MX2011000253A - Dispositivo para el tratamiento termico de piezas de trabajo. - Google Patents

Abstract

La invención se refiere a un dispositivo para el tratamiento térmico de piezas de trabajo, en particular placas de circuito impreso o similares equipadas con componentes eléctricos y electrónicos, comprendiendo dicho dispositivo una cámara de procedimiento (1) en la que está formada o dispuesta al menos una zona de calentamiento o zona de enfriamiento que tiene un dispositivo de calentamiento o un dispositivo de enfriamiento y a través de la cual se transportan las piezas de trabajo a lo largo de una sección de transporte mientras se calientan o se enfrían, en la que puede introducirse un fluido gaseoso presurizado en la zona de calentamiento o la zona de enfriamiento por medio de aberturas de flujo de entrada (18).

Description

'DISPOSITIVO PARA EL TRATAMIENTO TÉRMICO DE PIEZAS DE TRABAJO' CAMPO DE LA INVENCIÓN La presente invención se refiere a un dispositivo para el tratamiento térmico de piezas de trabajo según el preámbulo de la reivindicación de patente 1.

ANTECEDENTES DE LA INVENCIÓN Como se sabe a partir de las instalaciones de soldadura de reflujo mostradas en el estado de la técnica, varias cámaras de procedimiento dispuestas sucesivamente que tengan zonas de calentamiento o zonas de enfriamiento se calientan para alcanzar una temperatura preestablecida respectivamente, en la que se proporcionan en particular una zona de precalentamiento, una zona de reflujo y una zona de enfriamiento con el fin de exponer el componente o la placa de circuito impreso que se soldará a diferentes temperaturas, Es práctica común suministrar el calor de un elemento de calentamiento a los componentes que se soldarán por medio de convección y usando soplantes de tal manera que por los componentes pase un flujo de aire templado. La transferencia de calor a las placas de circuito impreso es esencialmente dependiente de la temperatura y la velocidad de flujo del gas dentro de la cámara de procedimiento. Los motores de los soplantes de dichos módulos de convección están regulados en rpm (revoluciones por minuto) con el fin de que puedan controlar las velocidades de transferencia de calor. La generación del flujo de aire usando soplantes puede considerarse constituyente de una técnica de alta complejidad, en la que en particular en el caso de altas velocidades de flujo se encuentra un inconveniente con respecto a la eficacia de dichos sistemas.

Módulos de calentamiento adicionales para instalaciones de soldadura conocidos en la técnica presentan emisores de infrarrojo de onda media a onda larga. Dichos módulos de precalentamiento calientan los componentes por medio de transferencia de calor por radiación. Un inconveniente de dichas casetes de calentamiento reside en la eficacia de la transferencia de energía.

Por otra parte, el documento DE-202-03.599-U1 desvela un dispositivo para soldadura de reflujo, en el que la estructura de componentes que se soldará es transportada a lo largo de un plano de transporte a través de una zona de calentamiento. Sobre el plano de transporte, se proporciona una boquilla que tiene una abertura de boquilla en forma de ranura y una sección transversal en forma de ranura que se corresponde esencialmente con la anchura de la estructura de componentes. El chorro de gas de procedimiento se ensancha por medio de una superficie deflectora que se encuentra a una distancia de la abertura de boquilla. En este dispositivo, el gas de procedimiento sirve para suministrar al componente la cantidad de calor necesaria. Esta medida se ve obstaculizada por la desventaja de que es necesario introducir una cantidad muy grande de gas de procedimiento en la cámara de procedimiento.

BREVE DESCRIPCIÓN DE LA INVENCIÓN A partir de este estado de la técnica, un objetivo de la presente invención es proporcionar un dispositivo para el tratamiento térmico de piezas de trabajo, por medio del cual puede superarse el inconveniente encontrado en el estado de la técnica con el fin de permitir en particular una transferencia de calor más eficaz.

Según la invención, este objetivo se logra con un dispositivo según las enseñanzas de la reivindicación de patente 1.

Las realizaciones preferidas de la invención constituyen el asunto de las reivindicaciones dependientes.

