SA516371930B1 - تعدين الخلايا الشمسية باستخدام الرقائق - Google Patents
تعدين الخلايا الشمسية باستخدام الرقائق Download PDFInfo
- Publication number
- SA516371930B1 SA516371930B1 SA516371930A SA516371930A SA516371930B1 SA 516371930 B1 SA516371930 B1 SA 516371930B1 SA 516371930 A SA516371930 A SA 516371930A SA 516371930 A SA516371930 A SA 516371930A SA 516371930 B1 SA516371930 B1 SA 516371930B1
- Authority
- SA
- Saudi Arabia
- Prior art keywords
- regions
- foil
- metal foil
- metal
- positive
- Prior art date
Links
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 title abstract description 4
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims abstract description 215
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 155
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 155
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 87
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 72
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 158
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 62
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 42
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical group [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 42
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 40
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 31
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 27
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 claims description 23
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 238000007743 anodising Methods 0.000 claims description 13
- 230000004224 protection Effects 0.000 claims description 10
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 4
- 235000015076 Shorea robusta Nutrition 0.000 claims description 3
- 101100234002 Drosophila melanogaster Shal gene Proteins 0.000 claims description 2
- 244000166071 Shorea robusta Species 0.000 claims description 2
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 claims description 2
- 230000005226 mechanical processes and functions Effects 0.000 claims description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims 6
- 238000010147 laser engraving Methods 0.000 claims 4
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 claims 2
- 101100309713 Arabidopsis thaliana SD129 gene Proteins 0.000 claims 1
- 241000196324 Embryophyta Species 0.000 claims 1
- 241000989913 Gunnera petaloidea Species 0.000 claims 1
- 241000026407 Haya Species 0.000 claims 1
- 241000257303 Hymenoptera Species 0.000 claims 1
- 102100034184 Macrophage scavenger receptor types I and II Human genes 0.000 claims 1
- 101710134306 Macrophage scavenger receptor types I and II Proteins 0.000 claims 1
- 241000269435 Rana <genus> Species 0.000 claims 1
- 229910019567 Re Re Inorganic materials 0.000 claims 1
- GZUXJHMPEANEGY-UHFFFAOYSA-N bromomethane Chemical compound BrC GZUXJHMPEANEGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 201000010099 disease Diseases 0.000 claims 1
- 208000037265 diseases, disorders, signs and symptoms Diseases 0.000 claims 1
- 210000005069 ears Anatomy 0.000 claims 1
- 238000007373 indentation Methods 0.000 claims 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims 1
- 235000008001 rakum palm Nutrition 0.000 claims 1
- FESBVLZDDCQLFY-UHFFFAOYSA-N sete Chemical compound [Te]=[Se] FESBVLZDDCQLFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims 1
- 239000010902 straw Substances 0.000 claims 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 claims 1
- 235000012773 waffles Nutrition 0.000 claims 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 78
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 30
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 18
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 11
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 10
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 9
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 8
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 8
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 description 7
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 7
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 6
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 6
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 5
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 5
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 2
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 2
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 2
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000005272 metallurgy Methods 0.000 description 2
- 238000005065 mining Methods 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 239000004753 textile Substances 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 241001136792 Alle Species 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004971 Cross linker Substances 0.000 description 1
- 201000001779 Leukocyte adhesion deficiency Diseases 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101150107869 Sarg gene Proteins 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 230000001464 adherent effect Effects 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002048 anodisation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000009412 basement excavation Methods 0.000 description 1
- 244000309464 bull Species 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000010329 laser etching Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000010310 metallurgical process Methods 0.000 description 1
- LFETXMWECUPHJA-UHFFFAOYSA-N methanamine;hydrate Chemical compound O.NC LFETXMWECUPHJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
- 238000003631 wet chemical etching Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers
- H01L31/068—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PN homojunction type, e.g. bulk silicon PN homojunction solar cells or thin film polycrystalline silicon PN homojunction solar cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/02002—Arrangements for conducting electric current to or from the device in operations
- H01L31/02005—Arrangements for conducting electric current to or from the device in operations for device characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02008—Arrangements for conducting electric current to or from the device in operations for device characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells or solar cell modules
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02167—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02167—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
- H01L31/02168—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells the coatings being antireflective or having enhancing optical properties for the solar cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022408—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/022425—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/0256—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by the material
- H01L31/0264—Inorganic materials
- H01L31/028—Inorganic materials including, apart from doping material or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic Table
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/036—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes
- H01L31/0368—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes including polycrystalline semiconductors
- H01L31/03682—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes including polycrystalline semiconductors including only elements of Group IV of the Periodic Table
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/036—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes
- H01L31/0376—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes including amorphous semiconductors
- H01L31/03762—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes including amorphous semiconductors including only elements of Group IV of the Periodic Table
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers
- H01L31/068—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PN homojunction type, e.g. bulk silicon PN homojunction solar cells or thin film polycrystalline silicon PN homojunction solar cells
- H01L31/0682—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PN homojunction type, e.g. bulk silicon PN homojunction solar cells or thin film polycrystalline silicon PN homojunction solar cells back-junction, i.e. rearside emitter, solar cells, e.g. interdigitated base-emitter regions back-junction cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers
- H01L31/072—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PN heterojunction type
- H01L31/0745—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PN heterojunction type comprising a AIVBIV heterojunction, e.g. Si/Ge, SiGe/Si or Si/SiC solar cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers
- H01L31/072—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PN heterojunction type
- H01L31/0745—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PN heterojunction type comprising a AIVBIV heterojunction, e.g. Si/Ge, SiGe/Si or Si/SiC solar cells
- H01L31/0747—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PN heterojunction type comprising a AIVBIV heterojunction, e.g. Si/Ge, SiGe/Si or Si/SiC solar cells comprising a heterojunction of crystalline and amorphous materials, e.g. heterojunction with intrinsic thin layer
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/546—Polycrystalline silicon PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/548—Amorphous silicon PV cells
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Sustainable Energy (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
يتعلق الاختراع الحالي بتوضيح طرق لتعدين الخلايا الشمسية metallization of solar cells باستخدام الرقائق foil وما ينتج عنها من خلايا شمسية solar cells. في أحد الأمثلة، تتضمن خلية شمسية إحدى الركائز. ويتم وضع مجموعة من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب التبادلية (104، 106) بداخل الركيزة substrate (100) أو فوقها. كما توضع بنية تلامس موصلة فوق مجموعة من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب التبادلية N-type and P-type semiconductor regions (104، 106). تتضمن بنية التلامس الموصلة مجموعة من المناطق المعدنية المحببة metal seed material region (114)، مما يوفر منطقة مادة معدنية محببة (114) توضع على كل من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب التبادلية (104، 106). توضع رقاقة معدنية metal foil (118) على مجموعة من المناطق المعدنية المحببة (114)، وتقوم الرقاقة المعدنية التي تتمتع بأجزاء معالجة بالأنود anodized portions بعزل المناطق المعدنية isolating metal regions من المناطق المعدنية المحببة المناظرة للمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب التبادلية (104، 106). شكل
Description
تعدين الخلايا الشمسية باستخدام الرقائق Foil-Based Metallization of Solar Cells الوصف الكامل
خلفية الاختراع
تتمثل تطبيقات الكشف الحالي في مجال الطاقة المتجددة؛ وتحديدًا في الأساليب المستخدمة لتعدين
الخلايا الشمسية solar cells وما ينتج من WIA شمسية.
الخلايا الكهروضوئية Photovoltaic cells ؛ المعروفة بشكل شائع باسم الخلايا الشمسية؛ هي أجهزة معروفة للتحويل المباشر لأشعة الشمس solar radiation إلى طاقة كهربائية electrical
ل0. بصورة عامة؛ تركب الخلايا الشمسية على رقاقة شبه موصلة semiconductor
wafer أو على ركيزة. ©50051081باستخدام تقنيات dallas أشباه الموصلات
semiconductor processing لتكوين وصلة ثنائية junction 0-0 بالقرب من أحد أسطح
الركيزة surface of the substrate يعمل إشعاع الشمس الذي يصطدم بسطح الركيزة ويدخل
0 فيه على إنتاج أزواج إلكترونية creates electron وفراغات hole pairs في كامل الركيزة. تنتقل الأزواج الإلكترونية والفراغات إلى مناطق شائبة موجبة ومناطق شائبة سالبة في الركيزة؛ مما يولد فرق جهد كهريائي بين المناطق الشائبة. يتم توصيل المناطق الشائبة بمناطق موصلة على الخلية الشمسية لتوجيه تيار كهريائي direct an electrical current من الخلية إلى دائرة خارجية external circuit مقرونة بها.
5 الفاعلية هي ميزة مهمة لأي خلية شمسية حيث إنها ترتبط ارتباطًا مباشرًا بقدرة الخلية الشمسية على توليد الطاقة. وبالمثل ترتبط فاعلية إنتاج الخلايا الشمسية مباشرة بتوفير هذه الخلايا الشمسية للتكلفة. وبسبب ذلك؛ تعتبر تقنيات زيادة فاعلية الخلايا الشمسية أو تقنيات زيادة فاعلية صناعة الخلايا الشمسية Use je فيها عمومًا. وتسمح بعض نماذج تطبيق الإعلان الحالي بزيادة فاعلية تصنيع الخلية الشمسية من خلال توفير عمليات مستحدثة لصناعة هياكل الخلايا الشمسية. وتسمح
0 بعض نماذج تطبيق الإعلان الحالي بزيادة فاعلية الخلية الشمسية عن طريق توفير هياكل الخلايا الشمسية solar cell structures المستحدثة.
يتعلق الطلب الأمريكي رقم 20130000715 بشكل عام بمجالات الكهروضوتية والالكترونيات الدقيقة. (au أكثر dass الأساليب؛ والتصاميم؛ والأجهزة ذات أداء تلامس كهربائي عالي و تعزيز اتصال ميكانيكي للخلايا الشمسية الضوئية. يتعلق الطلب الأمريكي رقم 20060213548 بالخلايا الكهروضوئية / الخلايا الشمسية وتصنيع الألواح الشمسية . الوصف العام للاختراع أحد نماذج الاختراع الحالي يتعلق بطريقة لتصنيع خلية شمسية؛ حيث تتألف الطريقة من: تكوين عدد وفير من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب بداخل الركيزة؛ أو فوقها؛ التصاق رقاقة معدنية metal foil بالمناطق شبه الموصلة semiconductor regions من 0 النوعين الموجب والسالب؛ الإزالة بالليزر فقط من خلال ga الرقاقة المعدنية في المناطق المناظرة للمواقع بين المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب؛ و الإزالة بالليزر laser « عزل مناطق الرقاقة المعدنية المتبقية المناظرة للمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب. 5 نموذج Al من نماذج الاختراع الحالي يتعلق بطريقة لتصنيع خلية شمسية؛ حيث تتألف الطريقة من: تكوين عدد وفير من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب بداخل الركيزة؛ أو فوقها؛ لصق رقاقة معدنية معالجة بالأنود anodized بالمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب؛ وتتمتع الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود بسطح علوي معالج بالأنود وسطح سفلي معالج 0 بالأنود؛ حيث eda dag معدنى بينهما؛ كما تتضمن عملية لصق الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود بالمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب اختراق مناطق السطح السفلي المعالج بالأنود من الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود؛ و
إجراء الإزالة عن طريق القطع بالليزر من خلال السطح العلوي المعالج بالأنود والجزء المعدني من الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود فى المناطق المناظرة للأماكن بين المناطق شبه الموصلة الموجبة والسالبة؛ بينما يشتمل إجراء الإزالة عن طريق القطع بالليزر على التخلص من السطح السفلي المعالج بالأنود من المناطق العازلة للرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود بالجزء المتبقي من الرقاقة المعدنية المتبقية المناظرة للمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب.
و نموذج اخر من نماذج الاختراع الحالي يتعلق بخلية شمسية تتألف من: ركيزة substrate : يتم وضع عدد وفير من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب بداخل الركيزة؛ أو فوقها؛ و
0 توضع منطقة موصلة فوق عدد وفير من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب؛ وتتضمن المنطقة الموصلة : عدد وفير من المناطق المعدنية المحببة؛ مما يوفر منطقة معدنية محببة لكل من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب؛ و توضع رقاقة معدنية في عدد وفير من المناطق المعدنية المحببة؛ كما تقوم الرقاقة المعدنية التي
5 تتمتع بأجزاء معالجة بالأنود بعزل المناطق المعدنية من المناطق المعدنية المحببة المناظرة للمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب. شرح مختصر للرسومات توضح الأشكال 21-11 مناظر لمقاطع عرضية لمراحل مختلفة لصناعة خلية شمسية؛ Wy لتجسيد الكشف الحالى؛ حيث:
0 يوضح الشكل 1آ saa) مراحل تصنيع الخلية الشمسية التي تلي تكوين المناطق المعدنية المحببة الاختيارية على مناطق الباعث فوق ia من السطح الخلفي من ركيزة خلية شمسية؛ يوضح الشكل1 ب_بنية الشكل 11 بعد التكوين الاختياري لطبقة واقية.
يوضح الشكل al بنية الشكل 1 d بعد تكوين تجاويف الليزر فى الرقاقة المعدنية؛ و يوضح الشكل 1ه بنية الشكل 1د بعد معالجة الأسطح المكشوفة من الرقاقة المعدنية بالأنود. الشكل 2 هو مخطط انسيابى لقائمة بالعمليات المتبعة فى (gaa) الطرق لصناعة خلية شمسية lads 5 للشكلين 1أ-1ه ؛ Bag لتجسيد الكشف الحالى. توضح الأشكال 13-23 مناظرًا لمقاطع عرضية لمراحل مختلفة لصناعة خلية شمسية Gs «gyal لتطبيق الإعلان الحالي؛ حيث: يوضح الشكل 13 إحدى مراحل تصنيع الخلية الشمسية التي تتضمن تكوين وضع رقاقة معدنية معالجة بالأنود فوق المناطق المعدنية المحببة الاختيارية على مناطق الباعث فوق oda من السطح 0 الخلفي من ركيزة خلية شمسية؛ يوضح الشكل 3ب بنية الشكل 3 بعد لحم رقاقة معدنية معالجة بالأنود بالسطح الخلفي منها؛ و يوضح الشكل 3ج بنية الشكل 3ب بعد تكوين تجاويف الليزر في الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود. الشكل 4 هو مخطط انسيابى لقائمة بالعمليات المتبعة فى (gaa) الطرق لصناعة خلية شمسية طبقًا gual 5 13-23 ؛ Bg لتجسيد الكشف الحالي. يوضح الشكل 5 مناظرًا لمقاطع عرضية لمراحل مختلفة لصناعة خلية شمسية أخرى عن طريق التعدين باستخدام رقاقة معالجة بالأنود؛ Gg لتجسيد الكشف الحالى. يوضح الشكل 16 منظرًا عرضيًا لجز من خلية شمسية ذات نقاط توصيلية قائمة على الرقائق تم تكوينها على ركيزة؛ وفقًا لتجسيد الكشف الحالى. 0 يوضح الشكل 6ب منظرًا عرضيًا لجزء من خلية شمسية ذات نقاط توصيلية قائمة على الرقائق تم تكوينها على ركيزة؛ Bg لتجسيد الكشف الحالى.
الوصف التفصيلى:
الوصف التفصيلي التالي هو مجرد توضيح بطبيعة Jad) ولا يقصد به الحد من نماذج تطبيق
موضوع البحث أو تطبيق نماذج التطبيق هذه واستخداماتها. على النحو المستخدم هناء فإن كلمة
ast JG "الخدمة كمثال على ذلك أو شاهد أو توضيح.” أي تنفيذ يُوصف هنا بأنه مثالي ليس بالضرورة أن يُفسّر على أنه يتميز بالأفضلية أو الفائدة عن غيره من التطبيقات. علاوة على ld
لا توجد نية لتكون ملزمة بأي طريقة صريحة أو ضمنية مقدمة في إجراء المجال التقني؛ أو
المعلومات العامة؛ أو النبذة المختصرة؛ أو الوصف التفصيلى التالى.
تتضمن هذه المواصفات مراجع 'تطبيق واحد" أو "أحد التطبيقات". ولا يشير بالضرورة تكرار ظهور
عبارات Jie "في تطبيق واحد" أو 'في أحد التطبيقات" إلى التطبيق ذاته. وقد يُجمع بين هياكل أو
0 سمات أو ميزات خاصة بأي طريقة مناسبة تتماشى مع هذا الكشف. المصطلحات. تقدم الفقرة التالية تعريفات المصطلحات الموجودة في هذا الكشف وسياقها أو أيهما Ly) في ذلك عناصر الحماية الملحقة): 'يتضمن." هذا المصطلح مفتوح. لا يمنع هذا المصطلح؛ كما استخدم في عناصر الحماية الملحقة مزيدًا من البنية أو الخطوات.
slg’ 1 5 ل." قد يتم وصف أو المطالبة بيعنصر لحماية مكونات أو وحدات متنوعة كوحدات أو مكونات "مهيأة ل' إنجاز مهمة أو مهمات. وفي Jie هذه السياقات؛ يُستخدم مصطلح 'مهيأة ل" ليعني هيكلاً بالإشارة إلى أن هذه الوحدات/المكونات تتضمن هيكلاً يُنجز هذه المهمة أو المهام أثناء التشغيل. وهكذا فيمكننا القول إن الوحدة/المكوّن Ligh لإنجاز المهمة؛ حتى عندما لا تكون الوحدة/المكون المحدد قيد التشغيل Wa (ليس في وضع التشغيل/ليس نشطًا على سبيل المثال).
