TW200910499A - Method and apparatus for adjusting pitch of buffer tray in test handler - Google Patents
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Description
200910499 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於一種檢驗半導體元件之設備,且特別 疋有關於〜種檢驗半導體元件之檢驗分選機(test handler) 中用於承栽半導體元件之緩衝托盤(buffer tray)。 【先前技術】 一般來說,像是揮發性或非揮發性記憶體元件與系統 / -· 大型積體電路(System LSI)元件之類的半導體元件,係在 檢驗半導體操作特性之後,即進入裝運程序。 檢驗分選機(test handler)係將半導體元件轉送至檢驗 腔中’以測試半導體元件。其中,半導體元件是透過緩衝 托盤(buffer tray)從自定義托盤(customer tray)移轉到測試 托盤(testtray)上。並且,於測試腔中測試完成之半導體元 件,亦透過緩衝托盤從測試托盤移轉到自定義托盤上。 檢驗分選機包括一撿選系統(picker SyStem),撿選系 & 統用以在測試托盤與自定義托盤之間傳遞半導體元件。關 於此類撿選系統可參考已揭露於美國專利之第6,761,526 號、第7,000,645號、第7,023,197號等專利。 近來為了縮短傳遞半導體元件所需之時間,撿選系統 已同時使用多個撿選頭。並且’撿選系統亦使用節距調整 (pitch-adjusting)元件,使擷取頭之節距相等於測試托盤及 自定義托盤。然而,當擷取頭之數量增加時,節距調整元 件之重量係隨之增加’因而導致半導體裝置傳遞之速度受 200910499 riiG.丨 vvoyoo广 到限制 【發明内容】 本發明提出一種調整墙 法,其用於檢驗半導體元件> 托盤(buffertray)節距的方 衝托般W A Μ π之檢驗分選機中,藉由調整緩 衝托:之即距?改善傳遞半導體元件之速度。 本毛明更提出一種用於 置,其用於檢驗半導體魅盤之節距的裝 衝托盤之節距,以改善傳遞主:驗分選機中’藉由調整緩 根據本發明之一方面元件之速度。 中,緩衝托盤包括複數個成對之節距的方法 W,此些緩衝子托盤用J = f子托盤(她buffer 整緩衝托盤節距之方法包括$個半導體凡件。此調 距係此些成對的緩衝子托盤之;;第—節距,此第-節 ^ 边之間的節距;以及調整一篦- 即距’此第二節距係此些成對的緩衝子托 : 子托盤及一第二缓衝子托盤之間的節距,弟-㈣ 从發明之γ些實施例中,調整第—節距之_ ^ 使至>、一第一成對的緩衝子托盤及至少— ,、 衝子托盤往互相相反之方向移動,复中 ^沾、緩 =第二成對的緩衝子托盤係各別位在緩衝托盤=子 點的兩側。 ,本發明之-些實施例中,調整第—節 ,至少-第-減的緩衝托盤及至少—第二成對係 衝子把盤往互相相反之方向移動,其中第1對的_子 200910499
HC. I v V UCfWWI 托盤及第二成鮮的緩衝子托 中心的:在鄰近緩衝托盤 除二:最外側成對ΐ:::盤:節距之步㈣ 的盤之節距方向上成對 /古楚-Π 二只把例中,調整第--π 使弟一戍衝子托盤相對移動於第一-即距之步驟,係 根據本發明之另— 戋r子托盤。 置中,緩衝托盤包括複數個成盤之節距的裝 子柁盤用以承載複數個半導體元、' %子托盤,此些緩衝 傳動區,連接此些成對 =°此裝置包括:-第- 距,此第一節距係此些成對的緩=托Γ周整一第一節 Γ第二傳動區,連接此些成對的緩衝二:1的節距;以 弟二節距,此第二節, 幻、、友衝子托盤,以調整一 緩衝子托盤對的緩衝子_中-第- 在本發明之-4=盤ί間的節距。 齒條(rack gear),##、' 苐—傳動區包括:複數個 ―,二=的緩衝子技盤—齒輪箱 嚙合齒條;以及如咖伽),此外齒輪用以 動力予齒輪箱。J:巾早70 ’連接齒輪箱,以提供一旋轉 衝子技盤及至少二第^些齒條連接至少一第一成對的緩 衝子托盤及第二成對;;子托盤,第一成對的緩 中心點的兩侧,此些盤係各別位在缓衝托盤 成對的緩衝子托盤及/、3合至少—外齒輪,以使第一 一成對的緩衝子托盤往互相相反 8 200910499
I "W. I V V V·/W V·» I 之方向移動。 在本發明之一些實施例中,齒輪箱包括:一傳動齒輪 (driving gear),連接馬達單元之一傳動軸(drivingshaft); 一第一小齒輪(pinion gear),連接傳動軸,並嚙合一第一齒 條及一第二齒條,此第一齒條與此第二齒條係互相相對, 第一小齒輪之節圓(pitch circle)小於傳動齒輪之節圓;以及 一第二小齒輪,嚙合傳動齒輪,以透過傳動齒輪而轉動, 並嚙合一第三齒條及一第四齒條,此第三齒條與此第四齒 條係互相相對,第二小齒輪之節圓小於傳動齒輪之節圓。 在本發明之一些實施例中,此裝置更包括一底板,第 一傳動區及第二傳動區設置於此底板上。 在本毛月之些貫化例中,齒條及齒輪箱設置於此底 板之一上表面,馬達單元設置於此底板之一下表面,馬達 單元穿過此底板連接齒輪箱。 在本發明之-些實施例中,此些齒條透過複數個支座 \ 連接此些成制緩衝子托盤,此些支朗伸狀方向實質 上垂直於緩衝托盤之節距方向。 