RU99120179A

RU99120179A - Устройство и способ получения повышенного вакуума в системе со сверхвысоким вакуумом

Info

Publication number: RU99120179A
Application number: RU99120179/12A
Authority: RU
Inventors: Кристофоро БЕНВЕНЮТИ
Original assignee: Организасьон Эропеен Пур Ля Решерш Нюклеэр
Priority date: 1997-02-26
Filing date: 1998-02-20
Publication date: 2001-08-20

Claims

1. Устройство, позволяющее повысить вакуум в системе с очень высоким вакуумом (ультравакуумом), содержащее металлическую камеру, способную выделять газ на своей поверхности, которая состоит из покрытия, наложенного на, по меньшей мере, часть поверхности металлической стенки, определяющей камеру, отличающееся тем, что покрытие содержит по меньшей мере один слой, представляющий собой неиспаряемый гетер, нанесенный на поверхность указанной металлической стенки, определяющей камеру, и на этом слое гетера нанесен по меньшей мере один тонкий слой по меньшей мере одного катализатора, выбираемого из группы: рутений и/или родий, и/или палладий, и/или осмий, и/или иридий, и/или платина, и/или сплава, содержащего по меньшей мере один из этих металлов, благодаря чему его поверхность почти не окисляется при контакте с воздухом, указанный слой катализатора не наполняется кислородом при взаимодействии с воздухом и осуществляет молекулярную откачку по меньшей мере некоторых молекул, присутствующих в камере, при этом некоторые молекулы, например Н₂ и его изотопы, перемещаются через этот слой катализатора в слой неиспаряемого гетера, а общий объем откачки является объемом откачки слоя неиспаряемого гетера.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что тонкий слой катализатора представляет собой слой сплава палладия.

3. Устройство по п. 2, отличающееся тем, что катализатор представляет собой сплав палладия и серебра.

4. Устройство по любому из предшествующих пп.1-3, отличающееся тем, что неиспаряющийся гетер выбирают из группы: титан и/или цирконий, и/или гафний, и/или ванадий, и/или скандий, и/или сплав или соединение, содержащее по меньшей мере один из указанных металлов.

5. Устройство по одному из предшествующих пп.1-4, отличающееся тем, что покрытие нагревают до температуры, лежащей в пределах от около 50 до около 70^oC, благодаря чему откачка газа ускоряется.

6. Способ использования катализатора, способного создавать очень высокий вакуум (ультравакуум) в камере, определенной металлической стенкой, способной выделять газ на своей поверхности, отличающийся последовательностью следующих этапов: накладывают по меньшей мере один тонкий слой неиспаряемого гетера на по меньшей мере часть поверхности стенки камеры, затем наносят по меньшей мере один тонкий слой по меньшей мере одного катализатора на указанный слой гетера, при этом указанный катализатор выбирают из группы: рутений и/или родий, и/или палладий, и/или осмий, и/или иридий, и/или платина, и/или сплав, содержащий по меньшей мере один из указанных металлов, соединяют камеру с вакуумной системой, и создают вакуум с помощью системы насосной откачки.

7. Способ по п.6, отличающийся тем, что катализатор наносят путем катодного напыления на слой неиспаряемого гетера, который тоже предварительно наносят путем катодного напыления, когда гетер не контактирует с окружающей атмосферой между этими двумя нанесениями.

8. Способ по п.6, отличающийся тем, что слой неиспаряемого гетера, нанесенный путем катодного напыления и подвергаемый воздействию окружающей атмосферы, откачивают и активизируют с помощью нагрева перед нанесением на него слоя катализатора путем катодного напыления.

9. Способ по п.6, отличающийся тем, что одновременно с созданием вакуума с помощью системы насосной откачки осуществляют просушку вакуумной системы путем ее нагревания до температуры, равной, по меньшей мере, 120^oC.