JP3309193B2 - 真空ダクト内表面処理方法および真空ダクト内表面処理装置 - Google Patents

真空ダクト内表面処理方法および真空ダクト内表面処理装置

Info

Publication number
JP3309193B2
JP3309193B2 JP04706194A JP4706194A JP3309193B2 JP 3309193 B2 JP3309193 B2 JP 3309193B2 JP 04706194 A JP04706194 A JP 04706194A JP 4706194 A JP4706194 A JP 4706194A JP 3309193 B2 JP3309193 B2 JP 3309193B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
duct
broach
cutting
gas
axial direction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP04706194A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH07263195A (ja
Inventor
利明 小針
暢夫 平野
学 松本
守 片根
広明 桜畠
四郎 松崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP04706194A priority Critical patent/JP3309193B2/ja
Priority to US08/405,768 priority patent/US5626682A/en
Publication of JPH07263195A publication Critical patent/JPH07263195A/ja
Priority to US08/784,073 priority patent/US5820320A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3309193B2 publication Critical patent/JP3309193B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto 
    • B08B9/02—Cleaning pipes or tubes or systems of pipes or tubes
    • B08B9/027—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages
    • B08B9/04—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages using cleaning devices introduced into and moved along the pipes
    • B08B9/043—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages using cleaning devices introduced into and moved along the pipes moved by externally powered mechanical linkage, e.g. pushed or drawn through the pipes
    • B08B9/0436—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages using cleaning devices introduced into and moved along the pipes moved by externally powered mechanical linkage, e.g. pushed or drawn through the pipes provided with mechanical cleaning tools, e.g. scrapers, with or without additional fluid jets
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto 
    • B08B9/08—Cleaning containers, e.g. tanks
    • B08B9/0804—Cleaning containers having tubular shape, e.g. casks, barrels, drums
    • B08B9/0808—Cleaning containers having tubular shape, e.g. casks, barrels, drums by methods involving the use of tools, e.g. by brushes, scrapers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D37/00—Broaching machines or broaching devices
    • B23D37/02—Broaching machines with horizontally-arranged working tools
    • B23D37/04—Broaching machines with horizontally-arranged working tools for broaching inner surfaces
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H7/00—Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T407/00—Cutters, for shaping
    • Y10T407/16—Rectilinear broach
    • Y10T407/1685—Rectilinear broach including sequentially acting teeth of stepped cutting width
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T409/00—Gear cutting, milling, or planing
    • Y10T409/40—Broaching
    • Y10T409/40105—Broaching with means to clean, lubricate, or modify temperature of work or cutter
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T409/00—Gear cutting, milling, or planing
    • Y10T409/40—Broaching
    • Y10T409/404375—Broaching with plural cutters
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T409/00—Gear cutting, milling, or planing
    • Y10T409/40—Broaching
    • Y10T409/405775—Broaching with means to hold work during cutting

