TW200837319A - Continuous baking furnace - Google Patents

Description

200837319 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於對電漿顯示面板（PDP，plasnm display Panel)用玻璃基板等處理對象物連續地進行均熱 (soaking)處理 '徐冷（anneaiing)處理及冷卻（c〇〇iing) 處理之連續式烘焙爐。 【先前技術】 r 連績式烘焙爐於爐内具有加熱室及徐冷室，且於爐外具 有冷部至。自加熱室經由徐冷室至冷卻室之間，配置有連 ，搬送處理對象物的搬送手段。作為搬送手段，眾所周知 的有將複數個輥子以等間隔配置之輥膛式（r〇ner hearth)連續式烘焙爐。 復數個輥子之兩端部自爐及冷卻室之侧壁的貫通孔露 出於外部’露出於外部之一端侧受供給驅動力而旋轉。作 為處理對象物之玻璃基板，藉由複數個輥子之旋轉，而以 載置於薄板狀托架上之狀態被搬送。 作為一例，玻璃基板，於加熱室内搬送之期間被升溫至 500〜600°C且保持既定的時間後（均熱處理），於徐冷室内 搬送之期間被降溫至35()〜·。c左右（徐冷處理）:於广 '室内搬送之期間被急冷直至可取出之溫度為止(冷卻處 ^人(例如，參照專利讀1)。於冷卻室具有水冷散孰片 式冷卻器、風機渡網機組(以下，稱# FFU =;片 水冷散熱片式冷卻器對處理對象物進行冷卻1。二 確保處理對象部所通過區域之潔淨度。 312/發明說明書(補件)抓〇9/96128399 6 200837319 (專利文獻1)日本專利特開2〇〇3— 148869號公報 【發明内容】 (發明所欲解決之問題） 然而，習知連續式烘梧爐之冷卻室所具有的水冷散孰片 式冷卻器及FFU，分別以單獨之用途而設計，並不能互動 地發揮作用。又，習知之冷卻室並不具有排氣手段，導入 至冷卻室内之冷卻空氣，與冷卻室内之氣體環境及玻璃基 、板進行熱父換後，分別自冷卻室之侧壁上所形成供棍子用 的複數個貫通孔排出至外部。雖外部氣體自FFU經由複數 個導入用導管局部性地導入冷卻室内，但有時於導入用導 官附近僅玻璃基板之一部分被急遽冷卻，從而產生局部性 龜曲或變形。 本發明之目的在於提供一種連續式烘焙爐，其於冷卻室 内設置有排氣導管，可藉由控制導入至冷卻室内後的冷卻 空氣之流路，而高效地冷卻玻璃基板等處理對象物之整個 ( 表面’而不會於處理對象物產生局部性翹曲或變形且可實 現冷卻處理之短時間化。 (解決問題之手段） 本發明之連續式烘焙爐，於加熱後之處理對象物沿著既 定搬送方向而搬入之冷卻室内的同一個内壁面上，具有導 入導管及排氣導管。導入導管於遍及垂直於搬送方向之方 向的整個區域上均勻地喷出冷卻氣體。排氣導管於遍及垂 直於搬送方向之方向的整個區域上均勻地排出氣體。導入 導管與排氣導管沿著搬送方向而配置。 312/發明說明書(補件)/96-09/96128399 7 200837319 該構成中，於冷卻室内，遍及垂直於搬送方向之爐 向的f個區域，沿著處理對象物之搬送方向均勾地形成有 冷部氣體之流路。冷卻氣體與冷卻室内所搬送之處理 物的整個表面均句地接觸，藉此，處理對象物之整個表面 被均勻地冷卻。 曾=该構成中，亦可將排氣導管配置於搬送方向上之導入 導官的上游側°藉此可使處理對象物與冷卻氣體高效地接 觸，並且可提高冷卻效率。 又，導入導官亦可將冷卻氣體喷出至朝向排氣導管之方 向。由此可高效地形成自導入導管朝向排氣導管的冷卻氣 體之流路。 進而，導入導管及排氣導管亦可配置於冷卻室之上側的 内壁面。藉此可使輥腔式之連續式烘培爐中，載置於托架 上之搬送處理對象物之上表面與冷卻氣體接觸而高效地 進行冷卻。 (發明效果） 根據本發明，可沿著處理對象物之搬送方向將冷卻氣體 之流路遍及爐寬方向之整個區域均勻地形成於冷卻室 内。可使冷卻氣體與於冷卻室内搬送之處理對象物的整個 表面均勻地接觸，從而可均勻地冷卻處理對象物之整個表 ，。藉此，不會於處理對象物產生局部性翹曲或變形且可 實現冷卻處理之短時間化。 【實施方式】 以下，參照圖式詳述本發明之具體實施形態。圖丨係表 312/發明說明書(補件)/96-09/96128399 〇 200837319 示本發明實施形態連續式 續式烘培爐^於㈤】、肉1、ί 例的侧面剖面圖。連 12、第2力二3 耆搬送方向Χ具有第1加熱室 室"的下;_至之爐、U’且於搬送方向Χ上徐冷 沿著搬送方^ γ、^、卜八有冷部室15。複數個輥子16 12笛。Μ等間隔旋轉自如地配置於第1加埶室 12三第2加熱室ls、徐冷室u、冷卻室& … 如^ ^熱室12進行第1升溫處理及第1均熱處理，例 ^。二加熱至35〇°C〜4〇〇°C ’維持該狀態20分 、 口…、室13進行第2升溫處理及第2均埶 =^4理對象物加熱至_力，維持該狀態％分鐘。 冷處理’例如用40分鐘將處理對象物冷 二老4〇0 C °冷卻室15進行冷卻處理，例如用大約50分 釦將處理對象物冷卻至常溫。 將貫通過爐11及冷卻室15之側壁的複數個親子16之 兩端部轴支撐於外部。複數個輥子16在其-端側受^ 驅動力而旋轉’沿著搬送方向X搬送載置於托架200之上 表面上的玻璃基板等處理對象物100。 圖2係上述連續式烘焙爐之冷卻室的側面剖面圖。圖 3(A)及⑻分別係圖2 + A—A位置及B—b位置之剖面 圖。冷部室15具有導入導管1及排氣導管2。導入導管i 及排氣導管2 ’例如於冷卻室15之上側的内壁面i5

