200904727 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關在搬送液晶玻璃基板等被搬送物之搬送步 中，暫時收納被搬送物之收納架及收納方法。 【先前技術】 於半導體製造、液晶製造、FA (Fact〇ry Aut_ti〇n :工 薇自動化）等’液晶玻璃基板或半導體晶圓等被處理物（被
搬，物)係複數片收納於卡匣内’並以卡匣為單位搬送至 凫、t保笞之收納裝置或施加各處理之處理裝置等。此外， 作為以往之收納裝置有以複數收納部所構成之收納架，各 收納部係成為由對向配置於各收納部左右壁面之i對筆直 狀構件之梯’以支持卡昆之左右兩底面之構造。於專利文 處^ 1 中，— 壯、 不種從搬送路徑，將該被搬送物移載至收納 #或各處理I置等之移載裝置。若根據此專利文獻1， S由轉動之第—及第二臂進行旋轉，載置被搬送物之叉狀 裝置會伸縮，# '、、移載裝置下降，藉以將被搬送物載置於收納 裝置或各處理裝置等。 [專利文獻1]曰 【發明内容】 本特開2002-3701 84號公報（圖1) [發明所欲解決之問題] 然而，於^ 使又肤P 、 利文獻1中，於載置有被搬送物之狀態下 贯之情況時，因被搬送物之重量，又狀裝置 視曲。因此，也 理裝置之 無法將被搬送物對於載置被搬送物之各處 栽置部維持平行。如此的話，載置被搬送物時， 122966.doc 200904727 被搬送物會對於載置部傾斜地降下，最初僅有被搬送物之 最低點抵接於載置部。然後，若維持該狀態繼續進行載置 動作’則該抵接部分滑動於載置部，其結果會於被搬送物 與載置部間發生滑動磨損，產生大量⑽（微小塵埃配 置有上述移載裝置或處理裝置之空間雖會進行空氣淨化， 但若該微粒等乘著氣流而附著於其他被搬送物，則發生製 品品質降低之問題。 [解決問題之技術手段] 、 本么月之目的在於提案-種不產生微粒等即可收 納被搬送物之收納架及收納方法。 為了達成上述目的，太恭^ 、 本心月為一種收納架，其係藉由包 2使被搬送物水平移動之水平臂部、使該被搬送物升降之 ^部之移載裝置’以可搬出入地保管前述被搬送物；且 二：置部，其係利用前述移載裝置水平移動至載置位 物；及：降’藉以於前述載置位置載置前述被搬送 前述載置部：：其係6又置於將前述被搬送物下降並載置於 動自如。。日、最初抵接之部分’並往前述水平移動方向移 =此構成，使裝載有前述被搬送物 之别述水平臂部水平移動’戰褒置 送物之曹蔷^/ 迂尺千摩#係因前述被搬 s而在水平移動方 前述移載裝置之前述升㈣下^\挽曲。右於此狀態下使 載置於載置杨D下降，則於前述被搬送物完全 戰置位置前，前述赫你^ 抵接於前 运勿之水平移動方向前端即 、…動部。其後，由於隨著前述被搬送物之下 122966.doc 200904727 降’前述被搬送物之水平移動方向前端會與往水平移動方 向移動自如之前述移動部，-同往水平移動方向移動，因 此可使得於前述被搬送物與前述載置部間不發生滑動磨 損。藉此，不產生因滑動磨損所產生之微粒（微小塵 即可於前述載置部Γ、+· 4 u 戰置則述被搬送物以收納前述被搬送 物。 、 而且’本發明之前述載置部亦可包含：i對筆直 構件’其係呈對向配置’於前述被搬送物下面之兩端部： 支持前述被搬送物；及約略長方體形狀之缺口^， 置於筆直狀支持構件；前述移動部包含：旋轉輥二二 ，轉軸與前述水平移動方向正交之方式，配置於前述缺口 邛’及移動支持部’其係旋轉自如地保持旋轉輥，並 前述被搬送物。 