JP2004273933A - 金属および金属酸化物の微細加工方法 - Google Patents
金属および金属酸化物の微細加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004273933A JP2004273933A JP2003065281A JP2003065281A JP2004273933A JP 2004273933 A JP2004273933 A JP 2004273933A JP 2003065281 A JP2003065281 A JP 2003065281A JP 2003065281 A JP2003065281 A JP 2003065281A JP 2004273933 A JP2004273933 A JP 2004273933A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- metal
- sample
- electron beam
- fluorine compound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Abstract
【課題】微細加工技術で必要な金属材料の局所的エッチングを毒性、腐食性の低い反応ガスを用いた電子ビーム励起ドライエッチング技術を提供する。
【解決手段】電子ビーム励起ドライエッチングに用いる反応ガス7として、毒性、腐食性が比較的低いフッ素化合物ガスまたはフッ素化合物ガスとO2またはフッ素化合物ガスとH2Oガスを用いる。これにより、Cl系ガスを反応ガスとして用いる場合に比べ、安全で、かつ装置の防腐対策や安全対策が要らなくなるため低コストの微細加工を行なうことができる。
【選択図】 図1
【解決手段】電子ビーム励起ドライエッチングに用いる反応ガス7として、毒性、腐食性が比較的低いフッ素化合物ガスまたはフッ素化合物ガスとO2またはフッ素化合物ガスとH2Oガスを用いる。これにより、Cl系ガスを反応ガスとして用いる場合に比べ、安全で、かつ装置の防腐対策や安全対策が要らなくなるため低コストの微細加工を行なうことができる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子ビームを用いた微細加工技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体製造過程のリソグラフィに使われるマスクの黒欠陥を修正する手段として、集束イオンビームを用いたスパッタエッチング、ガスアシストエッチングの技術が確立され、現在使用されている。ところが、集束イオンビームに用いられるGaイオンをマスク試料への照射すると、マスクにダメージを与え、このマスクを用いて転写する場合、マスク透過部分の光の透過率を低下し、転写パターンに影響を及ぼす問題がある。この問題を解決するための手段の一つとして、電子ビーム励起ドライエッチング技術が挙げられている。
【0003】
電子ビーム励起ドライエッチングは、被加工試料の表面に反応性ガスを吸着させ、電子ビームを該被加工試料の表面に照射することにより、該加工試料物質と反応ガスの間の化学反応を促進し、該加工試料物質を反応ガスとの揮発性生成物として取り除く方法である。この応用例として、例えば試料の一部を電子ビーム励起ドライエッチングによりエッチング除去して断面を露出させ、試料の断面を観察する方法がある(特許文献1参照)。
【0004】
被加工試料物質と反応ガスの化学反応を利用したエッチング加工では、試料物質と反応ガス物質との組合せが重要である。例えば、SiのエッチングにXeF2を、GaAsのエッチングにCl2を、PMMAレジストのエッチングにClF3を用いた電子ビーム励起ドライエッチングの実施例がある(非特許文献1参照)。
【0005】
【特許文献1】
特開平4−273143号公報(請求項1、段落番号0004)
【非特許文献1】
「電子ビーム誘起選択エッチングとデポジション技術(Electron beam induced selective etching and deposition technology)」、ジャーナル・オブ・バキューム・サイエンス・テクノロジー・ビー・第7巻・第5号、1182−1190頁(1989年)(Journal of Vacuum Science
Technology B7(5),1989、P1182−1190)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
