TW200416910A - Board conveyance apparatus, component mounting apparatus, and board conveyance method in component mounting - Google Patents

Description

200416910 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 發明領域 本發明係有關於一種可於進行朝基板安裝複數零件以將 5該基板加工成業經零件安裝之基板之零件安裝時，實施前述基 板之供給以及前述業經零件安裝之基板之撤出之基板運送裝 置、具有該基板運送裝置之零件安裝裝置及用於前述零件安裝 之基板運送方法。 10 【关 發明背景 以往，此類零件安裝裝置有各種構造不同者為業界所熟 知。舉例g之，有一種構成如第1 〇圖所示者（參照諸如日本專利 公開公報特開平7-303000號）。 15 如第10圖所示，231係用以將1C裸晶片等零件232安裝於基 板233上之零件安裝裝置，其基台234上之圖示後部（裏側）配設 有可保持零件232而朝基板233加以安裝之安裝頭235，以及可 支持該安裝頭235以令其朝圖示χ軸方向前後移動之X軸機器人 236。X軸機器人236之下方之基台234上配設有可朝γ軸方向移 20動之滑動載台237，該滑動載台237上則設置有f供配置基板 233並予以保持之支持台238。又，基台234之圖示χ軸方向上之 右側端部則設置有用以收納複數零件232而可加以供出之零件 供給部249。 又，於基台234上之滑動載台237之圖示前部（近側又置有 5 可沿圖示X軸方向運送基板233之基板運送裝置241，基板運送 裝置241則包含：可自基台234之沿行圖示X軸方向之右側端部 運送基板233至滑動載台237，再朝滑動載台237上之支持台238 供給該基板233之裝載具239 ;及，可自滑動載台237運送基板 233至基台234之沿行圖示X軸方向之左側端部，再自滑動載台 237上之支持台238撤除該基板233之卸載具240。 以下，就上述零件安裝裝置231之安裝動作加以說明。首 先，對位於裝載具239及卸載具240之間而已藉滑動載台237而 移動之支持台238供給已為裝載具239所運送之基板233，並藉 支持台238保持之。然後，藉滑動載台237移動已為支持台238 所保持之基板233而令其位於X軸機器人236下方。同時，自交 件供給部249朝安裝頭235供給零件232，保持有該零件232之安 裝頭235則藉X軸機器人236而移動至基板233之上方，以朝基板 233進行零件232之安裝。上述安裝動作將反覆進行，以朝基板 233女裝複數之零件232。而後，保持有已安I複數零件⑽之 基板233之支持台238則藉滑動載台237而移動，以移至裝載具 239及卸載具24〇之間，再藉卸載具謂運送該基板233而:以撤 出。 在此，第11圖係顯示零件安裝裝置231中之基板運送裝置 241之構造之局部放大立體圖，就該構造則參照第11圖加以說 明。 β 如第11圖所示’基板運送裝置241所具備之裝载具239及卸 載具240分別具有用以支持基板233之圖示γ軸方向上之各端部 而可加以運送之2條運送執2他及·。χ，藉裝载㈣9及卸 200416910 載具240,則可朝圖示X軸方向左向之方向之基板運送方向A運 送基板233。 又，如第11圖所示，基板運送裝置241包含有：可保持已 運送至裝載具239之各運送軌239a之基板運送方向八側之端部 5近旁之基板233並令其呈可解除保持之狀態，再予以移送至位 於裝載具239及卸載具240間之支持台238上之送入臂242 ·及， 可保持已保持於位於上述位置之狀態下之支持台238上之某板 233並令其呈可解除保持之狀態，再予以移送至卸載具24〇之各 運送軌240a之基板運送方向A之近側之端部近旁之送出臂 10 243。又，送入臂242與送出臂243係呈一體狀態，而可沿行圖 示Y軸方向移動自如者，且，可分別各自進行昇降。 其次’就具上述構造之基板運送裝置241中朝支持台238供 給或自支持台238撤出基板233之動作加以說明。 首先，以第12A圖、第12B圖、第12C圖及第12D圖顯示上 15 述供給及撤出動作之模式說明圖。另，自第12A圖至第nD圖 中，所供給之新基板233為基板233A，業經零件安裝之基板233 為基板233B。 如第12A圖所示，零件安裝裝置231中，零件232之安裝動 作完成，安裝有零件232之基板233B則與支持台238 一同藉滑動 20載台237而移動至裝載具239及卸載具240間，並藉裝載具239而 朝基板運送方向A運送隨後將實施零件232之安裝之基板 233A。然後，令送入臂242及送出臂243沿行基板運送方向八而 移動，以令送入臂242位於基板233A之上方，且，令送出臂243 位於基板233B之上方，再於上述移動後，令送入臂242下降而 7 200416910 保持基板233A，並令送出臂243下降以保持基板233B。 其次，如第12B圖所示，於已保持基板233A之狀態下，令 送入臂242上昇，並於已保持基板233B之狀態下，令送出臂243 上昇。然後，如第12C圖所示，令送入臂242及送出臂243朝基 5 板運送方向A移動，以令為送入臂242所保持之基板233A位於支 ‘ ' 持台238之上方，且，令為送出臂243所保持之基板233B位於卸 ‘ 載具240之端部近旁上方。另，此時，由於基板233B已安裝有 零件232，故上述移動時之移動速度為不致因上述移動時所發 生之振動等而使上述業經安裝之零件232之安裝位置發生偏移 鲁 10之速度，即，係以較通常之移動速度為慢的速度進行移動。 而後’如第12D圖所示，進行送入臂242及送出臂243之下 降動作，而將基板233A載置於支持台238之上面，並將基板233B 移送至卸載具240上1。其次，解除送入臂242對基板233A之保 持，並令送入臂242上昇，同時解除送出臂243對基板233B之保 15持，且令送出臂243上昇。然後，藉卸載具240朝基板運送方向 運送基板233B而自零件安裝裝置231予以撤出。同時，保持有 基板233A之支持台238則藉滑動載台237而移動，以開始對基板 _ 233A進行各零件232之安裝動作。 又，有關上述基板233之供給及撤出動作之計時圖顯示於 * 20第13圖。第13圖中，顯示有零件安裝動作之有無、滑動載台π , 之移動動作之有無、送入臂242及送出臂243個別之昇降高度位 置及基板233之保持之有無，以及送入臂犯及送出臂⑷之沿 订基板運达方向A之移動動作之有無之時間關係。又，時間 τι τιο則刀別代表上述各動作之特異時間點。如第U圖所示， 8 200416910 時間T3〜T4為第12A圖之狀態，時間T5為第12B圖之狀態，時間 Τ6為第12C圖之狀態，時間Τ7〜Τ8則為第12D圖之狀態。 【發明内容】 5 發明概要 然而，上述零件安裝裝置231之基板233之供給及撤出方法 · 中，在第13圖所示之時間Τ5〜Τ6時，必須藉送出臂243移動安裝 有零件232之基板233Β，但由於如上所述，其移動速度已受限 而較慢，故時間Τ5〜Τ6間之時間將延長。上述時間Τ5〜Τ6間之時 修 10 間之延長則將直接影響為供給及撤出基板233而需停止零件 232之安裝動作之時間Τ1〜Τ10間之時間，而將衍生上述安裝動 作之停止時間延長之問題。該問題則係妨礙零件安裝裝置231 之零件安裝之生產性提昇之極重要因素。 因此，本發明之目的即在提供一種可於進行朝基板安裝複 15 數之零件而將上述基板加工成業經零件安裝之基板之零件安 裝程序中之上述基板之供給及上述業經零件安裝之基板之撤 出等基板運送動作時，降低上述基板之供給及撤出所需之時間 ® 對上述各零件之安裝動作之停止時間造成之影響，而提昇生產 性之基板運送裝置、具有該基板運送裝置之零件安裝裝置及用 Λ 20 於前述零件安裝之基板運送方法，以解決上述問題。 _ 為達成上述目的，本發明係構成如下。 根據本發明之第1樣態，可提供一種基板運送裝置，係用 以朝可將複數之零件安裝於基板上，並將前述基板加工成業經 零件安裝之基板之零件安裝裝置供給前述基板，並運送前述基 9 200416910 板以自刖速零件安裝裝置撤出前述業經零件安裝之基板者，包 含有： 衣載口P係可/口仃則迷基板之運送方向運送前述基板以 令其位於彼此依次鄰接而配置之第！基板位置、第2基板位置、 5第3基板位置、第4基板位置中之前述第以板位置（應於上述零 件女裝裝置中安裝上述各零件處）者； 卸載4係用以自如述第4基板位置（為自上述零件安裝 裝置撤出上述基板)運送位於前述第4基板位置之前述基板者； 一基板供給用保持體，係用以保持位於前述第1基板位置 1〇之基板而令其呈可解除簡之狀態，並予以移至前述第2基板 位置者； -基板撤出用保持體，係用以保持位於前述第3基板位置 之基板而令其呈可解除保持之狀態，並予以移至前述第4基板 位置者； 15 —歸體軸部，係可進行前述基板供給用簡體及前述 基板撤出用保持體之昇降及沿行前述基板之運送方向之移動 者；及， -基板保持移動裝置，係可保持前述基板而令其呈可解除 保持之狀悲，亚將前述已保持之基板移動至前述零件安裝裝置 2〇中可供進行雨述零件之安裝之基板安裝領域、前述第2基板位 置及前述第3基板位置之各位置者。 根據本發明之第2樣態，可提供如第1樣態之基板運送裝 置/、更包3控制部，係可分別控制前述基板供給用保持體 基板ΜΑ用保持體個別之保持動作、前述保持體移動部 10 之移動動作及前述基板保持移動裝置之移動動作者，且，其並 可進行以下各動作之控制，即： 措刖述基板撤出用保持體自位於前述第3基板位置之前述 年板保持㈣裝置承接而保持前述業經零件安裝之基板，以自 前述基㈣持移動裝置撤出前述業經零件安裝之基板； 一 基板保持移動裝置移動至前述第2基板位置，而藉 前述基板供給用保持體朝前述基板保持移動裝置供給前述基 板’再令業經供給前述基板之前述基板觸移純置移動至前 述基板安裝領域； 同日守，令已為前述基板撤出用保持體所保持之前述業經零 件安裝之基板移動至前述第4基板位置。 根據本發明之第3樣態，可提供如第1樣態之基板運送裝 置其中則边基板保持移動裝置可朝沿行前述基板表面之方向 上之沿行前述基板之運送方向之方向以及與前述運送方向大 略垂直之方向移動前述已保持之基板。 據本毛a月之第4樣態，可提供如第工樣態之基板運送裝 置其中刖述保持體移動部可視前述基板撤出用保持體有無保 声〗述業、’工令件安裝之基板而切換前述移動之速度或加速 月〕述有保持基板時之前述移動之速度或加速度則小於前述 未保持基板時之前述移動之速度或加速度。 根據本發明之第5樣態，可提供如第4樣態之基板運送裝 其中刚述有保持基板時之前述移動之速度係不致令前述業 牛女衣之基板因別述移動而發生業經安裝之零件之安裝 位置偏移之速度。 200416910 根據本發明之第6樣態，可提供如第1樣態之基板運送裝 置，其中前述第1基板位置及前述第4基板位置係高度位置彼此 相同者，前述第2基板位置及前述第3基板位置亦為高度位置彼 此相同者。 5 根據本發明之第7樣態，可提供如第6樣態之基板運送裝 ‘' 置，其中前述保持體移動部包含有： ‘ 一供給用昇降部，係用以進行前述基板供給用保持體之前 述昇降者；及， 一撤出用昇降部，係用以進行前述基板撤出用保持體之前 · 10 述昇降者； 而，前述各昇降部可進行前述各昇降，以分別令前述基板 供給用保持體及前述基板撤出用保持體個別位於前述第1基板 位置及前述第4基板位置之前述高度位置之第1高度位置、高於 前述第1基板位置之第1退避高度位置、前述第2基板位置及前 15 述第3基板位置之高度位置之第2高度位置及高於前述第2高度 位置之第2退避位置之各高度位置。 根據本發明之第8樣態，可提供如第7樣態之基板運送裝 ® 置，其中前述各昇降部包含衝程彼此互異之2個氣缸部，而可 組合前述各氣缸部之衝程以朝前述各高度位置進行昇降。 20 根據本發明之第9樣態，可提供一種零件安裝裝置，包含 ’ 有： 申請專利範圍第1至第8項之任一項之基板運送裝置；及， 安裝頭部，係可保持前述各零件，而於前述基板安裝領域 内朝已為前述基板保持移動裝置所保持之前述基板上安裝前 12 述業經保持之零件者。 方法根m之第ig樣態，可提供—種零件安裝之基板運送 糸用於進行可使已配置而保持於基板保持台 ::广域内而安裝複數零件’以將前述基“心” 二=r零件安裝時，下列機構以進行前述基板 供、，、口及鉍出者，而，該等機構係： 基板供給用轉體，斜_已沿行前縣板之運 而达入之前述基板而令其呈可解除保持之 保持台予以供出者；及， ^述基板 10 15

