CN102339778A - 玻璃基板搬运载具 - Google Patents

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    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
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    • H01L21/67766Mechanical parts of transfer devices

Abstract

本发明公开了一种玻璃基板搬运载具,包含基座、用以吸附玻璃基板的玻璃载台、设置于基座与玻璃载台之间的升降装置、设置于升降装置与玻璃载台之间的翻转机构、设置于翻转机构与升降机构之间的旋转机构,以及设置于翻转机构与玻璃载台之间的伸缩机构。

Description

玻璃基板搬运载具
技术领域
[0001] 本发明涉及一种搬运载具,特别是涉及一种玻璃基板搬运载具。 背景技术
[0002] 太阳能是能量来源的一种形式,面对地球资源日益短缺的今日,和传统上利用石化燃料或核能所驱动的电力所引发的污染和安全问题,太阳能是极具有发展潜力的替代性能源,许多先进国家及大型企业皆相继投入此领域,致力于发展替代性能源。
[0003] 其中,太阳能电池主要包含有玻璃基板、夹在玻璃基板之间的光电转换材料等。其中玻璃基板除玻璃之外,还包含有涂布于玻璃上的多个膜层,这些膜层的膜厚须符合一定的规格,因此在厂房中需通过Nsra机台进行一系列的检测。
[0004] 由于现今产线中在使用NSra机台进行检测时,多是利用人工方式搬运玻璃基板在NSra机台与其它机台之间移动。又因为玻璃基板的检测是具有方向性的,现行亦多是通过人工搬运进行玻璃基板的转向。
[0005] 使用人工搬运的方式不仅效率低落,且容易造成因搬运不慎而导致破片的情形。 因此,如何减少太阳能电池的玻璃基板在搬运中破片的情形以及提升玻璃基板的检测效率,便成为一个重要的课题。
发明内容
[0006] 因此本发明的目的就是在提供一种玻璃基板搬运载具,用以搬运玻璃基板,以降低玻璃基板在搬运过程中破片的情形,并提升玻璃基板的检测效率。
[0007] 根据本发明一实施例,提出一种玻璃基板搬运载具,包含基座、用以吸附玻璃基板的玻璃载台、设置于基座与玻璃载台之间的升降装置、设置于升降装置与玻璃载台之间的翻转机构、设置于翻转机构与升降机构之间的旋转机构,以及设置于翻转机构与玻璃载台之间的伸缩机构。
[0008] 玻璃基板搬运载具可还包含设置于基座上的移动机构。其中玻璃载台还包含多个吸盘以及多个吸气孔。升降机构可为气压缸、油压缸,或是螺杆。伸缩机构包含轨道与滑动件,轨道延伸自翻转机构,滑动件设置于轨道上并相对于轨道滑动,滑动件与玻璃载台连接。玻璃基板搬运载具还包含设置于基座上的太阳能电池。玻璃基板搬运载具还包含控制面板,以操控玻璃基板搬运载具。
[0009] 本发明提供了一种玻璃基板搬运载具,可以解决因人工搬运而导致玻璃基板破片的情形,并且有效提升玻璃基板的检测效率。
附图说明
[0010] 为让本发明的上述和其它目的、特征、优点与实施例能更明显易懂,所附附图的详细说明如下:
[0011] 图1绘示本发明的玻璃基板搬运载具一实施例的示意图;[0012] 图2绘示本发明的玻璃基板搬运载J 專一使用状态的上视图; [0013] 图3绘示本发明的玻璃基板搬运载具另一 •使用状态的侧视图[0014] 图4 绘示本发明的玻璃基板搬运载具第二 .实施例的示意图。[0015] 【主要附图标记说明】 [0016] 100 :玻璃基板搬运载具 210 :第一表面[0017] 110 :基座 220 :第二表面[0018] 120 :玻璃载台 300 :玻璃基板搬运载具[0019] 122 :吸盘 310 :基座[0020] 124 :吸气孔 320 :玻璃载台[0021] 130 :升降机构 330 :升降机构[0022] 140 :移动机构 340 :移动机构[0023] 150 :翻转机构 350 :翻转机构[0024] 160 :旋转机构 360 :旋转机构[0025] 170 :伸缩机构 370 :伸缩机构[0026] 172 :轨道 380 :太阳能电池[0027] 174 :滑动件 390 :控制面板[0028] 200 :玻璃基板
具体实施方式
[0029] 以下将以附图及详细说明清楚说明本发明的精神,任何所属技术领域中普通技术人员在了解本发明的较佳实施例后,当可由本发明所教示的技术,加以改变及修饰,其并不脱离本发明的精神与范围。
[0030] 参照图1,其绘示本发明的玻璃基板搬运载具一实施例的示意图。玻璃基板搬运载具100包含有基座110、玻璃载台120、设置于基座110与玻璃载台120之间的升降机构 130、设置于基座110上的移动机构140、设置于玻璃载台120与升降机构130之间的翻转机构150、设置于翻转机构150与升降机构130之间的旋转机构160,以及连接翻转机构150 与玻璃载台120的伸缩机构170。
[0031] 玻璃载台120为用以吸取玻璃基板。移动机构140可以为设置在基座110下方的滚轮,使得玻璃基板搬运载具100可以在厂区中自由地移动。升降机构130可以为气压缸、油压缸或是螺杆等,通过升降机构130改变玻璃载台120的高度。翻转机构150则是用以翻转玻璃载台120与吸附于其上的玻璃基板,使得玻璃基板由一面朝上翻转为另一面朝上。旋转机构160则是用以旋转翻转机构150以及与其相连的玻璃载台120,用以使得玻璃载台120上的玻璃基板转动至所欲的角度。伸缩机构170则是用以平移玻璃载台120,使得玻璃载台120在同一平面上前后移动,以方便吸取或是卸下玻璃基板。
[0032] 参照图2,其绘示本发明的玻璃基板搬运载具一使用状态的上视图。玻璃载台120 上设置有多个吸盘122与吸气孔124。当玻璃载台120移动至与玻璃基板接触时,玻璃载台120上的吸盘122可以吸住玻璃基板,并通过启动吸气孔IM所形成的近真空状态紧密地吸附玻璃基板,避免玻璃基板在搬运的过程中滑落。
[0033] 伸缩机构170包含有轨道172以及滑动件174。其中轨道172为延伸自翻转机构150,滑动件174设置于轨道172上并相对于轨道172滑动,滑动件174并与玻璃载台120 连接,使得玻璃载台120通过滑动件174相对于轨道172前后滑动。
[0034] 参照图3,其绘示本发明的玻璃基板搬运载具另一使用状态的侧视图。玻璃基板搬运载具100用以搬运玻璃基板200,其中通过翻转机构150可以翻转玻璃基板200,使得玻璃基板200由第一表面210朝上被翻转成玻璃基板200的第二表面220朝上。
[0035] 由图1至图3的实施例可以得知,当欲搬运玻璃基板200以进行测试时,玻璃基板搬运载具100可以通过移动机构140移动至预定位置,接着,调整升降机构130使得玻璃载台120移动至适当的高度,接着,操作伸缩机构170,使得玻璃载台120平移至玻璃基板卡匣中。接着,再一次操作升降机构130,使得玻璃载台120与玻璃基板200接触,并启动吸气孔 124,使得玻璃基板200通过吸盘122及吸气孔124固定在玻璃载台120上。
[0036] 接着,再一次操作升降机构130与伸缩机构170使得玻璃载台120脱离玻璃基板卡匣,通过移动机构140将玻璃基板搬运载具100移动至测试机台旁,并视情形操作旋转机构160及/或翻转机构150,使得玻璃基板200调整至所需要的方向或是角度,以方便进行检测。最后,解除吸气孔124的抽气状态,并使玻璃基板200抵住测试机台上的凸肋,使玻璃基板200与玻璃载台120分离即可进行检测。
[0037] 前述步骤可以重复多次以完成多道检测工序,或是可以在检测完毕之后反向执行上述步骤,将玻璃基板200送回玻璃基板卡匣之中储藏以及搬运。
[0038] 参照图4,其绘示本发明的玻璃基板搬运载具第二实施例的示意图。玻璃基板搬运载具300包含有基座310、玻璃载台320、设置于基座310与玻璃载台320之间的升降机构 330、设置于基座310上的移动机构340、设置于玻璃载台320与升降机构330之间的翻转机构350、设置于翻转机构350与升降机构330之间的旋转机构360、连接翻转机构350与玻璃载台320的伸缩机构370、设置于基座310上的太阳能电池380,以及控制面板390。
[0039] 太阳能电池380可以设置在基座310上,以将厂区中的光线转换为电能储存,储存于太阳能电池380中的电力可用以驱动玻璃基板搬运载具300。控制面板390中包含有操作界面以及微控制器,微控制器分别与操作界面、升降机构330、移动机构340、翻转机构 350、旋转机构360、伸缩机构370以及太阳能电池380相连,使得使用者可以通过控制面板 390上的操作界面操作玻璃基板搬运载具300搬运玻璃基板。或是亦可通过内建于微控制器中的控制程序使得玻璃基板搬运载具300自动地沿着设定的路径搬运玻璃基板。
[0040] 由上述本发明较佳实施例可知,应用本发明具有下列优点。本发明提供了一种玻璃基板搬运载具,可以解决因人工搬运而导致玻璃基板破片的情形,并且有效提升玻璃基板的检测效率。
[0041] 虽然本发明已以一较佳实施例揭露如上,然其并非用以限定本发明,任何本领域普通技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,当可作各种的更动与润饰,因此本发明的保护范围当视后附的权利要求书所界定的范围为准。

