RU2495371C2 - Устройство и способ трехмерного оптического обмера сильно отражающих или прозрачных объектов - Google Patents

Устройство и способ трехмерного оптического обмера сильно отражающих или прозрачных объектов Download PDF

Info

Publication number
RU2495371C2
RU2495371C2 RU2011123399/28A RU2011123399A RU2495371C2 RU 2495371 C2 RU2495371 C2 RU 2495371C2 RU 2011123399/28 A RU2011123399/28 A RU 2011123399/28A RU 2011123399 A RU2011123399 A RU 2011123399A RU 2495371 C2 RU2495371 C2 RU 2495371C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pattern
infrared radiation
projection
infrared
projection device
Prior art date
Application number
RU2011123399/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2011123399A (ru
Inventor
Давид НАБС
Кай ГЕНЗЕККЕ
Original Assignee
Аймесс Сервисес Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Аймесс Сервисес Гмбх filed Critical Аймесс Сервисес Гмбх
Publication of RU2011123399A publication Critical patent/RU2011123399A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2495371C2 publication Critical patent/RU2495371C2/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G01B11/2513Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object with several lines being projected in more than one direction, e.g. grids, patterns
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относится к устройствам трехмерного обмера объектов при помощи топометрического способа измерения. Устройство для трехмерного обмера объекта включает первое проекционное устройство, содержащее первый источник инфракрасного излучения для проецирования на объект подвижного первого узора, причем проецируемый узор проявляется на объекте в виде распределения нагревания; по меньшей мере одно съемочное устройство для съемки изображений распределения нагревания, проявляющееся на объекте, в инфракрасной области спектра; а также анализирующее устройство для анализа изображений, снятых съемочным устройством, и определения формы поверхности объекта. Способ трехмерного обмера объекта включает проецирование первого инфракрасного узора на объект при помощи первого проекционного устройства; съемку изображений распределения нагревания объекта при помощи по меньшей мере одного съемочного устройства, чувствительного к инфракрасному излучению, при этом узор между снимками смещают; анализ изображений при помощи топометрического способа анализа и определение формы поверхности объекта. Технический результат заключается в обеспечении возможности увеличения контраста проецируемого узора на прозрачных для видимого света или сильно отражающих свет объектах. 2 н. и 12 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ, К КОТОРОЙ ОТНОСИТСЯ ИЗОБРЕТЕНИЕ
Изобретение относится к устройству и способу трехмерного обмера объектов при помощи телеметрического способа измерения.
УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ
Трехмерная регистрация поверхностей объектов при помощи оптических триангуляционных датчиков согласно принципу топометрии в достаточной степени известна. Для этого, например, на обмеряемый объект проецируют различные содержащие полосы узоры, производят наблюдение при помощи одной или нескольких камер, а затем анализируют при помощи компьютера. Способами анализа являются, например, способ сдвига фаз, использование кодированного света или гетеродинный способ.
Проецирующее устройство последовательно во времени освещает обмеряемый объект узорами с параллельными светлыми и темными полосами одинаковой или различной ширины. В зависимости от формы объекта и направления взгляда проецируемый содержащий полосы узор деформируется. По меньшей мере одна камера регистрирует проецируемый содержащий полосы узор под определенным углом зрения по отношению к направлению проецирования. Для каждого проецируемого узора при помощи каждой камеры делают снимок. Для анализа измерений решающей является граничная линия (кромка) между светлой и темной полосами.
Чтобы обмерить весь объект, узор перемещают по объекту, т.е. сканируют. Таким образом, для каждой точки изображения каждой камеры возникает временная последовательность различных значений яркости. Для данной точки объекта известны координаты изображения на снимке камеры. На основании последовательности уровней яркости, которые измеряют из последовательности изображений для каждой точки снимка камеры, может быть вычислен номер полосы. В простейшем случае это осуществляют посредством двоичного кода, например, кода Грея, который обозначает номер полосы в виде дискретной координаты в проецирующем устройстве.
