RU2396160C2 - Способ и устройство для шлифования керамических сферических тел - Google Patents

Способ и устройство для шлифования керамических сферических тел Download PDF

Info

Publication number
RU2396160C2
RU2396160C2 RU2007126372/02A RU2007126372A RU2396160C2 RU 2396160 C2 RU2396160 C2 RU 2396160C2 RU 2007126372/02 A RU2007126372/02 A RU 2007126372/02A RU 2007126372 A RU2007126372 A RU 2007126372A RU 2396160 C2 RU2396160 C2 RU 2396160C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
grinding
grinding wheel
spherical bodies
abrasive grain
diamond
Prior art date
Application number
RU2007126372/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2007126372A (ru
Inventor
Микаэль ПЁТШ (DE)
Микаэль ПЁТШ
Вальтер КАРБ (DE)
Вальтер КАРБ
Микаэль ХОБЕРТ (DE)
Микаэль ХОБЕРТ
Карл-Отто СТОК (DE)
Карл-Отто СТОК
Марко ВЕБЕР (DE)
Марко ВЕБЕР
Original Assignee
Атлантик Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Атлантик Гмбх filed Critical Атлантик Гмбх
Publication of RU2007126372A publication Critical patent/RU2007126372A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2396160C2 publication Critical patent/RU2396160C2/ru

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B11/00Machines or devices designed for grinding spherical surfaces or parts of spherical surfaces on work; Accessories therefor
    • B24B11/02Machines or devices designed for grinding spherical surfaces or parts of spherical surfaces on work; Accessories therefor for grinding balls
    • B24B11/04Machines or devices designed for grinding spherical surfaces or parts of spherical surfaces on work; Accessories therefor for grinding balls involving grinding wheels
    • B24B11/06Machines or devices designed for grinding spherical surfaces or parts of spherical surfaces on work; Accessories therefor for grinding balls involving grinding wheels acting by the front faces, e.g. of plane, grooved or bevelled shape

