SU1326202A3 - Лазерное зеркало - Google Patents

Лазерное зеркало Download PDF

Info

Publication number
SU1326202A3
SU1326202A3 SU823432352A SU3432352A SU1326202A3 SU 1326202 A3 SU1326202 A3 SU 1326202A3 SU 823432352 A SU823432352 A SU 823432352A SU 3432352 A SU3432352 A SU 3432352A SU 1326202 A3 SU1326202 A3 SU 1326202A3
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
layer
adhesive
mirror
reflective
metal layer
Prior art date
Application number
SU823432352A
Other languages
English (en)
Inventor
Греваль Вириндер
Райндль Вернер
Original Assignee
Сименс Аг (Фирма)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Сименс Аг (Фирма) filed Critical Сименс Аг (Фирма)
Application granted granted Critical
Publication of SU1326202A3 publication Critical patent/SU1326202A3/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/08—Mirrors
    • G02B5/09—Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/08—Mirrors
    • G02B5/0816—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
    • G02B5/085—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal
    • G02B5/0858—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal the reflecting layers comprising a single metallic layer with one or more dielectric layers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems
    • G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
    • Y10T428/12583—Component contains compound of adjacent metal
    • Y10T428/1259—Oxide

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Laser Surgery Devices (AREA)

Abstract

Изобретение касаетс  прочносцеп- л емой, высокоотражательной и корро- зионно-усТойчивой структуры сло  лазерного зеркала и может быть использовако в записывающих устройствах плоской записи. Целью изобретени   вл етс  увеличение срока службы путем предотвращени  отображени  грубой кристаллической структуры адгезионного металлического сло  Б отражающем металлическом слое. Дл  этого в четырехслойном покрытии, нанесенном на металлическую подложку 1, промежуточный 3 и защитный 5 слои выполнены из аморфной окиси алюмини  толщиной 50-500 нм и 30-300 нм соответственно , a адгезионный слой 2 - из титана или хрома толщиной 10- 200 нм. Аморфный промежуточньш слой-З, действу  как диффузионный барьер, предотвращает образование шероховатости отражающей поверхности. Все слои зеркала получе|{ы последовательным напьшением или испарением в одном вакуумном процессе. 1 ил. СО со IsD Oi ls5 О IvD Ы

Description

Р1зобретение касае тс  прочно сцепл емой зысокоотражательной и корро- зионноустойчивон структуры сло  многослойных лазерных зеркал из алюминиевых или латунных сплавов, которые могут быть использованы, например, дл  записывающих устройств плоской записи.
Целью изобретени   вл етс  ували- чение срока службы путем пре/:(отБра щени  отображени  грубой кристашп- - ческой структуры адгезионног о металлического сло  в отражающем металлическом слое.
На чертеже представлено лазерное зеркало5 общий вид
Предлагаемое лазерное зеркало состоит из металлической подложки i, адгезионного 2, аморфного проме;куточ- ного 3;; отражаю1;(его 4 и защитиого 3 слоев.
Адгезионн ый слой выполнен из титана или хрома, а адгези;)1::ным и отражающим сло ми в качестве диффузного барьера предусмотрен промежуточный слой из аморфной окиср алюмлии;; .
Bde слои изготовл ют путем последовательного папьи1ени  или испа 1ени  в одном вакуумном процессе,
Бл а год ар   аморфн ому пр ом ежут о чн ом слою, действующему как ди Лу:- -ионный барьер, предотвращаетс  отображепие- на отра;ка1ощем слое с течением време-- ни структуры адгезионного сло  (эффект зпмтаксии) и образовггние шероховатости отралсающей поверхностиj yxy;i,- шающей отражающую способность зеркала в целом.
Пример, Изготавливают лазерное полигональное четырехслойное зеркало с восемью отражаюш,ими плоскост Составитель И.Остащенко Редактор Н.Егорова Техред В.Кадар Корректор Н, Король
Заказ 3131/59 Тираж 521Подписное
ВНИВДИ Государственного комитета СССР
по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предпри тие, г.Ужгород, ул„Проектна , 4
0
5
0
ми и следующим.выполнением слоев: адгезионный слой из титана толщиной 100 им; аморфный промежуточный слой из окиси алюмини  - 100 нм; отражающий слой (алюминий) - 500 нм; защитный слой из окиси алюмини  - 100 нм.
Все восемь отражающих поверхностей имеют высокую равномерность тол- слоев.
Изготовленное таким образом зерка- .по при хранении его в услови х относительной влажности 90% при 40°С, а также при температурном хранении при 120°С не показало признаков коррозии.
Первоначально измеренный после на- нес.енрт  слоев коэ4х)ици ент отражени  предлагаемого зеркала сохранилс  после такого хранени .
Ф о р м у л а изобретени 
Лазерное зеркало, содержащее ме- тaJшичecкylo подложку с нанесенным на нее четырехслойным покрьгтиеМэ состо щим из последовательно расположенные: , адгезионного металлического, промежуточного, отражающего металлического- и защитного слоев, о т л и- ч а ю щ е е с   тек, что, с целью увеличени  срока службы путем предотвращени  отображени  грубой кристаллической структуры адгезионного металлического сло  в отражающем металлическом слое, промежз точный и защитный слои вьтолнены из аморфной окиси алюмини  толщиной 50-500 нм и 30- 300 нм соответственно, адгезионньм слой выполнен из титана или хрома толщиной 10-200 нм, а толщина отражающего металлического сло  составл ет 100-1000 нм„