0 وعندما Dis أن إحدى الوحدات/الدوائر/المكونات تم 'تهيئتها" لإنجاز مهمة أو مزيد من المهمات؛ فإن ثمة نية واضحة لعدم الاستشهاد بعنوان قانون الولايات المتحدة رقم 35؛ المادة 112 الفقرة السادسة؛ لتلك الوحدة/المكون. "الأولى dull وما إلى ذلك. تُستخدم هذه المصطلحات؛ على النحو المستخدم (la كصفات للأسماء التي تسبقهاء ولا تعني Gana أي نوع من الترتيب Jie) الترتيب الزماني spatial والمكاني
temporal والمنطقي logical وما إلى ذلك). على سبيل المثال فإن الإشارة إلى خلية شمسية "أولى" لا يعني ضمنيًا بالضرورة أن هذه الخلية الشمسية هي الخلية الشمسية الأولى في تسلسل معين؛ You من ذلك يستخدم المصطلح "ولا" لتمييز هذه الخلية الشمسية عن خلية شمسية أخرى eo) سبيل المثال خلية شمسية 'ثانية" ).
"مقترنة' - يشير الوصف التالي إلى العناصر أو العقد أو الميزات "المقترنة' معًا. ويعني المصطلح did على النحو المستخدم هناء ما لم ينص صراحة على خلاف ذلك؛ أن أحد العناصر/العقد/الميزات ترتبط ارتباطًا مباشرًا أو غير مباشر (أو تتواصل تواصلاً مباشرًا أو غير مباشر) بأحد العناص ر/العقد/الميزات الأخرى؛ وليس بالضرورة tals) ميكانيكيًا mechanically
0 علاوة على ذلك؛ قد تُستخدم بعض المصطلحات في الوصف التالي بهدف الإشارة فقط وبالتالي ليس المقصود منها أن تكون مقيّدة. على سبيل المثال؛ تشير مصطلحات Jie "العلوي"؛ "السفلي”؛ 'فوق"؛ "تحت" إلى اتجاهات في المخططات المشار إليها في هذا الصدد. وتصف مصطلحات Jie 'المقدمة"؛ sa gal’ "الخلفية"؛ "الجانب"»؛ "الخارجية" "الداخلية"؛ التوجه و/أو مكان أجزاء من عنصر ضمن إطار مرجعي ثابت ولكنه مطلق والذي تم توضيحه بالرجوع إلى النص والرسومات
5 المرتبطة به واصفًا المكون قيد المناقشة. (Sarg أن تتضمن هذه المصطلحات الكلمات المذكورة أعلاه على dag التحديد ومشتقاتها وغيرها من الكلمات ذات المضمون المماتل. فيما يلي شرح لتعدين الخلايا الشمسية باستخدام الرقائق وما ينتج عنها من خلايا شمسية. وفي الوصف التالي؛ يتم توضيح العديد من التفاصيل المعينة؛ مثل عمليات تدفق العمليات المعينة؛ بهدف توفير فهم شامل لنماذج تطبيق الإعلان الحالي. سيكون من الواضح لأي شخص ماهر في
0 هذا الفن أن نماذج تطبيق الإعلان الحالي يمكن ممارستها دون هذه التفاصيل المحددة. وفي نماذج أخرى؛ لا يتم وصف تقنيات التصنيع المعروفة؛ مثل تقنيات الطباعة على الحجر والتصميم وفق نمط معين؛ بشكل تفصيلي بهدف عدم حجب نماذج تطبيق الإعلان الحالي دون ضرورة لذلك. وعلاوة على ذلك؛ يجب استيعاب أن نماذج التطبيق المختلفة الموضحة في الأشكال هي نماذج توضيحية ولم يتم رسمها بشكل مطابق للأبعاد الفعلية.
تم الكشف في هذا المستند عن طرق تصنيع الخلايا الشمسية. في أحد التجسيدات؛ تتضمن طريقة تصنيع خلية شمسية تكوين عدد وفير من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب بداخل ركيزة أو أعلاها. وتتضمن الطريقة أيضًا التصاق رقاقة معدنية بالمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب. كما تتضمن الطريقة الإزالة بالليزر فقط من خلال جزءٍ الرقاقة المعدنية في المناطق المناظرة للمواقع بين المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب. كذلك؛
تتضمن الطريقة؛ Lad يلي الإزالة بالليزر» معالجة الرقاقة المعدنية بالأيونات لعزل مناطق الرقاقة المعدنية المتبقية المناظرة للمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب. وفي تجسيد آخرء تتضمن طريقة تصنيع خلية شمسية تكوين عدد وفير من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب بداخل ركيزة أو أعلاها. وتتضمن الطريقة أيضًا لصق الرقاقة
0 المعدنية معالجة بالأنود بالمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب»؛ بحيث تتمتع الرقاقة المعدنية dallas بالأنود بسطح علوي معالج بالأنود وسطح سفلي معالج بالأنود مع وجود £3 معدني فيما بينهما. يتضمن لصق الرقاقة المعدنية معالجة بالأنود بالمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب اختراق مناطق السطح السفلي المعالج بالأنود في الرقاقة المعدنية معالجة بالأنود. كما تتضمن الطريقة الإزالة بالليزر من خلال السطح العلوي المعالج بالأنود والجزء
5 المعدني من الرقاقة المعدنية معالجة بالأنود الموجودة في المناطق المناظرة للمواقع بين المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب. تتخلص عملية الإزالة بالليزر من السطح السفلي المعالج بالأنود الموجود في الرقاقة المعدنية معالجة بالأنود التي تعزل ما تبقى من الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود المناظرة للمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب. تم الكشف أيضًا في هذا المستند عن الخلايا الشمسية. في أحد التجسيدات؛ تتضمن خلية شمسية
0 إحدى الركائز. ويتم وضع عدد وفير من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب بداخل الركيزة أو فوقها. كما توضع منطقة موصلة فوق عدد وفير من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب. تتضمن المنطقة الموصلة عدد وفير من المناطق المعدنية المحببة؛ مما يوفر منطقة معدنية محببة لكل من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب. توضع رقاقة معدنية في عدد وفير من المناطق المعدنية المحببة؛ وتقوم الرقاقة المعدنية التي تتمتع بأجزاء
معالجة بالأنود بعزل المناطق المعدنية من المناطق المعدنية المحببة المناظرة للمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب. يشير تجسيد واحد أو أكثر من التجسيدات الموضحة في هذا المستند إلى التعدين القائمة على معالجة المعادن (مثل الألومنيوم (aluminum بالأنود 8000281010 المستخدمة لتعدين الخلايا الشمسية. في أحد التجسيدات؛ يتم الكشف عن عملية تعدين الألومنيوم المستخدمة مع الخلايا الشمسية ذات المناطق الموصلة المتشابكة +(IBC) interdigitated back contact في أحد التجسيدات؛ يتم الكشف عن أسلوب المعالجة بالأنود وما يلي ذلك من عمل تجاويف بالليزر. في الجانب الأول؛ توفر عملية صناعة تجاويف بالليزر وما يليها من معالجة بالأنود نمطا جديدًا للقطب الموجب المستخدم مع الخلايا الشمسية القائمة على تقنية IBC التي تستخدم معالجة الليزر 0 والأنود لرقاقة الألومنيوم (Alaluminum (التي تم لحمها بالخلية باستخدام الليزر) لتكوين منطقة موصلة عبارة عن أصابع متشابكة. ويمكن تنفيذ الأسلوب الأول لتوفير طريقة لا يتبعها أي Call عند رسم نقوش على رقاقة الألومنيوم؛ ومن ثم تجنب المحاذاة شديدة التعقيد و/أو عمليات الإخفاء . ومطابقة لما هو موضح أعلاه في الجانب الأول؛ توضح الأشكال 1أ-1ه مناظرًا لمقاطع عرضية 5 لمراحل مختلفة لصناعة خلية شمسية؛ By لتطبيق الإعلان الحالي. الشكل 2 هو مخطط انسيابي لقائمة بالعمليات المتبعة في (gaa) الطرق لصناعة خلية شمسية طبقًا للشكلين 1أ-1ه؛ Bag لتجسيد الكشف الحالي. يوضح الشكل 1 إحدى مراحل تصنيع الخلية الشمسية التي تلي تكوين المناطق المعدنية المحببة الاختيارية على مناطق الباعث فوق جزء من السطح الخلفي من ركيزة خلية شمسية. وبالإشارة إلى 0 الشكل 11 والعملية المناظرة رقم 202 في المخطط الانسيابي 200؛ يتم تكوين عدد وفير من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب فوق ركيزة. dag og التحديد؛ يتم وضع الركيزة 100 فوق المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب 104؛ كما يتم وضع المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب 106 على مادة dad) عازلة للكهرياء 102؛ حيث يتم استخدامها كمادة متداخلة بين المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب 104
والمناطق شبه الموصلة semiconductor regions من النوعين الموجب والسالب 106« على التوالي» وعلى الركيزة 100. تتمتع الركيزة 100 بسطح استقبال الضوءء 101 على الجانب المقابل للسطح الخلفي؛ الذي يتكون أعلاه المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب 104 والمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب 106.
في أحد نماذج التطبيق» الركيزة 100 هي ركيزة سيليكون أحادية البللورات monocrystalline silicon substrate ¢ مثل ركيزة مصنوعة بالكامل من السيليكون أحادي البللورات مُنشطة بالنوع السالب. ومع ذلك يجب استيعاب أن الركيزة 100 قد تكون طبقة cle مثل طبقة السيليكون متعدد البلورات؛ تم إعدادها على ركيزة خلية شمسية عامة. وفي أحد التجسيدات؛ تون طبقة العزل الكهرباتي الرقيقة thin dielectric layer 102 عبارة عن طبقة أكسيد oxide layer نفقية
0 تتمتع بسمك 2 نانومتر أو أقل. في أحد هذه التجسيدات؛ يشير المصطلح dal نفقيّة عازلة للكهرياء tunneling dielectric layer " إلى طبقة عازلة للكهرياء رفيعة جدّا؛ (Kang من خلالها توصيل الكهرياء. كما يمكن أن يتم التوصيل بسبب النفق و/أو وجود مناطق صغيرة Ble عن وصلة مادية مباشرة عبر نقاط رفيعة في الطبقة العازلة للكهرياء. في أحد التجسيدات؛ تكون/تتضمن الطبقة النفقيّة العازلة للكهرياء طبقة رقيقة من أكسيد السليكون thin silicon
.oxide layer 5 في أحد التجسيدات؛ يتم تكوين المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب رقم 104 و106؛ على التوالي؛ من خلال تكون السليكون متعدد الكريستالات؛ باستخدام أداة ترسب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) مثلاً. في هذا التجسيد؛ يتم تطعيم المناطق السالبة من باعث السليكون متعدد
0 الكرستالات polycrystalline silicon emitter regions 104 بشوائب من نوع سالب؛ Jie الفسفور phosphorus كما يتم تطعيم المناطق الموجبة من باعث السليكون متعدد الكرستالات 6 بشوائب من نوع موجب؛ مثل البورون boron كما هو مبيّن في الشكل AL قد يتم تكوين خنادق Lud 108 trenches بين المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب» رقم 104 و106؛ وتمتد الخنادق 108 بشكل جزئي في الركيزة 100. وبالإضافة إلى ذلك؛ في أحد
5 التجسيدات؛ يتم تكوين طبقة طلاء 110 مضادة للانعكاس bottom anti-reflective layer في القاع أو طبقة واقية أخرى (مثل طبقات السليكون غير متبلورة (BARC) coating
104 على المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب»؛ رقم (amorphous silicon
و106؛ كما هو مبيّن في الشكل 1 .
في أحد التجسيدات؛ يكون سطح استقبال الضوءء 101 عبارة عن سطح استقبال ضوءٍ نسيجي؛ كما هو مبيّن في الشكل 1آ . في أحد التجسيدات؛ تستخدم Sale تنميش رطبة قائمة على الهيدروكسيد
لتشكيل سطح استقبال egal) 101 في الركيزة 100« وريما ينطبق الأمر ذاته على أسطح التمديد
8 أيضًاء كما هو مبيّن في الشكل 1أ. ويجب مراعاة أنه قد يختلف التوقيت الذي يتم فيه A
سطح استقبال الضوء. على سبيل المثال؛ قد يتم تكوين النقش قبل؛ أو cam الطبقة العازلة للكهرباء
الرفيعة 102. في أحد التجسيدات؛ قد يكون أحد الأسطح المنقوشة له وجه مُشكل منتظم أو غير
0 متتظم لغرض تناثر الضوء الواردء مما يقلل حجم الضوءٍ المُنعكس من سطح استقبال الضوء 101 في الخلية الشمسية. وبالإشارة مرة أخرى إلى الشكل 1أ؛ قد تتضمن التجسيدات الإضافية تكوين طبقة عازلة و/أو طبقة طلاء مضادة للانعكاس (ARC) anti-reflective coating (يُشار إليها إجمالاً بالطبقة 112) على سطح استقبال الضوء 101. ويجب مراعاة أنه قد يختلف التوقيت الذي يتم فيه تكوين طبقة عازلة و/أو طبقات ARC
5 وبالإشارة مرة أخرى إلى الشكل 11 والشكل الحالي المناظر للعملية الاختيارية 204 في المخطط الانسيابي 200؛ يتم تكوين عدد وفير من المناطق المعدنية المحببة 114 لتوفير منطقة معدنية محببة على كل المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب؛ رقم 104 و106؛ على التوالي. تشكل المناطق المعدنية المحببة 114 اتصالاً مباشرًا مع المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب»؛ رقم 104 و106.
0 في أحد التجسيدات؛ تكون المناطق المحببة المعدنية metal seed regions 114 عبارة عن مناطق ألومنيوم aluminum regions في هذا التجسيد؛ تتمتع جميع مناطق الألومنيوم بسمك ذي نطاق يتراوح بين 0.3 و20 ميكرون تقريبًا؛ كما أنها تتمتع بنسبة من الألومنيوم تزيد عن 7 تقريبًا ونسبة من السليكون تتراوح بين %2-0 تقريبًا. في تجسيدات أخرى؛ تتضمن المناطق المحببة المعدنية 114 Gare مثل النيكل nickel أو السيلفر silver أو الكويالت cobalt أو
5 التنجستين 100051807 ؛ وذلك على سبيل المثال لا الحصر.
يوضح الشكل 1ب بنية الشكل 1 بعد التكوين الاختياري لطبقة واقية: وبالإشارة إلى الشكل col على dag التحديد؛ يتم تكوين طبقة عازلة 116 على عدد وفير من المناطق المعدنية المحببة 4. في أحد التجسيدات»؛ تكون الطبقة العازلة 116 عبارة عن نيتريد السيليكون silicon 56 في طبقة معدنية Material layer من أوكسي نيتريد السيليكون silicon oxynitride 5 . يوضح الشكل 1ج بنية الشكل 1ب بعد التصاق رقاقة معدنية بالسطح الخلفي منها. ويالإشارة إلى الشكل 1ج والعملية المناظرة 206 في المخطط الانسيابي 200؛ يتم لصق الرقاقة المعدنية 8 بالمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب من خلال ريط أجزاء الرقاقة المعدنية 8 بشكل مباشر مع الأجزاء المناظرة لها في كل المناطق المعدنية المحببة 114. في هذا 0 التجسيد؛ تتضمن عملية ريط أجزاء BEY المعدنية 118 بشكل مباشر مع الأجزاء المناظرة لها في كل المناطق المعدنية المحببة 114 تكوين لحام معدني 120 في جميع هذه المواقع؛ كما هو مبيّن في الشكل 1ج. في تجسيد آخرء يتم استخدام مكان في المناطق المحببة المعدنية 114؛ وهو عبارة عن طبقة محببة معدنية؛ بحيث لا يحدث نقش خلال هذه المرحلة. في هذا التجسيد؛ قد يتم نقش الطبقة المحببة المعدنية في عملية pind) على سبيل المثال؛ عملية حفر اللحام القائم على الهيدروكسيد .hydroxide-based wet etching في أحد التجسيدات؛ تكون الرقاقة المعدنية 118 عبارة عن رقاقة ألومنيوم (Al) تتمتع بسمك يتراوح بين 100-5 ميكرون (Gui علمًا بأن الشمك المفضل يتراوح بين 100-50 ميكرون تقريبًا. في أحد التجسيدات؛ تكون رقاقة الألومنيوم عبارة عن رقاقة سبيكة ألومنيوم aluminum alloy foil ؛ تتضمن الألومنيوم وعنصرًا آخر؛ مثل النحاس copper أو المنغنيز manganese أو السليكون silicon 20 أو المغنيسيوم magnesium أو الزنك zinc أو القصدير tin أو الليثيوم lithium أو مكوناتهاء وذلك على سبيل المثال لا الحصر. في أحد التجسيدات؛ تكون رقاقة الألومنيوم عبارة عن رقاقة من فئة لينة؛ مثل الفئة F grade (مُصنع) أو الفئة © (ناعم تمامًا (full soft أو الفئة H (مقوي بالضغط (strain hardened أو الفئة T (معالج بالحرارة (heat treated وذلك على سبيل المثال لا الحصر.
