JP3961912B2 - 板状被処理物の強制冷却・加熱方法及び装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶表示器やプラズマディスプレイの如きフラットパネル表示器のフラットパネルの如き板状処理物を強制的に冷却または加熱する板状被処理物の強制冷却・加熱方法及び装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えば液晶表示器やプラズマディスプレイの如きフラットパネル表示器のフラットパネルの如き板状処理物を加熱処理の後に強制的に冷却または加熱する場合には、対向する内面が平行となっている処理室内に入口整流手段を経て所要温度の冷却風を層流として送り込み、処理室内に配置された板状被処理物の表面に沿って所要温度の冷却風を流して強制的に冷却または加熱していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の板状被処理物の強制冷却・加熱方法及び装置では、処理室内に所要温度の風を単に層流として送り込むだけであったので、処理室内で層流が乱されて乱流が発生し、板状被処理物の表面の各部を一様に冷却または加熱することができず、板状被処理物の各部の品質が一様にならない問題点があった。板状被処理物の各部の品質が一様にならないと、板状被処理物が例えばフラットパネル表示器のフラットパネルの場合には、使用時に色むらが発生する問題点があった。
【0004】
本発明の目的は、板状被処理物の各部を一様に冷却または加熱できる板状被処理物の強制冷却・加熱方法及び装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る板状被処理物の強制冷却・加熱方法は、対向する内面が平行となっている処理室内に該処理室の中間の送気部から所要温度の風を送り込み、処理室内に配置された板状被処理物の表面に沿って層流として該風を流せるように処理室の出口では送気部から送り込まれた風量とほぼ同量の風量を排気させることを特徴とする。
【0006】
このような方法によれば、処理室内で乱流が発生せずに、層流の状態で板状被処理物の表面に沿って所要温度の風を流して強制的に冷却または加熱を行うことができる。このため板状被処理物の各部を一様に冷却または加熱することができる。それ故、板状被処理物が例えばフラットパネル表示器のフラットパネルでも、使用時に色むらが発生することはない。
【0007】
また、本発明に係る板状被処理物の強制冷却・加熱装置は、対向する内面が平行となっている処理室内に該処理室の中間から所要温度の風を送り込む送気部と、該処理室内に配置された板状被処理物の表面に沿って層流として風を流せるように処理室の出口には送気部から送り込まれた風量とほぼ同量の風量を出口整流手段を経て排気する排気ファンが設けられていることを特徴とする。
【0008】
このように構成されていると、処理室内で乱流が発生せずに、層流の状態で板状被処理物の表面に沿って所要温度の風を流して強制的に冷却または加熱を行うことができる。このため板状被処理物の各部を一様に冷却または加熱することができる。それ故、板状被処理物が例えばフラットパネル表示器のフラットパネルでも、使用時に色むらが発生することはない。
【0009】
出口が対向して2つ設けられている場合には、これら2つの出口の排気ファンは送気部から送り込まれた風量の1/2の風量の排気を行うものであることが好ましい。このようになっていると、送気部の両側の出口に向かって風を、板状被処理物の表面に沿って層流として流すことができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
図1は本発明に係る板状被処理物の強制冷却・加熱装置の参考構成例を示す縦断面図である。
【0011】
本例の板状被処理物の強制冷却・加熱装置は、対向する内面1a,1bが平行となっている処理室2を備えている。この処理室2の入口2aには、該処理室2内に入口整流手段3を経て所要温度の風を層流として送り込む送風ファン4が複数台並設されている。風の温度は、事前に冷却または加熱してから送り込むようになっている。入口整流手段3は、板状部材に多数の整流孔を貫通させて形成されている。処理室2内には、板状被処理物5が、所定の高さで水平向きに並設された複数本の石英管の如き支持体6上に水平向きで置かれて配置されている。送風ファン4は、板状被処理物5を1秒以下の速度で通過できる風速の風を送り込めるようになっている。処理室2の出口2bには、処理室2の入口2aに送り込む風量とほぼ同量の風量を出口整流手段7を経て排気する複数台の排気ファン8が並設されている。出口整流手段7は、板状部材に多数の整流孔を貫通させて形成されている。また、処理室2内の対向内面1a,1bには、ジャケットよりなる冷却・加熱手段9a,9bがそれぞれ設けられている。処理室2内で対向内面1a,1bに直交する対向面にも、同様に冷却・加熱手段がそれぞれ設けられている。
【0012】
次に、上記参考構成例の板状被処理物の強制冷却・加熱装置を用いた第1例の板状被処理物の強制冷却・加熱方法について説明する。
【0013】