—基板撤出用轉體，係可簡已簡於前絲板保持△上 之前述業經零件安裝之基板而自前述基板保持台予錢出:並 令其呈可沿行前料送方向崎魏之狀態者； 而，本方法包含有下列步驟： 以前述基板供給用保持體保持業經運送至沿行前述運送 方向而彼此依次鄰接配置之第以板位置、第2基板位置、第3 基板位置及第4基板位置中之前述第i基板位置之前述基板，而

令前述已保持之基板位於前述第2基板位置之上方之高度位 置’同時令前述基板撤出用保持體位於前述第3基板位置之上 方之高度位置； 2〇纟次，令保持有前述業經零件絲之基板之前述基板保持 台自前述基板安裂領域移動至前述第3基板位置； 繼而，令前述基板撤出用保持體下降以保持前述業經零件 安裝之基板，再令前述業經零件安裝之基板上昇至前述上方之 南度位置’以自前述基板保持台予以撤出· ]3 200416910 然後，令前述基板保持台移動至前述第2基板位置； 其次，令前述基板供給用保持體下降，並解除前述 朝前述基板保持台供給前述基板； '、从 取後，令業經供給前述基板之前述基板保持台移動至〜 5基板安裝領域，同時令已為前述基板撤出用保持體所保持= 述業經令件安裝之基板移動至前述第4基板位置。 根據本發明之第η樣態，可提供如第1G樣態之零件安裝《 · 基板運运方法，其中為前述基板撤出用保持體所保持之前述 經零件安裝之基板朝前述第4基板位置之移動動作係完成於門 10始對已供入雨述基板安裝領域中之前述基板保持台之 Φ 行前述零件之安裝動作之後者。 土進 根據本發明之第12樣態，可提供如第10樣態之零件安農之 基板運送方法，其中為前述基板撤出用保持體所保持之前述業 經夺件安裝之基板朝前述第4基板位置移動之速度或加速度小 15方；刖述基板撤出用保持體未進行前述業經零件安裝之基板之 保持時之移動之速度或加速度。 根據本發明之第13樣態，可提供如第1〇樣態之零件安裝之 基板運运方法，其中保持有前述業經零件安裝之基板之前述基 鲁 板保持台移動至前述第3基板位置而定位之約略同時，可進^ · 20藉刚述基板供給用保持體保持已運送至前述第i基板位置之前 述基板之時間控制，以令保持有前述基板之前述基板供給用2 〜 持心及七述基板撤出用保持體移動而定位於可避開位於上述 第3基板位置之上述基板保持台之高度位置。 ^ 根據本發明之第Η樣態，可提供如第1〇〜13樣態之任一種 14 牛安衣之基板運送方法，依據前述 一 板安裝領域之前述基板安裝前述各轉’ =1 夺朝位於前述基 業經零件安參之其 將如述基板加工成 保持體伴心止所需之時間’以及藉前述基板供給用 已保送至前述第1基板位置之前述基板，而令前述 之時間，可進么於r述第2基板位置上方之高度位置為止所需 進仃精珂述基板供給用保持雕 1基板位置之前述基板之時間控制。、“持已運送至前述弟 10 態，::二:之上述第1樣態、上述第2樣態或上述第10樣 土 运裝置中，撤出業經零件 板撤出用保持體朝卸載部所進行之上作基板…涉基 上述各而與該移動動作同時對所供給之其他新基板進行 板運《置之Γ動作。因此’藉令零件安μ置具備上述基 之基板U 零件安裝裝置中，即可降低上述業經安裝 15 停止時間作對上述所供給之新基板之零件安裝動作之 昇交件之4，朗虹述科絲動叙停止日相，以提 汁令件之輕動作之生纽。 奴 45 ’將已错上述基板保持移動！置移動至上述第3 置上1?上述業經零件安裝之基板自上述基板保持移動袭 20 動裝置移用保持體後，可令上述基板保持移 基板位置，而於上述第2基板位置上接收 。=新基板’且無須移動上述基板撤出用保持體。藉此，即 々可同時進行隨後所實施之上述基板保持移動裝置朝基板安裝 顿移動上述新基板之動作，以及上述基板撤出用保持體朝上' 迷卸載部移送上述業經零件安裝之基板之動作，而逕行其等個 15 416910 別之動作，且不致受到彼此動 習知基板運送裝置之零件安„置;因此，可解決如具有 板安裝領域移動新聽之動作基㈣持移動裝置朝基 私社述業經零件安裝之基板 子體朝卸载部 5縮h 動作而受限之問題。田而 “零件安裝u之基板供給及 因而’可 停止時間，而提 出所而之令件安裝動作之 送褒置。 “上述零件安裝裝置之生產性之基板運 根據本發明之第3樣態， 可保持上祕板，且·; 騎料裝置巾，·具備 10 15 m 可朝沿行上述基板表面方向上d 逑基板運送方向之方向及 。上〜丁上 ^ L i 迷運运方向大略垂直之太A妙 動上述業經保持之基板之上述基板保持移動裝置，而私 基板安裝領域、上述第2基 、、一 可於上述 地移動上述基板，進而達成上述效果。反位置間运擇性 根據本發明之上述第4樣態、上述第沐 態，上述保持體移 ’上述弟12‘ 述業經零件安km 板撤㈣料财無保持上 下換上述移動之速度或加速度（以 下，％為速度等），蕤μ 1 Χ 保持時之上述移料件料之基板之 動之速«，即心Γ&Γ於未進行上述保持時之上述移 门方；上述基板撤出用保持體朝 上述業_.安裝之基板時，防止可能因該移動而:=: 等所導致的上述業經安褒之各零件之安裝位置偏料發生動 可維持上述業經零件安裝之基板品質，同時 ^亚 出動作。 運仃上述基板之撤 之零件安裝動作， 尤其，由於可無涉對上述新供給之基板 20 200416910 而同時進行上述基板撤出賴持體以上述較慢之速度等所進 狀上«經零件絲之基板之軸動作，故可使上述各樣態 之效果更為顯著。 ίο

