RU2260172C2 - Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта - Google Patents

Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта Download PDF

Info

Publication number
RU2260172C2
RU2260172C2 RU2003107828/28A RU2003107828A RU2260172C2 RU 2260172 C2 RU2260172 C2 RU 2260172C2 RU 2003107828/28 A RU2003107828/28 A RU 2003107828/28A RU 2003107828 A RU2003107828 A RU 2003107828A RU 2260172 C2 RU2260172 C2 RU 2260172C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
wall thickness
characteristic value
measured
distance
receiver
Prior art date
Application number
RU2003107828/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2003107828A (ru
Inventor
Паулус Каролус Николас КРОУЗЕН (NL)
Паулус Каролус Николас КРОУЗЕН
ДЕР СТЕН Йохан ВАН (NL)
ДЕР СТЕН Йохан ВАН
Марк Теодор ЛОИЕР (NL)
Марк Теодор ЛОИЕР
Original Assignee
Шелл Интернэшнл Рисерч Маатсхаппий Б.В.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Шелл Интернэшнл Рисерч Маатсхаппий Б.В. filed Critical Шелл Интернэшнл Рисерч Маатсхаппий Б.В.
Publication of RU2003107828A publication Critical patent/RU2003107828A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2260172C2 publication Critical patent/RU2260172C2/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/06Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
    • G01B7/10Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Extrusion Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

