JP2007075979A - 研磨砥石 - Google Patents

研磨砥石 Download PDF

Info

Publication number
JP2007075979A
JP2007075979A JP2005270786A JP2005270786A JP2007075979A JP 2007075979 A JP2007075979 A JP 2007075979A JP 2005270786 A JP2005270786 A JP 2005270786A JP 2005270786 A JP2005270786 A JP 2005270786A JP 2007075979 A JP2007075979 A JP 2007075979A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
groove
layer
abrasive grain
copper alloy
grain layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005270786A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4318678B2 (ja
Inventor
Yuji Akashi
裕二 赤司
Seiya Ogata
誠也 緒方
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Noritake Co Ltd
Noritake Super Abrasive Co Ltd
Original Assignee
Noritake Co Ltd
Noritake Super Abrasive Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Noritake Co Ltd, Noritake Super Abrasive Co Ltd filed Critical Noritake Co Ltd
Priority to JP2005270786A priority Critical patent/JP4318678B2/ja
Publication of JP2007075979A publication Critical patent/JP2007075979A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4318678B2 publication Critical patent/JP4318678B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)

Abstract

【課題】 ならし時間の短縮化を可能とし、砥粒層を最後まで使いきることが可能で、寿命の長い研磨砥石を提供する。
【解決手段】 台金2の外周側に砥粒層3が設けられ、この砥粒層3の表面に溝5が設けられている。この溝5に応じて、固体潤滑剤を含有した粉末焼結による銅合金の層2aにも溝6が設けられ、砥粒層3の厚みは、砥粒層3の全域に亘って略同一となっている。砥粒層3の表面に設けられた溝5によって、ならし時間を短縮できるばかりでなく、銅合金の層2aにも、溝5の形状に合わせて溝6を設けることにより、砥粒層3の厚みは砥粒層3の全域に亘って略同一となるため、溝付けによる使用代の減少がなく、寿命が向上する。さらに、砥粒層3と台金2との間に銅合金の層2aを設けることにより、砥粒層3を使い切っても、球状の被削材への傷の発生や、真円精度を悪化させることを防止することができる。
【選択図】 図2