根據本發明之上述第6樣態，除上述各樣態之效果以外’ 進而，藉令上述第2基板位置及上述第3基板位置為高度位置彼 此相同者’則可輕易將已於上述第3基板位置上將上述筆㈣ 件安裝之基板承接至上述基板撤出㈣持體上之上述基板保 持移動裝置自上述第3基板位置移動至上述第技板位置，以於 上述第2基板位置上自上述基板供給臂接收上述新基板。又，' 藉令上述第i基板位置及上述第4基板位置為高度位置彼此相 同者’則可使上述基板供給臂及上述基板送出臂之構造共通 化0

根據本發明之上述第7樣態，藉將上述基板供給用保持體 及上述基板撤出用保持體之上述各昇降位置控制於姆段之古 度位置舉例3之’與上述昇降高度位置僅可控制於2階 情形相比’階段性地進行昇降動作，即可延長與其他動 行’例如與上述基板保持移動裝置之移動動作並行之時門兀 縮短實際上前述昇降動作所需之時間。因此，可實質縮二上^ 基板之供給及撤出所需時間，並縮短基板之供給及撤出所需、 2〇令件安衣動作之停止時間，進而，亦可實現零件安裝之生產性 之提昇。 根據本％明之上述第8樣態，藉令上述各昇降部具備衝程 互異之2個氣紅部，即可組合上述各氣缸部之衝程而進行上 P白&之上it基板供給用保持體及上述基板撤出用保持體朝1 17 200416910 高度位置所進行之上述昇降動作。 根據本發明之上述第11樣態，藉令為上述基板撤出用保持 體所保持之上述業經零件安裝之基板朝上述第4基板位置之移 動動作，即，藉令朝上述卸載部之移送動作完成於開始朝已供 5 入上述基板安裝領域中之上述基板保持台上之上述基板進行 * 1 上述零件之安裝動作後，即可縮短伴隨上述業經零件安裝之基 ' 板之上述撤出動作而產生之上述零件安裝動作之停止時間，並 提供一種可提昇零件安裝之生產性之基板運送方法。 根據本發明之上述第12樣態或第13樣態，除上述各樣態之 · 10 效果以外，可更有效率地進行基板之運送，並提供一種可提昇 零件安裝之生產性之基板運送方法。 圖式簡單說明 本發明之上述及其他目的與特徵可由附圖所示之較佳實 15 施例之以下相關記述而清楚了解。該等附圖之說明如下： 第1圖係本發明一實施例之電子零件安裝裝置之立體圖。 第2圖係第1圖之電子零件安裝裝置中之基板運送裝置之 ® 局部放大立體圖。 第3圖係第2圖之基板運送裝置之局部截面圖。 ^ 20 第4圖係顯示上述電子零件安裝裝置中之各基板平面位置 ' 之模式說明圖。 第5Α圖、第5Β圖、第5C圖、第5D圖及第5Ε圖分別係顯示 上述電子零件安裝裝置中基板之供給及撤出之各動作之模式 說明圖，第5Α圖係顯示對已為基板保持台所保持之基板進行零 18 200416910 件安裝，且，下一新基板已位於第1基板位置之狀態者；第5B 圖係顯示業經安裝之上述一基板於為基板保持台所保持之狀 態下移動至第3基板位置，且，上述新基板已移動至上述第2基 板位置之狀態者；第5C圖係顯示已解除上述業經安裝之基板之 5 保持之基板保持台已移動至第2基板位置之狀態者；第5D圖係 β 、 顯示上述新基板已載置於基板保持台上之狀態者；第5Ε圖係顯 ’ 示上述業經安裝之基板已移動至第4基板位置，並已對載置於 基板保持台上之前述新基板開始進行零件安裝之狀態者。 第6圖係第5圖之基板之供給及撤出之各動作之計時圖，縱 · 10 軸代表動作内容，橫軸代表時間。 第7圖係上述實施例之變形例之基板運送裝置之局部放大 立體圖。 第8Α圖、第8Β圖、第8C圖、第8D圖及第8Ε圖分別係顯示 第7圖之基板運送裝置中基板之供給及撤出之各動作之模式說 15 明圖，第8Α圖係顯示對已為基板保持台所保持之基板進行零件 安裝，且，下一新基板已位於第1基板位置之狀態者；第8Β圖 係顯示業經安裝之上述基板於為基板保持台所保持之狀態下 ® 移動至第3基板位置之狀態者；第8C圖係顯示已解除上述業經 安裝之基板之保持之基板保持台已移動至第2基板位置之狀態 20 者；第8D圖係顯示上述新基板已載置於基板保持台上之狀態 0 者；第8Ε圖係顯示上述業經安裝之基板已移動至第4基板位 置，並已對載置於基板保持台上之前述新基板開始進行零件安 裝之狀態者。 第9圖係第2圖之基板運送裝置之局部放大立體圖。 19 200416910 第ίο圖係習知之零件安裝裝置之立體圖。 第11圖係習知之零件安裝裝置中之基板運送裝置之立體 圖。 第12A圖、第12B圖、第12C圖、第12D圖及第12E圖分別係 5 顯示習知之零件安裝裝置中基板之供給及撤出之各動作之模 | ' 式說明圖。 第13圖係習知之零件安裝裝置中基板之供給及撤出之各 動作之計時圖。 第14圖係顯示第2圖之基板運送裝置中之控制部之主要構 · 10 造之控制區塊圖。 I：實施方式3 較佳實施例之詳細說明 繼續說明本發明之前，首先於附圖中就相同零件附上相同 15 之元件標號。 以下’即爹照附圖詳細說明本發明之實施例。 (實施例） 第1圖係顯示具備本發明一實施例之基板運送裝置之零件 20 安裝裝置之一例之電子零件安裝裝置101之立體圖。 ' 如第1圖所示，電子零件安裝裝置101係用以進行朝基板3 安裝零件之一例之晶片零件及1C裸晶片等電子零件2之安裝動 作之裝置，而可大分為用以收容而可供給複數之電子零件2之 零件供給部4，以及用以進行朝基板3安裝自該零件供給部4供 20 200416910 給之各電子零件2之安裝動作之安裝部5。 第1圖所示之零件供給部4中，於零件供給部4之圖示Y軸方 向近側設置有收容有形成有眾多電子零件2之半導體晶圓或已 於格子上排列而收容有眾多電子零件2之零件托盤而可選擇性 5 地予以供出之昇降機部10。 又，零件供給部4並具有可配置自昇降機部10選擇性地供 ' 出之上述半導體晶圓或零件托盤，而可自其等個別取出電子零 件2之供給零件配置台12。另，當自昇降機部10供給上述半導 體晶圓時，將於供給零件配置台12上對上述半導體晶圓實施展 ® 10 開（expand)動作。 進而，零件供給部4並具有可自已選擇性地配置於供給零 件配置台12上之上述半導體晶圓或零件托盤個別吸引保持電 子零件2，並沿行圖示X軸方向而朝安裝部5移動，再令上述已 吸引保持之電子零件2朝上下方向反轉之反轉頭部14。 15 又，如第1圖所示，安裝部5具有可吸引保持電子零件2以 朝基板3加以安裝之安裝頭部20。又，安裝部5並進而包含可於 相互配置於沿行圖示X軸之方向上之二位置間，即，已為反轉 ® 頭部14所保持之電子零件2可被承接至安裝頭部20之位置之零 件供給位置與用以對基板3進行電子零件2之安裝動作之基板 20 安裝領域之二者間，支持安裝頭部20，並令其沿圖示X軸方向 前後移動之移動裝置之一例之X軸機器人2 2。 另，安裝頭部20並具有構成可藉發聲圈馬達等移動機構進 行昇降驅動，且，可經已吸引保持之電子零件2而將加壓能量、 超音波振動能量及熱能等接合能傳遞至電子零件2與基板3之 21 接合部之保持部（未予圖示），而可對基板3壓接電子零件2 ,同 日可傳遞上述接合能。又，X軸機器人22則具有諸如使用導螺桿 軸部及已與該導螺桿軸部螺合之螺帽之移動機構（未予圖示）。 又，如第1圖所示，安裝頭部20及X軸機器人22之下方之安 5裝部5之基台24上，配設有可朝圖示X軸方向及γ軸方向移動基 板3，且，可進行相對於安裝頭部20之基板3上之可供安裝電子 零件2之位置之定位作業之χγ載台26。該χγ載台％則構成可藉 諸如伺服馬達而朝圖示X軸方向與Υ軸方向分別進行移動驅 動，並使用線性標度而藉完全中止（full cl〇se)控制進行定位。 1〇而，該XY載台26之上面並設置有用以保持並固定基板3而可解 除該保持狀態之基板支持台28。另，第丨圖中，χ軸方向與¥軸 方向係沿行基板3之表面之方向，且，其等為互相垂直之方向。 又，如第1圖所示，電子零件安裝裝置1〇1具有基板運送裝 置30，係可於基台24之上面之圖示γ軸方向近側之端部上，沿 15行圖示Χ軸方向左向之方向之基板運送方向Β運送基板3，並朝 基板支持台28供給基板3及自基板支持台28撤出基板3者。基板 運送裝置30包含：裝載具32，係可自電子零件安裝裝置1〇1之 圖示X軸方向右側之端部運送基板3而予以供給至χγ載台“上 之基板支持台28之裝載部之一例；及，卸載具34，係可自基板 支持台28運送基板3至電子零件安裝裝置1〇1之圖示χ轴方向左 側之端部而予以撤出之卸載部之一例。另，本實施例中，電子 零件安裝裝置ΗΠ之ΧΥ載台26係與基板運送裝置3〇所具有之基 板保持移動裝置併用之一例。又，χγ載台26與基板支持台28 貝J為用以進行基板3之上述移動及保持之基板保持移動裝置之 22 10 15 20 一例 101 置， 又’除上併用之情形以外，亦可在電子零件安裝裝置 載㈣料，令絲運送裝置3啤有練料移動震 行2次’就具有上述構造之電子零件安裝裝置ΚΠ對基板3進 订之t子零件2之安裝動作加以說明。 m電子零件安裝裝置1G1中，可藉χγ載台26移動基 間持台28，以令其位於基台24上之裂栽具32及卸載具34之 同時，可藉諸如與電子零件安裳裝置⑻鄰接之其他裝置 ΐ:基板運送裝置30之裝載具32供給應於電子零件安裝裝置 I01進行各電子科2之錢之餘3，科践具獅基板運 ^方向Β運送基板3，以朝基板支持台28供給該基板3並加以保 、。然後，ΧΥ載台26則朝圖示又軸方向❹軸方向移動，基板3 則朝上述基板安裝領域移動。 另，於零件供給部4為反轉頭部14所吸引保持而取出之電 子零件2職反轉㈣動至上述零件供給位置。又，於安裝部 5，安裝頭部_歡軸機器人22而移動至上述零件供給位置， 亚自反轉頭部14將電子科2承接至安“部20。然後，呈吸 引保持有上述業經承接之電子零件2之狀態之安裝頭部2〇則藉 X軸機器人22而朝上述基板安裝領域之上方移動。