في أحد التجسيدات؛ تلتصق الرقاقة المعدنية 118 بشكل مباشر مع عدد وفير من المناطق المعدنية المحببة 114( عن طريق استخدام طريقة Jie اللحام بالليزر laser welding أو الضغط الحراري thermal compression أو الريط بالموجات فوق الصوتية Ultrasonic bonding في أحد التجسيدات؛ يتم تضمين الطبقة العازلة الاختيارية 116 بالإضافة إلى الرقاقة المعدنية اللاصقة adhering the metal foil 118 إلى عدد وفير من المناطق المعدنية المحببة 114
حيث اختراق مناطق الطبقة العازلة insulating layer 116؛ كما هو مبيّن في الشكل zl وبجب مراعاة أنه قد يتم تنفيذ طريقة تخلو من استخدام المناطق المحببة؛ وذلك Bg لتجسيد AT وفي هذه الطريقة؛ لا يتم تكوين المناطق المعدنية المحببة 114؛ ولكن يتم لصق الرقاقة المعدنية 8 مباشرة في المادة التي تتكون منها المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب؛ رقم
0 104 و106. على سبيل المثال؛ في aa التجسيدات؛ تلتصق الرقاقة المعدنية 118 مباشرة بمناطق السليكون متعدد الكريستالات polycrystalline silicon regions من النوعين الموجب والسالب. يوضح الشكل 1د بنية الشكل 1ج بعد تكوين تجاويف الليزر في الرقاقة المعدنية. وبالإشارة إلى الشكل 1د والعملية المناظرة 208 من المخطط الانسيابي 200؛ تتم إزالة الرقاقة المعدنية 118
5 عن طريق إجراء قطع بالليزر فقط في جزء الرقاقة المعدنية 118 عند المناطق المناظرة للمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب»؛ رقم 104 و106؛ كما هو مبيّن في الشكل 1د. تؤدي عملية الإزالة عن طريق القطع بالليزر إلى تشكيل التجاويف grooves 122 التي تمتد بشكل جزئي؛ وليس بشكل كامل؛ إلى الرقاقة المعدنية 118. في أحد التجسيدات؛ يتضمن تكوين تجاويف الليزر 122 إجراء إزالة عن طريق القطع بالليزر
0 لرقاقة المعدنية 118( وذلك بشمك يتراوح بين 7099-80 تقريبًا من الشمك الإجمالي للرقاقة المعدنية 118. وبعبارة أخرى؛ في أحد التجسيدات؛ من الضروري جدًا ألا يتم اختراق الجزءِ السفلي من الرقاقة المعدنية 118؛ على سبيل المثال الرقاقة المعدنية 118 التي تحمي البنية الأساسية للباعث.
في أحد التجسيدات؛ يتم إجراء الإزالة عن طريق القطع بالليزر بدون استخدام أي طبقة مستترة؛ ومع ذلك» في تجسيدات أخرى؛ يتم تكوين طبقة مستترة على hn من الرقاقة المعدنية 118 قبل إجراء الإزالة عن طريق القطع بالليزر» كما تتم إزالتها بعد إجراء الإزالة عن طريق القطع بالليزر. في هذا التجسيد؛ يتم تكوين الطبقة المستترة على أد الجزأين أو على منطقة الرقاقة بأكملها. في تجسيد آخرء تترك الطبقة المستترة في مكانها أثناء إجراء عملية المعالجة بالأنود الموضحة أدناه.
في أحد التجسيدات؛ لا تتم إزالة الطبقة المستترة في نهاية العملية. في تجسيد AT لا تتم إزالة؛ على الرغم من ذلك؛ إزالة الطبقة المستترة في نهاية العملية ولكن يتم الاحتفاظ بها كطبقة واقية. يوضح الشكل 1ه بنية الشكل 1د بعد معالجة الأسطح المكشوفة من الرقاقة المعدنية بالأنود. وبالإشارة إلى الشكل 1ه ؛ والعملية المناظرة 210 من المخطط الانسيابي 200؛ تتم معالجة
0 الرقاقة المعدنية 118 المتبقية cag وذلك عند الأسطح المكشوفة Cus يتم Jie مناطق الرقاقة المعدنية 118 المتبقية في المناظرة للمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب 104 و106. وعلى ang التحديد؛ تتم معالجة الأسطح المكشوفة من الرقاقة المعدنية 118؛ والتي تتضمن أسطح التجاويف 122 بالأنود لتكوين طلاء أكسيد 124. في الأماكن 126 المناظرة للمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب 104 و106؛ على سبيل المثال» في
5 التجاويف 122 عند المناطق أعلى الخنادق 108 تتم معالجة كل السمك المتبقي في BEN المعدنية 118 بالأنود من خلال عزل مناطق الرقاقة المعدنية 118 المتبقية فوق كل المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب 104 و106. في أحد التجسيدات؛ تكون الرقاقة المعدنية 118 عبارة عن رقاقة ألومنيوم؛ وتتضمن عملية معالجة الرقاقة المعدنية بالأنود تكوين أكسيد الألومنيوم في الأجزاء المكشوفة والأجزاء الخارجية مما يتبقى
من BEY المعدنية 118. في هذا التجسيد؛ تتضمن معالجة رقاقة الألومنيوم بالأنود anodizing the aluminum foil إجراء dallas بالأنود على الأسطح المكشوفة من رقاقة الألومنيوم؛ وذلك بعمق يتراوح بين 20-1 ميكرون تقريبًا؛ علمًا بأن العمق المفضل يتراوح بين 20-5 ميكرون تقريبًا. في أحد التجسيدات»؛ لإجراء عزل كهربائي لمنطقة التلامس مع الرقاقة المعدنية 118؛ تتم إجراء عملية معالجة كاملة بالأنود لجزاء الرقاقة المعدنية 118 الموجود أسفل تجاويف الليزر
laser grooves 25 122؛ كما هو مبيّن في الشكل 1ه. في أحد التجسيدات؛ يمكن إجراء الفتحات
8 في أجزاء طلاء الأكسيد 124؛ كما هو مبيّن أيضًا في الشكل 1ه ؛ حتى يحدث تلامس
بمناطق معينة في الرقاقة المعدنية 118.
وبالإشارة مرة (gal إلى الشكل 1ه ؛ في تجسيد آخر» بدلاً من إجراء معالجة بالأنود للرقاقة
المعدنية لعزل أجزاء الرقاقة المعدنية» يتم حفر الرقاقة المعدنية لعزل أجزاء الرقاقة المعدنية. في هذا التجسيد؛ يبيّن الشكل 1د Sale تنميش رطبة. وعلى الرغم من أن sale التنميش الرطبة تحفر جميع
الأجزاء المكشوفة في الرقاقة المعدنية؛ إلا أنه يلزم استخدام عملية حفر ذات توقيت دقيق لاختراق
الأجزاء السفلية من تجاويف الليزر 122 بدون تقليل clad المناطق الخالية من التجاويف في
الرقاقة المعدنية. وفي تجسيد معين؛ يتم استخدام مادة تنميش قائمة على هيدروكسيد البوتاسيوم
(KOH)potassium hydroxide أو هيدروكسيد oly ميثيل الأمونيوم
((TMAH)tetramethylammonium hydroxide | 0 وذلك على سبيل المثال لا الحصر. ومن جانب آخرء تتضمن عملية shal معالجة بالأنود وطريقة الحفر بالليزر التالية زرع الرقاقات المعالجة بالأنود باستخدام أكسيد الألومنيوم المعالج بالأنود anodized aluminum oxide ((AAO) وذلك باعتبارها منطقة إسقاط الليزر. وبعد ذلك؛ يتم الاحتفاظ بمنطقة الإسقاط لتوفير منطقة عازلة كهربية للخلية الشمسية الأخيرة.
5 ومطابقة لما هو موضح أعلاه في الجانب AY) توضح الأشكال 1-323 مناظرًا لمقاطع عرضية لمراحل مختلفة لصناعة خلية شمسية؛ By للتجسيد الآخر للكشف الحالي. الشكل 4 هو مخطط انسيابي لقائمة بالعمليات المتبعة في إحدى الطرق لصناعة خلية شمسية طبقًا للشكلين 3ج 3 وفقًا لتجسيد الكشف الحالي. يوضح الشكل 3 إحدى مراحل تصنيع الخلية الشمسية التي تتضمن تكوين وضع رقاقة معدنية
0 معالجة بالأنود فوق المناطق المعدنية المحببة الاختيارية على مناطق الباعث فوق oda من السطح الخلفي من ركيزة خلية شمسية. وبالإشارة إلى الشكل 13 والعملية المناظرة رقم 402 في المخطط الانسيابي 400؛ يتم تكوين عدد وفير من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب فوق ركيزة. وعلى وجه التحديد؛ يتم وضع الركيزة 300 فوق المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب 304؛ كما يتم وضع المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب 306
على مادة dad) عازلة للكهرياء thin dielectric layer 302؛ حيث يتم استخدامها كمادة متداخلة بين المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب 304 والمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب 306 على التوالي؛ وعلى الركيزة 300. تتمتع الركيزة 300 بسطح استقبال الضوء 301 على الجانب المقابل للسطح الخلفي؛ الذي يتكون أعلاه المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسائب 304 والمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب
56. في أحد نماذج التطبيق» الركيزة 300 هي ركيزة سيليكون أحادية البللورات monocrystalline silicon substrate ¢ مثل ركيزة مصنوعة بالكامل من السيليكون أحادي البللورات مُنشطة بالنوع السالب. ومع ذلك يجب استيعاب أن الركيزة 300 قد تكون طبقة cle مثل طبقة السيليكون متعدد
0 البلورات؛ تم إعدادها على ركيزة خلية شمسية عامة. وفي أحد التجسيدات؛ تون طبقة العزل الكهربائي الرقيقة 302 عبارة عن طبقة أكسيد نفقية تتمتع بسمك 2 نانومتر أو أقل. في أحد هذه التجسيدات؛ يشير المصطلح "طبقة نفقيّة عازلة للكهرباء" إلى طبقة عازلة للكهرباء رفيعة جدّاء (Say من خلالها توصيل الكهرباء. كما يمكن أن يتم التوصيل بسبب النفق و/أو وجود مناطق صغيرة عبارة عن وصلة Lake مباشرة عبر نقاط رفيعة في الطبقة العازلة insulating layer
5 للكهرياء. في أحد التجسيدات؛ تكون/تتضمن الطبقة النفقيّة العازلة للكهرياء طبقة dad) من أكسيد السليكون .thin silicon oxide layer في أحد التجسيدات؛ يتم تكوين المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب رقم 304 و306؛ على التوالي؛ من خلال تكون السليكون متعدد الكريستالات؛ باستخدام أداة ترسب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما plasma-enhanced chemical vapor deposition
(PECVD) 0 مثلاً. في هذا التجسيد؛ يتم تطعيم المناطق السالبة من باعث السليكون متعدد ci bin SI) 304 بشوائب من نوع سالب؛ مثل الفسفور. كما يتم تطعيم المناطق الموجبة من باعث السليكون متعدد الكريستالات 306 بشوائب من نوع موجب؛ مثل البورون .boron كما هو مبيّن في الشكل 3أ؛ قد يتم تكوين خنادق 308 Lad بين المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب»؛ رقم 304 و306؛ وتمتد الخنادق 308 بشكل جزئي في الركيزة 300.
في أحد التجسيدات؛ يكون سطح استقبال الضوءء 301 عبارة عن سطح استقبال ضوءٍ نسيجي؛ كما
هو مبيّن في الشكل 3ا. في أحد التجسيدات؛ تستخدم مادة تنميش رطبة قائمة على الهيدروكسيد لتشكيل سطح استقبال egal) 301 في الركيزة 300؛ وريما ينطبق الأمر ذاته على أسطح التمديد
8 أيضًاء كما هو مبيّن في الشكل 3ا. ويجب مراعاة أنه قد يختلف التوقيت الذي يتم فيه A 5 سطح استقبال الضوء. على سبيل المثال؛ قد يتم تكوين النقش قبل؛ أو cam الطبقة العازلة للكهرباء
الرفيعة 302. في أحد التجسيدات؛ قد يكون أحد الأسطح المنقوشة له وجه مُشكل منتظم أو غير منتظم لغرض تناثر الضوء الوارد؛ مما يقلل حجم الضوء المُنعكس من سطح استقبال الضوء 301
في الخلية الشمسية. وبالإشارة مرة أخرى إلى الشكل 3ا ؛ قد تتضمن التجسيدات الإضافية تكوين طبقة عازلة و/أو طبقة طلاء مضادة للانعكاس (ARC) anti-reflective coating (يُشار إليها
0 إجمالاً بالطبقة 312) على سطح استقبال الضوء 301. ويجب مراعاة أنه قد يختلف التوقيت الذي يتم فيه تكوين طبقة عازلة و/أو طبقات ARC وبالإشارة مرة أخرى إلى الشكل 13 والشكل الحالي المناظر للعملية الاختيارية 404 في المخطط الانسيابي 400؛ يتم تكوين عدد وفير من المناطق المعدنية المحببة 314 لتوفير منطقة معدنية محببة على كل المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب؛ رقم 304 و306؛ على
التتوالي. تشكل المناطق المعدنية المحببة 314 اتصالاً مباشرًا مع المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب cally رقم 304 و306. في أحد التجسيدات؛ تكون المناطق المحببة المعدنية 314 عبارة عن مناطق ألومنيوم ٠ في هذا التجسيد؛ تتمتع جميع مناطق الألومنيوم بسمك ذي نطاق يتراوح بين 0.3 و20 ميكرون cli كما أنها تتمتع بنسبة من الألومنيوم تزيد عن 9697 تقريبًا ونسبة من السليكون تتراوح بين 962-0
0 تقريبًا. في تجسيدات (gal تتضمن المناطق المحببة المعدنية 314 Jie Bare النيكل nickel أو السيلفر silver أو الكويالت cobalt أو التنجستين tungsten ؛ وذلك على سبيل المثال لا الحصر. وبالإشارة مرة أخرى إلى الشكل 3 توضع الرقاقة المعدنية معالجة بالأنود 318 فوق المناطق المحببة المعدنية 314. في أحد التجسيدات؛ تكون الرقاقة المعدنية معالجة بالأنود 318 عبارة عن
5 ,3 ألومنيوم معالجة بالأنود تتمتع بطلاء 319 عبارة عن أكسيد الألومنيوم aluminum oxide
الذي يتكون في هذه المنطقة. في هذا التجسيد؛ تتمتع رقاقة الألومنيوم المعالجة بالأنود 318 بسمك تتراوح قيمته الإجمالية بين 100-5 ميكرون تقريبًا؛ Gale بأن النطاق المفضل يتراوح بين 100-50 ميكرون؛ حيث يشكل السطح العلوي المعالج بالأنود A319 والسطح السفلي المعالج بالأنود 319ب Kaw يتراوح بين 20-1 ميكرون (Gi علمًا بأن النطاق المفضل يتراوح بين 5- ميكرون. وذلك؛ في أحد التجسيدات؛ تتمتع الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود 318 بسطح علوي معالج بالأنود (الطلاء 1319( وسطح سفلي معالج بالأنود (الطلاء 319ب)؛ حيث توجد منطقة عازلة Lad بينهما. في أحد التجسيدات؛ تكون الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود Ble عن رقاقة سبيكة ألومنيوم؛ تتضمن الألومنيوم وعنصرًا Jie «AT النحاس أو النحاس copper أو المنغنيز manganese أو السليكون silicon أو المغنيسيوم magnesium أو الزنك zinc أو
0 القصدير tin أو الليثيوم lithium أو مكوناتهاء وذلك على سبيل المثال لا الحصر. في أحد التجسيدات؛ تكون الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود عبارة عن رقاقة ألومنيوم معالجة بالأنود من فئة لينة؛ مثل الفئة © (مُصنع) أو الفئة © (ناعم تمامًا) أو الفئة H (مقوى بالضغط) أو الفئة 1 (معالج بالحرارة)؛ وذلك على سبيل المثال لا الحصر. يوضح الشكل 3ب بنية الشكل 13 بعد لحم رقاقة معدنية معالجة بالأنود بالسطح الخلفي منها.