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空ダクト内表面処理
方法および真空ダクト内表面処理装置ならびにその内面
処理により製造される真空ダクトに係り、特に、荷電粒
子加速器のビームダクト等の真空容器として用いるとき
に、ダクト内表面から熱脱離および／または光刺激脱離
による生ずるガス放出を低減するためのダクト内表面処
理手段に関する。
【０００２】
【従来の技術】荷電粒子加速器において、荷電粒子を高
エネルギーで加速するには、荷電粒子と残留ガスの衝突
による散乱を防止し、荷電粒子の損失を防ぐ必要があ
る。この損失を防ぐには、荷電粒子が加速される環境を
超高真空にしなければならないので、高真空または超高
真空環境を実現する目的で、ダクト等の真空容器が用い
られる。高真空または超高真空を実現するには、真空ポ
ンプの排気速度を大きくする他に、真空容器自体等から
のガス放出を低減することが最重要課題となる。
【０００３】ビームダクトと呼ばれる荷電粒子加速器の
真空容器には、通常、アルミニウム合金，ステンレス
鋼，銅等が用いられる。これらの真空容器からのガス放
出は、ダクト内表面に吸着していたガス分子が、熱エネ
ルギーによって脱離する熱脱離が支配的である。
【０００４】しかし、荷電粒子加速器では、真空容器内
部に高エネルギー粒子が存在するため、通常の熱脱離の
他の要因によるガスの脱離が、圧力に大きな影響を及ぼ
す。例えば、電子蓄積リングでは、偏向磁場等によって
軌道を変えられた電子や陽電子は、制動輻射による放射
光と呼ばれる電磁波を発生する。この放射光は、ビーム
ダクト内壁を照射し、光刺激脱離と呼ばれるビームダク
ト内表面からのガス放出を引き起こす。
【０００５】光刺激脱離に関しては、例えば、文献『Va
cuum』(volume 33, number 7(1983)pp. 397-406) に述
べられている。光刺激脱離により生じたガス放出は、ビ
ームダクト内部の圧力を上昇させる。この結果、蓄積電
子の散乱と減衰が生ずる。
【０００６】これらのガス放出をできる限り低く押さえ
るために、ビームダクト内壁表面を清浄化し、ガス放出
の原因となる化合物や汚染物質等を除去することを目的
として、各種のダクト内表面処理方法が提案されてき
た。
【０００７】例えば、酸洗やアルカリエッチング等の化
学処理は最も一般的な方法である。化学処理に関して
は、文献『Vacuum』(volume 38, number 8-10(1988) p
p. 933-936）に述べられている。
【０００８】化学処理の他にも、放電で生成されたイオ
ンにより真空容器内表面を衝撃し、内表面の吸着質を除
去する放電洗浄方法があり、真空ダクトを真空炉内で高
温加熱し、真空ダクト内表面の化合物を蒸発させ除去し
たり、真空ダクト材料内部に含まれているガスを拡散に
より材料外部に放出させ除去するプリベーキング処理方
法等がある。
【０００９】これらの処理方法により、真空ダクト内表
面を清浄化し、荷電粒子加速器の真空ダクト内表面から
のガス放出を減少させる試みが種々なされてきた。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術における
荷電粒子加速器のビームダクト等の真空容器では、ビレ
ット等の素材から押し出し加工によりダクトを成形する
際に、ダクト素材とプラグ等の工具との間の摩擦を減少
させる目的で、潤滑剤を用いる場合がある。押し出し成
型時には、この潤滑剤により、熱脱離および／または光
刺激脱離によるガス放出の原因となる分子等を溜め込ん
だ汚染層が、ダクト内表面に形成される場合がある。
【００１１】また、熱間押し出し等によりダクトを成形
する際に、高温のダクト内表面と空気や不純物とが反応
し、ガス放出源となる汚染層が形成される場合もあっ
た。
【００１２】さらに、圧延板材等のロール加工により真
空容器を製造する場合も、素材となる板材を製造する圧
延等の際に、ガス放出源となる汚染層が形成される問題
があった。
【００１３】これらの汚染層からの熱脱離および／また
は光刺激脱離等によるガス放出を減少させる目的で、内
表面を化学処理する場合、材料に応じて内表面の化学処
理方法を変える必要があった。化学薬品を使用するた
め、ガス放出層の除去と引替えに、内表面を粗くしてし
まう問題があった。また、化学薬品を使用するために、
処理後の薬品洗浄設備や環境汚染防止設備等の施設が必
要となり、内表面処理に必要な設備の規模が大きくなる
欠点があった。さらに、内表面化学処理を施す際に、ダ
クト内表面にガス放出源となる化合物層を新たに生成し
てしまう問題もあった。
【００１４】一方、イオン衝撃を利用する放電洗浄で
は、放電に用いられるガス自体が材料内部にまで入り込
んでしまうこと、ダクト材そのものをスパッタし削って
しまうこと等の問題があった。
【００１５】プリベーキングと呼ばれる高温熱処理で
は、真空炉内での高温熱処理により、ダクト材が軟化し
てしまい、強度低下を招く。特に、アルミニウム合金等
は、溶融のおそれもあり、強度上、プリベーキング処理
はできなかった。さらに、真空炉というエネルギー消費
の多い装置を使うので、省エネルギーの観点からも問題
があった。
【００１６】なお、汚染層からの熱脱離および／または
光刺激脱離等によるガス放出を減少させる処理の対象で
あるダクトは、一般には、その長さが数ｍに及ぶ長尺物
なので、いわゆる中ぐり切削や穴ぐり切削等の機械加工
方式では、ダクトの内表面を処理することはできない。
【００１７】本発明の目的は、内表面の中ぐり切削や穴
ぐり切削等の機械加工が困難な長尺物のダクトのガス放
出源となる内表面の汚染層や変質層を確実に除去する真
空ダクト内表面処理方法を提供することである。
【００１８】本発明の他の目的は、内表面の中ぐり切削
や穴ぐり切削等の機械加工が困難な長尺物のダクトのガ
ス放出源となる内表面の汚染層や変質層を確実に除去す
る真空ダクト内表面処理装置を提供することである。
【００１９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、ダクト内断面と同一断面形状の切削刃を
軸方向に少なくとも１個有するブローチを用い、前記軸
方向でブローチとダクトとを一方向に相対移動させ、不
活性ガスのみ，窒素ガスのみ，窒素ガスと不活性ガスと
の混合ガスのいずれかをブローチによるダクトの切削加
工面に供給しながら、ダクト内表面の汚染層を切削加工
する真空ダクト内表面処理方法を提案する。
【００２０】本発明は、また、ダクト内断面と同一断面
形状の切削刃を軸方向に少なくとも１個有するブローチ
を用い、前記軸方向でブローチとダクトとを一方向に相
対移動させ、不活性ガスのみ，窒素ガスのみ，窒素ガス
と不活性ガスとの混合ガスのいずれかをブローチによる
ダクトの切削加工面に供給し、ダクト内表面の汚染層に
含まれる汚染物が溶ける溶剤を含む液体をブローチによ
るダクトの切削加工面に供給しながら、ダクト内表面の
汚染層を切削加工することを特徴とする真空ダクト内表
面処理方法を提案する。
【００２１】本発明は、上記他の目的を達成するため
に、架台と、架台に処理対象のダクトを固定し保持する
手段と、ダクト内断面と同一断面形状の切削刃を軸方向
に少なくとも１個有するブローチと、前記軸方向でブロ
ーチをダクトに対して一方向に移動させダクト内表面の
汚染層を切削加工させるブローチ駆動手段と、ブローチ
によるダクトの切削加工面に不活性ガスのみ，窒素ガス
のみ，窒素ガスと不活性 ガスとの混合ガスのいずれかを
供給する手段とからなる真空ダクト内表面処理装置を提
案する。
【００２２】本発明は、また、架台と、架台に処理対象
のダクトを固定し保持する手段と、ダクト内断面と同一
断面形状の切削刃を軸方向に少なくとも１個有するブロ
ーチと、前記軸方向でブローチをダクトに対して一方向
に移動させダクト内表面の汚染層を切削加工させるブロ
ーチ駆動手段と、ブローチによるダクトの切削加工面に
不活性ガスのみ，窒素ガスのみ，窒素ガスと不活性ガス
との混合ガスのいずれかを供給する手段と、汚染層に含
まれる汚染物が溶ける溶剤を含む液体をブローチによる
ダクトの切削加工面に供給する手段とからなる真空ダク
ト内表面処理装置を提案する。
【００２３】本発明は、さらに、架台と、ダクト内断面
と同一断面形状の切削刃を軸方向に少なくとも１個有す
るブローチを架台に固定する手段と、前記軸方向でダク
トをブローチに対して一方向に移動させダクト内表面の
汚染層を切削加工させるダクト駆動手段と、ブローチに
よるダクトの切削加工面に不活性ガスのみ，窒素ガスの
み，窒素ガスと不活性ガスとの混合ガスのいずれかを供
給する手段とからなる真空ダクト内表面処理装置を提案
する。
【００２４】本発明は、架台と、ダクト内断面と同一断
面形状の切削刃を軸方向に少なくとも１個有するブロー
チを架台に固定する手段と、前記軸方向でダクトをブロ
ーチに対して一方向に移動させダクト内表面の汚染層を
切削加工させるダクト駆動手段と、ブローチによるダク
トの切削加工面に不活性ガスのみ，窒素ガスのみ，窒素
ガスと不活性ガスとの混合ガスのいずれかを供給する手
段と、汚染層に含まれる汚染物が溶ける溶剤を含む液体
をブローチによるダクトの切削加工面に供給する手段と
からなる真空ダクト内表面処理装置を提案する。
【００２５】
【作用】本発明によれば、熱脱離および／または光刺激
脱離によるガス放出の原因となる分子等を溜め込んだ汚
染層が押し出し成型時に潤滑剤等によりダクト内表面に
形成されていても、ダクト内断面と同一断面形状の切削
刃を軸方向に少なくとも１個有するブローチを用い、前
記軸方向でブローチとダクトとを一方向に相対移動さ
せ、ダクト内表面の汚染層を切削加工し、確実に除去で
きるダクト内表面処理方法が提供されるので、真空容器