En primer lugar, de una manera conocida de por sí, el dispositivo para el tratamiento térmico de piezas de trabajo, en particular placas de circuito impreso o similares equipadas con componentes eléctricos o electrónicos, comprende una cámara de procedimiento en la que está formada o dispuesta al menos una zona de calentamiento o zona de enfriamiento que tiene un dispositivo de calentamiento o un dispositivo de enfriamiento. A este respecto, es posible transportar piezas de trabajo a lo largo de una sección de transporte a través de dichas zonas mientras se calientan o se enfrían. Dichos dispositivos presentan preferentemente una configuración modular, en la que los módulos de enfriamiento y los módulos de calentamiento pueden disponerse en sucesión. De esta forma, un componente que es transportado a lo largo de las diferentes zonas de enfriamiento o zonas de calentamiento puede calentarse o enfriarse de forma correspondiente. La temperatura que prevalece en los diferentes módulos se mide usando sensores de temperatura o pirómetros, y de esta forma puede controlarse.

Según la invención, puede introducirse un fluido gaseoso presurizado en las zonas de calentamiento o las zonas de enfriamiento por medio de aberturas de flujo de entrada. En este procedimiento, el fluido gaseoso se insufla a alta velocidad a través de las aberturas de flujo de entrada en la forma de un flujo de volumen que es pequeño en relación con el volumen de la cámara de procedimiento, y, en la región de las aberturas de flujo de entrada, lleva consigo la atmósfera del gas ambiental a la cámara de procedimiento. Este flujo de volumen, mayor y en particular fuertemente en remolino, soporta en particular la transferencia de calor radiante desde el dispositivo de calentamiento o enfriamiento a los componentes y a la inversa con la ayuda de una transferencia de calor convectiva adicional. En consecuencia, dicho dispositivo permite un aumento en la eficacia de la transferencia de calor aumentando la cantidad de calor transferido mediante la introducción de un gas que usa convección. A este respecto, en el caso más sencillo, el fluido gaseoso puede estar compuesto por aire comprimido o incluso también por un gas inerte o cualquier otro gas de procedimiento común que se introduzca en la cámara de procedimiento por medio de las aberturas de flujo de entrada. Debido al pequeño flujo de volumen, la temperatura del gas no tiene relevancia clave. Así, en particular, puede emplearse aire comprimido no precalentado de un depósito de aire comprimido. El gas sirve simplemente para la finalidad de poner en movimiento el gas contenido en la cámara.

Preferentemente, las aberturas de flujo de entrada están dispuestas al menos en una sección de tubo que está conectada a una fuente de fluido presurizado. Las aberturas de flujo de entrada pueden estar hechas en la forma de una boquilla y pueden generar el tipo de flujo correspondiente a sus aberturas. La provisión se realiza de forma ilustrativa para someter la fuente de fluido a presión usando un compresor o un recipiente de gas presurizado u otro medio para conectar la fuente de fluido con una red disponible de aire comprimido.

Según otra realización ilustrativa preferida, la provisión se realiza disponiendo las aberturas de flujo de entrada al menos en una pared de una cámara hueca que está conectada a una fuente de fluido presurizado. En este contexto, la cámara hueca puede disponerse en cualquier posición arbitraria en la cámara de procedimiento de manera que el fluido pueda ser suministrado virtualmente a todas las posiciones opcionales en la cámara de procedimiento por medio de las aberturas de flujo de entrada en la pared o en las paredes de la cámara hueca. Según otra realización, sin embargo, se hace la provisión para la pared, que tiene las aberturas de flujo de entrada, formando una parte de la pared exterior de la cámara de procedimiento.

La disposición de las secciones de tubo es básicamente opcional y es esencialmente contingente en lo que respecta a la posición de la cámara de procedimiento a la que deberá transportarse el fluido que va a introducirse. Para concentrar en particular el flujo en la región de la sección de transporte, según una realización ilustrativa preferida, se proporciona una pluralidad de secciones de tubo dispuestas en la cámara de procedimiento, que se extienden sustancialmente en paralelo a la sección de transporte. Aquí, las secciones de tubo pueden disponerse en sucesión y/o lado a lado.