5 وبالإشارة إلى الشكل 3ب والعملية المناظرة 406 في المخطط الانسيابي 400؛ يتم لصق الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود 318 بالمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسائلب 304 و306 من خلال ربط أجزاء الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود 318 بشكل مباشر مع الأجزاء المناظرة لها في كل المناطق المعدنية المحببة 314. في هذا التجسيدء تتضمن عملية ريط أجزاء الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود 318 بشكل مباشر مع الأجزاء المناظرة لها في كل المناطق المعدنية
0 المحببة 314 تكوين لحام معدني 320 في جميع هذه المواقع؛ كما هو مبيْن في الشكل 3ب. وفي تجسيد معين؛ يتم جعل الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود 318 مسطحة على السطح الخلفي من نظام التفريغ و اللحام بالليزر laser welding على الطبقة المحببة المعدنية بعد مصفوفة لحام النقاط. في أحد التجسيدات؛ تلتصق الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود 318 مع عدد وفير من المناطق
5 المعدنية المحببة 314 عن طريق استخدام طريقة مثل اللحام بالليزر أو الضغط الحراري أو الريط
بالموجات فوق الصوتية. في أحد التجسيدات؛ يؤدي لصق الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود 318 على عدد وفير من المناطق المعدنية المحببة 314 إلى اختراق طلاء الأكسيد بالسطح السفلي S319 هو مبيّن في الشكل دآب. في أحد التجسيدات؛ (غير موضح بالشكل؛ ولكنه يشبه الوصف المبيّن في الشكل (Ql قبل
لصق الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود 318 على عدد وفير من المناطق المعدنية المحببة 314 كما يتم تكوين طبقة عازلة على عدد وفير من المناطق المعدنية المحببة 314. في هذا التجسيد؛ يؤدي لصق الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود 314 على عدد وفير من المناطق المعدنية المحببة 4 إلى اختراق المناطق المتداخلة مع الطبقة العازلة Jinsulating layer Canny مراعاة أنه قد يتم تنفيذ طريقة تخلو من استخدام المناطق المحببة؛ وذلك Bg لتجسيد AT
0 وفي هذه الطريقة؛ لا يتم تكوين المناطق المعدنية المحببة 314؛ ولكن يتم لصق الرقاقة المعدنية 8 مباشرة في المادة التي تتكون منها المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب؛ رقم 4 و306. على سبيل المثال؛ في أحد التجسيدات؛ تلتصق الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود 8 مباشرة بمناطق السليكون متعدد الكريستالات من النوعين الموجب والسالب. في هذا التجسيد؛ تتضمن العملية اختراق طلاء الأكسيد oxide coating بالسطح السفلي 319ب.
5 يوضح الشكل 3ج بنية الشكل 3ب بعد تكوين تجاويف الليزر في الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود. وبالإشارة إلى الشكل 3ج والعملية المناظرة 408 من المخطط الانسيابي 400 تتم إزالة الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود 318 عن طريق القطع بالليزر من خلال السطح العلوي المعالج بالأنود 1319 ally المعدني الأوسط من الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود 318 في المناطق المناظرة للمواقع بين المناظرة للمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب 304 3065
0 على سبيل (Jbl فوق مواقع الخندق 308؛ كما هو مبيّن في الشكل 3ج . تتخلص عملية الإزالة بالليزر من السطح السفلي المعالج بالأنود 319ب الموجود في الرقاقة المعدنية معالجة بالأنود 8 التي تعزل ما تبقى من الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود 318 المناظرة للمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب.
وبالمثل؛ تؤدي عملية الإزالة عن طريق القطع بالليزر إلى تشكيل التجاويف 322 التي تمتد بشكل جزئي؛ وليس بشكل كامل؛ إلى الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود 318. في أحد التجسيدات؛ من الضروري ألا يتم اختراق السطح السفلي المعالج بالأنود 319ب من الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود 318؛ على سبيل المثال؛ تقوم الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود بحماية البنية الأساسية
للباعث. ولذلك؛ يتم التحكم بدقة في عمق التجويف بحيث يستقر في طبقة الأكسيد أسفل رقاقة الألومنيوم المعالجة بالأنود بدون القطع بشكل تام. في أحد التجسيدات؛ يتم إجراء الإزالة عن Gob القطع بالليزر بدون استخدام أي طبقة مستترة؛ ومع ذلك؛ في تجسيدات (AT يتم تكوين طبقة مستترة على gia من الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود 318 قبل إجراء الإزالة عن Gob القطع بالليزر » كما تتم إزالتها بعد إجراء الإزالة عن طريق القطع بالليزر.
0 في أحد التجسيدات»؛ تتضمن أيضًا الطريقة الموضحة في الأشكال 3-3ج؛ قبل لصق الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود 318 بالمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب 304 و306؛ تتضمن تكوين طبقة ليزر عاكسة أو طبقة ماصة على السطح السفلي المعالج بالأنود 9ب من الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود 318. في هذا التجسيدء يتضمن إجراء الإزالة عن طريق القطع بالليزر استخدام ليزر بتقنية الأشعة تحت الحمراء (IR) infra-red وتكوين طبقة
5 ليزر عاكسة أو dale ذات رقاقة أرجوانية. وبشكل أكثر ges تجب مراعاة أن التجسيدات قد تتضمن استخدام لون الرقاقة المصممة وفقًا لنوع الليزر المستخدم. وفي هذه الطريقة؛ تم استخدام لون رقاقة لتحقيق عملية الانعكاس/الإزالة بالقطع المستهدفة. في التجسيد المعين الموصوف؛ يشير استخدام رقاقة أرجوانية إلى امتصاص لون أخصر وانعكاس لونين هما؛ الأزرق والأحمر. في أحد التجسيدات» تكون الطبقة العلوية شفافة لضوءٍ الليزر المستخدم على السطح العلوي من الرقاقة
0 المعدنية المعالجة بالأنود. ومع ذلك؛ يتم استخدام طبقة عاكسة على gall السفلي من سطح الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود. في تجسيد آخرء يتم تجفيف السطح السفلي من طبقة أكسيد الألومنيوم المعالج بالأنود التي يمكنها امتصاص حوالي 1685 أو أكثر من نبض الليزر. وبالإشارة مرة أخرى إلى الشكل 23 يتم استخدام الليزر لعمل نقش نهائي لرقاقة الألومنيوم المعالجة بالأنود من خلال تكوين تجاويف على هيئة أشكال متوازية أو متعامدة مع النمط المحبب.
5 تبيّن الرسوم التوضيحية أعلاه الطريقة العامة؛ كما يمكن استخدامها مباشرة لعمل تجاويف متوازية.
في تجسيد AT قد تستفيد الأسطح العازلة في رقاقة الألومنيوم المعالجة بالأنود من المعدن الخشن وذلك بطرقتين (1/2)؛ فمثلاً يمكن إجراء تجاويف عمودية؛ حيث يتم إنشاء نقاط تماس مع القطبية التي تم اختيارها. في هذا التجسيد؛ تمنع طبقة أكسيد الألومنيوم المعالجة بالأنود؛ والموجودة على السطح السفلي من ABE حدوث تحول بين أطراف الأقطاب العكسية؛ كما يتم تكوين المناطق
الموصلة للكهرياء من خلال مواضع اللحام فقط. يوضح الشكل 5 مناظرًا لمقاطع عرضية لمراحل مختلفة لصناعة خلية شمسية أخرى عن طريق التعدين باستخدام رقاقة معالجة بالأنود؛ وفقًا لتجسيد الكشف الحالي. بالرجوع إلى الجزء (أ) من الشكل 5؛ يتم ملء رقاقة الألومنيوم المعالجة بالأنود 518 بالركيزة 500 التي تتمتع بقطبية المناطق المحببة المعدنية 514 التي تنتمي إليها. وبالرجوع إلى الجزء (ب) من الشكل 5؛ يتم
0 إجراء اللحام لإنشاء نقاط اللحام 520 التي تلصق بالرقاقة 518 بالمنطقة المحببة المعدنية 514. وبالرجوع إلى edad (ج) من الشكل 5؛ يتم إنشاء نمط الليزر للحصول على تجاويف الليزر 522. في أحد التجسيدات؛ تكون تجاويف النمط عمودية مع نمط المناطق المحببة المعدنية 514. في أحد التجسيدات»؛ تتوقف عملية إجراء الإزالة عن طريق القطع بالليزر على سطح سفلي معالج بالأنود في الرقاقة المعدنية 518.
5 ويمكن استخدام التجسيدات الموضحة هنا لصناعة خلايا شمسية. في بعض التجسيدات؛ بالإشارة إلى الشكلين 1ه و3ج ؛ تتضمن إحدى الخلايا الشمسية الكثير من المناطق شبه الموصلة السالبة (104 أو 304) والموجبة (106 أو 306) فوق الركيزة 100 أو 300. كما توضع منطقة موصلة فوق عدد وفير من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب. تتضمن المنطقة الموصلة الكثير من المناطق المعدنية المحببة 114 أو 314؛ مما يوفر منطقة معدنية محببة لكل
0 .من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب. توضع الرقاقة المعدنية 118 أو 318 على الكثير من المناطق المعدنية المحببة. تتمتع الرقاقة المعدنية 118 أو 318 بأجزاء معالجة بالأنود 124 أو 319 في المناطق المعدنية العازلة بالرقاقة المعدنية 118 أو 318 المناظرة للمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب. في هذا التجسيد؛ تكون جميع الأسطح المكشوفة في الرقاقة المعدنية 118 أو 113 معالجة بالأنود. ومع ذلك؛ في تجسيد AT قد تتكون
5 فتحات )128 مثلاً) في الجزء المعالج بالأنود من المنطقة الموصلة المعدنية؛ كما هو موضح في
الجزءه ذي الصلة بالشكل 1ه . وفي تجسيد آخرء تتم معالجة الرقاقة بالأنود قبل إجراء الإزالة عن طريق القطع بالليزر؛ ولا يتم إجراء عملية المعالجة بالأنود التالية. في هذا التجسيد؛ قد توجد أسطح مكشوفة في تجاويف الليزر غير المعالجة بالأنود 322؛ كما هو مبيّن في الشكل 3ج. في أحد التجسيدات»؛ تكون الركيزة 100 أو 300 عبارة عن ركيزة موجبة من السليكون أحادي الكررستالات؛ وبتم وضع الكثير من المناطق شبه الموصلة السالبة )104 أو 304) أو الموجبة (106 أو 306( في السليكون متعدد الكريستالات؛ وذلك أعلى الركيزة. في تجسيد AT تكون الركيزة عبارة عن ركيزة من السليكون أحادي الكرستالات؛ كما يتم تكوين مناطق شبه موصلة من النوعين الموجب والسالب في ركيزة من السليكون متعدد الكريستالات. في المثال الأول يوضح الشكل 16 منظرًا عرضيًا iad من خلية شمسية ذات نقاط توصيلية قائمة 0 على الرقائق تم تكوينها على ركيزة؛ وفقًا لتجسيد الكشف الحالي. بالإشارة إلى الشكل 6أ؛ تتضمن إحدى الخلايا الشمسية الكثير من المناطق شبه الموصلة السالبة 604 والموجبة 606 فوق الركيزة 50. كما توضع منطقة موصلة فوق عدد وفير من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب. تتضمن المنطقة الموصلة عدد وفير من المناطق المعدنية المحببة 614؛ مما يوفر منطقة معدنية محببة لكل من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب. توضع الرقاقة 5 المعدنية 618 على الكثير من المناطق المعدنية المحببة 614. تتمتع الرقاقة المعدنية 618 بأجزاء معالجة بالأنود 624 في المناطق المعدنية العازلة بالرقاقة المعدنية 618 المناظرة للمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب 604 و606 على التوالي. في المثال الثاني؛ يوضح الشكل 6ب منظرًا عرضيًا لجزء من خلية شمسية ذات نقاط توصيلية قائمة على الرقائق تم تكوينها على ركيزة؛ By لتجسيد الكشف الحالي. بالإشارة إلى الشكل 6« 0 تتضمن إحدى الخلايا الشمسية الكثير من المناطق شبه الموصلة LIL 654 والموجبة 656 فوق الركيزة 650. كما توضع منطقة موصلة فوق عدد وفير من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب. تتضمن المنطقة الموصلة عدد وفير من المناطق المعدنية المحببة 004 مما يوفر منطقة معدنية محببة لكل من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب. توضع الرقاقة المعدنية 668 على الكثير من المناطق المعدنية المحببة 664. تتمتع
الرقاقة المعدنية 668 بأجزاء معالجة بالأنود 669 في المناطق المعدنية العازلة بالرقاقة المعدنية
8 المناظرة للمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب 664 و666 على التوالي.
ومن جانب AT في هذا الكشف الحالي؛ توجد أعلاه تجسيدات أخرى على المفاهيم الموضحة من
خلال الأمثلة المبيّنة أعلاه. وبوجه أكثر sale clases ما يتطلب التوصيل العكسي للخلايا الشمسية Bare 5 مشكلاً له نوعين من القطبية في الجانب الخلفي من الخلية الشمسية. على الرغم من عدم
توفر المعادن غير المشكلة بسبب ارتفاع التكلفة؛ أو التعقيدات أو أسباب متعلقة بالكفاءة» فإن
الأفضلية للمعادن والمواد الرخيصة التي تستخدم في معالجة الرقاقات المعدنية من خلال التشكيل
بالليزر.
وللتمتع بكفاءة أعلى؛ ثمة متطلبان للمعدن المشكل على الجانب الخلفي من الخلية الشمسية: (1)
0 عزل المعدن تمامًا و(2) المعالجة بدون حدوث تلف. وللتصنيع بمقادير كبيرة؛ قد تتطلب العملية Lal عملية إخراج Alle السعة؛ بحيث تزيد عن 500 رقاقة في الساعة. وبالنسبة للنماذج المعقدة؛ قد يؤدي استخدام الليزر لتشكيل رقاقة رفيعة (أكبر من 1 ميكرون (Sie أو مادة عاكسة عالية الكفاءة (الألومنيوم (De في أعلى السليكون؛ إلى حدوث مشكلة كبيرة أثناء التصنيع. وقد تظهر المشكلات ذات الصلة بالإنتاجية لأن الطاقة المطلوية لإجراء إزالة بالقطع لمادة رفيعة و/أو مادة
عاكسة أثناء المعدلات العالية تتطلب مستوى طاقة ليزر أعلى من حد التلف الذي ينتج عن الباعث الرئيسي (أكبر من 1 جول/سم2). ونظرًا لأهمية عزل المعدن بالكامل واختلاف السمك وطاقة oll عادة ما يتم الحفر بشكل زائد حتى يتم تشكيل المعدن. يظهر ذلك؛ على dag التحديد؛ في Alla عدم توفر نوافذ ذات طاقة ليزر منخفضة في أثناء الإنتاج بتكلفة عالية/منخفضة لإزالة المعدن تمامًا وعدم تعريض الباعث لتلف بفعل أشعة الليزر.
Gy 0 لتجسيد الكشف الحالي؛ يوجد وصف لطرق كثيرة لتشكيل المعادن. وعلاوة على ذلك؛ Blas للتداخل بين عمليات التشكيل وعمليات ربط المعادن» تجب مراعاة أهمية استخدام عملية الربط أولاً أو استخدام طبعة معدنية محببة (م1) مع الطبقة المعدنية العلوية كرقاقة (م2). وكما هو موضح بمزيد من التفاصيل أدناه؛ تتيح بعض طرق الربط خيارات تشكيل متنوعة.
في أحد التجسيدات؛ يتم إجراء عمليات لصق بأطوال متنوعة بين الرقاقات (م2) حتى يتم الحصول على طبقة رفيعة معدنية محببة عن طريق التبخير (م1)؛ لوضعها أسفل رقاقة الجهاز ls على عملية الربط. وعلاوة على ذلك؛ تتم مراعاة أوضاع متنوعة من الأعطال أثناء اختبار عمليات اللصق. وبالنسبة للربط باستخدام الليزرء قد يعتمد Jal على تأثير الليزر (الطاقة لكل منطقة تركيز). في ظل التأثير المنخفض؛ يكون الالتصاق بين م1 وم2 is Wana وتنفصل الطبقة م2
بسهولة. ومع تزايد تأثير الليزر» تزيد قوة الالتصاق بين اللحام والرقاقة والطبقة المحببة م1 بشكل يكفي JSW الرقاقة أثناء عملية اللصق. وعندما يزيد تأثير الليزر بشكل أكبر؛ تتأثر المنطقة م1 وتتعرض رقاقة الجهاز م1 للكسرء قبل أن تتآكل الرقاقة أثناء اختبار التقشير. وللاستفادة من أواضع التأكل المختلفة؛ في أحد التجسيدات؛ يتم استخدام شعاع ليزر ذي حزمة واسعة أثناء إجراء
0 عملية الربط بالليزر. وقد يتمتع شعاع الليزر بكثافة أكبر (نطاق تأكل م1) عند المنطقة الخارجية؛ وكثافة أقل (نطاق تأكل م2) عند الجانب الداخلي؛ كما يحدث بعد عمليات اللحام» Cus توجد إمكانية لتآكل الرقاقة (م2) وكذلك الرقاقة م1؛ أثناء ترك المنطقة م2 / م1 في ظل عمليات اللحام السليمة. من جانب آخرء عند استخدام sale تنميش كيميائية رطبة لإجراء عزل كامل بعد عمل تجويف؛
5 يمكن تعربض منطقة م1 لمادة التنميش الرطبة لفترة طويلة. وخلال هذه الفترة؛ قد يحدث حفر غير مرغوب؛ وريما تنحشر المادة الكيميائية بين المنطقتين م1 وم2؛ في حالة عدم لحم م1 مع م2 بشكل تام. وفي كلتا الحالتين» في حالة ربط رقاقة الألومنيوم بالطبقة المحببة المعدنية باستخدام dah ربط غير متواصلة عبر جميع الأطراف المعدنية (على سبيل (Jl) انخفاض كثافة أدوات call مثل وجود أداة ربط واحدة كل 10 ملم)؛ قد يخترق محلول الحفر منطقة التداخل مع
0 المعدن/الرقاقة؛ متسببًا في حث غير مرغوب للأطراف م1 و/أو تجاوز أدوات ربط منطقتي م1 / 2a ومن ثم تقديم الجهاز لأداء ضعيف. قد تتضمن طرق الربط اللحام بالليزر والضغط الحراري المحلي والريط واللحام باستخدام الموجات فوق الصوتية. ولذلك؛ لا تتوافق جميع طرق الريط مع التشكيل القائم على الحفرء وعلى dag التحديد»؛ أي طرق ربط ذات كثافة منخفضة؛ مثل اللحام بالليزر؛ الذي قد يشكل تحديدًا من نوع خاص.