マスクの黒欠陥を修正する場合、遮光膜として用いられているCrをエッチングできる反応ガスを用いなければならないが、電子ビーム励起ドライエッチングでCr膜をエッチングできたという報告例はない。また、マスク製造工程でCrまたはCr酸化物から成る遮光膜のドライエッチングプロセスでは、エッチング用の反応ガスとしてCl系のガスが用いられている。電子ビーム励起ドライエッチングにも反応ガスとしてCl系のガスを用いることが考えられる。ところが、Cl系ガスは毒性が高く装置等の安全対策が必要であり、また腐食性も高いことから装置の防腐対策が必要となり、コスト面で大きな負担となる。
【0007】
本発明の目的は、微細加工技術で必要な金属材料の局所的エッチングを毒性、腐食性の低い反応ガスを用いた電子ビーム励起ドライエッチング技術を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
電子ビーム励起ドライエッチングに用いる反応ガスとして、毒性、腐食性が比較的低いフッ素化合物ガスまたはフッ素化合物ガスとO2またはフッ素化合物ガスとH2Oガスを用いることで、Cl系ガスを反応ガスとして用いる場合に比べ、安全でかつ装置の防腐対策や安全対策が要らなくなるため低コストな微細加工を行なうことができる。
【0009】
【作用】
フッ素化合物ガスまたはフッ素化合物ガスとO2またはフッ素化合物ガスとH2Oガスを用いた荷電粒子ビーム励起エッチングで、安全で低コストな微細加工を行なうことができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明を電子ビームによるフォトマスクの欠陥修正に適応した例について説明する。
図1に示すような黒欠陥3を含むCr膜2(遮光部分)とガラス基板4(透過部分)からなるフォトマスク1を図2に示すような反応ガス導入用のガス銃と二次荷電粒子検出器がついた電子ビーム加工装置に導入する。まず、電子源11から放出された電子ビーム12は、1kVで加速されながらコンデンサレンズ13と対物レンズ14で集束し、偏向器15によってフォトマスク18上を走査する。フォトマスク18から発生した二次電子を電子ビームの走査に同期して二次電子検出器16に取り込み、その二次電子像から欠陥の位置を決める。試料ステージ20を欠陥位置が電子ビーム照射位置にくるように移動させ、欠陥位置にガスノズル5を通して反応ガス7(XeF2)を導入する。この時の試料室の真空度は1.0×10−4から5.0×10−3Pa程度である。そこへ数pAから数nA程度の電子ビーム6を照射することによって、マスク上の黒欠陥を電子ビーム励起ドライエッチングで取り除く。このときチャージアップの影響を抑えるために、Arイオン銃21から低加速のArイオンを試料表面に照射しチャージ中和を行なってもよい。また、反応ガスは、XeF2のみではなく、O2ガスやH2OガスをXeF2に加えて反応ガスとすることでエッチングの速度を制御することも可能である。ガスの加え方としては、あらかじめ試料室への導入前にXeF2とO2ガスまたはH2Oガスを混ぜ合わせ、混合したガスを第1もしくは第2のガスノズルを通して試料室内に導入する方法か、または反応ガス同士が試料表面に到達する前に反応してしまい、試料表面に到達するときには反応性が低下してしまう場合は、第1のガスノズルからXeF2を、第2のガスノズルからO2ガスまたはH2Oガスを試料室内に導入することも可能である。
また、XeF2を用いた電子ビーム励起エッチングの効果を示すため、欠陥ではなくCr膜部分をエッチングした際のAFM(原子間力顕微鏡)による観察像(断面形状)を図3に示す。このAEM像は発明者によって行なわれた実験結果である。ガスノズル17を通して反応ガス(XeF2)を導入し、Cr膜31の一部に電子ビーム12を照射する。すると電子ビームが照射された部分が、図3のエッチング部分32のようにエッチングされる。
【0011】
前記の欠陥修正の実施例は、反応ガスについて、フッ化化合物ガスの中で比較的扱いやすいXeF2の場合について説明した。XeF2は装置内で水分と混ざるとフッ酸となり構造物を腐食させてしまうが、ガスパージやベーキングを行うことで水分を制御し腐食を防止することができる。また、フォトマスクはバイナリマスクについて実施例を取り上げたが、MoSi系酸化物を材料とする位相シフトマスクやEPL用ステンシルマスクなど次世代リソグラフィー対応マスクでもよい。また、前記実施例はフォトマスクの欠陥修正について説明したが、本発明は電子ビームを用いた金属および金属酸化物の微細加工について適応できる。
【0012】
【発明の効果】
以上の説明のように本発明によれば、電子ビーム励起エッチングの反応ガスとして、毒性、腐食性が比較的低いフッ素化合物ガスを用いることで、従来使われてきた塩素ガスを反応ガスとして用いる場合に比べ、安全でかつ低コストな微細加工を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例であるフォトマスクの欠陥修正方法を示す断面図である。