在本發明之-些實施例中,第一傳動區包括:複數個 齒條;一齒輪箱,包括至少―外齒輪;以及-馬達單元, 連接齒輪箱,以提供-轉動力予齒輪箱。此 連接至少一第一成對的緩衝 衡子牦盤及至少一第二成對的 級衝子托a H對的緩彳許 托盤係各触在鄰近輯#㈣ *㈣以衝子 Μ心,… 盤中心點之一成對的緩衝子 托i的兩側,此些齒條並嗔合至少-外齒輪,以使第-成 200910499 對的緩衝子托盤及第_ 方向移動。 〃成對的缓衝子托盤往互相相反之 在本發明之一些實施例中, 嵩條;-齒輪箱,包括複數個外齒輪專括:複數個 連接齒輪箱,以提供一 119 及馬達單7L, 最外側成對的緩衝子托盤之外,此其中’除了-對的缓衝子托盤,並嗜合於些外齿==接至其餘成 衝子托盤在緩衝托盤之節距方向上^動^使其剩成對的緩 在本1明之一些實施例中,緩一 衝子乾盤,第一傳動區包括: 括二成對的緩 之其中-對,以調整第-節2:=對::衝 相,以提供-旋轉動力予#輪#。馬達早兀’連接齒輪 在本發明之一些實施例中 「連桿,連接此些第—缓衝子把盤複數個第 桿,連接此些第二 -,以及谡數個第二連 —傳動區連接此4b第;=些第—連桿。其中,第 盤。 一弟㈣子托盤或此些第二緩衝子托 及此4b第-連 糸、過競個支座連接此些第-連样 衝托盤以? 所伸展之方向實質上垂一 連捍或此歧第月之連广知例_ ’第二傳動區連接此些第/ 〜弟—連#,並施予—傳動力至此㈣-連桿威 10 200910499 此些第二連桿,以予此些第—緩衝子托盤及此 子托盤之間產生一相應的動作。 二弟一緩衝 在本發明之一些實施例中,此裝置更 =㈣e—,用以操縱此些第; 些第二緩衝子托盤於緩衝托盤之節距方向。减此 在本發明之一些實施例中,此 件,伸展於緩衡托盤 _更I括-操縱構 過第二傳動區,而在實;上其令,此操縱構件係透 ,移動,且此操縱構件係在緩衝 =的方 桿間或與第二連捍間所連接之部位= 的兩側部位,以在實質上呑古連接於别逑之操縱構件 上,操縱前述之操縱構件㈣托盤之節距方向的方向 置中根—方面,在調整緩衝托盤之節距的裝 用以承載複數個半導體’此些缓衝子乾盤 包括至少-外齒輪;以及接=單元,齒輪箱 托盤及至少-外齒輪,以糾^條’連接至少一緩衝子 在太获明$ — &〜緩衝子托盤間的節距。 x 二貫施例中,各個緩衝子呈+ 個承載座(_’此些承載剌 元件= 數 至少-列,此些緩衝;盤之節距方向而排列成 列。 右·^依緩衝托盤之節距方向而排 200910499 在本發明之一些實施例中, 子托盤:其中,複數個齒條連接=;==衝 ^-弟二緩衝子托盤,第—緩衝子托 盤係各別位在緩衝托盤之中心 弟一戍衝子托 至少-外齒輪,以使第-緩衝子托般::些齒條並嚙合 互相相反之方向移動。 i及弟一緩衝子托盤往 在本發明之一些實施例中, 盤。其中’複數個齒條連接至 “I第一ϊ衝子托盤’第—緩衝子托盤及第二緩衝子托 嗜合至少-外絲,以使第側’此些齒條並 盤往互相相反之方㈣動。子㈣及第二緩衝子托
在本發明之一也實tb K 盤之外,至少—齒偏、、“中’除了-最外側的緩衝子托 並嚙合於至少-外齒輪,以剩的緩衝子托盤’ 緩衝托盤之節距方向上移動。7'、餘的緩衝子托盤在 根據本發明前述之數個實 t = r使緩衝托盤之一= 距,^選系統之節 用韻外的元件調整撿選系而之%間,亚且不須使 選機的結構穩定性。 ,'、,本發明之上述内容能更明顯易懂,下文特舉數個 12 200910499 實施例,並配合所附圖式,作詳細說明如下: 【實施方式】 下文特舉本發明之實施例並配合所附圖式作詳細說 明。然本發明係可以不同形式實施而非限定於文中所提之 實施例。於此,文中所提之實施例僅為本發明之揭露能更 加徹底和完整,藉此將本發明之範圍完全地傳達給此技術 領域中通常知識者。另外,於圖式中相似元件大致上係沿 f 用相似標號。 於文中,當闡述一元件位在另一元件之「上」,是指 此元件是直接位在另一元件之上,亦或在其間存在有其它 的中間元件(intervening element)。相對地,當闡述元 件是「直接」位在另一元件之「上」時,則其間不存在有 其它中間元件。於文中,「及/或」是指包括一或多個相關 項目之任意或所有組合。 於文中,「第一」及「第二」是用以描述不同元件 、 (e 1 ements ),此命名方式僅用於區別元件,故文中所述之 此類元件不應以此為限。舉例來說,因為此類用語僅用於 區別不同的元件,故一第一元件是可以命名成一第二元 件,一第二元件同樣亦可以命名成一第一元件,於此並沒 有脫離本發明之精神和範圍。 於文中所用之專門用語僅作為描述之用,並非用以限 定本發明。除非本文明確地指出,否則單數形式「一個」 亦包括複數形式「數個」。此外,當使用「包括」於說明 13 200910499 :日守’係用以以詳述指定特徵、事物、步驟、操作 2及/或部件的存在,但並不排除—或多個附加之特徵、 事物、步驟、操作、元件及/或部件的存在。 於文中,如「下方」、「底下」、「下面的」、「上方」、「上 面的」一等相似的空間相對性用語,係描述圖式中-元件盘 另一兀件之關係。另外,此類空間相對性用語應包含果置 間之方位之外,還應包含圖式所描緣的方位。舉例來ς, 若圖示中裝置翻轉倒置,則原來元件「下方」或 之另-元件係改變其方位,成為原來元件「上方」或 面的」。因此’在隨著圖式定位方向改變時,此「下方 是可包含具相同線性指向的「下方」牙口「上方」的。」 於文中,除非更進-步定義,否騎有在本文中使用 ί:!