RU99100321A - Откачивающее устройство, предусматривающее применение неиспаряющегося геттера, и способы применения данного геттера - Google Patents
Откачивающее устройство, предусматривающее применение неиспаряющегося геттера, и способы применения данного геттераInfo
- Publication number
- RU99100321A RU99100321A RU99100321/09A RU99100321A RU99100321A RU 99100321 A RU99100321 A RU 99100321A RU 99100321/09 A RU99100321/09 A RU 99100321/09A RU 99100321 A RU99100321 A RU 99100321A RU 99100321 A RU99100321 A RU 99100321A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- getter
- chamber
- temperature
- vaporizing
- vacuum
- Prior art date
Links
- 238000005086 pumping Methods 0.000 title claims 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 title claims 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 4
- 230000004913 activation Effects 0.000 claims 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims 2
- REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N aluminium(3+) Chemical class [Al+3] REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims 2
- KLGZELKXQMTEMM-UHFFFAOYSA-N hydride Chemical compound [H-] KLGZELKXQMTEMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N Hafnium Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 claims 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 1
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 claims 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N oxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims 1
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium(0) Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims 1
Claims (6)
1. Откачивающее устройство, предусматривающее применение неиспаряющегося геттера, нанесенного в вакууме путем катодного напыления, для создания сверхглубокого вакуума в камере, внутренняя металлическая поверхность которой покрыта тонким слоем неиспаряющегося геттера, способного поглощать газы.
2. Откачивающее устройство по п. 1, отличающееся тем, что неиспаряющийся геттер обладает: высокой адсорбционной способностью для газов, присутствующих в камере, и/или высокой растворимостью для кислорода, не менее 2%, и/или высокой абсорбционной способностью и высоким коэффициентом диффузии для водорода, и/или способностью формирования гидридной фазы, и/или давлением диссоциации гидридной фазы менее 10-13 торр при температуре около 20°С, и/или температурой активации, близкой к 400°С, и насколько возможно низкой температурой и сохранением своей стабильности при выдержке на воздухе при температуре около 20°С.
3. Откачивающее устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что неиспаряющийся геттер выбран из следующей группы материалов: титан и/или цирконий и/или гафний и/или ванадий и/или скандий и/или сплав, включающий один из перечисленных материалов.
4. Способ нанесения неиспаряющегося геттера, способного поглощать газы, на металлической поверхности камеры для создания в ней сверхглубокого вакуума, предусматривающий следующие последовательные этапы: а) нанесение тонкого слоя неиспаряющегося геттера на большую часть металлической поверхности камеры; б) соединение камеры с вакуумной системой; создание вакуума с помощью вакуумной системы; высушивание вакуумной системы при данной температуре, выдерживая камеру при температуре, ниже температуры активации неиспаряющегося геттера; в) завершение высушивания вакуумной системы при одновременном повышении температуры в камере до температуры активации геттера, которую необходимо поддерживать в течение предусмотренного времени для обеспечения чистоты слоя неиспаряющегося геттера; доведение температуры в камере до температуры окружающего воздуха.
5. Способ по п. 4, отличающийся тем, что нанесение слоя неиспаряющегося геттера осуществляют путем катодного напыления.