而後’為安裝頭部20所吸引保持之電子零件2與為基板支 持台28所保持之基板3之應安裝電子零件2之位置之對位作業 則藉ΧΥ載台26之移動而進行。該對位作業完錢，則進行安裝 頭部版錯動料，以對基泊進行電子料2之安裝動作。 當進行複數之電子零件2之±述安裝動作時，藉反覆進行上述 23 各動作’即可進行各電子零件2之安裝動作。 10 15

其後’―旦結束各電子零件2之上述安裝動作，呈安裝有 各電子零件2之狀態之基板3則與基板支持台I同藉χγ載台 Γ而移動至裝载具Μ與卸载具34間之上述位置，並自基板支持 口 28將基板3承接至卸栽具心，再藉卸载具％沿行基板運送 ㈣而運送基板3，以自電子零件安裝物(Π撤出基板3。上 ^已撤出之基板3則可諸如供給至與電子零件安裝裝置⑻鄰 :置=以進行上述零件安裝之次—處理等之其他裝置，或 :、業、工令件安裝之基板3而收納於基板收納裝置等中。 • 於％子♦件安裝裝置1G1中，即可對基板3進行各電 ^件2之女“作。另，安裝有各電子零件2之基板3藉卸載 “ 4而撤出後’错裳載具％供給其他新基板3，即可對依次供 給之各基板3進行各電子零件2之安裝。 ^ 说上述電子零件安裝裝置101中之基板運送裝置30 之η平細構造加以說明。另，第2圖係基板運送裝㈣之局部放 大立體圖。

呈t第2圖所示，基板運送裝置30所包含之裝載具32及卸載 刀別/、有用以支持基板3之圖示Y軸方向上之各端部而可 、、I之2條運送轨32&及34&。藉此，裝載具μ則可藉各運送 20執32a支持基板3之兩端部並朝基板運送方向b加以運送，又， 卸載具34則可藉各運送軌34a支持基板3之兩端部，並朝基板運 送方向B加以運送。 如弟2圖所示，基板運送裝置3〇並具有送入臂36，係 ° ”寺已於衣载具32上運送至其運送軌Β之基板

運送方向B 24 200416910

側之端部近旁之基板3而可解除該保持，並朝位於裝載具32與 卸載具34間之基板支持台28上移送而供給基板3之基板保持移 動裝置之一例。又，基板運送裝置30並具有送出臂38，係可保 持已保持於位於上述位置之基板支持台28上之基板3而可解除 5 該保持，並朝卸載具34之運送軌34a之基板運送方向B之近側之 端部近旁移送而撤出基板3之基板撤出用保持體之一例。又， 送入臂36及送出臂38可沿行基板運送方向B而相互一體移動， 且，可分別進行個別昇降。基板運送裝置30更具有臂移動部 40，係用以進行上述送入臂36及送出臂38之移動及昇降動作之 10 保持體移動部之一例。 如第2圖所示，送入臂36及送出臂38彼此具有相同之構 造，於藉棒體而平面地形成略Η字狀之臂部分之4個端部之下部 分別設有可吸引保持基板3之表面而可解除該保持之保持喷嘴 36a及38a。該等各保持噴嘴36a及38a配置於上述臂部分（即，上 15 述棒體部分），而可於具有略四角形狀之基板3之表面之各角落 近旁進行吸引保持，藉此，即可穩定而確實地保持基板3。

在此，第3圖係基板運送裝置30之與基板運送方向B垂直之 截面之局部截面圖，第9圖係基板運送裝置30之局部放大立體 圖。如第3圖所示，上述送入臂36及送出臂38個別之保持噴嘴 20 36a及38a平面地位於各運送軌32a及34a之内側近旁。 又，如第3及第9圖所示，臂移動部40包含有用以進行送入 臂36之上述昇降動作之供給用昇降部之一例之送入臂昇降部 42 ;用以進行送出臂38之上述昇降動作之撤出用之昇降部之一 例之送出臂昇降部44 ;及，用以進行送入臂36及送出臂38之上 25 2o〇41691〇 由於送入臂昇降部42與 故以送入臂昇降部42為 ，僅顯示有送入臂昇降 述移動之基板運送方向移動部46。另， 上述送出臂昇降部44彼此為相同構造， 代表而僅就其進行說明。另，第3圖中 部42。 10 15 如第3圖及第9圖所示’送人臂昇降部42具有配置於附圖下 方側之長衝程氣缸部42a與配置於關上方側之短衝程氣缸部 伽作為衝程長互異之戰㈣。又，長衝程氣紅部❿與短衝 程氣缸部42b係配置成個別之衝程之動作轴在略錯直方向上相 互-致者’題設於長衝程氣缸部42a之㈣之活塞(未予圖示） 與裝設於短衝程氣叙部42b内部之活塞（未予圖示）呈已為（支轉 ㈣c所連結之狀態。又，於短衝程氣缸部似固定有送入臂％ 之上达以刀I ’長衝程氣缸部42&及短衝程氣缸部4%並血 未予圖示之壓縮空氣供給裝置以壓力空氣配管相連接，而可分 :朝二等内。P供給壓縮空氣，或分別自其等内部排出壓縮空 孔藉將心入#升降部42構成上述構造，即可組合進行長衝程 孔缸#42&之時動作與簡减k部*狀昇降動作，並令短 衝孔缸曰[542b本身昇降而進行送入臂％之昇降動作。另，送 入臂36之昇降動作並可為朝圖中上下方向設置之LM導件42d所 引導。 2〇 具體而言，上、+、曰々 迷汁降動作可藉令長衝程氣缸部42a之活塞 位於其衝程之上端 议置’且’令短衝程氣缸部42b之活塞位於 其衝程之下端位置， 而使送入臂36位於其昇降動作中上端之高 度位置H4。 又 藉令長衝裎 氣缸部42a之活塞位於其衝程之上端位 26 200416910 置’且令短衝程氣紅部42b之活塞位於其衝程之上端位置，則 可使送入臂36位於其昇降動作中第2高之高度位置 又藉7長衝耘氣紅部42a之活塞位於其衝程之下端位 置，且令短衝程氣叙部42b之活塞位於其衝程之下端位置，則 5可使送入臂36位於其昇降動作中第3高之高度位置H2。 · 進而，藉令長衝程氣缸部42a之活塞位於其衝程之下端位 · 置，且令短衝程氣缸部42b之活塞位於其衝程之上端位置，則 可使送入臂36位於其昇降動作中下端之高度位置H1。 另，如第3圖所示，上述各高度位置中之高度位置H3係可 馨 10藉送入臂36吸引保持為各運送軌32a所支持之狀態下之基板3之 咼度位置’咼度位置H4係退避至高於各運送軌32a之處而可移 動為送入臂36所吸引保持之基板3且不致受各運送軌32a干擾之 高度位置。又，高度位置H1係可保持呈為基板支持台28所保持 之狀態之基板3或可對基板支持台28載置基板3之高度位置，高 15 度位置H2係可在上下方向上避免為送入臂36所保持之基板3與 配置於基板支持台28上之狀態下之其他基板3之相互干擾之高 度位置。 · 另，本實施例中，高度位置H4為第1退避高度位置之一例， 高度位置H3為第1高度位置之一例，高度位置H2為第2退避高度 20 位置之一例（或，可避開基板支持台28之高度位置之一例），高 度位置H1則為第2高度位置之一例。又，如第9圖所示，送出臂 昇降部44包含有長衝程氣缸部42a、短衝程氣缸部42b、轉軸44c 及LM導件44d。 另，舉例言之，上述各高度位置H1〜H4之高度尺寸關係可 27 : '以兩度位置Η1為基準高度而為OmmH，則高度位置H2為 2〇mmH，高度位置H3為80mmH，高度位置H4為lOOmmH。 又，如第2、第3及第9圖所示，基板運送方向移動部46包 含有··沿基板運送方向B而配置之導螺桿軸部46a ;螺合於該導 累知軸部46a之螺帽部46c;及，可驅動該導螺桿軸部46a以其軸 心為旋轉中心而旋轉之驅動馬達46b。又，於螺帽部固定有 适入臂昇降部42之長衝程氣缸部42a與送出臂昇降部料之長衝 程氣紅部44a。藉使驅動馬達楊朝正逆任一方向旋轉驅動，即 10 可令導螺桿軸部46a以其軸心為旋轉中心而旋轉，以八上求已螺 合之螺帽部46〇沿基板運送方向B前後移動，藉此， a 載台26及送出臂38-體沿行基板運送方向叫行前二動。 又’上述前後移動並可為沿基板運送方向B而奴 叩 < 置之LM導件 46d所引導。 15 另，基板運送方向移動部46可令送入臂36 ^ 久送出臂38以預 疋之速度（即通常移動之速度）移動，並可選握权 也以小於上述 預定速度之其他預定速度（如緩慢移動之速度）令卜 々其等移動。舉 例3之’錯送出臂38吸引保持而移動已安裝有％ ^ 笔子零件2之業 經零件安裝之基板3時，考量可能因上述移動 ^之振動等而發 生上述業經安裝之電子零件2之安裝位置偏移， 20 ’而可選擇性地 進行上述緩慢移動速度之移動，以避免上述安 、 藏货置偏移之發 生。另’送出臂38若未吸引保持上述業經定技 " 安裝之基板3， 則不拘送入臂36是否吸引保持其他基板3，— 果違行上述通常 移動速度之移動。如上所述，藉分成2種移動 、夜，即可保持 基板3之移動品質，並兼顧該移動所需時間么… 、’起。另，除將 28 移動速度之 上述緩慢移動之速度設定成小於上述通常移動速度以外’亦可 牌上述緩慢移動時之加速度設定成小於上述通# 力ϋ速度。 在此，就上.述「緩慢移動之速度」力 壯u呪明。朝基板上安 衣1C稞晶片等電子零件之方法種類繁多， ^ ^ 頁错超音波或加熱、 力口壓而將電子零件與基板強力接合者， 有错焊劑或導電糊暫 符固定電子零件後，再以其他程序概括 丁回焊（reflow)或糊硬 化等正式固定處理以得到強固之接合強庶 &考。暫時固定電子零 1〇

