DE20216852U1 - Vorrichtung zur Oberflächenprüfung - Google Patents
Vorrichtung zur OberflächenprüfungInfo
- Publication number
- DE20216852U1 DE20216852U1 DE20216852U DE20216852U DE20216852U1 DE 20216852 U1 DE20216852 U1 DE 20216852U1 DE 20216852 U DE20216852 U DE 20216852U DE 20216852 U DE20216852 U DE 20216852U DE 20216852 U1 DE20216852 U1 DE 20216852U1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- light modulator
- spatial light
- electronic camera
- deflectometry
- intensity patterns
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Claims (3)
1. Vorrichtung zur Oberflächenprüfung nach dem Verfahren der Deflektometrie,
dadurch gekennzeichnet, daß ein räumlicher Lichtmodulator (1) in
unmittelbarer Nähe der zu prüfenden Oberfläche (2) derart positioniert ist,
daß eine mit dem Auswerterechner (3) auf dem Lichtmodulator (1) generierte
Folge von Intensitätsmustern an der zu prüfenden Oberfläche (2) gespiegelt
und von einer elektronischen Kamera (4) erfaßt wird, die den Bereich der
Oberfläche abbildet, der unmittelbar unter dem Lichtmodulator liegt.
2. Vorrichtung zur Oberflächenprüfung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß als räumlicher Lichtmodulator (1) ein LCD-
Flachbildschirm mit mindestens 640 × 480 Bildpunkten benutzt wird.
3. Vorrichtung zur Oberflächenprüfung nach Anspruch 1 und 2, dadurch
gekennzeichnet, daß ein zweiter LCD-Flachbildschirm (5), der über
mindestens 640 × 480 Bildpunkte verfügt, so angebracht ist, daß das
Kamerabild unmittelbar über dem von der Kamera (4) aufgenommenen
Oberflächenbereich angezeigt wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE20216852U DE20216852U1 (de) | 2002-10-28 | 2002-10-28 | Vorrichtung zur Oberflächenprüfung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE20216852U DE20216852U1 (de) | 2002-10-28 | 2002-10-28 | Vorrichtung zur Oberflächenprüfung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE20216852U1 true DE20216852U1 (de) | 2003-03-27 |
Family
ID=7976543
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE20216852U Expired - Lifetime DE20216852U1 (de) | 2002-10-28 | 2002-10-28 | Vorrichtung zur Oberflächenprüfung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE20216852U1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004015203B3 (de) * | 2004-03-29 | 2005-09-15 | GOM - Gesellschaft für Optische Meßtechnik mbH | Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Temperaturrastern |
DE102008064104A1 (de) | 2008-12-19 | 2010-07-01 | Afm Technology Gmbh Ost | Vorrichtung und Verfahren zum dreidimensionalen optischen Vermessen von stark reflektierenden oder durchsichtigen Objekten |
-
2002
- 2002-10-28 DE DE20216852U patent/DE20216852U1/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004015203B3 (de) * | 2004-03-29 | 2005-09-15 | GOM - Gesellschaft für Optische Meßtechnik mbH | Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Temperaturrastern |
DE102008064104A1 (de) | 2008-12-19 | 2010-07-01 | Afm Technology Gmbh Ost | Vorrichtung und Verfahren zum dreidimensionalen optischen Vermessen von stark reflektierenden oder durchsichtigen Objekten |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69433317T2 (de) | Videoteststreifenleser und Verfahren zur Bewertung von Teststreifen | |
DE102005001167A1 (de) | Verschmutzungsresistente optische Maus und Schlitten | |
DE102005056265A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Überwachen eines Raumbereichs, insbesondere zum Absichern eines Gefahrenbereichs einer automatisiert arbeitenden Anlage | |
DE102018211453B4 (de) | Verfahren und System zum Detektieren von Defekten auf einer Oberfläche eines Objekts | |
KR900702353A (ko) | 기판등의 검사 장치 및 그 동작 방법 | |
DE102013224183A1 (de) | Härteprüfer und Verfahren für Härteprüfung | |
ATE204424T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur prüfung von leiterplatten mit verschiedenen vergrösserungen | |
DE69913274T2 (de) | Automatische Überwachung der Druckqualität durch ein elastisches Modell | |
ATE109571T1 (de) | Apparat zum untersuchen einer bestückten elektronischen vorrichtung. | |
KR920008519A (ko) | 액정패널의 검사방법 | |
DE19637234C2 (de) | Verfahren zur Überprüfung der Farbreinheit von Oberflächen | |
US7324685B2 (en) | Inspection systems and methods | |
EP3696537A8 (de) | Vorrichtung und verfahren zur schadenserkennung an einem fahrenden fahrzeug | |
DE20216852U1 (de) | Vorrichtung zur Oberflächenprüfung | |
Batchelor | Interactive image analysis as a prototyping tool for industrial inspection | |
DE69906018T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle der Farbe und des Reflexionsvermögens gutsichtbarer Kleidung | |
TWI719784B (zh) | 顯示面板檢查裝置 | |
DE19527446A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur optischen Oberflächenprüfung von Werkstücken | |
EP2674746A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur optischen Qualitätskontrolle der Beschichtung bzw. Befleckung eines körnigen Substrats | |
Chen et al. | Realization of defect automatic inspection system for flexible printed circuit (FPC) | |
JPH02110306A (ja) | 観測位置検出方法およびその装置 | |
DE20004332U1 (de) | Vorrichtung zur optischen Qualitätskontrolle | |
JPH0862143A (ja) | 金属表面の欠陥部を評定する点光源発生装置とその使用方法 | |
EP1219920A3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Auffinden von Probenbereichen | |
Ferreira et al. | Automatic optical inspection of regular grid patterns with an inspection camera used below the Shannon-Nyquist criterion for optical resolution |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R207 | Utility model specification |
Effective date: 20030430 |
|
R150 | Term of protection extended to 6 years |
Effective date: 20060329 |
|
R157 | Lapse of ip right after 6 years |
Effective date: 20090501 |