Abstract

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано для шлифования сферических тел из керамических материалов, в частности оксидной керамики, карбидов, нитридов кремния, драгоценных и полудрагоценных камней и/или стекла на сферошлифовальном станке. Шлифование проводят шлифовальным кругом с абразивным зерном в связке с синтетической смолой. Абразивное зерно состоит более чем на 50% из алмаза и менее чем на 5% из окиси хрома Cr(2)O(3). Шлифовальный круг имеет зернистость от 181 до 2 мкм, а используемое в нем связующее на основе фенольной смолы получено горячим прессованием. В результате обеспечивается высокая производительность шлифования сферических тел при малом износе шлифовального круга. 3 н. и 9 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Настоящее изобретение относится к способу и устройству для шлифования керамических сферических тел.
Под керамическими сферическими телами следует понимать относящиеся к данной заявке на патент тела сферической формы из керамических материалов, в частности оксидная керамика, карбиды, нитрид кремния, драгоценные и полудрагоценные камни, а также стекло.
Шлифование керамических сферических тел для достижения малой шероховатости поверхности и высокого класса качества осуществляется в настоящее время повсюду с помощью устройств, которые применяются также для обработки металлических шариков. При этом керамические сферические тела собственно не шлифуются, а притираются доводкой. Если при обработке металлических шариков сначала предусматривается грубая шлифовка, а затем тонкая шлифовальными кругами со связанным абразивным зерном, и после чего, смотря по обстоятельствам, практикуется доводка абразивами в пастообразной форме, то керамические сферические тела подвергаются не шлифовке шлифовальными кругами, а доводке на протяжении всего притирочного процесса, при этом абразивные зерна, содержащиеся в шлифовальной пасте, в целом представлены алмазом.
Этот процесс технологически чрезвычайно сложен, так как производительность съема поверхности составляет порядка максимум 100 мк в день. Реализуемый съем поверхности от 0,2 до 0,4 мм диаметра сферического тела соответствует толщине негомогенного пограничного слоя и достигается частично лишь за несколько дней. Далее, после процесса доводки керамические сферические тела подвергаются сильному загрязнению прилипающей шлифовальной пастой. Эта шлифовальная паста при существующих способах промывки сферических тел трудно поддается удалению. Износ обоих металлических кругов при доводке с несвязанным алмазным зерном чрезвычайно высок. Наконец, очень высокий расход алмаза сказывается на стоимости всего технологического процесса. В результате использование керамических сферических тел, особенно в области производства шарикоподшипников, внедряется только там, где расходы играют не главную роль.
Стремление увеличить рентабельность производства отмечают в американском патенте US 6171179 В1. У представленного в нем шлифовального станка предусмотрен шлифовальный круг с электролитически связанным абразивным зерном. Неподвижный направляющий круг имеет несколько направляющих колец, каждое из которых подвергается соответствующей гидравлической нагрузке для обеспечения по возможности равномерного придавливания керамических сферических тел к шлифовальному кругу. На практике это устройство не имело успеха. Полагают, что у шлифовального круга слишком мал срок службы.
Из японской патентной заявки JP 050 42467 А известен способ полирования сферических тел из нитрида кремния, при котором применяются полировальные круги с абразивным зерном, содержащим 5-60 процентов по объему Cr(2)O(3), со средним диаметром частиц от 0,01 до 3 мк. Обработка сферических тел относительно скорости съема поверхности очень низка. При одном испытании съем поверхности в 60 мк протекает в течение 50 часов, т.е. примерно 1 мк в час. Шероховатость поверхности, полученная во втором испытании, составила Ra=0,005 мкм. Этот способ, при котором также предлагается заменить часть Cr(2)O(3) алмазом для достижения высокого качества поверхности, себя оправдывает, но производительность устройства относительно съема поверхности при шлифовке керамических сферических тел, как и прежде, неудовлетворительна.
По этой причине в задачу настоящего изобретения входит создание такого способа и устройства для шлифования керамических сферических тел, которые бы обеспечивали рентабельное изготовление сферических тел с необходимым качеством и малым разбросом в диаметре.
Эта задача решается благодаря способу с признаками п.1 формулы изобретения и устройству с признаками п.9 формулы изобретения.
Поскольку шлифование производится шлифовальным кругом с абразивным зерном в связке с синтетической смолой, при этом абразивное зерно состоит более, чем на 50% из алмаза и содержит менее 5% Cr(2)O(3), то при малом износе шлифовального круга или шлифовального слоя может быть достигнута высокая производительность съема поверхности со шлифуемых сферических тел. Преимуществом является, когда абразивные зерна не содержат Cr(2)O(3), а состоят полностью из алмаза. При этом по отношению к следующему уровню техники достигается десятикратная производительность съема поверхности, а средняя чистота обработки поверхности относительно существующего уровня техники увеличивается на фактор 10. Итак, содержание алмаза в абразивном зерне должно быть выше 50%, еще лучше, если алмаза в абразивном зерне содержится свыше 90%, а наиболее предпочтительный вариант - это, когда в абразивном зерне алмаза содержится 100%.