6. Способ по п. 5, отличающийся тем, что при нанесении слоя неиспаряющегося геттера, представляющего собой сплав нескольких материалов, применяют располагаемый в центре камеры катод, полученный, например, путем скручивания нескольких проводов, изготовленных из соответствующих материалов.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9607625A FR2750248B1 (fr) | 1996-06-19 | 1996-06-19 | Dispositif de pompage par getter non evaporable et procede de mise en oeuvre de ce getter |
| FR96/07625 | 1996-06-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU99100321A true RU99100321A (ru) | 2000-12-27 |
| RU2193254C2 RU2193254C2 (ru) | 2002-11-20 |
Family
ID=9493210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU99100321/09A RU2193254C2 (ru) | 1996-06-19 | 1997-06-18 | Откачивающее устройство, предусматривающее применение неиспаряющегося геттера, и способы применения данного геттера |
Country Status (14)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6468043B1 (ru) |
| EP (1) | EP0906635B1 (ru) |
| JP (1) | JP4620187B2 (ru) |
| AT (1) | ATE233946T1 (ru) |
| AU (1) | AU3340497A (ru) |
| CA (1) | CA2258118C (ru) |
| DE (1) | DE69719507T2 (ru) |
| DK (1) | DK0906635T3 (ru) |
| ES (1) | ES2193382T3 (ru) |
| FR (1) | FR2750248B1 (ru) |
| NO (1) | NO317454B1 (ru) |
| PT (1) | PT906635E (ru) |
| RU (1) | RU2193254C2 (ru) |
| WO (1) | WO1997049109A1 (ru) |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1312248B1 (it) * | 1999-04-12 | 2002-04-09 | Getters Spa | Metodo per aumentare la produttivita' di processi di deposizione distrati sottili su un substrato e dispositivi getter per la |
| US7315115B1 (en) | 2000-10-27 | 2008-01-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Light-emitting and electron-emitting devices having getter regions |
| IT1319141B1 (it) * | 2000-11-28 | 2003-09-23 | Getters Spa | Unita' di accelerazione e focalizzazione, a vuoto migliorato, diimpiantatori ionici per la produzione di dispositivi a semiconduttore |
| ITMI20012389A1 (it) | 2001-11-12 | 2003-05-12 | Getters Spa | Catodo cavo con getter integrato per lampade a scarica e metodi per la sua realizzazione |
| DE10209423A1 (de) | 2002-03-05 | 2003-09-18 | Schwerionenforsch Gmbh | Beschichtung aus einer Gettermetall-Legierung sowie Anordnung und Verfahren zur Herstellung derselben |
| ITMI20031178A1 (it) * | 2003-06-11 | 2004-12-12 | Getters Spa | Depositi multistrato getter non evaporabili ottenuti per |
| ATE369530T1 (de) | 2004-01-22 | 2007-08-15 | European Organisation Nuclear Research Cern | Evakuierbarer flachplattensonnenkollektor |
| US7888891B2 (en) * | 2004-03-29 | 2011-02-15 | National Cerebral And Cardiovascular Center | Particle beam accelerator |
| GB0523838D0 (en) * | 2005-11-23 | 2006-01-04 | Oxford Instr Analytical Ltd | X-Ray detector and method |
| ITMI20070301A1 (it) * | 2007-02-16 | 2008-08-17 | Getters Spa | Supporti comprendenti materiali getter e sorgenti di metalli alcalini o alcalino-terrosi per sistemi di termoregolazione basati su effetto tunnel |
| EP1983548A1 (en) * | 2007-04-20 | 2008-10-22 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Emitter chamber, charged particle apparatus and method for operating same |