ダクトの内表面からの熱脱離および／または光刺激脱離
によるガス放出を大幅に減少できる。
【００２６】不活性ガスのみ，窒素ガスのみ，窒素ガス
と不活性ガスとの混合ガスのいずれかをブローチによる
ダクトの切削加工面に供給しながら、および／または、
ダクト内表面の汚染層に含まれる汚染物が溶ける溶剤を
含む液体をブローチによるダクトの切削加工面に供給し
ながら、ダクト内表面の汚染層を切削加工すると、ガス
放出の減少効果をより高めたり、内表面の改質を同時に
達成したりできる。
【００２７】切削刃のうち最後段の切削刃と同じ断面形
状および寸法を有する仕上げ刃を用いると、ダクト内表
面の面精度をあげることが可能である。
【００２８】ブローチとダクトを一方向に相対移動させ
て加工するダクト内表面処理装置としては、架台と、こ
の架台に処理対象のダクトを固定し保持する手段と、ダ
クト内断面と同一断面形状の切削刃を軸方向に少なくと
も１個有するブローチと、前記軸方向でブローチをダク
トに対して一方向に移動させダクト内表面の汚染層を切
削加工させるブローチ駆動手段とで構成し、ブローチを
移動させる方式か、架台と、ダクト内断面と同一断面形
状の切削刃を軸方向に少なくとも１個有するブローチを
架台に固定する手段と、前記軸方向でダクトをブローチ
に対して一方向に移動させダクト内表面の汚染層を切削
加工させるダクト駆動手段とで構成し、ダクトを移動さ
せる方式が考えられる。
【００２９】これらのダクト内表面処理装置において
は、前記ブローチが複数の切削刃を有する場合は、各切
削刃の外径を、ブローチの最前段から最後段の切削刃に
向かって直前の切削刃の外径以上とすると、切削が滑ら
かになされる。
【００３０】ブローチが複数の切削刃を有する場合は、
各切削刃が、ブローチ軸方向にその切削刃を横断する少
なくとも１個のチップブレーカを有し、チップブレーカ
の周方向の位置が、隣合う切削刃同士では重ならないよ
うな位相差を持っているようにすると、切削片が長くな
らず、後続の切削刃に噛み込まれない。
【００３１】切削刃のうち最後段の切削刃と同じ断面形
状および寸法を有しダクト内表面を所定の面精度に仕上
げる仕上げ刃を何枚か備えると、所定の滑らかな内表面
が得られる。
【００３２】隣合う切削刃および仕上げ刃の間に十分な
チップストレージ空間を持っているので、切削片が後続
の切削刃に噛み込まれることがない。
【００３３】ダクトへのブローチの挿入側および／また
は引き抜き側に、ダクト内表面とブローチの切削刃とを
位置合わせするライナを配置すると、ダクトの前後端で
切削刃の駆動がスムーズになされる。
【００３４】ブローチのダクトへの挿入側に前部ガイド
を備え、場合により、仕上げ刃の後に後部ガイドを備え
ると、ブローチの挿入と引き抜きがスムーズになされ
る。
【００３５】ブローチによるダクトの切削加工面に、不
活性ガスのみ，窒素ガスのみ，窒素ガスと不活性ガスと
の混合ガスのいずれかを供給する手段、汚染層に含まれ
る汚染物が溶ける溶剤を含む液体を供給する手段の少な
くとも一方を備えると、内表面の再汚染を防止でき、必
要な改質も可能である。
【００３６】ガスおよび／または液体をブローチによる
ダクトの切削加工面に供給する手段は、より具体的に
は、ブローチのブローチシャフトの軸方向に形成された
主流路とこの主流路から放射方向に形成された噴出流路
であり、ガスおよび／または液体は、ブローチの前端側
または後端側から供給される。
【００３７】このような本発明によれば、熱脱離および
／または光刺激脱離によるガス放出の原因となる分子等
を溜め込んだ汚染層が押し出し成型時に潤滑剤等により
ダクト内表面に形成されていても、内表面汚染層をブロ
ーチにより切削し、確実に除去できるダクト内表面処理
方法および処理装置が提供されるので、真空容器ダクト
の内表面からの熱脱離および／または光刺激脱離による
ガス放出を大幅に減少できる。
【００３８】内表面の化学処理は不要となり、それに用
いる設備や処理後の薬品洗浄設備や環境汚染防止設備等
の施設も不要となる。また、化学処理により内表面を粗
くするおそれがない。さらに、内表面化学処理を施す際
に、ガス放出源となる化合物層を新たに生成する問題
は、根本的に生じない。
【００３９】また、イオン衝撃を利用する放電洗浄の必
要がないから、放電ガスの材料内部への入り込みや放電
洗浄によるダクト材そのものをスパッタし削ってしまう
等の問題も解消される。
【００４０】さらに、プリベーキングの高温熱処理を回
避できるので、真空炉内での高温熱処理により、ダクト
材が軟化してしまい、強度低下を招くことは一切生じな
い。特に、真空炉というエネルギー消費の多い装置が不
要となり、省エネルギーにも寄与する。
【００４１】以上の結果、本発明のダクト内表面処理方
法および処理装置によれば、熱脱離および／または放射
光の照射による光刺激脱離を起因とするガス放出を低減
できるダクトと、このダクトの両端にフランジを設け複
数個接続し内部空間を真空引きする手段を備えた真空ダ
クトと、真空引きした内部空間で荷電粒子を加速する手
段を備えた荷電粒子加速器のビームダクトが得られる。
【００４２】
【実施例】次に、図面を参照して、本発明によるダクト
内表面処理方法およびダクト内表面処理装置ならびに本
発明により製造される真空ダクトの実施例を説明する。
【００４３】図１は、本発明によるダクト内表面処理装
置の一実施例の概略構成を一部断面で示す正面図であ
る。本実施例のダクト内表面処理装置３０は、切削刃を
有するブローチ１０と、ブローチ１０に連結されこのブ
ローチを移動させるロッド３２と、ロッド３２に駆動力
を与えるロッドドライバ３４と、処理対象であるダクト
２０を固定するダクトストッパ３５およびダクト固定具
３６と、ブローチ１０のダクト２０への挿入／引出し時
にブローチ１０の切削刃とダクト２０の内表面との位置
を合わせるライナ３７と、それらの構成要素と処理対象
であるダクト２０とを載せて設置する架台３８とからな
る。ダクト２０は、本発明による内表面処理が完了した
後に、真空容器用ダクトまたは電子／陽電子の加速・蓄
積用ビームダクト等に用いられる。
【００４４】図１，図２，図３は、本発明によるダクト
内面処理方法の手順を示している。図２は、ダクト内表
面を処理するために、ブローチ１０をダクト２０の右端
にセットした状況を示す図である。ダクト２０は、本発
明による内表面処理に先立って、通常、押し出し加工や
引き抜き加工により、所望の断面形状に成形される。ダ
クト材質は、ステンレス鋼，アルミニウム合金，銅等で
ある。所望の断面形状に成形されたダクト２０は、ダク
ト内表面処理装置３０の架台３８上に置かれ、ダクトス
トッパ３５とダクト固定具３６とにより、架台３８上に
固定される。
【００４５】ダクト２０の内断面形状と同一形状の切削
刃を有するブローチ１０は、ロッド３２に連結されてい
る。ロッド３２は、ダクト２０の内部を貫通し、ロッド
ドライバ３４によりダクトの軸方向に直線駆動される。
ブローチ１０は、ダクト２０の右端外部で、このブロー
チ１０の切削刃面とダクト２０の内表面とを合わせるた
めのライナ３７ａ上に位置している。
【００４６】この状況で、ロッドドライバ３４を起動
し、ロッド３２を図の左手方向に直線駆動させる。ロッ
ド３２がボールねじである場合、ロッドドライバ３４
は、ボールねじ駆動用の歯車およびモータ等からなる駆
動系である。ロッド３２は直線運動すればよいので、ロ
ッドドライバ３４としては、油圧駆動系等の他の駆動系
を採用してもよい。ロッドドライバ３４を駆動すると、
ロッド３２に連結されたブローチ１０は、このブローチ
１０外周に形成された切削刃により、ダクト２０の内表
面を切削しながら、ダクト２０内部に挿入され、ダクト
２０の内部を進む。その際に、ダクト２０は、内表面切
削に伴う反力を受け、ブローチ１０の進む方向に動かす
力を受けるが、ダクトストッパ３５が、この力に対抗
し、ダクト２０の移動を阻止する。一方、ダクト内断面
の寸法誤差のために、ダクト２０がブローチ１０の進行
方向に対して垂直方向の力を受けた場合、ダクト固定具
３６が、ダクト２０の垂直方向への移動を阻止する。
【００４７】ロッド３２により左手方向に進むブローチ
１０は、ダクト２０の内表面を切削しながら進む。上記
図１は、ブローチ１０がダクト２０の内部まで進んだ状
況を示している。図３は、ブローチ１０がダクト２０の
内表面の切削を終え、ダクト２０の外部に出た状況を示
す図である。
【００４８】ブローチ１０がダクト２０の外部に出てき
た際に、ブローチ１０の切削面とダクト２０の内表面と
の位置が合うように、ライナ３７ｂが架台３８上に設置
されている。ブローチ１０は、このライナ３７ｂに載る
ように、ダクト２０から引き出される。
【００４９】このように、ブローチ１０がダクト２０の
内部を移動すると、ダクト２０の内表面は、切削という
内表面処理を受けることになる。なお、処理対象すなわ
ち切削対象であるダクト２０は、その長さが数ｍに及ぶ
長尺物であるから、いわゆる中ぐり切削や穴ぐり切削等
の方式では、ダクト２０の内表面を処理することはでき
ない。
【００５０】本実施例のブローチ切削方式のダクト内表
面処理装置によれば、長尺であり内表面の機械加工が困
難であったダクトを切削加工できる。この内表面処理の
効果については後述する。
【００５１】次に、図４〜図７を参照して、図１のダク
ト内表面処理装置で使用するブローチの一実施例を説明
する。図４は、ブローチ１０の構造を示す正面図であ
る。ブローチ１０は、ブローチシャフト１６を母体とし
ており、進行方向前端には、ダクト２０の内部を進む際
のガイドとなる前部ガイド１４がある。前部ガイド１４
に続いて、ブローチ切削刃１１が形成されている。ダク
ト２０の内表面を切削する複数の切削刃１１は、ブロー
チ１０の後方に向かって、その周長を大きくしてある。