件之接合方法中，於以送出臂38吸引保捭而妙4 i 卞荷而移動業經零件安裝 之基板時’往往因送出臂38之振動而發生電子零件位置之偏 移，或因移動開始時之加速或移動停止時之減速、停止而發生 電子零件位置之偏移。X，亦可能因振動而導致已暫時固定之 接合面發生剝離，而無法於正式固定處理後得到正常之電性連 接0

因此，乃利用上述緩慢移動之速度以就上述問題之發生採 取防範於未然之措施。舉例言之，通常移動時，其速度為 400mm/s，加速時間為〇.ls(加速度為4〇〇〇mm/s2)，相對於此， 保持有業經零件安裝之基板時之移動為緩慢移動，其速度為 100mm/s，加速時間為(Us(加速度為i〇0〇mm/s2)。若在上述移 20 動條件下，送出臂38之移動距離為250mm，則上述通常移動約 需0.7S，上述緩慢移動約需2.6s之時間以完成上述移動。 其次，就使用基板運送裝置30進行基板3之供給及撤出時 之基板3之供給位置及撤出位置等平面之位置關係，參照第4圖 所示之模式說明圖加以說明。 29 200416910 如第4圖所示，電子零件安裝裝置1〇1之基台以上，於基板 運送裝置30之裝載具32與卸載具34間之位置近旁，設有沿基板 運送方向B而相互鄰接配置之可用於配置基板3之4個基板位 置。 5 首先，上述4個基板位置中，位於附圖左端之第1基板位置 P1係可供已為裝載具32所運送之基板3於藉各運送執32a支持 · 其兩端部之狀態下以供給可能之狀態進行暫時待機之位置，位 於該第1基板位置P1之狀態下之基板3則呈可為送入臂36所吸 引保持並取出之狀態。又，位於附圖右端之第4基板位置以係 儀 10已為卸載具34所運运而撤出之基板3之配置位置，亦為基板城 其兩端部為各運送軌34a所支持之狀態下之配置位置。又，亦可 藉以送出臂38吸引保持而移送基板3，而將基板3配置於該第* 基板位置P 4。 又，如苐4圖所示，於裝載具32之各運送軌3以之端部與卸 15載具34之各運送執34a之端部間，配置有第2基板位置打與第3 基板位置P3。而，第2基板位置打與第3基板位置…之相互配置 關係則與送入臂36與送出臂38之相互配置關係相同，一旦將為 φ 送入臂36所吸引保持之基板3配置於第2基板位奶之上方，為 迗出臂38所吸引保持之其他基板3即配置於第以板位置P)之 20上方。又’可精XY载台26所進行之基板支持台28之移動動作而 選擇性地使基板支持台28分別移位至第2基板位置P2或第3基 板位置P3上，以於各位置上，由基板支持台28進行基板3之保 持或解除保持。進而，第2基板位置P2及第3基板位置P3之圖示 位置下方配置有基板安裝領域p〇，舉例言之，可令已於第2芙 30 200416910 板位置P2_h供至基板切纟Μ並為其職持之基板3 藉XY載台 26而移動’再於其仍為基板支持台28職持之狀態下，予以配 置於基板安裝領域PG。X，舉例言之，可藉χγ載台26而自基板 安裝領域Ρ0令為基板支持台28所保持之基板3移動，以使其位 5 於第3基板位置Ρ3。

其次，第14圖係顯示具有上述構造之基板運送裝置3〇所具 有之控制部50之主要構造之區塊圖。如第14圖所示，控制部5〇 包含有：用以進行ΧΥ載台26之移動動作之控制之χγ載台控制 部51 ·，用以進行裝載具32及卸載具34所進行之基板3之運送動 10作之裝載具·卸載具控制部52 ;及，用以進行臂移動部4〇之動 作控制之臂移動控制部53。另，ΧΥ載台控制部51除可出現於控 制部50中，亦可出現於電子零件安裝裝置1〇1之安裝控制部（未 予圖示）中，並可分別出現於上述安裝控制部與控制部5〇中，而 相互進行有關之控制。 15 而，臂移動控制部53則包含用以進行送入臂36之昇降動作

