JPH1021933A - 固体酸化物燃料電池の電極およびその形成方法 - Google Patents
固体酸化物燃料電池の電極およびその形成方法Info
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- JPH1021933A JPH1021933A JP8169247A JP16924796A JPH1021933A JP H1021933 A JPH1021933 A JP H1021933A JP 8169247 A JP8169247 A JP 8169247A JP 16924796 A JP16924796 A JP 16924796A JP H1021933 A JPH1021933 A JP H1021933A
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- ysz
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 多大な熱負荷を受けても電解質から剥離する
ことのない固体酸化物燃料電池の電極およびその形成方
法を提供する。 【解決手段】 電子ビーム蒸着器２１によりＹＳＺ１１
の蒸着流１１ａおよびＮｉ１２の蒸着流１２ａをＹＳＺ
からなる基板（電解質）１へ蒸着するすることにより、
Ｎｉ／ＹＳＺからなるサーメットの燃料極２を基板１の
表面上に成形するにあたって、ＹＳＺ蒸着流１１ａの蒸
着速度を次第に減少させると共に、Ｎｉ蒸着流１２ａの
蒸着速度を次第に増加させることで、基板１側ほどＹＳ
Ｚの含有量が増大した組成とする一方、上記蒸着を行う
際に、イオン銃２２からＡｒイオンビーム１３を基板１
へ向かって照射することで、基板１と上記燃料極２との
界面を原子半径の大きいＡｒ+ の作用からミキシングす
ることにより、燃料極２の熱膨張率を基板１側ほど基板
１に近似させると共に、基板１と燃料極２との界面間の
結合力を強力にした。
ことのない固体酸化物燃料電池の電極およびその形成方
法を提供する。 【解決手段】 電子ビーム蒸着器２１によりＹＳＺ１１
の蒸着流１１ａおよびＮｉ１２の蒸着流１２ａをＹＳＺ
からなる基板（電解質）１へ蒸着するすることにより、
Ｎｉ／ＹＳＺからなるサーメットの燃料極２を基板１の
表面上に成形するにあたって、ＹＳＺ蒸着流１１ａの蒸
着速度を次第に減少させると共に、Ｎｉ蒸着流１２ａの
蒸着速度を次第に増加させることで、基板１側ほどＹＳ
Ｚの含有量が増大した組成とする一方、上記蒸着を行う
際に、イオン銃２２からＡｒイオンビーム１３を基板１
へ向かって照射することで、基板１と上記燃料極２との
界面を原子半径の大きいＡｒ+ の作用からミキシングす
ることにより、燃料極２の熱膨張率を基板１側ほど基板
１に近似させると共に、基板１と燃料極２との界面間の
結合力を強力にした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体酸化物燃料電
池の電極およびその形成方法に関し、特に、燃料極に適
用すると有効である。
池の電極およびその形成方法に関し、特に、燃料極に適
用すると有効である。
【０００２】
【従来の技術】固体酸化物燃料電池は、固体酸化物から
なる電解質を空気極と燃料極とで挟み、空気極側に空気
を送給する一方、燃料極側に燃料ガスを送給することに
より、電気化学反応を生じさせて電力を得ることができ
るようになっている。
なる電解質を空気極と燃料極とで挟み、空気極側に空気
を送給する一方、燃料極側に燃料ガスを送給することに
より、電気化学反応を生じさせて電力を得ることができ
るようになっている。
【０００３】このような固体酸化物燃料電池において、
電解質に燃料極を設ける場合には、通常、ＮｉＯとＹＳ
Ｚ（Yttria stabilized Zirconia: イットリア安定化ジ
ルコニア）との混合物のスラリを電解質（ＹＳＺ）の表
面に塗布した後、焼成することにより、Ｎｉ／ＹＳＺの
サーメットからなる電極を電解質の表面に形成してい
る。
電解質に燃料極を設ける場合には、通常、ＮｉＯとＹＳ