【図2】実施例を説明するための電子ビーム加工装置の概略図である。
【図3】XeF2を用いた電子ビーム励起エッチングの効果を示すための被加工部分の断面図である。
【符号の説明】
1…フォトマスク
2…Cr膜
3…黒欠陥
4…ガラス基板
5…ガスノズル
6…電子ビーム
7…反応ガス
11…電子源
12…電子ビーム
13…コンデンサレンズ
14…対物レンズ
15…偏向器
16…二次電子検出器
17…第1のガスノズル
18…第2のガスノズル
19…フォトマスク
20…マスクホルダ
21…試料ステージ
22…Arイオン銃
31…Cr膜
32…エッチング部分
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子ビームを用いた微細加工技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体製造過程のリソグラフィに使われるマスクの黒欠陥を修正する手段として、集束イオンビームを用いたスパッタエッチング、ガスアシストエッチングの技術が確立され、現在使用されている。ところが、集束イオンビームに用いられるGaイオンをマスク試料への照射すると、マスクにダメージを与え、このマスクを用いて転写する場合、マスク透過部分の光の透過率を低下し、転写パターンに影響を及ぼす問題がある。この問題を解決するための手段の一つとして、電子ビーム励起ドライエッチング技術が挙げられている。
【0003】
電子ビーム励起ドライエッチングは、被加工試料の表面に反応性ガスを吸着させ、電子ビームを該被加工試料の表面に照射することにより、該加工試料物質と反応ガスの間の化学反応を促進し、該加工試料物質を反応ガスとの揮発性生成物として取り除く方法である。この応用例として、例えば試料の一部を電子ビーム励起ドライエッチングによりエッチング除去して断面を露出させ、試料の断面を観察する方法がある(特許文献1参照)。
【0004】
被加工試料物質と反応ガスの化学反応を利用したエッチング加工では、試料物質と反応ガス物質との組合せが重要である。例えば、SiのエッチングにXeF2を、GaAsのエッチングにCl2を、PMMAレジストのエッチングにClF3を用いた電子ビーム励起ドライエッチングの実施例がある(非特許文献1参照)。
【0005】
【特許文献1】
特開平4−273143号公報(請求項1、段落番号0004)
【非特許文献1】
「電子ビーム誘起選択エッチングとデポジション技術(Electron beam induced selective etching and deposition technology)」、ジャーナル・オブ・バキューム・サイエンス・テクノロジー・ビー・第7巻・第5号、1182−1190頁(1989年)(Journal of Vacuum Science
Technology B7(5),1989、P1182−1190)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
マスクの黒欠陥を修正する場合、遮光膜として用いられているCrをエッチングできる反応ガスを用いなければならないが、電子ビーム励起ドライエッチングでCr膜をエッチングできたという報告例はない。また、マスク製造工程でCrまたはCr酸化物から成る遮光膜のドライエッチングプロセスでは、エッチング用の反応ガスとしてCl系のガスが用いられている。電子ビーム励起ドライエッチングにも反応ガスとしてCl系のガスを用いることが考えられる。ところが、Cl系ガスは毒性が高く装置等の安全対策が必要であり、また腐食性も高いことから装置の防腐対策が必要となり、コスト面で大きな負担となる。
【0007】
本発明の目的は、微細加工技術で必要な金属材料の局所的エッチングを毒性、腐食性の低い反応ガスを用いた電子ビーム励起ドライエッチング技術を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
電子ビーム励起ドライエッチングに用いる反応ガスとして、毒性、腐食性が比較的低いフッ素化合物ガスまたはフッ素化合物ガスとO2またはフッ素化合物ガスとH2Oガスを用いることで、Cl系ガスを反応ガスとして用いる場合に比べ、安全でかつ装置の防腐対策や安全対策が要らなくなるため低コストな微細加工を行なうことができる。
【0009】
【作用】
フッ素化合物ガスまたはフッ素化合物ガスとO2またはフッ素化合物ガスとH2Oガスを用いた荷電粒子ビーム励起エッチングで、安全で低コストな微細加工を行なうことができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明を電子ビームによるフォトマスクの欠陥修正に適応した例について説明する。