Способ может быть использован для определения степени коррозии металлических труб. Вблизи поверхности электрически проводящего объекта размещают передающую катушку для наведения в объекте вихревых токов и приемную систему, состоящую из двух приемных катушек. Записывают сигналы во времени первой и второй приемных катушек. Толщину стенки объекта определяют на основе характеристики одного из сигналов. Вычисляют характеристическую величину Ф на основе обоих сигналов. Корректируют значение измеренной толщины стенки объекта для расстояния между зондом и объектом с использованием предварительно определенного соотношения между толщиной стенки и характеристической величиной Ф для различных значений расстояния между зондом и объектом. Изобретением решается задача исключения влияния расстояния между зондом и объектом на результат измерения толщины стенки электрически проводящего объекта. 6 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Данное изобретение относится к контролю объекта из электрически проводящего материала электромагнитным способом. В способе электромагнитного контроля используют зонд, который содержит передающую катушку для наведения в объекте вихревых токов и приемную систему для получения сигнала, указывающего силу электромагнитного поля, созданного вихревыми токами, или изменения силы этого электромагнитного поля. В частности, данное изобретение относится к измерению толщины стенки и коррекции измеренной толщины стенки для неизвестных изменений подъема. Подъем является расстоянием между зондом и ближней поверхностью объекта, которая является поверхностью, наиболее близкой к зонду в противоположность дальней поверхности, которая является противоположной стороной объекта.
Примерами объектов, подходящих для контроля с помощью способа, согласно данному изобретению являются металлические плиты или стенки вместилищ, таких как трубы, котлы или контейнеры, имеющие радиус кривизны, который больше толщины объекта. Электрически проводящим материалом может быть любой электрически проводящий материал, например, углеродистая сталь или нержавеющая сталь. Другим применением способа, согласно данному изобретению, является измерение толщины слоя изоляции.
Задачей данного изобретения является обеспечение более точного измерения толщины объекта. Для этого данное изобретение предлагает способ измерения толщины стенки электрически проводящего объекта с использованием зонда, который содержит передающую катушку для наведения в объекте вихревых токов и приемную систему для получения сигнала, указывающего силу электромагнитного поля, созданного вихревыми токами, или изменения силы этого электромагнитного поля, при этом приемная система включает первый приемник и второй приемник, расположенный на расстоянии от первого приемника, при этом способ содержит стадии:
(a) расположения зонда вблизи объекта на расстоянии от ближней поверхности;
(b) наведения переходных вихревых токов в объекте посредством активирования передатчика и записи сигналов приемников во времени, при этом V1(t) является сигналом первого приемника в зависимости от времени t, a Vu(t) - сигналом второго приемника в зависимости от времени t;
(c) измерения толщины стенки на основе характеристики одного из сигналов;
(d) вычисления характеристической величины Ф на основе комбинации V1(t) Vu(t) и
(e) корректировки измеренной толщины стенки для расстояния между зондом и ближней поверхностью объекта с использованием предварительно определенного соотношения между толщиной стенки и характеристической величиной для различных значений расстояния между зондом и ближней поверхностью.
Ниже приводится подробное описание примера выполнения изобретения со ссылками на чертежи, на которых:
фиг.1 изображает первый вариант выполнения изобретения;
фиг.2 - график, иллюстрирующий корректировку измеренной толщины стенки для подъема.
На фиг.1 объект из электрически проводящего материала обозначен позицией 2, а зонд - позицией 4. Зонд 4 содержит передающую катушку 6 для наведения вихревых токов в объекте 2, приемную систему для получения сигнала, указывающего силу электромагнитного поля, создаваемого вихревыми токами, или изменения силы этого электромагнитного поля, при этом приемная система содержит первый приемник 8 и второй приемник 10, который расположен на расстоянии от первого приемника 8. Передающая катушка 6 соединена с устройством (не изображено) для возбуждения передающей катушки, а приемная система соединена с устройством (не изображено) для записи сигналов из приемной системы. Расстояние между зондом 4 и ближней поверхностью 12 обозначено позицией L, а пространство между зондом 4 и объектом 2 заполнено, например, изолирующим слоем (не изображен), покрывающим ближнюю поверхность 12. Расстояние между приемниками 8 и 10 одного порядка с расстоянием L предпочтительно составляет между 0,1 и 0, 9 расстояния L.
Во время нормальной работы зонд 4 расположен над объектом 2 вблизи ближней поверхности 12 объекта 2.
В объекте (2) наводят вихревые токи посредством активирования передающей катушки 6 (подачи энергии и резкого отключения энергии). Сигналы приемников 8 и 10 записывают в зависимости от времени. Сигнал первого приемника 8 в зависимости от времени t обозначен V1(t), а сигнал второго приемника в зависимости от времени t обозначен Vu(t). Сигналы V1(t) и Vu(t) указывают силу магнитного поля или изменения магнитного поля. В варианте выполнения, показанном на фиг, 1, приемники являются катушками 8 и 10, а записываемые сигналы указывают изменения силы магнитного поля, при этом диаметр приемных катушек одного порядка с расстоянием L предпочтительно составляет от 0,1 до 0,9 расстояния L.
Однако когда приемники являются преобразователями с использованием эффекта Холла или когда сигналы из катушек интегрируются, то сигналы указывают силу магнитного поля.
Один из сигналов V1(t) и Vu(t) используют для определения толщины объекта, а оба сигнала V1(t) и Vu(t) используют для вычисления характеристической величины Ф. Следует отметить, что для данного изобретения не имеет значения, является ли V1(t) сигналом из приемника 8, a Vu(t) - сигналом из приемника 10 или же наоборот - V1(t) сигналом из приемника 10, a Vu(t) - сигналом из приемника 8.
Заявителем было установлено, что для выполнения коррекции необходимо лишь одновременно определять характеристическую величину Ф и толщину WTm стенки.
Уже известно измерение толщины стенки проводящего объекта с использованием вихревых токов, например, из публикации заявки на международный патент № WO 98/02 714 и описания европейского патента №321112. При измерении неизвестной толщины стенки имеется три толщины стенки: (1) действительная толщина стенки или истинная толщина стенки, (2) измеренная толщина стенки (до коррекции) и (3) скорректированная толщина стенки. Корректировка измеренной толщины стенки выполняется для получения толщины стенки, которая ближе к действительной толщине стенки, чем измеренная толщина стенки перед коррекцией.
На практике измеренная толщина стенки изменяется в зависимости от подъема. Измерение толщины стенки можно выполнять более точно, если можно использовать информацию на расстоянии L для корректировки измеренной толщины стенки. Заявитель нашел способ корректировки, в котором нет необходимости знать расстояние или подъем.
Для измерения толщины стенки зонд 4 располагают вблизи объекта 2 на расстоянии L от ближней поверхности 12 объекта 2, толщину которого необходимо определить.
Во время нормальной работы в объекте 2 наводят вихревые токи посредством активирования передатчика и записывают сигналы V1(t) первого приемника 8 и Vu(t) второго приемника 10 в зависимости от времени (t).
Из характеристики по меньшей мере одного из сигналов V1(t) и Vu(t) определяют известным образом толщину WTm стенки. Это может быть определением амплитуды сигнала в конкретный момент времени и сравнением ее с амплитудами, определенными в этот момент времени для испытательных объектов, имеющих известную толщину. В качестве альтернативного решения используется так называемое критическое время, то есть время после прерывания активирования передатчика, в которое созданные в объекте вихревые токи достигают дальнюю поверхность. Другой способ включает вычисление интеграла сигналов в течение времени между двумя заданными моментами времени и получения информации о толщине на основе вычисленной величины. В другом способе используют определение времени, которое необходимо для уменьшения сигнала от первой величины до второй величины, и получают толщину из соотношения между толщиной стенки и временем.
Комбинацию сигналов V1(t) и Vu(t) используют для вычисления характеристической величины Фm.
Затем измеренную толщину WTm стенки корректируют для неизвестного расстояния L между зондом 4 и ближней поверхностью 12 объекта 2 с использованием предварительно определенного соотношения между толщиной стенки и характеристической величиной для различных значений расстояния между зондом и ближней поверхностью. Это соотношение определяют в одной точке для того же объекта или для объекта, имеющего аналогичные электромагнитные свойства. Следует отметить, что расстояние L может изменяться с изменением положения вдоль объекта.
Ниже приводится описание процесса корректировки измеренной толщины стенки для подъема со ссылками на фиг.2.
Сначала измеряют сигналы V1(t) и Vu(t) для объекта, имеющего известную толщину WTk стенки. На основе этих сигналов определяют толщину WTm стенки и характеристическую величину Фm. Это повторяют для нескольких разных подъемов в том же месте. Толщина стенки и характеристическая величина показаны на графике на фиг.2А, где на горизонтальной оси откладывают подъем L, а на вертикальной оси - толщину стенки WT и характеристическую величину Ф. Сплошной линией показана измеренная толщина стенки в зависимости от подъема, а штриховой линией - характеристическая величина в виде функции подъема. Точки а, b, с, d, e, f и g являются измеренными величинами. Калибровка заключается в том, чтобы толщина WTm(c) стенки, измеренная в точке с, равнялась известной толщине WTk стенки.
Затем из графика, показанного на фиг.2А, - получают график, показанный на фиг.2В. На фиг.2В показана измеренная толщина стенки в виде функции характеристической величины.
Из фиг.2В определяют коэффициент коррекции CF и строят график, показанный на фиг.2С. Коэффициент коррекции равен известной толщине стенки, разделенной на измеренную толщину стенки, и коэффициент коррекции равен 1 для Фс, больше 1 для Ф<Фс и меньше 1 для Ф>Фс. Для получения коэффициента коррекции в виде непрерывной функции характеристической величины через точки проводят кривую.
Для корректировки измеренной толщины стенки одного и того же объекта (или объекта, имеющего аналогичные электромагнитные свойства) для неизвестного подъема, измеренную толщину WTm корректируют с использованием характеристической величины Фm. Скорректированная толщина стенки равна WTcorr=WTm· CF(Ф).
В качестве альтернативного решения соотношение между измеренной толщиной стенки и характеристической величиной (как показано на фиг.2В) апроксимируется линейным соотношением. Это линейное соотношение характеризуется наклоном, который равен отношению изменения толщины стенки δWT1 к изменению характеристической величины δФ1. Скорректированная толщина стенки равна WTcorr=WTm+(Ф20)(δWT1/δФ), где Ф2 является характеристической величиной, относящейся к неизвестной толщине стенки, а Ф0 - характеристической величиной, для которой коэффициент коррекции равен 1 (Фс на фиг.2С).
Скорректированную толщину стенки предпочтительно корректируют для температуры измерения объекта. Это можно выполнять путем определения при температуре То калибровки отношения изменения толщины стенки δWT к изменению температуры δТ и вычисления скорректированной толщины стенки с использованием уравнения WTcorr2=WTcorr+(Т-Т0)(δWT/δT).
Вычисление характеристической величины Ф на основе комбинации V1(t) и Vu(t) предпочтительно содержит вычисление характеристической величины из уравнения
Figure 00000002
где t0 является начальным моментом времени, Δ - интервалом выборки и n - числом выборок, включенных в суммирование.
В варианте выполнения зонда 4, показанном на фиг.1, приемники 8 и 10 расположены один над другим в вертикальном направлении - перпендикулярно ближней поверхности 12 объекта 2. В альтернативном варианте выполнения (не изображен) антенные приемные средства разнесены в горизонтальном направлении - параллельно ближней поверхности 12. Это является предпочтительным, в частности, тогда, когда используется U-образный ферритовый сердечник, открытый конец которого направлен в сторону объекта. U-образный ферритовый сердечник содержит на обоих плечах передающую катушку и приемную катушку, затем ближе к U-образной части ферритового сердечника расположена вторая приемная катушка.
В трубах, покрытых изолирующим материалом, под изоляцией происходит коррозия. Обычно изолирующий материал защищен от воздействия внешней среды металлическим покрытием. Это металлическое покрытие называют оболочкой. Оболочка обычно выполняется из алюминия или стали и имеет толщину около 0,7 мм. Оболочку применяют секциями с типичной длиной 1 м. Проникновение воды предотвращается за счет частичного наложения друг на друга двух секций оболочки. Оболочку не надо удалять во время обследования с использованием технологии вихревых токов. В первом приближении действие оболочки состоит в задержке Δt принятого сигнала: если сигнал без оболочки является s(t), то сигнал с оболочкой становится s(t-Δt). Величина Δt изменяется вдоль секции оболочки: вблизи наложения секций Δt больше по сравнению с величиной в середине. Изменения сдвига Δt влияют на обычный способ с использованием импульсных вихревых токов: изменения в Δt проявляются как ложные изменения в измеряемой толщине стали. Заявителями установлено, что способ согласно данному изобретению, когда используют два приемника, является менее чувствительным к наличию металлической оболочки. Причиной этому является то, что, как было экспериментально установлено, характеристическая величина Ф почти не зависит от времени t: Ф(t)≈Ф(t-Δt), при этом
Figure 00000003
где τ=t или τ=t-Δt.

Claims (7)

1. Способ измерения толщины стенки электрически проводящего объекта с использованием зонда, который содержит передающую катушку для наведения в объекте вихревых токов и приемную систему для получения сигнала, указывающего силу электромагнитного поля, созданного вихревыми токами, или изменения силы этого электромагнитного поля, при этом приемная система включает первый приемник и второй приемник, расположенный на расстоянии от первого приемника, при этом способ содержит стадии:
(a) расположения зонда вблизи объекта на расстоянии от ближней поверхности;
(b) наведения переходных вихревых токов в объекте посредством активирования передатчика и записи сигналов приемника во времени, при этом V1(t) является сигналом первого приемника в зависимости от времени (t), a Vu(t) - сигналом второго приемника в зависимости от времени (t);
(c) измерения толщины стенки на основе характеристики одного из сигналов;
(d) вычисления характеристической величины Ф на основе комбинации V1(t) и Vu(t); и
(e) корректировки измеренной толщины стенки для расстояния между зондом и ближней поверхностью объекта с использованием предварительно определенного соотношения между толщиной стенки и характеристической величиной для различных значений расстояния между зондом и ближней поверхностью.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что корректировка измеренной толщины стенки включает измерение толщины стенки и определение характеристической величины для объекта, имеющего известную толщину стенки для различных значений подъема; выведение соотношения между измеренной толщиной стенки и характеристической величиной и получение скорректированной толщины стенки посредством умножения измеренной толщины стенки на коэффициент коррекции, относящийся к характеристической величине.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что корректировка измеренной толщины WTm стенки содержит определение характеристической величины Ф0, для которой коэффициент коррекции равен 1; выведение из соотношения между измеренной толщиной стенки и характеристической величиной отношения изменения толщины стенки δWT1 к изменению характеристической величины δФ1, и корректировку толщины WTm стенки для неизвестного подъема с получением скорректированной толщины стенки WTcorr=WTm+(Ф20)(δWT1/δФ), где Ф2 является характеристической величиной, измеренной вместе с толщиной WTm стенки.
4. Способ по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что дополнительно содержит измерение температуры объекта и корректировку скорректированной толщины стенки с учетом температуры.
5. Способ по п.4, отличающийся тем, что корректировка скорректированной толщины стенки с учетом температуры включает определение при температуре Т0 калибровки отношения изменения толщины стенки δWT к изменению температуры δТ и вычисления скорректированной толщины стенки с использованием уравнения WTcorr2=WTcorr+(T-T0)(δWT/δT).
6. Способ по любому из пп.1-5, отличающийся тем, что вычисление характеристической величины Ф на основе комбинации V1(t) и Vu(t) содержит вычисление характеристической величины из уравнения
Figure 00000004
где t0 является начальным моментом времени;
Δ - интервал выборки;
n - число выборок, включенных в суммирование.
7. Способ по любому из пп.1-6, отличающийся тем, что приемная система содержит первую приемную катушку и вторую приемную катушку, расположенную на расстоянии от первой приемной катушки, и в котором сигнал представляет изменение вихревого тока, при этом V1 и Vu являются напряжениями на зажимах первой и второй приемной катушки соответственно.
RU2003107828/28A 2000-08-24 2001-08-22 Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта RU2260172C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP00307298.0 2000-08-24
EP00307298 2000-08-24