守 置：’於藉由前述移载裝置將前述被搬送物載 ;引、置部時’前述被搬送物最初抵接之部分一置 動方向轉動之旋轉親、及支持前述被搬:物 、°卩之移動部。藉此，即使是前 抵接於前述载置邻後卩使疋w皮搬运物傾斜 件所支持，後而載置之情況’由於前述移動支持構 旋轉二==:::與前述移動部，一:介以前述 物與前述筆直狀支持構件間:生摩因::::於_被搬送 :且’本發明亦可與前述水平移動方向平行地伸縮之彈 以：定將剛逑移動體及前述載置部以彈性體之兩端分別予 ]22966.doc 200904727 二1=成，於將前述被搬送物載置於前述載置部， 丫述被搬达物’前述移動部往水平移動方向移動之情 况時，别述彈性體位於前述移動部之前述水平移 情況時，前述彈性體僅縮小已移動 ° 於盥乂、+、>、丁， 則述彈性體位 …、則〜平移動方向相反之方向之情況時 僅伸展已移動之分量D I後，若 ’弹性體 八傻 攸别述載置部取走箭城姑 搬送物，則前述彈性體會因伸縮力 物載置於前述載置部前之壯能设到將則述被搬送 ^ 戰置之狀態，因此固定於前述彈性體之 别述移動部回到將前述被 ^ ⑴述被搬达物載置於前述载置部前之位 置:藉此’將前述被搬送物載置於前述载置部時，可省略 將前述移動體配置於前述被搬送物最初抵接於前述載置部 之位置之控制。 而：，本發明係被搬送物往載置部方向下降，從而該被 =之一部分最初抵接於前述載置部後，於該被搬送物 之一部分對於前述載置部滑接，同時最後载置該被搬送物 之全體時，使前述載置料前述被㈣物之 接之部位往前述滑接方向移動。 力敢減 右根據此方法，於藉由使前述被搬送物之一部分最初抵 接之前述載置部之部位’往滑接之方向移動，以從抵接之 4置私動至最終載置前述被搬送物全體之位置之期間，可 避免因前述被搬送物之滑動而造成前述被搬送物與前述載 置部發生摩擦。 【實施方式】 以下’說明有關本發明適宜之實施型態。關於本實施型 122966.doc 200904727 態之收納架i係暫時保管搬送之被搬送物之所謂「儲 (stocker)」，如圖4所示，其由收納被搬送物之1以上之架。。 元la所構成。被搬送物係藉由搬出入裝置 :早 la取出、裝入。 了於木早π 此外，於本實施型態中，被搬送物係指收容例如 玻璃基板或半導體晶圓等之具有立方體或長方體形狀 匣。於以下說明中，稱被搬送物為卡匣。 (機械構成：架單元la) 如圖4(b)所示，於收納架！，在鉛直方向設有*段 匕於架單元U配置有以卡E1G之底面支持卡_ : 2(載置部)。然後，藉由後述之搬出入裝置％移載 ， :吏。卡㈣水平移動及降下’於架單元u之梯2载置卡厘 (機械構成：梯2) 如圖4⑷所示，梯2係由支持卡_之底面兩端之對向配 置之1對筆直狀支持部2a(筆直狀支持構件）所構成。並且， 如於圖1⑷表示之圖3所示之A-A，面之剖面，由於在支持部 2a之-部分形成具有約略長方體之底面之缺口部孔，因: =部h之剖面具有約略「：」字形。並且，如於圖 部：，及⑻表示之圖3所示之Β·Β ”水平移動方向平行地將2個滑動構件2〇(移動 別配置於，約略將缺口部孔之長度等分為3之位置/並二 支持部2a之兩外面側由彈簧24連接。