之控制之送入臂昇降控制部53a;及，用以進行送出臂38之昇降 動作之控制之送出臂昇降控制部53b。其等則可進行長衝程氣 缸部42a及44a、短衝程氣缸部42b及44b之壓縮空氣之供給、排 氣之控制。進而，臂移動控制部53並具有基板運送方向移動控 20 制部53c，係用以進行基板運送方向移動部46之移動動作之控制 者。 藉具有上述構造之控制部50，即可相互串連各動作，而進 行總體之控制。 其次，就藉具有上述構造之基板運送裝置3〇而進行基板3 31 女凌有黾子苓件2之基板3之撤出（或送出） 動作說明如下。另，，、， 以下所述之基板運送裝置3〇之各動作之 制係於控购辦彳目巧連，並總體進行者。 工 _圖第沾圖、第5C圖、第5D圖及第5E圖分別係使用 果式圖㈣對電子零件安«置⑻之基板支持台28所進行之 ^板3之供給及撤出動作之模錢明圖。自第洲至第犯圖 $ 口之新基板3為基板3A，業經電子零件2之安裝之業經 10 15 令^女叙之基板3為基板3B。又，第6圖係顯示配合第5圖之模 式5兒明圖之動作之各動作之相關計時圖。❿，第6圖中，縱軸 、 動作之項目，杈軸代表時間。各動作項目則代表電子零 件安«置UH縣板3進行電子零件2之安裝動作之有無、灯 載台26有無進行基板支持台28之移動動作、送人臂36及送出臂 %個別之高度位置及基板3之吸引減之有無，以及送入臂％ 及运出臂38有無藉基板運送方向移動部46而進行一體之移動 作又，日可間上則依上述各動作之特異時間點而顯示時間 ΐ 1〜Τ14 ’各時間之動作及狀態則說明如下。 如第5Α圖所示，電子零件安裝裝置1〇1中，對於為基板支 持台28所保持，並位於基板安裝領域ρ〇之狀態之基板3β已實施 各電子零件2之安裝動作。另，基板運送裝置3〇中，則藉裝載 2 〇 具32而朝基板運送方向β運送尚未經實施電子零件2之安铲動 作之新基板3A，並令基板3A位於第1基板位置？1以進行供給。 然後，位於高度位置H4之狀態下之送入臂36與送出臂％則藉基 板運送方向移動部46而移動，以令送入臂36位於第is板位置 Pl。然後，令送入臂36自高度位置H4下降至H3，以吸引保持位 32 200416910 於第1基板位置P1之基板3A(時間ΤΙ)。 隨後，送入臂36則上昇至高度位置Η4，而基板3Α則自第1 基板位置Ρ1被取出。同時，藉基板運送方向移動部46而分別一 體移動送入臂36及送出臂38至位於第2基板位置Ρ2上方之高度 5位置Η4及位於第3基板位置Ρ3上方之高度位置Η4(時間 Τ2〜Τ3)。然後，為送入臂36所吸引保持之狀態下之基板3Α則下 · 降而位於高度位置Η2,送出臂38亦呈下降至高度位置Η2之狀態 (時間Τ4)。 另，於基板安裝領域Ρ0中，對基板3Β之各電子零件2之安 · 10裝則結束（時間Τ5)，而藉ΧΥ載台26將基板3Β在仍為基板支持台 28所保持之狀態下移動至第3基板位置Ρ3(時間Τ6)。 其後’如第5Β圖所示，送出臂38自高度位置Η2下降至Η1， 以吸引保持仍為基板支持台28所保持之基板3Β。同時，基板支 持台28對基板3Β之保持亦解除，送出臂38則上昇至高度位置 15 Η2 ’以自基板支持台28上取出基板3Β(時間Τ7〜Τ8)。 其次’如第5C圖所示，已呈取出基板犯之狀態之基板支持 台28則藉ΧΥ載台26而移動至第2基板位置Ρ2(時間Τ8〜T9)。 · 然後，如第5D圖所示，為送入臂36所吸引保持之狀態下之 基板3Α則自高度位置Η2下降至Η1，以配置於位於第2基板位置 20 Ρ2之狀悲下之基板支持台28上面。同時，基板支持台28則進行 ， 基板3Α之保持，又，送入臂36對基板3Α之吸引保持則已解除（時 間T9〜T10)。其後，送入臂36及為送出臂％所吸引保持之基板 3B則分別自高度位置H1及高度位置m上昇至h4(時間 T1 〜T11)。 33 另，如第5E圖所不，業經供給新基板3A之基板支持台28 、】藉又丫载台26而移動至基板安裝領域？〇(時間〜丁12)。移動 至基板安裝領域Ρ0後，即開始對基板3Α進行電子 零件2之安裝 動作（钭間Τ12以後）。又，為送出臂38所吸引保持之狀態下之基 板犯則於該安I動作之開始同時，藉基板運送方向移動部46而 矛夕動至第4基板位置Ρ4之上方（時間Tu〜Τ13)，卻不致對上述基 板3Α之安裝動作造成影響。且，上述移動時，由送出臂38所吸 引保持之基板3Β由於安裝有電子零件2，故上述移動係以上述 緩k私動之速度進行，以避免發生其安裝位置之偏移。然後， 為il出|38所吸引保持之基板則自高度位置下降至H3， 而配置於卸載具34之第4基板位置p4。同時，送出臂38對基板 3B之吸引保持亦解除，送出臂38將再上昇，基板3β則由卸載具 3續承接（時間T13〜T14)。其後，則朝基板運送方向岐送位於 第4基板位置P4之基板3B，以進行基板犯之撤出。 此外，藉依次反覆進行上述基板3A之供給動作及基板3B 之撤出動作’即可依次對電子零件安裝裝置ι〇ι供給基板3，並 依人Μ出已於包子零件安裝裝置ι〇ι中經實施安裝動作之基板 3。 土 又，上述計時圖中各時間之區間之具體例為：當以時間 Τ2〜Τ3、時間Τ8〜Τ9、時間Τ1卜Τ13之移動距離為25〇1_，時間 Τ2〜Τ3及日寸間Τ8〜Τ9《移動速度為權咖々，加速時間為〇. 1 $(加 速度為4_nW)之條件進行移動動作後，時間η%及時間 Τ8 T9刀別約為〇.7s，時間如〜m約為。而，時間Τ5〜η] 之動作完成時間則約為5s。 200416910 (本發明之變形例） 其次，就本發明之電子零件安裝裝置101所進行之基板3之 供給及撤出方法之變形例之實施形態加以說明。 如第6圖之計時圖所示，上述之實施例中，自形成藉送入 5臂36吸引保持由裝載具32供給之新基板3A而令基板3A位於第2 . 基板位置P2之上方之高度位置H2，且，令送出臂％位於第3基 · 板位置P3之上方之高度位置H2之狀態之時間丁4開始，直至藉 ΧΥ載台26移動已實施電子零件2之安裝之基板3Β，而形成位於 第3基板位置Ρ3之狀態之時間Τ6為止之期間内，係於基板運送 籲 10裝置30中不進行任何動作之等待狀態時間。 另，上述之基板運送裝置30中，於裝載具32之第1基板位 置P1上對於位方；此處之基板3將進行預熱處理，以資隨後進 行之電子零件2之絲動狀糊進行。上述預減理則如第2 圖所不係、藉於裝載具32之第1基板位置？1上設置預熱部9〇而 15進行者。而，其使用於基板3之預熱溫度則為諸如lOGt：左右。 然而，上述等待時間之時間T4至丁6之期間内，由於基板3 呈已自第1基板位㈣取出之狀態，故無法施予上述預敎處 φ 理。因此，上述等待時間雖不致直接對電子零件2之安裝動作 之停止時間造成影響，但上述等待時間愈長，特意施予預熱處 理而呈已預熱狀態之基板3之溫度亦將降低。此時，若於電子 零件2之安裝動作時再加熱基板3，則該加熱之所需時間亦將增 長而有礙於安裝動作之順利進行。 為解決上述問題，本變形例中，已進行特別設計以縮短上 述等待時間T4〜T6。 35 200416910 具體而言，首先，將計測藉送入臂36吸引保持已位於第6 圖中之裝載具32之第1基板位置P1之基板3A，再令該基板3A移 位至第2基板位置P2之上方之高度位置H2之時間，即，計測時 間T1〜T4，再以該段時間為基板供給準備所需時間Ts。 5 此外，亦依次計測於電子零件安裝裝置101中對各基板3實 ^ 施電子零件2之安裝動作所需之時間，再以其中最短之時間更 ’ 新為零件安裝所需時間Tb。而，基板供給準備所需時間Ts之設 定（或記憶）及零件安裝所需時間Tb之更新等各動作則於諸如電 子零件安裝裝置101所具有之安裝控制部（未予圖示）中進行。 ® 10 又，後述之利用該等基板供給準備所需時間Ts及零件安裝所需 時間Tb而進行之各動作之控制等亦係由上述安裝控制部所進 行。上述安裝控制部與基板運送裝置30之控制部50相連接，而 可相互串連上述控制而總體進行之。 藉比較該零件安裝所需時間Tb與基板供給準備所需時間 15 Ts，即可算出令供給之新基板3於第1基板位置P1上待機，再實 施上述預熱處理，直至以送入臂36吸引保持而予以取出為止之 最適當時間。舉例言之，令基板3於上述第1基板位置P1上待機 ® 而預先實施預熱處理之時間即可依（零件安裝所需時間Tb) — (基板供給準備所需時間Ts)而算出。 20 如上所述，藉計測零件安裝所需時間Tb與基板供給準備所 需時間Ts，而依據該等項目算出令基板3於第1基板位置P1待機 而預先實施預熱處理之最適當時間，即可縮短（若實施最佳化， 則該時間亦可能為0)第6圖中時間T4〜T6之等待時間，並於電子 零件安裝裝置101中順利進行電子零件2之安裝動作，而不致發 36 200416910 生上述業經預熱處理之基板3之溫度降低之問題。又，送入臂 36及迗出臂38之昇降動作由於係藉送入臂昇降部42及送出臂 昇降邛44個別之氣缸而進行，故亦可解決其難以控制移動時間 之問題。此外，尚有一例，即，當零件安裝所需時間Tb為2.5s、 5基板供給準備所需時間Ts為2.0S時，上述待機之時間則為〇.5s。 (本發明之其他變形例） .其次，就本發明之電子零件安裝裝置1〇1所使用之基板3之 供給及撤出方法之其他變形例之實施形態加以說明。 10 上述之本發明中，電子零件安裝裝置101係使用於常用之 基板3之沿行基板運送方向B之長度尺寸之寬度為25〇mm左右 之尺寸之基板者。因此，裝載具32與卸載具34間之尺寸端視是 否可對上述寬度為250mm左右之尺寸之基板3進行上述供給及 撤出方法而決定。又，送入臂36之各保持喷嘴36a之配置及送出 15臂38之各保持噴嘴38a之配置亦端視可否確實保持上述尺寸之 基板3而決定。 本其他變形例中，則就即便基板3之寬度尺寸較上述 250mm為大，亦可進行該基板3之供給及撤出動作之基板之供給 及撤出方法加以說明。 20 ❿，第7圖係顯示可對應上述動作之送入臂及送出臂之構 造之立體圖。 如第7圖所示，基板運送裳置31中，具有送入们7與送出 臂39，基本之構造與基板運送裝置3〇相同，但送入臂37及送出 臂39中，保持噴嘴37a及39a之配置為可變動構造則為惟—歧異 37 200416910 點。以下，即僅就該歧異之構造加以說明。

如第7圖所示，於送入臂37之臂部分之與基板運送方向B逆 向側之部分分別安裝有可動臂部37b，該各可動臂部37b之前端 則安裝有保持噴嘴37a。又，該各可動臂可沿基板運送方向b移 5動’且’可固定其位置於所預期之移動位置上。而，送出臂39 亦形成與该送入臂37相同之構造，其臂部分之基板運送方向b 側部分分別安裝有可動臂部39b，該各可動臂部39b之前端亦安 裝有保持噴嘴39a。藉此，舉例言之，當基板3之寬度尺寸大於 250mm 即可配合基板3之上述寬度尺寸而令各可動臂部3 7b 10及39b移動，並固定其移動位置，而藉此進行基板3之吸引保 持。另，考量可動臂部37b&39b之移動而得出之可藉送入臂37 及送出臂39保持之基板3之寬度尺寸則為諸如250mm〜330mm 之範圍。 15 20 其次，就上述基板運送裝置31所進行之基板3之供給及撤 出之動作’寥照分別顯示於第8A圖、第8B圖、第8C圖、第8D 圖及第8E圖之核式說明圖加以說明。$，進行以下之基板3之 i、…及撤出之動作時，為配合基板3之寬度尺寸，將預先分別 方、运入臂37及送出臂39中，進行各可動臂部3几及现之移動位 置之凋正。X，自第8A至第8e圖巾，所供給之 %，已安裝㈣件㈣爾嫩脚爾板^