Según otra realización ilustrativa preferida, se hace una provisión para disponer las secciones de tubo sustancialmente transversales a o en un ángulo con la dirección de transporte de las piezas de trabajo.

A este respecto, las piezas de trabajo transportadas pueden suministrarse con un tipo diferente de gas desde diferentes secciones de tubo, por ejemplo en diferentes regiones de la cámara de procedimiento.

La disposición de las aberturas de flujo de entrada en las secciones de tubo es también básicamente opcional. Así, las aberturas pueden disponerse, por ejemplo, en las secciones de tubo de manera que estén distribuidas estadísticamente. Sin embargo, según una realización ilustrativa de la invención, las aberturas de flujo de entrada están dispuestas en las secciones de tubo de manera que están colocadas linealmente en sucesión con el fin de asegurar una distribución de flujo uniforme y, con ello, una convección uniforme.

Alternativamente, las aberturas de flujo de entrada pueden disponerse, por ejemplo, lado a lado o bien pueden estar desplazadas en un ángulo entre sí. Así, puede obtenerse una característica de flujo más extensa, que hace posible alcanzar partes mayores de la cámara de procedimiento por medio de un flujo mayor del volumen de gas.

Preferentemente, la distancia entre secciones de tubo respectivamente adyacentes es 10 mm y 100 mm, en las que, por una parte, puede generarse un volumen de gas suficientemente grande, y al mismo tiempo, se permite que se emita una cantidad suficiente de calor radiante entre las secciones de tubo. Para este fin, las secciones de tubo están dispuestas, por ejemplo, en paralelo.

La distancia de las secciones de tubo desde las piezas de trabajo que se tratarán térmicamente está preferentemente entre 20 mm y 50 mm.

Según otra realización, se hace una provisión para disponer las secciones de tubo de manera que sean ajustables en su distancia entre sí y/o en su distancia a las piezas de trabajo que se tratarán. Esto puede conseguirse, por ejemplo, usando un dispositivo de ajuste accionado manualmente o activado por motor que puede controlarse o regularse adicionalmente en función de parámetros de procedimiento, como la temperatura de la atmósfera dominante en la cámara de procedimiento o similares.

Según otra realización preferida, se hace una provisión para disponer las secciones de tubo de manera que puedan girar alrededor de su eje longitudinal. De este modo, puede ajustarse de manera simple la dirección del volumen de flujo.

El diámetro de las aberturas de flujo de entrada se ajustará en particular en consideración de la vía de trayectoria, la presión del gas y la distancia de las aberturas de flujo de entrada entre sí. Preferentemente, el diámetro está entre 2 mm y 0,01 mm, en particular entre 0,5 mm y 0,05 mm. Así, es posible asegurar un consumo de gas reducido y un flujo de volumen del fluido de entrada que sea suficientemente pequeño con respecto al volumen de la cámara de procedimiento. El gas de entrada es capaz de transportarse a lo largo de la atmósfera ambiente en la cámara de procedimiento y, en consecuencia, puede provocar un flujo de gas relativamente grande a las piezas de trabajo. Los pequeños diámetros sugeridos hacen posible que el gas de entrada alcance altas velocidades de flujo sujeto a una reducción del consumo de gas. En este procedimiento, el flujo de gas no introduce ninguna cantidad de calor en la cámara, sino que más bien soporta únicamente la transferencia de calor desde la atmósfera gaseosa del procedimiento calentada que impera en la cámara de procedimiento a la pieza de trabajo. Así, puede realizarse una transferencia de calor convectiva además de la transferencia de calor radiante.

La distancia entre aberturas respectivamente adyacentes de flujo de entrada está preferentemente entre 5 mm y 100 mm.

Según otra realización preferida ilustrativa, se hace una provisión para el diferencial de presión entre la cámara de procedimiento y el fluido presurizado que está entre 1 bar y 50 bar (100 kPa y 5000 kPa). Así, pueden generarse altas velocidades de flujo por medio de las aberturas de flujo de entrada en la cámara de procedimiento, que forman la base para un alto grado de turbulencia, un gran flujo de volumen eficaz en las piezas de trabajo que se tratarán y, así, una alta transferencia de energía convectiva. Esta región de presión permite adicionalmente una alta profundidad de flujo de entrada y variabilidad de la misma.