例えばダクト２０の断面形状が円形であれば、切削刃１
１ｂの直径は、切削刃１１ａの直径よりも大きく、切削
刃１１ｃの直径は、切削刃１１ｂの直径よりも大きい。
図４に示したブローチ１０の例では、切削刃１１ｄの直
径が一番大きく、この直径寸法が、ダクト２０の内表面
の仕上がり寸法となる。切削刃１１の寸法をこのように
構成すれば、ダクト２０内をブローチ１０の切削刃１１
が通過する毎に、ダクト２０の内表面が切削され、ダク
ト内径が大きくなる。１個の切削刃１１で切削する量を
少なくすれば、内径寸法の加工精度を高めることができ
る。図４に示したブローチ１０の実施例では、切削刃１
１の数は４個であるが、仕上がり寸法や切削しろ等の仕
様に応じて、他の個数でもよい。
【００５２】最終切削刃１１ｄの後方には、仕上げ刃１
２が形成されている。仕上げ刃１２の直径は、最終切削
刃１１の直径と同一であり、その数は、仕上げ面精度に
応じて決定される。表面粗さを減少させるには、仕上げ
刃１２の設置数を多くすればよい。本実施例では、３個
の仕上げ刃が付いている。なお、刃先形状等も、仕上げ
面精度には影響を及ぼす。
【００５３】仕上げ刃１２の後方には、後部ガイド１５
があり、前部ガイド１４とともに、ブローチ１０のダク
ト２０内部での進行ガイドとなるが、後部ガイド１５は
直径が仕上げ刃１２と同じであるから、仕上げ刃１２の
設置数等によっては、後部ガイド１５を設けなくともよ
い。
【００５４】切削刃１１には、切り欠き部分としてチッ
プブレーカ１３が形成されている。図５は、ブローチ１
０を切削刃１１の進行方向から見たチップブレーカの配
置例を示す断面図である。ブローチシャフト１６は断面
で示されており、その周囲には、切削刃１１が形成され
ている。図５(Ａ)と図５(Ｂ)は、隣合う切削刃１１を表
している。図４のブローチ１０を例にすれば、切削刃１
１ａと１１ｃとが図５(Ａ)の切削刃であり、切削刃１１
ｂと１１ｄが図５(Ｂ)の切削刃である。
【００５５】ブローチ１０が進むにつれて、切削刃１１
は、ダクト２０の内表面を切削し、薄い切削片を作り出
す。この切削片が切削刃１１の周方向に連続して長くな
った場合、次に続く切削刃１１がこの切削片を巻き込
み、ダクト２０の内表面に傷を付けたりして、ダクト内
表面の切削に悪影響を与えたりするおそれがある。
【００５６】しかし、本実施例においては、チップブレ
ーカ１３があるから、切削片はチップブレーカ１３の位
置で途切れてしまう。このように、チップブレーカ１３
は、切削片が周方向に連続しないように、ある長さで切
ってしまうので、後続の切削刃１１が切削片を巻き込む
ような悪影響を防止できる。
【００５７】図５(Ａ)と図５(Ｂ)では、チップブレーカ
１３の周方向の位置について位相差（φ１−φ２）を設
けてある。チップブレーカ１３の位置は、切り欠きにな
っているので、この位置では切削は行なわれない。後続
の切削刃１１の外径が前の切削刃１１の外径よりも大き
い場合、前の切削刃１１のチップブレーカ１３が切削し
なかった部分では、後続の切削刃１１は、前の切削刃１
１により切削された部分よりも多い量を切削しなければ
ならない。特定部分の切削すべき量が極端に多くなるこ
とを防ぐには、同一外径の切削刃を連続させて並べ、チ
ップブレーカ部に位相差を設ければよい。そこで、本実
施例においては、図５(Ａ)と図５(Ｂ)とに示すように、
少なくとも隣合う切削刃１１同士で、チップブレーカ１
３の位置をずらし、前の切削刃１１のチップブレーカ１
３が切削しなかった部分が、次の切削刃１１により必ず
切削されるようにしてある。
【００５８】なお、本実施例では、切削刃１１ａと１１
ｃとが図５(Ａ)の切削刃であり、切削刃１１ｂと１１ｄ
が図５(Ｂ)の切削刃であるとして、例えば、切削刃１１
ａと１１ｃとを同位相に設定したが、切削刃１１ａ，１
１ｂ，１１ｃ，１１ｄが互いに均等な位相差を持つよう
に設定する方が、より一般的な実施例である。
【００５９】図６は、ブローチ１０が円形ダクト２０の
内表面を切削し表面処理する様子を示す側断面図であ
る。ダクト２０とブローチシャフト１６との間には、チ
ップストレージ１７という空間を形成してある。ブロー
チシャフト１６の外径をｄ１としダクト２０の内径をｄ
２とすれば、チップストレージ１７の空間の半径方向の
高さは、（ｄ２−ｄ１）／２である。
【００６０】図７は、チップストレージ１７の働きを説
明するために、ブローチ１０とダクト２０とを正面から
見た部分断面図である。ブローチ１０は、ダクト２０の
内部を左手方向に進み、本発明による内表面処理を実行
する。ブローチ１０の前部ガイド１４には、ロッド３２
が接続され、ロッド３２はナット３１でブローチ１０に
固定されている。ブローチシャフト１６とダクト２０の
内表面との間には、チップストレージ１７の空間が見え
る。切削刃１１で切削された切削片は、このチップスト
レージ１７に保持される。したがって、切削片がブロー
チ１０とダクト２０との間に挟まれてしまい、切削面を
傷付けることを防止できる。
【００６１】次に、図８および図９を参照して、本発明
のダクト内表面処理方法の効果について説明する。
【００６２】図８は、内表面処理のための切削前後にお
けるダクト内表面の様子を模式的に示す図である。ブロ
ーチ１０で切削する前のダクト２０の内表面には、前工
程におけるダクト成形のための押し出しまたは引き抜き
時にダクト２０の内表面に形成された表面汚染層および
／または変質層２１が存在する。
【００６３】本発明のブローチ１０により内表面処理を
実行すると、表面汚染層および変質層２１を除去でき、
ダクト素材２２が最外層に現れる。その結果、ダクト使
用時には、ダクトからの熱脱離に基づくガス放出および
／または電子蓄積リングにおける放射光照射に基づく光
刺激脱離等が著しく減少する。
【００６４】図９は、放射光による光刺激脱離の実験結
果の一例を示す図である。本例は、２種類の内表面処理
を実施した無酸素銅に、電子蓄積リングで発生した放射
光を照射した時の光刺激脱離を測定した結果である。横
軸は、放射光照射量の積分値であり、放射光照射開始か
らの全照射光子数と同等の値である。縦軸は、イールド
値と呼ばれ、１個の光子によって脱離した分子数を表
し、ガス放出に相当する量である。イールド値が低い方
が真空容器からの光刺激脱離が少なく、ビームダクト内
部を周回する荷電粒子の散乱確率が小さくなり、荷電粒
子の寿命が長くなるので、加速器ダクトにとしては高性
能真空ダクトということになる。
【００６５】従来の電界研磨処理よりも、本発明の内表
面切削処理の方が、放射光の照射開始から全照射領域に
おいてイールド値が低い。これは、内表面を切削してし
まう方が、電界研磨よりも、ガス放出源となる汚染層２
１を除去する効果が大きく、ガス放出が少ないことを表
している。また、本発明の内表面切削処理は、電界研磨
等に比べて、内表面処理時にも、ガス放出源となる内表
面層を形成しにくい。電解研磨では、内表面処理時にも
その研磨作業に起因して、新たな酸化物等が形成される
と推定できる。このことからも、ブローチを用いた内表
面切削処理により汚染層２１を除去する本発明の方が、
電解研磨等の処理方式と比較して、ガス放出の減少に有
効である。
【００６６】次に、図１０および図１１により、切削面
に流体を供給しながら本発明の内表面処理を実行する実
施例を説明する。図１０は、切削面にガスや液体を供給
するブローチの一実施例の内部構造を示す縦断面図であ
る。本実施例においては、ブローチ１０の後部ガイド１
５の後端からブローチ軸方向に主流路４４を形成し、主
流路４４から半径方向のブローチ外部へ向かって噴出流
路４６を形成してある。
【００６７】図１１は、図１０におけるＡ−Ａ断面図で
あり、主流路４４と噴出流路４６がブローチシャフト１
６に形成されている状況を示す図である。ブローチ１０
の後部ガイド１５の主流路４４の入口には、ガスや液体
等の流体を導入するためのプラグ４０を備えてあり、プ
ラグ４０にはホース４２を接続し、ダクト２０の外部か
ら流体を供給できるようにしてある。
【００６８】流体を供給しながら本発明の内表面処理を
行なう作用効果について説明する。ホース４２を介して
主流路４４に供給された流体は、噴出流路４６を通り、
切削刃１１が切削しているダクト内表面と切削刃１１と
の間に噴出する。表面汚染層および変質層２１を切削す
ると、ダクト内表面にダクト２０の素材２２が露出する
ことは、上記実施例における図８の場合と同じである。
【００６９】本実施例では、この時に、特定のガスや液
体を供給しながら内表面を切削するので、ダクト２０の
内表面の状態を制御し、ダクト内表面を保護し改質でき
る。例えば、アルゴン等の不活性ガスを供給すれば、切
削時に露出したダクト２０の内表面の素材が、大気によ
る内表面の酸化を防止できる。
【００７０】これとは逆に、ダクト２０の内表面に酸化
膜を形成したい場合は、不活性ガスに酸素ガスを混入す
る。これらのガスは、ダクト２０の内表面をどのように
改質しまたは保護するかという目的に合わせて選択され
る。酸素ガスの他、例えば、窒素ガス，酸素ガスと窒素
ガスとの混合ガス等を不活性ガスに混入して利用するこ
とも考えられる。
【００７１】また、切削による内表面処理中には、液体
を供給してもよい。例えば、アルコール等の溶剤を供給
しながら切削すれば、溶剤に溶ける表面汚染層２１の成
分を除去しながら切削し、切削片による再汚染を防止で
きる。
【００７２】液体としては、潤滑油を用いることもでき
る。ダクト２０の素材が無潤滑では切削困難な材料の場
合、潤滑油を供給して切削する方が、よい結果が得られ
ることもある。潤滑油には、炭化水素化合物が含まれて
いるものが多いが、水溶性の切削剤を使えば、炭化水素
化合物による汚染を少なくできる。炭化水素を含む潤滑
油を使用した場合でも、前工程でダクト２０の押し出し