Более высокая точность может быть достигнута при помощи так называемого способа сдвига фаз, так как указанным способом можно определять координату, не являющуюся дискретной, при этом положение фазы модулированного сигнала определяют путем измерений интенсивности в точке за точкой. При этом в то время, когда измеряют интенсивность в одной точке, положение фазы сигнала по меньшей мере дважды сдвигают на определенную величину. На основании по меньшей мере трех измеренных значений может быть вычислено положение фазы. Способ сдвига фаз может применяться в качестве дополнения к коду Грея или в качестве производящего абсолютные измерения гетеродинного способа (с несколькими длинами волн).
Основы и практическое применение таких топометрических способов измерения подробно описаны, например в книге: Bernd Breuckmann: "Bildverarbeitung und optische Messtechnik in der industriellen Praxis", 1993, Franzis-Verlag GmbH, Munchen.
Если необходимо обмерить объекты, которые являются сильно отражающими, например окрашенный кузов автомобиля, или которые прозрачны для видимого света, например стеклянные поверхности, то предшествующие измерительные системы, базирующиеся на проецировании полос, не в состоянии топометрически регистрировать такие объекты, так как на поверхности таких объектов проецируемые узоры не видны.
Из DE 20216852 U1 известен способ проверки сильно отражающих поверхностей, благодаря которому посредством рефлектометрии или дефлектомерии можно определять, например, выпуклости или углубления. Однако вследствие самого принципа измерения известное устройство оказывается непригодным для регистрации объекта с достаточной точностью или с необходимым разрешением, так как поперечное разрешение является слишком низким.
Качество результатов измерения при трехмерном обмере объектов посредством проецирования полос сильно зависит от контраста проекции по отношению к окружающему свету.
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Принимая во внимание недостатки предшествующего уровня техники, в основе изобретения лежит задача предложить устройство для трехмерного оптического обмера объектов, прозрачных для видимого света или сильно отражающих свет, при помощи топометрического способа измерения, которое обеспечивает хороший контраст проецируемого узора на объектах.
Указанная задача решена посредством устройства по п.1 и способа по п.10 формулы изобретения.
Устройство согласно изобретению для трехмерного обмера объекта содержит первое проекционное устройство, содержащее первый источник инфракрасного излучения для проецирования подвижного первого узора на объект, и по меньшей мере одно съемочное устройство для съемки изображений объекта в инфракрасном диапазоне спектра.
Применение инфракрасного излучения для проецирования узора имеет преимущество, заключающееся в том, что проецируемый узор проявляется на обмеряемом объекте в виде распределения нагревания, то есть соответствующие поверхности объекта, облучаемые инфракрасным излучением проекционного устройства, отличаются от необлучаемых таким способом поверхностей объекта разностью температур. Эта разность температур проявляется, в свою очередь, в различной интенсивности излучения в инфракрасном диапазоне длин волн, в частности, в так называемом тепловом излучении, которое может быть снято, например, посредством инфракрасной камеры.
При этом следует принять во внимание, что диапазон длин волн излучаемого инфракрасного узора не обязательно совпадает с диапазоном длин волн, которые излучает объект. То же самое относится к диапазону длин волн, в котором чувствительно съемочное устройство.
Проецируемый узор может быть выполнен, в частности, точечным, линейным или двухмерным.
Одно усовершенствование устройства согласно изобретению состоит в том, что оно может включать в себя второе проекционное устройство, содержащее второй источник инфракрасного излучения для проецирования второго подвижного узора на объект. Таким способом могут быть получены комбинации первого и второго узоров, причем, в частности, второе проекционное устройство может быть расположено таким образом, что второй узор проецируется в другом направлении и под другим углом.