(包括科技術語及科學術語)係與本發明所屬技術 =域中之通常知識為相同意義。再者,除非文中日月確= ί衍典禮所定義之名稱應被視為與相關 立月思義致’而不會被解讀為理想化或過度正規 之^思、義。 、 於文中,本發明實施例係以剖面圖加以說明,此剖面 =本發明理想性實施叙示意圖。就其本身㈣ 由製造技術及/或公差等因素,是可能產生與圖式示形狀 u異。因此,本發明實施例不應局限於圖式中纷示之特 疋形狀’而應包括如製造方式所造成之形狀上的差里。舉 :而言,一平坦的植入區域(_),實際上仍會:有不 平整及/或非線性等部份。因此’圖式騎之區域本質上 14 200910499 I liw. I V«V^WWW· 為示意的’其形狀係不限定為裝置區域之實際形狀 用以限制本發明之範圍。 請參照第1圖及第2圖,第i圖緣示依照本發明 -實施例之調整緩衝托盤節距之裝置的示意圖合 示一種緩衝托盤的示意圖。 圖、、、曰 如第1圖及第2圖所示,依照本發明之—银 調整緩衝托盤H)節距之裝置i⑽是適驗—檢驗只半y體之 兀件之檢驗分選機㈣handler)中。#中,裝置刚 =衝:盤1〇之節距相等於一測試托盤(未綠示)及-自疋義托盤(未緣示)之節距。 緩衝托盤1〇包括複數個成對的緩衝 :U=y)12,各個成對的緩衝子托盤物V一缓 2子托a 12a及-第二緩衝子托盤⑶。如圖中 緩衝子托盤仏及各個12 °各個第一 載座,此些承載座u田一讀子托盤⑶具有複數個承 這些承載座Γ4是排列成:承:載魅個f導體元件,且 及第二绥输孚丨取 亚且第一緩衝子托盤12a 來說,各個第互相平行設置的。以第2圖舉例 子托盤m之承載座^數量㈣了子;;盤仏及第二缓衝 於此,這些成對的… 疋可視情況需求而變的。 為圖中X軸方向),、二盤12是沿-行向排列(該行向 為圖中y軸方向),第_^二質上係垂直於一列向(該列向 弟、咬衝子托盤12a及第二缓衝子托盤 15 200910499 nb即是沿此列向伸展(即12a及系沿y轴方向伸展 故些第一及第二緩衝子托盤12a及12b是各別 複數個第-支座1G2a及複數個第二支座腿之上σ,位於 這些第-及第二緩衝子托盤12a及12b下方的第—支座、 l〇2a及第二支座1〇2b亦是沿列向伸展。 山立複數個第-連桿104a是連接該些'第一支座脱的末 =位’複數個第二連桿_是連接該些第二支座嶋 的,部位’第二連桿祕則連接第—連桿购。如第 二圖所示,這㈣二連桿1Q4b連接第—連桿·之中心 f 或疋在另一種情況下,這些第一連桿l〇4a之末端 ^是=第二連桿1〇4b之末端部位。或者在再一種情 之桿1Q4叫端部料連料二連桿祕 裝置100包括一第一傳動區11〇及 140,用以調整緩衝托盤10於行向上^ 一專動°° 距)。其中,第-傳動區u。用以?=距(X,方向之節 節距係此些朗的緩衝子托M 12=—此值第; 區140用以調整—第 的即距,弟二傳動 盤咖之_節距。第„ a及;^二緩衝子托 設置於一底板106上。 °°及第二傳動區140係 請參照第3圖、第4圖及第 之第-傳動區之齒輪箱的:意二圖:弟3圖㈣第1圖 —傳動區之錢箱的示音 1圖之第 不思圖,弟5圖繪示第1圖之第一傳 16 200910499 動區之第一馬達單元的示意圖。 如第3〜5圖所示,第一傳動區Π0包括:一齒輪箱 (gearbox) 112 ’齒輪箱112包括至少一可轉動的外齒輪 (output gear),齒輪箱112係設置於底板106之一上表面; 複數個齒條(rack gear) 120 ’此些齒條120喷合外齒輪;以 及一第一馬達單元122,連接齒輪箱112,以提供一旋轉 動力予齒輪箱112。 舉例來說,四個齒條120設置於底板1〇6之上表面, 此四個齒條120嚙合作為外齒輪之兩個小齒輪(pini〇I1 gears) 114。其中,一第一小齒輪114a連接第一馬達單元 122之一傳動轴(driving shaft) 124’並响合一第—齒條i2〇a 及一第二齒條120b,此第一齒條120a與此第二齒條120b 係互相相對。另外,一第二小齒輪114a唾合一傳動齒輪 (driving gear) 116,傳動齒輪116係與第一馬達單元Π2
V 之傳動軸124連接,傳動齒輪116並。齒合一第三齒條12〇c 及一第四齒條120d,此第三齒條120c與此第四齒條120d 係互相相對。 請參照第6〜8圖,其繪示第1圖之調整緩衝托盤節距 之裝置的示意圖。 如第6〜8圖所示,第一齒條n〇a及第二齒條12〇b透 過該些第一支座l〇2a及該些第二支座l〇2b連接内侧成對 衝子托盤12。其中,在第6圖及第7圖中,設置衣4 的缓衝子托盤I2,第三齒條l2〇c及第四窗條l2〇d透過該 些第一支座1 〇2a及該些第二支座1 οπ連接外側成斜的、 17 200910499 盤ίο左側之複數個第一成對的緩衝子托盤12是連接第一 齒條魏及第四齒條副,設置在緩衝托盤1(}右側之複 數個第二成對的緩衝子托盤12是連接第二齒條丨鳥及第 三齒條120c。因此,在第7圖中,透過轉動第一小齒輪 114a及第二小齒輪⑽後,此些第—成對的緩衝子托盤 12及此些第二成對的緩衝子托盤12是以緩衝托盤中: 點往互相相反之方向移動。 第uiir、120a、第二齒條12〇b、第三齒條及第 四齒條120d透過該此楚 i ΓΪ- 1 _ Λ , 弟一支座i〇2a連接該些第一緩衝子 托盤12a,相對地,第一告 & 芨術于 弟齒條120a、第二齒條120b、篦二 齒條120c及第四齒鉻l ^ 弟一 彳此^ 透過該些第二支座娜連接 该些第一緩衝子托盤12b。 