Γ7 〇 J 於冷卻室15之上壁面配置有未圖示之水冷套，於上侧 之内壁面15A突出有複數個水冷散熱片15b。作為一例， 1 以發明說明書(補件)/%-〇9/96128399 〇 200837319 套以^水所流通之銅管捲繞成 熱水泥埋設於制 队心由今 為具疮士人 鏽鋼製之隔焰室内。水冷散熱片15B配置 二2二I I平订於搬送方向X，並促進冷卻室15内之環 兄；；-/、水冷套内之冷卻水進行熱交換。 = 具有複數對導入導管1及排氣導管2。 於搬送方向X:之d導管2中，排氣導管2例如配置 省 ' 卜 上之^入導管1之上游侧。 導入導管1具有過濾器17及風向板18。自t 藍潔淨空氣m h。一 u极u自未圖不之尚 花，糸/於乾餘空氣（CDA，clean dry air)哎者& 風機對導入導管]徂 之*气+ &庙 給工氣。過濾器17除去向下方通過 =才、勺塵埃。風向板18使來自導 贺出方向朝向_方向Χ之上游^ 的 供給至導入導瞢】 > g 1之工氣，由過濾器17除去塵埃後， ?至 幸月向搬送方向X之上游側喷出。導入導管 1於冷卻室15内说g + 士 守 ^ 5 , 垂直於搬送方向X之爐寬方向Y的 大致整個區域而開口， 命 而均句地喷出空氣。、及爐丸方向γ之大致整個區域 排乱‘ g 2具有風扇2卜風扇21將 氣經由排氣導管2内排屮 出外部。排氣導管2,於冷卻室 15内遍及爐寬方向γ ^ 心之空氣自域而開口，將冷卻室 自導入導们所噴出二大致整個區域而均句地排出。 表面流至搬送方向X之= ；；’沿著處理對象物100之上 U)〇^ μ -^ΓΛΛ 上游侧。排氣導管2主要將處理對 象物100之上方的空氣排出至外部。 312/發明說明書(補件)/96·09/96128399 200837319 由此，自導入導管1喷出後沿著處理對象物ι〇〇之上表 面流至搬送方向X之上游側的空氣，主要於與處理對象物 熱交換後’由排氣導管2排出至外部。於處理對象物 100之上方，自搬送方向x之下游側朝向上游側，於爐寬 方向Y之大致整個區域均勻地形成有冷卻氣體之流路。 於導入導官1及排氣導管2所開口之内壁面15A上突出 有水冷散熱片15B，自導入導管}所導入之空氣的流路與 f水冷散熱片15B之長度方向平行。所導入之空氣，於流過 處理對象物1〇〇之上方的期間由水冷散熱片15B冷卻，且 直至自排氣導管2排出為止之期間與處理對象物i 〇〇連續 進行熱交換。藉由導入導管丨及排氣導管2與水冷散熱片 15B之互動，而高效地冷卻處理對象物1 〇〇。 於冷卻室15内，處理對象物100藉由冷卻氣體而均勻 地冷卻整個上表面。藉此不會於處理對象物1 00產生翹曲 或變形’且可以短時間而冷卻處理對象物1 〇〇。 I 冷卻氣體於與處理對象物100之搬送方向相反的方向 流動’故可於冷卻氣體與處理對象物100之間的整個區域 有效地進行熱交換，且可藉由冷卻氣體而對處理對象物 10 0進行高效地冷卻。 不將處理對象物100載置於托架200上而直接用輥子 16挑c送之热托架式連續式烘培爐，亦可同樣地適用本發