В качестве связки из синтетической смолы преимуществом пользуется горячепрессованная связка из фенольной или полиамидной смолы. При такой связке объем пор приближается к нулю.
Предпочтительное исполнение шлифовального круга - с зернистостью от D181 (по нормам стандарта FEPA (федерация европейского производства абразива) средний диаметр частиц = 181 мк) до D2 (средний диаметр частиц = 2 мк), при этом для грубой шлифовки используется круг с зернистостью от D181 до D25, а для тонкой шлифовки предпочтительна зернистость от D 15 до D2.
Шлифовальные круги в эксплуатации подвергаются небольшой деформации, если они в виде шлифовального слоя закрепляются на опорной тарелке, в частности наклеиваются. Износ шлифовального круга уменьшается, если в качестве смазочно-охлаждающего средства используется хонинговальное масло.
Изобретение предусматривает другую форму исполнения, при которой применяются два шлифовальных круга способом т.н. Stone-to-Stone, причем оба шлифовальных круга конструктивно выполнены в основном одинаково.
Так как устройство для шлифования керамических сферических тел согласно настоящему изобретению рассчитано на исполнение шлифовального круга со связкой алмазного абразивного зерна с синтетической смолой, в частности с фенольной смолой горячим прессованием, то применение описанного выше способа возможно. При этом шлифовальный круг наклеивается на опорную тарелку, так чтобы в условиях рабочей нагрузки гарантировалась механическая стабильность устройства, и расходы материала на изготовление круга были минимальны.
Согласно изобретению для шлифовки керамических сферических тел шлифовальный круг с алмазным абразивным зерном в связке с синтетической смолой находит применение, в частности, на обычном сферошлифовальном станке, который известен, как устройство для шлифования металлических шариков.
Ниже приводится описание настоящего изобретения на основании чертежей и трех примеров.
Фиг.1: Устройство для шлифования сферических тел шлифовальным кругом на вертикальной оси.
Фиг.2: Устройство для шлифования сферических тел по способу Stone-to-stone с вертикальной осью.
На фиг.1 продемонстрирован принцип шлифовки сферических тел на станке с вертикальным расположением оси. На фиг.1 дано схематическое изображение устройства для шлифовки сферических тел, вид сверху и вид сбоку. Неподвижный направляющий круг исполняется преимущественно из стального литья. На направляющем круге 1 с нижней стороны имеются расположенные по кругу направляющие бороздки, в которые подается множество шлифуемых сферических тел 2. С нижней стороны предусмотрена опорная тарелка 3 с шлифовальным слоем на ней 3а. Опорная тарелка приводится во вращательное движение приводным валом. Для загрузки и разгрузки устройства предусмотрен ввод и выход сферических тел 4.
На фиг.2 показан шлифовальный станок наподобие тому, который продемонстрирован на фиг.1. У этого шлифовального станка неподвижный направляющий круг 1 также имеет шлифовальный слой 1а, размещенный против шлифовального слоя 3а вращающейся опорной тарелки 3. Шлифуемые сферические тела 2 располагаются между обоими шлифовальными кругами 1а и 3а.
Для шлифования в обоих случаях исполнения неподвижный направляющий круг 1 испытывает давление Р сверху. Опорная тарелка 3 приводится во вращательное движение приводом, и сферические тела 2 обкатываются в направляющих бороздках. Разница скоростей в различных участках направляющих бороздок вызывает относительное движение шлифовального слоя по поверхности керамических сферических тел. Содержащееся в шлифовальном слое абразивное зерно приводит к истиранию поверхности сферических тел и тем самым к улучшению ее качества и приданию шаровидной формы.
При этом способ согласно изобретению может быть исполнен с применением сферошлифовального станка как с вертикальным расположением вала, так и с горизонтальным.
Во время процесса шлифования в качестве смазочно-охлаждающего средства используется хонинговальное масло, которое, с одной стороны, обволакивает абразивное зерно и керамические сферические тела, а с другой стороны, с поверхности шлифовальных кругов удаляет отколотые абразивные зерна, частички связующего и частички, снятые с поверхности сферических тел. Таким образом, поверхность сферических тел не подвергается налипанию назваными частицами, отрицательно сказывающемуся на процессе шлифования.
Результаты, достигнутые благодаря способу согласно изобретению, приводятся ниже на примере трех испытаний.
При испытаниях 1-3 применялся шлифовальный круг с диаметром 200 мм и толщиной 4 мм. Шлифовальный круг был наклеен на стальную опорную тарелку. В качестве смазочно-охлаждающего средства применялось хонинговальное масло EMOL-O-HON 920 NV, изготовитель ML Lubrication GmbH. Опорная тарелка из стали с пятью круговыми бороздками. Шлифование производилось без накопителя на сферошлифовальном станке с вертикальной осью.
Испытание 1