Следующее усовершенствование состоит в том, что первый источник инфракрасного излучения первого проекционного устройства имеет первую излучающую поверхность и/или второй источник инфракрасного излучения второго проекционного устройства может иметь при этом вторую излучающую поверхность. Благодаря высокой излучающей способности нагретой излучающей поверхности вырабатываемое тепло быстро и эффективно выпускается в виде инфракрасного излучения.
Следующее усовершенствование состоит в том, что соответствующая излучающая поверхность выполнена с возможностью нагревания посредством соответствующего резистивного нагревателя. Посредством электрического нагревания обеспечена возможность быстрого прямого модулирования инфракрасного излучения.
Следующее усовершенствование состоит в том, что соответствующая излучающая поверхность сама может задавать проецируемый узор или соответствующий узор может быть задан посредством соответствующего узорчатого элемента, содержащего проницаемые и непроницаемые для инфракрасного излучения поверхности, причем соответствующий узорчатый элемент может быть расположен между соответствующей излучающей поверхностью и объектом.
Следующее усовершенствование состоит в том, что соответствующий узор содержит полосы. Преимущество состоит в том, что кромка между полосами является прямой линией, деформирование которой на объекте может быть снято при помощи съемочного устройства.
Следующее усовершенствование состоит в том, что устройство дополнительно может содержать анализирующее устройство для анализа изображений, снятых при помощи съемочного устройства. Это анализирующее устройство может быть реализовано, например, при помощи вычислительного блока, который выполняет соответствующую программу топометрического анализа снятых изображений. В частности, например, на основании деформации линейной кромки можно вычислить соответствующую форму поверхности объекта.
Следующее усовершенствование состоит в том, что соответствующее проекционное устройство может содержать цилиндр, имеющий излучающую поверхность и выполненный с возможностью вращения вокруг своей оси. Преимущество состоит в том, что подвижный узор (например, содержащий полосы узор излучающей поверхности или узорчатого элемента) может проецироваться на объект простым образом.
Следующее усовершенствование состоит в том, что съемочное устройство может быть чувствительным к инфракрасному излучению с длиной волны в диапазоне от 1 мкм до 1 мм, предпочтительно в диапазоне от 3 мкм до 50 мкм, более предпочтительно в диапазоне от 3 мкм до 15 мкм и наиболее предпочтительно в диапазоне от 3 мкм до 5 мкм или от 8 мкм до 14 мкм. В частности, это обеспечивает возможность применения инфракрасных камер, которые используют для термографии, и которые являются чувствительными в среднем инфракрасном диапазоне (3-15 мкм). Для спектральной области от 8 до 14 мкм могут применяться, например, детекторы на основе арсенида галлия или на основе теллуридов кадмия и ртути.
Кроме того, упомянутая выше задача решена согласно изобретению посредством способа трехмерного обмера объекта, включающего в себя следующие шаги: проецирование первого инфракрасного узора на объект посредством первого проекционного устройства, содержащего первый источник инфракрасного излучения; и съемку изображений объекта при помощи по меньшей мере одного съемочного устройства, чувствительного к инфракрасному излучению; при этом между снимками узор смещают.
Одно усовершенствование способа согласно изобретению состоит в том, что он может включать в себя дополнительный шаг - проецирование второго инфракрасного узора на объект при помощи второго проекционного устройства, содержащего второй источник инфракрасного излучения.
Следующее усовершенствование состоит в том, что соответствующий узор может содержать полосы.
Следующее усовершенствование состоит в том, что каждый узор может перемещаться по объекту при помощи соответствующего проекционного устройства с соответствующей заданной скоростью. Таким образом объект сканируют, причем при помощи съемочного устройства (камеры) производят смещенные по времени снимки.
Следующее усовершенствование состоит в том, что соответствующее проекционное устройство может содержать цилиндр, имеющий соответствующую излучающую поверхность и выполненный с возможностью вращения вокруг своей оси.
Следующее усовершенствование состоит в том, что по меньшей мере одно съемочное устройство может быть приведено в действие посредством проекционного устройства. Таким способом могут быть образованы определенные последовательности комбинаций узоров, проецируемых на поверхность.