此外，配置有⑽^ 滑動構件20係於水平方向依序為滑動構件鳥、滑動構件 122966.doc 200904727 =。具體而言’如圖2及圖3所*，於水平移動方向依序 看來，支持部2a與滑動構件2〇b間、滑動構件_ 件^間、然後滑動構件加與支持部2a間係於支持部& 兩外面側分別以彈筈24遠M lL . U4連接。此時，彈簧24維持自然長 度。並且，於缺口部2b之底面配設有基座板21，滑動構件 =往=動方向來回移動於該基座板η上。 長，兩端部弯曲為匕字开，，以^ ::部叫之寬度稍 嵌合於支持部2a 形部分夾住支持部⑽ 時上滑動構件2°係設置於卡載置於梯2 SH)載置於播1〇接觸之部分。詳細會於後面敘述，將卡 Ε 10載置於梯2時，卡厣Α 了下 方撓曲。因此，如彳=(::水平:動方向往垂直下 於馗？而你廿 （）所不’為了將卡匣10載置 於梯2而使其往垂直下方降下之 動方向前端最初/、 10之水平移 示，卡匿HH系隨著往垂直二/下 7(b)所 動方向前端逐漸往與水平移動;:對
職接之整面往水平相反之方向抵接，卡E 抵接於滑動構件2。之方式二置”動=’藉由以卡匣 往水平移動方向滑動 ：動構件2〇,可使卡厘⑺ 與設置1個滑動構件2 0之情況相 4 2㈣，件2 〇 : 當變更。而且p 於⑺動構件20之大小或個數，可適 述。 關於最初與卡㈣接觸之部分係於後面敎 122966.doc 10 200904727 (機械構成：滑動構件20) 士圖](a)、（b)所示，滑動構件20包含滑動板22及輥23。 滑動板22係由支持卡匣10之頂板22a、及設置於該頂板22a 之兩端部之旋轉自如地支持輥23之L字形軸承22b所組成， 並往水平移動方向來回移動。軸承之[字部分係與上述 基座板21彎曲為L字形之部分扣合，該扣合部分發揮導引 往水平移動方向來回移動之滑動板22之作用。而且，於軸 承22b 6又置有未圖示之孔，鬆緩地插有輥23之旋轉軸， 輥23 ;|在頂板22&與基座板21間。藉此，滑動構件係藉 由輥23旋轉於基座板21上，而往水平移動方向來回移動於 基座板2 1上。 上述缺口。卩2b及滑動構件20係設置於卡匡1〇載置於 梯2時最初與卡匣1〇接觸之部分。更具體說明的話，於後 述之搬出入裝置3之第一臂3〇及第二臂31進行水平移動之 狀態下，支持卡匣10之又狀主體32係如圖6之箭頭所示， 前端因卡匣10之重量而往下方撓曲。因此，載置於又狀主 體32之卡匣1〇亦前端變得傾斜。因此，若於此狀態下使卡 匣10往載置部方向下降，則卡匣1〇會對於梯2之支持部 傾斜地載置。此時’於支持部2a中卡匣1〇之前端部分最初 抵接之部分’設置缺口部2b及滑動構件2〇。 此外，配置缺口部2b及滑動構件20之位置可依卡匣尺寸 或第一及第二臂30、31之長度等以適當地變更。 (機械構成：搬出入裝置3) 如圖5所示，搬出入裝置3之構成包含：行進體（未圖 122966.doc 200904727 ’、-系由形成於相對面地平行配置之收納架工間之通 6内之行進執6a所支持導引，並行進於行進路徑上；^ 設於行進體；裝載台3b，其係由支柱3a所支 持導引而升降；及移動U3e，其係、設置於上述震载台 3b，且於架單元la間移送卡匣1〇。 上述移動裝置3c係第一臂3〇及第二臂”旋轉，又狀主體 32移動於—直線上。