心饮 雖於圖中未標示 me—設置於_ 、具有減怖縱構件㈣心 (X軸方向)上刼縱第<ΤΓ7 1〇Λ . ,, ^ 以條l20a、第二齒條120b、第二齒 條120c及弟四齒條u〇d。 乐一 ^ 第一小齒輪U4a及第 3,藉以使該些第一又锝返比疋1 . 中,第一小齒輪u4a、l料托们2a之間隔可以相等。其 小於傳動齒輪ii6之/内一小齒輪11扑之節圓⑻她士⑽ 第二小齒輪114b的:^ °其中’傳動齒輪116之直徑是 與第二小齒輪ll4b= ’第—小齒輪114a之直徑實質上 及第二小齒輪ll4b,^。因此,透過轉動第—小齒輪114a 之間的第-節距?1。調整該些朗的緩衝子托盤12 18 200910499 同日守’因為此些第一緩衝子乾盤12a遷過节 桿购及該些第二連桿腿連接該些 衝;連 ⑶,所:當_-節距?1時,此些盤仏 及此些第二緩衝子托盤12b間之第二節距揽 ^ ^ 弗一即距P2仍維持不變。 π上所述,齒輪箱112包括兩個小齒輪 然齒輪箱m亦可以包括三個或更多個具::=114b。
Silt HO亦可以包括複數個齒條,以喊合 f 第::=。所以’此些小齒輪及此些齒條的數量是可視 弟緩衡子托盤12a的數目而改變。 於是,當此緩衝托盤10係包括兩個成對的緩 盤12時,則此第一傳動區11〇得'包括一個小齒輪及兩個 齒條。 如第4圖及第5圖所示,傳動軸124是延伸穿過底板 106’且第一馬達單元122是設置於底板1〇6之一下表面, 而第一馬達單元122是透過斜齒輪(bevel gear) 12ό連接傳 動軸124。或者在另一種情況下,此第一馬達單元122是 可以直接連接傳動軸124。 如第6圖所示,至少一操縱構件設置於底板1〇6之一 上表面’以於行向(X軸方向)上操縱該些第一支座1〇2&及 該些第二支座l〇2b’此行向即為缓衝托盤10之節距方向。 其中’此操縱構件亦是沿該行向(X軸方向)上伸展。舉例 來說’一第一導執(guiderail)130a及一第二導執130b是設 置於底板106上,第一導軌130a及第二導軌130b是沿該 行向而伸展,此些第一支座l〇2a及此些第二支座102b是 19 200910499 I lie. 1 V V<JC/UWi 透過複數個第一滾珠滑塊(ball block) 132a及複數個第二 滾珠滑塊132b耦接至第一導軌13〇a及第二導軌130b。 如第7圖及第8圖所示,第二傳動區140是設置在底 板106之上表面’且連接至該些第一連桿1〇4a之末端部 位。其中,第二傳動區14〇是施予一傳動力至此些第一連 桿l〇4a’予以調整該些第一緩衝子托盤Ua及該些第二缓 衝子托盤12b間之第二節距p2,例如是在該些第一緩衝子 $ 托盤12a及該些第二緩衝子托盤12b間產生一相應的動 作。 透過一操縱構件係可於該行向上操縱該些第一連桿 104a之末端部位。舉例來說,一導桿仏“如bar) 142毗連 緩衝托盤10,且位於底板1〇6上沿該行向伸展。此導桿 142具有一滑槽(si〇t) 144及複數個滾子(r〇Uer)(未繪示), 此滑槽亦沿該行向伸展,此些滾子設置於滑槽之内。此些 第一連桿104a之末端部位則連接於該些滾子。 導桿142之兩端部位透過一第三滚珠滑塊148a及一 第四滾珠滑塊148b耦接於一第三導軌146a及一第四導軌 146b,此第二導軌146a及此第四導軌146b是沿該列向伸 展(y軸方向)。所以,第二傳動區140是透過此導桿142 及此些滾子連接該些第一連桿1〇4a之末端部位。於是, 透過此第二傳動區140移動該導桿142,則此些第一連桿 l〇4a使位在該些第一支座1〇2a之末端部位的圓軸轉動, 而此些第二連桿1 〇4b係使位在該些第一連桿1 〇4a之中心 部位的圓軸轉動,藉此使該些第二缓衝子托盤12b於該行 20 200910499 2(x轴方向)相對地移動,此即為在緩衝托盤10之節距 α上相對地移動。於是乎’透過調 14 距離,將可以調整緩衝托盤1〇之第二節距ρ2。移動 …如第6圖到第8圖中,其是先調整第一節距ρ1之後, ,進^整第二節距p2。但於調整此第二節距後,此 弟一郎距亦會隨之改變。 或者在另一種情況下,係可透過複數個滾珠滑塊及— 執’=於該行向上操縱該些第―連桿购之末端部位。 舉例來„兒,一第五導軌係毗連緩衝托盤 珠滑塊_接此第五導執,此些第—連桿购之末端部衰 位係連接於此些第五滾珠滑塊。 位在底板106之上表面,此第二傳動區14〇連接該導 才干142其中,第一傳動區14〇包括一第二馬達單元I%、 一滾珠螺桿(ball screw) 152 及一滾珠螺帽(balinm) 154, 此滾珠螺桿152連接於第二馬達單元15〇之一轉動軸 (rotation shaft) ’此滚珠螺帽154連接於導桿142。滾珠螺 桿152延伸穿過滾珠螺帽154。藉此,透過滚珠螺桿152 及滾珠螺帽154 ’施予第二馬達單元150之一旋轉動力至 該導桿14 2。 或者在另一種情況下’第二傳動區14〇可是選用各種 類型的往復裝置(reciprocating device)。舉例來說,一往復 裝置包括一凸輪(cam)和一彈簧(spring)、氣動筒(pneumatic cylinder)或液壓筒(hydraulic cylinder)等,均可當作為該第 二傳動區140。 21 200910499 雖於圖中並未纟會示,按 動區_之後座力,會導第一傳動區110及第二傳 置於執行時不準確。