CN101373727A - 测试分选机中缓冲盘间距的调节方法及装置 - Google Patents

Abstract

收纳半导体器件的缓冲盘的间距调节方法及装置中，所述缓冲盘包括收纳半导体器件的多对单元缓冲盘。通过第一传动部调节所述单元缓冲盘对之间的第一间距。通过第二传动部调节所述对中第一单元缓冲盘与第二单元缓冲盘之间的第二间距。通过测试分选机中的间距已调缓冲盘在测试盘与用户盘之间传送半导体器件。因此，缩短了传送半导体器件所需的时间。

Description

测试分选机中缓冲盘间距的调节方法及装置

相关申请的交叉引用

本申请要求2007年8月22日向韩国知识产权局申请的第2007-84341号韩国专利申请的优先权，通过完全引用将该申请的内容合并在此。

技术领域

本发明涉及一种测试半导体器件的装置。本发明尤其涉及一种在用于测试半导体器件的测试分选机中收纳半导体器件的缓冲盘(buffer tray)。

背景技术

一般地，在测试半导体器件(诸如易失性或非易失性存储器、系统大规模集成(LSI)器件等)的工作特性以后，会装运该半导体器件。

测试分选机将半导体器件传送到测试室中以测试该半导体器件。具体地，半导体器件通过缓冲盘(buffer tray)从用户盘(customer tray)传送至测试盘(test tray)。此外，已在该测试室中测试过的半导体器件通过缓冲盘从测试盘传送至用户盘。

该测试分选机包括用于在该测试盘与该用户盘之间传送半导体器件的拾取器系统。第6,761,526号、第7,000,648号、第7,023,197号等美国专利揭露了该拾取器系统的例子。

近来，为了缩短传送半导体器件所需的时间，该拾取器系统采用多个拾取器。此外，该拾取器系统采用间距调节机构以使该拾取器之间的间距与该测试盘的间距以及该用户盘的间距相等。然而，由于该间距调节机构的重量随着拾取器数量的增加而增加，缩短传送半导体器件所需时间有所限制。

发明内容

本发明的实施例提供了一种在用于测试半导体器件的测试分选机中，增进所述半导体器件传送速度的缓冲盘间距调节方法。

此外，本发明的实施例提供了一种在用于测试半导体器件的测试分选机中，增进所述半导体器件传送速度的缓冲盘间距调节装置。

根据本发明一个方面的缓冲盘间距调节方法中，所述缓冲盘包括收纳半导体器件的多对单元缓冲盘。通过调节所述单元缓冲盘对之间的第一间距以及调节所述对中第一单元缓冲盘与第二单元缓冲盘之间的第二间距来调节所述缓冲盘的间距。

本发明的一些实施例中，通过使至少一第一单元缓冲盘对与至少一第二单元缓冲盘对互相以相反方向移动来调节所述第一间距。所述第一及第二单元缓冲盘对分别放置在相对于该缓冲盘中心点的两侧。

本发明的一些实施例中，通过使至少一第一单元缓冲盘对与至少一第二单元缓冲盘对互相以相反方向移动来调节所述第一间距。所述第一及第二单元缓冲盘对分别放置在相对于靠近该缓冲盘中心点的一对单元缓冲盘的两侧。

本发明的一些实施例中，通过使得除最外侧单元缓冲盘对之外的其余单元缓冲盘对中的至少一对以所述缓冲盘间距的方向移动来调节所述第一间距。

本发明的一些实施例中，通过使所述第二单元缓冲盘相对于所述第一单元缓冲盘作相对移动来调节所述第二间距。

根据本发明另一个方面的缓冲盘间距调节装置中，所述缓冲盘包括收纳半导体器件的多对单元缓冲盘。第一传动部连接至所述单元缓冲盘对以调节所述单元缓冲盘对之间的第一间距。第二传动部连接至所述单元缓冲盘对以调节所述单元缓冲盘对中第一单元缓冲盘与第二单元缓冲盘之间的第二间距。

本发明的一些实施例中，所述第一传动部包括连接至所述单元缓冲盘对的多个齿条；齿轮机构，包括至少一个与所述齿条啮合的输出齿轮；连接至所述齿轮机构以向所述齿轮机构提供旋转力的电动机单元。所述齿条连接至分别放置在相对于所述缓冲盘中心点两侧的至少一第一单元缓冲盘对及至少一第二单元缓冲盘对。此外，所述齿条与所述至少一个输出齿轮啮合以使所述第一及第二对互相以相反方向移动。

本发明的一些实施例中，所述齿轮机构包括传动齿轮、第一小齿轮及第二小齿轮。所述传动齿轮连接至所述电动机单元传动轴。所述第一小齿轮连接至所述传动轴并且与相对的第一齿条及第二齿条啮合。此外，所述第一小齿轮的节圆小于所述传动齿轮的节圆。第二小齿轮与所述传动齿轮啮合，利用传动齿轮旋转，并且与相对的第三齿条及第四齿条啮合。此外，所述第二小齿轮的节圆小于所述传动齿轮的节圆。