في أحد التجسيدات؛ يمكن تنفيذ الطرق الموضحة لحل المشكلات المبينة أعلاهن والمرتبطة بمادة التنميش الرطبة؛ وذلك عن طريق حماية طبقة م1 من هجوم المواد الكيمائية عليهاء ومن ثم السماح باستخدام عمليات تشكيل قائمة على الحفر. قد تتضمن التجسيدات استخدام الحفر بالليزر كطريقة للحام مثلاًء وكذلك استخدام طريقة عمل تجاويف بالليزر ثم حفر بالمواد الكيماوية كطريقة للتشكيل؛ ومع ذلك (Se تطبيق هذه المفاهيم على طرق ربط غير خطية gal بالإضافة إلى طرق التشكيل القائمة على اللحام بالمواد الكيميائية .chemical في هذا التجسيد الأول» توضع طبقة واقية للرقاقة على الركيزة بعد وضع الطبقة المحببة المعدنية؛ أو على الرقاقة قبل إجراء عملية اللحام باستخدام الليزر. يضمن اختيار المادة وسمكها إجراء عملية اللحام بالليزر من خلال الطبقة الواقية. قد تكون المادة مقاومة ضد معالجة الحفر بالمواد الكيمائية 0 (محلول KOH solution مثلاً). ومن أمثلة المواد المناسبة للاستخدام؛ على سبيل المثال لا الحصرء المواد اللاصقة أو البوليمر أو العوازل الكهربائية الرفيعة. في تجسيد آخرء توضع طبقة تغطية (سمكها حوالي 100 نانومتر (Se على الجانب العلوي من طبقة محببة معدنية. وتتكون طبقة التغطية الرفيعة من مواد مختلفة (مثل النيكل o(nickel وهي مقاومة لمحلول الحفر الكيمائي. في تجسيد معين؛ تكون طبقة التغطية الرفيعة متوافقة مع عملية اللحام بالليزر بين المنطقتين م1 و 5 م2. في تجسيد AT تتم طباعة أطراف sale مقاومة للحفر (مشابهة للتجسيد الأول) بين طرفي م1 كما يتم استخدام معالجة ha قبل اللحام بالليزر أو بعده؛ مما يضمن توفير التصاق دائم بين الأطراف الواقية ورقاقة م2. في تجسيد معين؛ يتم استخدام الحد الأقصى من الحرارة الناتجة عن استخدام الليزر لربط طرفي المادة الواقية بطبقة م2. ويعمل التداخل بين الرقاقة والأطراف كحاجز لمحلول الحفر. قد تكون المادة رفيعة و/أو ناعمة بشكل يكفي لعدم التأثير على الرقاقة وعملية اللحام بالليزر (على سبيل المثال؛ يلزم استخدام طرف توصيل خاص لمنطقتي( م2/م1). في العملية الأولى المستخدمة كمثال للتدفق؛ تتضمن عمليتا إنشاء التجاويف واللحام وضع م1 (أي وضع طبقة موصلة محببة يمكنها ربط منطفة م2) بجانب جهاز الخلية الشمسية. توضع طبقة م2 على منطقة م1/الخلية؛ وتحافظ على توفير منطقة موصلة مناسبة للريط. يتم استخدام طاقة الربط على سبيل Jal الضغط الحراري أو طاقة الليزر (فمثلاً تزيد مدة النبض الطويلة عن 100 5 ميكرو ثانية) لتسخين وحدة م2 محليًا dang منطقتي م1 و م2. ويعدئذٍ؛ يتم تكوين تجاويف
ميكانيكية أو من خلال عملية ليزر أخرى (حيث تقل مدة النبض القصيرة عن 1 ميكرو ثانية (Ole للحصول على تجويف عميق (يزيد عن 9680 تقريبًا من شمك الرقاقة مثلاً) ولقص الرقاقة من قضيبها. يمكن عزل المناطق الموصلة Mim وذلك عن طريق استخدام وسائط حفر مثلاً لتشكيل بنية الجزء المتبقي من المنطقة م2 وحرفها بشكل اختياري. في أحد التجسيدات؛ لزيادة الاختيارات؛ يتم تحديد طبقة م1 مشكلة مسبقًا للحصول على مقاومة لحام لوسائط الحفرء على سبيل المثال؛ معدن النيكل nickel المقاوم KOH ial تتضمن مواد م2 الاختيارية؛ على سبيل المثال لا الحصرء الألومنيوم أو النيكل nickel أو النحاس copper أو التيتانيوم titanium أو الكروم 0 أو مجموعات ذات طبقات متعددة منها. عنج استخدام الطبقة م1؛ قد تتضمن وسائط الحفر sale كيمائية قلوية calkaline chemistry مثل هيدروكسيد البوتاسيوم potassium hydroxide | 0 أو أكسيد كيمائي مثل الفسفور Phosphoric أو مزيج من حمض الفسفور phosphoric والنيتريك ©01010. Xiang يتم شطف وسائط الحفر بالكامل من الرقاقة لاستكمال تفاعل الحفر وتجنب تراكم الرواسب الكيمائية على الرقاقة. يمكن استخدام الشطف عن طريق الرش الأفقي أو تنشيط الموجات الصوتية لإزالة المادة الكيمائية بالكامل من الرقاقة. في مثال AT على عملية التدفق؛ يمكن استخدام عملية تشكيل ثنائية المرحلة بناءً على الحفر 5 بالليزر ذي الطاقة العالية بالإضافة إلى العزل باستخدام الليزر القوي. تتضمن الطريقة الأولى عزل منطقة م1 (مثل الطبقة الموصلة المحببة المناسبة للحام الليزر مع م2) على جانب جهاز الخلية الشمسية وتشكيل طبقة م1 المعزولة. توضع طبقة م2 حينئذٍ على منطقة م1/الخلية؛ وتحافظ على توفير منطقة موصلة مناسبة للحام بالليزر. يتم توجيه شعاع ليزر شديد الفاعلية (حيث تزيد مدة النبض الطويل عن حوالي 100 ميكرون مثلاً)؛ أو حزمة إلكترونات؛ لتسخين المنطقة م2 محليًا 0 وريبط المنطقتين م1 و م2. يتم استخدام ليزر إضافي (حيث تقل مدة النبض القصيرة عن 1 ميكرو ثانية (Sia للحصول على تجويف عميق (يزيد عن 9680 تقريبًا من شمك الرقاقة مثا ولقص الرقاقة من قضيبها. ويعدئذٍ؛ يتم استخدام ليزر منخفض الطاقة عبر تجاويف الليزر لعزل ما تبقى من المنطقة م2. وتجب مراعاة أنه يمكن عمل التجاويف باستخدام طرق أخرى. على سبيل المثال؛ في تجسيد OAT 5 بدلاً من استخدام عمليات ليزر؛ يتم تكوين التجويف المذكور أعلاه من خلال عملية ميكانيكية؛
على سبيل المثال لا الحصر؛ حزمة عبارة عن أدوات قطع مستدقة بشدة يتم وضعها عبر السطح؛ ومن ثم تنفيذ القطع أو إجراء تفريز milling ؛ أو غير ذلك من آليات القطع الأخرى. وتجب مراعاة إمكانية إزالة ما تبقى من المعدن باستخدام طرق أخرى. على سبيل المثال؛ بعد تكوين التجويف؛ تتم إزالة المعدن المتبقي باستخدام الكهرياء» فيتم مثلاً استخدام تيارات كهربائية عالية لحرق gall المتبقي من المعدن عن طريق المقاومة الحرارية. في تجسيد AT بعد تشكيل
التجويف؛ تتم إزالة المعدن المتبقي من خلال إجراء الإزالة عن طريق القطع بالليزر في وضع منخفض/ناعم جدًا. في تجسيد AT بعد تكوين التجويف» تتم إزالة المعدن المتبقي من خلال طرق حفر أخرى؛ Jie حفر البلازما أو الحفر عن طريق الطقطقة. في تجسيد «AT بعد تشكيل التجويف؛ تتم إزالة المعدن المتبقي عمن خلال تقييد/لصق منطقة المعدن المطلوب إزالتهاء ثم جعل
0 الجزء الملتصق أو المقيد SOSH في تجسيد خاص لطريقة إزالة الجزءِ المتبقي من المعدن عن طريق (SUI يتكون تجويفان Ollie ويتم ترك شريط معدني حتى يتاكل؛ هذا الشريط يتمتع بسمك يتراوح بين 100 و500 ميكرون. في تجسيد خاص» يتم تمديد الجانب الخارجي من الخلية الشمسية المطلوب استخدامها كنقاط JST أولية مع إجراء التآكل التالي. في تجسيد آخرء قبل عمل التجويف؛ يتم استخدام طريقة
5 ربط منطقتي م/1م2؛ على سبيل المثال؛ نقطة اللحام بالليزر (أو الخطوط) أو bull عن طريق الضغط (gall أو طريقة أخرى؛ تتيح الالتصاق القوي من خلال مقاومة المقص للرقاقة م2 التي تآكلت تمامًا. في تجسيد رابع ald يتم استخدام شكل شعاع الليزر الخاص بتجويف ليزر؛ أو الليزر المستخدم في عملية الريط بالليزر؛ لتعديل الخصائص الميكانيكية للمعدن؛ على سبيل المثال» من خلال ضبط شكل الحزمة إلى شكل رائع مخصص وتعديل البنية المحببة بناءًة على
0 المدة ودرجة الحرارة. ويهذه الطريقة؛ يمكن إجراء عملية العزل بسهولة. في هذا التجسيد؛ يتم تغيير شكل شعاع غاوسي لتحويل الحزمة إلى شكل خاص ذي حواف حيث الطاقة العالية؛ كما يتم استخدام ذلك في خط اللحام. تتسبب الحرارة الموضعية العالية عند حافة أداة الريط في توليد ضغط Je وتغيير الشكل؛ وحينئذٍ تتمتع حافة المادة الملحومة بقوة منخفضة في الغالب؛ أو ريما تصبح لينة بشكل أكبر. في هذه الحالة؛ أثناء عملية JST تكون الواجهة معرضة للتعطل أولاً. في كل
من التجسيدات الأربع أعلاه. حيث يمكن تشكيل الطبقة المحببة المعدنية قبل عمل التجويف؛ أو تشكيلها بعد ذلك؛ يفضل عمل التجويف Yl أثناء العزل؛ كما هو موضح lel في تجسيدات (AT تتم حماية طبقة م1 من مواد التنميش من خلال استخدام طبقة تغطية؛ مثل النيون أو البوليمر أو الأكسيد أو sale لاصقة dad) توضع على منطقة م1 أو 2a حيث يتوافق
السمك أو الضغط مع عملية اللحام (أي أقل من 10 ميكرون تقريبًا عند اللحام باستخدام البوليمر). في تجسيدات أخرى؛ يتم الريط باستخدام كثافة عالية مناسبة (أي 16100 كما هو موضح من أعلى لأسفل) لتوفير الحماية ضد اختراق sale التنميش للتجاويف؛ واتجنب الحفر الزائد في منطقة م1. قد يتأثر الريط بالتكامل مع معظم أجزاء م2 (أي الريط الخطي أو الريط من خلال الضغط الحراري).
Jeg 0 الرغم من تقديم وصف خاص لبعض المواد أعلاه؛ بالإشارة إلى الأشكال 1-1ه و3ج-3ا 645156 ؛ والأشكال الأخرى المبيّنة في التجسيدات؛ قد تتناسب بعض المواد بشكل كبير مع هذه التجسيدات الأخرى المتبقية Gy لنطاق التجسيدات المبيّنة في الكشف Mal فعلى سبيل (Jal في أحد نماذج (Gabi) يمكن استخدام ركيزة sale مختلفة؛ Jie ركيزة مادة المجموعة 3- 5» بدلاً من ركيزة السيليكون. في تجسيدات أخرى؛ يمكن استخدام الطرق المذكورة أعلاه لتصنيع
5 خلايا شمسية أخرى. على سبيل المثال؛ يمكن تصنيع الصمام الثنائي الباعث للضوء light (LED) emitting diode باستخدام الطرق المبيّنة هنا. وهذه هي الطرق التي تم تناولها بالشرح في هذا الكشف فيما يتعلق بتعدين الخلايا الشمسية باستخدام الرقائق وما ينتج عنها من LIA شمسية. على الرغم من توضيح تطبيقات محددة أعلاه؛ إلا أن هذه التطبيقات ليس المقصود منها تضييق
0 نطاق الكشف الحالي؛ حتى عند توضيح تطبيق واحد فيما يتعلق بميزة محددة. وتهف أمثلة الميزات المقدمة في الكشف إلى أن تكون أمثلة توضيحية؛ بدلاً من أن تكون أمثلة مقيدة؛ ما لم ينص على خلاف ذلك. ويهدف الوصف أعلاه إلى تغطية هذه البدائل والتعديلات والمكافئات كما سيتضح لأحد اختصاصيي القطاع الذين يحظون بفائدة هذا الكشف.
يتضمن نطاق الكشف الحالي أي ميزة أو مجموعة من المزايا التي تم الكشف عنها هنا (إما صراحة أم ضمئًا)؛ أو أي تعميم لهاء سواء كانت تخفف من أي مشكلات تم التعرض لها هنا أو جميع هذه المشكلات؛ أو لم تخفف ذلك. ومن هذا المنطلق؛ قد نُصاغ عناصر الحماية جديدة أثناء الادعاء لهذا الطلب (أو أحد الطلبات التي تطالب بالأولوية بها) لأي مجموعة من الميزات.
وتحديدًاء بالإشارة إلى عناصر الحماية الملحقة؛ قد تأتي الميزات من عناصر الحماية المستقلة مع تلك الميزات من عناصر الحماية غير المستقلة؛ وريما تأتي الميزات من عناصر الحماية المستقلة ذات الصلة بأي طريقة ملائمة وليس فقط في مجموعات محددة مذكورة في عناصر الحماية الملحقة. في أحد التجسيدات؛ تتضمن طريقة تصنيع خلية شمسية تكوين عدد وفير من المناطق شبه
0 الموصلة من النوعين الموجب والسالب بداخل ركيزة أو أعلاها. كما تتضمن الطريقة التصاق رقاقة معدنية بالمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب. وتتضمن الطريقة Load الإزالة بالليزر فقط من خلال جزء الرقاقة المعدنية في المناطق المناظرة للمواقع بين المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب. كذلك؛ تتضمن الطريقة؛ Led يلي الإزالة بالليزر» عزل مناطق الرقاقة المعدنية المتبقية المناظرة للمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب.
5 في أحد التجسيدات»؛ تتضمن مناطق عزل الرقاقة المعدنية المتبقية معالجة ما تبقى من الرقاقة المعدنية بالأنود. في أحد التجسيدات؛ تتضمن مناطق BEN Jie المعدنية المتبقية حفر ما تبقى من BEN المعدنية. في أحد التجسيدات؛ تتضمن الطريقة Lia قبل لصق الرقاقة المعدنية؛ تكوين الكثير من المناطق
0 المعدنية المحببة لتوفير منطقة معدنية محببة Jal من المناطق شبه الموصلة الموجبة والسالبة؛ حيث يتم لصق الرقاقة المعدنية بالمناطق شبه الموصلة الموجبة والسالبة ولصق الرقاقة المعدنية بالكثير من المناطق المعدنية المحببة. في أحد التجسيدات؛ تتضمن الطريقة Lia) قبل لصق الرقاقة المعدنية بالمناطق المحببة المعدنية بالكثير من المناطق المعدنية المحببة؛ مما يؤدي إلى تكوين طبقة عازلة على الكثير من المناطق
— 3 0 —
المعدنية المحببة؛ Cus يتم لصق الرقاقة المعدنية بالكثير من المناطق المعدنية المحببة Cus
اختراق مناطق الطبقة العازلة.