や引き抜き成型時に形成された表面汚染層２１は除去さ
れるので、ブローチ１０による切削処理後に、脱脂洗浄
を実施すれば、従来例と比較して、ガス放出を大幅に低
減できる。
【００７３】なお、真空性能に関係のないダクト製造の
場合は、長尺ダクト内表面の粗さを一定にすることを目
的とした加工にも、本実施例のダクト内表面処理方法を
適用できるので、この種の用途のダクト製造に際して
は、どんな潤滑油も使用可能である。
【００７４】また、汚染層の切削の際には、ガスと液体
とを同時に供給してもよい。このように同時に供給する
と、それぞれの効果が併せて得られる。
【００７５】図１０および図１１の切削面にガスや液体
を供給するダクト内表面処理方法では、ブローチ１０の
後端からブローチシャフト１６の内部を通してガスや液
体を供給しているが、ブローチ１０の前方からロッド３
２沿いに前部ガイド１４の周囲にガスや液体を供給して
もよい。
【００７６】図１２は、ダクトの断面形状が矩形の場合
に、本発明によるダクト内表面処理方法を実行するため
のブローチの一実施例の形状を示す図である。本実施例
は、ダクトの断面が８角形の場合の実施例である。断面
形状が多角形でも、ブローチ１０の基本的構成要素は、
図４の円形の場合と同様である。ブローチ１０は、前部
ガイド１４と、チップブレーカ１３を有する切削刃１１
と、仕上げ刃１２と、後部ガイド１５とからなる。その
作用効果は、図４の円形断面のブローチ１０の場合と同
じである。図１２の側面図において、接続ボルト３３
は、前部ガイド１４をロッド３２に接続するために設け
られている。
【００７７】図１３は、上記実施例のいずれかにより、
内表面処理した後に、必要な枝管やフランジ等を溶接等
により取付けて得られるダクトの一実施例を示す斜視図
である。例えば、加速器のビームダクトに対して本発明
の内表面処理を実施すると、ビームダクトは、長尺なダ
クトの軸方向にわたって、内表面が切削加工を受け、ガ
ス放出源となる表面汚染層や変質層２１が除去されるの
で、熱脱離および／または電子蓄積リングにおける放射
光照射に起因する光刺激脱離等によるガス放出を減少さ
せて、蓄積リング等の加速器における荷電粒子の減少を
抑制できる。
【００７８】また、本発明のダクト内表面処理方法およ
び処理装置で製造された真空ダクトは、高い表面加工精
度が得られるので、蓄積リングばかりでなく、加速管や
導波管等にも採用可能である。さらに、本発明のダクト
内表面処理方法および処理装置は、真空ダクト以外のす
なわち通常のダクトの内表面処理にも有効である。
【００７９】図１４は、図１の実施例とは逆にブローチ
を固定してダクトを移動させる、本発明によるダクト内
表面処理装置の一実施例の構成を示す図である。上記図
１の実施例では、ロッドドライバ３４でブローチ１０を
移動させ、ダクト２０は固定して本発明の内表面処理を
実行しているが、これとは逆に、図１４の実施例の通
り、ブローチ１０を固定してダクト２０を移動させて
も、本発明のダクト内表面処理は可能である。
【００８０】図１４の実施例においては、ブローチ１０
を支えているロッド３２は、ロッド固定具６０により、
架台３８に固定されている。一方、処理対象物であるダ
クト２０は、ダクト保持具６２とダクト支持具６３とを
用いてダクトドライバ６１に結合され、ダクトドライバ
６１とともに右方向に駆動されるようになっている。な
お、ここでは、ダクトドライバ６１の駆動源を図示して
いないが、図１の実施例におけるロッドドライバ３４と
同様、ボールねじ駆動系や油圧駆動系のように左方向か
ら押圧する駆動系を採用してもよいし、右方向に引っ張
る駆動系を用いることもできる。
【００８１】この状況で、ダクトドライバ６１を駆動す
ると、ダクト２０は、ブローチ１０外周に形成された切
削刃により切削される。その際に、ダクト２０は、内表
面切削に伴う反力を受け、図の矢印とは反対方向に戻す
力を受けるが、ダクト保持具６２が、この力に対抗し
て、ダクト２０をダクトドライバ６１とともに移動させ
る。一方、ダクト内断面の寸法誤差のために、ダクト２
０が自らの進行方向に対して垂直方向の力を受けた場合
は、ダクト支持具６３が、ダクト２０の垂直方向へのぶ
れを阻止し、ダクト２０をダクトドライバ６１とともに
移動させる。
【００８２】図１４の実施例においても、ダクト２０の
内表面の軸方向にわたって、ダクト２０の表面汚染層や
変質層２１を除去できるので、真空ダクトとして用いる
場合は、熱脱離および／または光刺激脱離によるガス放
出を大幅に抑制可能である。
【００８３】なお、図１４の実施例の場合は、ロッド３
２もその右端に取付けたブローチ１０もダクト内表面処
理時には移動しない。したがって、図１の実施例におけ
る図１０および図１１のブローチのように、ブローチ切
削面にガスや液体を供給する場合、左方向から供給する
方が、処理対象であるダクト２０の入替え時に、図１１
の実施例におけるホース４２の着脱等の操作が無くなる
ので、ガスや液体の供給系の構成や操作が単純になる。
【００８４】
【発明の効果】本発明によれば、素材から真空容器ダク
トを成形する際にそのダクトの内表面に形成される表面
汚染層および変質層をダクト内表面の軸方向にわたり確
実に除去できるので、真空容器からの熱脱離および／ま
たは電子蓄積リングにおいて発生する放射光照射による
光刺激脱離に起因したガス放出を大幅に低減できる。
【００８５】また、ダクトの表面化学処理が不要とな
り、それに要する設備も不要となる。表面化学処理によ
り内表面を荒したり、ガス放出源となる化合物層を新た
に生成するおそれもない。
【００８６】さらに、放電洗浄をしないので、放電洗浄
による材料のスパッタや放電ガス自体の材料内部への入
り込み等を引き起こすことがない。
【００８７】プリベーキングが不要となり、プリベーキ
ングによる材料強度の低下を招くことがない。
【００８８】したがって、熱脱離および／または放射光
の照射による光刺激脱離に起因したガス放出が極めて少
ない真空容器ダクトが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるダクト内表面処理装置の一実施例
の概略構成を一部断面で示す正面図である。
【図２】ダクト内表面を処理するために、ブローチをダ
クトの右端にセットした状況を示す図である。
【図３】ブローチがダクトの内表面の切削を終え、ダク
トの外部に出た状況を示す図である。
【図４】ブローチの構造を示す正面図である。
【図５】ブローチを切削刃の進行方向から見たチップブ
レーカの配置例を示す断面図である。
【図６】ブローチが円形ダクトの内表面を切削し表面処
理する様子を示す側断面図である。
【図７】チップストレージの働きを説明するために、ブ
ローチとダクトとを正面から見た部分断面図である。
【図８】内表面処理のための切削前後におけるダクト内
表面の様子を模式的に示す図である。
【図９】放射光による光刺激脱離の実験結果の一例を示
す図である。
【図１０】切削面にガスや液体を供給するブローチの一
実施例の内部構造を示す縦断面図である。
【図１１】図１０におけるＡ−Ａ断面図であり、主流路
と噴出流路がブローチシャフトに形成されている状況を
示す図である。
【図１２】ダクトの断面形状が矩形の場合に、本発明に
よるダクト内表面処理方法を実行するためのブローチの
一実施例の形状を示す図である。
【図１３】上記実施例のいずれかにより、内表面処理し
た後に、必要な枝管やフランジ等を溶接等により取付け
て得られるダクトの一実施例を示す斜視図である。
【図１４】図１の実施例とは逆にブローチを固定してダ
クトを移動させる、本発明によるダクト内表面処理装置
の一実施例の構成を示す図である。
【符号の説明】
１０ ブローチ １１ 切削刃 １２ 仕上げ刃 １３ チップブレーカ １４ 前部ガイド １５ 後部ガイド １６ ブローチシャフト １７ チップストレージ ２０ ダクト ２１ 表面汚染層および変質層 ２２ ダクト素材 ３０ 内表面処理装置 ３１ 押さえナット ３２ ロッド ３３ 接続ボルト ３４ ロッドドライバ ３５ ダクトストッパ ３６ ダクト固定具 ３７ ライナ ３８ 架台 ４０ プラグ ４２ ホース ４４ 主流路 ４６ 噴出流路 ５０ フランジ ６０ ロッド固定具 ６１ ダクトドライバ ６２ ダクト保持具 ６３ ダクト支持具
フロントページの続き (72)発明者 片根 守 茨城県日立市幸町三丁目１番１号 株式 会社 日立製作所 日立工場内 (72)発明者 桜畠 広明 茨城県日立市幸町三丁目１番１号 株式 会社 日立製作所 日立工場内 (72)発明者 松崎 四郎 茨城県日立市幸町三丁目１番１号 株式 会社 日立製作所 日立工場内 (56)参考文献 特開 昭59−134604（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−200499（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−219500（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−200697（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−186499（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−137113（ＪＰ，Ａ) 米国特許3971114（ＵＳ，Ａ) 米国特許1935774（ＵＳ，Ａ) 米国特許1588716（ＵＳ，Ａ) 米国特許1627755（ＵＳ，Ａ) 米国特許2373995（ＵＳ，Ａ) 米国特許4266894（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H05H 7/14 H05H 13/04