Claims (1)

  1. ЛАЗЕРНОЕ ЗЕРКАЛО
    Изобретение касается прочносцепляемой, высокоотражательной и коррозионно-устойчивой структуры слоя лазерного зеркала и может быть исполь- зовано в записывающих устройствах плоской записи. Целью изобретения является увеличение срока службы путем предотвращения отображения грубой кристаллической структуры адгезионного металлического слоя в отражающем металлическом слое. Для этого в четырехслойном покрытии, нанесенном на металлическую подложку 1, промежуточный 3 и защитный 5 слои выполнены из аморфной окиси алюминия толщиной 50-500 нм и 30-300 нм соответственно, а адгезионный слой 2 из титана или хрома толщиной 10200 нм. Аморфный промежуточный слойЗ, действуя как диффузионный барьер, предотвращает образование шероховатости отражающей поверхности. Все слои зеркала получены последовательным напылением или испарением в одном вакуумном процессе. 1 ил.
    Slh„, 1326202
    Изобретение касае'тся прочно сцепляемой высокоотражательной и коррозионноустойчивой структуры слоя многослойных лазерных зеркал из алюминиевых или латунных сплавов, которые могут быть использованы, например, ’ для записывающих устройств плоской записи.
    Целью изобретения является увеличение срока службы путем предотвращения отображения грубой кристаллической структуры адгезионного металлического слоя в отражающем металлическом слое.
SU823432352A 1981-02-27 1982-02-25 Лазерное зеркало SU1326202A3 (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19813107612 DE3107612A1 (de) 1981-02-27 1981-02-27 Laserspiegel, insbesondere laser-polygonspiegel

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1326202A3 true SU1326202A3 (ru) 1987-07-23

Family

ID=6125994

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU823432352A SU1326202A3 (ru) 1981-02-27 1982-02-25 Лазерное зеркало

Country Status (8)

Country Link
US (1) US4482209A (ru)
EP (1) EP0059260B1 (ru)
JP (1) JPS57157204A (ru)
AT (1) ATE13727T1 (ru)
AU (1) AU545173B2 (ru)
CA (1) CA1178466A (ru)
DE (2) DE3107612A1 (ru)
SU (1) SU1326202A3 (ru)