Ｚ（Yttria stabilized Zirconia: イットリア安定化ジ
ルコニア）との混合物のスラリを電解質（ＹＳＺ）の表
面に塗布した後、焼成することにより、Ｎｉ／ＹＳＺの
サーメットからなる電極を電解質の表面に形成してい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述したようにして電
解質に燃料極を形成した固体酸化物燃料電池では、電解
質と燃料極との熱膨張率が異なるため、使用中の大きな
熱負荷（約１０００℃）により、電解質と燃料極との界
面に熱応力が作用し、電解質と燃料極とが剥離して作動
効率を低下させてしまう虞があった。
解質に燃料極を形成した固体酸化物燃料電池では、電解
質と燃料極との熱膨張率が異なるため、使用中の大きな
熱負荷（約１０００℃）により、電解質と燃料極との界
面に熱応力が作用し、電解質と燃料極とが剥離して作動
効率を低下させてしまう虞があった。
【０００５】そこで、本発明は、多大な熱負荷を受けて
も電解質から剥離することのない固体酸化物燃料電池の
電極およびその形成方法を提供することを目的とした。
も電解質から剥離することのない固体酸化物燃料電池の
電極およびその形成方法を提供することを目的とした。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
ための、本発明による固体酸化物燃料電池の電極は、Ｙ
ＳＺからなる電解質の表面に形成され、Ｎｉ／ＹＳＺの
サーメットからなる固体酸化物燃料電池の電極であっ
て、ＹＳＺの含有量が上記電解質側ほど増大しているこ
とを特徴とする。
ための、本発明による固体酸化物燃料電池の電極は、Ｙ
ＳＺからなる電解質の表面に形成され、Ｎｉ／ＹＳＺの
サーメットからなる固体酸化物燃料電池の電極であっ
て、ＹＳＺの含有量が上記電解質側ほど増大しているこ
とを特徴とする。
【０００７】上述した固体酸化物燃料電池の電極におい
ては、前記電解質との界面がミキシングされていること
を特徴とする。
ては、前記電解質との界面がミキシングされていること
を特徴とする。
【０００８】一方、前述した課題を解決するための、本
発明による固体酸化物燃料電池の電極の形成方法は、Ｙ
ＳＺからなる電解質の表面へ向けてＹＳＺおよびＮｉを
蒸着して当該電解質の表面にＮｉ／ＹＳＺのサーメット
からなる電極を形成する固体酸化物燃料電池の電極の形
成方法であって、上記Ｎｉに対する上記ＹＳＺの単位時
間当たりの相対的な蒸着量を次第に減少させる一方、上
記ＹＳＺに対する上記Ｎｉの単位時間当たりの相対的な
蒸着量を次第に増加させるようにして上記蒸着を行うこ
とを特徴とする。
発明による固体酸化物燃料電池の電極の形成方法は、Ｙ
ＳＺからなる電解質の表面へ向けてＹＳＺおよびＮｉを
蒸着して当該電解質の表面にＮｉ／ＹＳＺのサーメット
からなる電極を形成する固体酸化物燃料電池の電極の形
成方法であって、上記Ｎｉに対する上記ＹＳＺの単位時
間当たりの相対的な蒸着量を次第に減少させる一方、上
記ＹＳＺに対する上記Ｎｉの単位時間当たりの相対的な
蒸着量を次第に増加させるようにして上記蒸着を行うこ
とを特徴とする。
【０００９】上述した固体酸化物燃料電池の電極の形成
方法においては、前記電解質へ向けてＡｒガスイオンを
照射しながら前記蒸着を行うことを特徴とする。
方法においては、前記電解質へ向けてＡｒガスイオンを
照射しながら前記蒸着を行うことを特徴とする。
【００１０】上述した固体酸化物燃料電池の電極の形成
方法においては、前記電解質へ向けてＯ2 ガスイオンを
照射しながら前記蒸着を行うことを特徴とする。
方法においては、前記電解質へ向けてＯ2 ガスイオンを
照射しながら前記蒸着を行うことを特徴とする。
【００１１】上述した固体酸化物燃料電池の電極の形成
方法においては、前記電解質の表面に対して直交する方
向に沿って前記ガスイオンを照射することを特徴とす
る。
方法においては、前記電解質の表面に対して直交する方
向に沿って前記ガスイオンを照射することを特徴とす
る。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明による固体酸化物燃料電池