この板状被処理物の強制冷却・加熱方法では、対向する内面1a,1bが平行となっている処理室2内に、所要温度の風を入口2aから入口整流手段3を経て層流として送風ファン4で送り込む。この際に、送風ファン4は、板状被処理物5を1秒以下の速度で通過できる風速の風を送り込むようにする。一方、処理室2の出口2bでは、処理室2内の板状被処理物5の表面に沿って該風を層流として流せるように、入口2aに送り込む風量とほぼ同量の風量を出口整流手段7を経て排気ファン8で排気させる。
【0014】
このように処理室2の出口2bに、処理室2の入口2aに送り込む風量とほぼ同量の風量を出口整流手段7を経て排気する排気ファン8を設けると、処理室2内で乱流が発生せずに、層流の状態で板状被処理物5の表面に沿って所要温度の風を流して強制的に冷却または加熱を行うことができる。このため板状被処理物5の各部を一様に冷却または加熱することができる。それ故、板状被処理物5が例えばフラットパネル表示器のフラットパネルでも、使用時に色むらが発生することはない。
【0015】
また、処理室2内の対向内面に冷却・加熱手段9a,9bがそれぞれ設けられていると、冷却または加熱を一層効率よく行わせることができる。
【0016】
さらに、処理室2の入口2aに、板状被処理物5を1秒以下の速度で通過できる風速の風を送り込める送風ファン4が設けられていると、板状被処理物5に対する風の流れ方向の上手側で該板状被処理物5との熱交換の悪影響を受けることなく該板状被処理物5の下手側を該風で冷却または加熱することができて、板状被処理物5の各部を一様に冷却または加熱することができる。この場合、送風ファン4による風の風速は、板状被処理物5を1秒以下の速度で通過できる速さであれば、速い程よい。
【0017】
図2は本発明に係る板状被処理物の強制冷却・加熱装置の実施形態を示す縦断面図である。
【0018】
本例の板状被処理物の強制冷却・加熱装置は、対向する内面1a,1bが平行となっている処理室2を備えている。この処理室2内には、該処理室2の中間から所要温度の風を送り込む送気部10が設けられている。この送気部10は、内面1aに沿って所定間隔で配置された複数本の送風配管11により構成されている。これら送風配管11には、図示しないが所定間隔で送風ノズルが開口されている。処理室2には、送気部10を間にして対向する両側に2つの出口2bが設けられている。処理室2内には、所定の高さで水平向きに並設された複数本の石英管の如き支持体6が配置されている。これら支持体6上に板状被処理物5が載せられて配置されている。この処理室2内に配置された板状被処理物5の表面に沿って層流として所要温度の風を流せるように、処理室2の2つの出口2bには、送気部10から送り込まれた風量とほぼ同量の風量を出口整流手段7を経て排気する排気ファン8が複数台並設されている。これら2つの出口2bの排気ファン8は、送気部10から送り込まれた風量の1/2の風量の排気を行うようになっている。出口整流手段7は、板状部材に多数の整流孔を貫通させて形成されている。
【0019】
次に、この実施形態に係わる板状被処理物の強制冷却・加熱装置を用いた板状被処理物の強制冷却・加熱方法について説明する。
【0020】
この板状被処理物の強制冷却・加熱方法では、対向する内面1a,1bが平行となっている処理室2内に該処理室2の中間の送気部10から所要温度の風を送り込む。処理室2内に配置された板状被処理物5の表面に沿って層流として該風を流せるように処理室2の2つの出口2bでは、送気部10から送り込まれた風量とほぼ同量の風量を排気させる。
【0021】
このような方法及び装置でも、処理室2内で乱流が発生せずに、層流の状態で板状被処理物5の表面に沿って所要温度の風を流して強制的に冷却または加熱を行うことができる。このため板状被処理物5の各部を一様に冷却または加熱することができる。それ故、板状被処理物5が例えばフラットパネル表示器のフラットパネルでも、使用時に色むらが発生することはない。
【0022】
上記各例では、各装置及び板状被処理物5を水平向き(横向き)にして冷却・加熱を行うように記載したが、各装置及び板状被処理物5を垂直向き(縦向き)にして冷却・加熱することもできる。
【0023】
【発明の効果】
本発明に係る板状被処理物の強制冷却・加熱方法は、対向する内面が平行となっている処理室内に該処理室の中間の送気部から所要温度の風を送り込み、処理室内に配置された板状被処理物の表面に沿って層流として該風を流せるように処理室の出口では送気部から送り込まれた風量とほぼ同量の風量を排気させるので、処理室内で乱流が発生せずに、層流の状態で板状被処理物の表面に沿って所要温度の風を流して強制的に冷却または加熱を行うことができる。このため板状被処理物の各部を一様に冷却または加熱することができる。それ故、板状被処理物が例えばフラットパネル表示器のフラットパネルでも、使用時に色むらが発生することはない。
【0024】