為了 =托盤1G之節距的謂整裝 複數個彈簧,使該些第=整節距的準確性’可透過 子托盤12 b互相連接。舉例二,1及該些第二緩衡 spring),連接此些第一緩% :’#過一第—螺旋彈簧(coil 托盤12b。並且,透過―丨 擡Ua及此些第二緩衝子 接位在緩衝把盤10之—側的第’互相連 過一(或多個)第三螺旋彈簧, j 12a’以及透 另-側的第-緩衝子托盤12a。目連接位在緩衝托盤10之 根據本發明之第—實施例,係透過第 :以觀此些第-緩衝子托盤12a間之第1距1以及 過弟傳動區14G’予以調整此些第-緩衝子托盤12a 托緩衝子托盤⑶間之第一節距必藉此使緩衝 现ι〇之郎距相等於測試托盤及自定義托盤。所以,在 i 導體元件時不須調整檢選系統之節距,從而可縮短 '、、、衝托盤與測試托盤或自定義托盤之間傳遞半導體元 之時間。並且減輕檢選系統的荷重,藉以改善檢驗 ^機的結構穩定性’以及可增加撿選系統之掏取頭的數 心請參照第9圖,鱗示依財發明之第二實施例之調 正^衝扼盤節距之裝置的示意圖。 ^第9圖所示,依照本發明之第二實施例之調整緩衝 ^即距moo係適肢—檢驗半導體元件之檢驗分 22 200910499 選機中。 缓衝托盤包括複數個成對 缓衝子域包括各個成鮮的 盤。緩衝托㈣如可^⑽ 1 -緩衝子托 :緩=:::相似於第㈣之元件,故將二 二匕』第一及第二緩衝子托盤是各別設置在複數個第 士座202a及複數個第二支座·之上,位於此些第一 曰:―緩衝子托盤下方的第—支座施及第二支座鳩 疋/口列向伸展。 山立複數個第一連桿2〇4a是連接該些第一支座2〇2a的末 ,複數個第二連桿2〇4b是連接該些第二支座2〇2b 、末端部位,該些第二連桿2〇仆是連接該些第一連桿 204a。 M0衣置2〇〇包括一第—傳動區210及一第二傳動區 托如。其中’第一傳動區210用以調整此些成對的緩衝子 。>間之一第一節距’第二傳動區240用以調整此些第一 緩衝子托盤及此些第二緩衝子托盤間之一第二節距。第一 傳動區210包括至少一小齒輪及至少一齒條。第一傳動區 21 〇 例如包括兩個小齒輪及四個齒條。於此,由於此些元 件係相似於第1〜8圖之元件,故將省略第一及第二支座 2〇ί &及202b、第一及第二連桿2〇4a及204b及第一傳動區 210及第二傳動區240之說明。 同時’鄰近緩衝托盤中心點之一中央成對的緩衝子托 23 200910499 盤,係固定於一底板206之一上表面H :衝子托盤之外,係將其餘成對央成對的 傳動區21G。所以,中央成對 4接至第- 子托盤所連接的—第_、 托盤之—第一緩衝 舉例來說,當中央:對定於底板2〇6上。 足於底板裏上時,則連接第—傳動㉟托盤固 盤。或者,當中央成對的緩衝子托盤:第— 衝子托盤©定於底板施上時 弟二緩 其餘的第二緩衝子托盤。 、連接弟—傳動區210於 於是,第一傳動區210之齒條是 緩衝子把盤於其互相相反之方向,藉=其餘成對的 衝子托盤間之第一節距。 "坠成對的緩 小齒輪及一第二小齒 緩衝子托盤之間隔可 衝子托盤間之第—節 其中,第一傳動區21〇之一第— 輪之轉速比是1 : 2,藉以使此些第— 以相等。藉此將可調整此些成對的緩 距。 或於另-種情況下,當緩衝托盤係包括三個成對 衝^托盤時’則第-傳動區21()係包括—個小齒輪及兩個 齒條。 請參照第10圖,其緣示依照本發明之第三實 調整緩衝托盤節距之裝置的示意圖。 如第10圖所示,依照本發明之第三實施例之調 衝托盤節距之裝置扇係適用於一檢驗半 : 分撰機中。 丁 驗 24 200910499
Mie; I vv〇y〇〇r 包域數個朗的騎子脑,各個成對的 盤。緩衝^ 衡子托盤及一苐二緩衝子牦 此^ 可以包括三個成對的緩衝子托盤。於 此,由於此些元件係相似於第HI _二 於 些緩衝子托盤之說明。 θ %件’故將痛略此 一支H弟2第二緩衝子托盤是各別設置在複數個第 及i 數個第二支座雇之上,位於此些第- 是沿㈣㈣。 克座鳥及弟—支座雇 復數個第—連桿304a是連接於該些第一支座施的 3咖的末端部位,該:第 連桿304a。 —弟—輪聽疋連接於該些第- 裝置300包括一第一傳動區31〇及一第二 其巾’ f —傳動區31()^周整此些朗的緩衝子 =間之一第一節距,第二傳動區24〇用以調整此些第一 /子托盤及此些第二緩衝子乾盤間之—第二節距。第一 ㈣區310包括至少一小齒輪及至少一齒條。第—傳動區 〇例如包括兩個小齒輪及四個齒條。於此,由於此些元 件係相似於第1〜8圖之元件,故將省略第一及第二支座 3〇2a及302b'第一及第二連桿3〇如及職及第—傳動區 31〇及第二傳動區340之說明。 ^同時,緩衝托盤之一最外側成對的緩衝子托盤,係固 义於一底板306之一上表面,而將其餘成對的緩衝子托盤 25 200910499