Следующее усовершенствование состоит в том, что способ может включать в себя дополнительный шаг - анализ изображений, снятых съемочным устройством, при помощи анализирующего устройства с использованием топометрического способа анализа. Таким образом может подвергаться анализу трехмерная структура поверхности объекта.
Различные усовершенствования могут применяться независимо друг от друга или в комбинации друг с другом.
Следующие предпочтительные варианты осуществления изобретения описаны ниже со ссылками на чертежи.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ
Фиг.1 - первый вариант осуществления устройства согласно изобретению,
фиг.2 - второй вариант осуществления устройства согласно изобретению.
ОСУЩЕСТВЛЕНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
На фиг.1 показан первый вариант осуществления согласно изобретению устройства для трехмерного оптического обмера прозрачного или сильно отражающего объекта 5 при помощи телеметрического способа измерений, которое содержит по меньшей мере одно проецирующее устройство 1 с высокой интенсивностью инфракрасного излучения, которое необходимо для получения хороших условий контрастности.
Источник 1а инфракрасного излучения проецирующего устройства 1 имеет в основе резистивный нагреватель, который нагревает излучающую поверхность 1а. Благодаря высокой излучающей способности нагретой излучающей поверхности вырабатываемое тепло быстро и эффективно выпускается в виде инфракрасного излучения. Кроме того, при помощи электрического нагрева обеспечена возможность быстрой прямой модуляции инфракрасного излучения. При этом в данном примере излучающая поверхность непосредственно образует проецируемый содержащий полосы узор. Другая возможность заключается в том, что между излучающей поверхностью и объектом располагают маску с узором.
Так как содержащий полосы узор должен перемещаться по поверхности объекта 5, то устройство согласно изобретению содержит подвижный содержащий полосы узор, который, например, имеет форму цилиндра 1, имеющего излучающую поверхность и выполненного с возможностью вращения вокруг своей оси.
Объект 5 с проецируемым узором снимают при помощи инфракрасной камеры 3. Сигналы или данные от камеры затем подают в анализирующее устройство 4 (например, компьютер), в котором выполняется программа топометрического анализа.
В зависимости от материала объекта 5 и его теплопроводности интенсивность инфракрасного излучения проекционного устройства 1 может быть выбрана таким образом, чтобы разность температур с одной стороны, была достаточно велика, чтобы зарегистрировать кромку (различие) между облучаемой и необлучаемой поверхностями при помощи съемочного устройства (камеры) 3, а с другой стороны, достаточно мала, чтобы указанная кромка во время съемки существенно не размывалась вследствие тепловой диффузии. Это основано на том, что продолжительность тепловой диффузии по существу обратно пропорциональна разности температур. При выборе подходящей интенсивности инфракрасного излучения и подходящей продолжительности между ближайшими по времени снимками может быть достигнут хороший уровень контраста между облучаемыми и необлучаемыми областями объекта.
На фиг.2 показан второй вариант осуществления устройства согласно изобретению. Одинаковые элементы обозначены на фиг.1 и фиг.2 одинаковыми номерами позиций.
По сравнению с первым вариантом осуществления изобретения согласно фиг.1, второй вариант содержит второе проецирующее устройство 2, также в форме цилиндра. Два излучающих цилиндра, вращающиеся под определенным углом по отношению друг к другу, проецируют узоры на поверхность объекта. Причем каждый цилиндр вращается вокруг своей оси с определенной скоростью. Образующийся вследствие чего проецируемый узор обладает свойствами, которые позволяют произвести анализ быстрее и с более высоким разрешением. Например, на поверхности возникают специфические узоры, которые зависят от скорости вращения и от угла между цилиндрами 1, 2, и которые могут быть определенным образом подобраны, чтобы получить возможность лучшего анализа специфических особенностей поверхностей объекта.
Кроме того, камера 3 (съемочное устройство) приводится в действие посредством проецирующих устройств 1, 2 таким образом, что вариация приведения в действие проецирующего устройства достаточна для того, чтобы можно было анализировать дополнительные специфические узоры на поверхности.