本发明的一些实施例中，所述装置包括其上放置有所述第一及第二传动部的基板。

本发明的一些实施例中，所述齿条及所述齿轮机构放置于所述基板的上表面。所述电动机单元放置在基板的下表面。所述电动机单元通过所述基板连接至所述齿轮机构。

本发明的一些实施例中，所述齿条通过多个支架连接至所述单元缓冲盘对。所述支架以基本垂直于所述缓冲盘间距方向的方向延伸。

本发明的一些实施例中，所述第一传动部包括多个齿条；包括至少一个输出齿轮的齿轮机构；及连接至所述齿轮机构以向所述齿轮机构提供旋转力的电动机单元。所述齿条连接至分别放置在相对于靠近所述缓冲盘中心点的一对单元缓冲盘的两侧的至少一第一单元缓冲盘对及至少一第二单元缓冲盘对。此外，所述齿条与至少一个输出齿轮啮合以使所述第一及第二对互相以相反方向移动。

本发明的一些实施例中，所述第一传动部包括多个齿条；包括多个输出齿轮的齿轮机构；及连接至所述齿轮机构以向所述齿轮机构提供旋转力的电动机单元。所述齿条连接至除最外侧单元缓冲盘对之外的其余单元缓冲盘对，并且与所述输出齿轮啮合以使所述其余单元缓冲盘对以所述缓冲盘的间距方向移动。

本发明的一些实施例中，所述缓冲盘包括两对单元缓冲盘，并且所述第一传动部包括连接至所述两对单元缓冲盘之一以调节所述第一间距的齿条；齿轮机构，包括与所述齿条啮合的输出齿轮；及连接至所述齿轮机构以向所述齿轮机构提供旋转力的电动机单元。

本发明的一些实施例中，所述装置进一步包括连接至所述第一单元缓冲盘的第一连杆，及将所述第二单元缓冲盘与所述第一连杆连接的第二连杆。所述第一传动部连接至所述第一单元缓冲盘或所述第二单元缓冲盘。

本发明的一些实施例中，所述第一及第二单元缓冲盘通过多个以基本垂直于所述缓冲盘间距方向的方向延伸的支架连接至所述第一及第二连杆。

本发明的一些实施例中，所述第二传动部连接至所述第一连杆或所述第二连杆，并且向所述第一连杆或所述第二连杆施加传动力以使所述第一单元缓冲盘与所述第二单元缓冲盘之间产生相对移动。

本发明的一些实施例中，所述装置进一步包括至少一个导向部件，其设置成为以所述缓冲盘的间距方向对所述第一单元缓冲盘及所述第二单元缓冲盘进行导向。

本发明的一些实施例中，所述装置进一步包括以所述缓冲盘的间距方向延伸的导向部件。通过所述第二传动部以基本垂直于所述缓冲盘间距方向的方向可移动地放置所述导向部件，并且所述导向部件以所述缓冲盘间距方向在所述第一连杆之间或第二连杆之间对连接部进行导向。此外，所述装置包括第二导向部件，其连接至所述导向部件的两个侧部以在基本垂直于所述缓冲盘间距方向的方向上对所述导向部件进行导向。

根据本发明再一个方面的缓冲盘间距调节装置中，所述缓冲盘包括收纳半导体器件的多个单元缓冲盘。所述装置包括生成旋转力的电动机单元；连接至所述电动机单元的齿轮机构，所述齿轮机构包括至少一个输出齿轮；及至少一个齿条，其连接至所述单元缓冲盘中至少一个以及所述至少一个输出齿轮以调节所述单元缓冲盘之间间距。

本发明的一些实施例中，各所述单元缓冲盘具有收纳所述半导体器件的多个插槽。所述插槽排列成与所述缓冲盘间距方向基本垂直的至少一列，并且所述单元缓冲盘以所述单元缓冲盘间距方向排列。

本发明的一些实施例中，所述缓冲盘包括偶数个单元缓冲盘。多个齿条连接至分别放置在相对于所述缓冲盘中心点两侧的至少一个第一单元缓冲盘及至少一个第二单元缓冲盘，并且与所述至少一个输出齿轮啮合以使所述第一及第二单元缓冲盘互相以相反方向移动。

本发明的一些实施例中，所述缓冲盘包括奇数个的单元缓冲盘。多个齿条连接至分别放置在相对于中央单元缓冲盘两侧的至少一个第一单元缓冲盘及至少一个第二单元缓冲盘，并且与所述至少一个输出齿轮啮合以使所述第一及第二单元缓冲盘互相以相反方向移动。

本发明的一些实施例中，所述至少一个齿条连接至除最外侧单元缓冲盘之外的其余单元缓冲盘中至少一个，并且与所述至少一个输出齿轮啮合以使所述至少一个其余单元缓冲盘以所述缓冲盘间距方向移动。

根据本发明的实施例，可通过第一传动部及第二传动部使得缓冲盘的间距与测试盘或用户盘的间距相等。

从而，无需在传送半导体器件的同时调节拾取器系统的间距，从而缩短了传送半导体器件所需的时间。此外，无需额外的装置来调节该拾取器系统的间距，从而减少了该第一及第二拾取器系统的重量以及增进测试分选机的结构稳定性。