El tipo de dispositivo de calentamiento o dispositivo de enfriamiento es ¡rrelevante para la naturaleza de la invención. Sin embargo, según una realización ilustrativa, el dispositivo de calentamiento o el dispositivo de enfriamiento tienen al menos un elemento de calentamiento de paneles o elemento de enfriamiento de paneles, estando las secciones de tubo dispuestas entre la pieza de trabajo y el elemento de calentamiento de paneles o el elemento de enfriamiento de paneles. Aquí, en el caso más simple, una región de pared de la cámara de procedimiento puede servir también como elemento de calentamiento de paneles y, en consecuencia, se calienta desde el exterior o incluso tiene un elemento de calentamiento de infrarrojo.

Según otra realización, el dispositivo de calentamiento o el dispositivo de enfriamiento presenta al menos un elemento de calentamiento o elemento de enfriamiento tubular o en forma de varilla. En el caso más sencillo, estos elementos pueden ser tubos que tienen vapor supercalentado, agua caliente o un medio de enfriamiento que circula a su través. Aquí, los elementos de calentamiento o los elementos de enfriamiento pueden disponerse entre las secciones de tubo, entre las secciones de tubo y las piezas de trabajo que se tratarán o incluso entre las secciones de tubo y una pared de la cámara de procedimiento.

BREVE DESCRIPCIÓN DE LOS DIBUJOS En lo sucesivo, se describirá el dispositivo de la invención con mayor detalle con referencia a los dibujos, que ilustran sólo realizaciones preferidas.

En los dibujos: La figura 1 muestra una cámara de procedimiento que tiene secciones de tubo dispuestas encima y debajo y dispuestas lado a lado, y que tiene elementos de calentamiento o elementos de enfriamiento; La figura 2 muestra una cámara de procedimiento que tiene secciones de tubo dispuestas encima y debajo y dispuestas lado a lado, y que tiene elementos de calentamiento o elementos de enfriamiento dispuestos a una distancia variable al plano de transporte; La figura 3 muestra una cámara de procedimiento que tiene secciones de tubo dispuestas encima y debajo y dispuestas lado a lado, y que tiene elementos de calentamiento o elementos de enfriamiento, en el que los elementos de calentamiento están apantallados parcialmente con la ayuda de un elemento reflector; La figura 4 muestra una cámara de procedimiento que tiene un elemento de calentamiento de paneles en el que se proporcionan varias aberturas de flujo de entrada; La figura 5 muestra un corte a través de una sección de tubo con dos aberturas de flujo de entrada; La figura 6 muestra un corte a través de una sección de tubo con una abertura de flujo de entrada; La figura 7 muestra un módulo con un registro compuesto por secciones de tubo y un dispositivo de calentamiento o un dispositivo de enfriamiento; La figura 8 muestra una vista en sección transversal de la disposición de un registro compuesto por secciones de tubo y elementos de calentamiento o elementos de enfriamiento del módulo ilustrado en la fig. 7; La figura 9 muestra la disposición de las secciones de tubo en la dirección de la sección de transporte; La figura 10 muestra la disposición de las secciones de tubo ortogonalmente a la dirección de la dirección de transporte; y La figura 11 muestra la disposición de varios registros de tubos y elementos de calentamiento o elementos de enfriamiento a lo largo de una sección de transporte.

DESCRIPCIÓN DETALLADA DE LAS REALIZACIONES PREFERIDAS DE LA INVENCIÓN La cámara de procedimiento 1 ilustrada en la fig. 1 está atravesada centralmente por una unidad de transporte 2, que entra en la cámara de procedimiento 1 por medio de una primera abertura de cámara 3 hasta que la unidad de transporte 2 sale de la cámara de procedimiento por medio de la segunda abertura de cámara 4. En la cámara de procedimiento , se proporcionan secciones de tubo 5, a partir de las cuales fluye un flujo de gas 6 al eje de la cámara, respectivamente encima y debajo de manera que estén opuestas entre sí. Además de una sección de tubo 5, se hace una provisión para disponer alternativamente, respectivamente, un elemento de calentamiento, a partir del cual se emite radiación de calor 8 equitativamente hacia el centro de la cámara, que se representa por el vector curvo. La disposición alternativa de elementos de emisión de calor 7 y secciones de tubo 5 potencia la eficacia de la transferencia de calor a un componente. Este componente es transportado a lo largo de la sección de transporte a través de la cámara de procedimiento 1 usando la unidad de transporte 2 y además es calentado por el flujo de gas 6, que ha sido calentado a través del contacto con los elementos emisores de calor 7 o con las superficies tratadas por los mismos dentro de la cámara de procedimiento.