Claims (14)

1. Устройство для трехмерного обмера объекта (5), содержащее
первое проекционное устройство (1), содержащее первый источник (1а) инфракрасного излучения для проецирования на объект подвижного первого узора, причем проецируемый первый узор проявляется на обмеряемом объекте в виде распределения нагревания, и
по меньшей мере одно съемочное устройство (3) для съемки изображений распределения нагревания, проявляющегося на объекте, в инфракрасной области спектра, и
анализирующее устройство (4) для анализа изображений, снятых съемочным устройством, и определения соответствующей формы поверхности объекта.
2. Устройство по п.1, содержащее второе проекционное устройство (2), содержащее второй источник (2а) инфракрасного излучения для проецирования второго подвижного узора на объект.
3. Устройство по п.2, в котором первый источник инфракрасного излучения первого проекционного устройства имеет первую излучающую поверхность, и/или второй источник инфракрасного излучения второго проекционного устройства имеет вторую излучающую поверхность.
4. Устройство по п.3, в котором соответствующая излучающая поверхность выполнена с возможностью нагревания посредством соответствующего резистивного нагревателя.
5. Устройство по п.3 или 4, в котором соответствующая излучающая поверхность сама задает проецируемый узор, или соответствующий узор задан посредством соответствующего узорчатого элемента, содержащего проницаемые и непроницаемые для инфракрасного излучения поверхности, причем соответствующий узорчатый элемент расположен между соответствующей излучающей поверхностью и объектом.
6. Устройство по пп.1-4, в котором соответствующий узор является содержащим полосы узором.
7. Устройство по пп.3 и 4, в котором соответствующее проекционное устройство содержит цилиндр, имеющий излучающую поверхность, причем указанный цилиндр выполнен с возможностью вращения вокруг своей оси.
8. Устройство по пп.1-4, в котором съемочное устройство является чувствительным к инфракрасному излучению с длиной волны в диапазоне от 1 мкм до 1 мм, предпочтительно в диапазоне от 3 мкм до 50 мкм, более предпочтительно в диапазоне от 3 мкм до 15 мкм и наиболее предпочтительно в диапазоне от 3 мкм до 5 мкм или от 8 мкм до 14 мкм.
9. Способ трехмерного обмера объекта (5), включающий в себя следующие шаги:
проецирование первого инфракрасного узора на объект при помощи первого проекционного устройства (1), содержащего первый источник (1а) инфракрасного излучения, причем проецируемый первый узор проявляется на обмеряемом объекте в виде распределения нагревания;
съемку изображений распределения нагревания, проявляющегося на объекте, при помощи по меньшей мере одного съемочного устройства (3), чувствительного к инфракрасному излучению,
причем узор между снимками смещают, а способ дополнительно включает анализ изображений, снятых при помощи съемочного устройства, в анализирующем устройстве (4) при помощи топометрического способа анализа и определение соответствующей формы поверхности объекта.
10. Способ по п.9, включающий в себя дополнительный шаг:
проецирование второго инфракрасного узора на объект при помощи второго проекционного устройства (2), содержащего второй источник (2а) инфракрасного излучения.
11. Способ по п.10, в котором соответствующим узором является содержащий полосы узор.
12. Способ по п.10 или 11, в котором каждый узор перемещают по объекту при помощи соответствующего проекционного устройства с соответствующей заданной скоростью.
13. Способ по п.12, в котором соответствующее проекционное устройство содержит цилиндр, имеющий излучающую поверхность, причем указанный цилиндр выполнен с возможностью вращения вокруг своей оси.
14. Способ по пп.10, 11 или 13, в котором по меньшей мере одно съемочное устройство приводят в действие посредством указанных проекционных устройств.
RU2011123399/28A 2008-12-19 2009-05-07 Устройство и способ трехмерного оптического обмера сильно отражающих или прозрачных объектов RU2495371C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102008064104.9 2008-12-19
DE102008064104.9A DE102008064104B4 (de) 2008-12-19 2008-12-19 Vorrichtung und Verfahren zum dreidimensionalen optischen Vermessen von stark reflektierenden oder durchsichtigen Objekten
PCT/EP2009/003275 WO2010069409A1 (de) 2008-12-19 2009-05-07 Vorrichtung und verfahren zum dreidimensionalen optischen vermessen von stark reflektierenden oder durchsichtigen objekten