| EP2071188A1 (en) | 2007-12-10 | 2009-06-17 | VARIAN S.p.A. | Device for the deposition of non-evaporable getters (NEGs) and method of deposition using said device |
| US20110146667A1 (en) * | 2008-06-11 | 2011-06-23 | Srb Energy Research Sarl | High efficiency evacuated solar panel |
| CN102691640B (zh) * | 2012-05-29 | 2015-12-02 | 储琦 | 一种抽气系统及工艺 |
| RU2513563C2 (ru) * | 2012-08-17 | 2014-04-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП "НПП "Исток") | Спеченный неиспаряющийся геттер |
| EP3161315B1 (en) | 2014-06-26 | 2017-12-20 | Saes Getters S.p.A. | Getter pumping system |
| DE102016123146A1 (de) * | 2016-06-03 | 2017-12-07 | Movatec Gmbh | Vakuumgerät und Verfahren zur Beschichtung von Bauteilen |
| CN110023623B (zh) * | 2016-11-28 | 2021-05-18 | 大学共同利用机关法人高能量加速器研究机构 | 非蒸散型吸气剂涂敷部件、容器、制法、装置 |
| FR3072788B1 (fr) | 2017-10-24 | 2020-05-29 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Source de rayonnement infrarouge modulable |
| JP2022178656A (ja) | 2021-05-20 | 2022-12-02 | 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構 | 非蒸発型ゲッタコーティング装置、非蒸発型ゲッタコーティング容器・配管の製造方法、非蒸発型ゲッタコーティング容器・配管 |
| FR3128307A1 (fr) | 2021-10-14 | 2023-04-21 | Safran Electronics & Defense | Getter non evaporable activable a faible temperature, dispositif de pompage et enceinte contenant un tel getter |
| CN116575005B (zh) * | 2023-05-10 | 2024-01-16 | 中国科学院近代物理研究所 | 一种TiZrCo真空吸气剂薄膜及其制备方法与应用 |
Family Cites Families (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA622379A (en) * | 1961-06-20 | Union Carbide Corporation | Getters | |
| NL52890C (ru) * | 1936-06-21 | |||
| US2175695A (en) * | 1937-11-27 | 1939-10-10 | Gen Electric | Gettering |
| BE476526A (ru) * | 1946-10-05 | |||
| GB828982A (en) * | 1956-12-28 | 1960-02-24 | Gen Electric | Improvements in evacuated and gas-filled devices and methods of manufacturing |
| US3544829A (en) * | 1968-02-03 | 1970-12-01 | Tokyo Shibaura Electric Co | Low pressure mercury vapour discharge lamp |
| US4038738A (en) * | 1975-01-10 | 1977-08-02 | Uddeholms Aktiebolag | Method and means for the production of bar stock from metal powder |
| US4097195A (en) * | 1975-02-12 | 1978-06-27 | Varian Associates, Inc. | High vacuum pump |
| US4050914A (en) * | 1976-07-26 | 1977-09-27 | S.A.E.S. Getters S.P.A. | Accelerator for charged particles |
| JPS5459662A (en) * | 1977-10-20 | 1979-05-14 | Nippon Oxygen Co Ltd | Preparation of thermos in metal |
| DE3814389A1 (de) * | 1988-04-28 | 1989-11-09 | Kernforschungsanlage Juelich | Verfahren zur restgasminderung in hochvakuumanlagen durch getterschichten und deren erzeugung sowie entsprechend beschichtete hochvakuumanlagen |
| JPH03147298A (ja) * | 1989-11-01 | 1991-06-24 | Mitsubishi Electric Corp | 加速器用真空容器 |
| JPH03239869A (ja) * | 1990-02-13 | 1991-10-25 | Japan Steel Works Ltd:The | 真空チャンバー |
| JP2967785B2 (ja) * | 1990-04-24 | 1999-10-25 | 株式会社日本製鋼所 | ゲツターポンプ装置 |
| JP2561570Y2 (ja) * | 1991-08-06 | 1998-01-28 | 株式会社日本製鋼所 | 高真空排気装置 |
| JP2721602B2 (ja) * | 1991-08-26 | 1998-03-04 | 株式会社日本製鋼所 | 水素吸蔵合金による水素排気方法及び装置 |
| EP0563465B1 (en) * | 1991-12-10 | 1997-11-05 | Shell Internationale Researchmaatschappij B.V. | Process and apparatus for generating a vacuum |
| JP3290697B2 (ja) * | 1992-04-30 | 2002-06-10 | 株式会社東芝 | 真空排気装置 |
| IT1255438B (it) * | 1992-07-17 | 1995-10-31 | Getters Spa | Pompa getter non evaporabile |