の電極およびその形成方法の実施の形態を図１，２を用
いて説明する。なお、図１は、その電極の周辺部分の抽
出拡大断面図、図２は、その電極を形成する際に使用す
る装置の概略構成図である。
の電極およびその形成方法の実施の形態を図１，２を用
いて説明する。なお、図１は、その電極の周辺部分の抽
出拡大断面図、図２は、その電極を形成する際に使用す
る装置の概略構成図である。
【００１３】図１に示すように、ＹＳＺからなる電解質
である基板１の一方の表面には、Ｎｉ／ＹＳＺからなる
サーメットの電極である燃料極２が形成されており、当
該燃料極２は、基板１側ほどＹＳＺの含有量が増大する
ような組成比をなすと共に、基板１との界面が混在する
ようにミキシングされている。
である基板１の一方の表面には、Ｎｉ／ＹＳＺからなる
サーメットの電極である燃料極２が形成されており、当
該燃料極２は、基板１側ほどＹＳＺの含有量が増大する
ような組成比をなすと共に、基板１との界面が混在する
ようにミキシングされている。
【００１４】このため、燃料極２の熱膨張率が基板１側
ほど基板１の熱膨張率に近似するような特性を示すと共
に、基板１と燃料極２との界面間が強い結合力で密着す
るようになる。
ほど基板１の熱膨張率に近似するような特性を示すと共
に、基板１と燃料極２との界面間が強い結合力で密着す
るようになる。
【００１５】したがって、上述したような固体酸化物燃
料電池の電極によれば、使用中に多大な熱負荷（約１０
００℃）が加わっても、基板１と燃料極２との界面に作
用する熱応力が著しく小さくなると共に、当該界面間が
強力に密着しているので、基板１と燃料極２とが非常に
剥離しにくくなり、作動効率を向上させることができ
る。
料電池の電極によれば、使用中に多大な熱負荷（約１０
００℃）が加わっても、基板１と燃料極２との界面に作
用する熱応力が著しく小さくなると共に、当該界面間が
強力に密着しているので、基板１と燃料極２とが非常に
剥離しにくくなり、作動効率を向上させることができ
る。
【００１６】次に、上述したような電極の形成方法を図
２を用いて説明する。図２において、２１は電子ビーム
蒸着器であり、当該電子ビーム蒸着器２１は、その貯溜
部にＹＳＺ１１とＮｉ１２とを各々個別に貯溜できると
共に、電子ビーム２１ａにより、これらＹＳＺ１１とＮ
ｉ１２とを各々個別に加熱してＹＳＺ蒸着流１１ａとＮ
ｉ蒸着流１２ａとを基板１へ向けて各々個別に蒸着させ
ることができるようになっている。２２はイオン銃であ
り、当該イオン銃２２は、Ａｒイオンビーム１３および
Ｏ2 イオンビーム１４を発生させて、これらビーム１
３，１４を基板１の垂線に沿わせるようにして、すなわ
ち、基板１の表面に対して直交する方向に沿って当該基
板１の表面へ向けて照射することができるようになって
いる。なお、基板１、電子ビーム蒸着器２１などは、図
示しない真空チャンバ内に設置され、イオン銃２２は、
上記真空チャンバ内の基板１に上記イオンビーム１３，
１４を照射できるように当該真空チャンバに連結されて
いる。
２を用いて説明する。図２において、２１は電子ビーム
蒸着器であり、当該電子ビーム蒸着器２１は、その貯溜
部にＹＳＺ１１とＮｉ１２とを各々個別に貯溜できると
共に、電子ビーム２１ａにより、これらＹＳＺ１１とＮ
ｉ１２とを各々個別に加熱してＹＳＺ蒸着流１１ａとＮ
ｉ蒸着流１２ａとを基板１へ向けて各々個別に蒸着させ
ることができるようになっている。２２はイオン銃であ
り、当該イオン銃２２は、Ａｒイオンビーム１３および
Ｏ2 イオンビーム１４を発生させて、これらビーム１
３，１４を基板１の垂線に沿わせるようにして、すなわ
ち、基板１の表面に対して直交する方向に沿って当該基
板１の表面へ向けて照射することができるようになって
いる。なお、基板１、電子ビーム蒸着器２１などは、図
示しない真空チャンバ内に設置され、イオン銃２２は、
上記真空チャンバ内の基板１に上記イオンビーム１３，
１４を照射できるように当該真空チャンバに連結されて
いる。
【００１７】このような装置を用いて上述したような電