La fig. 2 representa la disposición variable de los elementos de calentamiento 7 y las aberturas de flujo de entrada 5 con respecto a la sección de transporte de la unidad de transporte 2. Para este fin, una cámara de procedimiento 1 se mueve a través de una unidad de transporte 2 desde una primera abertura de cámara 3 a una segunda abertura de cámara 4, en la que en una primera sección, las aberturas de flujo de entrada 5 y los elementos de calentamiento 7 están dispuestos en una primera posición 9 que se encuentra más cerca de la sección de transporte, y en otra sección, las aberturas de flujo de entrada 5 y los elementos de calentamiento 7 están dispuestos en una segunda posición 10 que está situada a una distancia mayor con respecto a la sección de transporte. También es claramente visible en este caso que la distancia lateral de los elementos de calentamiento 7 y las secciones de tubo 5 es también variable, ya que la distancia entre dos secciones de tubo 5 tiene una primera anchura 1 1 y una segunda anchura 12.

La fig. 3 muestra otra opción para manipular la radiación de calor 8. Para este fin, en una cámara de procedimiento 1 que es atravesada por una unidad de transporte 2 desde una primera abertura de cámara 3 a una segunda abertura de cámara 4, se dispone alternativamente un elemento de calentamiento 7 adyacente a cada elemento de entrada 5. Además, se proporcionan elementos reflectores 13 que están situados entre los elementos de calentamiento 7 y la sección de transporte de la unidad de transporte 2 y que, de esta forma, desvían lateralmente la radiación de calor 8 emitida por los elementos de calentamiento 7, lo que da como resultado una cantidad mayor de la radiación de calor 8 que se permite que alcance directamente las secciones de tubo 5 y las aberturas de flujo de entrada dispuestas en las mismas. De esta forma, el flujo de gas 6 puede calentarse eficazmente y puede moverse esta cantidad absorbida de calor a la unidad de transporte 2 y un componente dispuesto en la misma.

La fig. 4 muestra otra opción para calentar el flujo de gas 6 con una variación del flujo. Para este fin, se dispone un elemento de calentamiento de paneles 14 en la cámara de procedimiento 1 en paralelo a la dirección de la sección de transporte de la unidad de transporte 2 en las paredes de la cámara de procedimiento 1 , emitiendo dicho elemento de calentamiento de paneles 14 uniformemente la radiación de calor en la cámara de procedimiento 1. Las aberturas de flujo de entrada 5 se proporcionan por delante del elemento de calentamiento de paneles 14 con el fin de mover la cantidad de calor emitida por el elemento de calentamiento de paneles 14 a la unidad de transporte 2. El chorro de gas 6 que circula desde las secciones de tubo 5 se divide en un primer chorro parcial 15 y un segundo chorro parcial 16, con lo que puede obtenerse una distribución más ancha del flujo de gas y así, un flujo de volumen mayor.

La fig. 5 muestra un corte a través de una sección de tubo 5 que tiene una abertura de flujo de entrada 18 y una abertura de flujo de entrada adicional 19 dispuesta de modo adyacente. De esta forma, el flujo de gas se divide en un primer chorro parcial 15 y un segundo chorro parcial 16. Esta configuración de un chorro de gas de procedimiento dividido está indicada también, por ejemplo, en la fig. 4. El diámetro exterior 20 y el diámetro interior 21 representan parámetros no ambiguos para la sección de tubo, ya que con estos parámetros, en el caso de una presión de gas establecida de manera fija, pueden manipularse la velocidad de flujo o el tipo de flujo.