附图说明

结合附图并参看以下的详细说明，将会清楚本发明的实施例，其中：

图1为示出根据本发明第一实施例的缓冲盘间距调节装置的立体图；

图2为缓冲盘的示意图；

图3为示出图1所示第一传动部的齿轮机构的立体图；

图4为示出图1所示第一传动部的齿轮机构的示意平面图；

图5为示出图1所示第一传动部的第一电动机单元的仰视图；

图6至8为示出图1所示缓冲盘间距调节装置的示意平面图；

图9为示出根据本发明第二实施例的缓冲盘间距调节装置的示意平面图；

图10为示出根据本发明第三实施例的缓冲盘间距调节装置的示意平面图；

图11为示出缓冲盘另一实施例的示意图；

图12为示出根据本发明第四实施例的缓冲盘间距调节装置的示意平面图；

图13为示出根据本发明第五实施例的缓冲盘间距调节装置的示意平面图；

图14为示出根据本发明第六实施例的缓冲盘间距调节装置的示意平面图。

具体实施方式

现参见示出本发明实施例的附图，详述本发明的实施例。然而，本发明可以以许多不同的形式实现，并且不应解释为受在此提出的实施例的限制。更确切地，提出这些实施例以达成充分及完整公开，并且使本技术领域的技术人员完全了解本发明的范围。整份说明书中类似的元件标以类似的附图标识。

应理解，当将元件或层称为“在其上”之时，其可以为直接在其上，或者存在居于其中的元件或层。与此相反，当将元件称为”直接在其上”之时，并不存在居于其中的元件或层。如本文中所使用的，术语“及/或”包括一或多个相关的所列项目的任何或所有组合。

应理解，尽管本文中使用第一、第二等用语来描述各种元件，但这些元件并受到这些用语的限制。这些用语仅用于将一个元件与另一个元件区别开来。例如，第一薄膜可称为第二薄膜，并且类似地第二薄膜也可以成为第一薄膜，而不脱离本发明的教导。

本文中所使用的术语仅用于描述特定的实施例，并且并不意欲限制本发明。如本文中所述的，单数形式的冠词意欲包括复数形式，除非其上下文另有明确表示。还应理解，当本说明书中使用表述“含有”或“包括”之时，明确说明了存在有所描述的特征、区域、整体、步骤、操作、元件及/或组件，但并不排除存在或附加一或多个其它特征、区域、整体、步骤、操作、元件、组件及/或它们的组群。

另外，相对用语，如“下(lower)”、“底(bottom)”以及“上(upper)”或“顶(top)”等，在本文中用来表述如图所示的一个元件与另一元件的关系。应理解，这些相对用语除图中所示方位之外，还意欲涵盖该设备的不同方位。例如，若某一图中的该设备翻转，描述为在其它元件之“下”侧的元件则会确定为在其它元件的“上”侧。由此，该示例性的用语“下”可同时涵盖“下”与“上”两个方位，取决于附图的特定方位。类似的，若某一图中的该设备翻转，描述为在其它元件“下方”或“之下”的元件则会定位成在其它元件的“上方”。因此，该示例性的用语“下方”或“之下”可以涵盖上方和下方两个方位。

除非另有定义，本文所使用的所有术语(包括科技术语)的含义与本技术领域的技术人员所通常理解的一致。还应理解，诸如一般字典中所定义的术语应解释为与相关技术领域中的含义一致，并且不应作理想化的或过度刻板的解释，除非在文中另有明确定义。

本文中的本发明实施例是参照本发明的理想化实施例的示意剖视图来描述的。照此，预期会产生例如因制造工艺及/或公差而造成形状上的变化。由此，本发明的实施例不应解释为将其限制成本文所示的特定区域形状，还应包括例如，因制造而导致的形状偏差。例如，示为或描述为平的区域一般可能为粗糙或非线性的。此外，所示的锐角可圆角。由此，图中所示的区域是示意性的，并且其形状并不意欲示出区域的精确形状，也不意欲限制本发明的范围。

图1为示出根据本发明第一实施例的缓冲盘间距调节装置的立体图，并且图2为缓冲盘的示意图。

参见图1及2，根据本发明第一实施例的缓冲盘10的间距调节装置100可在用于测试半导体器件的测试分选机中。具体地，装置100可用于使得该缓冲盘10的间距与测试盘(图中未示)或用户盘(图中未示)的间距相等。

缓冲盘10可包括多对单元缓冲盘12。各单元缓冲盘对可包括第一单元缓冲盘12a及第二单元缓冲盘12b。例如，缓冲盘10可包括四对单元缓冲盘12。

各第一单元缓冲盘12a及第二单元缓冲盘12b具有多个收纳该半导体器件的插槽14。插槽14排列成一列。第一单元缓冲盘12a与第二单元缓冲盘12b互相平行。例如，各第一单元缓冲盘12a及第二单元缓冲盘12b具有如图2所示的8个插槽14。然而，第一单元缓冲盘12a及第二单元缓冲盘2b的插槽14的数量可按需变化。在此，该多对单元缓冲盘12可以沿基本垂直于列方向(y轴方向)的行方向(x轴方向)排列，即第一单元缓冲盘12a及第二单元缓冲盘12b的延伸方向。

第一单元缓冲盘12a及第二单元缓冲盘12b可各自放置在第一支架102a及第二支架102b上。第一支架102a及第二支架102b可在第一单元缓冲盘12a及第二单元缓冲盘12b的下方以该列方向延伸。

第一连杆104a可连接至第一支架102a的端部，且第二连杆104b可连接至第二支架102b的端部。第二连杆104b可连接至与第一连杆104a。如图1所示，第二连杆104b可连接至第一连杆104a的中央部。或者，可将第一连杆104a的端部与第二连杆104b的端部互相连接。此外，第一连杆104a的端部可连接至第二连杆104b的中央部。