極を形成するには、前記真空チャンバ内を真空環境（５
×１０-3Torr以下、好ましくは８×１０-5Torr程度）に
した後、イオン銃２２を作動し、Ａｒイオンビーム１３
およびＯ2 イオンビーム１４を発生させて（加速電圧：
４０ｋｅＶ）、これらビーム１３，１４を基板１の垂線
に沿わせるようにして当該基板１の表面へ向けて照射す
る一方、電子ビーム蒸着器２１を作動し、ＹＳＺ１１お
よびＮｉ１２を加熱して、ＹＳＺ蒸着流１１ａおよびＮ
ｉ蒸着流１２ａを発生させてこれら蒸着流１１ａ，１２
ａを基板１に蒸着させることにより、基板１上にＮｉ／
ＹＳＺからなるサーメットの燃料極２が形成される。
極を形成するには、前記真空チャンバ内を真空環境（５
×１０-3Torr以下、好ましくは８×１０-5Torr程度）に
した後、イオン銃２２を作動し、Ａｒイオンビーム１３
およびＯ2 イオンビーム１４を発生させて（加速電圧：
４０ｋｅＶ）、これらビーム１３，１４を基板１の垂線
に沿わせるようにして当該基板１の表面へ向けて照射す
る一方、電子ビーム蒸着器２１を作動し、ＹＳＺ１１お
よびＮｉ１２を加熱して、ＹＳＺ蒸着流１１ａおよびＮ
ｉ蒸着流１２ａを発生させてこれら蒸着流１１ａ，１２
ａを基板１に蒸着させることにより、基板１上にＮｉ／
ＹＳＺからなるサーメットの燃料極２が形成される。
【００１８】ここで、ＹＳＺ１１およびＮｉ１２の蒸着
を行うにあたって、Ｎｉ１２に対するＹＳＺ１１の単位
時間当たりの相対的な蒸着量を次第に減少させる一方、
ＹＳＺ１１に対するＮｉ１２の単位時間当たりの相対的
な蒸着量を次第に増加させるようにする、具体的には、
例えば、ＹＳＺ蒸着流１１ａの蒸着速度を次第に減少す
るように調整（１→０．５ｎｍ／ｓ）すると共に、Ｎｉ
蒸着流１２ａの蒸着速度を次第に増加するように調整
（０．５→１．５ｎｍ／ｓ）する。これにより、基板１
に対する単位時間当たりのＹＳＺ１１の蒸着量が次第に
減少し、Ｎｉ１２の蒸着量が次第に増加するようになる
ので、基板１上に形成される上記燃料極２は、基板１側
ほどＹＳＺの含有量が増大した組成となる。
を行うにあたって、Ｎｉ１２に対するＹＳＺ１１の単位
時間当たりの相対的な蒸着量を次第に減少させる一方、
ＹＳＺ１１に対するＮｉ１２の単位時間当たりの相対的
な蒸着量を次第に増加させるようにする、具体的には、
例えば、ＹＳＺ蒸着流１１ａの蒸着速度を次第に減少す
るように調整（１→０．５ｎｍ／ｓ）すると共に、Ｎｉ
蒸着流１２ａの蒸着速度を次第に増加するように調整
（０．５→１．５ｎｍ／ｓ）する。これにより、基板１
に対する単位時間当たりのＹＳＺ１１の蒸着量が次第に
減少し、Ｎｉ１２の蒸着量が次第に増加するようになる
ので、基板１上に形成される上記燃料極２は、基板１側
ほどＹＳＺの含有量が増大した組成となる。
【００１９】また、上記蒸着を行うにあたって、基板１
の表面へ向けてＡｒイオンビーム１３を照射しているの
で、原子半径の大きいＡｒ+ により基板１と上記蒸着物
との界面がミキシングされる。
の表面へ向けてＡｒイオンビーム１３を照射しているの
で、原子半径の大きいＡｒ+ により基板１と上記蒸着物
との界面がミキシングされる。
【００２０】したがって、上述したように形成すれば、
基板１側ほどＹＳＺの含有量が増大するような組成比を
なすと共に、基板１と上記蒸着物との界面が混在するよ
うにミキシングした燃料極２を容易に得ることができ
る。
基板１側ほどＹＳＺの含有量が増大するような組成比を
なすと共に、基板１と上記蒸着物との界面が混在するよ
うにミキシングした燃料極２を容易に得ることができ
る。
【００２１】また、上述した蒸着を行うにあたって、基
板１の表面へ向けてＯ2 イオンビーム１４を照射してい
るので、当該蒸着時にＹＳＺに生じてしまう酸素欠損を
補うことができ、燃料極２の性能の低下を防止すること
ができる。
板１の表面へ向けてＯ2 イオンビーム１４を照射してい
るので、当該蒸着時にＹＳＺに生じてしまう酸素欠損を
補うことができ、燃料極２の性能の低下を防止すること
ができる。
【００２２】また、上記蒸着を行うにあたって、基板１