丨 VVxJOUUI 連接至第一傳動區310。舉 ^ π 违;&夕曰々“日,ΛΑ - f來 备攻外側支座302C所 連接之取外侧的弟一緩衝子技盤,係固定於底板306上 =’,連接第-,區31()至其餘的第—緩衝子托盤。或 連接Ϊ 第二緩衝子托盤固定於底板3。6上時,則 於3 g 料二輯子托盤。 ㈣ΓΓ 310之齒條是用以移動該此立餘成 對的緩衝子托盤於其互相相 一 ^ 一/、餘成 的緩衝子托盤間之第1距。° ’稭此調整此些成對 ”中,苐一傳動區31〇之一胃 輪之轉速比是2,藉以使U小齒輪及-第二小齒 /r/r 即 …目等1此將可調整此此二二 距。 二成對的級衝子托盤間之第 或於另一種情況下,當 衝子技盤時,則第一傳動區;包括二個成對的缓 齒條。 1〇係包括一個小齒輪及一個 请參照第11圖,苴給 根據上述之本發明第曰_:、、Γ_種緩衝托盤的示意圖。 及第二緩衝子托盤 二實施例,各個第- :緩衝子托盤::::==,括複數 成-列的承載座24a及複數:二2包括複嶋 而透過本發明之第一、第—]成一列的承載座24b。 整該,複數列承載座_ = 亦可調 月弟12圖,其纷示依照本發明之第四實施例之 26 200910499 調整緩衝托盤節距之裝置的示意圖。 如第12圖所示,依照本發明之〜 衝托盤節距之裝置400係適用 二貫施例之調整缓 分選機中。 ;⑦驗半導體元件之檢驗 緩衝托盤包括複數個緩衝子托盤 括複數個承載座,且此些承載 ^個緩衝子托盤包 U圖中其排成兩列。緩衝托盤可以:扭後數列’例如在第 盤,舉例來說,緩衝托盤係包括四^緩彳^·個緩衝子托 緩衝子托盤包括複數個排列成—列m 七盤,且各個 個排列成-列的第二承載座。的弟—承載座及複數 裝置糊包括一傳動區410,傳動區連接該些緩 T子托盤,糾在-仃向(X軸方向)上,調整此些緩衝子 =盤間之-節距。傳動區包括„齒輪箱、複數個齒條 及-馬達單元,其中齒輪箱包括至少—外齒輪,此些齒條 =喷合外齒輪,馬達單元用以提供—旋轉動力。舉例來 呪,傳動區410是透過兩個小齒輪412作用於此些外齒輪 及四個齒條414,以調整緩衝托盤之節距。其中,此些緩 衝子托盤與此些齒條414是透過複數個設置於底板4〇6上 的支座402而互相連接。 _傳動區41 〇係使位在緩衝托盤中心點兩側的該些緩 衝子托盤往互相相反之方向移動,藉以調整緩衝托盤之節 距。於此,由於此傳動區41 〇係相似於第1〜8圖之第一傳 動區Π0,故將省略傳動區410之說明。 透過裝置400,緩衝托盤之節距將可以與檢驗分選機 27 200910499 中測試托盤或自定義托盤中奇數列間之節距相等。於 情況如下,檢驗分選機之撿選系統透過複數個榻取頭 起半導體元件後,再移動至緩衝托盤上。隨後,檢選系^ 將奇數列掏取頭所控持之半導體元件定位至緩衝托盤 第一承载座,亚放置奇數列擷取頭所控持之半導體元件至 緩衝托盤之第-承載座。之後,檢㈣ = 賴控持之半導體元件定位至緩衝托盤之第二承=掏取 放置偶數列擷取頭所控持 _ 亚 二承載座。 M 寺之+導體兀件至緩衝托盤之第 明參知第13圖’其綠示依照本發明之第五 調整緩衝托盤節距之裝置的示意圖。 貝也例之 如第13圖所示,依照 衝把盤節距之裝置5。。係適用於一二例:調整緩 分選機中。 核叛千導體兀件之檢驗 11圖中其排成㈣複數列,例如在第 盤,舉例來說,包括奇數個緩衝子托 ^ 、友衝托盤係包括五個緩衝子杠舻 ^ 緩衝子把盤包括複數個排列成且各個 個排列成1的第:承載座。 承載座及複數 裝置500包括一傳動區51〇,傳動區 衝子托盤,藉以在-行向㈣方向)上,調H該些緩 托盤間之-節^傳動區51G包括 ^ 衝子 及一馬達單元,其中歯輪箱包括至少一夕^减個齒條 ㈣輪,此些齒條 28 200910499 ·—». . •«vww»·.. 係鳴合外齒輪,馬逵男__ 說,傳動區510是透過^用以提供—旋轉動力。舉例來 及四個齒條514,以齒輪512作用於此些外齒輪 衝子托盤與此些齒條°其中’此些緩 的支座502而互相連^疋透過複數個設置於底板506上 傳動區510係你a + 衝子托齡絲相財㈣關的該些缓 「距。於此,由於此傳藉以調整緩衝托盤之節 區210,故將省略傳動區51〇之說目日Γ於第9圖之第一傳動 請參照第14圖,甘仏_ 調整緩衝托盤節距之裝置::::本發明之第六實施例之 如第14圖所示, 衝托盤節距之裝置本發明之第六實施例之調整缓 分選機中。 糸、用於—檢驗半導體元件之檢驗 括複騎奸盤,各_衝子托盤包 11圖中其排成兩列。緩2^_排列成複數列,例如在第 緩ί 係包括三個緩衝子托盤,且各個 個排列,包括複數個排列成一列的第-承载座及複數 個排列成一列的第二承載座。 瓦紙 衝子^盤置_包,一傳動區610 ’傳動區610連接該些緩 托般ηΓ猎 行向(Χ軸方向)上,調整此些緩衝子 及:=:卽距2動區61。包括一齒輪箱、至少一齒條 …達早兀’其中齒輪箱包括至少一外齒輪,齒條係續 29 200910499 I I I W · I * W· 合外齒輪,馬達單元用以提供一旋轉動力。舉例來說,傳 動區610是透過兩個小齒輪612作用於此些外齒輪及二個 齒條614,以調整緩衝托盤之節距。其中,此些緩衝子托 盤與此些齒條614是透過複數個設置於底板606上的支座 602而互相連接。 傳動區610係除了 一最外側的緩衝子托盤之外,使其 餘的緩衝子托盤往緩衝托盤之節距方向移動,藉以調整緩 衝托盤之節距。於此,由於此傳動區610係相似於第10 f 圖之第一傳動區310,故將省略傳動區610之說明。 根據本發明之第四、第五及第六實施例,係使用具有 複數列承載座的缓衝子托盤。然於不同之情況下,本發明 之第四、第五及第六實施例之各個裝置亦可使用於調整如 第2圖中僅具有一列承載座的緩衝子托盤間之節距。 根據上述本發明之實施例,係可以透過一具有至少一 小齒輪與至少一齒條的第一傳動區,和一用以移動數個連 桿的第二傳動區,來調整缓衝托盤之節距,藉以使緩衝托 ' 盤之節距相等於測試托盤或自定義托盤。 於是,在傳遞半導體元件時將不須調整撿選系統之節 距,故能縮短傳遞半導體元件所需之時間,並且不須使用 額外的元件來調整撿選系統之節距,於此將能減輕撿選系 統的荷重,藉以改善檢驗分選機的結構穩定性。 