如第8A圖所 ，電子零件安裝裝置101中，對於已保持於 基板支持台Μ上而呈位於基板安裝領域pG之狀態之基板犯，已 實施各電子零件2之安裝動作。$，基板運送裝置31中，則藉 衣載”32而朝基板運送方㈣運送尚未經實施電子零件2之安 38 200416910 叙動作之新基板3 C ’並進行供給以令基板3 C位於第1基板位置 P1。然後，位於高度位置H4之狀態下之送入臂37與送出臂39 則移動以令送入臂37位於第1基板位置pi。然後，送入臂37將 自高度位置H4下降至H3，以吸引保持位於第1基板位置pi之基 5 板3C。 而後，送入臂37則上昇至高度位置H4，基板3C則自第1基 板位置P1被取出。同時，送入臂37將上昇至高度位置H4，送出 臂39則移動至位於第3基板位置P3上方之高度位置H4。 而，基板安裝領域P0中，則完成對基板3]〇所進行之各電子 1〇零件2之安裝，而藉XY載台26將基板3D於仍為基板支持台28所 保持之狀態下移動至第3基板位置P3。 然後，如第8B圖所示，送出臂39自高度位置H4下降至H1， 以吸引保持為基板支持台28所保持之基板3D。同時，基板支持 台28對基板3D之保持則解除，送出臂39則上昇至高度位置H4， 15 以自基板支持台28上取出基板3D。 其次，如第8C圖所示，呈已取出基板3〇之狀態之基板支 持台28將藉XY載台26而移動至第2基板位置p2。同時，送入臂 37則進行移動，以令為送人们7所吸引保持之基板％位於第2 基板位置上方之高度位置H4。 2〇 隨後，如第8D圖所示，呈已為送入臂37所吸引保持之狀態 之基板3C將自高度位置H4下降至m，而配置於位於第2基板位 置P2之狀態下之基板支持台28上面。同時，基板支持台湖進 行基板3C之保持，而，送入臂37對基板3c之吸引保持則解除。 然後，送入臂37則自高度位置H1上昇至H4。 39 一後，如第8E圖所示，業經供給新基板3C之基板支持台28 、J藉父¥載台26而移動至基板安裝領域p〇。移動至基板安裝領域 P0後，即開始對基板3C進行電子零件2之安裝動作。而，為送 出臂39所吸引鋪之狀態下之基板·於該安裝動作之開始 =時移動至第4基板位置P4之上方，卻不致對上述基板3(：之安 衣動作造成影響。3，進行上述移動時，由於送出臂％所吸引 保持之基板3D已安裝有電子零件2，故上述移動係以上述較慢 之其他預定速度進行，以避免發生其安裝位置之偏移。然後， 出’39所吸引保持之基板3D則自高度位置下降至H3， 而配置於卸載具34之第4基板位置p4±。同時，送出㈣對基 =3D之吸引保持則解除，送出臂39將再上昇，基板侧由卸載 Ά所承接。其後，再朝基板運送方向b運送位於第4基板位置 P4之基板3D，以進行基板3D之撤出。 15

曰又人设進行上述之基板3C之供給動作及基板3 之撤出動作，即可依次對電子零件安給基板3，, 依人撤出已於電子零件安裝裝置1G1中經實施安㈣作之基4

此外’上述各實施例中，雖已就基板3之運送方向為第碉 中X方向左向之方向之基板運送方向B之情形加以說明，但基板 20 3之’方向亚不僅限於上述情形，而亦可為圖示X轴方向之右 向。但’電子零件安裳裝置1〇1中，必須配合基板3之運送方向 而更改送入臂36與送出臂％之配置，以及裒載具Μ與卸載具Μ 之配置’則自不待言。 40 (實施例之效果） 根據上述實祐心 具她例，可得到以下各種效果。 首先5 電子兩姓 令件安裝裝置ιοί中，於撤出業經實施夂φ v 7件2之女袭之基板3時，可無涉為防止上述已安裝之各電 件2之安裝位置偏務 ° ^ ^ ^之發生而已限制其運送速度為低速之送 ㈣所進行之朝卸戴具34移動基板3之動作，而同 ^ 之其他新基板3進并泰 丁電子零件2之安裝動作。因此，可降低 令件女裝裝置101中， 基板3之供給及撤出動作對所供給之其 3之電子零件2之安努 及 10

、、… 成動作之停止時間所造成之影響，並縮短上 ^安裝動作之停止時間，而提昇電子零件2之安裝動作之生羞 具體而言，第面

所示之計時圖中，在送入臂36對基板支 持口 28供給基板3A之動作結束後之時間τιο以後，可互不干擾 同才進订為基板支持台28所保持之狀態下之基板3A朝基板 女裝种0之移動動作以後之動作，以及為送出臂顧吸引保持 之業經令件安裝之基板3B朝卸載具34之移動動作以後之動 作。因此，舉例言之，可於送出臂38進行基板3B之上述移動動 作中之某時間T12時，令基板3錄於基板安裝領域p〇，而開始 對基板3A進行電子零件2之安裝動作。因而，本實施例之電子 20令件安裝裝置101可避免如習知之零件安裝裝置231般，基板 233B之撤出所需之移動動作直接影響零件安裝動作之停止時 間’而令上述停止時間增長並妨礙零件安裝動作之生產性之提 昇，因此可提昇零件安裝動作之生產性。 尤其’業經零件安裝之基板3B朝卸載具34移動之動作時， 41 5 為防止已安震之各電子零件2之安裝位置偏移之發生，送出臂 38之&動速度為上述緩慢移動之速度而受限於低速，故如上所 边’令彼此之動作互不干擾而並行，在上述生產性之提昇上效 果卓著。

又’電子零件安裝裝置101中，藉設置可令用以保持基板3 之基板支持台28移動於基板安裝領域P0、第2基板位置P2及第3 基板位置P3間之χγ載台26，並於對基板支持台28供給新基板 3Α之刚，將吸引保持有業經零件安裝之基板3Β之狀態下之送出 ，38之私動動作控制在最小限度，即可達成上述效果。 10 進而，基板運送裝置30中，藉令可分別令送入臂36及送出 # 38個別進行昇降之送入臂昇降部42具有衝程互異之2個氣 Ρ長衝氣缸部42a與短衝程氣缸部42b，即可將送入臂％ 及迗出#38個別之昇降高度位置控制成4階段之高度位置。如 15 20 上所述’ H將昇降高度位置控制成4階段之高度位置，舉例言 之’與僅可將該昇降高度位置控制在⑽段之情形相比，除可 階=地進行昇降動作，而延長可與其他動作並行動 之㈣，並可縮短實際上昇降動作所需之時間。因—質 縮短基板3之供給及㈣動作”之時間，並可縮短基板31供 給及撤出所需之安裝動作之停止時間 /、 生產性之提昇。

，而實現電子零件安裝之 另，藉適當組合上述各實施例中之任意實施例，則可達 其個別所具有之效果。 則了達 本發明雖已參照附圖而就較佳之實施例 就熟習本技術之人員而言， 5 兄月， 貝'^員然可輕易進行各種變形及 42 200416910 正。而，如上所述之變形及修正凡係未逸脫隨附之申請專利範 圍所界定之本發明之範圍者，皆應視為包含於本發明之範圍 内。 5 【圖式簡單說明】 本發明之上述及其他目的與特徵可由附圖所示之較佳實 ‘ 施例之以下相關記述而清楚了解。該等附圖之說明如下： 第1圖係本發明一實施例之電子零件安裝裝置之立體圖。

第2圖係第1圖之電子零件安裝裝置中之基板運送裝置之 H 10 局部放大立體圖。 第3圖係第2圖之基板運送裝置之局部截面圖。 第4圖係顯示上述電子零件安裝裝置中之各基板平面位置 之模式說明圖。 第5A圖、第5B圖、第5C圖、第5D圖及第5E圖分別係顯示 15 上述電子零件安裝裝置中基板之供給及撤出之各動作之模式 說明圖，第5A圖係顯示對已為基板保持台所保持之基板進行零 件安裝，且，下一新基板已位於第1基板位置之狀態者；第5B ® 圖係顯示業經安裝之上述一基板於為基板保持台所保持之狀 態下移動至第3基板位置，且，上述新基板已移動至上述第2基 20 板位置之狀態者；第5C圖係顯示已解除上述業經安裝之基板之 保持之基板保持台已移動至第2基板位置之狀態者；第5D圖係 顯示上述新基板已載置於基板保持台上之狀態者；第5E圖係顯 示上述業經安裝之基板已移動至第4基板位置，並已對載置於 基板保持台上之前述新基板開始進行零件安裝之狀態者。 43 200416910 第6圖係第5圖之基板之供給及撤出之各動作之計時圖，縱 軸代表動作内容，横軸代表時間。 第7圖係上述實施例之變形例之基板運送裝置之局部放大 立體圖。 5 第8A圖、第8B圖、第8C圖、第8D圖及第8E圖分別係顯示 第7圖之基板運送裝置中基板之供給及撤出之各動作之模式說 ' 明圖，第8A圖係顯示對已為基板保持台所保持之基板進行零件 安裝，且，下一新基板已位於第1基板位置之狀態者；第8B圖 係顯示業經安裝之上述基板於為基板保持台所保持之狀態下 ® 10 移動至第3基板位置之狀態者；第8C圖係顯示已解除上述業經 安裝之基板之保持之基板保持台已移動至第2基板位置之狀態 者；第8D圖係顯示上述新基板已載置於基板保持台上之狀態 者；第8Ε圖係顯示上述業經安裝之基板已移動至第4基板位 置，並已對載置於基板保持台上之前述新基板開始進行零件安 15 裝之狀態者。 第9圖係第2圖之基板運送裝置之局部放大立體圖。 第10圖係習知之零件安裝裝置之立體圖。 胃 第11圖係習知之零件安裝裝置中之基板運送裝置之立體 圖。 20 第12Α圖、第12Β圖、第12C圖、第12D圖及第12Ε圖分別係 顯示習知之零件安裝裝置中基板之供給及撤出之各動作之模 式說明圖。 第13圖係習知之零件安裝裝置中基板之供給及撤出之各 動作之計時圖。 44 200416910 第14圖係顯示第2圖之基板運送裝置中之控制部之主要構 造之控制區塊圖。 圖式之主要元件代表符號表】