فى أحد التجسيدات؛ تتضمن عملية لصق رقاقة معدنية بالكثتير من المناطق المعدنية المحببة
استخدام الطريقة المحددة من مجموعة المكونة من عملية اللحام بالليزر والضغط الحراري والربط بالموجات فوق الصوتية.
في أحد التجسيدات؛ تتضمن عملية تكوين المناطق المعدنية المحببة تكوين مناطق ألومنيوم بسمك
يتراوح بين 0.3 و20 ميكرون» وتكوين الألومنيوم في منطقة تمثل ما يزيد عن 9697 بالإضافة
إلى تكوين السليكون بنطاق يتراوح بين 962-0؛ حيث تتضمن عملية لصق الرقاقة المعدنية
استخدام رقاقة ألومنيوم بسمك يتراوح بين 100-5 ميكرون؛ كما تتضمن المناطق العازلة للجزء
0 المتبقي من الرقاقة المعدنية معالجة رقاقة الألومنيوم بالأنود عن طريق إجراء معالجة بالأنود للأسطح المكشوفة من رقاقة الألومنيوم حتى عمق يصل إلى 20-1 ميكرون تقريبًا. في أحد التجسيدات؛ يتم إجراء الإزالة عن طريق القطع بالليزر فقط من خلال oa الرقاقة المعدنية الذي يتضمن إجراء الإزالة عن طريق القطع بالليزر لسمك الرقاقة المعدنية الذي يصل إلى 80- 9 تقريبًا من سمك الرقاقة المعدنية بالكامل.
5 في أحد التجسيدات؛ يتضمن تكوين الكثير من المناطق شبه الموصلة الموجبة والسالبة تكوين مناطق شبه موصلة من النوعين الموجب والسالب في طبقة السليكون متعدد الكريستالات التي تم Luss فوق الركيزة؛. كما تتضمن الطريقة أيضًا تكوين خندق بين كل المناطق شبه الموصلة الموجبة والسالبة؛ حيث تمتد هذه الخنادق بشكل جزئي إلى الركيزة. فى أحد التجسيدات» تكون الركيزة عبارة عن ركيزة من السليكون متعدد الكرستالات؛ وتتضمن
0 عملية تكوين الكثير من المناطق شبه الموصلة الموجبة والسالبة تكوين مناطق شبه موصلة موجبة وسالبة فى ركيزة السليكون متعدد الكررستالات . في أحد التجسيدات»؛ تتضمن الطريقة أيضًاء قبل إجراء الإزالة بالقطع باستخدام الليزر تكوين طبقة مستترة على جزءٍ واحد على الأقل من الرقاقة المعدنية.
في أحد التجسيدات؛ تتضمن طريقة تصنيع خلية شمسية تكوين عدد وفير من المناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب بداخل ركيزة أو أعلاها. كذلك تتضمن الطريقة لصق رقاقة معدنية معالجة بالأنود بالمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب؛ وتتمتع الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود بسطح علوي معالج بالأنود وسطح سفلي معالج بالأنود؛ Cus يوجد Sa 5 معدني بينهماء كما تتضمن عملية لصق الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود بالمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب اختراق مناطق السطح السفلي المعالج بالأنود من الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود. كما تتضمن الطريقة أيضًا إجراء الإزالة عن طريق القطع بالليزر من خلال السطح العلوي المعالج بالأنود والجزء المعدني من الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود في المناطق المناظرة للأماكن بين المناطق شبه الموصلة الموجبة والسالبة؛ بينما يشتمل إجراء الإزالة عن 0 طريق القطع بالليزر على التخلص من السطح السفلي المعالج بالأنود من المناطق العازلة للرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود بالجزء المتبقي من الرقاقة المعدنية المتبقية المناظرة للمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب. في أحد التجسيدات؛ تتضمن الطريقة أيضًاء قبل لصق الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود؛ تكوين الكثير من المناطق المعدنية المحببة لتوفير منطقة معدنية محببة لمل من المناطق شبه الموصلة الموجبة والسالبة؛ حيث يتم لصق الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود بالمناطق شبه الموصلة الموجبة والسالبة ولصق الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود بالكثير من المناطق المعدنية المحببة. في أحد التجسيدات؛ تتضمن الطريقة (La قبل لصق الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود بالمناطق المحببة المعدنية بالكثير من المناطق المعدنية المحببة؛ مما يؤدي إلى تكوين طبقة عازلة على الكثير من المناطق المعدنية المحببة؛ حيث يتم لصق الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود بالكثير من 0 المناطق المعدنية المحببة حيث اختراق مناطق الطبقة العازلة. في أحد التجسيدات؛ تتضمن عملية لصق رقاقة معدنية معالجة بالأنود بالكثير من المناطق المعدنية المحببة استخدام الطريقة المحددة من مجموعة المكونة من عملية اللحام بالليزر والضغط الحراري والربط بالموجات فوق الصوتية.
— 2 3 — في أحد التجسيدات؛ تتضمن عملية تكوين المناطق المعدنية المحببة تكوين مناطق ألومنيوم بسمك يتراوح بين 0.3 و20 ميكرون» وتكوين الألومنيوم في منطقة تمثل ما يزيد عن 9697 بالإضافة إلى تكوين السليكون بنطاق يتراوح بين 962-0؛ حيث تتضمن عملية لصق الرقاقة المعدنية لصق رقاقة ألومنيوم معالجة بالأنود تتمتع بسمك يتراوح بين 100-5 ميكرون تقريبًا من السطح العلوي المعالج بالأنود والسطح السفلي المعالج بالأنود. حيث يصل سمكهما إلى 20-1 ميكرون تقريبًا. فى أحد التجسيدات؛ تتضمن أيضًا الطريقة؛ قبل لصق الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود بالمناطق شبه الموصلة من النوعين الموجب والسالب؛ تكوين طبقة ليزر عاكسة أو طبقة ماصة على السطح السفلي المعالج بالأنود من الرقاقة المعدنية المعالجة بالأنود. فى أحد التجسيدات؛ يتضمن تكوين الكثير من المناطق شبه الموصلة الموجبة والسالبة تكوين 0 مناطق شبه موصلة من النوعين الموجب والسالب في طبقة السليكون متعدد الكريستالات التي تم Luss فوق الركيزة؛. كما تتضمن الطريقة أيضًا تكوين خندق بين كل المناطق شبه الموصلة الموجبة والسالبة؛ حيث تمتد هذه الخنادق بشكل جزئي إلى الركيزة. فى أحد التجسيدات» تكون الركيزة عبارة عن ركيزة من السليكون متعدد الكرستالات؛ وتتضمن عملية تكوين الكثير من المناطق شبه الموصلة الموجبة والسالبة تكوين مناطق شبه موصلة موجبة 5 وسالبة في ركيزة السليكون متعدد الكريستالات. في أحد التجسيدات»؛ تتضمن الطريقة أيضًاء قبل إجراء الإزالة بالقطع باستخدام الليزر تكوين طبقة مستترة على جزءٍ واحد على الأقل من الرقاقة المعدنية» ومن ثم إجراء الإزالة عن طريق القطع بالليزر وإزالة الطبقة المستترة. فى تجسيد؛ تتضمن خلية شمسية إحدى الركائز . ودتم وضع عدد وفير من المناطق شبه الموصلة 0 .من النوعين الموجب والسالب بداخل الركيزة؛ أو فوقها. توضع المنطقة الموصلة فوق الكثير من المناطق شبه الموصلة الموجبة والسالبة؛ كما تتضمن المنطقة الموصلة عدد وفير من المناطق والسالبة؛ كما يتم وضع الرقاقة المعدنية مع الكثير من المناطق المعدنية المحببة؛ وتتمتع الرقاقة
— 3 3 — المعدنية بأجزاء dallas بالأنود تقوم بعزل المناطق المعدنية المناظرة للمناطق شبه الموصلة الموجبة والسالبة. في أحد التجسيدات؛ تكون جميع الأسطح المكشوفة في الرقاقة المعدنية معالجة بالأنود 8000260.
Claims (5)
- عناصر الحماية 1- طريقة لتصنيع خلية شمسية Jails ¢solar cell الطريقة على: وضع رقاقة معدنية metal foil على مناطق شبه موصلة semiconductor regions من النوعين الموجب والسالب تبادلية للخلية الشمسية ¢solar cell نقش بالليزر laser patterning جزءٍ من الرقاقة المعدنية metal foil في مناطق مناظرة لمواقع بين المناطق شبه الموصلة semiconductor regions من النوعين الموجب والسالب التبادلية؛ وبعد النقش بالليزر 084810109 laser إزالة الرقاقة المعدنية metal foil في المواقع المذكورة.
- 2- الطريقة Gig لعنصر الحماية 1؛ Gus يشتمل النقش بالليزر laser patterning على 0 تشكيل حز في مواقع بين المناطق شبه الموصلة Semiconductor regions من النوعين الموجب والسالب التبادلية.
- 3- الطريقة وفقًا لعنصر الحماية 1 Cua تشتمل إزالة الرقاقة المعدنية metal foil في المواقع المذكورة على تمزيق الرقاقة المعدنية metal foil في المواقع المذكورة.
- 4- الطريقة وفقًا لعنصر الحماية 1 حيث تشتمل إزالة الرقاقة المعدنية foil 0016181 في المواقع المذكورة على إجراء عملية إزالة بالقطع باستخدام الليزر laser لإزالة الرقاقة المعدنية metal foil في المواقع المذكورة. 0 5- الطريقة Wg لعنصر الحماية 1؛ حيث تشتمل أيضًا على: قبل وضع الرقاقة المعدنية foil ل01618؛ تشكيل مجموعة من مناطق مادة معدنية محببة metal material regions 5660لتوفير منطقة مادة معدنية محببة metal seed material 007على كل منطقة من المناطق شبه الموصلة semiconductor regions من النوعين can gall والسالب التبادلية؛ Cua يشتمل وضع الرقاقة المعدنية metal foil على المناطق شبه 5 الموصلة semiconductor regions من النوعين الموجب والسالب التبادلية على وضع الرقاقة— 5 3 — المعدنية metal foil على مجموعة المناطق المعدنية المحببة metal seed material.regions 6— الطريقة Bly لعنصر الحماية 5 حيث يشتمل تكوين de gene من مناطق المواد المعدنية المحببة plurality of metal seed material regions على تكوين مناطق ألومنيوم aluminum regions كل منها له سشمك فى نطاق من 0.3 إلى 20 ميكرون. 7- الطريقة وفقًا لعنصر الحماية 1 Cus يشتمل وضع رقاقة معدنية metal foil على مناطق شبه موصلة semiconductor regions من النوعين الموجب والسالب تبادلية على وضع رقاقة 0 معدتية metal foil على مناطق شبه موصلة semiconductor regions من النوعين الموجب والسالب تبادلية all تشتمل على خندق بين كل من المناطق aud الموصلة semiconductor 5 من النوعين الموجب والسالب التبادلية. 8- الطريقة وفقًا لعنصر الحماية 1؛ Cus تشتمل أيضًا: قبل النقش بالليزر daser patterning 5 على تكوين طبقة مستترة على gia على الأقل من الرقاقة المعدنية metal foil 9- طريقة لتصنيع خلية شمسية solar cell تشتمل الطريقة على: وضع رقاقة معدنية metal foil على مناطق شبه موصلة Semiconductor regions من النوعين الموجب والسالب تبادلية للخلية الشمسية cell +5018؛ تشكيل حزوز في مواقع الرقاقة المعدنية metal foil بين المناطق 0 شبه الموصلة Semiconductor regions من النوعين الموجب والسالب التبادلية؛ وبعد تشكيل الحزوز ¢ إزالة الرقاقة المعدنية metal foil في المواقع المذكورة. 0- الطريقة hy لعنصر الحماية 9 حيث يشتمل تشكيل حزوز على shal عملية ميكانيكية mechanical أو عملية ليزر Jaser 251- الطريقة وفقًا لعنصر الحماية 9 حيث تشتمل إزالة الرقاقة المعدنية metal foil في المواقع المذكورة على تمزيق الرقاقة المعدنية metal foil في المواقع المذكورة. 2- الطريقة وففقًا لعنصر الحماية 9» حيث تشتمل إزالة الرقاقة المعدنية metal foil في المواقع المذكورة على إجراء عملية إزالة بالقطع باستخدام الليزر laser لإزالة الرقاقة المعدنية metal fol في المواقع المذكورة. 3- الطريقة وفقًا لعنصر الحماية 9 حيث تشتمل أيضًا: قبل وضع الرقاقة المعدنية metal fol على تشكيل مجموعة من مناطق معدنية محببة لتوفير منطقة معدنية محببة على كل من 0 المناطق شبه الموصلة semiconductor regions النوعين الموجب والسالب التبادلية؛ Cus يشتمل وضع الرقاقة المعدنية metal foil على المناطق شبه الموصلة semiconductor 5 من النوعين الموجب والسالب التبادلية على وضع الرقاقة المعدنية metal foil على مجموعة المناطق المعدنية المحببة .metal seed material regions 5 14- الطريقة وففًا لعنصر الحماية 9 حيث يشتمل تشكيل حزوز على تشكيل حزوز موازية grooves parallel للمناطق المعدنية المحببة Metal seed material regions أو عمودية perpendicular عليها. 5- طريقة لتصنيع خلية شمسية solar cell تشتمل الطريقة على: 0 وضع مناطق ألومنيوم aluminum regions على مناطق شبه موصلة semiconductor 5 من النوعين الموجب والسالب التبادلية للخلية الشمسية Cus solar cell يتم اقتران مناطق الألومنيوم aluminum regions كهربائيًا electrically برقاقة معدنية foil [01618؛ نقش بالليزر laser patterning جزءٍ من الرقاقة المعدنية metal foil في مناطق مناظرة لمواقع بين المناطق شبه الموصلة semiconductor regions من النوعين الموجب والسالب