綜上所述,雖然本發明已以諸多實施例揭露如上,然 其並非用以限定本發明。本發明所屬技術領域中具有通常 知識者,在不脫離本發明之精神和範圍内,當可作各種之 30 200910499 更動與潤飾。因此,本發明之保護範圍當視後附之申請專 利範圍所界定者為準。 31 200910499 【圖式簡單說明】 第1圖繪示依照本發明之第一實施例之調整缓衝托 盤節距之裝置的示意圖。 第2圖繪示一種緩衝托盤的示意圖。 第3圖繪示第1圖之第一傳動區之齒輪箱的示意圖。 第4圖繪示第1圖之第一傳動區之齒輪箱的示意圖。 第5圖繪示第1圖之第一傳動區之第一馬達單元的示 意圖。 ( 第6〜8圖繪示第1圖之調整缓衝托盤節距之裝置的示 意圖。 第9圖繪示依照本發明之第二實施例之調整缓衝托 盤節距之裝置的示意圖。 第10圖繪示依照本發明之第三實施例之調整缓衝托 盤節距之裝置的示意圖。 第11圖繪示另一種缓衝托盤的示意圖。 第12圖繪示依照本發明之第四實施例之調整緩衝托 < 盤節距之裝置的示意圖。 第13圖繪示依照本發明之第五實施例之調整緩衝托 盤節距之裝置的示意圖。 第14圖繪示依照本發明之第六實施例之調整緩衝托 盤節距之裝置的示意圖。 【主要元件符號說明】 10、20 :緩衝托盤(buffer tray) 32 200910499 12、22 :成對的緩衝子托盤 12a :第一缓衝子托盤 12b :第二緩衝子托盤 14、24a、24b :承載座 pi :第一節距(first pitch) p2 :第二節距(second pitch) 100、200、300、400、500、600 :裝置 102a、102b、202a、202b、202c、302a、302b、302c、 402、502、602 :支座(support) 104a、104b、204a ' 204b、304a、304b :連桿(link) 106、206、306、406、506、606 :底板 110、210、310、410、510 :第一傳動區(first driving section) 112、412、512、612 :齒輪箱(gearbox) 114、114a、114b、414、514、614:小齒輪(pinion gear) 116 :傳動齒輪(driving gear) 1 120、120a、120b、120c、120d :齒條(rack gear) 122 :第一馬達單元 124 :傳動軸(driving shaft) 126 :斜齒輪(bevel gear) 130a、130b、146a、146b :導軌(guide rail) 132a、132b、148a、148b :滚珠滑塊(ball block) 140、240、340 :第二傳動區(second driving section) 142 :導桿(guide bar) 33 200910499 厂lie. _ ννοσυυ厂 144 :滑槽(slot) 150 :第二馬達單元 152 :滾珠螺桿(ball screw) 154 :滚珠螺帽(ball nut) 34
Claims (1)
- 200910499 十、申請專利範圍·· _ h 一種調整緩衝托盤(buffertmy)節距的方法,該緩 衝托盤包括複數個成對的緩衝子托盤(unit buffer tray),該 些緩衝H如料龍㈣轉^件,财法包括^ 衝子::二—::丨::’該第-節距係該些成對的緩 盤中第;節=該些成對啊^ 丁死i及一第二緩衝子托盤 第一節距之步驟,係使至少—第 的卜=调整該 少-第二朗的緩衝 W、讀子托盤及至 盆中,μ Γ 相相反之方向移動;以及 其中5亥弟一成對的緩衝子括盤及兮楚一 1動以及 子托盤,係各別位在Μ弟一成對的緩衝 3如申緩衝托盤中心點的兩侧。 卜^申明專利範圍第1項所述之方生,甘^ 第一節距之步驟,係使至少—一 / ,/、中調整該 少-第二成對的緩衝子托盤往互相相衝子托盤及至 其中,該第—成對的緩衝子托盤;向移動;以及 子托盤,齡別位在鄰近該緩衝托 Ί二成對的緩衝 衝子托盤的兩側。 皿、點之一成對的緩 4·如申請專利範圍笛 第一節距之步驟,係除了—最方法,其中調整該 外’使至少-其餘成對的緩衝子二的緩衡子技盤之 方向上移動。 |在該緩衝托盤之節距 5.如申請專利範圍第i項所 3 去’其中調整該 35 200910499 第二節距之步驟,係使該些第二緩衝 些第一緩衝子托盤。 托盤相對移動於該 6· —種調整緩衝托盤節距之 ^ 複數個成對的緩衝子托盤,該些緩忒緩衝托盤包括 個半導體元件,該裝置包括: 石盤用以承载複數 一第一傳動區,連接於該些成 整一第一節距,該第_ :、緩衝子托盤,以調 的節距;以及"P ”〜成對的緩衝子托盤之間 第—傳動區,連接於該此 整—第二節距,It:的緩衝子托盤,以調 第一緩衝子托般^ 一从:成對的緩衝子托盤中一 7 ^ 一弟二緩衝子托盤之間的節距。 盤 傳動區包括專利範圍第6項所述之裝置,其中該第-贿個齒條(rackgear),連接於該些成對的緩衝子托 ㈣);夕^ΓΓΐ3〇Χ),包括至少一外齒輪__ 一:卜w輪嚙合於該些齒條;以及 該齒輪^達早7^ ’連接於該齒輪箱,以提供-旋轉動力予 及至少、—第二二w條連接於至少一第—成對的缓衝子托盤 盤及該第對的、義衝子托盤’該第—成對的緩衝子托 心點的^ W緩衝子托盤係各別位在賴衝_中 第-成=缓=:條並喷合於至少-該外窗輪,以使該 子托盤及該第二成對的緩衝子托盤往互 36 200910499 相相反之方向移動。 