装置100包括第一传动机构110及第二传动机构140，其用于调节该缓冲盘10的行方向间距。具体地，第一传动机构110可用于调节单元缓冲盘对12之间的第一间距p1。第二传动机构140可用于调节第一单元缓冲盘12a与第二单元缓冲盘12b之间的第二间距p2。第一传动机构110及第二传动机构140可放置在基板106上。

图3为示出图1所示第一传动部的齿轮机构的示意平面图。图4为示出图1所示第一传动部的齿轮机构的立体图。图5为示出图1所示第一传动部的第一电动机单元的仰视图。

参见图3至图5，第一传动部110可包括齿轮机构112，所述齿轮机构112包括至少一个可旋转放置于基板106上表面的输出齿轮、多个与该输出齿轮啮合的齿条120、以及与齿轮机构112连接以向该齿轮机构112提供旋转力的第一电动机单元122。

例如，四个齿条120可放置于该基板106的上表面上。该四个齿条120可与两个用作该输出齿轮的小齿轮(pinion gear)114啮合。具体地，第一小齿轮114a连接至第一电动机单元122的传动轴124，且还可与彼此相对的第一齿条120a及第二齿条120b啮合。此外，第二小齿轮114可与传动齿轮116啮合，所述传动齿轮连接至第一电动机单元122的传动轴124，且还可与彼此相对的第三齿条120c与第四齿条120c啮合。

图6至8为示出图1所示缓冲盘间距调节装置的示意平面图。

参见图6及7，第一齿条120a及第二齿条120b可通过第一支架102a及第二支架102b连接至内侧对的单元缓冲盘12。第三齿条120c及第四齿条120d可通过第一支架102a及第二支架102b连接至外侧对的单元缓冲盘12。具体地，图6及7中位于缓冲盘10左侧的第一对单元缓冲盘12连接至第一齿条120a及第四齿条120d。图6及7中位于缓冲盘10右侧的第二对单元缓冲盘12连接至第二齿条120b及第三齿条120c。由此，如图7所示，通过旋转第一小齿轮114a及第二小齿轮114b可使该第一对及第二对单元缓冲盘12相对于缓冲盘10的中心点以相反的方向移动。

第一、第二、第三及第四齿条120a、120b、120c及120d通过第一支架102a连接至第一单元缓冲盘12a。或者，第一、第二、第三及第四齿条120a、120b、120c及120d通过第二支架102b连接至第二单元缓冲盘12b。

尽管图中未示，可在基板106上设置多个导向部件来以该缓冲盘10的行方向对第一、第二、第三及第四齿条120a、120b、120c及120d进行导向。

第一小齿轮114a与第二小齿轮114b之间的转速比为1:3以使该第一单元缓冲盘12a互相之间的间隔相等。具体地，第一小齿轮114a与第二小齿轮114b的节圆小于传动齿轮116的节圆。具体地，该传动齿轮116的直径可为第二小齿轮114b直径的三倍，并且第一小齿轮114a与第二小齿轮114b的直径基本相同。从而，可通过旋转第一小齿轮114a及第二小齿轮114b来调节这些单元缓冲盘22对之间的第一间距p1。

同时，由于第一单元缓冲盘12a通过第一连杆104a及第二连杆104b连接至第二单元缓冲盘12b，在调节第一间距p1的同时可均匀地保持第一单元缓冲盘12a与第二单元缓冲盘12b之间的第二间距p2。

如前所述，齿轮机构112包括两个小齿轮114a与114b。然而，齿轮机构112可包括三个或多个转速不同的小齿轮，并且第一传动部110可包括多个与这些小齿轮啮合的齿条。即，该小齿轮及齿条的数量可根据第一单元缓冲盘12a数量而变化。

此外，当缓冲盘10包括两对单元缓冲盘12时，第一传动部110可包括一个小齿轮及两个齿条。

参见图4及5，传动杆124可穿过基板106，并且第一电动机单元122可置于基板106的下表面上。第一电动机单元122可通过锥齿轮126与传动杆124连接。或者，第一电动机单元122可与传动杆124直接连接。

再参见图6，基板106上放置有至少一个以该行方向延伸的导向部件来以该行方向(即，缓冲盘10的间距方向)对第一支架102a及第二支架102b进行导向。例如，第一导轨130a及第二导轨130b可放置于基板106上。第一导轨130a及第二导轨130b以该行方向延伸。第一支架102a及第二支架102b通过第一球形滑块(ball block)132a及第二球形滑块132b连接至第一导轨130a及第二导轨130b。或者，可通过一根该行方向的导轨来对第一支架102a及第二支架102b进行导向。

参见图7及8，第二传动部140可放置在基板106的上表面上，并且与该第一连杆104a的端部连接。具体地，第二传动部140向第一连杆104a施加传动力以调节第一单元缓冲盘12a与第二单元缓冲盘12b之间的第二间距p2。由此，可在第一单元缓冲盘12a与第二单元缓冲盘12b之间产生相对移动。

可通过该行方向的导向部件对该第一连杆104a的端部进行导向。例如，导向条142可邻近缓冲盘10，并且在基板106上以该行方向延伸。导向条142可有以该行方向延伸的导槽144，并且导槽144中可放置有多个滚轮(未示)。该第一连杆104a的端部连接至该滚轮。