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2011123399A RU2011123399A (ru) 2013-01-27
RU2495371C2 true RU2495371C2 (ru) 2013-10-10

Family

ID=40910787

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011123399/28A RU2495371C2 (ru) 2008-12-19 2009-05-07 Устройство и способ трехмерного оптического обмера сильно отражающих или прозрачных объектов

Country Status (16)

Country Link
US (1) US20110285823A1 (ru)
EP (1) EP2370781B1 (ru)
JP (1) JP5777524B2 (ru)
KR (1) KR20110110159A (ru)
CN (1) CN102257353B (ru)
BR (1) BRPI0918099B1 (ru)
CA (1) CA2746191C (ru)
DE (1) DE102008064104B4 (ru)
ES (1) ES2781351T3 (ru)
HU (1) HUE049026T2 (ru)
MX (1) MX2011006556A (ru)
PL (1) PL2370781T3 (ru)
PT (1) PT2370781T (ru)
RU (1) RU2495371C2 (ru)
SI (1) SI2370781T1 (ru)
WO (1) WO2010069409A1 (ru)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011101476B4 (de) * 2011-05-11 2023-05-25 Cognex Ireland Ltd. Verfahren zur 3D-Messung von Objekten
TWI482484B (zh) * 2011-06-17 2015-04-21 Wistron Corp 立體顯示系統及其方法
CN103376071B (zh) * 2012-04-20 2017-06-30 德律科技股份有限公司 三维测量系统与三维测量方法
TWI546518B (zh) * 2012-04-20 2016-08-21 德律科技股份有限公司 三維量測系統與三維量測方法
JP2014163690A (ja) * 2013-02-21 2014-09-08 Mitsutoyo Corp 形状測定装置
DE202015102791U1 (de) * 2015-05-29 2015-07-01 Nikolaus Kreuzhermes System zur Erfassung von Bilddaten einer Oberfläche eines Objekts und Kamerasystem zur Verwendung in einem solchen System
DE102015211954B4 (de) * 2015-06-26 2017-12-28 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und Vorrichtung zum berührungslosen Vermessen einer Objektoberfläche
US9958259B2 (en) 2016-01-12 2018-05-01 Canon Kabushiki Kaisha Depth value measurement
KR102015384B1 (ko) * 2017-11-15 2019-08-28 주식회사 마인즈아이 투명면 및 반사면 검사 방법 및 장치
CN109059806B (zh) * 2018-07-26 2019-09-06 河北工业大学 一种基于红外条纹的镜面物体三维面形测量装置及方法
DE102020201536A1 (de) 2020-02-07 2021-08-12 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein Verfahren und Vorrichtung zum berührungslosen Vermessen einer Objektoberfläche
CN113188474B (zh) * 2021-05-06 2022-09-23 山西大学 一种用于高反光材质复杂物体成像的图像序列采集系统及其三维形貌重建方法
DE102022128499B3 (de) * 2022-10-27 2023-11-16 Thyssenkrupp Steel Europe Ag Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Planheit eines Metallbandes

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4511252A (en) * 1975-08-27 1985-04-16 Robotic Vision Systems, Inc. Arrangement for sensing the geometric characteristics of an object
US5376793A (en) * 1993-09-15 1994-12-27 Stress Photonics, Inc. Forced-diffusion thermal imaging apparatus and method
RU2128892C1 (ru) * 1998-05-27 1999-04-10 Лейпи Эмиль Густавович Электрический инфракрасный нагреватель
US6754370B1 (en) * 2000-08-14 2004-06-22 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Real-time structured light range scanning of moving scenes