図1に示すような黒欠陥3を含むCr膜2(遮光部分)とガラス基板4(透過部分)からなるフォトマスク1を図2に示すような反応ガス導入用のガス銃と二次荷電粒子検出器がついた電子ビーム加工装置に導入する。まず、電子源11から放出された電子ビーム12は、1kVで加速されながらコンデンサレンズ13と対物レンズ14で集束し、偏向器15によってフォトマスク18上を走査する。フォトマスク18から発生した二次電子を電子ビームの走査に同期して二次電子検出器16に取り込み、その二次電子像から欠陥の位置を決める。試料ステージ20を欠陥位置が電子ビーム照射位置にくるように移動させ、欠陥位置にガスノズル5を通して反応ガス7(XeF2)を導入する。この時の試料室の真空度は1.0×10−4から5.0×10−3Pa程度である。そこへ数pAから数nA程度の電子ビーム6を照射することによって、マスク上の黒欠陥を電子ビーム励起ドライエッチングで取り除く。このときチャージアップの影響を抑えるために、Arイオン銃21から低加速のArイオンを試料表面に照射しチャージ中和を行なってもよい。また、反応ガスは、XeF2のみではなく、O2ガスやH2OガスをXeF2に加えて反応ガスとすることでエッチングの速度を制御することも可能である。ガスの加え方としては、あらかじめ試料室への導入前にXeF2とO2ガスまたはH2Oガスを混ぜ合わせ、混合したガスを第1もしくは第2のガスノズルを通して試料室内に導入する方法か、または反応ガス同士が試料表面に到達する前に反応してしまい、試料表面に到達するときには反応性が低下してしまう場合は、第1のガスノズルからXeF2を、第2のガスノズルからO2ガスまたはH2Oガスを試料室内に導入することも可能である。
また、XeF2を用いた電子ビーム励起エッチングの効果を示すため、欠陥ではなくCr膜部分をエッチングした際のAFM(原子間力顕微鏡)による観察像(断面形状)を図3に示す。このAEM像は発明者によって行なわれた実験結果である。ガスノズル17を通して反応ガス(XeF2)を導入し、Cr膜31の一部に電子ビーム12を照射する。すると電子ビームが照射された部分が、図3のエッチング部分32のようにエッチングされる。
【0011】
前記の欠陥修正の実施例は、反応ガスについて、フッ化化合物ガスの中で比較的扱いやすいXeF2の場合について説明した。XeF2は装置内で水分と混ざるとフッ酸となり構造物を腐食させてしまうが、ガスパージやベーキングを行うことで水分を制御し腐食を防止することができる。また、フォトマスクはバイナリマスクについて実施例を取り上げたが、MoSi系酸化物を材料とする位相シフトマスクやEPL用ステンシルマスクなど次世代リソグラフィー対応マスクでもよい。また、前記実施例はフォトマスクの欠陥修正について説明したが、本発明は電子ビームを用いた金属および金属酸化物の微細加工について適応できる。
【0012】
【発明の効果】
以上の説明のように本発明によれば、電子ビーム励起エッチングの反応ガスとして、毒性、腐食性が比較的低いフッ素化合物ガスを用いることで、従来使われてきた塩素ガスを反応ガスとして用いる場合に比べ、安全でかつ低コストな微細加工を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例であるフォトマスクの欠陥修正方法を示す断面図である。
【図2】実施例を説明するための電子ビーム加工装置の概略図である。
【図3】XeF2を用いた電子ビーム励起エッチングの効果を示すための被加工部分の断面図である。
【符号の説明】
1…フォトマスク
2…Cr膜
3…黒欠陥
4…ガラス基板
5…ガスノズル
6…電子ビーム
7…反応ガス
11…電子源
12…電子ビーム
13…コンデンサレンズ
14…対物レンズ
15…偏向器
16…二次電子検出器
17…第1のガスノズル
18…第2のガスノズル
19…フォトマスク
20…マスクホルダ
21…試料ステージ
22…Arイオン銃
31…Cr膜
32…エッチング部分
Claims (12)
- 被加工金属試料または金属酸化物試料の表面にフッ素化合物反応ガスを吸着させ、電子ビームを前記試料の加工領域に照射することで、該試料表面で化学反応を起こさせ、局所的にエッチングする微細加工方法。
- 前記フッ素化合物反応ガスはXeF2である請求項1に記載の微細加工方法。
- 前記金属がCrまたはCr酸化物である請求項1に記載の微細加工方法。
- 前記金属がMoSi酸化物である請求項1に記載の微細加工方法。
- 被加工金属試料または金属酸化物試料の表面にフッ素化合物反応ガスとO2を吸着させ、電子ビームを前記試料の加工領域に照射することで、該試料表面で化学反応を起こさせ、局所的にエッチングする微細加工方法。