- 5._ التتبادلية؛ وبعد النقش بالليزر 084810109 laser إزالة الرقاقة المعدنية metal foil في المواقع المذكورة.6- الطريقة Gig لعنصر الحماية 15( Cus يشتمل النقش بالليزر laser patterning على تشكيل حزوز grooves في مواقع بين المناطق شبه الموصلة 1696005 semiconductor من النوعين الموجب والسالب التبادلية. 17- الطريقة وفقًا لعنصر الحماية 16 Cus يشتمل تشكيل حزوز على تشكيل حزوز موازيةgrooves parallel للمناطق المعدنية المحببة Metal seed material regions أو عمودية perpendicular عليها. 8- الطريقة وفقًا لعنصر الحماية 15 حيث تشتمل إزالة الرقاقة المعدنية metal foil في0 المواقع المذكورة على تمزيق الرقاقة المعدنية metal foil في المواقع المذكورة. 9- الطريقة Gy لعنصر الحماية 15( Cua تشتمل إزالة الرقاقة المعدنية metal foil المواقع المذكورة على إجراء عملية إزالة بالقطع باستخدام الليزر لإزالة الرقاقة المعدنية metal foil في المواقع المذكورة.15 0- الطريقة وفقًا لعنصر الحماية 15( Cus يشتمل النقش بالليزر laser patterning للرقاقة المعدنية في مواقع بين المناطق شبه الموصلة semiconductor regions من النوعين الموجب والسالب التبادلية على وضع رقاقة معدنية metal foil فوق مناطق شبه موصلة Semiconductor regions من النوعين الموجب والسالب تبادلية التي تشتمل على0 خندق بين كل من المناطق شبه الموصلة semiconductor regions من النوعين الموجب والسالب التبادلية. 1- خلية شمسية solar cell تشتمل على: ركيزة substrate ؛5 مجموعة من المناطق شبه الموصلة Semiconductor regions فوق سطح للركيزة 36 + حيث يتم فصل المناطق الفردية من مجموعة المناطق شبه الموصلة56111000000102 من بعضها البعض بواسطة منطقة مناظرة من مجموعة أولى من المناطق؛ ومجموعة من أجزاء الرقاقة المعدنية Metal foil فوق مجموعة المناطق شبه الموصلة semiconductor regions والمتصلة بها كهرياثيًاء حيث تتوافق مناطق فردية لمجموعة أجزاء 5 الرقاقة المعدنية metal foil مع مناطق فردية لمجموعة المناطق شبه الموصلة Cus «semiconductor regions يتم فصل مناطق فردية لمجموعة أجزاء الرقاقة المعدنية metal foil من بعضها البعض بواسطة منطقة مناظرة من de gana ثانية من المناطق؛ وحيث تتم محاذاة المجموعة الثانية من المناطق إلى حد كبير مع المجموعة الأولى للمناطق فوق سطح الركيزة.2- الخلية الشمسية وفقًا لعنصر الحماية 21 حيث تكون مجموعة أجزاء الرقاقة المعدنية metal foil عبارة عن مجموعة من أجزاء رقاقة ألومنيوم aluminum foil portions . 3- الخلية الشمسية وفقًا لعنصر الحماية 21؛ حيث تشتمل Wad على: مجموعة من المناطق 5 المعدنية المحببة metal seed material regions على مجموعة المناطق شبه الموصلة semiconductor regions حيث تتوافق مناطق فردية من مجموعة المناطق المعدنية المحببة Metal seed material regions مع مناطق فردية من مجموعة المناطق شبه الموصلة Gua semiconductor regions تكون مجموعة أجزاء الرقاقة المعدنية metal foil على مجموعة المناطق المعدنية المحببة «metal seed material regions وحيث تتوافق مناطق 0 فردية من مجموعة أجزاء الرقاقة المعدنية Metal foil مع مناطق فردية من مجموعة المناطق المعدنية المحببة .metal seed material regions 4- الخلية الشمسية وفقًا لعنصر الحماية 23« حيث تشتمل de gene المناطق المعدنية المحببة metal seed material regions على ألومنيوم aluminum 25— 9 3 — 5- الخلية الشمسية Gig لعنصر الحماية 24 حيث تكون مجموعة أجزاء الرقاقة المعدنية metal foil عبارة عن مجموعة من أجزاء رقاقة ألومنيوم .aluminum foil portions 6- الخلية الشمسية وفقًا لعنصر الحماية 22( حيث يتم لحام ads لمجموعة أجزاء الرقاقة المعدنية metal foil بمجموعة المناطق المعدنية المحببة .metal seed material regions 7- الخلية الشمسية Bg لعنصر الحماية 21؛ حيث يكون oda على الأقل من الأسطح الخارجية لمجموعة أجزاء الرقاقة المعدنية metal foil مُعالجًا بالأنود 8000260. 0 28- الخلية الشمسية وفقًا لعنصر الحماية 27 حيث تكون جميع الأسطح الخارجية المكشوفة لمجموعة أجزاء الرقاقة المعدنية metal foil مُعالجة بالأنود 8000260. 9- الخلية الشمسية وفقًا لعنصر الحماية 21؛ حيث لا تكون أسطح خارجية مكشوفة لمجموعة أجزاء الرقاقة المعدنية metal foil مُعالجة بالأنود .anodized 15 0- الخلية الشمسية Bay لعنصر الحماية 21 حيث تشتمل مجموعة المناطق شبه الموصلة semiconductor regions على سيليكون متعدد البلورات polycrystalline silicon0 اا ااا : Yak 4 LL Tf yy ا ١ 3# . EN ا حا بي جردا % CTR م 70 LS Se 8 B ay . 3 RI Bred adn 8 نيد دي مسا 2 The ل : LTR 3 i 3 LORE Se i ERS Ra "od 4 A : i od 3 Hoo fond yy = Ti cbt SI WEE موا سس ال ا الما سوس مار 8 SNC du * . ان ال AN SSE {LA SR BOM I S—— ال المت محا ل ا لات خا ا اا ل HN ايها EEN 5 i 4 8 5 > 4 By 8 Yas _ : NOR ¥ 3 ¥ : ان : ا 0 ARE EE EE HE ER PRR RA ATR ee ل A A “Noss 0 خخ الح : 8 شكل 4 i TRY . SU اخ Cn eddy PR aang LEE Lane ١ ب 5 : حت : : قاين . 4 EN . SET y : Fd : a REN a A اديت ا ا ا N ا ا ال ا ا سا ااا :0 ie RI ل : : ا Yin ¥ 3 i ET ¢ 1 0 0 eg ا ا ا ات AE RE ER CR ا لج م ا ما جا ران ل كت ايت وماك رات م اجام ماج اجاح جر وج لي كد ا ا اله ع جم ا REE كا ا ل ا يع شكل اب$F 334 خلا 0 يي ص 8 0 ا LY مجح لال تت ¥ % & : { 3 3 مني ’ : bY os ا ا . SENT 5 on EE Lo a = Fa Re ya ب" & 3 Si A Re سس سس لاسا en RRR الس ل لا rg ee NERY, a تالالا een SRR gt RRR green RRR NE ERR الس ا DE انمحرا اليم 1 > 1 : 8 H Ta 8 0 ام 3 0 5 : p 8 AR 5 : 8 y 1 8 . : in N 9 Ry 5 A RR RRR 8 يا اج اا الاي = شك للها EEE ا شا برل BE 0 EN BY حت لا" 8 الج ججح ججح ججح جح جحي ae سسحت سس سس 0 الست تت ا ا لاا : 8 : 8 Sood H NEE. 3d wk i Yo 5d Ao a Ma يازا : الم ا :1 الب حجنا ب Cn Het 0: ا د حك ااا ا ا ل RA ا ل ل للف A A ججح ججح جح صن .+ لت امح i SN ae و ta TS al . a fia BS . Las TRSSL. J RE, SN I. A NIE A AE 3 حا SA 8 3 : 8 0 1 iss PX JOON FE TR SEO xs جا ات لا ا SEH الما ا لا تح ا { 0 1 دجا 3 1 1 i \ A i { 8 Poo : 3 Rr es ey Ak BS TAN شكل 1د«wx gs CEE om د ا مخ 332 575 3 ERE Gok,i . 1 5 CERT ٍ : Hy : 8 > اللا المح تس تس لس يت ُ لد ددا % Por i Jeg RN ROE: ¢ 5 0 k 3 . Raa #3 & ¢ د EY oN 8 الخال 8 pe با "0 بيدا ٍ : ا ل ا y 3 ——— ا ا للا ا تي الت لشت ال ا ال ا SE J 2 Ty : ال 0 ل & oF Ne & ii Fa Rs ا 8 NO NOTED 0 لد الا ا ا 8 سيقت ا سج لاا اج لاا ined من معني مس بس سب الك ور SESES nage a ا Ry ERA i Hass 1 ممم Sa ممعي ا 0 ال ا ل ل الا ل ا ا لصا Sed & : i RI gb si Ee le aR VEER لماك BS FEE : 3 7 :< ب 3 ا H a 8 3 2 3 2 3 ل 0 SE 6 ل ا ل ل A الح ا را ال ا وت و ا ل ا Fa 3 كاه etم ELE Es اي اي 3 ب a & 1 ال مهاه الما اا ا ماج لاا تم الات الوا الو ات N روي عند وثير جور الناطق le a رفير لهي 1 ااا ا لاي اهاي Call 1 IE al natal أو WE 1 N BOE Tad = ; RANA! RASS, SRR CURA RRNA! RRND.ERR] SRNR SRAKTKRRE. (RNR wa حفن العا SRERS, RAN CURRAN EUR! RARS ا حححم ARKE UREN يجحي RP TEER GREAT NAAN 3 بد اول دا امك 2 TEE JONG OREN, = Jo ST 7 : Ry A SRE i بن SER saat اليا اما يوا N A sala SN en RY Re Re Re RES 4 3 Rng Soi aida i قش م اماق الم pad نمل م 1 Ek ل ا M N i I mae SEES J الل : 1 ووو eo ot جه اجو لأف اح oo oi io ci om, ا Bi joi 8 : : N { N اج ا ان N WE ¥ ني : RES er Ro A CN mR EUR a : > Sor Blas td SSN Nutone TW Ged : Gad peal | بالساتي 1 i J i en Tia N A A A A A A A ALA AAA AAA RA ALAA Rng الوا ا وها ا يع ايد لقع 0 N Sn rR NR i (BY Smad SIR ap ee BR RE AE Tn] جور التو لاح ا ا لا N SR Che Sl KREG مد Alia ged بن ليقي 1 i Se N الو seedy 1 ال-7 { لاب : er BY 3 RS SS Ri ¢ he a 3 اناج ا ومن اه ال معام الي ال ا 3 Rp : بور لعل متلق gad SONA النتيقية : : يا لوجع ل اح احج اا الج ا ال ا الج ا Le BY: : : الملا الست Ae الموفظة من sited GEN : : 0 لبالب i Wow Vedasل Avg WOR ER Lo LE Re ER WEEE لاب الي PR ا لالت aN تح Ee OC CR NT ا اتج 3 الت > 7ت EC يي مح % “جين 8 sete ARN LE ا ay RET ا» pins a = 5 vg I oT YR cent oF aR ااا ا الج الع الم 1 متي 3 0 Tes PR gt TR RF 2 ES A yl ب 5 iS EY 8 ااا سس لت Sa : الس اناد ب الس J Ed a ا NE SRE تب i CoE i i HIE SO Re To} i i Yes 3 i Yemen { H by Fe i ! 8 : ديب 0 B oN لد 8 اجاج ا واي وجا اج راي وا جل جا ري الا ما لبخي NS يي ايد ال لاوا و اج ا ا اد د رش ال ل كل ايخ امد 1 اا جل vig Ros 3 5 . Sed & RAEI by FRR Eh SE es STIR SE لا x 5 H LIRR 1 ب 1 > 1 > ال لوي تس ب sis حا اا حر جا ا PE NE % H 3 © 5 § 8 ولج مجو جد الو سا دجت ا 0 1 الل الالح ا 7 TT مدر ا ا ا لاح السو a EAN ST الا EOS a Sad dR a . RIA oF Fo, . 8 ا مستا ل سلس 8 ٠ الات ا bi ERE الل ماج جا ا ا B EIN : تود تت لد بايد لدجو لو د tS N i 1 اا + = 3 H ro H H BAERS H { { 8 8 8 8 i H N 81 PE RT a Tess ل ال ET ل ال DERE RON REAR RAR RR EARS SE RUA اما 6 Ne =v 3 NY 5 7 By _ سينا IY SH Sear oo = § 5 5 # i a REG A & ا a i J N ON TN - x 5 CE SE BE ESN TR RT oi 1) الوق FUE ml, TR, 1 9 3 2 3 ل LR Ry الست لتحت للدت EF ممم امت و a : A اي # ااا Hw تي د ا EH A ادا ا Hg es I I > SS E—— TE ak المت موا ومو مت ومو اح م اح احا ا إل لول ا ال اال اللا الا لاا : ا 0 \ +7 إ:ْ A H N ey 3 Tha ; إْ i : م : ل PRR ا FIL ey ا x 3: ا 8 مي ّ أ و a aa قري «دد ولو عن i غرفي FHA الويب «السانب يلقل Sal ٍْ : a 1 لمي + RS ااا لان د 1 SL يض م ل ا ات 1 نط Tc Renal المحتية BAY i التي سد رخ 8 : Co: ARAL ا py AD a ER ROS اا LN SY acy h ; rl مع Sosa لبه JE سحبية لل من Sens § 3 We 8 : 1 الصروب بلاقب A “Yes IRR: . ججم: ND NY, OY WER WO, WW QW WY WE, مجه يودج MRR RG REY NOR WOR WE NRL RE WR QW, RY i ار الى i J ok H CE AE ag, اا وان AE ٌ Sed بالتطناطق 2a Jaden Line WG al 8 الا اد اله ا اج x SRS : med cpa Se Wud 3 دسا اتات حاتت حت : NODS 1 ONS NN 1 ات 0 لعب wih اتح حب > ان ب اك اح ا ا ا ل ا i ina cated مال سام انطع Jo BBS Sh 3 3 RAP TN ل ا ب EE NC ا ل 1 GRE في Sh Sales Lea TN وجا Al ! 1 وار كمي اكوا ا زا ار زا الول i كيه المرمطة عن امرض Baal ببق SBE السيكتية 1 i dlp aagaad N FO 5 $e por 8 ال8 % 1 ل ا الحا ااا اا >> جا >> ا جا >> جا جا اا جا م oF RE Fal SE ا My oo & كن a & Ry & الي A Fa لضن اا ب ap ينا م م se ase Ss إن SE ES SR A RS a RRR 2 الل ا ا BE a A ال ام ان 5 pS Sa tg pe) oF ES x AR PEN ل و PS SAE SEEN FER SE الا ال الا ا EC ل ات الجن Be اين الى ال ال a ATT ET Ae AT A & as a ل كي a ET a ا الم ات a الجا لكات اق oR Aa S كي ا او بالا الهج لك يت لمرو ا انتم اا لحك اي لاطي المع لات ا ا ات الي ارات IR 1 Se ا ارا Ne Sig شي EF JE pipet اللي جر لي لان اين ال كن د" الا الا " تي اين ا "م To ALE R ار ال اا ا يي & a Fo ل م Pala : So RE ال ال م ل ويد الاب القت الي إن كك اق SS د ل QW الي ال اك اك ان a) اي ا ف fw ان ال ححا Ree ان الا & a 8 IN ST ES a ا ا و الك احا NS PE FEA ARSE EW عي انير كبن الي AF يد تا NS Pr 7 3 SF FS Rg ey AS لين الج SRE & ا مي كن ادا ال ااا الو اد لدان ااا SE ارا لجرا ا ال وا SI الجا اد كر الي الل ل لاد ا ات" SANS لبرت اران الال ار اذا الات لدت الوا ألا ل ا ان الي aR و EEA ENN Ee SEAT ES بر "ينا اا ا لاا هيا مطل ما امت اما لما سا سا ا أن ل ال جد جما اد ماد دي ل تلاتلا الم مد عد لا لق EE ا 7 \ 8 لنت مالستسا ناي 8 p pe) hg & . ¥ ل واي A RRR A SRE RAR eg Re اا ااا ا EERE ل 0 ا م لاا pl EE م SE hE ار he REE SY Ve كن ا من ا EE ال دنا ل ارك ل A & ا اي م al RE ا ا يب الا ال JE ا ا ال i Pr ra SE ا بن ا الا ا ال الا الات ال اا SP ان الا اااي ا ب عي الي عي ا ال Re TT Se LT وان راض مالي A NE عا أن lS ل ل لدت رن د ا SSA TREE ان ا ا اند ا ال اد اد الا اا ال د الإ ال Ad I Se ان ey oF GR ا اث Rel اين oF FRY eR CR Reg ا كي ان كم الكت أن اح ام ل 7 Cs ما كن انج ل ا اعم 6 ا لسر ات ان لذ اله Te حي الات Ta Ne Te aN ا الح ل د لد ادي ال ل ا عا بمج Soe المي ا ا القن 5 عن ال ا EOE IN بن الح اق ل ان a ا" BE ا ا JER ا الا ل JE ار ال كي ال ا الا و ا ام ا الع ا ا اام ary a ا م ا الج اجا 2 ا Sa ER الا ل ااا ا الت ااال الام ل ب الاك ال مم reas RS © ea ار اانا زا ادا ل er امي لدان ا ملاسلا حل اساسا الس سا ا اساسا bebo الحا لالت سي نا SR SERRE LR SREY جح جح ججح حا جاجد سججاح جح جحا خا ل حت حا N RR ER EERE EEL ER SR أ تت ETRE Lr 7 AE . عي Ea Lo : FER د لجا الموج امج SE اموي لجسو ترج وا ا ود تمر المي جو الات لقنا ET NT TER RSTRNT EEN ا J Al (Ral Ji aie I ty الخ الخ اج SCC TOR ضر اا Tr aL ا اج د اج اي ia Sl Beal AEE تاي Hal ul SE Gh I م Sd حادق المع JERE 0 QT Ra Sag Sg psa الي ال ار اك الال د اك ا الات ارا ع ل Re OF اع لبا oy NO اكت ااا ل امن اج من عن للدي ا 5 ادكو ا ال جا وان قي ل ES لاد aC CRT HC allt SEL للا ل القن RE Rn KE Sa SHI EEN ا AN 3 RR = ot ير ا ل ب م So oad TY = Naan a 1 al 3 Pa الجا يي ا جر اد ل 8 : 5" 7 : و Sp عي اتن ان كين SI TEE GEE Fad ATER NE A SF STR ey Pret I اجر كر الى تن FE اد اا لل ا اق ا راان بان ل د اي ل ب ا الل ل الال بن الب لخر اهن السلا اليا تن سعد يت لبس انا لي “ان اااي لواب حل در Cae a #3 كن NAL LA ET a a A 0-7 أ اع الا a oF FRE oo Fe NCE Op pay hel FER ا ا ا ا ل Sy oa NRE امن مركن اع EE a TE Ta aR الى ال اا FE Ao A a ب eat ال Ce ان ا ا لخر الاي الخ الزن لي a الا اال ان ان الة Rs ee eC AIS SES J SN اه Rts So We Th اا و 3 لحا اا تا لات ا امااساك الستا حاتت اتا اتا الات الاك الات اا اناه i حك : 58 nn A ATA AAS Am a SAAT AS ns 1 ا عا Ny er xe CR ae fa a HY A لا ال اا ع& ¥ اب او ا # 4# ب In : AR a CAT ب م Ga ا ا — Sr تسح III SUSIE as : 1 > 3 لجح سس BE bY L % § 8 5 § * الى 5 . ا ا الي اا : A ل ا ا ا ا ا لبي A ب لدي ا ا ا ا ا ل ا ا ا RT TI RE a RT, 0 ل جب اي ا لهاي“ ا ال 8 NE Ps 3, 3 Sy = د كاد لت .تت للد سد سد لبد سبحت ال اع H i : 3 t] 1 3 3 F ! 4 N ا 0 1 ® ;م . A ٍ اا ب A ا § الا ااي ااي تتا ا OOO: SOTO ch SO متسس ا ايل الح ا نك 1 واد اا 5 5 i a 8 8 الجا ا امد ل دجي wn با ال لحي H TUN eR : NR HR § ا : i : 8 a A RE Es a. SE ra a RR ل RAR NE ae اا ا ا ا ا و لوده و اا ا 3 شخي HEE] el RR ERR a Lo ERA اتح ته تمت ا تس تع Psy ¥ 5 ا % 3 ف 0 FE i ii ce ie SE Trepp infers RE a ES 3 0 مها ب 8 HE x al Aan fra © Tn ا 5 SVUReReY. ا 2 ananassae H pa 5 ب ب" PN . id B : 1 ES 5 5 84 1 8 is Ns Cr FETA. > سما جعت جح جع عع 1 بغ« : w. : 5 ES mp. ١ :+ } وال ل اس لي Ee) NF ay 5 جا > { ; : إ Ro RA a Bn as. ER ERNE IN NRE RY EE EY Ww & TNR ® Be - <> X Ld i PRNلاله الهيلة السعودية الملضية الفكرية ا Sued Authority for intallentual Property RE .¥ + \ ا 0 § 8 Ss o + < م SNE اج > عي كي الج TE I UN BE Ca a ةا ww جيثة > Ld Ed H Ed - 2 Ld وذلك بشرط تسديد المقابل المالي السنوي للبراءة وعدم بطلانها of سقوطها لمخالفتها ع لأي من أحكام نظام براءات الاختراع والتصميمات التخطيطية للدارات المتكاملة والأصناف ع النباتية والنماذج الصناعية أو لائحته التنفيذية. Ad صادرة عن + ب ب ٠. ب الهيئة السعودية للملكية الفكرية > > > فهذا ص ب 101١ .| لريا 1*١ v= ؛ المملكة | لعربية | لسعودية SAIP@SAIP.GOV.SA
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/229,769 US9337369B2 (en) | 2014-03-28 | 2014-03-28 | Solar cells with tunnel dielectrics |