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4171917A (en) * 1974-07-02 1979-10-23 Centre De Recherches Metallurgiques-Centrum Voor Research In De Metallurgie Determining the profile of a surface of an object
US4920385A (en) * 1984-02-14 1990-04-24 Diffracto Ltd. Panel surface flaw inspection
JP3166185B2 (ja) * 1990-05-15 2001-05-14 横河電機株式会社 赤外線厚さ計
JPH05180632A (ja) * 1991-12-26 1993-07-23 I N R Kenkyusho:Kk 三次元形状測定方法及びその装置
JPH05231832A (ja) * 1992-02-24 1993-09-07 I N R Kenkyusho:Kk 三次元形状測定方法及び装置
EP0895590A4 (en) * 1996-04-22 1999-08-11 Autospect Inc METHOD AND SYSTEM FOR INSPECTING A MATTE SURFACE OF AN OBJECT IN A VIEWING STATION
US5719395A (en) * 1996-09-12 1998-02-17 Stress Photonics Inc. Coating tolerant thermography
JP3360560B2 (ja) * 1997-03-06 2002-12-24 横河電機株式会社 赤外線厚さ計の赤外線光源
JP3414624B2 (ja) * 1997-09-16 2003-06-09 松下電器産業株式会社 実時間レンジファインダ
JPH11257930A (ja) * 1998-03-13 1999-09-24 Nidek Co Ltd 三次元形状測定装置
DE10006663B4 (de) * 2000-02-15 2006-10-05 Metronom Ag Verfahren zur Vermessung von langwelligen Oberflächenstrukturen
JP2003232620A (ja) * 2002-02-08 2003-08-22 Canon Inc 透明膜の形状計測方法及び装置
JP3700778B2 (ja) * 2002-03-14 2005-09-28 三菱電機株式会社 赤外線撮像装置
DE10217068B4 (de) * 2002-04-17 2005-09-15 Michael Dr.-Ing. Gandyra Verfahren zum optischen Messen der Form reflektierender und streuender Freiformflächen
US7440590B1 (en) * 2002-05-21 2008-10-21 University Of Kentucky Research Foundation System and technique for retrieving depth information about a surface by projecting a composite image of modulated light patterns
EP1391176A1 (en) * 2002-08-16 2004-02-25 Universiteit Maastricht Method and arrangement for performing measurements of the topography of a corneal surface
DE20216852U1 (de) 2002-10-28 2003-03-27 Vialux Messtechnik & Bildverar Vorrichtung zur Oberflächenprüfung
US20030137673A1 (en) * 2002-12-13 2003-07-24 Cox Cary B. Systems, and methods of use, employing distorted patterns to ascertain the shape of a surface, for road or runway profiling, or as input to control pro-active suspension systems
JP2005308439A (ja) * 2004-04-19 2005-11-04 Canon Inc パターン投影法による三次元形状計測装置
FR2870935A1 (fr) * 2004-05-25 2005-12-02 Insidix Sarl Dispositif de mesure de deformations de surface
DE102004033526A1 (de) * 2004-07-08 2006-02-02 Universität Karlsruhe (TH) Institut für Mess- und Regelungstechnik Verfahren und Vorrichtung zur Analyse zumindest partiell reflektierender Oberflächen
JP2006170744A (ja) * 2004-12-15 2006-06-29 Tohoku Techno Arch Co Ltd 3次元距離計測装置
DE102005018656B4 (de) * 2005-04-21 2007-04-12 GOM - Gesellschaft für Optische Meßtechnik mbH Projektor für eine Anordnung zum dreidimensionalen optischen Vermessen von Objekten
US7602501B2 (en) * 2006-07-10 2009-10-13 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Interferometric synthetic aperture microscopy
US8284392B2 (en) * 2007-03-13 2012-10-09 3D-Shape Gmbh Method and apparatus for the three-dimensional measurement of the shape and the local surface normal of preferably specular objects
US7869026B2 (en) * 2007-12-21 2011-01-11 United Technologies Corp. Targeted artifacts and methods for evaluating 3-D coordinate system measurement accuracy of optical 3-D measuring systems using such targeted artifacts
CN102257352B (zh) * 2008-12-16 2013-06-12 萨班哲大学 三维扫描仪