また、本発明に係る板状被処理物の強制冷却・加熱装置は、対向する内面が平行となっている処理室内に該処理室の中間から所要温度の風を送り込む送気部と、該処理室内に配置された板状被処理物の表面に沿って層流として風を流せるように処理室の出口には送気部から送り込まれた風量とほぼ同量の風量を出口整流手段を経て排気する排気ファンを設けているので、処理室内で乱流が発生せずに、層流の状態で板状被処理物の表面に沿って所要温度の風を流して強制的に冷却または加熱を行うことができる。このため板状被処理物の各部を一様に冷却または加熱することができる。それ故、板状被処理物が例えばフラットパネル表示器のフラットパネルでも、使用時に色むらが発生することはない。
【0025】
出口が対向して2つ設けられている場合には、これら2つの出口の排気ファンを、送気部から送り込まれた風量の1/2の風量の排気を行うものとすると、送気部の両側の出口に向かって風を、板状被処理物の表面に沿って層流として流すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る板状被処理物の強制冷却・加熱装置の参考構成例を示した縦断面図である。
【図2】 本発明に係る板状被処理物の強制冷却・加熱装置の実施形態を示した縦断面図である。
【符号の説明】
1a,1b 内面
2 処理室
3 入口整流手段
4 送風ファン
5 板状被処理物
6 支持体
7 出口整流手段
8 排気ファン
9a,9b 冷却・加熱手段
10 送風部
11 送風配管
Claims (3)
- 対向する内面が平行となっている処理室内に該処理室の中間の送気部から所要温度の風を送り込み、前記処理室内に配置された板状被処理物の表面に沿って層流として前記風を流せるように前記処理室の出口では前記送気部から送り込まれた風量とほぼ同量の風量を排気させることを特徴とする板状被処理物の強制冷却・加熱方法。
- 対向する内面が平行となっている処理室内に該処理室の中間から所要温度の風を送り込む送気部と、前記処理室内に配置された板状被処理物の表面に沿って層流として前記風を流せるように前記処理室の出口には前記送気部から送り込まれた風量とほぼ同量の風量を出口整流手段を経て排気する排気ファンが設けられていることを特徴とする板状被処理物の強制冷却・加熱装置。
- 前記出口は対向して2つ設けられ、これら2つの出口の前記排気ファンは前記送気部から送り込まれた風量の1/2の風量の排気を行うものであることを特徴とする請求項2に記載の板状被処理物の強制冷却・加熱装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002250360A JP3961912B2 (ja) | 2002-08-29 | 2002-08-29 | 板状被処理物の強制冷却・加熱方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002250360A JP3961912B2 (ja) | 2002-08-29 | 2002-08-29 | 板状被処理物の強制冷却・加熱方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004085157A JP2004085157A (ja) | 2004-03-18 |
JP3961912B2 true JP3961912B2 (ja) | 2007-08-22 |
Family
ID=32057212
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002250360A Expired - Fee Related JP3961912B2 (ja) | 2002-08-29 | 2002-08-29 | 板状被処理物の強制冷却・加熱方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3961912B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4583255B2 (ja) * | 2005-06-23 | 2010-11-17 | 株式会社神戸製鋼所 | 熱処理炉の使用方法 |
DE102006037703B4 (de) * | 2006-08-11 | 2013-04-18 | Eisenmann Ag | Heißluftofen |
JP5041900B2 (ja) * | 2007-07-12 | 2012-10-03 | エスペック株式会社 | 板状体冷却装置、熱処理システム |
JP5444604B2 (ja) * | 2007-10-12 | 2014-03-19 | 住友金属鉱山株式会社 | 酸化物粉末の製造方法、酸化イリジウム粉の製造方法 |
CN114217678B (zh) * | 2021-11-01 | 2024-03-12 | 浙江大华技术股份有限公司 | 一种服务器 |
-
2002
- 2002-08-29 JP JP2002250360A patent/JP3961912B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004085157A (ja) | 2004-03-18 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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