8.如申請專利範圍第7項所述之裝置,其中該齒輪 箱包括: 一傳動齒輪(driving gear) ’連接於該馬達單元之—傳 動軸(driving shaft); 一第一小齒輪(pinion gear),連接於該傳動軸,並嚙 合於-第-齒條及一第二齒條,該第一齒條與該第二窗條 ,係互相相對,該第一小齒輪之節圓⑽也咖⑹小於該傳 齒輪之節圓;以及 二小齒輪,^合於該傳動#輪,以透過該傳動齒 輪而轉動,並嚙合於一第二齒侔 你^ 乐一 w怿及第四齒條,該第三齒 ㈣條係互相相對,二小齒輪 傳動齒輪之節圓。 I 瓦。亥 9· % φ料㈣7销叙 板,傳動區及該第二傳動區設置於該底更^括底 :停及料觀目第9韻述之裝置,其中該也齒 1来及δ亥齒輪箱設置於 一1^ 於該底板之—下==、之:上表面’該馬達單元設置 箱。 、〜馬達早70穿過該底板連接該歯輪 U.如申請專利範圍第7項 條透過複數個支座連接、中该些酱 !2 , Γ 餘該緩衝托盤之節距方向。 傳動區包括: 固乐0貝所述之裝置,其中該第一 37 200910499 複數個齒條; 一齒輪箱,包括至少一外齒輪;以及 一馬達單元,連接於該齒輪箱,以提供一旋轉動力予 該齒輪箱; 其中,該些齒條連接於至少一第一成對的緩衝子托盤 及至少一第二成對的缓衝子托盤,該第一成對的緩衝子托 盤及該第二成對的緩衝子托盤係各別位在鄰近該緩衝托 盤中心點之一成對的缓衝子托盤的兩侧,該些齒條並嗜合 ' 於至少一該外齒輪,以使該第一成對的缓衝子托盤及該第 二成對的緩衝子托盤往互相相反之方向移動。 13. 如申請專利範圍第6項所述之裝置,其中該第一 傳動區包括: 複數個齒條; 一齒輪箱,包括複數個外齒輪;以及 一馬達單元,連接於該齒輪箱,以提供一旋轉動力予 該齒輪箱; x 其中,除了 一最外侧成對的緩衝子托盤之外,該些齒 條係連接至其餘成對的緩衝子托盤,並嚙合於該些外齒 輪,以使其剩成對的缓衝子托盤在該缓衝托盤之節距方向 上移動。 14. 如申請專利範圍第6項所述之裝置,其中該緩衝 托盤包括二成對的緩衝子托盤,該第一傳動區包括: 一齒條,連接於該二成對的緩衝子托盤之其中一對, 以調整該第一節距; 38 200910499 ~ UC. I V VOC7UUI 齒輪箱,包括一外齒輪,該外齒輪嚙合於該 以及 禾, 馬達單元,連接於該齒輪箱,以提供一旋轉動 該齒輪箱。 15·如申請專利範圍第6項所述之裝置,更包括: 複數個第—連桿,連接於該些第一緩衝子托般·以及 第一=個第二連桿,連接於該㈣二緩衝子^與該些 其中,該第一傳動區連接於該些第— 些第二緩衝子㈣。 錢子托盤或該 如申請專利範圍第15項所述之 第一緩衝子缝及該㈣二緩衝子中該些 座連接於該些第—連桿及該些第二連桿,#此^旻數個支 之方向實質上垂直於該緩衝托盤之節距方=支座所伸展 Π.如申請專利範圍第15項所述 二傳動區連接於該些第一連桿或該些第二遠’其中該第 傳動力至該些第—連桿或該些第二連桿 工知予 衝子托盤及該些第二緩衝子托盤之間產生些第一緩 以.如申請專利範圍第17項所述之裝目應的動作。 ::操縱構!(guidemember),用以操縱該些第 皿及該些第二緩衝子托盤於該缓衝 、,’ A如申請專·_17項職之H卩距方向。 操縱構件’伸展於該緩衝托盤之節距方^ ,更包括- 其中,該操縱構件係透過該第二傳動區,而在實質上 39 200910499 riiti. 1 ννοσυυ「 垂直該緩衝托盤之節 係在該缓_之節距方:上,:二!第且 些第二連桿間所連接之部位。呆罐弟一連杯間或該 數個η中請專利範圍第19項所述之裝置,更包括複 以在;::=件,連接於前述之操縱構件的兩侧部位, 述之操縱構:衝托盤之節距方向的方向上,操縱前 複數個緩衝:=緩衝托盤節距之裝置’該緩衝托盤包括 體元件,該襄置^括5亥些緩衝子托盤用以承載複數個半導 -:二:凡、,用以產生-旋轉動力; 外齒輪’連接於該馬達單元,該齒輪箱包括至少一 外齒輪,^=連接於至少—該緩衝子托盤及至少-該 22 Π正μ些緩衝子托盤間的節距。 些緩衝子2 =利範圍第21項所述之裝置,其中各該 承载:些4體元:數個承载座(socke㈣ 向而排4魅依實f上垂直該缓衝托盤之節距方 距方向而拆列t m緩衝子托盤依該緩衝托盤之節 衝拓二利範圍第21項所述之裝置,其中該緩 匕括偶數個缓衝子托盤,· “中’硬數個齒條連接於至少一第一緩衝子把盤及至 40 200910499 少一第二緩衝子托盤, 托盤係各別位在該缓衝托,,、厂子托盤及該第二緩衝子 合於至少一該外#輪侧’該些齒條㈣ 衝子托盤往互相相反之方向移動/衝子托盤及該第二緩 24.如申請專利範 衝托盤包括奇數個緩衝子托盤;、所述之裝置,其中該缓 其中,複數個齒條連接於 — 少—第二緩衝子托盤,”弟一緩衝子托盤及至 技盤係各別位在-在中央的緩盤及該第二緩衝子 並噛合於至少一該外齒輪,以=盤的兩側,該些齒條 二緩衝子托盤往互相相反之方°亥第一緩衝子托盤及該第 25.如申請專利範圍第°移動。 —最外側的緩衝子托盤之外,/、所迷之裝置,其中除了 一其剩的緩衝子托盤,並嗜該齒條係連接於至少 少〜該其餘的緩衝子扼盤在:卜^、一該外齒輪’以使至 動。 心友衝托盤之節距方向上移 41
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