La fig. 6 muestra un corte a través de una sección de tubo 5 que tiene sólo una abertura de flujo de entrada 18, que genera sólo un primer chorro parcial 17. Esto es desventajoso en particular para flujos que se generen en posiciones específicas.

La fig. 7 muestra un módulo de la invención, en el que una fuente de fluido presurizado 22 está conectada al registro de un tubo que está compuesto por cinco secciones de tubo 2. De cada sección de tubo 5 fluye un fluido gaseoso. Además, se ilustra una bobina de calentamiento como elemento de calentamiento 7 y se extiende esencialmente sobre la superficie del registro del tubo. La fuente de fluido presurizado 22 ilustrada hace posible que el módulo realice una distribución uniforme de la presión de gas en las diferentes secciones de tubo 5.

La fig. 8 muestra un corte a través del módulo ilustrado en la fig. 7, en el que un primer chorro parcial 15 y un segundo chorro parcial 16 fluyen desde las secciones de tubo 5 y son calentados por el calor emitido por los elementos de calentamiento 7. Además, se proporcionan elementos del reflector 13, que sirven para mover el calor eficazmente a las secciones de tubo 5.

Las fig. 9 y 10 muestran la disposición de las secciones de tubo 5 con respecto a la dirección de la sección de transporte 23 de la unidad de transporte 2. La fig. 9 muestra de forma correspondiente la disposición de las secciones de tubo 5 en paralelo con la dirección de la sección de transporte 23 de la unidad de transporte 2. La disposición de las aberturas de flujo de entrada 5 se ilustra de forma correspondiente en un ángulo recto transversal a la dirección de la sección de transporte 23.

La fig. 11 muestra el diseño de un dispositivo de soldadura que tiene varios módulos de calentamiento o módulos de enfriamiento dispuestos lado a lado, según se describe en la fig. 7. Para este fin, una cámara de procedimiento 1 está compuesta por ocho módulos, cada uno de los cuales presenta un registro compuesto por secciones de tubo 5 y un elemento de calentamiento 7 en forma de una bobina de calentamiento. Estos módulos pueden conectarse a una fuente de fluido presurizado por medio de un elemento de conexión 24 y pueden conectarse a un dispositivo de calentamiento por medio de un conector 25.

Debe observarse que la realización de la invención no está confinada a las realizaciones ilustrativas descritas en las fig. 1 a 11 , sino que puede implementarse asimismo una pluralidad de variaciones. En particular, el tipo y la disposición de los elementos de calentamiento y los elementos de enfriamiento, así como la disposición de la unidad de transporte y la geometría de la cámara de procedimiento, pueden diferir de los dispositivos ilustrados.

Por ello, la invención hace una contribución importante a la mejora de la eficacia del transporte de calor en dispositivos de soldadura, ya que además de la radiación de calor, la cantidad de calor transferida aumenta por el flujo de fluido calentado.

Lista de números de referencia 01 Cámara de procedimiento 02 Unidad de transporte 03 Primera abertura de cámara 04 Segunda abertura de cámara 05 Sección de tubo 06 Flujo de gas 07 Elemento de calentamiento 08 Radiación de calor 09 Primera posición 10 Segunda posición 11 Primera anchura 12 Segunda anchura 13 Elemento reflector 14 Elemento de calentamiento de paneles 15 Primer chorro parcial 16 Segundo chorro parcial 17 Chorro simple 18 Abertura de flujo de entrada 19 Abertura de flujo de entrada adicional 20 Diámetro exterior 21 Diámetro interior 22 Fuente de fluido presurizado 23 Dirección de transporte 24 Conector a fuente de fluido presurizado 25 Conector a dispositivo de calentamiento

Claims (17)

REIVINDICACIONES

1. Dispositivo para el tratamiento térmico de piezas de trabajo, en particular placas de circuito impreso o similares equipadas con componentes eléctricos y electrónicos, comprendiendo dicho dispositivo una cámara de procedimiento (1) en la que está formada o dispuesta al menos una zona de calentamiento o zona de enfriamiento que tiene un dispositivo de calentamiento o un dispositivo de enfriamiento y a través de la cual las piezas de trabajo son transportadas a lo largo de una sección de transporte mientras se calientan o se enfrían, caracterizado porque puede introducirse un fluido gaseoso presurizado en la zona de calentamiento o la zona de enfriamiento por medio de aberturas de flujo de entrada (18).