Families Citing this family (59)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4673248A (en) * 1983-04-11 1987-06-16 Nippon Soken, Inc. Reflecting mirror for an automobile
JPS6016058A (ja) * 1983-07-08 1985-01-26 Hitachi Ltd 光ビ−ム走査装置
JPS60170287A (ja) * 1984-02-14 1985-09-03 信越化学工業株式会社 銅張積層基板
US4963012A (en) * 1984-07-20 1990-10-16 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Passivation coating for flexible substrate mirrors
US4666263A (en) * 1986-01-16 1987-05-19 Deposition Technology, Inc. Radiant energy reflector and method for construction thereof
US5312693A (en) * 1986-05-28 1994-05-17 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Nonsacrificial laser hardening
DE3636059A1 (de) * 1986-10-23 1988-04-28 Standard Elektrik Lorenz Ag Bildwiedergabeanordnung mit einer bildroehre und verfahren zur herstellung
DE3819011A1 (de) * 1987-06-03 1988-12-22 Mitsubishi Electric Corp Spiegel
DE3728106A1 (de) * 1987-08-22 1989-03-02 Philips & Du Pont Optical Optisch auslesbarer, plattenfoermiger informationstraeger
JPH02278203A (ja) * 1989-04-19 1990-11-14 Adachi Shin Sangyo Kk 光学反射板
US4906084A (en) * 1989-05-02 1990-03-06 Showertek, Inc. Mirror with protective backing
JP2659809B2 (ja) * 1989-08-07 1997-09-30 三菱重工業株式会社 レーザ用反射ミラー
US5076663A (en) * 1989-10-04 1991-12-31 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Corrosion protection for silver reflectors
US5216551A (en) * 1990-02-16 1993-06-01 Asahi Kogaku Kogyo K.K. Surface reflector
GB2267509B (en) * 1990-02-16 1994-07-20 Asahi Optical Co Ltd Surface reflector
CH683188A5 (de) * 1991-01-11 1994-01-31 Alusuisse Lonza Services Ag Aluminiumoberflächen.
GB2261079B (en) * 1991-10-31 1995-06-14 Asahi Optical Co Ltd Surface reflecting mirror
US5828493A (en) * 1992-07-24 1998-10-27 Dielectric Coating Industries Reflectors
US5395662A (en) * 1992-07-24 1995-03-07 Dielectric Coating Industries Improvements in high reflective aluminum sheeting and methods for making same
DE4301463A1 (de) * 1993-01-20 1994-07-21 Wissenschaftlich Tech Optikzen Verfahren zur Beschichtung von Spiegeln hoher Reflektivität und Spiegel mit einer Beschichtung
US5361172A (en) * 1993-01-21 1994-11-01 Midwest Research Institute Durable metallized polymer mirror
US5376431A (en) * 1993-05-12 1994-12-27 Reflexite Corporation Retroreflective microprism sheeting with silver/copper reflecting coating and method of making same
JP3206852B2 (ja) * 1993-06-21 2001-09-10 セントラル硝子株式会社 鏡
JP3208251B2 (ja) * 1993-07-09 2001-09-10 キヤノン株式会社 画像記録装置用レプリカミラーおよびその製造方法
US5527562A (en) * 1994-10-21 1996-06-18 Aluminum Company Of America Siloxane coatings for aluminum reflectors
US5646792A (en) * 1995-02-24 1997-07-08 Science Applications International Corporation Long-life self-renewing solar reflector stack
US6142642A (en) * 1995-06-29 2000-11-07 Cardinal Ig Company Bendable mirrors and method of manufacture
EP1051364B1 (en) 1997-10-31 2002-04-10 Cardinal CG Company Heat-bendable mirrors
ATE216502T1 (de) * 1997-11-17 2002-05-15 Alanod Al Veredlung Gmbh Verbundmaterial, insbesondere für reflektoren
WO1999064900A1 (en) * 1998-06-09 1999-12-16 The Regents Of The University Of California Durable silver coating for mirrors
AU3344700A (en) * 1999-02-01 2000-08-18 United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration, The High quality optically polished aluminum mirror and process for producing
US6350176B1 (en) 1999-02-01 2002-02-26 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration High quality optically polished aluminum mirror and process for producing
US6068379A (en) * 1999-05-14 2000-05-30 Paul Stuart Kempf And Pilar Moreno Kempf Family Trust Diamond surface mirror
US6382816B1 (en) 1999-12-23 2002-05-07 General Eectric Company Protected coating for energy efficient lamp
US7513815B2 (en) * 1999-12-23 2009-04-07 General Electric Company Optimal silicon dioxide protection layer thickness for silver lamp reflector
JP4410367B2 (ja) * 1999-12-24 2010-02-03 キヤノン電子株式会社 金属鏡および金属回転多面鏡およびその製造方法
US6966820B1 (en) 2000-01-27 2005-11-22 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration High quality optically polished aluminum mirror and process for producing
JP4453886B2 (ja) * 2000-06-05 2010-04-21 フジノン株式会社 アルミ反射鏡の製造方法およびアルミ反射鏡
US6749309B1 (en) 2001-09-27 2004-06-15 Gsi Lumonics Corporation Optical element for scanning system and method of manufacture thereof
US6656528B2 (en) * 2001-11-16 2003-12-02 Dalsa Semiconductor Inc. Method of making specular infrared mirrors for use in optical devices
US7065109B2 (en) * 2002-05-08 2006-06-20 Melles Griot Inc. Laser with narrow bandwidth antireflection filter for frequency selection
JP4307921B2 (ja) * 2002-11-19 2009-08-05 フジノン株式会社 反射鏡
US20040247904A1 (en) * 2003-06-05 2004-12-09 Maxford Technology Ltd. Method of surface-treating a solid substrate
US20050023983A1 (en) * 2003-08-01 2005-02-03 Rajasingh Israel Optimal silicon dioxide protection layer thickness for silver lamp reflector
US7561611B2 (en) * 2005-02-03 2009-07-14 Corning Incorporated Extended-lifetime elements for excimer lasers
JP5457176B2 (ja) * 2007-06-08 2014-04-02 東洋鋼鈑株式会社 光反射板の製造方法
GB0722906D0 (en) * 2007-11-22 2008-01-02 Pilkington Group Ltd Mirror
US20100261036A1 (en) * 2009-04-10 2010-10-14 Vtec Technologies, Llc Light-Reflective Articles
DE102009040785A1 (de) * 2009-09-09 2011-03-10 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Substrat aus einer Aluminium-Silizium-Legierung oder kristallinem Silizium, Metallspiegel, Verfahren zu dessen Herstellung sowie dessen Verwendung
US20110228415A1 (en) * 2010-03-18 2011-09-22 Shih-Chang Shei High-reflection multilayer coating
IT1401689B1 (it) * 2010-09-10 2013-08-02 Pellini Spa Vetrocamera con veneziana interna a lamelle di migliorata riflettività e diffusività su un più ampio intervallo spettrale della radiazione solare incidente
DE102011002953A1 (de) 2011-01-21 2012-07-26 Carl Zeiss Smt Gmbh Substrat für Spiegel für die EUV-Lithographie
US20150153485A1 (en) * 2013-11-27 2015-06-04 Convergent Dental, Inc. Coated mirrors for use in laser-based dental treatment systems and methods of making such mirrors
US9971073B2 (en) * 2014-04-14 2018-05-15 Corning Incorporated Enhanced performance metallic based optical mirror substrates
CN104269724A (zh) * 2014-10-20 2015-01-07 四川卓众科技有限公司 一种镀银激光泵浦聚光反射腔的制造方法
US9575316B2 (en) * 2014-10-29 2017-02-21 Google Inc. Simplified mirror
US10544499B1 (en) * 2018-08-13 2020-01-28 Valeo North America, Inc. Reflector for vehicle lighting
US11698477B2 (en) * 2020-07-15 2023-07-11 Raytheon Company Visible quality additive manufactured aluminum mirror finishing
RU208984U1 (ru) * 2021-08-19 2022-01-25 Акционерное общество "Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики" (АО "НПО ГИПО") Оптическое зеркало

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE5391C (de) * CH. H. WATEROUS in Brantford (Canada) Neuerungen an Lokomobilen
DE7137753U (de) * 1972-01-13 Deutsche Gold- Und Silber-Scheideanstalt Verkehrsspiegel
DE707562C (de) * 1939-09-10 1941-06-28 Hermann Schneider Mehrschichtiger Metallspiegel und Verfahren zu dessen Herstellung
DE930428C (de) * 1941-04-11 1955-07-14 Georg Dr Hass Verfahren zur Herstellung von hochreflektierenden, haftfesten Oberflaechenspiegeln auf metallischer Unterlage
GB1507532A (en) * 1974-08-29 1978-04-19 Heraeus Gmbh W C Reflectors for infra-red radiation
US4214157A (en) * 1978-07-07 1980-07-22 Pitney Bowes, Inc. Apparatus and method for correcting imperfection in a polygon used for laser scanning
JPS6089702A (ja) * 1983-10-21 1985-05-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd コンビヘッド取付け位置観察用鏡筒

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Разуваев Г.А. и др. Металлоорга- нические соединени в электронике. М.: Наука, 1972, с. 451-455, Патент GB № 1507532, кл. G 2 J, опублик. 19.04.78. *

Also Published As

Publication number Publication date
AU545173B2 (en) 1985-07-04
AU8092982A (en) 1982-09-02
DE3170884D1 (en) 1985-07-11
DE3107612A1 (de) 1982-09-16
EP0059260A1 (de) 1982-09-08
EP0059260B1 (de) 1985-06-05
ATE13727T1 (de) 1985-06-15
US4482209A (en) 1984-11-13
JPS57157204A (en) 1982-09-28
CA1178466A (en) 1984-11-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU1326202A3 (ru) Лазерное зеркало
KR101954363B1 (ko) 온도 및 부식 안정 표면 반사체
US6707610B1 (en) Reducing the susceptibility of titanium nitride optical layers to crack
EP0530676A2 (en) Heat-screening glass
EP0341844A2 (en) Protected silvered substrates and mirrors containing the same
US20180364402A1 (en) Extending the reflection bandwith of silver coating stacks for highly reflective mirrors
US6939018B2 (en) Reflecting mirror
KR20190010221A (ko) ta-C 및 Y2O3 코팅 박막층을 구비한 하이브리드 적외선 광학렌즈
CN114609702B (zh) 一种短波近红外宽带增透膜及其制备方法
JP2838525B2 (ja) 反射鏡
JP5301766B2 (ja) 反射防止膜付透明基板
US6150039A (en) Protective and/or reflectivity enhancement of noble metal
JPH0446401B2 (ru)
JP4482971B2 (ja) 反射鏡
JP2000241612A (ja) 反射鏡
JP2537773B2 (ja) プラスチツク製ミラ−コ−トレンズ
JP2787987B2 (ja) 反射鏡
JPS5895301A (ja) レ−ザ−全反射鏡
KR940000394A (ko) 거울 등의 내구성이 강화된 광학적 적층제 및 이 적층제의 제조방법
JPH08327809A (ja) プラスチック製反射ミラー
JP2003329818A (ja) 反射鏡
JPH09111442A (ja) 高耐久性反射フイルム
JP3054241B2 (ja) 光反射体
CN220795513U (zh) 一种多功能反射层
JPH05127005A (ja) 表面高反射鏡