IT1319141B1 - Unita' di accelerazione e focalizzazione, a vuoto migliorato, diimpiantatori ionici per la produzione di dispositivi a semiconduttore - Google Patents

Unita' di accelerazione e focalizzazione, a vuoto migliorato, diimpiantatori ionici per la produzione di dispositivi a semiconduttore

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IT1319141B1
IT1319141B1 ITMI20002558A IT1319141B1 IT 1319141 B1 IT1319141 B1 IT 1319141B1 IT MI20002558 A ITMI20002558 A IT MI20002558A IT 1319141 B1 IT1319141 B1 IT 1319141B1
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Marco Amiotti
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/317—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
    • H01J37/3171—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation for ion implantation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J7/00—Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J7/14—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H01J7/18—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering

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