2. Dispositivo según la reivindicación 1 , caracterizado porque las aberturas de flujo de entrada (18) están dispuestas al menos en una sección de tubo (5) que está conectada a una fuente de fluido presurizado (22).

3. Dispositivo según la reivindicación 1 , caracterizado porque las aberturas de flujo de entrada (18) están dispuestas al menos en una pared de una cámara hueca que está conectada a una fuente de fluido presurizado (22).

4. Dispositivo según la reivindicación 3, caracterizado porque la pared forma una parte de la pared exterior de la cámara de procedimiento (1 ).

5. Dispositivo según la reivindicación 2, caracterizado porque una pluralidad de secciones de tubo (5) están dispuestas en la cámara de procedimiento (1) y se extienden sustancialmente en paralelo a la dirección de transporte (23) de las piezas de trabajo.

6. Dispositivo según la reivindicación 2, caracterizado porque una pluralidad de secciones de tubo (5) están dispuestas en la cámara de procedimiento (1) y se extienden sustancialmente en transversal a o en un ángulo con la dirección de transporte (23) de las piezas de trabajo.

7. Dispositivo según la reivindicación 2, 5 ó 6, caracterizado porque las aberturas de flujo de entrada (18) están dispuestas en las secciones de tubo (5) de manera que estén dispuestas linealmente en sucesión y separadas entre sí.

8. Dispositivo según la reivindicación 2 ó 5 a 7, caracterizado porque las aberturas de flujo de entrada (18) están dispuestas en las secciones de tubo (5) lado a lado o están desplazadas en un ángulo entre sí.

9. Dispositivo según cualquiera de las reivindicaciones 5 a 8, caracterizado porque la distancia entre secciones de tubo (5) adyacentes respectivamente está entre 10 mm y 100 mm.

10. Dispositivo según cualquiera de las reivindicaciones 5 a 9, caracterizado porque la distancia de las secciones de tubo (5) desde las piezas de trabajo que se tratarán está entre 20 mm y 50 mm.

11. Dispositivo según cualquiera de las reivindicaciones 5 a 10, caracterizado porque las secciones de tubo (5) pueden ajustarse en su distancia entre sí y/o en su distancia desde las piezas de trabajo que se tratarán.

12. Dispositivo según cualquiera de las reivindicaciones 5 a 11, caracterizado porque las secciones de tubo (5) pueden girarse alrededor de su eje longitudinal.

13. Dispositivo según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 12, caracterizado porque el diámetro de las aberturas de flujo de entrada (18) está entre 2 mm y 0,01 mm, en particular entre 0,5 mm y 0,05 mm.

14. Dispositivo según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 13, caracterizado porque la distancia entre aberturas de flujo de entrada (18) respectivamente adyacentes está entre 5 mm y 100 mm.

15. Dispositivo según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 14, caracterizado porque el diferencial de presión entre la cámara de procedimiento (1) y el fluido presurizado (22) está entre 1 bar y 50 bar (100 kPa y 5000 kPa).

16. Dispositivo según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 15, caracterizado porque el dispositivo de calentamiento o el dispositivo de enfriamiento tienen al menos un elemento de calentamiento de paneles o elemento de enfriamiento de paneles (14), que está dispuesto en el lateral de las secciones de tubo (5) que está opuesto a las piezas de trabajo que se tratarán.

17. Dispositivo según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 16, caracterizado porque el dispositivo de calentamiento o el dispositivo de enfriamiento tiene al menos un elemento de calentamiento o elemento de enfriamiento tubular o en forma de varilla (7), que está dispuesto en el lado de las secciones de tubo (5) que está opuesto a las piezas de trabajo que se tratarán, entre las secciones de tubo (5) y las piezas de trabajo que se tratarán o incluso entre secciones de tubo adyacentes (5).