此外，此實施例並料細記述，第— 臂30、第二臂31及又狀主體㈣設置於可旋轉地設於 台3b之旋轉盤34’藉由旋轉，對於面向通心之任— 元1 a均可搬出、搬入卡匣1〇。 :且’又狀主體32係支持卡匣心底面中央，並如圖 】可通過相對向之支持部。間。亦即，若支持卡E 10之又狀主體32從梯2之上方移動$下士 舍、s+ 上方私動至下方，則又狀主體32 ^ ’支持部2a間’但卡£1〇之底面兩端部會卡在支 持部2a。藉此，卡匣1〇從 體32脫離，並且載置於梯 可’藉由第—及第二臂30、31伸峨轉），又狀主體 動：：入位置與突出位置間’以-定速度進行水平移 動。此外’退入位置係意味弯曲第一及第二臂m，又 狀主體32位於架單元_，·突出位置係意味第―及第二f 30、31伸長，又狀主體32位於架單元&内。 接著’說明有關如上述構成之搬出人裝置3所進行之卡 ::。之收納時動作、及卡。之載置時之滑動構件2。之動 (卡匣10之動作：卡匣10往架單元la之搬入） 122966.doc 12 200904727 於又狀主體3 2載置卡11 1G之搬出人裝置3係、接收來自未 圖不之控制器等之指令信號，行進於行進軌，移動至目標 之收、”内木1刖。其後’升降裝載台3b，移動至目標之架單 = 然後’藉由第-臂3G及第二f 31旋轉，又狀主體Μ 從退入位置水平移動至突出位置。而且，位於突出位置之 卡H 10及又狀主體32係至少比目標之架翠元^之梯2位於 上方。 、 接者’一面保持該狀態，裝載台扑一面降下。隨著此裝 載台3b之降下，叉狀主體32亦降下。此叉狀主體^通過相 對向之支持部2a間，於該通過時，又狀主體32上之卡匿⑺ 係底面兩端部卡在支持部2a，藉此，卡㈣會载置於梯2 上0 (收納架之動作：滑動構件2〇) =古如上述’又狀主體32因卡gi〇之重量，其前端部 <重力方向撓曲’因此於降下之中途，首先如圖7⑷所 :’卡㈣之前端部抵接於滑動構件2〇a。於該抵接部分 叹置有滑動板22 ’卡EH)由滑動構件2〇a之滑動板以所支 持。然後，隨著卡£1〇之降下，滑動構件20a係藉由報23 旋轉’開始往圖7(b)之水平移動方向之箭頭所示之方向移 動於基座板21上。並且，若切咖輕下，卡£10之1 面亦抵接於滑動構件鳩，滑動構件係與滑動構件施 相同’在與卡㈣抵接之狀態下開始往箭頭方向移動。因 此，於滑動構㈣與基座板21間，不會因磨^產生微 粒。而且，由於卡請係由滑動構件2Q之滑動心所支 122966.doc • 13 200904727 持，因此於卡請與梯2間’亦不會因磨損而產生微粒。 然後，若又狀主體32維持原樣持續降下，如圖7⑷所示， 卡匣10會載置於梯2。 此夕卜，由於滑動構件20配設有彈簧24，因此若從梯❿ 下卡匣10 ’則藉由彈簧24之伸縮力回復到彈簧之自然長 纟之原本位置。而且，圖7中因說明方便而省略支持：匠 10之叉狀主體32。 P (卡匣10之收納方法） 接著，說明有關在如上述構成之收納架收納卡ei〇之收 納方法。 =而ί卡往梯2方向下降、然後，之前端 最純接於梯2後’使卡_之前端部對於梯增 £1〇之IT置卡E 1〇全體。此時，使梯2中最初抵接於卡 之_之部位，往滑接方向移動。更具體而言，若 ^ 之前端部抵接於梯2之滑動構㈣，前端部會使 u = 向移動H前端部往滑接方向移 可將卡_載置於梯2。藉其，不產生微小 塵埃即可將卡匣10載置於梯2。 (本貧施型態之概要） ’如上述’本實施型態為一 卡EH)水平^ 。為種架早da，其係藉由包含使 W移動之移送裝t3c、及使卡昆 3b之搬出入驻要。 丨丨耳 <及載台 搬出入#置3,可搬出入地保管卡g〗〇;且包 2，其係利用搬出入梦罟·^ ^ τ 降，-、、 4置水平移動至載置位置上方後再下 精以於载置位置載置卡Ε 10 ;及滑動構件20，其係設 122966.doc 14 200904727 置於將卡匣10下降#截 、 載置於梯2時最初抵接之部分，廿 在水平移動方向移動自如。 並可 若根據此構成，#驻# μ ,,u 使裝载有卡匣10之搬出入裝置3之移、、， :置3C水平移動時，移送如係因…之重量=: 平移動方向前端撓曲。若於此狀 / =移動方向前端即抵接於滑動構件2〇。其後，由於隨
移動方’卡匣1G之水平料方向前端會與往水平 :多動方向移動自如之滑動構件2。，一同往水平移動方向移 ，因此可使得於卡E 10與梯2間不發生滑動磨損 此不產生因滑動磨損所產生之微粒（微小塵埃），即 梯2載置卡£10收納卡匣1〇。 於 而且’本實施型態之梯2係&含：i對支持部^，其係呈 對向配置，於卡£10下面之兩端部支持卡£1〇 ;及約略長 方=形狀之缺口部2b，其係設置於支持部&滑動構件Μ 匕έ奏11 23，其係以旋轉軸與水平移動方向正交之方式， 配置於缺口部2b;及滑動板22，其係旋轉自如地保持輥 23，並支持卡匣10。 右根據此構成，於藉由搬出入裝置3將卡匣1〇載置於梯2 時，卡匣10最初抵接之部分，設置包含往水平移動方向轉 動之輥23、及支持卡匣1〇之滑動板22之滑動構件2〇。藉 此，即使是卡匣10傾斜抵接於梯2後而載置之情況，由於 滑動板22支持之卡匣1〇係與滑動構件2〇，一同介以旋轉輥 而往水平移動方向移動，因此可減低於卡匣10與梯2間發 122966.doc •15- 200904727 生摩擦等之虞。 而且，本實施型態亦可將與水平移 彈菁24及梯2,以彈菁“之兩端分別予以固定。仃也伸縮之 若根據此構成’於將卡gl〇載置於梯2 由卡E10往水平移動方向移動之情況時，彈菁24= 〇藉 構件2〇之水平移動方向之情況時，彈菁梅縮小 ==位於與水平移動方向相反之方向之情』 弹黃24僅伸展已移動之分量。其後，若從梯2取丄 10則彈奮24會因伸縮力而回復到將卡匿1〇載置於梯η 之狀態，因此固定彈簧24 、 刖 之位署“回到將卡匿10載置於梯2前 =置：：’將卡…载置於梯2時，可省略將滑動構 -;匣1 〇最初抵接於梯2之位置之控制。 而二本實施型態係卡£1〇往梯2方向下降，從… 千移動方向前端«初抵接於梯2後，於卡El〇之 動方向前端部對於梯2滑接，同時最後載置卡_ 王使梯2中卡£1〇之水平移動方向前端部最初抵接 之=動構件20往前述滑接方向移動之方法。 若根據此方法，於難ώ诂上 猎由使卡匣1 0之一部分最初抵接之梯 故V置二「在’月接之方向移動’以從抵接之位置移動至最 終載置卡匣1 〇全體之朴罢 置之期間，可避免因卡匣】0之滑動 而造成卡匣10與梯2發生摩擦。 (本實施型態之變形例） 本發明係記載於卜祕·— 、 攻適且之貫施型態，但本發明不應僅 限制於其。當可理解可實現其他不脫離本發明之旨趣及範 122966.doc -16* 200904727 圍之各種實施型態。