Claims (7)

1. 一种玻璃基板搬运载具,其特征在于,包含:一基座;一玻璃载台,用以吸附一玻璃基板; 一升降装置,设置于该基座与该玻璃载台之间; 一翻转机构,设置于该升降装置与该玻璃载台之间; 一旋转机构,设置于该翻转机构与该升降机构之间;以及一伸缩机构,设置于该翻转机构与该玻璃载台之间。
2.如权利要求1所述的玻璃基板搬运载具,其特征在于,还包含一移动机构,设置于该基座上。
3.如权利要求1所述的玻璃基板搬运载具,其特征在于,该玻璃载台还包含多个吸盘以及多个吸气孔。
4.如权利要求1所述的玻璃基板搬运载具,其特征在于,该升降机构为一气压缸、一油压缸,或一螺杆。
5.如权利要求1所述的玻璃基板搬运载具,其特征在于,该伸缩机构包含一轨道与一滑动件,该轨道延伸自该翻转机构,该滑动件设置于该轨道上并相对于该轨道滑动,该滑动件与该玻璃载台连接。
6.如权利要求1所述的玻璃基板搬运载具,其特征在于,还包含一太阳能电池,设置于该基座上。
7.如权利要求1所述的玻璃基板搬运载具,其特征在于,还包含一控制面板,以操控该玻璃基板搬运载具。
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