Обработке подвергались сферические тела из окиси циркония (ZrO(2)) круглой формы с исходным размером диаметра от 5,96 мм до 6,03 мм. На одну загрузку приходилось около 140 сферических тел. Достигнутый конечный размер диаметра составил 5,50 мм. Величина съема составила 504 мк при времени шлифования 4 часа. Таким образом, производительность съема поверхности составила около 125 мк в час. Глубина бороздок шлифовального круга по окончании испытания составила 0,5 мм.
Испытание 2
Обработке подвергались тела в форме бочонка из окиси циркония (ZrO(2)) с исходным размером 5,72 мм × 5,25 мм. Загрузочная партия составляла 300 заготовок. Конечная величина диаметра составила 5,15 мм. Средняя величина съема поверхности составила 570 мк при времени шлифования 3,75 часа. Это соответствует средней производительности съема 152 мк в час. Глубина бороздок на шлифовальном круге после окончания испытания составила 0,94 мм.
Испытание 3
Обработке подвергались сферические тела из нитрида кремния (Si(3)N(4)) с исходной величиной диаметра 5,34 мм. Загрузочная партия составляла 300 заготовок. Конечный размер диаметра составил 5,16 мм. Средняя величина съема поверхности составила 180 мк при времени шлифования 3,5 часа. Средняя производительность съема поверхности составила 51 мк в час. Глубина бороздок на шлифовальном круге после окончания испытания составила 1,10 мм.
Приведенные величины глубины бороздок относятся к одному и тому же шлифовальному кругу, поскольку во всех трех испытаниях, следующих друг за другом, использовался тот же самый круг. Следовательно, испытание 2 началось уже при глубине бороздок 0,5 мм, а испытание 3 началось с глубины бороздок 0,94 мм. Глубина бороздок, таким образом, увеличилась, к примеру, в испытании 3 всего лишь на 0,16 мм.
Испытание 4
Обработке были подвержены сферические тела из нитрида кремния (Si(3)N(4)) с исходным размером диаметра 6,12 мм. Всего было обработано в одном испытании 340 сферических тел. Время шлифовки составило 9 часов. Достигнутая величина конечного диаметра составила 5,956 мм. Это соответствует съему поверхности сферического тела до 120 мк за 9 часов. Достигнутая шероховатость поверхности Ra находится в пределах от 0,05 мк до 0,06 мк.
Опыты показывают, что и при малой глубине бороздок достигается хорошая производительность съема поверхности. Обычно съем поверхности при шлифовке сферических тел начинается при глубине бороздок, составляющей около 20% диаметра сферического тела. Вообще при малых величинах глубина бороздок, как это имело место в трех приведенных испытаниях, геометрия сферических тел является относительно плохой. Однако результаты трех испытаний показывают, что даже при слишком малой глубине бороздок на шлифовальном круге могли быть достигнуты очень высокий съем поверхности с сферического тела, хорошая округлость и отличный диаметральный разброс. Износ шлифовального круга по сравнению с высокими показателями съема очень мал. Примечательно, что продолговатые, бочкообразные заготовки в испытании 2 обрабатывались также хорошо, что и заготовки шаровидной формы.
Хорошая производительность съема поверхности и низкий износ шлифовального круга или шлифовального слоя, наклеенного на опорную тарелку, объясняются связкой абразивного зерна с синтетической смолой. При этой связке в отличие от электролитической связки современного уровня техники обеспечивается незначительное эластичное смещение абразивного зерна в связующей матрице. Благодаря этой эластичности абразивное зерно при максимальных нагрузках, как это имеет место в случае с очень твердыми керамическими сферическими телами, смещается микроскопически. Вследствие этого срок службы шлифовального круга значительно увеличивается. Производительность съема также улучшается, так как сферические тела в процессе шлифования формируют на шлифовальном круге бороздки. Глубина бороздок относительно мала. Но она больше, чем у шлифовальных кругов с электролитической связкой, на которых бороздки практически не образуются.
Наконец, при электролитической связке алмазного абразивного зерна на шлифовальном круге с металлической опорной тарелкой может произойти локальное нарушение связки, влекущее за собой полный разлом всей связки и тем самым выход из строя шлифовального круга, чего не случается с шлифовальным кругом со связкой из синтетической смолы в силу механизма самозаточки круга.
В результате шлифованные сферические тела относительно округлости и разброса диаметра достаточно хороши. Производительность съема поверхности обработанных сферических тел минимум на порядок выше производительности при известных способах. Шероховатость поверхности исследовалась только в одном случае. Здесь учитывалось, что после грубой и тонкой шлифовки предусматривается еще и доводка.
Новейший способ и новое устройство для шлифовки керамических сферических тел обеспечивают не только высокую производительность съема при хороших результатах шлифовки, но и применение сферошлифовального станка, соответствующего современным рациональным методам. Так например, имеется возможность для подачи сферических тел использовать магазинный накопитель. Применение смазочно-охлаждающего средства обеспечивает технологическую управляемость процессами шлифования и позволяет подключать соответствующие фильтрующие приспособления, благодаря чему способ в плане экологии безупречен. Проста также очистка сферических тел после шлифовки. Так как нет типичного для доводки налипания шлифовальной пасты на сферических телах, то очистку последних можно проводить, использую обычные сферомоечные установки.