L 2···電子零件 3、3A、3B、3C、3D…基板 4···零件供給部 5···安裝部 10…昇降機部 12…供給零件配置台 14…反轉頭部 20…安裝頭部 22…X軸機器人 24…基台 26…XY載台 28…基板支持台 30…基板運送裝置 31…基板運送裝置 32…裝載具 32a、34a···運送軌 34…卸載具 36、37…送入臂 36a、38a…保持噴嘴 37a、39a…保持噴嘴 37b、39b…可動臂部 38、39…送出臂 40…臂移動部 42…送入臂昇降部 42a、44a…長衝程氣缸部 42b、44b…短衝程氣缸部 42c…轉轴 42C1—LM 導件 44···送出臂昇降部 46···基板運送方向移動部 46a···導螺桿軸部 46b···驅動馬達 46c···螺帽部 50…控制部 51···ΧΥ載台控制部 52…裝載具·卸載具控制部 53…臂移動控制部 53a···送入臂昇降控制部 53b···送出臂昇降控制部 53c···基板運送方向移動控制部

45 200416910 90···預熱部 242…送入臂 101···電子零件安裝裝置 243…送出臂 231···零件安裝裝置 249…零件供給部 232…零件 A、B…基板運送方向 233、233A、233B…基板 H1〜4…高度位置 234···基台 P0…基板安裝領域 235…安裝頭 P1…第1基板位置 236···Χ轴機器人 P2···第2基板位置 237···滑動載台 P3…第3基板位置 238···支持台 P4…第4基板位置 239…裝載具 T1〜T10···時間 239a、240a···運送軌 Tb…零件安裝所需時間 240…卸載具 Ts…基板供給準備所需時間 241···基板運送裝置

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Claims (1)

1. 200416910 拾、申請專利範圍： 1·一種基板運达裝置，係用以朝可將複數之零件安裝於基板 上，並將前述基板加工成業經零件安裝之基板之零件安裝裝置 供給前述基板，並運送前述基板以自前述零件安裝裝置撤出前 5 述業經零件安裝之基板者，包含有： -裝載部，係可沿行前述基板之運送方向運送前述基板以令其 位於彼此依次鄰接而配置之以基板位置、第2基板位置、第3 基板位置、第4基板位置中之前述第丨基板位置者； -卸載部，係用以自前述第4基板位置運送位於前述第4基板位 10 置之七述基板者； -基板供給用保持體，係用以保持位於前述第丨基板位置之基 板而令其呈可解除保持之狀態，並予以移至前述第2基板位置 者； 基板撤出用保持體，係用以保持位於前述第3基板位置之基 15板而令其呈可解除保持之狀態，並予以移至前述第4基板位置 者； 保持體移動部’係可進行前述基板供給用保持體及前述基板 撤出用保持妝之幵降及沿行前述基板之運送方向之移動者；及 基板保持&動裝置’係可保持前述基板而令其呈可解除保持 20

   之狀態，並將前述已保持之基板義至前述科安裝裝置中可 ί、進行月'j 件之安裝之基板安裝領域、前述第2基板位置及 前述第3基板位置之各位置者 2·如申請專利範圍第1項之基板運送裝置，其更包含-控制部， 係可刀社制別述基板供給用保持體及前述基板撤出用保持 47 體個別之保持動作、前述保持體 保持移動裝置之移動動作者，且 制，即： 移動部之移動動作及前述基板 ’其並可進行以下各動作之控 保持一 _基板位…板 Α板佯持、纟接而保持前述業經零件安裝之基板’以自前述 持彳_置撤“述L件絲之基板， :前述基板保持移動裝置移動至前述第2基板位置，而藉前这 :反供給⑽軸_細__供給前述基 10

   :業經供給前述基板之前述基板保持移動裝置移 板安裝領域， 基 ’’令已為前述基板撤出用保持體所保持之前述業經零件安 裝之基板移動至前述第4基板位置。 3·如申請專利範圍第1項之基板運送裝置，其中前述基板保持移 動裳置可朝沿行前述基板表面之方向上之沿行前述基板之運 込方向之方向以及與前述運送方向大略垂直之方向移動前述 已保持之基板。

   4·如申請專利範圍第1項之基板運送裝置，其中前述保持體移動 4可視前述基板撤出用保持體有無保持前述業經零件安裝之 基板而切換前述移動之速度或加速度， 則迷有保持基板時之前述移動之速度或加速度小於前述未保 持基板時之前述移動之速度或加速度。 5·如申請專利範圍第4項之基板運送裝置，其中前述有保持基板 日才之前述移動之速度係不致令前述業經零件安裝之基板因前 述移動而發生業經安裝之零件之安裝位置偏移之速度。 48 200416910 6. 如申請專利範圍第1項之基板運送裝置，其中前述第1基板位 置及前述第4基板位置係高度位置彼此相同者，前述第2基板位 置及前述第3基板位置亦為高度位置彼此相同者。 7. 如申請專利範圍第6項之基板運送裝置，其中前述保持體移動 5 部包含有： 一供給用昇降部，係用以進行前述基板供給用保持體之前述昇 降者；及

   一撤出用昇降部，係用以進行前述基板撤出用保持體之前述昇 降者； 10 而，前述各昇降部可進行前述各昇降，以分別令前述基板供給 用保持體及前述基板撤出用保持體個別位於前述第1基板位置 及前述第4基板位置之前述高度位置之第1高度位置、高於前述 第1基板位置之第1退避高度位置、前述第2基板位置及前述第3 基板位置之高度位置之第2高度位置及高於前述第2高度位置 15 之第2退避位置之各高度位置。

   8. 如申請專利範圍第7項之基板運送裝置，其中前述各昇降部包 含衝程彼此互異之2個氣缸部，而可組合前述各氣缸部之衝程 以朝前述各高度位置進行昇降。 9. 一種零件安裝裝置，包含有： 20 申請專利範圍第1至第8項之任一項之基板運送裝置；及 安裝頭部，係可保持前述各零件，而於前述基板安裝領域内朝 已為前述基板保持移動裝置所保持之前述基板上安裝前述業 經保持之零件者。 10. —種零件安裝之基板運送方法，係用於進行可使已配置而保 49 200416910 持於基板賴台上之基板位於基板安裝領勒而安裝複數零 件，以將前述基板加卫成業經零件安裝之基板之零件安裝時: 使用下列機構以進行前述基板之供給及撤出者，而，該等機構 係： 5基板供給用保持體’係可保持已沿行前述基板之運送方向而送 入之前述基板騎其呈可解除縣之錢，並朝前述基板保持 台予以供出者；及 10 基板撤出用保持體，係可保持已保持於前述基板保持台上之前 述業經零件安裝之基板而自前述基板保持台料撤出，並令其 呈可沿行前述運送方向進行運送之狀態者； 而，本方法包含有下列步驟：

   15 以前述基板供給用保持體簡業經運送至沿行前述運送方向 而彼此依次鄰接配置之第1基板位置、第2基板位置、第3基板 位置及弟4基板位置中之前述第】基板位置之前述基板，而令前 持之基板位於前述第2基板位置之上方之高度位置，同 ^則述基板撤出用保持體位於前述第3基板位置 度位置， 之上方之高

   20 保持有㈣業經零件安裝之基板之前述基板保持台自 Μ基板安裝領域移動至前述第3基板位置， ▲而’令“基_出㈣持體下降以保持前述業經零件安裝 之基板，再令前述#經零件安裝之基板上昇至前述上方之、 位置，以自前述基板保持台予以撤出， -又 並f 述基板保持台移動至前述第2基板位置，^ 基板供給用保持體下降，並解除前述保持以朝前 50 200416910 述基板保持台供給前述基板， 取後7 供給月⑽基板之前述基 安裝領域，㈣令已騎述基板撤 動至前述基板 經零件安裝之基板移動至前述第4基板位置所保持之前述業 11·如申請專利範圍第1G項之零件安穿 前述基板撤出用保持體、4運送方法，其中為 前述第4基板位置之移動經零件安裝之基板朝 1之和動動作係完成於 安裝領域中之前述基板保持Α 述基板 作之後者。 、° ▲板3前料件之安裝動 ίο :二=範圍第10項之零件安裝之基板運送方法，其中為 體所保持之前述業經零件安裝之基板朝 刖述弟4基板位置移動之速度或加速度小於前述基板撤出用保 ㈣未進彳讀«經料安裝之基板之保持叙移動之速度 或加速度。 15 13.如中請專利範圍第1Q項之零件安裝之基板運送方法，其中保 持有前述業轉件安k基板之前述基板《台移動至前述 弟3基板位置而定位之的欠 位之、力略同時，可進行藉前述基板供給用保 持體保持已運送至前述第丄基板位置之前述基板之時間控制， 以7保持有刚34基板之前述基板供給隸持體及前述基板撤 20 ill用保持體移動而定位於可避開位於上述第3基板位置之上述 基板保持台之高度位置。 14·如申印專利範圍第10、11、12或13項之零件安裝之基板運送 方法依據别述令件安裝時朝位於前述基板安裝領域之前述基 板女裝刖述各零件，而將前述基板加工成業經零件安裝之基板 51 200416910 為止所需之時間，以及藉前述基板供給用保持體保持已運送至 前述第1基板位置之前述基板，而令前述已保持之基板位於前 述第2基板位置上方之高度位置為止所需之時間，可進行藉前 述基板供給用保持體保持已運送至前述第1基板位置之前述基 5 板之時間控制。

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