PCT/US2015/022332 WO2015148569A1 (en) | 2014-03-28 | 2015-03-24 | Solar cells with tunnel dielectrics |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SA516371930B1 true SA516371930B1 (ar) | 2020-11-05 |
Family
ID=54191556
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SA516371930A SA516371930B1 (ar) | 2014-03-28 | 2016-09-27 | تعدين الخلايا الشمسية باستخدام الرقائق |
Country Status (15)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US9337369B2 (ar) |
EP (1) | EP3123525B1 (ar) |
JP (1) | JP6487451B2 (ar) |
KR (3) | KR20230065383A (ar) |
CN (2) | CN110047947B (ar) |
AU (1) | AU2015236204B2 (ar) |
BR (1) | BR112016022505B1 (ar) |
CL (1) | CL2016002437A1 (ar) |
MX (1) | MX358424B (ar) |
MY (1) | MY190939A (ar) |
PH (1) | PH12016501871A1 (ar) |
SA (1) | SA516371930B1 (ar) |
SG (1) | SG11201608045TA (ar) |
TW (1) | TWI665807B (ar) |
WO (1) | WO2015148569A1 (ar) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4092757A1 (en) | 2013-04-03 | 2022-11-23 | Lg Electronics Inc. | Method for fabricating a solar cell |
US9231129B2 (en) | 2014-03-28 | 2016-01-05 | Sunpower Corporation | Foil-based metallization of solar cells |
US11811360B2 (en) | 2014-03-28 | 2023-11-07 | Maxeon Solar Pte. Ltd. | High voltage solar modules |
US9337369B2 (en) | 2014-03-28 | 2016-05-10 | Sunpower Corporation | Solar cells with tunnel dielectrics |
KR102219804B1 (ko) | 2014-11-04 | 2021-02-24 | 엘지전자 주식회사 | 태양 전지 및 그의 제조 방법 |
EP3026713B1 (en) | 2014-11-28 | 2019-03-27 | LG Electronics Inc. | Solar cell and method for manufacturing the same |
KR102272433B1 (ko) | 2015-06-30 | 2021-07-05 | 엘지전자 주식회사 | 태양 전지 및 이의 제조 방법 |
JP6785427B2 (ja) * | 2016-02-01 | 2020-11-18 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 太陽電池素子および太陽電池モジュール |
USD822890S1 (en) | 2016-09-07 | 2018-07-10 | Felxtronics Ap, Llc | Lighting apparatus |
US10775030B2 (en) | 2017-05-05 | 2020-09-15 | Flex Ltd. | Light fixture device including rotatable light modules |
USD877964S1 (en) | 2017-08-09 | 2020-03-10 | Flex Ltd. | Lighting module |
USD833061S1 (en) | 2017-08-09 | 2018-11-06 | Flex Ltd. | Lighting module locking endcap |
USD872319S1 (en) | 2017-08-09 | 2020-01-07 | Flex Ltd. | Lighting module LED light board |
USD832494S1 (en) | 2017-08-09 | 2018-10-30 | Flex Ltd. | Lighting module heatsink |
USD846793S1 (en) | 2017-08-09 | 2019-04-23 | Flex Ltd. | Lighting module locking mechanism |
USD862777S1 (en) | 2017-08-09 | 2019-10-08 | Flex Ltd. | Lighting module wide distribution lens |
USD832495S1 (en) | 2017-08-18 | 2018-10-30 | Flex Ltd. | Lighting module locking mechanism |
USD862778S1 (en) | 2017-08-22 | 2019-10-08 | Flex Ltd | Lighting module lens |
USD888323S1 (en) | 2017-09-07 | 2020-06-23 | Flex Ltd | Lighting module wire guard |
CN115692534B (zh) * | 2022-12-14 | 2023-03-28 | 浙江晶科能源有限公司 | 一种太阳能电池及光伏组件 |
Family Cites Families (45)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1160801C (zh) | 1995-11-06 | 2004-08-04 | 日亚化学工业株式会社 | 氮化物半导体器件 |
US6380055B2 (en) * | 1998-10-22 | 2002-04-30 | Advanced Micro Devices, Inc. | Dopant diffusion-retarding barrier region formed within polysilicon gate layer |
AUPR719701A0 (en) * | 2001-08-23 | 2001-09-13 | Pacific Solar Pty Limited | Chain link metal interconnect structure |
US7601649B2 (en) * | 2004-08-02 | 2009-10-13 | Micron Technology, Inc. | Zirconium-doped tantalum oxide films |
US20060130891A1 (en) * | 2004-10-29 | 2006-06-22 | Carlson David E | Back-contact photovoltaic cells |
US7687402B2 (en) * | 2004-11-15 | 2010-03-30 | Micron Technology, Inc. | Methods of making optoelectronic devices, and methods of making solar cells |
FR2880989B1 (fr) | 2005-01-20 | 2007-03-09 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif semi-conducteur a heterojonctions et a structure inter-digitee |
US7468485B1 (en) * | 2005-08-11 | 2008-12-23 | Sunpower Corporation | Back side contact solar cell with doped polysilicon regions |
US7718888B2 (en) * | 2005-12-30 | 2010-05-18 | Sunpower Corporation | Solar cell having polymer heterojunction contacts |
US7737357B2 (en) * | 2006-05-04 | 2010-06-15 | Sunpower Corporation | Solar cell having doped semiconductor heterojunction contacts |
US7838062B2 (en) * | 2007-05-29 | 2010-11-23 | Sunpower Corporation | Array of small contacts for solar cell fabrication |
WO2009094578A2 (en) | 2008-01-24 | 2009-07-30 | Applied Materials, Inc. | Improved hit solar cell structure |
CN101999175A (zh) * | 2008-04-09 | 2011-03-30 | 应用材料股份有限公司 | 用于多晶硅发射极太阳能电池的简化背触点 |
KR20110042053A (ko) * | 2008-06-11 | 2011-04-22 | 솔라 임플란트 테크놀로지스 아이엔씨. | 주입을 이용한 솔라 셀-선택 에미터의 형성 및 어닐링 방법 |
US7851698B2 (en) * | 2008-06-12 | 2010-12-14 | Sunpower Corporation | Trench process and structure for backside contact solar cells with polysilicon doped regions |
TWI462307B (zh) * | 2008-09-02 | 2014-11-21 | Au Optronics Corp | 具備多重能隙的矽奈米晶體光電池及其在一低溫多晶矽薄膜電晶體面板內之應用 |
US8242354B2 (en) * | 2008-12-04 | 2012-08-14 | Sunpower Corporation | Backside contact solar cell with formed polysilicon doped regions |
US20100206378A1 (en) | 2009-02-13 | 2010-08-19 | Miasole | Thin-film photovoltaic power system with integrated low-profile high-efficiency inverter |
US20100229928A1 (en) * | 2009-03-12 | 2010-09-16 | Twin Creeks Technologies, Inc. | Back-contact photovoltaic cell comprising a thin lamina having a superstrate receiver element |
DE102009024807B3 (de) * | 2009-06-02 | 2010-10-07 | Helmholtz-Zentrum Berlin Für Materialien Und Energie Gmbh | Solarzelle mit benachbarten elektrisch isolierenden Passivierbereichen mit hoher Oberflächenladung gegensätzlicher Polarität und Herstellungsverfahren |
DE102009044052A1 (de) * | 2009-09-18 | 2011-03-24 | Schott Solar Ag | Kristalline Solarzelle, Verfahren zur Herstellung einer solchen sowie Verfahren zur Herstellung eines Solarzellenmoduls |
US8603900B2 (en) * | 2009-10-27 | 2013-12-10 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Reducing surface recombination and enhancing light trapping in solar cells |
JP5307688B2 (ja) * | 2009-10-27 | 2013-10-02 | 株式会社カネカ | 結晶シリコン系太陽電池 |
TWI460827B (zh) * | 2010-03-31 | 2014-11-11 | Taiwan Memory Company | 快閃記憶體之製作方法 |
US8686283B2 (en) * | 2010-05-04 | 2014-04-01 | Silevo, Inc. | Solar cell with oxide tunneling junctions |
JP5424270B2 (ja) * | 2010-05-11 | 2014-02-26 | 国立大学法人東京農工大学 | 半導体ソーラーセル |
US20120060904A1 (en) * | 2010-09-13 | 2012-03-15 | Smith David D | Fabrication Of Solar Cells With Silicon Nano-Particles |
JP2012060080A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | Ulvac Japan Ltd | 結晶太陽電池及びその製造方法 |
KR20120078933A (ko) * | 2011-01-03 | 2012-07-11 | 삼성전자주식회사 | 태양 전지 및 그 제조 방법 |
WO2012132615A1 (ja) | 2011-03-25 | 2012-10-04 | 三洋電機株式会社 | 光電変換装置及びその製造方法 |
US8658458B2 (en) | 2011-06-15 | 2014-02-25 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Patterned doping for polysilicon emitter solar cells |
US9373959B2 (en) | 2011-06-21 | 2016-06-21 | Lg Electronics Inc. | Photovoltaic module |
KR20130057286A (ko) * | 2011-11-23 | 2013-05-31 | 삼성에스디아이 주식회사 | 광기전력소자 및 제조방법 |
US20130146136A1 (en) | 2011-12-13 | 2013-06-13 | Kyoung-Jin Seo | Photovoltaic device and method of manufacturing the same |
US9190549B2 (en) * | 2012-02-28 | 2015-11-17 | International Business Machines Corporation | Solar cell made using a barrier layer between p-type and intrinsic layers |
US9054255B2 (en) * | 2012-03-23 | 2015-06-09 | Sunpower Corporation | Solar cell having an emitter region with wide bandgap semiconductor material |
JP5546616B2 (ja) * | 2012-05-14 | 2014-07-09 | セリーボ, インコーポレイテッド | トンネル酸化物を有する後面接合太陽電池 |
US9640676B2 (en) * | 2012-06-29 | 2017-05-02 | Sunpower Corporation | Methods and structures for improving the structural integrity of solar cells |
CN102800716B (zh) * | 2012-07-09 | 2015-06-17 | 友达光电股份有限公司 | 太阳能电池及其制作方法 |
KR20140019099A (ko) * | 2012-08-02 | 2014-02-14 | 삼성에스디아이 주식회사 | 광전소자 |
US8642378B1 (en) * | 2012-12-18 | 2014-02-04 | International Business Machines Corporation | Field-effect inter-digitated back contact photovoltaic device |
US9337369B2 (en) | 2014-03-28 | 2016-05-10 | Sunpower Corporation | Solar cells with tunnel dielectrics |
US9496437B2 (en) | 2014-03-28 | 2016-11-15 | Sunpower Corporation | Solar cell having a plurality of sub-cells coupled by a metallization structure |
US11811360B2 (en) | 2014-03-28 | 2023-11-07 | Maxeon Solar Pte. Ltd. | High voltage solar modules |
US9231129B2 (en) | 2014-03-28 | 2016-01-05 | Sunpower Corporation | Foil-based metallization of solar cells |
-
2014
- 2014-03-28 US US14/229,769 patent/US9337369B2/en active Active
-
2015
- 2015-03-24 MY MYPI2016001477A patent/MY190939A/en unknown
- 2015-03-24 AU AU2015236204A patent/AU2015236204B2/en active Active
- 2015-03-24 EP EP15767694.1A patent/EP3123525B1/en active Active
- 2015-03-24 CN CN201910114397.XA patent/CN110047947B/zh active Active
- 2015-03-24 KR KR1020237014955A patent/KR20230065383A/ko not_active Application Discontinuation
- 2015-03-24 KR KR1020167029565A patent/KR102453500B1/ko active IP Right Grant
- 2015-03-24 JP JP2016544416A patent/JP6487451B2/ja active Active
- 2015-03-24 SG SG11201608045TA patent/SG11201608045TA/en unknown
- 2015-03-24 KR KR1020227034772A patent/KR102530217B1/ko active IP Right Grant
- 2015-03-24 CN CN201580007956.7A patent/CN105993079B/zh active Active
- 2015-03-24 MX MX2016012342A patent/MX358424B/es active IP Right Grant
- 2015-03-24 WO PCT/US2015/022332 patent/WO2015148569A1/en active Application Filing
- 2015-03-24 BR BR112016022505-8A patent/BR112016022505B1/pt active IP Right Grant
- 2015-03-27 TW TW104109938A patent/TWI665807B/zh active
-
2016
- 2016-04-21 US US15/135,225 patent/US10600922B2/en active Active
- 2016-09-22 PH PH12016501871A patent/PH12016501871A1/en unknown
- 2016-09-27 SA SA516371930A patent/SA516371930B1/ar unknown
- 2016-09-28 CL CL2016002437A patent/CL2016002437A1/es unknown
-
2020
- 2020-03-20 US US16/825,728 patent/US10840392B2/en active Active
Also Published As
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SA516371930B1 (ar) | تعدين الخلايا الشمسية باستخدام الرقائق | |
JP2019004135A (ja) | 太陽電池、太陽電池モジュール及びその製造方法 | |
JP6006279B2 (ja) | 太陽電池モジュール | |
DE102012001269B4 (de) | Solarzellenpaneel | |
EP2294642B1 (de) | Verfahren zur herstellung eines organischen elektronischen bauelements | |
CN106471627A (zh) | 太阳能电池的箔基金属化 | |
CN108470787A (zh) | 光伏电池和层压板金属化 | |
CN102473767A (zh) | 带有布线板的太阳能电池单元、太阳能电池模块以及带有布线板的太阳能电池单元的制造方法 | |
DE102009053776A1 (de) | Emitterbildung mit einem Laser | |
DE102005040871A1 (de) | Rückkontaktierte Solarzelle und Verfahren zu deren Herstellung | |
JP6215972B2 (ja) | 太陽電池モジュール及びその製造方法 | |
DE102010017180A1 (de) | Solarzelle, Solarmodul, und Verfahren zum Verdrahten einer Solarzelle, und Kontaktdraht | |
CN108110079A (zh) | 异质结太阳能电池及其制备方法 | |
DE102011104159A1 (de) | Verfahren zum elektrischen verbinden mehrerer solarzellen und photovoltaikmodul | |
JP7471229B2 (ja) | レーザービームを使用した半導体基板の局所メタライゼーション | |
WO2015091698A1 (de) | Photovoltaische zelle, photovoltaikmodul sowie dessen herstellung und verwendung | |
JP2021501979A (ja) | 電池積層体用の接触板を作製する方法、電池積層体用の接触板及び電池積層体 | |
CN103765601B (zh) | 太阳能电池和其生产方法 | |
WO2016198797A1 (fr) | Module photovoltaique et procede d'interconnexion de cellules photovoltaiques pour fabriquer un tel module | |
DE202015106557U1 (de) | Bifaziales Photovoltaikmodul | |
DE102009055031A1 (de) | Solarzelle, diese Solarzelle umfassendes Solarmodul, Verfahren zu deren Herstellung und zur Herstellung einer Kontaktfolie | |
DE102011052318B4 (de) | Solarmodul mit Kontaktfolie und Solarmodul-Herstellungsverfahren | |
DE102011015283B4 (de) | Herstellung eines Halbleiter-Bauelements durch Laser-unterstütztes Bonden und damit hergestelltes Halbleiter-Bauelement | |
DE102009037217A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Halbleiter-Bauelements | |
DE102013203414A1 (de) | Solarmodul und Verfahren zu dessen Herstellung |