- 前記フッ素化合物反応ガスはXeF2である請求項5に記載の微細加工方法。
- 前記金属がCrまたはCr酸化物である請求項5に記載の微細加工方法。
- 前記金属がMoSi酸化物である請求項5に記載の微細加工方法。
- 被加工金属試料または金属酸化物試料の表面にフッ素化合物反応ガスとH2Oガスを吸着させ、電子ビームを前記試料の加工領域に照射することで、該試料表面で化学反応を起こさせ、局所的にエッチングする微細加工方法。
- 前記フッ素化合物反応ガスはXeF2である請求項9に記載の微細加工方法。
- 前記金属がCrまたはCr酸化物である請求項9に記載の微細加工方法。
- 前記金属がMoSi酸化物である請求項9に記載の微細加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003065281A JP2004273933A (ja) | 2003-03-11 | 2003-03-11 | 金属および金属酸化物の微細加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003065281A JP2004273933A (ja) | 2003-03-11 | 2003-03-11 | 金属および金属酸化物の微細加工方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004273933A true JP2004273933A (ja) | 2004-09-30 |
Family
ID=33126343
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003065281A Withdrawn JP2004273933A (ja) | 2003-03-11 | 2003-03-11 | 金属および金属酸化物の微細加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004273933A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006078382A2 (en) * | 2004-12-17 | 2006-07-27 | Intel Corporation | Passivating metal etch structures |
JP2014029993A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-02-13 | Dainippon Printing Co Ltd | ナノインプリントリソグラフィ用テンプレートの製造方法 |
JP2014098929A (ja) * | 2009-06-18 | 2014-05-29 | Hoya Corp | マスクブランク、転写用マスク及び転写用マスクの製造方法 |
JP5630592B1 (ja) * | 2013-06-17 | 2014-11-26 | 大日本印刷株式会社 | フォトマスクの製造方法 |
JP2015161834A (ja) * | 2014-02-27 | 2015-09-07 | 大日本印刷株式会社 | フォトマスクの製造方法 |
CN108885990A (zh) * | 2016-03-29 | 2018-11-23 | 东京毅力科创株式会社 | 对被处理物进行处理的方法 |
-
2003
- 2003-03-11 JP JP2003065281A patent/JP2004273933A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006078382A2 (en) * | 2004-12-17 | 2006-07-27 | Intel Corporation | Passivating metal etch structures |
WO2006078382A3 (en) * | 2004-12-17 | 2006-11-02 | Intel Corp | Passivating metal etch structures |
JP2014098929A (ja) * | 2009-06-18 | 2014-05-29 | Hoya Corp | マスクブランク、転写用マスク及び転写用マスクの製造方法 |
US9017902B2 (en) | 2009-06-18 | 2015-04-28 | Hoya Corporation | Mask blank, transfer mask, and method of manufacturing a transfer mask |