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ダクト内断面と同一断面形状の切削刃を
    軸方向に少なくとも１個有するブローチを用い、前記軸
    方向で前記ブローチと前記ダクトとを一方向に相対移動
    させ、不活性ガスのみ，窒素ガスのみ，窒素ガスと不活性ガス
    との混合ガスのいずれかを前記ブローチによる前記ダク
    トの切削加工面に供給しながら、 前記 ダクト内表面の汚染層を切削加工する真空ダクト内
    表面処理方法。
  2. 【請求項２】 ダクト内断面と同一断面形状の切削刃を
    軸方向に少なくとも１個有するブローチを用い、前記軸
    方向で前記ブローチと前記ダクトとを一方向に相対移動
    させ、 不活性ガスのみ，窒素ガスのみ，窒素ガスと不活性ガス
    との混合ガスのいずれかを前記ブローチによる前記ダク
    トの切削加工面に供給し、前記ダクト内表面の汚染層 に含まれる汚染物が溶ける溶
    剤を含む液体を前記ブローチによる前記ダクトの切削加
    工面に供給しながら、 前記ダクト内表面の汚染層を切削加工することを特徴と
    する真空ダクト内表面処理方法。
  3. 【請求項３】 架台と、 前記架台に処理対象のダクトを固定し保持する手段と、 ダクト内断面と同一断面形状の切削刃を軸方向に少なく
    とも１個有するブローチと、 前記軸方向で前記ブローチを前記ダクトに対して一方向
    に移動させ前記ダクト内表面の汚染層を切削加工させる
    ブローチ駆動手段と、 前記ブローチによる前記ダクトの切削加工面に不活性ガ
    スのみ，窒素ガスのみ，窒素ガスと不活性ガスとの混合
    ガスのいずれかを供給する手段と からなる真空ダクト内
    表面処理装置。
  4. 【請求項４】 架台と、 前記架台に処理対象のダクトを固定し保持する手段と、 ダクト内断面と同一断面形状の切削刃を軸方向に少なく
    とも１個有するブローチと、 前記軸方向で前記ブローチを前記ダクトに対して一方向
    に移動させ前記ダクト内表面の汚染層を切削加工させる
    ブローチ駆動手段と、 前記ブローチによる前記ダクトの切削加工面に不活性ガ
    スのみ，窒素ガスのみ，窒素ガスと不活性ガスとの混合
    ガスのいずれかを供給する手段と、 前記汚染層に含まれる汚染物が溶ける溶剤を含む液体を
    前記ブローチによる前記ダクトの切削加工面に供給する
    手段とからなる真空ダクト内表面処理装置。
  5. 【請求項５】 架台と、 ダクト内断面と同一断面形状の切削刃を軸方向に少なく
    とも１個有するブローチを前記架台に固定する手段と、 前記軸方向で前記ダクトを前記ブローチに対して一方向
    に移動させ前記ダクト内表面の汚染層を切削加工させる
    ダクト駆動手段と、 前記ブローチによる前記ダクトの切削加工面に不活性ガ
    スのみ，窒素ガスのみ，窒素ガスと不活性ガスとの混合
    ガスのいずれかを供給する手段と からなる真空ダクト内
    表面処理装置。
  6. 【請求項６】 架台と、 ダクト内断面と同一断面形状の切削刃を軸方向に少なく
    とも１個有するブローチを前記架台に固定する手段と、 前記軸方向で前記ダクトを前記ブローチに対して一方向
    に移動させ前記ダクト内表面の汚染層を切削加工させる
    ダクト駆動手段と、 前記ブローチによる前記ダクトの切削加工面に不活性ガ
    スのみ，窒素ガスのみ，窒素ガスと不活性ガスとの混合
    ガスのいずれかを供給する手段と、 前記汚染層に含まれる汚染物が溶ける溶剤を含む液体を
    前記ブローチによる前記ダクトの切削加工面に供給する
    手段とからなる真空ダクト内表面処理装置。
JP04706194A 1994-03-17 1994-03-17 真空ダクト内表面処理方法および真空ダクト内表面処理装置 Expired - Fee Related JP3309193B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP04706194A JP3309193B2 (ja) 1994-03-17 1994-03-17 真空ダクト内表面処理方法および真空ダクト内表面処理装置
US08/405,768 US5626682A (en) 1994-03-17 1995-03-17 Process and apparatus for treating inner surface treatment of chamber and vacuum chamber
US08/784,073 US5820320A (en) 1994-03-17 1997-01-17 Apparatus for treating the inner surface of vacuum chamber