Description

本発明は、鋼球やセラミック球などの、球状の被削材の球面を研磨するために主に用いられる研磨砥石に関する。
鋼球やセラミック球などの、球状の被削材の球面を研磨するために用いられている研磨砥石の外観を図9に示す。
図9(a)において、研磨砥石51は、鉄等によって形成された円板状の台金52の片側の面に砥粒層53が形成されてなるものであり、その反対側の面には、回転軸取付用のインロー54が設けられている。
この研磨砥石51の研磨面の詳細を図9(b)、(c)に示す。図9(b)は、砥粒層を平坦に形成したものであり、台金52の外周側に、平坦な研磨面を有する砥粒層53が形成されている。このタイプの研磨砥石では、図9(d)に示すようにして被削材が研磨されるが、被削材である球体と砥粒層53とが接触することによる溝が砥粒層53の表面に形成されるまでに、ある程度のならし時間がかかるという欠点がある。
また、図9(c)は、砥粒層を溝状に形成したものであり、台金52の外周側に、溝55を設けた研磨面を有する砥粒層53が形成されている。このタイプの研磨砥石では、図9(e)に示すようにして被削材が研磨されるが、予め溝55が形成されているために、ならし時間は少なくてすむが、溝55を形成したことによって、溝55が形成された位置での砥粒層53の厚みが薄くなり、研磨砥石の寿命が低減する。
砥粒層の形状を考慮して、砥粒層の厚みが薄くならないようにした研磨装置が、特許文献1に記載されている。
特開平3−136764号公報
しかし、特許文献1に記載の砥粒層を形成すると、確かに砥粒層の厚みが薄くなることは防止できるが、砥粒層を使いきる際に、露出した鉄台金に球状の被削材が接触して被削材に傷をつけ、真円精度の悪化を招きやすい。これは、鉄台金上で被削材である球体の繰り返し圧縮応力が加わり、溝表面近くが疲労破壊を起こして剥離することにより、溝形状が崩れるためである。そのため、結局は砥粒層を使いきる前に廃却しなければならず、有効に砥粒層を最後まで使用することができなかった。
本発明は、以上の課題を解決するためになされたもので、砥粒層を完全に使いきっても、球状の被削材への傷の発生や、真円精度の悪化を防止することが可能であり、寿命の優れた研磨砥石を提供することを目的とする。
以上の課題を解決するために、本発明の研磨砥石は、円板状の台金の外周側に砥粒層が形成された研磨砥石において、砥粒層の下方側に固体潤滑剤を含有し粉末焼結した銅合金の層が形成され、前記砥粒層の表面に第1の溝が設けられ、前記第1の溝に応じて固体潤滑剤を含有した粉末焼結による銅合金の層に第2の溝が設けられ、第2の溝にも砥粒層が設けられ、第1の溝の曲率半径をR1、砥粒層の表面と第1の溝の最下部との高さの差をH1とし、前記銅合金の層に設けられた第2の溝の曲率半径をR2、砥粒層と銅合金の層との直線状の境界と、第2の溝の最下部との高さの差をH2としたときに、H1はR1の1/4倍以上3/4倍以下であり、H2はR2の1/4倍以上3/4倍以下であることを特徴とする。
砥粒層の表面に設けられた第1の溝によって、ならし時間を短縮できるばかりでなく、
固体潤滑剤を含有した粉末焼結による銅合金の層にも砥粒層の表面に設けられた第1の溝の形状に合わせて、第2の溝を設けることにより、砥粒層の厚みは砥粒層の全域に亘って略同一となるため、溝付けによる使用代の減少がなく、寿命が向上する。また、固体潤滑剤を含有した粉末焼結による銅合金の層が形成されていることにより、砥粒層を使いきった場合でも球状被削材の傷の発生や、真円精度の悪化を防止することができる。
H1がR1の1/4倍未満であると、溝の深さが浅すぎるため、加工後の被削材の真球度、面粗度が低下する。一方、H1がR1の3/4倍を超えると、被削材を挟んで対向して使用される回転砥石と固定砥石とが干渉しやすくなるため、好ましくない。また、H1を上記の範囲としたときに、砥粒層の厚みを砥粒層の全域に亘って略同一とするためには、H2はR2の1/4倍以上3/4倍以下とすることが好ましい。H2がR2の1/4倍未満であると、砥粒層の厚みが薄くなって寿命が低下する。一方、H2がR2の3/4倍を超えると、加工に使用しない余分な使用代ができるため好ましくない。
本発明においては、銅合金の層は、Cu-Sn-Agを主成分として粉末焼結した銅合金に平均粒径が5μm以下の二硫化モリブデン粉末を、2.5体積%以上10.0体積%以下の割合で均一分散した組成としたものであることを特徴とする。
二硫化モリブデン粉末は、極圧添加剤としての作用があり、粉末焼結した銅合金に均一分散させることにより、球状の被削材との摩擦抵抗を減少させる。また粉末焼結法によって成形することで、金属粉末の粒子間に二硫化モリブデン粉末が存在しており、粒子間結合力を低下させる作用を持たせている。これにより被削材である球体の繰り返し圧縮応力を受けても、摩耗が進行するために疲労破壊を起こさない。
二硫化モリブデン粉末の含有量が2.5%未満の場合は、潤滑作用及び摩耗促進作用が低下し、球状の被削材の傷の発生や、真円精度を悪化させるため好ましくない。一方、10.0体積%を超えると、砥粒層や台金との接合力が低下し、剥離する場合があるので好ましくない。
本発明においては、前記第2の溝の曲率半径R2を、前記第1の溝の曲率半径R1の1.05倍以上としたことを特徴とする。
R2をR1の1.05倍未満とすると、砥粒層が摩耗してその厚みが減少したときに、R2が小さいために、研磨に使用されずに残る部分が生じ、寿命が低下する。そのため、前記第2の溝の曲率半径R2を、前記第1の溝の曲率半径R1の1.05倍以上とすることが好ましい。
本発明によると、ならし時間の短縮化を可能とし、砥粒層を最後まで使いきることが可能な、寿命の長い研磨砥石を実現することができる。
以下に、本発明の研磨砥石をその実施の形態に基づいて説明する。
本発明の実施の形態に係る研磨砥石の基本構造は、図1に示すように、鉄等によって形成された円板状の台金2の片側の面に砥粒層3が形成されてなるものであり、その反対側の面には、回転軸取付用のインロー4が設けられている。
この研磨砥石の砥粒層3の形成の詳細を、図2に基づいて説明する。
図2は、研磨砥石1のA−A断面図であり、台金2の外周側に砥粒層3を設け、この砥粒層3の表面に溝5が設けられている。この溝5に応じて、固体潤滑剤を含有した粉末焼結による銅合金の層(以下、「銅合金層」という)2aにも溝6が設けられ、砥粒層3の厚みは、砥粒層3の全域に亘って略同一となっている。
図3に、溝の形状の詳細を示す。
図3(a)において、砥粒層3に設けられた溝5の曲率半径をR1、砥粒層3の表面と溝5の最下部との高さの差をH1とする。また、銅合金層2aに設けられた溝6の曲率半径をR2、砥粒層3と銅合金層2aとの直線状の境界と、溝6の最下部との高さの差をH2とする。
図3(b)、(c)に、H1とR1との大小関係を変えたときの研磨状況を示す。
図3(b)は、H1をR1の1/4倍未満としたときであり、被削材と接触する砥粒層3の弧が小さく、砥粒層3に形成される溝5が浅いために、被削材の真円度、面粗度が低下する。図3(c)は、H1がR1の3/4倍を超えるようにしたときであり、球状の被削材を挟んで対向して使用される回転砥石と固定砥石の砥粒層3が接近して、回転砥石と固定砥石とが干渉しやすくなる。
図3(d)、(e)に、H2とR2との大小関係を変えたときの研磨状況を示す。
図3(d)は、H2をR2の1/4倍未満としたときであり、砥粒層3の厚みが薄くなって寿命が低下する。図3(e)は、H2がR2の3/4倍を超えるようにしたときであり、加工に使用しない余分な使用代7が形成されてしまう。
以上のことから、加工能率と加工精度の向上のためには、H1はR1の1/4倍以上3/4倍以下であり、H2はR2の1/4倍以上3/4倍以下であることが好ましい。
研磨される球体の取代は、およそR1の1.05倍以内であり、R2はR1の1.05倍より大きく設定するのがよい。R2がR1の1.05倍未満であると、砥粒層3が摩耗して減少したときに、銅合金層2aが露出したり、砥粒層3の溝R1と銅合金層の溝R2のわずかなピッチずれにより銅合金層2aが露出したりするため好ましくない。銅合金層2aは球状の被削材の傷、真円精度悪化を防止するものであるが、砥粒層3が残っているにもかかわらず銅合金層2aが露出してくるのは好ましくない。
この銅合金層2aの露出について、図3(f)、(g)に基づいて説明する。
図3(f)は、R2をR1の1.05倍以上としたときを示しており、この場合には、R2が大きいために、砥粒層3の摩耗が進んで破線で示すように砥粒層3の厚みが減少しても、砥粒層を使いきるまで有効に使用することができる。
これに対し、図3(g)は、R2をR1の1.05倍未満としたときを示しており、R2が小さいために、砥粒層3が摩耗してその厚みが減少したときに、斜線で示す領域8は、まだ使用代があるにも拘わらず、銅合金層2aが一部露出してしまう。
以下に、具体的な作製例と試験例を示す。
試験条件を表1、表2に示す。
被削材と加工条件
Figure 2007075979
試験砥石
Figure 2007075979
試験結果を図4から図6に示す。図4から図6においてはいずれも、砥粒層3の表面と溝5の最下部との高さの差H1を変化させるとともに、これに応じて、砥粒層3と銅合金層2aとの直線状の境界と、溝6の最下部との高さの差H2を同様に変化させている。
図4は、砥粒層3の表面と溝5の最下部との高さの差を変化させたときのならし時間を示しており、高さの差がR1の1/4倍未満のときはならし時間を長くとることが必要であるが、高さの差がR1の1/4倍以上のときは、ならし時間を短縮することができる。
図5に、砥粒層3の表面と溝5の最下部との高さの差を変化させたときの、被削材の真球度を示し、図6に、被削材の面粗度を示す。いずれも、高さの差がR1の1/4倍以上のときに良好な値を示している。なお、真球度と面租度はいずれも、数値が低いほど精度が良いことを示す。
図4から図6に示す試験結果においては、砥粒層3の表面と溝5の最下部との高さの差がR1の1/4倍以上であれば良好な結果を示しているが、この高さの差がR1の3/4倍を超えると、被削材を挟んで対向して使用される回転砥石と固定砥石とが干渉しやすくなるため、好ましくない。従って、砥粒層3の表面と溝5の最下部との高さの差H1は、R1の1/4倍以上3/4倍以下とするのがよく、これに応じて、砥粒層3の厚みを確保するために、砥粒層3と銅合金層2aとの直線状の境界と、溝6の最下部との高さの差H2を、R2の1/4倍以上3/4倍以下とするのがよい。
図7に、銅合金層2aを完全に露出させた状態で、銅合金層2aへの二硫化モリブデンの含有量を0〜20体積%まで変化させ試験を行った時の、鉄台金との接合強度の変化を示す。鉄台金との接合強度は二硫化モリブデン含有量が0%のときを100%としている。二硫化モリブデンの添加量が10%以上のときに、鉄台金との接合強度が急激に低下しはじめ、添加量が20%のときには30%までに低下した。これは二硫化モリブデンの過剰添加による弊害であることを示している。
また、被削材の表面状態を確認すると、添加量が2.5%以下のときに被削材に傷が見られた。このとき銅合金層の溝H2には、図8に示すバリが見られた。これは二硫化モリブデンの添加量が少なく摩耗しにくいために、被削材の繰り返し圧縮応力を受けて溝が塑性変形するからであり、被削材の傷は、この塑性変形によってできたバリが欠落して被削材に傷をつけたものと思われる。
従って、銅合金層の二硫化モリブデン含有量は2.5%〜10%であることが好ましい。
本発明は、ならし時間の短縮化を可能とし、砥粒層を最後まで使いきることが可能な、寿命の長い研磨砥石として利用することができる。
研磨砥石の基本構造を示す図である。 研磨砥石の断面図である。 溝の形状の詳細を示す図である。 砥粒層の表面と溝の最下部との高さの差を変化させたときの、ならし時間を示す図である。 砥粒層の表面と溝の最下部との高さの差を変化させたときの、被削材の真球度を示す図である。 砥粒層の表面と溝の最下部との高さの差を変化させたときの被削材の面租度を示す図である。 銅合金層を完全に露出させた状態で、銅合金層への二硫化モリブデンの含有量を0〜20体積%まで変化させ試験を行った時の、鉄台金との接合強度の変化を示す図である。 銅合金層におけるバリの発生を示す図である。 従来の研磨砥石を示す図である。
符号の説明
1 研磨砥石
2 台金
2a 銅合金層
3 砥粒層
4 インロー
5 溝
6 溝
7 余分な使用代
8 領域

Claims (3)

  1. 円板状の台金の外周側に砥粒層が形成された研磨砥石において、砥粒層の下方側に固体潤滑剤を含有した粉末焼結による銅合金の層が形成され、前記砥粒層の表面に第1の溝が設けられ、前記第1の溝に応じて固体潤滑剤を含有した粉末焼結による銅合金の層に第2の溝が設けられ、第2の溝にも砥粒層が設けられ、第1の溝の曲率半径をR1、砥粒層の表面と第1の溝の最下部との高さの差をH1とし、前記銅合金の層に設けられた第2の溝の曲率半径をR2、砥粒層と銅合金の層との直線状の境界と、第2の溝の最下部との高さの差をH2としたときに、H1はR1の1/4倍以上3/4倍以下であり、H2はR2の1/4倍以上3/4倍以下であることを特徴とする研磨砥石。
  2. 固体潤滑剤を含有した粉末焼結による銅合金の層は、Cu-Sn-Agを主成分として粉末焼結した銅合金に、平均粒径が5μm以下の二硫化モリブデン粉末を、2.5体積%以上10.0体積%以下の割合で均一分散したものであることを特徴とする請求項1記載の研磨砥石。
  3. 前記第2の溝の曲率半径R2を、前記第1の溝の曲率半径R1の1.05倍以上としたことを特徴とする請求項1または2記載の研磨砥石。
JP2005270786A 2005-09-16 2005-09-16 研磨砥石 Active JP4318678B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005270786A JP4318678B2 (ja) 2005-09-16 2005-09-16 研磨砥石

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005270786A JP4318678B2 (ja) 2005-09-16 2005-09-16 研磨砥石

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007075979A true JP2007075979A (ja) 2007-03-29
JP4318678B2 JP4318678B2 (ja) 2009-08-26

Family

ID=37936768

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005270786A Active JP4318678B2 (ja) 2005-09-16 2005-09-16 研磨砥石

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4318678B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101913111A (zh) * 2010-08-23 2010-12-15 哈尔滨三源钢球制造有限公司 用于加工轴承钢球的纳米磨板
CN111993295A (zh) * 2020-06-16 2020-11-27 上海新欣晶圆半导体科技有限公司 一种带有一粗四精沟槽的砂轮及其应用

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101913111A (zh) * 2010-08-23 2010-12-15 哈尔滨三源钢球制造有限公司 用于加工轴承钢球的纳米磨板
CN111993295A (zh) * 2020-06-16 2020-11-27 上海新欣晶圆半导体科技有限公司 一种带有一粗四精沟槽的砂轮及其应用

Also Published As

Publication number Publication date
JP4318678B2 (ja) 2009-08-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI449601B (zh) 硬性及/或脆性材料之研磨處理
JP5334040B2 (ja) 球状体の研磨装置、球状体の研磨方法および球状部材の製造方法
RU2396160C2 (ru) Способ и устройство для шлифования керамических сферических тел
JP4964636B2 (ja) 超砥粒メタルボンド砥石
JP2005028524A (ja) 超砥粒ホイール及びその製造方法
JP2001138244A (ja) レジンボンド砥石
JP6191839B2 (ja) ダイヤモンド焼結体ボールエンドミルとその製造方法
JP2010274386A (ja) Si粒子含有Al−Si系合金摺動材及び摺動面の形成方法
JP4779580B2 (ja) 電鋳薄刃砥石
JP4318678B2 (ja) 研磨砥石
KR101861890B1 (ko) 취성 재료를 기계 가공하는 연삭 공구 및 연삭 공구 제조 방법
JP4794602B2 (ja) 砥石チップおよびこの砥石チップを使用した研削砥石
CN113329846B (zh) 高硬质脆性材料用金属结合剂磨石
JPH0730279Y2 (ja) 電鋳薄刃砥石
JP2010076094A (ja) メタルボンドダイヤモンド砥石及びその製造方法
JP2007090444A (ja) 鏡面加工用ホイール
JP2002346927A (ja) Cmpコンディショナ
JP2006043884A (ja) レジンボンド砥石
JPH0790468B2 (ja) 鋳物切断用カッター
JP4484793B2 (ja) 研磨砥石
JP2002263937A (ja) フライス工具
JP4215525B2 (ja) 超砥粒メタルボンド砥石
JP2005254343A (ja) ノッチホイール
JP4194563B2 (ja) Cmpパッドコンディショナー
JP2005262350A (ja) ラップ定盤

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20071214

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20071214

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090303

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090519

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090526

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120605

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4318678

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120605

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120605

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130605

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533