KR101822801B1 (ko) | 2009-06-18 | 2018-01-29 | 호야 가부시키가이샤 | 마스크 블랭크 및 전사용 마스크와 전사용 마스크의 제조 방법 |
JP2014029993A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-02-13 | Dainippon Printing Co Ltd | ナノインプリントリソグラフィ用テンプレートの製造方法 |
JP5630592B1 (ja) * | 2013-06-17 | 2014-11-26 | 大日本印刷株式会社 | フォトマスクの製造方法 |
JP2015161834A (ja) * | 2014-02-27 | 2015-09-07 | 大日本印刷株式会社 | フォトマスクの製造方法 |
CN108885990A (zh) * | 2016-03-29 | 2018-11-23 | 东京毅力科创株式会社 | 对被处理物进行处理的方法 |
CN108885990B (zh) * | 2016-03-29 | 2023-06-30 | 东京毅力科创株式会社 | 对被处理物进行处理的方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1710327B1 (en) | Method of beam-induced selective etching of a material from a quartz substrate | |
US6753538B2 (en) | Electron beam processing | |
EP0976152B1 (en) | Pattern film repair using a gas assisted focused particle beam system | |
KR101683959B1 (ko) | 입자 빔에 의한 처리 동안 기판을 보호하는 방법 및 장치 | |
EP0237220B1 (en) | Method and apparatus for forming a film | |
US20040131953A1 (en) | Photomask correction method using composite charged particle beam, and device used in the correction method | |
JP2007103108A (ja) | 集束イオンビームによる加工方法 | |
KR101159337B1 (ko) | 마스크 수정을 위한 전자 빔 프로세싱 | |
JP2004273933A (ja) | 金属および金属酸化物の微細加工方法 | |
JP2009188047A (ja) | Euvlマスクの黒欠陥修正方法 | |
JP4219715B2 (ja) | フォトマスクの欠陥修正方法 | |
JP2006164893A (ja) | 荷電粒子線装置およびそのコンタミネーション除去方法 | |
JP2004279461A (ja) | 荷電粒子マスク欠陥修正装置によるフォトマスク欠陥修正個所の二次処理方法 | |
JP2005260057A (ja) | Euvリソグラフィ用マスクの黒欠陥修正方法 | |
JP2000010260A (ja) | マスク修正装置の黒欠陥修正方法 | |
JP2009086428A (ja) | 荷電粒子ビームを用いたフォトマスクの欠陥修正方法及び欠陥修正装置 | |
JP2664025B2 (ja) | 電子ビーム装置のクリーニング方法 | |
JP3350095B2 (ja) | マスクの修正方法 | |
JP2004309605A (ja) | フォトマスクの欠陥修正方法 | |
JP3294242B2 (ja) | 荷電ビーム照射方法 | |
JPS61123843A (ja) | 集束イオンビ−ムを用いたマスク修正装置 | |
JP2699196B2 (ja) | X線露光用マスクの製造方法 | |
JP2002237443A (ja) | 汚染除去装置、露光装置の汚染除去方法及び露光装置 | |
Lee | Mask Repair | |
Edinger et al. | Performance results from the Zeiss/NaWoTec MeRit MG electron beam mask repair tool |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051207 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080122 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20080228 |