並且，於本實施型態中描述本發明之 構成所造成之作用及效果，但此等作用及效果僅為一例， 不應限制本發明。 報51之支持板52亦可 例如於上述實施型態中，往載置方向來回移動之移動部 係以滑動板22及輥23等構成之滑動構件2〇，但不限定於 例如圖8所示，於支持部2a直接安裝有輥5丨之構成亦 可（變形例丨）。具體d支持部城置有切1Q之面設 置開口部。然後，並排配置4個輥51，各輥51之旋轉軸 旋轉自如地鬆緩插於支持部2a之側面。此時，親5i之上面 比支持部23稍微突出。而且’於輥”之下面側，設置支持 、而且如圖9所不’於支持部2a直接安裝棍，於其上 以覆蓋之方式設置滑動板62之構成亦可（變形例2)。具體而 吕’於支持部2a載置有卡£1〇之面設置開口部。然後，並 排配置3個輥61，各輥61之旋轉軸6u係旋轉自如地鬆緩插 於支持部2a之側面。滑動板62之剖面為約略「口」字形， 以覆蓋於3個親61之方式設置。此時，滑動板62之上部比 支持部微突出。而且’滑動板62之兩側面係藉由彈筹 =連接支持部2a與内部。此時1簧63維持自然長度之狀 月動板62即使在任—方向移動，仍會藉由彈簧〇回到 ::位置。而X’於輥61之下面側，亦可設置支持輥。之 文持板64。 而且，於上述實施型態中，卡£1〇最初抵接於…之位 置係限定於卡㈣之前端’但卡㈣為載置於梯2之面全 122966.doc -17· 200904727 體亦可。具體而言，如將卡㈣對於梯2從傾斜上 之情況時，卡gl0之載置面全體對於梯2滑 :::一置面全體滑動之方式設置滑動構::等# 可獲传與上述實施型態相同之效果。 而且’作為將卡E10載置於梯2之方法，亦可從上方▲ 木：：1〇,以懸吊狀態載置於梯2,此時，亦可為卡“ 之剛端部或載置面全體滑動之構成。 Ο t :且’於上述實施型態中，被搬送物為卡_，载置部 但不限定於此等，可適宜地變更上述實施型態中 所成明之構成等。 τ 【圖式簡單說明】 圖1係表示於本實施型態之收納架中，载置部，及 :::搬送物下降至載置部而載置時，最初抵接之部分之 ::移動方向移動自如之移動部之剖面圖；⑷表示圖3 面之剖面圖’ (b)表示圖3之Β·Β，面之剖面圖。 體:2係表示本實施型態之收納架之載置部及移動部之立 面Γ係表示本實施型態之收納架之載置部及移動部之上 圖4係用以說明移載裝置及載置部之構成之概觀圖；⑷ 不面圖，（b)表示侧面圖。 :5係用以說明將被搬送物載置於載置部之動作之圖。 圖係表示本發明所解決之問題點之移載裝置之側面 122966.doc •18- 200904727 圃/係用以說明本發明所解決之問題點之解決方法之被 a 4物及載置部之側面圖；（a)表示被搬送物之水平移動方 向月"而部抵接於載置部之圓’（b)表示隨著被搬送物之下 :’破搬送物之水平移動方向前端部與移動部一同往水 置部。向私動’然後’⑷表示被搬送物全體完全载置於载 圖8係表示本發明之第-變形例之立體圖。 Γ 圖9係车-丄心 彳〜儿隨圖。 【主:表：本發明之第二變形例之立體圖。 L主要7C件符號說明】 1 a 2 2a 2b 3 10 20 22 23 收納架 架單元 梯（载置部） 支持部（筆直狀支持構件） 缺口部 搬出入裝置（移载裝置） 卡匣（被搬送物） 滑動構件（移動部） 滑動板（移動支持部） 轉（旋轉輥） I22966.doc