Claims (12)

1. Способ шлифования сферических тел из керамических материалов, в частности оксидной керамики, карбидов, нитридов кремния, драгоценных и полудрагоценных камней и/или стекла, на сферошлифовальном станке, заключающийся в том, что шлифование проводят шлифовальным кругом с абразивным зерном в связке с синтетической смолой, при этом абразивное зерно состоит более чем на 50% из алмаза и менее чем на 5% из окиси хрома Cr(2)O(3), a шлифовальный круг имеет зернистость от 181 до 2 мкм.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что абразивные зерна более чем на 90% состоят из алмаза.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что абразивное зерно на 100% состоит из алмаза.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют связку из синтетической смолы, произведенную на основе фенольной или полиамидной смолы горячим прессованием.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют направляющий круг из стального литья.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что шлифовальный круг закрепляют на опорной тарелке.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют смазочно-охлаждающее средство в виде хонинговального масла или шлифовальной эмульсии.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют два шлифовальных круга.
9. Способ по п.8, отличающийся тем, что оба шлифовальных круга, по существу, имеют одинаковую конструкцию.
10. Устройство для шлифования сферических тел из керамических материалов, в частности оксидной керамики, карбидов, нитридов кремния, драгоценных и полудрагоценных камней и стекла, характеризующееся тем, что оно содержит шлифовальный круг со связанным алмазным абразивным зерном, имеющий в своем составе связующее из синтетической смолы, в частности связующее на основе фенольной смолы, полученное горячим прессованием, причем шлифовальный круг имеет зернистость от 181 до 2 мкм.
11. Устройство по п.10, отличающееся тем, что шлифовальный круг закреплен на опорной тарелке.
12. Применение шлифовального круга с алмазным абразивным зерном и зернистостью от 181 до 2 мкм в связке с синтетической смолой для шлифования сферических тел из керамических материалов, в частности оксидной керамики, карбидов, нитридов кремния, драгоценных и полудрагоценных камней и/или стекла.
RU2007126372/02A 2005-01-27 2006-01-06 Способ и устройство для шлифования керамических сферических тел RU2396160C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005004038.1 2005-01-27
DE102005004038A DE102005004038A1 (de) 2005-01-27 2005-01-27 Verfahren und Vorrichtung zum Schleifen von keramischen Kugeln

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2007126372A RU2007126372A (ru) 2009-03-10
RU2396160C2 true RU2396160C2 (ru) 2010-08-10

Family

ID=36286206

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007126372/02A RU2396160C2 (ru) 2005-01-27 2006-01-06 Способ и устройство для шлифования керамических сферических тел

Country Status (10)

Country Link
US (1) US7722440B2 (ru)
EP (1) EP1893384B1 (ru)
JP (1) JP5294637B2 (ru)
KR (1) KR20070100904A (ru)
CN (1) CN101107096A (ru)
BR (1) BRPI0607081A2 (ru)
DE (1) DE102005004038A1 (ru)
PL (1) PL1893384T3 (ru)
RU (1) RU2396160C2 (ru)
WO (1) WO2006079444A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012057651A1 (ru) * 2010-10-28 2012-05-03 Общество С Ограниченной Ответственностью "Гранник" Способ получения драгоценных камней из карбида кремния