导向条142的两个侧部通过第三球形滑块148a及第四球形滑块148b连接至第三导轨146a及第四导轨146b，所述导轨在基板106上以该列方向延伸。即，第二传动部140可通过该导向条142与该滚轮连接至该第一连杆104a的端部。通过第二传动部140来移动导向条142，由此，第一连杆104a可绕位于该第一连杆102a端部的轴旋转，并且第二连杆104b可绕位于该第一连杆104a中央部的轴旋转。从而，第二单元缓冲盘12b可在该行方向(即，该缓冲盘10的间距方向)上相对于第一单元缓冲盘12a作相对移动。可通过调节导向条142的移动距离来调节缓冲盘10的第二间距p2。

如图6至8所示，调节第一间距p1之后，对第二间距p2进行调节。然而，调节第二间距p2之后，可根据情况调节第一间距p1。

或者，可通过该行方向上的多个球形滑块与一条导轨对该第一连杆104a的端部进行导向。例如，第五导轨可邻近缓冲盘10，并且多个第五球形滑块可移动地连接至该第五导轨。该第一连杆104a的端部可连接至第五球形滑块。

第二传动部140可连接至基板106的上表面上的导向条142。具体地，第二传动部140可包括第二电动机单元150、与第二电动机单元150的转动轴连接的滚珠丝杠152、以及连接至导向条142的滚珠螺母154。滚珠丝杠152穿过滚珠螺母154。可通过滚珠丝杠152及滚珠螺母154向导向条142施加第二电动机单元150的旋转力。

或者，可选用多种往复装置作为第二传动部140。例如，包括凸轮及弹簧、气压缸或液压缸等的往复装置可用作第二传动部140。

尽管图中未示，由于第一传动部110及第二传动部140的齿隙，难以精确地执行该缓冲盘10的间距调节。为了改善该间距的调节精度，可通过多个弹簧使第一单元缓冲盘12a与第二单元缓冲盘12b互相连接。例如，可通过第一螺旋弹簧连接第一单元缓冲盘12a与第二单元缓冲盘12b。此外，置于缓冲盘10一侧的第一单元缓冲盘12a可通过第二螺旋弹簧互相连接，并且置于缓冲盘10另一侧的第一单元缓冲盘12a可通过第三螺旋弹簧互相连接。

根据本发明的第一实施例，可通过第一传动部110调节该第一单元缓冲盘12a之间的第一间距p1，并且可通过第二传动部140调节该第一单元缓冲盘12a与第二单元缓冲盘12b之间的第二间距p2。因此，可使该缓冲盘20的间距与该测试盘或该用户盘的间距相等。由此，无需调节用于传送半导体器件的拾取器系统的间距，从而减少在该缓冲盘与该测试盘或用户盘之间传送半导体器件所需的时间。此外，可减少该拾取器系统重量，从而增进该测试分选机的结构稳定性并且增加该拾取器系统的拾取器数量。

图9为示出根据本发明第二实施例的缓冲盘间距调节装置的示意平面图。

参见图9，根据本发明第二实施例的缓冲盘间距调节装置200可在用于测试半导体器件的测试分选机中使用。

该缓冲盘可包括多对单元缓冲盘。各该单元缓冲盘对可包括第一单元缓冲盘及第二单元缓冲盘。例如，该缓冲盘可包括五对单元缓冲盘。由于这些单元缓冲盘对与已参考图1至8所描述的那些组件类似，因此省略其详述。

各第一及第二单元缓冲盘可分别放置在第一支架202a与第二支架202b上。第一支架202a及第二支架202b可以在该第一及第二单元缓冲盘的下方以该缓冲盘的列方向延伸。

第一连杆204a可连接至第一支架202a的端部。第二连杆204b可连接至第二支架202b的端部。第二连杆204b可与第一连杆204a连接。

装置200可包括调节该单元缓冲盘对之间的第一间距的第一传动部210以及调节该第一单元缓冲盘与该第二单元缓冲盘之间的第二间距的第二传动部240。第一传动部210可包括至少一个小齿轮及至少一个齿条。例如，第一传动部210可包括两个小齿轮及四个齿条。由于第一支架202a与第二支架202b、第一连杆204a与第二连杆204b以及第一传动部210与第二传动部240与已参考图1至8描述的那些组件类似，因此省略其详述。

同时，可将靠近该缓冲盘中心点的中央对单元缓冲盘固定在基板206的上表面，并且除该中央对的单元缓冲盘之外的其余单元缓冲盘对可连接至第一传动部210。即，连接至该中央对的第一单元缓冲盘的第一支架202c可安装在基板206上。例如，当该中央对的第一单元缓冲盘固定在基板206上时，第一传动部210可连接至其余的第一单元缓冲盘。或者，当该中央对的第二单元缓冲盘固定在基板206上时，第一传动部210可连接至其余的第二单元缓冲盘。

从而，该第一传动部210的齿条使得其余放置在相对于该中央对单元缓冲盘两侧的单元缓冲盘对以彼此相反的方向移动，从而来调节这些单元缓冲盘对之间的第一间距。

具体地，第一传动部210的第一小齿轮与第二小齿轮的转速比为1:2以使该第一单元缓冲盘之间的间隔彼此相等。从而，可调节该单元缓冲盘对之间的第一间距。

或者，当该缓冲盘包括三对单元缓冲盘时，第一传动部210可包括一个小齿轮及两个齿条。

图10为示出根据本发明第三实施例的缓冲盘间距调节装置的示意平面图。

参见图10，根据本发明第三实施例的缓冲盘间距调节装置300可在应用于测试半导体器件的测试分选机中。

该缓冲盘可包括多对单元缓冲盘。各单元缓冲盘对可包括第一单元缓冲盘及第二单元缓冲盘。例如，该缓冲盘可包括三对单元缓冲盘。由于这些单元缓冲盘对与已参考图1至8所描述的那些组件类似，因此省略其详述。