明。 X 又’搬送方向X上的導入導管1與排氣導管2之間隔， 可根據處理對象物100之長度、冷卻室15之長度等而適 似發明說鴨(補件，⑽附那卯 η 200837319 當地設定。未必—定設置複數對導入導管1及排氣導管2。 於冷卻室15内配置有導入導管}及排氣導管2之面， 並未限定於上側之内壁面15A，只要是同一個面，亦可將 導入導管1及排氣導管2配置於其他面上。然而，若考慮 到與水冷散熱片15B之互動，及對在輥子16上搬送之處 理對象物100的冷卻效率，則將導入導管i及排氣導管2 配置於上側之内壁面15A者最有效〇 吕 中，所有方面均為 並非由上述實施形 。進而，本發明之 等之意思及範圍内

再者’應該認為上述實施形態之說明 例示’並非為限制者。本發明之範圍， 態而表示，而是由申請專利範圍而呈現 範圍中’意圖包含有與申請專利範圍均 之所有變化。 【圖式簡單說明】 之一例的侧 圖1係表示本發明實施形態連續式烘焙爐 面剖面圖。 现 圖2係上述連續式烘培爐之冷卻室的侧面剖面圖。 圖3(A)係目2巾A—A位置之剖面圓，⑻係圖"b 一 B位置之剖面圖。 【主要元件符號說明】 1 導入導管 2 排氣導管 10 連績式洪培 11 爐 12 第1加熱室 3 Π/發明說明書(補件)/96-09/96128399 12 200837319 13 第2加熱室 14 徐冷室 15 冷卻室 15A 内壁面 15B 水冷散熱片 16 輥子 17 過濾器 18 風向板 21 風扇 100 處理對象物 200 托架 312/發明說明書(補件)/96-09/96128399 13

Claims (1)

1. 200837319 十、申請專利範圍： 1 · 一種連續式烘培爐，其具有加熱後之處理對象物沿著 既定搬送方向而搬入之冷卻室， 上述冷卻室沿著上述搬送方向於同一個内壁面中具備 有·導入導管’其遍及垂直於上述搬送方向之方向的整個 區域而均勻地喷出冷卻氣體；以及排氣導管，其將上述冷 部至内之氣體遍及垂直於上述搬送方向之方向的整個區 域而均勻地排出。 2·如申請專利範圍第1項之連續式烘焙爐，其中， 上述排氣導管配置於上述搬送方向之上述導入導管的 上游側。 3·如申請專利範圍第2項之連續式烘焙爐，其中， 上述導入導官於上述冷卻室内將冷卻氣體喷出至朝向 上述排氣導管之方向。 4·如申請專利範圍第丨項之連續式烘培爐，其中， 上述&入導官於上述冷卻室内將冷卻氣體喷出至朝向 上述排氣導管之方向。 5·如申請專利範圍第1 i 4項中任—項之連續式烘培 爐，其中， 於上述冷卻室之上側的内壁面具有上述導入導管及上 述排氣導管。 3U/發明說明書(補件)/96-09/96128399 14