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP04706194A JP3309193B2 (ja) 1994-03-17 1994-03-17 真空ダクト内表面処理方法および真空ダクト内表面処理装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07263195A JPH07263195A (ja) 1995-10-13
JP3309193B2 true JP3309193B2 (ja) 2002-07-29

Family

ID=12764647

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP04706194A Expired - Fee Related JP3309193B2 (ja) 1994-03-17 1994-03-17 真空ダクト内表面処理方法および真空ダクト内表面処理装置

Country Status (2)

Country Link
US (2) US5626682A (ja)
JP (1) JP3309193B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111299265A (zh) * 2020-02-25 2020-06-19 丽水市盛裕机械制造有限公司 一种用于机械加工管状工件清洁装置

Families Citing this family (107)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6069890A (en) 1996-06-26 2000-05-30 Bell Atlantic Network Services, Inc. Internet telephone service
US6154445A (en) * 1996-04-18 2000-11-28 Bell Atlantic Network Services, Inc. Telephony communication via varied redundant networks
FR2750248B1 (fr) * 1996-06-19 1998-08-28 Org Europeene De Rech Dispositif de pompage par getter non evaporable et procede de mise en oeuvre de ce getter
KR200161158Y1 (ko) * 1996-07-23 1999-11-15 이종철 파이프내의 이물질제거구
US6078582A (en) 1996-12-18 2000-06-20 Bell Atlantic Network Services, Inc. Internet long distance telephone service
US6137869A (en) 1997-09-16 2000-10-24 Bell Atlantic Network Services, Inc. Network session management
US6574216B1 (en) 1997-03-11 2003-06-03 Verizon Services Corp. Packet data network voice call quality monitoring
US6870827B1 (en) 1997-03-19 2005-03-22 Verizon Services Corp. Voice call alternative routing through PSTN and internet networks
GB2365376B (en) * 2000-07-28 2004-02-11 Rolls Royce Plc Broaching
US6695488B2 (en) * 2001-07-19 2004-02-24 Cinch Connectors, Inc. Tool and method for forming a multi fiber ferrule
US6644358B2 (en) * 2001-07-27 2003-11-11 Manoir Industries, Inc. Centrifugally-cast tube and related method and apparatus for making same
TW568345U (en) * 2002-05-21 2003-12-21 Vanguard Int Semiconduct Corp Pipe scraping assembly
US10029122B2 (en) 2008-05-22 2018-07-24 Susan L. Michaud Charged particle—patient motion control system apparatus and method of use thereof
US9737733B2 (en) 2008-05-22 2017-08-22 W. Davis Lee Charged particle state determination apparatus and method of use thereof
US8896239B2 (en) * 2008-05-22 2014-11-25 Vladimir Yegorovich Balakin Charged particle beam injection method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
US8093564B2 (en) * 2008-05-22 2012-01-10 Vladimir Balakin Ion beam focusing lens method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
US10092776B2 (en) 2008-05-22 2018-10-09 Susan L. Michaud Integrated translation/rotation charged particle imaging/treatment apparatus and method of use thereof
US9056199B2 (en) 2008-05-22 2015-06-16 Vladimir Balakin Charged particle treatment, rapid patient positioning apparatus and method of use thereof
US9058910B2 (en) * 2008-05-22 2015-06-16 Vladimir Yegorovich Balakin Charged particle beam acceleration method and apparatus as part of a charged particle cancer therapy system
US8569717B2 (en) * 2008-05-22 2013-10-29 Vladimir Balakin Intensity modulated three-dimensional radiation scanning method and apparatus
US8368038B2 (en) * 2008-05-22 2013-02-05 Vladimir Balakin Method and apparatus for intensity control of a charged particle beam extracted from a synchrotron
US8129699B2 (en) 2008-05-22 2012-03-06 Vladimir Balakin Multi-field charged particle cancer therapy method and apparatus coordinated with patient respiration
US7940894B2 (en) * 2008-05-22 2011-05-10 Vladimir Balakin Elongated lifetime X-ray method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
US8436327B2 (en) * 2008-05-22 2013-05-07 Vladimir Balakin Multi-field charged particle cancer therapy method and apparatus
US8309941B2 (en) * 2008-05-22 2012-11-13 Vladimir Balakin Charged particle cancer therapy and patient breath monitoring method and apparatus
US8374314B2 (en) 2008-05-22 2013-02-12 Vladimir Balakin Synchronized X-ray / breathing method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
US8178859B2 (en) 2008-05-22 2012-05-15 Vladimir Balakin Proton beam positioning verification method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
US9855444B2 (en) 2008-05-22 2018-01-02 Scott Penfold X-ray detector for proton transit detection apparatus and method of use thereof
US9044600B2 (en) 2008-05-22 2015-06-02 Vladimir Balakin Proton tomography apparatus and method of operation therefor
US8373146B2 (en) * 2008-05-22 2013-02-12 Vladimir Balakin RF accelerator method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
US8519365B2 (en) 2008-05-22 2013-08-27 Vladimir Balakin Charged particle cancer therapy imaging method and apparatus
US9168392B1 (en) 2008-05-22 2015-10-27 Vladimir Balakin Charged particle cancer therapy system X-ray apparatus and method of use thereof
US9910166B2 (en) 2008-05-22 2018-03-06 Stephen L. Spotts Redundant charged particle state determination apparatus and method of use thereof
US9981147B2 (en) 2008-05-22 2018-05-29 W. Davis Lee Ion beam extraction apparatus and method of use thereof
US8624528B2 (en) 2008-05-22 2014-01-07 Vladimir Balakin Method and apparatus coordinating synchrotron acceleration periods with patient respiration periods
US9737272B2 (en) 2008-05-22 2017-08-22 W. Davis Lee Charged particle cancer therapy beam state determination apparatus and method of use thereof
US9177751B2 (en) 2008-05-22 2015-11-03 Vladimir Balakin Carbon ion beam injector apparatus and method of use thereof
US8957396B2 (en) * 2008-05-22 2015-02-17 Vladimir Yegorovich Balakin Charged particle cancer therapy beam path control method and apparatus
US9616252B2 (en) 2008-05-22 2017-04-11 Vladimir Balakin Multi-field cancer therapy apparatus and method of use thereof
US8378321B2 (en) * 2008-05-22 2013-02-19 Vladimir Balakin Charged particle cancer therapy and patient positioning method and apparatus
US9782140B2 (en) 2008-05-22 2017-10-10 Susan L. Michaud Hybrid charged particle / X-ray-imaging / treatment apparatus and method of use thereof
US10548551B2 (en) 2008-05-22 2020-02-04 W. Davis Lee Depth resolved scintillation detector array imaging apparatus and method of use thereof
US8487278B2 (en) * 2008-05-22 2013-07-16 Vladimir Yegorovich Balakin X-ray method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
US8718231B2 (en) 2008-05-22 2014-05-06 Vladimir Balakin X-ray tomography method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
US8288742B2 (en) * 2008-05-22 2012-10-16 Vladimir Balakin Charged particle cancer therapy patient positioning method and apparatus
US10070831B2 (en) 2008-05-22 2018-09-11 James P. Bennett Integrated cancer therapy—imaging apparatus and method of use thereof
US8144832B2 (en) * 2008-05-22 2012-03-27 Vladimir Balakin X-ray tomography method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
US8969834B2 (en) 2008-05-22 2015-03-03 Vladimir Balakin Charged particle therapy patient constraint apparatus and method of use thereof
US9498649B2 (en) 2008-05-22 2016-11-22 Vladimir Balakin Charged particle cancer therapy patient constraint apparatus and method of use thereof
US8975600B2 (en) 2008-05-22 2015-03-10 Vladimir Balakin Treatment delivery control system and method of operation thereof
US9682254B2 (en) 2008-05-22 2017-06-20 Vladimir Balakin Cancer surface searing apparatus and method of use thereof
US8637833B2 (en) 2008-05-22 2014-01-28 Vladimir Balakin Synchrotron power supply apparatus and method of use thereof
US9974978B2 (en) 2008-05-22 2018-05-22 W. Davis Lee Scintillation array apparatus and method of use thereof
WO2009142545A2 (en) 2008-05-22 2009-11-26 Vladimir Yegorovich Balakin Charged particle cancer therapy patient positioning method and apparatus
US9155911B1 (en) 2008-05-22 2015-10-13 Vladimir Balakin Ion source method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
US10143854B2 (en) 2008-05-22 2018-12-04 Susan L. Michaud Dual rotation charged particle imaging / treatment apparatus and method of use thereof
EP2283713B1 (en) * 2008-05-22 2018-03-28 Vladimir Yegorovich Balakin Multi-axis charged particle cancer therapy apparatus
EP2283710B1 (en) * 2008-05-22 2018-07-11 Vladimir Yegorovich Balakin Multi-field charged particle cancer therapy apparatus
US8373143B2 (en) * 2008-05-22 2013-02-12 Vladimir Balakin Patient immobilization and repositioning method and apparatus used in conjunction with charged particle cancer therapy
US7943913B2 (en) 2008-05-22 2011-05-17 Vladimir Balakin Negative ion source method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
US8188688B2 (en) * 2008-05-22 2012-05-29 Vladimir Balakin Magnetic field control method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
US8198607B2 (en) * 2008-05-22 2012-06-12 Vladimir Balakin Tandem accelerator method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
US9579525B2 (en) 2008-05-22 2017-02-28 Vladimir Balakin Multi-axis charged particle cancer therapy method and apparatus
US8045679B2 (en) * 2008-05-22 2011-10-25 Vladimir Balakin Charged particle cancer therapy X-ray method and apparatus
US8598543B2 (en) 2008-05-22 2013-12-03 Vladimir Balakin Multi-axis/multi-field charged particle cancer therapy method and apparatus
US9737734B2 (en) 2008-05-22 2017-08-22 Susan L. Michaud Charged particle translation slide control apparatus and method of use thereof
US8642978B2 (en) 2008-05-22 2014-02-04 Vladimir Balakin Charged particle cancer therapy dose distribution method and apparatus
US8710462B2 (en) 2008-05-22 2014-04-29 Vladimir Balakin Charged particle cancer therapy beam path control method and apparatus
US7953205B2 (en) * 2008-05-22 2011-05-31 Vladimir Balakin Synchronized X-ray / breathing method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
US9937362B2 (en) 2008-05-22 2018-04-10 W. Davis Lee Dynamic energy control of a charged particle imaging/treatment apparatus and method of use thereof
US8089054B2 (en) 2008-05-22 2012-01-03 Vladimir Balakin Charged particle beam acceleration and extraction method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
US8129694B2 (en) * 2008-05-22 2012-03-06 Vladimir Balakin Negative ion beam source vacuum method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
US7939809B2 (en) 2008-05-22 2011-05-10 Vladimir Balakin Charged particle beam extraction method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
WO2009142550A2 (en) 2008-05-22 2009-11-26 Vladimir Yegorovich Balakin Charged particle beam extraction method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
US9744380B2 (en) 2008-05-22 2017-08-29 Susan L. Michaud Patient specific beam control assembly of a cancer therapy apparatus and method of use thereof
US8373145B2 (en) 2008-05-22 2013-02-12 Vladimir Balakin Charged particle cancer therapy system magnet control method and apparatus
US10684380B2 (en) 2008-05-22 2020-06-16 W. Davis Lee Multiple scintillation detector array imaging apparatus and method of use thereof
US9095040B2 (en) 2008-05-22 2015-07-28 Vladimir Balakin Charged particle beam acceleration and extraction method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
US8907309B2 (en) 2009-04-17 2014-12-09 Stephen L. Spotts Treatment delivery control system and method of operation thereof
US8399866B2 (en) 2008-05-22 2013-03-19 Vladimir Balakin Charged particle extraction apparatus and method of use thereof
US8378311B2 (en) 2008-05-22 2013-02-19 Vladimir Balakin Synchrotron power cycling apparatus and method of use thereof
US8625739B2 (en) 2008-07-14 2014-01-07 Vladimir Balakin Charged particle cancer therapy x-ray method and apparatus
US8627822B2 (en) * 2008-07-14 2014-01-14 Vladimir Balakin Semi-vertical positioning method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
US8229072B2 (en) 2008-07-14 2012-07-24 Vladimir Balakin Elongated lifetime X-ray method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system
JP2012519532A (ja) 2009-03-04 2012-08-30 ザクリトエ アクツィアニェールナエ オーブシチェストヴォ プロトム 多方向荷電粒子線癌治療方法及び装置
US10376717B2 (en) 2010-04-16 2019-08-13 James P. Bennett Intervening object compensating automated radiation treatment plan development apparatus and method of use thereof
US10751551B2 (en) 2010-04-16 2020-08-25 James P. Bennett Integrated imaging-cancer treatment apparatus and method of use thereof
US10556126B2 (en) 2010-04-16 2020-02-11 Mark R. Amato Automated radiation treatment plan development apparatus and method of use thereof
US10086214B2 (en) 2010-04-16 2018-10-02 Vladimir Balakin Integrated tomography—cancer treatment apparatus and method of use thereof
US10188877B2 (en) 2010-04-16 2019-01-29 W. Davis Lee Fiducial marker/cancer imaging and treatment apparatus and method of use thereof
US10518109B2 (en) 2010-04-16 2019-12-31 Jillian Reno Transformable charged particle beam path cancer therapy apparatus and method of use thereof
US10179250B2 (en) 2010-04-16 2019-01-15 Nick Ruebel Auto-updated and implemented radiation treatment plan apparatus and method of use thereof
US10555710B2 (en) 2010-04-16 2020-02-11 James P. Bennett Simultaneous multi-axes imaging apparatus and method of use thereof
US11648420B2 (en) 2010-04-16 2023-05-16 Vladimir Balakin Imaging assisted integrated tomography—cancer treatment apparatus and method of use thereof
US10638988B2 (en) 2010-04-16 2020-05-05 Scott Penfold Simultaneous/single patient position X-ray and proton imaging apparatus and method of use thereof
US9737731B2 (en) 2010-04-16 2017-08-22 Vladimir Balakin Synchrotron energy control apparatus and method of use thereof
US10625097B2 (en) 2010-04-16 2020-04-21 Jillian Reno Semi-automated cancer therapy treatment apparatus and method of use thereof
US10589128B2 (en) 2010-04-16 2020-03-17 Susan L. Michaud Treatment beam path verification in a cancer therapy apparatus and method of use thereof
US10349906B2 (en) 2010-04-16 2019-07-16 James P. Bennett Multiplexed proton tomography imaging apparatus and method of use thereof
US8963112B1 (en) 2011-05-25 2015-02-24 Vladimir Balakin Charged particle cancer therapy patient positioning method and apparatus
DE102011109106A1 (de) * 2011-08-02 2013-02-07 Hanspeter Epple Verfahren zum Bearbeiten eines Innenhohlraumes eines Strangpressprofiles und Vorrichtung hierfür
US8933651B2 (en) 2012-11-16 2015-01-13 Vladimir Balakin Charged particle accelerator magnet apparatus and method of use thereof
CN104551212A (zh) * 2014-12-29 2015-04-29 苏州用朴合金工具有限公司 一种用于硬质合金拉削加工的卧式内拉床
US9907981B2 (en) 2016-03-07 2018-03-06 Susan L. Michaud Charged particle translation slide control apparatus and method of use thereof
US10037863B2 (en) 2016-05-27 2018-07-31 Mark R. Amato Continuous ion beam kinetic energy dissipater apparatus and method of use thereof
FR3094656B1 (fr) 2019-04-03 2022-01-07 Safran Aircraft Engines Outil de brochage, machine de brochage comportant un tel outil et procédé d’usinage d’une pièce au moyen d’une telle machine
CN116140304B (zh) * 2023-04-20 2023-06-23 中建材(合肥)钢构科技有限公司 一种钢管端部内壁清理装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1426738A (en) * 1920-08-30 1922-08-22 Aluminum Manufactures Inc Blank holding and ejecting mechanism
US1588716A (en) * 1924-02-16 1926-06-15 John P Ferris Broach guide
US1627755A (en) * 1924-06-23 1927-05-10 Bertis H Urschel Broaching machine
US1935774A (en) * 1929-06-26 1933-11-21 Colonial Tool Company Broach
US2373995A (en) * 1944-01-25 1945-04-17 Pointe Machine Tool Company Broaching machine
US2726704A (en) * 1952-05-23 1955-12-13 Henry C Fischer Apparatus for sizing tubing
US3971114A (en) * 1972-01-27 1976-07-27 Dudley George M Machine tool having internally routed cryogenic fluid for cooling interface between cutting edge of tool and workpiece
US4266894A (en) * 1978-09-11 1981-05-12 Zuzanov Georgy I Vertical broaching machine for internal broaching
US4477216A (en) * 1982-01-26 1984-10-16 The Ohio Broach & Machine Company Infeed shuttle table for vertical broach
DE3238964A1 (de) * 1982-10-21 1984-04-26 Erwin 5883 Kierspe Umlauf Verfahren und vorrichtung zum entfernen der spaene aus den zwischenraeumen der raeumzaehne von raeumnadeln
BG39830A1 (en) * 1982-12-22 1986-09-15 Petkov Method for precise and finishing processing of profile cylindric openings and tool for its realization
SU1152794A1 (ru) * 1983-06-29 1985-04-30 Gaev Ivan V Прот жка дл обработки поверхностей
US5503506A (en) * 1993-06-24 1996-04-02 Hughes Aircraft Company High precision, high surface finish broaching tool