の垂線に沿うようにして、すなわち、基板１の表面に対
して直交する方向に沿って前記イオンビーム１３，１４
を基板１へ向けて照射しているので、基板１上に形成さ
れる燃料極２を当該イオンビーム１３，１４によって燃
料ガスの透過しやすいポーラスな状態に仕上げることが
でき、燃料極２の性能を向上させることができる。
の垂線に沿うようにして、すなわち、基板１の表面に対
して直交する方向に沿って前記イオンビーム１３，１４
を基板１へ向けて照射しているので、基板１上に形成さ
れる燃料極２を当該イオンビーム１３，１４によって燃
料ガスの透過しやすいポーラスな状態に仕上げることが
でき、燃料極２の性能を向上させることができる。
【００２３】なお、本実施の形態では、ＹＳＺ蒸着流１
１ａの蒸着速度を次第に減少するように調整すると共
に、Ｎｉ蒸着流１２ａの蒸着速度を次第に増加するよう
に調整することにより、Ｎｉ１２に対するＹＳＺ１１の
単位時間当たりの相対的な蒸着量を次第に減少させる一
方、ＹＳＺ１１に対するＮｉ１２の単位時間当たりの相
対的な蒸着量を次第に増加させるようにしたが、ＹＳＺ
蒸着流の蒸着速度を変えることなくＮｉ蒸着流の蒸着速
度を次第に増加するように調整したり、Ｎｉ蒸着流の蒸
着速度を変えることなくＹＳＺ蒸着流の蒸着速度を次第
に減少するように調整したりすることにより、Ｎｉに対
するＹＳＺの単位時間当たりの相対的な蒸着量を次第に
減少させる一方、ＹＳＺに対するＮｉの単位時間当たり
の相対的な蒸着量を次第に増加させるようにしてもよ
い。
１ａの蒸着速度を次第に減少するように調整すると共
に、Ｎｉ蒸着流１２ａの蒸着速度を次第に増加するよう
に調整することにより、Ｎｉ１２に対するＹＳＺ１１の
単位時間当たりの相対的な蒸着量を次第に減少させる一
方、ＹＳＺ１１に対するＮｉ１２の単位時間当たりの相
対的な蒸着量を次第に増加させるようにしたが、ＹＳＺ
蒸着流の蒸着速度を変えることなくＮｉ蒸着流の蒸着速
度を次第に増加するように調整したり、Ｎｉ蒸着流の蒸
着速度を変えることなくＹＳＺ蒸着流の蒸着速度を次第
に減少するように調整したりすることにより、Ｎｉに対
するＹＳＺの単位時間当たりの相対的な蒸着量を次第に
減少させる一方、ＹＳＺに対するＮｉの単位時間当たり
の相対的な蒸着量を次第に増加させるようにしてもよ
い。
【００２４】
【発明の効果】本発明の固体酸化物燃料電池の電極によ
れば、使用中に多大な熱負荷が加わっても、電解質と電
極との界面に作用する熱応力が著しく小さくなると共
に、当該界面間が強力に密着しているので、電解質と電
極とが非常に剥離しにくくなり、作動効率を向上させる
ことができる。
れば、使用中に多大な熱負荷が加わっても、電解質と電
極との界面に作用する熱応力が著しく小さくなると共
に、当該界面間が強力に密着しているので、電解質と電
極とが非常に剥離しにくくなり、作動効率を向上させる
ことができる。
【００２５】また、本発明の固体酸化物燃料電池の電極
の形成方法によれば、上述したような効果の得られる固
体酸化物燃料電池の電極を容易に形成することができ
る。
の形成方法によれば、上述したような効果の得られる固
体酸化物燃料電池の電極を容易に形成することができ
る。
【００２６】また、上述の形成方法を実施するにあたっ
て、電解質の表面へ向けてＯ2 イオンを照射することに
より、蒸着時にＹＳＺに生じてしまう酸素欠損を補うこ
とができ、電極の性能の低下を防止することができる。
て、電解質の表面へ向けてＯ2 イオンを照射することに
より、蒸着時にＹＳＺに生じてしまう酸素欠損を補うこ
とができ、電極の性能の低下を防止することができる。
【００２７】また、上述の形成方法を実施するにあたっ
て、電解質の表面に対して直交する方向に沿ってイオン
ガスを電解質へ向けて照射することにより、電解質の表
面に形成される電極を当該イオンガスによって気体透過
性の高いポーラスな状態に仕上げることができ、電極の
性能を向上させることができる。
て、電解質の表面に対して直交する方向に沿ってイオン
ガスを電解質へ向けて照射することにより、電解質の表
面に形成される電極を当該イオンガスによって気体透過