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4511252A (en) * 1975-08-27 1985-04-16 Robotic Vision Systems, Inc. Arrangement for sensing the geometric characteristics of an object
US5376793A (en) * 1993-09-15 1994-12-27 Stress Photonics, Inc. Forced-diffusion thermal imaging apparatus and method
RU2128892C1 (ru) * 1998-05-27 1999-04-10 Лейпи Эмиль Густавович Электрический инфракрасный нагреватель
US6754370B1 (en) * 2000-08-14 2004-06-22 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Real-time structured light range scanning of moving scenes

Also Published As

Publication number Publication date
BRPI0918099B1 (pt) 2019-07-02
HUE049026T2 (hu) 2020-08-28
JP5777524B2 (ja) 2015-09-09
CN102257353A (zh) 2011-11-23
DE102008064104B4 (de) 2014-06-18
PL2370781T3 (pl) 2020-10-19
SI2370781T1 (sl) 2020-06-30
CN102257353B (zh) 2013-10-23
CA2746191A1 (en) 2010-06-24
MX2011006556A (es) 2011-10-21
DE102008064104A1 (de) 2010-07-01
RU2011123399A (ru) 2013-01-27
CA2746191C (en) 2016-10-25
JP2012512400A (ja) 2012-05-31
PT2370781T (pt) 2020-04-23
KR20110110159A (ko) 2011-10-06
BRPI0918099A2 (pt) 2016-07-26
EP2370781A1 (de) 2011-10-05
WO2010069409A8 (de) 2010-08-05
ES2781351T3 (es) 2020-09-01
EP2370781B1 (de) 2020-01-22
US20110285823A1 (en) 2011-11-24
WO2010069409A1 (de) 2010-06-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2495371C2 (ru) Устройство и способ трехмерного оптического обмера сильно отражающих или прозрачных объектов
Heist et al. High-speed three-dimensional shape measurement using GOBO projection
JP6550101B2 (ja) 膜厚測定方法及び膜厚測定装置
JPH05203414A (ja) 物体の絶対座標を探知する方法および装置
MX2014005207A (es) Dispositivo y metodo para la medicion tridimensional simultanea de superficies con varias longitudes de onda.
TWI567364B (zh) 結構光產生裝置、量測系統及其方法
WO1997028421A1 (en) Scanning phase measuring method and system for an object at a vision station
JP2002078683A (ja) 表面検査装置及び方法
TWI428557B (zh) 反射度分布曲線的建模方法及應用該方法的厚度檢測方法以及厚度檢測反射儀
JP2002071328A (ja) 表面形状の決定方法
WO2016027797A1 (ja) ゴーストイメージングを利用した物質測定装置
FI121151B (fi) Menetelmä ja laitteisto liikkuvan pinnan topografian ja optisten ominaisuuksien määrittämiseksi
US6504605B1 (en) Method and apparatus for determining the coordinates of an object
US10378888B2 (en) Device and method for spatially measuring surfaces
Garcia et al. Projection of speckle patterns for 3D sensing
CN105008903A (zh) 用于分析衬底的表面的方法和设备
US20230071288A1 (en) Method and apparatus for contactless measuring of an object surface
JP3441408B2 (ja) 試料検査装置及び試料検査方法
RU2448323C1 (ru) Способ оптического измерения формы поверхности
JP2023156980A (ja) 形状情報取得装置
JP2022149430A (ja) 表面形状測定方法及び表面形状測定装置
JP2004219312A (ja) 表面検査装置及び表面検査方法
JPH0420805A (ja) レーザ・スペックル変位計測装置
SI21576A (sl) Optična merilna naprava in postopek za ugotavljanje oblike teles

Legal Events

Date Code Title Description
PC41 Official registration of the transfer of exclusive right

Effective date: 20200217