| IT1255439B (it) * | 1992-07-17 | 1995-10-31 | Getters Spa | Pompa getter non evaporabile |
| JPH07233785A (ja) * | 1994-02-23 | 1995-09-05 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 非蒸発型ゲッターポンプ |
| JP3309193B2 (ja) * | 1994-03-17 | 2002-07-29 | 株式会社日立製作所 | 真空ダクト内表面処理方法および真空ダクト内表面処理装置 |
| US5688708A (en) * | 1996-06-24 | 1997-11-18 | Motorola | Method of making an ultra-high vacuum field emission display |
-
1996
- 1996-06-19 FR FR9607625A patent/FR2750248B1/fr not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-06-18 RU RU99100321/09A patent/RU2193254C2/ru active
- 1997-06-18 PT PT97929213T patent/PT906635E/pt unknown
- 1997-06-18 DK DK97929213T patent/DK0906635T3/da active
- 1997-06-18 DE DE69719507T patent/DE69719507T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-06-18 CA CA2258118A patent/CA2258118C/fr not_active Expired - Lifetime
- 1997-06-18 AT AT97929213T patent/ATE233946T1/de active
- 1997-06-18 EP EP97929213A patent/EP0906635B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1997-06-18 US US09/202,668 patent/US6468043B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-06-18 WO PCT/EP1997/003180 patent/WO1997049109A1/fr active IP Right Grant
- 1997-06-18 ES ES97929213T patent/ES2193382T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1997-06-18 AU AU33404/97A patent/AU3340497A/en not_active Abandoned
- 1997-06-18 JP JP50227698A patent/JP4620187B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-12-17 NO NO19985927A patent/NO317454B1/no not_active IP Right Cessation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU99100321A (ru) | Откачивающее устройство, предусматривающее применение неиспаряющегося геттера, и способы применения данного геттера | |
| EP0496711B1 (en) | A device for the removal of hydrogen from a vacuum enclosure at cryogenic temperatures and especially high energy particle accelerators | |
| JP4620187B2 (ja) | 非蒸発性ゲッターによるポンプ装置およびこのゲッターの使用法 | |
| RU98105967A (ru) | Неиспаряющийся газопоглотительный сплав и устройство, содержащее такой сплав | |
| CA2119198A1 (en) | Method of Improving the Selectivity of Carbon Membranes by Chemical Carbon Vapor Deposition | |
| EP1188918A3 (en) | Self-clearing vacuum purge system | |
| RU99120179A (ru) | Устройство и способ получения повышенного вакуума в системе со сверхвысоким вакуумом | |
| JP4451498B2 (ja) | 非常に高真空の系において真空を改善するための装置と方法 | |
| JPH03193601A (ja) | 水素貯蔵体 | |
| JPH1081952A (ja) | 反応性物理蒸着装置および反応性物理蒸着方法 | |
| JPH1021933A (ja) | 固体酸化物燃料電池の電極およびその形成方法 | |
| JPH01131004A (ja) | 水素分離膜の製造方法 | |
| Imai et al. | The reaction of water vapour with evaporated tungsten films | |
| JPS62193633A (ja) | 窒素酸化物還元剤 | |
| Šotola et al. | FEM Study of the Pd-WOx-W system | |
| Lim et al. | Solvation and ionization of hydroxyl groups in water–ice layers on silver (110) | |
| JPH03247778A (ja) | 多層被膜を有する真空容器及び真空機器用部品 | |
| SU1141920A1 (ru) | Нераспыл емый газопоглотитель | |
| JPH11210994A (ja) | 炭化水素ガス燃料貯蔵用吸着材 | |
| JPH0583631B2 (ru) | ||
| JPS6431958A (en) | Method for allowing thin metallic film to adhere to plastic film | |
| JPH05311403A (ja) | 成膜装置のガス再生装置 | |
| JPH10265935A (ja) | 超高真空容器及び超高真空部品 | |
| JPH10103234A (ja) | 蒸発型ゲッタポンプ | |
| JPH04370480A (ja) | 開閉弁 |