性の高いポーラスな状態に仕上げることができ、電極の
性能を向上させることができる。
【図１】本発明による固体酸化物燃料電池の電極の実施
の形態の周辺部分の抽出拡大断面図である。
の形態の周辺部分の抽出拡大断面図である。
【図２】本発明による固体酸化物燃料電池の電極の形成
方法の実施に使用する装置の概略構成図である。
方法の実施に使用する装置の概略構成図である。
１ 基板（電解質） ２ 燃料極 １１ ＹＳＺ １１ａ ＹＳＺ蒸着流 １２ Ｎｉ １２ａ Ｎｉ蒸着流 １３ Ａｒイオンビーム １４ Ｏ2 イオンビーム ２１ 電子ビーム蒸着器 ２１ａ 電子ビーム ２２ イオン銃
Claims (6)
- 【請求項１】 ＹＳＺからなる電解質の表面に形成さ
れ、Ｎｉ／ＹＳＺのサーメットからなる固体酸化物燃料
電池の電極であって、ＹＳＺの含有量が上記電解質側ほ
ど増大していることを特徴とする固体酸化物燃料電池の
電極。 - 【請求項２】 前記電解質との界面がミキシングされて
いることを特徴とする請求項１に記載の固体酸化物燃料
電池の電極。 - 【請求項３】 ＹＳＺからなる電解質の表面へ向けてＹ
ＳＺおよびＮｉを蒸着して当該電解質の表面にＮｉ／Ｙ
ＳＺのサーメットからなる電極を形成する固体酸化物燃
料電池の電極の形成方法であって、上記Ｎｉに対する上
記ＹＳＺの単位時間当たりの相対的な蒸着量を次第に減
少させる一方、上記ＹＳＺに対する上記Ｎｉの単位時間
当たりの相対的な蒸着量を次第に増加させるようにして
上記蒸着を行うことを特徴とする固体酸化物燃料電池の
電極の形成方法。 - 【請求項４】 前記電解質へ向けてＡｒガスイオンを照
射しながら前記蒸着を行うことを特徴とする請求項３に
記載の固体酸化物燃料電池の電極の形成方法。 - 【請求項５】 前記電解質へ向けてＯ2 ガスイオンを照
射しながら前記蒸着を行うことを特徴とする請求項３ま
たは４に記載の固体酸化物燃料電池の電極の形成方法。 - 【請求項６】 前記電解質の表面に対して直交する方向
に沿って前記ガスイオンを照射することを特徴とする請
求項４または５に記載の固体酸化物燃料電池の電極の形
成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8169247A JPH1021933A (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | 固体酸化物燃料電池の電極およびその形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8169247A JPH1021933A (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | 固体酸化物燃料電池の電極およびその形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1021933A true JPH1021933A (ja) | 1998-01-23 |
Family
ID=15882979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8169247A Withdrawn JPH1021933A (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | 固体酸化物燃料電池の電極およびその形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1021933A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6080283A (en) * | 1997-11-25 | 2000-06-27 | Eveready Battery Company, Inc. | Plasma treatment for metal oxide electrodes |
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