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111299265A (zh) * 2020-02-25 2020-06-19 丽水市盛裕机械制造有限公司 一种用于机械加工管状工件清洁装置

Also Published As

Publication number Publication date
US5820320A (en) 1998-10-13
JPH07263195A (ja) 1995-10-13
US5626682A (en) 1997-05-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3309193B2 (ja) 真空ダクト内表面処理方法および真空ダクト内表面処理装置
JP5954923B2 (ja) ガス支援レーザ・アブレーション
DE4034842C2 (ja)
JP2009259447A (ja) 極端紫外光源装置
EP0474108A1 (en) Ion implantation apparatus and method of cleaning the same
DE102005032685B4 (de) Verfahren zum Reinigen von Oberflächen mit Halogenionen und Reinigungsanlage
WO2014192551A1 (ja) 成膜装置およびそれを用いた成膜方法
US20080121248A1 (en) Laser Decontamination of the Surface of a Profiled Part
KR101073414B1 (ko) 경질 피막의 탈막 방법
US20130248486A1 (en) Electron beam polishing of aluminum
CN102161133A (zh) 圆筒形工件切割器
JP5825781B2 (ja) 反射防止膜形成方法及び反射防止膜形成装置
EP2426696B1 (de) Ionenstrahlvorrichtung zur Bearbeitung eines Substrats mittels eines Ionenstrahls
JPS62249421A (ja) プラズマエッチング方法
JPH08330100A (ja) ダクト内面処理法
JP3610560B2 (ja) 導波管の製造方法及び導波管
DE3837487A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum aetzen von substraten mit einer magnetfeldunterstuetzten niederdruck-entladung
JPH07164041A (ja) ダクトの引抜き加工法及び装置
JP2004273933A (ja) 金属および金属酸化物の微細加工方法
CN112458425B (zh) 应用于狭窄空间的三室镀膜机
Knobloch et al. Effect of high-pressure rinsing on niobium
JP2716326B2 (ja) 真空用材料の製造方法
Verhaeghe et al. Achieving low-porosity laser welds in aerospace aluminium alloy
DE102011111686B4 (de) Verfahren zur Bearbeitung eines Substrats mittels eines Ionenstrahls und Ionenstrahlvorrichtung zur Bearbeitung eines Substrats
Nilaya et al. Study of laser assisted decontamination of commonly used clad surfaces

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees