지정 접수부(1308)가 접수한 표시 대상 범위에 대응하는 기간인 표시 기간 내의 프로세스 관련 데이터를 취득한다. 구체예로서, 표시 데이터 취득부(1309)는, 범위 지정 접수부(1308)가 접수한 표시 대상 범위에 대응하는 표시 기간의 개시 시각과 종료 시각을 취득하여, 이 개시 시각과 종료 시각과의 사이의 기간 내의 복수의 프로세스 관련 데이터를, 격납부(1304)로부터 판독하여 취득한다. 이 복수의 프로세스 관련 데이터는, 어떻게 결정되어도 좋고, 도시하지 않는 접수부 등을 통하여 지정을 접수해도 좋고, 미리 지정되어 있어도 좋다. 또한, 범위 지정 접수부(1308)가 접수한 표시 대상 범위에 대응하는 표시 기간의 개시 시각 및 종료 시각은, 예를 들면, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 프로세스 관련 데이터상에 있어서의 표시 대상 범위의 시간축 방향의 양단이 표시되어 있는 위치와, 제1 표시부(1307)가 제1 표시폭으로 표시하고 있는 프로세스 관련 데이터의 양단의 시각으로부터, 비율 등을 이용하여 산출 가능하다. 또한, 미리, 제1 표시폭과, 제1 표시부(1307)가 표시하는 프로세스 관련 데이터의 기간으로부터, 제1 표시부(1307)가 표시하는 화상 상의 거리와 시간과의 관계를 산출해 두고, 이 관계를 이용하여, 표시 대상 범위의 양단의, 제1 표시부(1307)상에 표시된 시계열 정보의 양단 등에 대한 거리로부터, 표시 대상 범위의 양단에 대응하는 시각인 개시 시각과 종료 시각을 산출해도 좋다. 또한, 표시 대상 범위 내의 일부 혹은 전부에, 프로세스 관련 데이터가 존재하지 않는 경우, 이 존재하지 않는 기간의 프로세스 관련 데이터를 취득하지 않도록 해도 좋고, 미리 설정된 값, 예를 들 면 「0」 등을, 이 기간의 값으로서 취득해도 좋다. 표시 데이터 취득부(1309)는, 통상 MPU나 메모리 등으로 실현될 수 있다. 표시 데이터 취득부(1309)의 처리 순서는, 통상 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
제2 표시부(1310)는, 표시 데이터 취득부(1309)가 취득한 표시 기간 내의 복수의 프로세스 관련 데이터를 시간축과 대응지어서, 표시 대상 범위의 폭보다도 넓은 제2 표시폭으로 표시한다. 통상, 제2 표시폭은, 제1 표시폭과 동일 정도의 폭인 것이 바람직하지만, 상이한 폭이어도 좋다. 제2 표시폭이 제1 표시폭보다도 좁은 경우, 표시 대상 범위의 폭보다도 제2 표시폭 쪽이 넓어지도록 하기 위해, 표시 대상 범위의 최대폭이 제2 표시폭보다 좁아지도록 설정해 두어도 좋다. 또한, 제2 표시폭은 고정이어도 좋고, 도시하지 않는 접수부 등이 접수한 지시 등에 따라서 변경 가능한 것이어도 좋다. 또한, 제2 표시부(1310)는, 제2 표시폭에 따라서, 표시를 행하는 데에 있어서 실질적으로 불필요한 프로세스 관련 데이터를 솎아내거나, 프로세스 관련 데이터를 순조롭게 표시할 수 있도록 보간하도록 해도 좋다. 또한, 제2 표시부(1310)가 표시하는 1 이상의 프로세스 관련 데이터는 어떻게 결정되어도 좋다. 또한, 복수의 프로세스 관련 데이터를 표시하는 경우, 통상은, 각각의 프로세스 관련 데이터를 개별로, 시간축에 대응지어서, 표시 대상 범위의 폭보다도 넓은 제2 표시폭으로 표시한다. 단, 복수의 프로세스 관련 데이터 중의 일부의 프로세스 관련 데이터를 서로 겹쳐서 표시해도 좋다. 또한, 표시 대상 범위의 지정을 접수하고 있지 않은 경우, 제2 표시부(1310)는, 예를 들면, 복수의 프로세 스 관련 데이터 전체를 프로세스 관련 데이터별로 제2 표시폭으로 표시해도 좋다. 여기에서 서술하는 표시란, 디스플레이 등으로의 표시를 포함하는 개념이다. 제2 표시부(1310)는, 디스플레이 등의 표시 디바이스 등을 포함한다고 생각해도 포함하지 않는다고 생각해도 좋다. 제2 표시부(1310)는, 표시 디바이스의 드라이버 소프트 또는, 표시 디바이스의 드라이버 소프트와 표시 디바이스 등으로 실현될 수 있다.
또한, 표시 데이터 취득부(1309)가 범위 지정 접수부(1308)가 접수한 표시 대상 범위에 대응하는 기간인 표시 기간 내의 프로세스 관련 데이터를 취득하고, 취득한 프로세스 관련 데이터를 제2 표시부(1310)가 표시하는 처리는, 범위 지정 접수부(1308)가 표시 대상 범위를 접수한 것을 트리거로 하여 행해지도록 하는 것이, 표시 대상 범위의 지정에 따라서 실시간으로 제2 표시부(1310)의 표시를 갱신하는 것이 가능하기 때문에 바람직하다.
다음으로, 데이터 표시 장치의 동작에 대해서 도 4의 플로우 차트를 이용하여 설명한다. 또한, 여기에서 지시 접수부(1301)는, 소망하는 기간 내의 1 이상의 상황 데이터(프로세스 관련 데이터)를 서버 장치(12)로부터 취득하기 위한 기간과, 상황 데이터의 종류를 지정하는 정보를 접수하는 것으로 한다.
(스텝 S400) 지시 접수부(1301)는, 요구 정보를 송신하는 지시를 접수했는지 안 했는지를 판단한다. 접수한 경우, 스텝 S401로 진행하고, 접수하고 있지 않은 경우, 스텝 S400으로 되돌아간다.
(스텝 S401) 요구 정보 송신부(1302)는, 지시 접수부(1301)가 접수한 지시에 따른 요구 정보를 구성하여, 서버 장치(12)로 송신한다. 여기에서는, 예로서, 지시 접수부(1301)가 접수한 지시에 따라서, 소망하는 기간 내의 소망하는 상황 데이터, 즉 프로세스 관련 데이터의 송신을 요구하는 요구 정보를 서버 장치(12)로 송신한다.
(스텝 S402) 데이터 수신부(1303)는, 서버 장치(12)로부터 송신되는 프로세스 관련 데이터인 상황 데이터를 수신한다.
(스텝 S403) 데이터 수신부(1303)는, 스텝 S402에 있어서 수신한 프로세스 관련 데이터를 격납부(1304)에 축적한다.
(스텝 S404) 데이터 처리부(1305)는, 데이터 수신부(1303)가 수신한 프로세스 관련 데이터에 대하여 소정의 처리를 행하여, 새로운 프로세스 관련 데이터를 구성한다. 그리고 구성한 프로세스 관련 데이터를 격납부(1304)에 축적한다. 데이터 처리부(1305)는, 데이터 수신부(1303)가 수신한 프로세스 관련 데이터에 대하여 소정의 처리를 행해도 좋고, 격납부(1304)에 격납되어 있는 스텝 S402에 있어서 수신한 프로세스 관련 데이터를 판독하여 소정의 처리를 행해도 좋다. 여기에서는, 예로서, 데이터 처리부(1305)가 처리 대상으로 하는 프로세스 관련 데이터가 미리 지정되어 있고, 그 프로세스 관련 데이터에 대하여 행해지는 처리도 미리 정해져 있는 것으로 한다.
(스텝 S405) 데이터 취득부(1306)는, 격납부(1304)로부터 1 이상의 프로세스 관련 데이터를 취득한다. 여기에서는, 데이터 취득부(1306)가, 예를 들면, 스텝 S402에 있어서 수신한 상황 데이터의 전(全) 기간의 데이터를 취득하는 것으로 한 다.
(스텝 S406) 제1 표시부(1307)는, 데이터 취득부(1306)가 취득한 프로세스 관련 데이터를 제1 표시폭으로 표시한다.
(스텝 S407) 범위 지정 접수부(1308)는, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 프로세스 관련 데이터 내의 일부의 범위인 표시 대상 범위의 지정을 접수했는지 안 했는지를 판단한다. 접수한 경우, 스텝 S408로 진행하고, 접수하고 있지 않은 경우, 스텝 S407로 되돌아간다.
(스텝 S408) 제1 표시부(1307)는, 스텝 S407에 있어서 접수한 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 스텝 S406에서 표시한 시계열 정보에 대응지어서 표시, 예를 들면, 겹쳐서 표시한다.
(스텝 S409) 표시 데이터 취득부(1309)는, 스텝 S407에 있어서 접수한 표시 대상 범위에 대응하는 실제의 기간인 표시 기간을 나타내는 정보를 취득한다. 구체적으로는, 제1 표시부(1307)가 제1 표시폭으로 표시하고 있는 시계열 정보의 개시 시각과 종료 시각 및, 제1 표시부(1307)가 제1 표시폭으로 표시하고 있는 시계열 정보의 시간축 방향의 단부가 위치하는 시간축 방향의 좌표와, 범위 지정 접수부(1308)가 접수한 표시 대상 범위의 시간축 방향의 단부가 위치하는 시간축 방향의 좌표 등으로부터, 표시 기간의 개시 시각과 종료 시각을 산출한다.
(스텝 S410) 표시 데이터 취득부(1309)는, 격납부(1304)에 격납되어 있는 복수의 프로세스 관련 데이터 중의, 스텝 S409에 있어서 산출한 표시 기간 내의 프로세스 관련 데이터를 판독하여 취득한다. 여기에서, 이 복수의 프로세스 관련 데이 터의 종류 등은 미리 지정되어 있는 것으로 한다.
(스텝 S411) 제2 표시부(1310)는, 스텝 S410에 있어서 취득한 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서 제2 표시폭으로 표시한다. 이 제2 표시폭은 미리 지정되어 있는 것으로 한다.
(스텝 S412) 범위 지정 접수부(1308)는, 표시 대상 범위의 변경을 접수했는지 안 했는지를 판단한다. 접수한 경우, 스텝 S408로 진행하고, 접수하고 있지 않은 경우, 스텝 S412로 되돌아간다.
또한, 도 4의 플로우 차트에 있어서, 전원 오프나 처리 종료의 끼어듦에 의해 처리는 종료된다.
또한, 제조 장치(11)나 서버 장치(12)의 동작에 대해서는, 공지이기 때문에 여기에서는 설명을 생략한다.
이하, 본 실시 형태에 있어서의 데이터 표시 장치를 구비한 군관리 시스템의 구체적인 동작에 대해서 설명한다. 군관리 시스템의 개념도는 도 1이다.
여기에서는, 우선, 제조 장치(11)의 동작시에 있어서의, 온도나 진동이나 가스 유량 등에 대한 측정 데이터(상황 데이터)가, 예를 들면 1MHz의 샘플링 레이트로 반복하여 측정되고, 측정 개시 시각을 0으로 한 시각 데이터와 대응지어져서, 제조 장치(11)로부터 서버 장치(12)로 송신되고 있는 것으로 한다.
그리고, 송신된 측정 데이터가 서버 장치(12) 내에 시각 데이터와 대응지어져서 축적되어 있는 것으로 한다.
다음으로, 데이터 표시 장치(13)의 지시 접수부(1301)가, 사용자로부터, 서 버 장치(12)에 격납되어 있는 측정 데이터 중의, 제1 측정 데이터 및 제2 측정 데이터의, 3000×10-6초에서 7000×10-6초까지의 기간의 데이터를 취득하는 지시를, 키보드 등의 입력 수단 등을 통하여 접수했다고 한다. 제1 및 제2 측정 데이터는, 어떠한 측정 데이터라도 좋다. 또한, 여기에서는 설명의 편의상, 제1 및 제2 측정 데이터의 측정치의 단위는 동일한 단위인 것으로 한다.
요구 정보 송신부(1302)는, 지시 접수부(1301)가 접수한 지시에 따라서, 제1 및 제2 데이터 중의, 3000×10-6초에서 7000×10-6초까지의 기간의 데이터의 송신을 요구하는 요구 신호를 서버 장치(12)로 송신한다.
서버 장치(12)는, 데이터 표시 장치(13)로부터 송신되는 요구 신호에 대응하는 제1 및 제2 데이터의, 3000×10-6초에서 7000×10-6초까지의 기간의 데이터를 판독하여, 데이터 표시 장치(13)로 송신한다.
데이터 표시 장치(13)의 데이터 수신부(1303)는, 서버 장치(12)로부터 송신되는 제1 및 제2 측정 데이터를 수신하여, 격납부(1304)에 격납한다.
여기에서, 미리, 제1 및 제2 측정 데이터를 웨이블릿 변환하여 얻어진 데이터를, 제1 및 제2 측정 데이터와 함께 표시하는 것이 미리 지정되어 있는 것으로 하고, 데이터 처리부(1305)는, 격납부(1304)에 격납된 제1 측정 데이터와 제2 측정 데이터를 각각 판독하여 웨이블릿 변환한다. 그리고, 웨이블릿 변환하여 얻어진 프로세스 관련 데이터를, 격납부(1304)에 축적한다. 또한, 웨이블릿 변환의 처리에 대해서는 공지 기술이기 때문에 설명은 생략한다.
다음으로, 데이터 취득부(1306)는, 제1 표시부(1307)가 표시를 행하기 위한 프로세스 관련 데이터를 격납부(1304)로부터 취득한다. 여기에서는, 미리, 데이터 수신부(1303)가 수신한 측정 데이터의 전부를 제1 표시부(1307)가 표시하는 것이 지정되어 있는 것으로 하고, 데이터 취득부(1306)는, 데이터 수신부(1303)가 수신한 제1 및 제2 측정 데이터의 모든 기간의 데이터를 판독한다.
제1 표시부(1307)는, 데이터 취득부(1306)가 판독한 제1 측정 데이터와, 제2 측정 데이터를, 시간축을 따라서 서로 겹친 제1 표시폭의 그래프를 구성하여, 도시하지 않는 디스플레이 등을 이용하여 표시한다. 여기에서는, 제1 표시폭이 미리 설정되어 있으며, 예를 들면, 400픽셀이라고 한다. 또한, 그래프의 높이는 160픽셀이라고 한다. 또한, 여기에서, 횡축의 단위는 10-6초라고 한다. 또한, 여기에서는, 제1 및 제2 측정 데이터가 제1 표시폭에 대하여 매우 많아, 모든 데이터를 그래프 내의 한정된 픽셀수로 표시할 수는 없기 때문에, 각각의 측정 데이터를 솎아낸 데이터를 이용하여 그래프를 구성하도록 해도 좋다.
도 5는, 제1 표시부(1307)가 구성한 그래프의 표시예이다. 여기에서는, 제1 및 제2 측정치의 그래프가 서로 겹쳐져 표시되어 있다. 또한, 그래프(51)만이, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 그래프이다. 여기에서는, x축을 시간, y축을 측정 데이터의 값으로 하고 있다. 그래프(52)∼그래프(55)는 제2 표시부(1310)가 표시하는 그래프이지만, 여기에서는, 초기 상태에서는 그래프가 표시되어 있지 않은 것으로 한다. 또한, 여기에서, 제1 표시부(1307)와 제2 표시부(1310)는 동일한 디 스플레이에 화상을 표시하는 것으로 한다.
다음으로, 사용자가 마우스 등을 조작하여, 디스플레이상에 표시되는 포인터 등을 이동시켜, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 그래프(51)상의 일부의 범위를 선택하면, 범위 지정 접수부(1308)는, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 프로세스 관련 데이터 내의 일부의 범위인 표시 대상 범위의 지정을 접수한다. 구체적으로, 범위 지정 접수부(1308)는, 이 마우스의 조작 등으로 선택된 범위의 x좌표의 값을 접수한다. 여기에서는, 설명을 간단하게 하기 위해, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 그래프의 좌측의 x좌표를 「0」, 우측의 x좌표를 「400」이라고 하고, 범위 지정 접수부(1308)가 접수한 표시 대상 범위의 좌측의 x좌표가 「160」, 우측의 x좌표가 「280」이었다고 하면, 범위 지정 접수부(1308)는, 표시 대상 범위를 지정하는 정보인 「x＝160」 및 「x＝280」의 값을 접수한다.
제1 표시부(1307)는, 범위 지정 접수부(1308)가 접수한 표시 대상 범위를 지정하는 좌표의 정보인 「x＝160」 및 「x＝280」의 값을 취득하고, 도 5에 나타낸 바와 같은 그래프(51)의, 이 좌표 사이에 끼워진 범위 내의 배경색을, 다른 영역과 상이한 색으로 변경하여 재표시한다.
표시 데이터 취득부(1309)는, 범위 지정 접수부(1308)가 접수한 표시 대상 범위를 지정하는 정보인 「x＝160」 및 「x＝280」의 값으로부터, 표시 대상 범위에 대응하는 기간의 정보를 취득한다. 구체적으로는, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 그래프의 시간축의 범위가 3000×10-6초에서 7000×10-6초까지의 기간이며, 이 기간이 400픽셀인 제1 표시폭으로 표시되고 있는 점에서, 표시 데이터 취득부(1309)는, (7000-3000)×10-6초÷400픽셀을 연산하여, 그래프(51)상의 1픽셀이 10×10-6초인 것을 산출한다. 그리고, 이 1픽셀에 대응하는 시간을 이용하여, 표시 데이터 취득부(1309)는, 표시 대상 범위의 좌단의 시각과 우단의 시각을 산출한다. 표시 데이터 취득부(1309)가 산출하는 표시 대상 범위의 좌단의 시각은 (3000+160×10)×10-6초, 우단의 시각은 (3000+280×10)×10-6초가 된다. 따라서, 표시 대상 범위에 대응하는 기간은 4600×10-6초에서 5800×10-6초까지의 기간이 되며, 표시 데이터 취득부(1309)는, 이 기간 내의 제1 및 제2 측정 데이터와, 이들 데이터를 웨이블릿 변환한 프로세스 관련 데이터를, 격납부(1304)로부터 판독한다. 그리고, 판독한 데이터를 각각 이용하여, 제1 표시부(1307)와 동일하게, 시간축을 따른 미리 설정된 제2 표시폭의 그래프를 구성한다. 여기에서, 제2 표시폭은 미리 설정되어 있으며, 제1 표시폭과 거의 동일한 사이즈, 예를 들면 410픽셀이라고 한다. 그리고, 구성한 그래프를 디스플레이 등에 표시한다. 또한, 표시 데이터 취득부(1309)는, 제1 및 제2 측정 데이터나, 웨이블릿 변환 등에 의해 얻어진 프로세스 관련 데이터를, 적절히 솎아낸 데이터를 이용하여 그래프를 구성하도록 해도 좋다.
도 6은, 제1 표시부(1307)와, 제2 표시부(1310)가 구성한 그래프의 표시예를 나타내는 도면이다. 도 5와 동일하게, 그래프(51)가 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 그래프이며, 그래프(52)∼그래프(55)는 제2 표시부(1310)가 표시하고 있는 그 래프이다. 그래프(52)는 제1 측정 데이터의 그래프, 그래프(53)는 제1 측정 데이터를 웨이블릿 변환하여 얻어진 데이터의 그래프, 그래프(54)는 제2 측정 데이터의 그래프, 그래프(55)는 제2 측정 데이터를 웨이블릿 변환하여 얻어진 데이터의 그래프이다.
도 6에 나타내는 바와 같이, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 그래프에 있어서는, 격납부(1304)가 격납하고 있는 제1 및 제2 측정 데이터 중의, 전(全) 기간의 데이터가 표시되고 있음과 아울러, 범위 지정 접수부(1308)가 접수한 범위가, 배경색이, 다른 영역과 상이한 영역(61)으로서 표시되어 있다. 또한, 제2 표시부(1310)가 표시하고 있는 그래프에 있어서는, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 그래프 중의 영역(61)에 대응하는 기간 내의 데이터가, 영역(61)의 폭보다도 넓은 제2 표시폭, 여기에서는, 제1 표시폭과 동일 정도의 폭으로 표시되어 있다.
이와 같이 표시함으로써, 제1 표시부(1307)가 디스플레이 등에 표시하고 있는 그래프상의, 사용자가 지정한 범위에 대응하는 기간의 측정 데이터나, 이 기간의 웨이블릿 변환한 정보를 확대하여 표시할 수 있다. 이에 따라, 데이터의 세부를 그래프로 표시하여, 보다 세밀한 분석이 가능해진다. 또한, 제1 및 제2 측정 데이터의 전체는, 제1 표시부(1307)에 의해 표시된 채로 되어 있음과 아울러, 제2 표시부(1310)에 의해 확대되어 표시되고 있는 범위를, 제1 표시부(1307)가, 제1 및 제2 측정 데이터와 대응지어서 표시하고 있기 때문에, 제2 표시부(1310)가 확대 표시하고 있는 데이터의 기간이, 제1 및 제2 측정 데이터의 전체 중의 어느 부분의 기간인지를, 시각적으로 곧바로 파악할 수 있다. 특히, 최근, 반도체 프로세스의 처리시의 상태에 관한 값을, 보다 높은 빈도로 취득하는 것이 가능해지고 있기 때문에, 측정 데이터 등의 세부를 확대하여 표시하는 것이 가능해지고 있다. 이 때문에, 본 실시 형태에 의하면, 측정 데이터 등의 전체를 제1 표시부(1307)에서 표시하면서, 측정 데이터 등의 세부를, 보고 싶은 부분을 효율적이고 그리고 감각적으로 지정하여 확대 표시하는 것이 가능해진다. 이에 따라, 측정 데이터 등의 전체와 세부를 효율적으로 표시할 수 있다.
또한, 범위 지정 접수부(1308)가 접수한 표시 대상 범위에 대응하는 기간의 복수의 측정 데이터 등의 프로세스 관련 데이터가 제2 표시부(1310)에 의해 표시되기 때문에, 제2 표시부(1310)가 표시하는 복수의 프로세스 관련 데이터의, 표시 대상으로 하고 있는 기간을 일치시킬 수 있어, 복수의 프로세스 관련 데이터의 비교가 용이해진다.
또한, 제1 표시부(1307)의 그래프상에서 표시 대상 범위를 지정할 수 있기 때문에, 확대하고 싶은 부분 등을 판단하기 쉽고, 조작성이 좋다.
다음으로, 제1 표시부(1307)에 표시되어 있는 표시 대상 범위를 나타내는 영역(61)의 시간축 방향의 단부를, 도 7에 나타내는 바와 같이, 화면에 표시되어 있는 마우스 등에 의해 드래그하는 조작을 행하여 포인터(71)를 이동시키면, 범위 지정 접수부(1308)는, 폭이 변경된 표시 대상 범위의 정보를 접수한다. 이에 수반하여, 제1 표시부(1307)에 표시되어 있는 표시 대상 범위를 나타내는 영역(61)의 폭이 변경됨과 아울러, 표시 데이터 취득부(1309)가 취득하는 측정 데이터 등의 기간도 변경되어, 제2 표시부(1310)는, 드래그 등에 의해 폭이 변경된 영역(61)에 대응 한 측정 데이터 등을 표시하게 된다.
또한, 도 6에 있어서, 제1 표시부(1307)에 표시되어 있는 표시 대상 범위를 나타내는 영역(61)의 중앙부를, 도 8에 나타내는 바와 같이, 마우스 등에 의해 드래그하는 조작을 행하여 포인터(71)를 이동시키면, 범위 지정 접수부(1308)는, 시간축 방향에 있어서 위치가 변경된 표시 대상 범위의 정보를 접수한다. 이에 수반하여, 제1 표시부(1307)에 표시되어 있는 표시 대상 범위를 나타내는 영역(61)의 시간축 방향의 위치가 변경됨과 아울러, 표시 데이터 취득부(1309)가 취득하는 측정 데이터 등의 기간도 변경되어, 제2 표시부(1310)는, 드래그 등에 의해 시간축 방향의 위치가 변경된 영역(61)에 대응한 측정 데이터 등을 표시하게 된다.
이와 같이, 제1 표시부(1307)상에 표시되어 있는 표시 대상 범위를 나타내는 영역의 폭이나 위치를 마우스 등을 조작함으로써, 제2 표시부(1310)가 제2 표시폭으로 표시하는 측정 데이터 등의 기간을 변경할 수 있기 때문에, 감각적인 조작이 가능해져 조작성이 향상된다.
이상, 본 실시 형태에 의하면, 제조 장치(11)에 관한 1 이상의 시계열의 데이터를, 제1 표시부(1307)를 이용하여 표시함과 아울러, 그 일부의 기간의 복수의 프로세스 관련 데이터를 제2 표시부(1310)가 확대하여 표시하도록 함으로써, 반도체 프로세스에 관한 시계열의 데이터의 세부를 그래프로 표시하여, 보다 세밀한 분석이 가능해진다. 또한, 제2 표시부(1310)에 의해 확대하여 표시하고 있는 범위를, 제1 표시부(1307)가, 제1 및 제2 측정 데이터와 대응지어서 표시하고 있음으로써, 제2 표시부(1310)가 확대 표시하고 있는 데이터의 기간이, 제1 및 제2 측정 데 이터 전체 중의 어느 부분의 기간인지를 시각적으로 곧바로 파악하는 것이 가능해진다. 이에 따라, 반도체 프로세스에 관한 시계열의 데이터를 적절하게 표시할 수 있다.
또한, 범위 지정 접수부(1308)가 접수한 표시 대상 범위에 대응하는 기간의 복수의 프로세스 관련 데이터를 제2 표시부(1310)에 의해 표시하도록 함으로써, 표시 대상으로 하고 있는 기간을 일치시켜 복수의 프로세스 관련 데이터를 표시할 수 있어, 복수의 프로세스 관련 데이터의 비교가 용이해진다.
또한, 상기 실시 형태에 있어서, 데이터 처리부(1305)가 상황 데이터 등의 프로세스 관련 데이터를 처리하여, 새로운 프로세스 관련 데이터를 구성하는 타이밍이나 트리거 등은 불문한다. 예를 들면, 범위 지정 접수부(1308)가 표시 대상 범위의 지정을 접수한 경우에, 격납부(1304)에 격납되어 있는 당해 표시 대상 범위에 대응하는 표시 기간 내의 1 이상의 상황 데이터 등의 프로세스 관련 데이터에 대하여, 웨이블릿 변환 등의 소정의 처리를 행하여, 새로운 프로세스 관련 데이터를 구성하고, 구성한 프로세스 관련 데이터를 표시 데이터 취득부(1309) 등에 출력하도록 해도 좋다.
또한, 상기 실시 형태에 있어서, 데이터 처리부(1305)와 동일한 데이터 처리부 등을 서버 장치(12)에 형성하도록 하고, 서버 장치(12)가 격납하고 있는 상황 데이터에 대하여, 서버 장치(12) 내의 데이터 처리부 등이 소정의 처리를 행해 새로운 프로세스 관련 데이터를 구성하여, 상황 데이터 등과 함께 서버 장치(12) 내의 도시하지 않는 격납부에 축적하고, 이 축적한 프로세스 관련 데이터를 판독하 여, 데이터 표시 장치(13)로 송신하거나 하도록 해도 좋다.
또한, 상기 실시 형태에 있어서, 표시 대상 범위의 표시의 형태 등에 대해서는 불문한다. 예를 들면, 도 9에 나타내는 바와 같이, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 그래프(51)의, 표시 대상 범위(61)의 개시 시각과 종료 시각에 각각 대응하는 시간축의 위치에, 마커(91) 및 마커(92)를 표시함으로써, 제1 표시부(1307)가 표시 대상 범위의 표시를 행하도록 해도 좋다.
(실시 형태 2)
본 실시 형태는, 상기 실시 형태에 나타낸 데이터 표시 장치에 있어서, 표시 데이터 취득부가 취득한 프로세스 관련 데이터에 대해, 데이터 처리부가 소정의 처리를 행하여, 이 처리에 의해 얻어진 프로세스 관련 데이터를 표시하도록 한 것이다.
도 10은, 본 실시 형태에 따른 데이터 표시 장치를 구비한 군관리 시스템의 구성을 나타내는 블록도이다. 도면에 있어서, 도 2와 동일 부호는, 동일 또는 상당하는 부분을 나타내고 있다.
데이터 표시 장치(23)는, 지시 접수부(1301), 요구 정보 송신부(1302), 데이터 수신부(1303), 격납부(1304), 데이터 처리부(2305), 데이터 취득부(1306), 제1 표시부(1307), 범위 지정 접수부(1308), 표시 데이터 취득부(1309), 제2 표시부(2310)를 구비하고 있다.
데이터 표시 장치(23)의, 데이터 처리부(2305) 및 제2 표시부(2310) 이외의 구성에 대해서는, 상기 실시 형태의 데이터 표시 장치와 동일하기 때문에, 상세한 설명은 생략한다.
데이터 처리부(2305)는, 표시 데이터 취득부(1309)가 취득한 프로세스 관련 데이터의 1 이상에 대하여 소정의 연산 처리를 행한다. 그리고, 연산 처리에 의해 취득한 프로세스 관련 데이터를 제2 표시부(2310)에 출력한다. 소정의 처리는, 어떠한 처리라도 좋아, 예를 들면, 웨이블릿 변환이나, 데이터의 표준화의 처리 등이다. 데이터의 표준화란 데이터의 단위나 종류의 차이에 의한 영향을 적게 하기 위한 처리이다. 또한, 어떠한 처리를 행할지는, 미리 정해져 있어도 좋고, 도시하지 않는 접수부 등으로부터 접수한 지시에 따라서 지정되어도 좋다. 또한, 표시 데이터 취득부(1309)가 취득한 프로세스 관련 데이터 중의 어느 프로세스 관련 데이터를 처리하는지는 불문한다. 처리 대상이 되는 프로세스 관련 데이터는 어떻게 지정되어도 좋아, 예를 들면, 도시하지 않는 접수부 등을 통하여 사용자 등으로부터 지정을 접수해도 좋다. 또한, 디폴트(default)로 설정되어 있어도 좋다. 또한, 표시 데이터 취득부(1309)가 취득한 모든 프로세스 관련 데이터를 처리해도 좋다. 데이터 처리부(2305)는, 통상 MPU나 메모리 등으로 실현될 수 있다. 데이터 처리부(2305)의 처리 순서는 통상 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
제2 표시부(2310)는, 표시 데이터 취득부(1309)가 취득한 프로세스 관련 데이터 및, 데이터 처리부(2305)에 의해 연산 처리되어 얻어진 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서, 표시 대상 범위의 폭보다도 넓은 제2 표시폭으로 표시한다. 제2 표시부(2310)는, 표시 데이터 취득부(1309)가 취득한 프로세스 관련 데이 터 및, 데이터 처리부(2305)에 의해 연산 처리된 프로세스 관련 데이터를, 상이한 그래프로서, 각각 별개의 영역에, 예를 들면 윈도우 등에 표시해도 좋고, 서로 겹쳐서 표시해도 좋다. 또한, 프로세스 관련 데이터의 제2 표시폭에 의한 표시의 방법 등의, 그 외의 구성에 대해서는, 상기 실시 형태의 제2 표시부와 동일하기 때문에, 설명을 생략한다.
다음으로, 데이터 표시 장치(23)의 동작에 대해서, 도 11의 플로우 차트를 이용하여 설명한다. 또한, 도 11의 플로우 차트에 있어서, 도 4와 동일 부호는, 동일 또는 상당하는 처리 스텝을 나타내고 있어, 여기에서는 설명을 생략한다.
(스텝 S1101) 데이터 처리부(2305)는, 스텝 S410에서 취득한 프로세스 관련 데이터 중의 1 이상에 대하여, 소정의 처리를 행한다.
(스텝 S1102) 제2 표시부(2310)는, 스텝 S410에서 취득한 프로세스 관련 데이터 및, 스텝 S1101에서 소정의 처리를 행하여 얻어진 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서 제2 표시폭으로 표시한다.
이하, 본 실시 형태에 있어서의 데이터 표시 장치를 구비한 군관리 시스템의구체적인 동작에 대해서 설명한다. 군관리 시스템의 개념도는 도 1과 동일하다.
여기에서는, 상기 실시 형태 1에 있어서 설명한 구체예와 동일하게, 데이터 수신부(1303)가 프로세스 관련 데이터로서 제1 및 제2 데이터를 수신하고, 제1 표시부(1307)가 제1 측정 데이터와, 제2 측정 데이터를, 시간축을 따라 서로 겹친 제1 표시폭의 그래프(51)를 구성하여, 도 5에 나타내도록 표시했다고 한다.
사용자가 마우스 등을 조작하여, 디스플레이상에 표시되는 포인터 등을 이동 시켜, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 그래프(51)상의 일부의 범위를 선택하면, 범위 지정 접수부(1308)는, 제1 표시부(1307)가 표시하고 있는 프로세스 관련 데이터 내의 일부의 범위인 표시 대상 범위의 지정을 접수한다.
표시 데이터 취득부(1309)는, 범위 지정 접수부(1308)가 접수한 표시 대상 범위에 대응하는 표시 기간의 정보를 취득하여, 이 표시 기간의 제1 측정 데이터 및 제2 측정 데이터를 판독한다.
여기에서, 데이터 처리부(2305)는, 표시 데이터 취득부(1309)가 취득한 제1 측정 데이터 및 제2 측정 데이터에 대하여, 각각 소정의 처리인 웨이블릿 변환을 행한다.
그리고, 데이터 처리부(2305)에 의한 웨이블릿 변환에 의해 얻어진 데이터와, 표시 데이터 취득부(1309)가 취득한 제1 측정 데이터 및 제2 측정 데이터를, 제2 표시부(2310)가, 여기에서는 각각을 상이한 그래프로서, 제1 표시폭과 동일한 사이즈로 표시한다. 이와 같이 하여 표시되는 그래프는, 결과적으로는, 도 6에 나타낸 바와 같은 실시 형태 1의 구체예와 동일한 것이 된다. 예를 들면, 표시 데이터 취득부(1309)가 취득한 제1 측정 데이터 및 제2 측정 데이터가 그래프(52) 및 그래프(54)가 되고, 제1 측정 데이터를 웨이블릿 변환한 그래프가 그래프(53), 제2 측정 데이터를 웨이블릿 변환한 그래프가 그래프(55)가 된다.
또한, 표시 대상 범위의 변경에 동기하여 표시가 변경되는 처리 등에 대해서는, 상기 실시 형태 1의 구체예와 동일하기 때문에 설명은 생략한다.
이상, 본 실시 형태에 의하면, 상기 실시 형태 1과 동일한 효과를 가져옴과 아울러, 측정 데이터의 표시 대상 범위만을 데이터 처리부가 처리하면 되기 때문에, 데이터 처리부의 데이터의 처리량을 삭감할 수 있다. 또한, 표시를 할 때에 데이터 처리를 행함으로써, 실시간으로 데이터 처리한 프로세스 관련 데이터를 표시할 수 있다.
(실시 형태 3)
본 실시 형태에 따른 데이터 표시 장치는, 하나의 프로세스 관련 데이터에 대하여, 복수의 표시 대상 범위를 지정할 수 있도록 하여, 하나의 프로세스 관련 데이터 중의, 각각의 표시 대상 범위에 대응하는 표시 기간 내의 데이터를, 각각, 제2 표시폭으로 표시하도록 한 것이다.
도 12는, 본 실시 형태에 따른 데이터 표시 장치를 구비한 군관리 시스템의 구성을 나타내는 블록도이다. 도면에 있어서, 도 2와 동일 부호는, 동일 또는 상당하는 부분을 나타내고 있다.
데이터 표시 장치(33)는, 지시 접수부(1301), 요구 정보 송신부(1302), 데이터 수신부(1303), 격납부(3304), 데이터 처리부(1305), 데이터 취득부(3306), 제1 표시부(3307), 범위 지정 접수부(3308), 표시 데이터 취득부(3309), 제2 표시부(3310), 해석부(3311), 제3 표시부(3312)를 구비하고 있다.
데이터 표시 장치(33)의, 지시 접수부(1301), 요구 정보 송신부(1302), 데이터 수신부(1303), 데이터 처리부(1305)의 구성에 대해서는, 상기 실시 형태 1의 데이터 표시 장치와 동일하기 때문에 상세한 설명은 생략한다.
격납부(3304)에는, 반도체 프로세스의 처리시의 상태에 관한 시계열 데이터 인 하나의 프로세스 관련 데이터가 격납될 수 있다. 또한, 하나의 프로세스 관련 데이터가 격납될 수 있는 점을 제외하면, 격납부(3304)의 구성은 상기 실시 형태 1의 격납부의 구성과 동일하기 때문에 설명은 생략한다.
데이터 취득부(3306)는, 격납부(3304)로부터 하나의 프로세스 관련 데이터를 취득한다. 또한, 하나의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 점을 제외하면, 데이터 취득부(3306)의 구성은, 상기 실시 형태 1의 데이터 취득부와 동일하기 때문에 설명은 생략한다.
제1 표시부(3307)는, 데이터 취득부(3306)가 취득한 하나의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서 제1 표시폭으로 표시한다. 또한, 제1 표시부(3307)는, 후술하는 범위 지정 접수부(3308)가 접수한 복수의 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 당해 제1 표시부(3307)가 표시하는 하나의 프로세스 관련 데이터와 대응지어서 추가로 표시한다. 표시 대상 범위를 나타내는 정보나 그 표시를 위한 구성 등은 상기 실시 형태 1의 제1 표시부와 동일하기 때문에, 여기에서는 설명을 생략한다.
여기에서, 본 실시 형태에 있어서는, 특히, 제1 표시부(3307)가, 하나의 프로세스 관련 데이터를 제1 표시폭으로 복수 표시하는 것인 경우, 예를 들면 복수의 그래프나 복수의 윈도우로 표시하는 것인 경우에 대해서 설명한다. 복수 표시한다란, 예를 들면 복수의 그래프나 복수의 윈도우에 각각 표시하는 것이다. 예를 들면, 하나의 프로세스 관련 데이터를 나타내는 동일한 그래프를, 복수 표시하는 것이다. 단, 복수의 그래프의 폭 등은 반드시 모두 동일한 폭이 아니라도 좋다. 예 를 들면, 제1 표시부(3307)는, 하나의 프로세스 관련 데이터를, 표시하는 시간을 일치시켜 배열된 n(n은 2 이상의 정수(整數))개의 그래프로 표시한다. 이때, 제1 표시부(3307)는, 또한, 범위 지정 접수부(3308)가 접수한 복수의 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 각각이 지정을 접수한 제1 표시부(3307)가 표시하는 복수의 하나의 프로세스 관련 데이터에 각각 대응지어서 표시해도 좋다. 구체적으로는, 범위 지정 접수부(3308)가, 제1 표시부(3307)가 복수 표시하는 하나의 프로세스 관련 데이터 중의 k(1≤k≤n)번째로 표시되어 있는 그래프에 대하여 표시 대상 범위의 지정을 접수한 경우, 제1 표시부(3307)는, 이 표시 대상 범위를 나타내는 정보를 k번째의 그래프에 대응지어서 표시한다.
단, 제1 표시부(3307)는, 하나의 프로세스 관련 데이터를, 하나의 그래프나 윈도우만으로 표시해도 좋다. 이 경우, 복수의 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 하나의 그래프나 윈도우에 표시 가능한 것이어도 좋다. 또한, 상기 이외의 제1 표시부(3307)의 구성 등에 대해서는, 실시 형태 1의 제1 표시부의 구성 등과 동일하기 때문에 설명은 생략한다.
범위 지정 접수부(3308)는, 제1 표시부(3307)가 표시하고 있는 하나의 프로세스 관련 데이터에 대해서, 복수의 범위인 복수의 표시 대상 범위의 지정을 접수한다. 구체적으로는, 제1 표시부(3307)가, 하나의 프로세스 관련 데이터를 복수의 그래프 등에 의해 복수 표시하고 있는 경우, 범위 지정 접수부(3308)는, 제1 표시부(3307)가 복수 표시하고 있는 하나의 프로세스 관련 데이터의 각각에 대해서 표시 대상 범위의 지정을 접수한다. 예를 들면, 하나의 프로세스 관련 데이터가 n개 의 그래프로 각각 표시되어 있는 경우, 각 그래프에 대하여, 표시 대상 범위의 지정을 접수한다. 또한, 지정을 접수하는 표시 대상 범위끼리는 동일한 범위가 아닌 것이 바람직하다. 또한, 제1 표시부(3307)가, 하나의 프로세스 관련 데이터를 하나의 그래프 등에 의해 1개만 표시하고 있는 경우, 범위 지정 접수부(3308)는, 제1 표시부(3307)가 1개만 표시하고 있는 하나의 프로세스 관련 데이터에 대해서 상이한 복수의 표시 대상 범위의 지정을 접수해도 좋다. 상기와 같은 범위 지정의 결과, 하나의 프로세스 관련 데이터에 대하여, 복수의 표시 대상 범위의 지정을 접수하게 된다. 또한, 상기 이외의 구성 등에 대해서는, 상기 실시 형태 1의 범위 지정 접수부(1308)와 동일하기 때문에 설명은 생략한다.
표시 데이터 취득부(3309)는, 격납부(3304)에 격납되어 있는 하나의 프로세스 관련 데이터로부터, 범위 지정 접수부(3308)가 접수한 복수의 표시 대상 범위에 각각 대응하는 기간인 복수의 표시 기간 내의 복수의 프로세스 관련 데이터를 각각 취득한다. 하나의 프로세스 관련 데이터란 제1 표시부(3307)가 표시하고 있는 프로세스 관련 데이터이다. 복수의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 구성을 제외하면, 표시 데이터 취득부(3309)는, 상기 실시 형태 1의 표시 데이터 취득부(1309)와 동일하기 때문에 설명은 생략한다.
제2 표시부(3310)는, 표시 데이터 취득부(3309)가 취득한 복수의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서, 표시 대상 범위의 폭보다도 넓은 제2 표시폭으로 표시한다. 예를 들면, 제2 표시부(3310)는, 복수의 프로세스 관련 데이터를 복수의 그래프나 윈도우 등에 의해 각각 개별로 표시한다. 혹은 이들 복수의 프로 세스 관련 데이터를 서로 겹쳐서 표시해도 좋다. 또한, 복수의 프로세스 관련 데이터를 표시하는 점을 제외하면, 제2 표시부(3310)는, 상기 실시 형태 1의 제2 표시부(1310)와 동일하기 때문에 설명은 생략한다.
해석부(3311)는, 표시 데이터 취득부(3309)가 취득한 복수의 데이터에 대해서 소정의 해석을 행한다. 소정의 해석이란, 어떠한 해석이라도 좋아, Wayland 테스트 등의 카오스 시계열 해석 등이라도 좋고, 다변량 해석 등의 다른 해석 처리라도 좋다. Wayland 테스트에 대해서는, 문헌 「리처드·웨이랜드(Richard Wayland) 외, 「시계열에 관한 결정론성의 정량화(Recognizing Determinism in a Time Series)」, PHYSICAL REVIEW LETTERS, 1993년 2월 1일, VOLUME 70, NUMBER 5, p. 580-582」에 기재되어 있으며 공지 기술이기 때문에 설명은 생략한다. 해석부(3311)가 어떠한 처리를 행할지는 미리 정해져 있어도 좋고, 도시하지 않는 접수부 등으로부터 접수한 지시에 따라서 지정되어도 좋다. 해석에 의해 얻어진 데이터 등은 예를 들면 도시하지 않는 기억 매체 등에 일시 기억된다. 해석부(3311)는, 통상 MPU나 메모리 등으로 실현될 수 있다. 해석부(3311)의 처리 순서는, 통상 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
제3 표시부(3312)는 해석부(3311)의 해석 결과를 표시한다. 해석 결과란 구체적으로는 해석에 의해 얻어진 결과를 나타내는 데이터나 판정 결과 등이다. 제3 표시부(3312)는, 해석부(3311)의 해석 결과를 이용하여, 해석 결과를 표시하기 위한 데이터, 예를 들면 그래프 등을 구성하여, 당해 해석 결과를 표시하기 위한 데 이터를 표시해도 좋다. 여기에서 서술하는 표시란, 디스플레이 등으로의 표시를 포함하는 개념이다. 제3 표시부(3312)는, 디스플레이 등의 표시 디바이스 등을 포함한다고 생각해도, 포함하지 않는다고 생각해도 좋다. 제3 표시부(3312)는, 표시 디바이스의 드라이버 소프트 또는, 표시 디바이스의 드라이버 소프트와 표시 디바이스 등으로 실현될 수 있다.
다음으로, 데이터 표시 장치(33)의 동작에 대해서, 도 13의 플로우 차트를 이용하여 설명한다. 또한, 도 13의 플로우 차트에 있어서, 도 4와 동일 부호는, 동일 또는 상당하는 처리 스텝을 나타내고 있어, 여기에서는 설명을 생략한다. 또한, 여기에서는 1개의 표시 대상 범위의 지정을 접수한 경우, 당해 표시 대상 범위에 대응하는 표시 기간의 프로세스 관련 데이터를, 제2 표시폭으로 표시하는 경우에 대해서 설명한다.
(스텝 S1301) 데이터 취득부(3306)는, 격납부(3304)로부터 하나의 프로세스 관련 데이터를 취득한다.
(스텝 S1302) 제1 표시부(3307)는, 데이터 취득부(3306)가 취득한 프로세스 관련 데이터를 제1 표시폭으로 복수 표시한다.
(스텝 S1303) 범위 지정 접수부(3308)는, 제1 표시부(3307)가 복수 표시하고 있는 프로세스 관련 데이터 중의 1개에 대해서, 일부의 범위인 표시 대상 범위의 지정을 접수했는지 안 했는지를 판단한다. 접수한 경우, 스텝 S1304로 진행하고, 접수하고 있지 않은 경우, 스텝 S1303으로 되돌아간다.
(스텝 S1304) 제1 표시부(3307)는, 스텝 S1303에 있어서 접수한 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 스텝 S1302에서 복수 표시한 프로세스 관련 데이터 중의 스텝 S1303에서, 표시 대상 범위의 지정을 접수한 프로세스 관련 데이터에 대응지어서 표시, 예를 들면, 겹쳐서 표시한다.
(스텝 S1305) 표시 데이터 취득부(3309)는, 스텝 S1304에 있어서 접수한 표시 대상 범위에 대응하는 실제의 기간인 표시 기간을 나타내는 정보를 취득한다.
(스텝 S1306) 표시 데이터 취득부(3309)는, 격납부(3304)에 격납되어 있는 하나의 프로세스 관련 데이터로부터, 스텝 S1305에 있어서 산출한 표시 기간 내의 프로세스 관련 데이터를 판독하여 취득한다. 취득한 프로세스 관련 데이터는, 예를 들면, 표시 대상 범위의 지정을 접수한 프로세스 관련 데이터의 하나의 표시와 대응지어서, 도시하지 않는 기억 매체 등에 축적된다.
(스텝 S1307) 제2 표시부(3310)는, 스텝 S1306에 있어서 취득한 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서 제2 표시폭으로 표시한다.
(스텝 S1308) 해석부(3311)는, 범위 지정 접수부(3308)가 하나의 프로세스 관련 데이터에 대해서, 복수의 표시 대상 범위의 지정을 접수했는지 안 했는지를 판단한다. 접수한 경우, 해석이 가능해지기 때문에, 스텝 S1309로 진행하고, 접수하고 있지 않은 경우, 스텝 S1312로 진행한다.
(스텝 S1309) 해석부(3311)는, 소정의 해석을 행할지 안 행할지를 판단한다. 해석부(3311)가, 소정의 해석을 행할지 안 행할지를 어떻게 판단해도 좋아, 예를 들면, 도시하지 않는 접수부 등이 해석을 행하는 지시를 접수한 경우에, 해석을 행하는 것을 판단해도 좋다. 또한, 스텝 S1308에 있어서, 복수의 표시 대상 범위의 지정을 접수한 경우에, 해석을 행하는 것을 판단해도 좋다. 해석을 행한다고 판단한 경우, 스텝 S1310으로 진행하고, 해석을 행하지 않는다고 판단한 경우, 스텝 S1312로 진행한다.
(스텝 S1310) 해석부(3311)는, 표시 데이터 취득부(3309)가 하나의 프로세스 관련 데이터로부터 취득한 복수의 프로세스 관련 데이터에 대하여, 소정의 해석을 행한다.
(스텝 S1311) 제3 표시부(3312)는 스텝 S1310의 해석 결과를 표시한다.
(스텝 S1312) 범위 지정 접수부(3308)는, 표시 대상 범위의 변경 혹은 추가를 접수했는지 안 했는지를 판단한다. 접수한 경우, 스텝 S1304로 되돌아가고, 접수하고 있지 않은 경우, 스텝 S1309로 되돌아간다.
이하, 본 실시 형태에 있어서의 데이터 표시 장치를 구비한 군관리 시스템의 구체적인 동작에 대해서 설명한다. 군관리 시스템의 개념도는 도 1과 동일하다. 또한, 여기에서는, 설명을 간단하게 하기 위해, 데이터 처리부(1305)에 의한 처리는 행하지 않는 경우를 예로 들어 설명한다.
여기에서는, 상기 실시 형태 1의 구체예와 동일하게, 데이터 수신부(1303)가 프로세스 관련 데이터를 수신하여, 격납부(3304)에 축적했다고 한다. 단, 여기에서는, 하나의 프로세스 관련 데이터인 제1 측정 데이터만을 수신하여 축적한 것으로 한다.
데이터 취득부(3306)는, 격납부(3304)에 축적된 하나의 프로세스 관련 데이터인 제1 측정 데이터를 판독한다.
제1 표시부(3307)는, 제1 측정 데이터를 나타내는, 시간축을 횡축으로 한 제1 표시폭의 그래프를 복수, 여기에서는 예로서 5개 구성하여, 도 14에 나타내는 바와 같이 모니터 화면에 표시한다. 도 14에 있어서, 그래프(331∼335)는, 제1 측정 데이터의 5개의 그래프이다. 5개의 그래프(331∼335)는 동일한 그래프이다.
다음으로, 사용자가 마우스 등을 조작하여, 디스플레이상에 표시되는 포인터 등을 이동시켜, 제1 표시부(3307)가 표시하고 있는 그래프(331)상의 일부의 범위를 선택하면, 범위 지정 접수부(3308)는, 제1 표시부(3307)가 표시하고 있는 프로세스 관련 데이터 내의 일부의 범위인 표시 대상 범위의 지정을 접수한다. 그래프(331)에 대하여 표시 대상 범위의 지정을 접수하면, 제1 표시부(3307)는, 범위 지정 접수부(3308)가 표시 대상 범위를 접수한 그래프(331)상의, 이 표시 대상 범위에 대응한 기간의 영역(331a)의 배경색을, 다른 영역과 상이한 색으로 변경하여 재표시한다. 그리고, 표시 데이터 취득부(3309)는, 이 표시 대상 범위에 대응하는 표시 기간 내의 제1 측정 데이터를 판독하여 일시 기억한다. 제2 표시부(3310)는, 표시 데이터 취득부(3309)가 판독한 제1 측정 데이터를, 제2 표시폭의 그래프로 표시한다. 또한, 여기에서, 표시 대상 정보로부터 판독된 데이터에 의해 표시되는 그래프는, 표시 대상 범위의 지정을 접수한 그래프와의 대응 관계를 알 수 있도록, 예를 들면 인접하여 표시되는 것이 바람직하다. 또한, 표시 대상 범위를 접수하는 처리나, 제2 표시폭의 그래프를 표시하는 처리 등은, 상기 구체예와 동일하다.
상기와 같은 처리를 반복하여, 제1 표시부(3307)가 표시하는 모든 그래프(331∼335)에 대하여, 범위 지정 접수부(3308)가 각각 표시 대상 범위의 지정을 접수하고, 표시 데이터 취득부(3309)가 각각의 그래프(331∼335)에 대하여 지정된 표시 대상 범위 내의 데이터를 각각 취득하여, 제2 표시부(3310)가 제2 표시폭의 그래프(331b∼335b)를 표시했다고 한다. 이 경우의 표시예를 도 15에 나타낸다. 영역(331a∼335a)은, 각 그래프(331∼335)에 각각 지정된 표시 대상 범위를 나타내는 영역이다. 그래프(331b∼335b)는, 각각, 그래프(331∼335) 내의 영역(331a∼335a)으로 나타나는 범위 내의 데이터의 그래프이다.
이와 같이 표시할 수 있도록 함으로써, 단일의 시계열 데이터인 하나의 프로세스 관련 데이터 중의 상이한 영역의 데이터를 함께 평가하거나 비교하거나 하는 것이 용이해진다. 이에 따라, 단일의 프로세스 관련 데이터 중의 이상(異常) 부분을 인식하기 쉽게 할 수 있다.
또한, 이 시점에서, 표시 데이터 취득부(3309)는, 제1 측정 데이터에 지정된 복수의 표시 대상 범위로부터 복수의 프로세스 관련 데이터를 취득하여, 도시하지 않는 기억 매체 등에 일시 기억하고 있다.
다음으로, 사용자가 도시하지 않는 메뉴 화면 등을 조작하여, 제1 측정 데이터로 지정된 복수의 표시 대상 범위로부터 취득된 복수 데이터에 대하여, 소정의 해석을 행하는 지시를 부여했다고 한다. 여기에서는, 소정의 해석이 Wayland 테스트였다고 한다. 해석부(3311)는, 표시 데이터 취득부(3309)가 복수의 표시 대상 범위에 따라서 제1 측정 데이터로부터 취득하여 축적한 복수의 제1 측정 데이터를, 도시하지 않는 격납부 등으로부터 판독하여, Wayland 테스트를 실행한다. 그리고, Wayland 테스트의 결과를, 제3 표시부(3312)가 그래프화하여 표시한다.
도 16은, Wayland 테스트의 결과를 나타내는 도면이다. 이 도 16은, 도 15에 나타낸 표시예에 대하여, Wayland 테스트의 결과를 나타내는 그래프(16)를 추가하여 표시한 표시예이다.
이와 같이, Wayland 테스트를 하나의 프로세스 관련 데이터 내의 복수의 표시 대상 범위로부터 취득한 복수의 데이터에 대하여 행함으로써, 매입 차원과 병진오차 추정치와의 관계를 나타내는 데이터를 취득할 수 있다. 또한, 표시 대상 범위를 변경한 경우에, 변경된 표시 대상 범위로부터 취득한 프로세스 관련 데이터를 이용하여, 재차 해석을 행하고, 해석 결과를 수시 갱신하도록 함으로써, 매입 차원과 병진 오차 추정치와의 관계를 나타내는 데이터를 실시간으로 표시하는 것이 가능해진다.
또한, 하나의 프로세스 관련 데이터의 복수의 영역의 데이터에 대한 해석 결과를, 하나의 프로세스 관련 데이터나, 하나의 프로세스 관련 데이터 내의 복수의 영역의 데이터와 나란히 표시함으로써, 데이터간의 비교가 용이하고, 데이터의 이상 등을 인식하기 쉽게 할 수 있다.
또한, 표시 대상 범위의 변경에 동기하여 표시가 변경되는 처리 등에 대해서는, 상기 실시 형태 1의 구체예와 동일하기 때문에 설명은 생략한다.
이상, 본 실시 형태에 의하면, 상기 실시 형태 1과 동일한 효과를 가져옴과 아울러, 하나의 프로세스 관련 데이터의 복수의 영역으로부터 취득한 데이터를, 제2 표시폭으로 표시할 수 있어, 하나의 프로세스 관련 데이터 내에서의 데이터의 비교 등이 용이해져, 이상의 검출 등을 효율적으로 행할 수 있다.
또한, 하나의 프로세스 관련 데이터의 복수의 영역으로부터 취득한 데이터에 대한 해석 결과를 표시할 수 있도록 함으로써, 해석 결과와 시계열 데이터와의 조합으로부터 이상을 검출하는 것이 가능해진다.
또한, 본 실시 형태의 구성에 대해서는, 상기 실시 형태 2의 구성에 대해서도 적용 가능한 것으로, 이러한 경우에 있어서도, 상기와 동일한 효과를 가져온다.
(실시 형태 4)
본 실시 형태에 따른 데이터 표시 장치는, 프로세스 관련 데이터의 하나로부터 특이점을 검출하여, 이 특이점을 검출한 기간을 나타내는 정보를, 표시 대상 범위를 나타내는 정보로서 접수하도록 한 것이다.
도 17은, 본 실시 형태에 따른 데이터 표시 장치를 구비한 군관리 시스템의 구성을 나타내는 블록도이다. 도면에 있어서, 도 2와 동일 부호는 동일 또는 상당하는 부분을 나타내고 있다.
데이터 표시 장치(43)는, 지시 접수부(1301), 요구 정보 송신부(1302), 데이터 수신부(1303), 격납부(1304), 데이터 처리부(1305), 데이터 취득부(1306), 제1 표시부(1307), 범위 지정 접수부(4308), 표시 데이터 취득부(1309), 제2 표시부(1310), 검출부(4311), 패턴 격납부(4312)를 구비하고 있다.
데이터 표시 장치(43)의, 범위 지정 접수부(4308), 검출부(4311) 및, 패턴 격납부(4312) 이외의 구성에 대해서는, 상기 실시 형태 1의 데이터 표시 장치와 동일하기 때문에 상세한 설명은 생략한다.
검출부(4311)는, 데이터 취득부(1306)가 취득한 프로세스 관련 데이터의 하 나로부터 특이점을 검출한다. 프로세스 관련 데이터에 있어서의 특이점이란, 다른 것과는 상이한 특성을 나타내는 점이다. 특이점은, 예를 들면, 이상이 발생한 부분이다. 특이점의 검출 대상이 되는 프로세스 관련 데이터는, 통상 미리 지정되어 있는 데이터로서, 특이점이 검출되기 쉬운 데이터인 것이 바람직하다. 검출부(4311)는, 하나의 프로세스 관련 데이터로부터 어떻게 특이점을 검출해도 좋다. 하나의 프로세스 관련 데이터로부터 특이점을 검출하는 알고리즘으로서는, 예를 들면, 미리 사용자가 수동에 의해 탐색한 이상한 파형 등을 등록해 두고, 이 등록된 파형과, 프로세스 관련 데이터와의 상관을 취하여, 상관이 높은 부분이 특이점이라고 판단하는 것이 있다. 이러한 상관이 높은 부분은, 예를 들면 상호 상관 함수를 이용함으로써 검출 가능하다. 상호 상관 함수에 대해서는 공지 기술이기 때문에 설명은 생략한다. 또한, 프로세스 관련 데이터가 일정한 범위 내로 값이 수용되면 정상이라고 판단되는 데이터인 경우 등에 있어서는, 프로세스 관련 데이터의 값을 문턱값과 비교하여, 문턱값이 지정하는 범위 외의 값이 검출된 경우에, 특이점이라고 판단해도 좋다. 검출부(4311)는, 격납부(1304)에 격납되어 있는 하나의 프로세스 관련 데이터로부터 특이점을 검출해도 좋고, 데이터 취득부(1306)가 취득한 프로세스 관련 데이터의 하나로부터 특이점을 검출해도 좋다. 그리고, 검출부(4311)는, 특이점이 발생한 기간을 나타내는 정보를 취득하여, 범위 지정 접수부(4308)로 출력한다. 특이점이 발생한 기간은, 특이점이 검출된 기간이어도 좋고, 특이점이 검출된 시각이나 기간의 전후도 포함한 소정의 기간이어도 좋다. 예를 들면, 전술한 바와 같이, 파형 패턴과의 상관에 의해 특이점을 검출하는 경우에 있어서는, 프 로세스 관련 데이터 내에 파형 패턴과의 상관이 있는 부분이 검출된 경우, 이 특이점이 검출된 기간을 나타내는 정보를, 특이점이 발생한 기간을 나타내는 정보로서 접수해도 좋다. 또한, 특이점이 발생한 시각이 검출된 경우, 이 검출된 시각(예를 들면 타임 스탬프)의 전후에 일정 또는 부정(不定)한 소정의 기간을 부가한 기간을 나타내는 정보를, 특이점이 발생한 기간을 나타내는 정보로서 접수해도 좋다. 기간을 나타내는 정보란, 기간을 나타낼 수 있으면, 기간의 시점과 종점의 시각을 나타내는 정보나, 기간의 시점이나 중간점의 시각과 기간의 길이를 지정하는 정보와의 조합이어도 좋다. 또한, 여기에서는, 예로서, 미리 등록된 파형과의 상관에 의해 특이점을 검출하는 경우에 대해서 설명한다. 또한, 미리 등록된 파형은, 후술하는 패턴 격납부(4312)에 격납되어 있는 것으로 한다. 검출부(4311)는, 통상 MPU나 메모리 등으로 실현될 수 있다. 검출부(4311)의 처리 순서는, 통상 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
패턴 격납부(4312)에는, 검출부(4311)가 특이점을 검출할 때에 판독하는, 특이점을 나타내는 파형 패턴이 격납되어 있다. 파형 패턴은 복수라도 좋다. 패턴 격납부(4312)는 불휘발성의 기록 매체라도, 휘발성의 기록 매체라도 좋다.
범위 지정 접수부(4308)는, 검출부(4311)가 검출한 특이점이 발생한 기간을 나타내는 정보를, 표시 대상 범위를 지정하는 정보로서 접수한다. 또한, 검출부(4311)가 출력하는 특이점이 발생한 기간을 나타내는 정보를, 표시 대상 범위를 지정하는 정보로서 접수하는 점을 제외하면, 범위 지정 접수부(4308)는, 실시 형태 1의 범위 지정 접수부(4308)와 동일하기 때문에 설명은 생략한다.
다음으로, 데이터 표시 장치(43)의 동작에 대해서, 도 18의 플로우 차트를 이용하여 설명한다. 또한, 도 18의 플로우 차트에 있어서, 도 4와 동일 부호는 동일 또는 상당하는 처리 스텝을 나타내고 있으며, 여기에서는 설명을 생략한다.
(스텝 S1801) 검출부(4311)는, 패턴 격납부(4312)에 격납되어 있는 파형 패턴의 데이터를 판독한다.
(스텝 S1802) 검출부(4311)는, 격납부(1304)에 격납되어 있는 프로세스 관련 데이터 중의, 미리 지정되어 있는 하나의 프로세스 관련 데이터를 취득한다.
(스텝 S1803) 검출부(4311)는, 스텝 S1802에서 취득한 프로세스 관련 데이터와, 스텝 S1801에서 취득한 파형 패턴과의 상관을 구한다. 예를 들면, 상관은, 상호 상관 함수 등을 이용하여 산출 가능하다.
(스텝 S1804) 검출부(4311)는, 스텝 S1803에 있어서, 파형 데이터와 상관이 높은 데이터가 검출되었는지 아닌지를 판단한다. 예를 들면, 스텝 S1803에서 산출한 상관을 나타내는 값이 문턱값 이상인지 아닌지를 판단하고, 문턱값 이상이면 상관이 높다고 판단한다. 상관이 높은 데이터가 검출된 경우, 스텝 S1805로 진행하고, 검출되지 않은 경우, 처리를 종료한다. 상관이 높은 데이터가 검출된 경우, 이 검출된 부분이 특이점이다.
(스텝 S1805) 검출부(4311)는, 특이점이 발생한 기간을 나타내는 정보를 취득하여 출력한다. 특이점이 발생한 기간을 나타내는 정보란, 특이점을 포함하는 기간을 나타내는 정보이면 좋아, 특이점이 검출된 시각이나 기간을 나타내는 정보 라도 좋고, 이 시각이나 기간을 포함하는 전후의 기간이어도 좋다. 예를 들면, 스텝 S1804에서 파형 데이터와의 비교를 행한 기간을 나타내는 정보라도 좋고, 이 비교를 행한 기간의 전이나 후에 소정의 기간을 부가한 기간이어도 좋다. 검출부(4311)는, 예를 들면, 프로세스 관련 데이터 중의 파형 패턴과 상관이 있다고 판단된 범위를 중심으로 한 미리 지정된 길이의 기간을 나타내는 정보를, 특이점이 발생한 기간을 나타내는 정보로서 취득한다. 또한, 프로세스 관련 데이터 중의 파형 패턴과 상관이 있다고 판단된 범위의 중심의 시각을 특이점이 발생한 시각으로서 취득하여, 이 시각을 중심으로 한 미리 지정된 길이의 기간을 나타내는 정보를, 표시 대상 범위를 지정하는 정보로서 접수하도록 해도 좋다.
(스텝 S1806) 범위 지정 접수부(4308)는, 검출부(4311)가 검출한 특이점이 발생한 기간을 나타내는 정보를, 표시 대상 범위를 지정하는 정보로서 접수한다. 그리고, 스텝 S405로 진행한다.
(스텝 S1807) 제1 표시부(4307)는, 스텝 S1806에 있어서 접수한 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 스텝 S406에서 표시한 시계열 정보에 대응지어서 표시, 예를 들면, 겹쳐서 표시한다. 그리고, 스텝 S409로 진행한다.
또한, 이 플로우 차트에 있어서는, 스텝 S411의 처리 후, 동작이 종료하도록 하고 있지만, 스텝 S411의 처리 후, 사용자 등의 지시에 따라서, 특이점을 검출 후의 데이터에 대해서도, 스텝 S1803 이후의 처리를 행하도록 해도 좋다. 이에 따라, 예를 들면, 그 후에 발생한 이상도 검지 가능하다.
이하, 본 실시 형태에 있어서의 데이터 표시 장치를 구비한 군관리 시스템의 구체적인 동작에 대해서 설명한다. 군관리 시스템의 개념도는 도 1과 동일하다.
여기에서는, 데이터 수신부(1303)가, 상기 실시 형태 1과 동일하게, 프로세스 관련 데이터로서 제1 및 제2 측정 데이터를 수신하여, 수신한 데이터를 격납부(1304)에 축적하고 있는 것으로 한다. 이에 더하여, 데이터 수신부(1303)가, 프로세스 관련 데이터의 하나인 제3 측정 데이터를 수신하여, 격납부(1304)에 축적하고 있는 것으로 한다. 또한, 제3 측정 데이터는, 제1 및 제2 측정 데이터와 동시에 측정된, 타 계통의 데이터라고 한다.
또한, 데이터 처리부(1305)는, 격납부(1304)에 격납된 제1 측정 데이터와 제2 측정 데이터를 각각 판독하여 웨이블릿 변환하고, 웨이블릿 변환하여 얻어진 프로세스 관련 데이터를, 격납부(1304)에 축적하고 있는 것으로 한다.
도 19는, 패턴 격납부(4312)에 격납되어 있는, 특이점 검출에 이용되는 파형 패턴의 일 예를 나타내는 도면이다. 이 파형 패턴은, 과거에 측정된 전술한 제3 측정 데이터와 동일한 측정 데이터에 있어서의, 반도체 제조 프로세스 등에 있어서의 이상이 검출된 시점의 전후의 소정의 기간, 여기에서는 예로서 5밀리초간의 데이터를 취득하여, 이것을 파형으로 나타낸 것이다. 여기에서는, 검출부(4311)가, 이 파형 패턴을 이용하여, 제3 측정 데이터에 있어서의 이상이 발생했다고 생각되는 개소를 특이점으로서 검출하는 처리를 행하는 예를 설명한다.
우선, 검출부(4311)는, 패턴 격납부(4312)에 격납되어 있는 파형 패턴을 판독한다.
다음으로, 검출부(4311)는, 제3 측정 데이터를 격납부(1304)로부터 판독하여 메모리나 버퍼 등에 일시 기억한다.
검출부(4311)는, 메모리 등에 일시 기억한 제3 측정 데이터와, 패턴 격납부(4312)로부터 판독한 파형 패턴과의 상관을 취한다. 상관의 산출 방법에 대해서는 공지 기술이기 때문에, 여기에서는 설명을 생략한다.
도 20은, 제3 측정 데이터의 일 예를 나타내는 그래프이다. 패턴 격납부(4312)로부터 판독한 도 19에 나타내는 바와 같은 파형 패턴과의 비교로부터, 영역(20)의 개소가, 검출부(4311)에 의해 상관이 높다고 판단되었다고 한다.
제3 측정 데이터 내에, 패턴 격납부(4312)로부터 판독한 파형 패턴과의 상관이 높은 부분이 검출된 경우, 제3 측정 데이터 내의, 상관이 높다고 판단된 파형이 존재하는 기간을 나타내는 정보를, 제3 측정 데이터의 타임 스탬프 등으로부터 취득한다. 그리고, 취득한 기간을 나타내는 정보를 이용하여, 이 기간을 중심으로 한 소정의 기간, 여기에서는 60ms의 기간의 개시 시각과 종료 시각의 정보를 취득한다. 그리고, 취득한 기간을 나타내는 정보를 범위 지정 접수부(4308)에 송신한다. 예를 들면, 검출부(4311)가 취득한 개시 시각이 「1초 270밀리초」, 종료 시각이 「1초 330밀리초」였다고 한다.
범위 지정 접수부(4308)는, 표시 대상 범위를 지정하는 정보로서, 검출부(4311)가 취득한 개시 시각의 정보인 「1초 270밀리초」 및, 종료 시각 정보인 「1초 330밀리초」를 접수한다.
다음으로, 데이터 취득부(1306)는, 상기 실시 형태 1의 구체예와 동일하게, 격납부(1304)로부터, 제1 측정 데이터와 제2 측정 데이터를 판독한다. 그리고, 제 1 표시부(1307)가, 데이터 취득부(1306)가 판독한 제1 측정 데이터와 제2 측정 데이터를, 시간축을 따라서 서로 겹친 제1 표시폭의 그래프를 구성하여 출력한다. 이때, 이 그래프에 있어서, 표시 데이터 취득부(1309)가 취득한 표시 대상 범위를 나타내는 기간의 배경색은 다른 영역과 상이한 색으로 표시한다.
또한, 표시 데이터 취득부(1309)는, 격납부(1304)에 격납되어 있는 제1 측정 데이터, 제2 측정 데이터 및, 이들을 웨이블릿 변환하여 얻어진 데이터의 각각으로부터, 범위 지정 접수부(4308)가 접수한, 표시 대상 범위를 나타내는 기간의 정보가 나타내는 기간 내의 정보를 취득한다. 즉, 각각의 데이터로부터, 개시 시각이 「1초 270밀리초」이고 종료 시각이 「1초 330밀리초」인 기간의 정보를 취득한다. 그리고, 제2 표시부(1310)는, 표시 데이터 취득부(1309)가 취득한 각 데이터를 개별 그래프로서 표시한다.
도 21은, 제1 표시부(1307) 및 제2 표시부(1310)가 모니터 등에 표시하는 그래프의 표시예를 나타내는 도면이다. 그래프(21a)는, 제1 표시부(1307)가 표시하는, 제1 측정 데이터와 제2 측정 데이터를 서로 겹친 데이터로서, 영역(211)이 표시 대상 범위에 대응하는 기간을 나타내고 있다. 또한, 그래프(21b∼21e)는, 제2 표시부(1310)가 표시하는 데이터이다. 그래프(21b)는, 제1 측정 데이터의 표시 대상 범위에 대응하는 기간 내의 그래프이다. 그래프(21c)는, 제1 측정 데이터를 웨이블릿 변환한 데이터의 표시 대상 범위에 대응하는 기간 내의 그래프이다. 그래프(21d)는, 제2 측정 데이터의 표시 대상 범위에 대응하는 기간 내의 그래프이다. 그래프(21e)는, 제2 측정 데이터를 웨이블릿 변환한 데이터의 표시 대상 범위에 대 응하는 기간 내의 그래프이다.
이와 같이, 이 구체예에 있어서는, 제3 데이터로부터 특이점인 이상이 발생한 기간을 자동으로 검출하여, 이 검출한 기간 내의 제1 및 제2 측정 데이터 등을 확대하여 표시하는 것이 가능하다. 따라서, 사용자가, 이상이 발생한 개소를 찾아, 이 개소를 표시 대상 범위로 지정할 필요가 없어진다. 이 때문에, 사용자의 작업을 경감할 수 있다. 또한, 이상이 발생한 개소를 찾을 때의 사용자의 미스에 의한 누락을 없앨 수 있어, 데이터를 분석할 때의 신뢰성을 높일 수 있다.
이상, 본 실시 형태에 의하면, 상기 실시 형태 1과 동일한 효과를 가져옴과 아울러, 프로세스 관련 데이터 중 하나로부터 특이점을 검출하여, 당해 특이점이 발생한 기간을 나타내는 정보를 표시 대상 범위로서 이용하도록 함으로써, 표시 대상 범위를 나타내는 정보를 자동 취득할 수 있다. 이에 따라, 사용자가 표시 대상 범위를 지정하는 작업이 불필요해져, 사용자의 노력(勞力)을 삭감할 수 있다. 또한, 제2 표시폭으로 표시하는 것이 적절하다고 생각되는 특이점을 자동으로 검출할 수 있음으로써, 특이점을 인적(人的)으로 검출하는 경우와 같은 검출 누락을 없앨 수 있어, 데이터를 분석할 때의 신뢰성을 높일 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 구성에 대해서는, 상기 실시 형태 2 및 실시 형태 3의 구성에 대해서도 적용 가능한 것으로, 이러한 경우에 있어서도, 상기와 동일한 효과를 가져온다.
또한, 상기 각 실시 형태에 있어서, 각 처리(각 기능)는, 단일의 장치(시스템)에 의해 집중 처리됨으로써 실현되어도 좋고, 혹은, 복수의 장치에 의해 분산 처리됨으로써 실현되어도 좋다.
또한, 상기 각 실시 형태에 있어서, 각 구성 요소는 전용의 하드웨어에 의해 구성되어 좋고, 혹은, 소프트웨어에 의해 실현 가능한 구성 요소에 대해서는, 프로그램을 실행함으로써 실현되어도 좋다. 예를 들면, 하드디스크나 반도체 메모리 등의 기록 매체에 기록된 소프트웨어·프로그램을 CPU 등의 프로그램 실행부가 판독하여 실행함으로써, 각 구성 요소가 실현될 수 있다.
또한, 상기 각 실시 형태에 있어서의 데이터 표시 장치를 실현하는 소프트웨어는, 이하와 같은 프로그램이다. 즉, 이 프로그램은, 컴퓨터를, 반도체 프로세스의 처리시의 상태에 관한 시계열 데이터인 프로세스 관련 데이터가 복수 격납될 수 있는 격납부로부터, 1 이상의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 데이터 취득부와, 상기 데이터 취득부가 취득한 1 이상의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서 제1 표시폭으로 표시하는 제1 표시부와, 상기 제1 표시부가 표시하고 있는 상기 프로세스 관련 데이터 내의 일부의 범위인 표시 대상 범위의 지정을 접수하는 범위 지정 접수부와, 상기 복수의 프로세스 관련 데이터의 각각으로부터, 상기 표시 대상 범위에 대응하는 기간인 표시 기간 내의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 표시 데이터 취득부와, 상기 표시 데이터 취득부가 취득한 상기 표시 기간 내의 복수의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서, 상기 표시 대상 범위의 폭보다도 넓은 제2 표시폭으로 표시하는 제2 표시부로서 기능시키고, 상기 제1 표시부는, 상기 범위 지정 접수부가 접수한 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 당해 제1 표시부가 표시하는 상기 1 이상의 프로세스 관련 데이터와 대응지어서 추가로 표시 하는 프로그램이다.
또한, 이 프로그램은, 컴퓨터를, 반도체 프로세스의 처리시의 상태에 관한 시계열 데이터인 하나의 프로세스 관련 데이터가 격납될 수 있는 격납부로부터, 상기 하나의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 데이터 취득부와, 상기 데이터 취득부가 취득한 하나의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서 제1 표시폭으로 표시하는 제1 표시부와, 상기 제1 표시부가 표시하고 있는 하나의 프로세스 관련 데이터에 대해서, 복수의 범위인 복수의 표시 대상 범위의 지정을 접수하는 범위 지정 접수부와, 상기 하나의 프로세스 관련 데이터로부터, 상기 복수의 표시 대상 범위에 각각 대응하는 기간인 복수의 표시 기간 내의 복수의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 표시 데이터 취득부와, 상기 표시 데이터 취득부가 취득한 복수의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서, 상기 표시 대상 범위의 폭보다도 넓은 제2 표시폭으로 표시하는 제2 표시부로서 기능시키기 위한 프로그램으로서, 상기 제1 표시부는, 상기 범위 지정 접수부가 접수한 복수의 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 당해 제1 표시부가 표시하는 상기 하나의 프로세스 관련 데이터와 대응지어서, 추가로 표시하는 프로그램이다.
또한, 상기 프로그램에 있어서, 상기 프로그램이 실현하는 기능에는, 하드웨어에서밖에 실현할 수 없는 기능은 포함되지 않는다. 예를 들면, 정보를 취득하는 취득부나, 정보를 출력하는 출력부 등에 있어서의 모뎀이나 인터페이스 카드 등의 하드웨어에서밖에 실현할 수 없는 기능은, 상기 프로그램이 실현하는 기능에는 포함되지 않는다.
또한, 이 프로그램은, 서버 등으로부터 다운로드됨으로써 실행되어도 좋고, 소정의 기록 매체(예를 들면, CD-ROM 등의 광 디스크나 자기 디스크, 반도체 메모리 등)에 기록된 프로그램이 판독됨으로써 실행되어도 좋다.
또한, 이 프로그램을 실행하는 컴퓨터는 단수라도 좋고 복수라도 좋다. 즉, 집중 처리를 행해도 좋고, 혹은 분산 처리를 행해도 좋다.
도 22는, 상기 프로그램을 실행하여, 상기 실시 형태에 의한 데이터 표시 장치를 실현하는 컴퓨터 외관의 일 예를 나타내는 모식도이다. 상기 실시 형태는, 컴퓨터 하드웨어 및 그 위에서 실행되는 컴퓨터 프로그램에 의해 실현된다.
도 22에 있어서, 컴퓨터 시스템(100)은, CD-ROM(Compact Disk Read Only Memory) 드라이브(105), FD(Flexible Disk) 드라이브(106)를 포함하는 컴퓨터(101)와, 키보드(102)와, 마우스(103)와, 모니터(104)를 구비한다.
도 23은, 컴퓨터 시스템을 나타내는 도면이다. 도 23에 있어서, 컴퓨터(101)는, CD-ROM 드라이브(105), FD 드라이브(106)에 더하여, CPU(Central Processing Unit)(111)와, 부트업 프로그램 등의 프로그램을 기억하기 위한 ROM(Read Only Memory)(112)과, CPU(111)에 접속되어, 어플리케이션 프로그램의 명령을 일시적으로 기억함과 아울러, 일시 기억 공간을 제공하는 RAM(Random Access Memory)(113)과, 어플리케이션 프로그램, 시스템 프로그램 및, 데이터를 기억하는 하드디스크(114)와, CPU(111), ROM(112) 등을 상호 접속하는 버스(115)를 구비한다. 또한, 컴퓨터(101)는, LAN으로의 접속을 제공하는 도시하지 않는 네트워크 카드를 포함하고 있어도 좋다.
컴퓨터 시스템(100)에, 상기 실시 형태에 의한 데이터 표시 장치의 기능을 실행시키는 프로그램은, CD-ROM(121), 또는 FD(122)에 기억되어, CD-ROM 드라이브(105), 또는 FD 드라이브(106)에 삽입되어, 하드디스크(114)로 전송되어도 좋다. 이를 대신하여, 그 프로그램은, 도시하지 않는 네트워크를 통하여 컴퓨터(101)로 송신되어, 하드디스크(114)에 기억되어도 좋다. 프로그램은 실행할 때에 RAM(113)에 로드된다. 또한, 프로그램은, CD-ROM(121)이나 FD(122), 또는 네트워크로부터 직접 로드되어도 좋다.
프로그램은, 컴퓨터(101)에, 상기 실시 형태에 의한 데이터 표시 장치의 기능을 실행시키는 오퍼레이팅 시스템(OS), 또는 서드 파티 프로그램 등을 반드시 포함하고 있지 않아도 좋다. 프로그램은, 제어된 형태로 적절한 기능(모듈)을 불러내어, 소망하는 결과가 얻어지도록 하는 명령의 부분만을 포함하고 있어도 좋다. 컴퓨터 시스템(100)이 어떻게 동작하는지에 대해서는 주지여서, 상세한 설명은 생략한다.
또한, 상기 각 실시 형태에 있어서, 하나의 장치에 존재하는 2 이상의 통신 수단(요구 정보 송신부나 데이터 수신부 등)은, 물리적으로 하나의 매체에서 실현되어도 좋은 것은 말할 것도 없다.
본 발명은 이상의 실시 형태에 한정되는 일 없이, 여러 종류의 변경이 가능하며, 그들도 본 발명의 범위 내에 포함되는 것임은 말할 필요도 없다.
이상과 같이, 본 발명에 따른 데이터 표시 장치 등은, 반도체 프로세스의 처 리시의 상태에 관한 시계열인 프로세스 관련 데이터를 복수 표시하는 장치 등으로서 적합하며, 복수의 프로세스 관련 데이터를 그래프 등을 이용하여 나란히 표시하는 장치 등으로서 유용하다.

Claims (12)

  1. 반도체 프로세스의 처리시의 상태에 관한 시계열 데이터인 프로세스 관련 데이터가 복수 격납될 수 있는 격납부와,
    상기 격납부로부터, 1 이상의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 데이터 취득부와,
    상기 데이터 취득부가 취득한 1 이상의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서 제1 표시폭으로 표시하는 제1 표시부와,
    상기 제1 표시부가 표시하고 있는 상기 프로세스 관련 데이터 내의 일부의 범위인 표시 대상 범위의 지정을 접수하는 범위 지정 접수부와,
    상기 복수의 프로세스 관련 데이터의 각각으로부터, 상기 표시 대상 범위에 대응하는 기간인 표시 기간 내의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 표시 데이터 취득부와,
    상기 표시 데이터 취득부가 취득한 상기 표시 기간 내의 복수의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서, 상기 표시 대상 범위의 폭보다도 넓은 제2 표시폭으로 표시하는 제2 표시부를 구비하고,
    상기 제1 표시부는,
    상기 범위 지정 접수부가 접수한 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 상기 제1 표시부가 표시하는 상기 1 이상의 프로세스 관련 데이터와 대응지어서, 추가로 표시하는 데이터 표시 장치.
  2. 반도체 프로세스의 처리시의 상태에 관한 시계열 데이터인 하나의 프로세스 관련 데이터가 격납될 수 있는 격납부와,
    상기 격납부로부터, 상기 하나의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 데이터 취득부와,
    상기 데이터 취득부가 취득한 하나의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서 제1 표시폭으로 표시하는 제1 표시부와,
    상기 제1 표시부가 표시하고 있는 하나의 프로세스 관련 데이터에 대해서, 복수의 범위인 복수의 표시 대상 범위의 지정을 접수하는 범위 지정 접수부와,
    상기 하나의 프로세스 관련 데이터로부터, 상기 복수의 표시 대상 범위에 각각 대응하는 기간인 복수의 표시 기간 내의 복수의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 표시 데이터 취득부와,
    상기 표시 데이터 취득부가 취득한 복수의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서, 상기 표시 대상 범위의 폭보다도 넓은 제2 표시폭으로 표시하는 제2 표시부를 구비하고,
    상기 제1 표시부는,
    상기 범위 지정 접수부가 접수한 복수의 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 상기 제1 표시부가 표시하는 상기 하나의 프로세스 관련 데이터와 대응지어서, 추가로 표시하는 데이터 표시 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 표시부는, 데이터 취득부가 취득한 하나의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서 제1 표시폭으로 복수 표시하고,
    상기 범위 지정 접수부는, 상기 제1 표시부가 복수 표시하고 있는 상기 하나의 프로세스 관련 데이터의 각각에 대해서 표시 대상 범위의 지정을 접수하고,
    상기 표시 데이터 취득부는, 상기 하나의 프로세스 관련 데이터로부터, 상기 범위 지정 접수부가 지정을 접수한 복수의 표시 대상 범위에 대응하는 복수의 프로세스 관련 데이터를 취득하고,
    상기 제2 표시부는, 상기 표시 데이터 취득부가 취득한 복수의 프로세스 관련 데이터를, 각각 시간축과 대응지어서, 상기 표시 대상 범위의 폭보다도 넓은 제2 표시폭으로 표시하고,
    상기 제1 표시부는, 상기 범위 지정 접수부가 접수한 복수의 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 각각이 지정을 접수한, 상기 제1 표시부가 표시하는 복수의 상기 하나의 프로세스 관련 데이터에 각각 대응지어서, 추가로 표시하는 데이터 표시 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 표시 데이터 취득부가 취득한 복수의 데이터에 대해서 소정의 해석을 행하는 해석부를 추가로 구비하고,
    상기 해석부의 해석 결과를 표시하는 제3 표시부를 추가로 구비한 데이터 표 시 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 표시 데이터 취득부가 취득한 프로세스 관련 데이터의 1 이상에 대하여, 소정의 연산 처리를 행하는 데이터 처리부를 추가로 구비하고,
    상기 제2 표시부는,
    상기 표시 데이터 취득부가 취득한 프로세스 관련 데이터 및, 상기 데이터 처리부에 의해 연산 처리되어 얻어진 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서, 상기 표시 대상 범위의 폭보다도 넓은 제2 표시폭으로 표시하는 데이터 표시 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 범위 지정 접수부는, 상기 표시 대상 범위의 지정을, 상기 제1 표시부가 표시하는 프로세스 관련 데이터에 대한 지정 디바이스를 이용한 조작에 의해 접수하는 데이터 표시 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1 표시부는, 상기 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 상기 제1 표시부가 표시하는 프로세스 관련 데이터와 겹쳐서 표시하고,
    상기 범위 지정 접수부는,
    상기 표시 대상 범위의 지정을, 상기 제1 표시부가 표시하는 표시 대상 범위를 나타내는 정보에 대한, 지시 디바이스를 이용한 이동 및 폭의 변경의 조작에 따라서 접수하는 데이터 표시 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    데이터 취득부가 취득한 프로세스 관련 데이터 중 하나로부터 특이점을 검출하는 검출부를 추가로 구비하고,
    상기 범위 지정 접수부는, 상기 검출부가 검출한 특이점이 발생한 기간을 나타내는 정보를, 상기 표시 대상 범위를 지정하는 정보로서 접수하는 데이터 표시 장치.
  9. 반도체 프로세스의 처리시의 상태에 관한 시계열 데이터인 프로세스 관련 데이터가 복수 격납될 수 있는 격납부와, 데이터 취득부와, 제1 표시부와, 범위 지정 접수부와, 표시 데이터 취득부와, 제2 표시부에 의해 처리되는 데이터 표시 방법으로서,
    상기 격납부로부터, 상기 데이터 취득부가 1 이상의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 데이터 취득 스텝과,
    제1 표시부가, 상기 데이터 취득 스텝에서 취득한 1 이상의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서 제1 표시폭으로 표시하는 제1 표시 스텝과,
    범위 지정 접수부가, 상기 제1 표시 스텝에서 표시하고 있는 상기 프로세스 관련 데이터 내의 일부의 범위인 표시 대상 범위의 지정을 접수하는 범위 지정 접수 스텝과,
    상기 표시 데이터 취득부가, 상기 복수의 프로세스 관련 데이터의 각각으로부터, 상기 표시 대상 범위에 대응하는 기간인 표시 기간 내의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 표시 데이터 취득 스텝과,
    상기 제2 표시부가, 상기 표시 데이터 취득 스텝에서 취득한 상기 표시 기간 내의 복수의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서, 상기 표시 대상 범위의 폭보다도 넓은 제2 표시폭으로 표시하는 제2 표시 스텝을 구비하고,
    상기 제1 표시부가, 상기 범위 지정 접수 스텝에서 접수한 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 상기 제1 표시부가 표시하는 상기 1 이상의 프로세스 관련 데이터 중의 적어도 1개와 대응지어서 표시하는 스텝을 추가로 구비하는 데이터 표시 방법.
  10. 반도체 프로세스의 처리시의 상태에 관한 시계열 데이터인 하나의 프로세스 관련 데이터가 격납될 수 있는 격납부와, 데이터 취득부와, 제1 표시부와, 범위 지정 접수부와, 표시 데이터 취득부와, 제2 표시부에 의해 처리되는 데이터 표시 방법으로서,
    상기 데이터 취득부가, 상기 격납부로부터, 상기 하나의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 데이터 취득 스텝과,
    상기 제1 표시부가, 상기 데이터 취득 스텝에서 취득한 하나의 프로세스 관 련 데이터를, 시간축과 대응지어서 제1 표시폭으로 표시하는 제1 표시 스텝과,
    상기 범위 지정 접수부가, 상기 제1 표시 스텝에서 표시하고 있는 하나의 프로세스 관련 데이터에 대해서, 복수의 범위인 복수의 표시 대상 범위의 지정을 접수하는 범위 지정 접수 스텝과,
    상기 표시 데이터 취득부가, 상기 하나의 프로세스 관련 데이터로부터, 상기 복수의 표시 대상 범위에 각각 대응하는 기간인 복수의 표시 기간 내의 복수의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 표시 데이터 취득 스텝과,
    상기 제2 표시부가, 상기 표시 데이터 취득 스텝에서 취득한 복수의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서, 상기 표시 대상 범위의 폭보다도 넓은 제2 표시폭으로 표시하는 제2 표시 스텝을 구비하고,
    상기 제1 표시부가, 상기 범위 지정 접수 스텝에서 접수한 복수의 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 상기 제1 표시부가 표시하는 상기 하나의 프로세스 관련 데이터와 대응지어서 표시하는 스텝을 추가로 구비하는 데이터 표시 방법.
  11. 컴퓨터를,
    반도체 프로세스의 처리시의 상태에 관한 시계열 데이터인 프로세스 관련 데이터가 복수 격납될 수 있는 격납부로부터, 1 이상의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 데이터 취득부와,
    상기 데이터 취득부가 취득한 1 이상의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서 제1 표시폭으로 표시하는 제1 표시부와,
    상기 제1 표시부가 표시하고 있는 상기 프로세스 관련 데이터 내의 일부의 범위인 표시 대상 범위의 지정을 접수하는 범위 지정 접수부와,
    상기 복수의 프로세스 관련 데이터의 각각으로부터, 상기 표시 대상 범위에 대응하는 기간인 표시 기간 내의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 표시 데이터 취득부와,
    상기 표시 데이터 취득부가 취득한 상기 표시 기간 내의 복수의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서, 상기 표시 대상 범위의 폭보다도 넓은 제2 표시폭으로 표시하는 제2 표시부로서 기능시키기 위한 프로그램으로서,
    상기 제1 표시부는,
    상기 범위 지정 접수부가 접수한 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 상기 제1 표시부가 표시하는 상기 1 이상의 프로세스 관련 데이터 중의 적어도 하나와 대응지어서 추가로 표시하는 프로그램.
  12. 컴퓨터를,
    반도체 프로세스의 처리시의 상태에 관한 시계열 데이터인 하나의 프로세스 관련 데이터가 격납될 수 있는 격납부로부터, 상기 하나의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 데이터 취득부와,
    상기 데이터 취득부가 취득한 하나의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서 제1 표시폭으로 표시하는 제1 표시부와,
    상기 제1 표시부가 표시하고 있는 하나의 프로세스 관련 데이터에 대해서, 복수의 범위인 복수의 표시 대상 범위의 지정을 접수하는 범위 지정 접수부와,
    상기 하나의 프로세스 관련 데이터로부터, 상기 복수의 표시 대상 범위에 각각 대응하는 기간인 복수의 표시 기간 내의 복수의 프로세스 관련 데이터를 취득하는 표시 데이터 취득부와,
    상기 표시 데이터 취득부가 취득한 복수의 프로세스 관련 데이터를, 시간축과 대응지어서, 상기 표시 대상 범위의 폭보다도 넓은 제2 표시폭으로 표시하는 제2 표시부로서 기능시키기 위한 프로그램으로서,
    상기 제1 표시부는,
    상기 범위 지정 접수부가 접수한 복수의 표시 대상 범위를 나타내는 정보를, 상기 제1 표시부가 표시하는 상기 하나의 프로세스 관련 데이터와 대응지어서, 추가로 표시하는 프로그램.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102280362A (zh) * 2010-06-08 2011-12-14 株式会社日立国际电气 基板处理装置及其控制系统、收集单元、以及控制方法

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5133323B2 (ja) * 2009-10-22 2013-01-30 株式会社アルバック 真空処理装置、グラフ線表示方法
CN102576658A (zh) * 2009-10-22 2012-07-11 株式会社爱发科 真空处理装置、图表显示方法
JP5133322B2 (ja) * 2009-10-22 2013-01-30 株式会社アルバック 真空処理装置、グラフ線表示方法
TWI474143B (zh) 2010-02-09 2015-02-21 Hitachi Int Electric Inc 基板處理系統及其資料處理方法、群管理裝置及其資料處理方法、半導體處理裝置之製造方法暨電腦可讀取記錄媒體
JP6001234B2 (ja) * 2010-09-13 2016-10-05 株式会社日立国際電気 基板処理システム、基板処理装置、データ処理方法およびプログラム
JP2012064881A (ja) * 2010-09-17 2012-03-29 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理システム
WO2012053140A1 (ja) * 2010-10-20 2012-04-26 日本電気株式会社 サービス管理装置、表示方法およびプログラム
JP6171152B2 (ja) * 2012-05-28 2017-08-02 ピーアンドダブリューソリューションズ株式会社 情報処理装置、方法及びプログラム
JP2014142822A (ja) * 2013-01-24 2014-08-07 Azbil Corp データ作成装置および方法
US9405651B1 (en) * 2013-10-03 2016-08-02 Initial State Technologies, Inc. Apparatus and method for processing log file data
US9405755B1 (en) 2013-10-03 2016-08-02 Initial State Technologies, Inc. Apparatus and method for processing log file data
US20150235395A1 (en) * 2014-02-19 2015-08-20 Mckesson Financial Holdings Method And Apparatus For Displaying One Or More Waveforms
US20150235394A1 (en) * 2014-02-19 2015-08-20 Mckesson Financial Holdings Method And Apparatus For Displaying One Or More Waveforms
US9646395B2 (en) 2014-02-27 2017-05-09 Change Healthcare Llc Method and apparatus for comparing portions of a waveform
US9836817B2 (en) * 2014-06-05 2017-12-05 General Electric Company Synchronized zooming across multiple plots
JP6599727B2 (ja) 2015-10-26 2019-10-30 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 時系列データ処理方法、時系列データ処理プログラム、および、時系列データ処理装置
WO2017110707A1 (ja) 2015-12-21 2017-06-29 日本電気株式会社 表示制御装置、表示制御方法、及び、表示制御プログラムが記録された記録媒体
JP6801672B2 (ja) 2015-12-21 2020-12-16 日本電気株式会社 表示制御装置、表示制御方法、及び、表示制御プログラム
CN109254985A (zh) * 2017-07-11 2019-01-22 阿里巴巴集团控股有限公司 数据库的数据展示方法及装置、电子设备
JP7088742B2 (ja) * 2018-05-18 2022-06-21 キヤノン電子株式会社 加工システム、加工機、加工機の制御方法及びプログラム
JP7215641B1 (ja) * 2021-10-18 2023-01-31 住友電気工業株式会社 解析装置、解析方法、加工システム、およびプログラム

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2860825B2 (ja) * 1990-06-18 1999-02-24 日立建機株式会社 超音波測定装置
JPH07295782A (ja) * 1994-04-20 1995-11-10 New Japan Radio Co Ltd 画面表示制御方法
US6229536B1 (en) * 1998-03-05 2001-05-08 Agilent Technologies, Inc. System and method for displaying simultaneously a main waveform display and a magnified waveform display in a signal measurement system
JP2000010538A (ja) 1998-06-24 2000-01-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 測定データ表示装置
WO2004004561A1 (ja) * 2002-07-04 2004-01-15 Dainippon Pharmaceutical Co., Ltd. 心電図解析装置およびその方法
US20040051721A1 (en) * 2002-09-18 2004-03-18 Ramseth Douglas J. Method and apparatus for interactive annotation and measurement of time series data
US7227549B2 (en) * 2003-02-13 2007-06-05 Tektronix, Inc. Indicating and manipulating a zoom region of a waveform
EP1503331A2 (en) * 2003-07-31 2005-02-02 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Display data transfer apparatus and method
JP4332054B2 (ja) * 2004-03-30 2009-09-16 株式会社共和電業 データレコーダ
US7788592B2 (en) * 2005-01-12 2010-08-31 Microsoft Corporation Architecture and engine for time line based visualization of data
JP2006237052A (ja) * 2005-02-22 2006-09-07 Nikon System:Kk 情報表示方法、情報表示プログラム、情報表示装置及びデバイス製造システム、並びに基板処理装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102280362A (zh) * 2010-06-08 2011-12-14 株式会社日立国际电气 基板处理装置及其控制系统、收集单元、以及控制方法
US8712730B2 (en) 2010-06-08 2014-04-29 Hitachi Kokusai Electric Inc. Control system of substrate processing apparatus, collecting unit, substrate processing apparatus and control method of the substrate processing apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
TW200915383A (en) 2009-04-01
KR101047013B1 (ko) 2011-07-06
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