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005004038A1 (de) * 2005-01-27 2006-08-03 Guilleaume-Werk Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Schleifen von keramischen Kugeln
CN100427267C (zh) * 2007-03-12 2008-10-22 楼志强 一种水晶玻璃球磨面加工机
CN100467223C (zh) * 2007-09-21 2009-03-11 浙江工业大学 一种球形零件的固着磨料研磨方法
JP5334040B2 (ja) * 2008-10-03 2013-11-06 Ntn株式会社 球状体の研磨装置、球状体の研磨方法および球状部材の製造方法
CN101486145B (zh) * 2009-01-16 2011-08-17 北京中材人工晶体有限公司 一种陶瓷轴承球的加工方法
CN101554707B (zh) * 2009-04-16 2012-03-21 武汉金凰珠宝股份有限公司 自动钉沙器
CN101602181B (zh) * 2009-07-13 2011-05-18 包德宏 一种加工低噪音精密钢球的工艺及其磨板
US9032626B2 (en) * 2009-09-29 2015-05-19 Ntn Corporation Green ball grinding method, ceramic sphere fabrication method, and grinding apparatus
DE102010020601B4 (de) * 2010-05-14 2013-01-24 Saint-Gobain Diamantwerkzeuge Gmbh & Co. Kg Schleifscheibe
CN102240946A (zh) * 2011-06-15 2011-11-16 大连大友高技术陶瓷有限公司 一种磨球机
CN102513897A (zh) * 2011-11-25 2012-06-27 成都科力铁硬质合金有限公司 一种用立式平面磨床磨加工硬质合金球的装置
CN102729139B (zh) * 2012-07-10 2015-08-12 江苏力星通用钢球股份有限公司 立式研磨机采用双面树脂砂轮进行钢球研磨的方法
CN103286674A (zh) * 2013-06-08 2013-09-11 上海泛联科技股份有限公司 用于研磨陶瓷球的研磨板
FR3037519B1 (fr) * 2015-06-17 2017-07-28 Ntn-Snr Roulements Procede de rectification d'une surface d'un corps roulant pour un palier a roulement
US10508525B2 (en) * 2016-03-10 2019-12-17 Bubbletight, LLC Degradable downhole tools and\or components thereof, method of hydraulic fracturing using such tools or components, and method of making such tools or components
CN106736985B (zh) * 2016-12-27 2018-08-03 重庆市青蓝机械制造有限公司 钢球专用打磨机
CN108161580B (zh) * 2017-12-21 2019-11-05 重庆千乔机电有限公司 用于阀门的防漏工艺
CN110270394B (zh) * 2019-07-24 2023-10-20 清远市清新区谷城矿业开发投资有限公司 一种骨料破碎装置和破碎方法
WO2021030746A1 (en) * 2019-08-14 2021-02-18 Cislo Lawrence E Centerless ball element machining system, machining wheel therefor, and method of making and using the same
DE102019122711A1 (de) * 2019-08-23 2021-02-25 Atlantic Gmbh Dreischichtige Schleifscheibe
DE102020115019A1 (de) 2020-06-05 2021-12-09 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Schleifvorrichtung für Wälzkörper und Verfahren zur Ermittlung des Füllgrads einer Schleifvorrichtung
RU2742266C1 (ru) * 2020-07-08 2021-02-04 Акционерное общество «Обнинское научно-производственное предприятие «Технология» им. А. Г. Ромашина» Способ механической обработки крупногабаритных керамических изделий конической формы

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1163811A (en) * 1963-10-07 1969-09-10 Toolmasters Ltd Method of Forming a Grinding Member
JPH0487775A (ja) * 1990-07-31 1992-03-19 Mitsubishi Heavy Ind Ltd レジンボンド超砥粒砥石
JPH058170A (ja) * 1990-11-26 1993-01-19 Olympus Optical Co Ltd 球形研磨装置
JPH04331058A (ja) * 1991-04-26 1992-11-18 Olympus Optical Co Ltd 凹レンズ加工方法および装置
JPH0542487A (ja) * 1991-08-12 1993-02-23 Shibaura Eng Works Co Ltd ボルト、ナツトの締緩装置
JPH0542467A (ja) * 1991-08-13 1993-02-23 Toshiba Tungaloy Co Ltd 窒化硅素系セラミツクスボールおよびその研摩方法
JPH0648813A (ja) * 1992-07-28 1994-02-22 Toshiba Corp セラミックス製転動体
TW317223U (en) * 1994-01-13 1997-10-01 Minnesota Mining & Mfg Abrasive article
JPH08112769A (ja) * 1994-10-14 1996-05-07 Fuji Photo Film Co Ltd 研磨テープ
JP3148535B2 (ja) * 1994-11-18 2001-03-19 トーヨーエイテック株式会社 棒状ワーク用研削装置
US5533923A (en) * 1995-04-10 1996-07-09 Applied Materials, Inc. Chemical-mechanical polishing pad providing polishing unformity
US6769969B1 (en) * 1997-03-06 2004-08-03 Keltech Engineering, Inc. Raised island abrasive, method of use and lapping apparatus
DE19816252A1 (de) * 1997-09-18 1999-04-01 Steag Ag Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von kugelförmigen Körpern aus keramischem Material
GB2335875B (en) * 1998-04-02 2000-08-30 Nsk Ltd Sphere grinding apparatus
JP2001025948A (ja) * 1999-07-16 2001-01-30 Noritake Co Ltd 球体研磨砥石
JP2001030160A (ja) * 1999-07-23 2001-02-06 Ntn Corp 単結晶シリコンのラッピング球およびその製造方法
US6596395B1 (en) * 1999-07-23 2003-07-22 Ntn Corporation Balls of single crystal silicon and method of making the same
TW427232U (en) * 2000-01-13 2001-03-21 Nat Science Council Polishing and processing machine for ceramic ball
JP2002263990A (ja) * 2001-03-12 2002-09-17 Nami Cho 超精密表面加工法、およびその加工システム
JP2003048168A (ja) * 2001-08-07 2003-02-18 Noritake Co Ltd 樹脂結合材薄刃砥粒工具
US20030050000A1 (en) * 2001-09-03 2003-03-13 Noritake Co., Limited Super-abrasive grinding wheel
JP2003117836A (ja) * 2001-10-12 2003-04-23 Fuji Dies Kk 高能率研削加工用レジンボンド砥石
JP2003214435A (ja) * 2001-11-13 2003-07-30 Allied Material Corp 微小硬質研磨ボールとその製造方法及び装置
DE102005004038A1 (de) * 2005-01-27 2006-08-03 Guilleaume-Werk Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Schleifen von keramischen Kugeln

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ГУРГАЛЬ В.И. и др. Инструмент из сверхтвердых материалов и его применение. - Львов: Каменяр, 1984, с.37. ВАКСЕР Д.Б. и др. Алмазная обработка технической керамики. - Л.: Машиностроение, 1976, с.26. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012057651A1 (ru) * 2010-10-28 2012-05-03 Общество С Ограниченной Ответственностью "Гранник" Способ получения драгоценных камней из карбида кремния

Also Published As

Publication number Publication date
CN101107096A (zh) 2008-01-16
US7722440B2 (en) 2010-05-25
RU2007126372A (ru) 2009-03-10
JP5294637B2 (ja) 2013-09-18
US20080171492A1 (en) 2008-07-17
EP1893384B1 (de) 2016-03-23
WO2006079444A1 (de) 2006-08-03
BRPI0607081A2 (pt) 2009-08-04
KR20070100904A (ko) 2007-10-12
PL1893384T3 (pl) 2016-09-30
JP2008528304A (ja) 2008-07-31
EP1893384A1 (de) 2008-03-05
DE102005004038A1 (de) 2006-08-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2396160C2 (ru) Способ и устройство для шлифования керамических сферических тел
JP5334040B2 (ja) 球状体の研磨装置、球状体の研磨方法および球状部材の製造方法
US7637802B2 (en) Lapping plate resurfacing abrasive member and method
Sanchez et al. Surface finishing of flat pieces when submitted to lapping kinematics on abrasive disc dressed under several overlap factors
US6171179B1 (en) Ball grinding machine
CN103648719B (zh) 超精加工砂轮、使用该砂轮的超精加工方法和球轴承
JP2522278B2 (ja) 電鋳薄刃砥石
CN106041741B (zh) 一种含有多孔结构的cmp抛光垫修整器
EP0649707A1 (en) Grinding wheel for forming convex shapes, applicable in particular to manual grinders
CN203509855U (zh) 一种轴类零件粗抛光瓦
CN103991024A (zh) 调谐自锁螺钉制备工艺
CN102513945A (zh) 一种用于工程陶瓷外圆面加工的双磨料电镀金刚石砂轮
CN106736875A (zh) 一种蓝宝石整流罩的加工方法
KR20140123906A (ko) 고경도 취성 재료의 연삭용 지석
JPH0679613A (ja) 乾式バレル研磨法及び乾式メディア組成物
JPH10134316A (ja) 磁気ヘッドの加工方法
JP2587747B2 (ja) 自己目立て機能を備えたメタルボンド砥石および研摩工具
CN207326773U (zh) 一种耐用金刚石砂轮
JP2007075979A (ja) 研磨砥石
JPH08216021A (ja) 回転砥石のツルーイング方法および回転砥石製造方法
JP2004017251A (ja) Cmp加工用パッドコンディショナー
JPH0122111B2 (ru)
CN115722983A (zh) 一种解决陶瓷-铁氧体复合基片抛光后表面出现台阶的方法
Barylski et al. Microgrinding with Diamond Electroplated Tools and with Single-Disk Lapping Kinematics
Jain et al. Lapping