各第一及第二单元缓冲盘可分别放置在第一支架302a与第二支架302b上。第一支架302a及第二支架302b可以在该第一及第二单元缓冲盘的下方以该缓冲盘的列方向延伸。

第一连杆304a可连接至第一支架302a的端部。第二连杆304b可连接至第二支架302b的端部。第二连杆304b可与第一连杆304a连接。

装置300可包括调节该单元缓冲盘对之间第一间距的第一传动部310以及调节该第一单元缓冲盘与该第二单元缓冲盘之间第二间距的第二传动部340。第一传动部310可包括至少一个小齿轮及至少一个齿条。例如，第一传动部310可包括两个小齿轮及两个齿条。由于第一支架302a与第二支架302b、第一连杆304a与第二连杆304b以及第一传动部310与第二传动部340与已参考图1至8描述的那些组件类似，因此省略其详述。

同时，可将该缓冲盘最外侧的一对单元缓冲盘固定在基板306的上表面，并且其余的单元缓冲盘对可连接至第一传动部310。例如，当最外侧的支架302c(其连接至该最外侧对的第一单元缓冲盘)固定在基板306上时，第一传动部310可连接至其余的第一单元缓冲盘。或者，当该最外侧对的第二单元缓冲盘固定在基板306上时，第一传动部310可连接至其余的第二单元缓冲盘。

从而，该第一传动部310的齿条使得其余的单元缓冲盘对以该缓冲盘的间距方向移动，从而来调节该些单元缓冲盘对之间的第一间距。

具体地，第一传动部310的第一小齿轮与第二小齿轮的转速比为1:2以使该第一单元缓冲盘之间的间隔彼此相等。从而，可调节该单元缓冲盘对之间的第一间距。

或者，当该缓冲盘包括两对单元缓冲盘时，第一传动部310可包括一个小齿轮及一个齿条。

图11为示出缓冲盘另一实施例的示意图。

根据前述本发明的第一、第二及第三实施例，各第一单元缓冲盘12a及第二单元缓冲盘12b包括排列成一列的多个插槽14。然而，如图11所示，缓冲盘20可包括多个单元缓冲盘22，并且各单元缓冲盘22包括多个以多列排列的插槽24a及24b。可通过本发明第一、第二及第三实施例的装置来调节该多列单元缓冲盘之间的间距。

图12为示出根据本发明第四实施例的缓冲盘间距调节装置的示意平面图。

参见图12，根据本发明第四实施例的缓冲盘间距调节装置400可应用于测试半导体器件的测试分选机中。

该缓冲盘可包括多个单元缓冲盘。各单元缓冲盘可包括以多列方式排列的多个插槽，例如以图11所示的两列方式。该缓冲盘可包括偶数个的单元缓冲盘。例如，该缓冲盘可包括四个单元缓冲盘，并且各该单元缓冲盘可包括以列方向排列的第一插槽以及平行于该第一插槽排列的第二插槽。

装置400包括连接至该单元缓冲盘的传动部410以调节该单元缓冲盘之间的行方向间距。传动部410包括齿轮机构，所述齿轮机构包括至少一个输出齿轮、多个与该输出齿轮啮合的齿条，以及提供旋转力的电动机单元。例如，传动部410可使用两个用作该输出齿轮的小齿轮412以及四个齿条414来调节该缓冲盘间距。在此，可通过放置在基板406上的支架402将该单元缓冲盘与齿条414互相连接。

传动部410可使得放置在相对于该缓冲盘中心点的两侧的单元缓冲盘以彼此相反的方向移动，从而来调节该单元缓冲盘的间距。由于传动部410与已参考图1至8描述的第一传动部110类似，因此省略其详述。

可通过装置400使该缓冲盘间距与该测试分选机的测试盘或用户盘的奇数列之间的间距相等。这样，该测试分选机的拾取器系统使用多个拾取器来拾取半导体器件，然后移动至该缓冲盘的上方。对齐该拾取器以使单数列拾取器抓持的半导体器件位于该缓冲盘的第一插槽的上方，然后将该由单数列拾取器抓持的半导体器件收纳到该缓冲盘的第一插槽中。此外，对齐该拾取器以使偶数列拾取器抓持的半导体器件位于该缓冲盘的第一插槽的上方之后，然后将该由偶数列拾取器抓持的半导体器件收纳到该缓冲盘的第二插槽中。

图13为示出根据本发明第五实施例的缓冲盘间距调节装置的示意平面图。

参见图13，根据本发明第五实施例的缓冲盘间距调节装置500可应用于测试半导体器件的测试分选机中。

该缓冲盘可包括多个单元缓冲盘。各单元缓冲盘可包括以多列方式排列的多个插槽，例如以图11所示的两列方式。该缓冲盘可包括奇数个的单元缓冲盘。例如，该缓冲盘可包括五个单元缓冲盘，并且各该单元缓冲盘可包括以列方向排列的第一插槽以及平行于该第一插槽排列的第二插槽。

装置500包括连接至该单元缓冲盘的传动部510以调节该单元缓冲盘之间的行方向间距。传动部510包括齿轮机构，所述齿轮机构包括至少一个输出齿轮、多个与该输出齿轮啮合的齿条，以及提供旋转力的电动机单元。例如，传动部510可使用两个用作该输出齿轮的小齿轮512以及四个齿条514来调节该缓冲盘间距。在此，可通过放置在基板506上的支架502将该单元缓冲盘与齿条514互相连接。

第一传动部510可使得放置在相对于缓冲盘的中央单元缓冲盘两侧的单元缓冲盘以彼此相反的方向移动，从而来调节该单元缓冲盘的间距。由于传动部510与已参考图9描述的第一传动部210类似，因此省略其详述。

图14为示出根据本发明第六实施例的缓冲盘间距调节装置的示意平面图。

参见图14，根据本发明第六实施例的缓冲盘间距调节装置600可应用于测试半导体器件的测试分选机中。

该缓冲盘可包括多个单元缓冲盘。各单元缓冲盘可包括以多列方式排列的多个插槽，例如以图11所示的两列方式。例如，该缓冲盘可包括三个单元缓冲盘，并且各单元缓冲盘可包括以列方向排列的第一插槽以及平行于该第一插槽排列的第二插槽。

装置600包括连接至该单元缓冲盘的传动部610以调节该单元缓冲盘之间的行方向间距。传动部610包括齿轮机构，所述齿轮机构包括至少一个输出齿轮、至少一个与该至少一个输出齿轮啮合的齿条，以及提供旋转力的电动机单元。例如，传动部610可使用两个用作该输出齿轮的小齿轮612以及两个齿条614来调节该缓冲盘间距。在此，可通过放置在基板606上的支架602将该单元缓冲盘与齿条614互相连接。

传动部610可使得除最外侧的单元缓冲盘之外的其余单元缓冲盘以该缓冲盘间距的方向移动，从而来调节该缓冲盘的间距。由于传动部610与已参考图10描述的第一传动部310类似，因此省略其详述。

根据本发明的第四、第五及第六实施例，使用了具有成列排列插槽的该单元缓冲盘。或者，根据本发明第四、第五及第六实施例的该装置可用于调节该具有如图2所示排列成一列的插槽的单元缓冲盘的间距。

根据本发明的前述实施例，可通过第一传动部及第二传动部来调节缓冲盘的间距，所述第一传动部包括至少一个小齿轮及至少一个齿条，所述第二传动部用于移动连杆，以使该缓冲盘的间距与测试盘或用户盘的间距相等。

由此，在传送半导体器件的时候无需调节拾取器系统的间距，从而缩短传送半导体器件所需的时间。此外，无需额外的装置来调节该拾取器系统的间距，从而来减少该拾取器系统的重量以及增进测试分选机的结构稳定性。

尽管业已描述了本发明的实施例，应理解，并不应将本发明限制为这些实施例，本领域技术人员可在如后文权利要求书所要求保护的本发明的精神及范围之内对其作出各种改变及修改。

Claims (25)

1.一种缓冲盘间距调节方法，所述缓冲盘包括收纳半导体器件的多对单元缓冲盘，包括：

调节所述单元缓冲盘对之间的第一间距；及

调节所述各对中第一单元缓冲盘与第二单元缓冲盘之间的第二间距。

2.如权利要求1所述的方法，其中通过使至少一第一单元缓冲盘对与至少一第二单元缓冲盘对互相以相反方向移动来调节所述第一间距，并且其中所述第一及第二单元缓冲盘对分别放置在相对于该缓冲盘中心点的两侧。

3.如权利要求1所述的方法，其中通过使至少一第一单元缓冲盘对与至少一第二单元缓冲盘对互相以相反方向移动来调节所述第一间距，并且其中所述第一及第二单元缓冲盘对分别放置在相对于靠近该缓冲盘中心点的一对单元缓冲盘的两侧。

4.如权利要求1所述的方法，其中通过使得除最外侧单元缓冲盘对之外的其余单元缓冲盘对中的至少一对以所述缓冲盘间距的方向移动来调节所述第一间距。

5.如权利要求1所述的方法，其中通过使所述第二单元缓冲盘相对于所述第一单元缓冲盘作相对移动来调节所述第二间距。

6.一种缓冲盘间距调节装置，所述缓冲盘包括收纳半导体器件的多对单元缓冲盘，包括：

第一传动部，其连接至所述单元缓冲盘对以调节所述单元缓冲盘对之间的第一间距；及

第二传动部，其连接至所述单元缓冲盘对以调节所述单元缓冲盘对中第一单元缓冲盘与第二单元缓冲盘之间的第二间距。

7.如权利要求6所述的装置，其中所述第一传动部包括

连接至所述单元缓冲盘对的多个齿条；

齿轮机构，包括至少一个与所述齿条啮合的输出齿轮；及

连接至所述齿轮机构以向所述齿轮机构提供旋转力的电动机单元，

其中所述齿条连接至分别放置在相对于所述缓冲盘中心点两侧的至少一第一单元缓冲盘对及至少一第二单元缓冲盘对，并且与所述至少一个输出齿轮啮合以使所述第一及第二单元缓冲盘对互相以相反方向移动。

8.如权利要求7所述的装置，其中所述齿轮机构包括：

连接至所述电动机单元传动轴的传动齿轮；

连接至所述传动轴并且与彼此相对的第一齿条及第二齿条啮合的第一小齿轮，所述第一小齿轮的节圆小于所述传动齿轮的节圆；及

与所述传动齿轮啮合，利用所述传动齿轮旋转并且与彼此相对的第三齿条及第四齿条啮合的第二小齿轮，所述第二小齿轮的节圆小于所述传动齿轮的节圆。

9.如权利要求7所述的装置，包括其上放置有所述第一及第二传动部的基板。

10.如权利要求9所述的装置，其中所述齿条及所述齿轮机构放置于所述基板的上表面，所述电动机单元放置于基板的下表面，并且所述电动机单元通过所述基板连接至所述齿轮机构。

11.如权利要求7所述的装置，其中所述齿条通过多个以基本垂直于所述缓冲盘间距方向的方向延伸的支架连接至所述单元缓冲盘对。

12.如权利要求6所述的装置，其中所述第一传动部包括：

多个齿条；

包括至少一个输出齿轮的齿轮机构；及

连接至所述齿轮机构以向所述齿轮机构提供旋转力的电动机单元，

其中所述齿条连接至分别放置在相对于靠近所述缓冲盘中心点的一对单元缓冲盘的两侧的至少一第一单元缓冲盘对及至少一第二单元缓冲盘对，并且与所述至少一个输出齿轮啮合以使所述第一及第二单元缓冲盘对互相以相反方向移动。

13.如权利要求6所述的装置，其中所述第一传动部包括：

多个齿条；

包括多个输出齿轮的齿轮机构；及

连接至所述齿轮机构以向所述齿轮机构提供旋转力的电动机单元，

其中所述齿条连接至除最外侧单元缓冲盘对之外的其余单元缓冲盘对，并且与所述输出齿轮啮合以使所述其余单元缓冲盘对以所述缓冲盘的间距方向移动。

14.如权利要求6所述的装置，其中所述缓冲盘包括两对单元缓冲盘，

并且其中所述第一传动部包括：

连接至所述两对单元缓冲盘之一以调节所述第一间距的齿条；

齿轮机构，包括与所述齿条啮合的输出齿轮；及

连接至所述齿轮机构以向所述齿轮机构提供旋转力的电动机单元。

15.如权利要求6所述的装置，进一步包括：

连接至所述第一单元缓冲盘的第一连杆；及

将所述第二单元缓冲盘与所述第一连杆连接的第二连杆；

其中所述第一传动部连接至所述第一单元缓冲盘或所述第二单元缓冲盘。

16.如权利要求15所述的装置，其中所述第一及第二单元缓冲盘通过多个以基本垂直于所述缓冲盘间距方向的方向延伸的支架连接至所述第一及第二连杆。

17.如权利要求15所述的装置，其中所述第二传动部连接至所述第一连杆或所述第二连杆，并且向所述第一连杆或所述第二连杆施加传动力使所述第一单元缓冲盘与所述第二单元缓冲盘之间产生相对移动。

18.如权利要求17所述的装置，进一步包括至少一个导向部件，其设置成为以所述缓冲盘的间距方向对所述第一单元缓冲盘及所述第二单元缓冲盘进行导向。

19.如权利要求17所述的装置，进一步包括以所述缓冲盘的间距方向延伸的导向部件，其中通过所述第二传动部以基本垂直于所述缓冲盘间距方向的方向可移动地放置所述导向部件，并且所述导向部件以所述缓冲盘间距方向在所述第一连杆之间或第二连杆之间对连接部进行导向。

20.如权利要求19所述的装置，进一步包括第二导向部件，其连接至所述导向部件的两个侧部以在基本垂直于所述缓冲盘间距方向的方向上对所述导向部件进行导向。

21.一种缓冲盘间距调节装置，所述缓冲盘包括收纳半导体器件的多个单元缓冲盘，包括：

生成旋转力的电动机单元；

连接至所述电动机单元的齿轮机构，所述齿轮机构包括至少一个输出齿轮；及

至少一个齿条，其连接至所述单元缓冲盘中的至少一个以及所述至少一个输出齿轮以调节所述单元缓冲盘之间间距。

22.如权利要求21所述的装置，其中各所述单元缓冲盘具有收纳所述半导体器件的多个插槽，其中所述插槽排列成与所述缓冲盘间距方向基本垂直的至少一列，并且所述单元缓冲盘以所述单元缓冲盘间距方向排列。

23.如权利要求21所述的装置，其中所述缓冲盘包括偶数个单元缓冲盘，并且其中多个齿条连接至分别放置在相对于所述缓冲盘中心点两侧的至少一个第一单元缓冲盘及至少一个第二单元缓冲盘、并且与所述至少一个输出齿轮啮合以使所述第一及第二单元缓冲盘互相以相反方向移动。

24.如权利要求21所述的装置，其中所述缓冲盘包括奇数个单元缓冲盘，并且其中多个齿条连接至分别放置在相对于中央单元缓冲盘两侧的至少一个第一单元缓冲盘及至少一个第二单元缓冲盘、并且与所述至少一个输出齿轮啮合以使所述第一及第二单元缓冲盘互相以相反方向移动。

25.如权利要求21所述的装置，其中所述至少一个齿条连接至除最外侧单元缓冲盘之外的其余单元缓冲盘中的至少一个，并且与所述至少一个输出齿轮啮合以使所述至少一个其余单元缓冲盘以所述缓冲盘的间距方向移动。

Images