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2003107828A RU2003107828A (ru) 2004-09-10
RU2260172C2 true RU2260172C2 (ru) 2005-09-10

Family

ID=8173218

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2003107828/28A RU2260172C2 (ru) 2000-08-24 2001-08-22 Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта

Country Status (11)

Country Link
US (1) US6593737B2 (ru)
EP (1) EP1311800B1 (ru)
JP (1) JP2004507721A (ru)
CN (1) CN1447902A (ru)
AT (1) ATE433092T1 (ru)
AU (1) AU2001287701A1 (ru)
CA (1) CA2420309A1 (ru)
DE (1) DE60138891D1 (ru)
NO (1) NO20030814L (ru)
RU (1) RU2260172C2 (ru)
WO (1) WO2002016863A1 (ru)

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6640151B1 (en) 1999-12-22 2003-10-28 Applied Materials, Inc. Multi-tool control system, method and medium
US6708074B1 (en) 2000-08-11 2004-03-16 Applied Materials, Inc. Generic interface builder
US6538435B2 (en) * 2000-08-24 2003-03-25 Shell Oil Company Method for detecting an anomaly in an object of electrically conductive material along first and second direction at inspection points
US6570379B2 (en) * 2000-08-24 2003-05-27 Shell Oil Company Method for inspecting an object of electrically conducting material
US7188142B2 (en) 2000-11-30 2007-03-06 Applied Materials, Inc. Dynamic subject information generation in message services of distributed object systems in a semiconductor assembly line facility
US7698012B2 (en) 2001-06-19 2010-04-13 Applied Materials, Inc. Dynamic metrology schemes and sampling schemes for advanced process control in semiconductor processing
US7160739B2 (en) 2001-06-19 2007-01-09 Applied Materials, Inc. Feedback control of a chemical mechanical polishing device providing manipulation of removal rate profiles
US20030199112A1 (en) 2002-03-22 2003-10-23 Applied Materials, Inc. Copper wiring module control
US6672716B2 (en) * 2002-04-29 2004-01-06 Xerox Corporation Multiple portion solid ink stick
AU2003290932A1 (en) 2002-11-15 2004-06-15 Applied Materials, Inc. Method, system and medium for controlling manufacture process having multivariate input parameters
CN100376861C (zh) * 2002-12-19 2008-03-26 国际壳牌研究有限公司 监测壁厚
WO2005056921A1 (en) * 2003-12-10 2005-06-23 Metso Paper, Inc. A method for controlling the running parameters in an apparatus for processing a fibrous web and a device for applying the said method
SE527091C2 (sv) * 2003-12-31 2005-12-20 Abb Ab Metod och anordning för beröringsfri mätning av tjocklek och elektriska ledningsförmåga hos ett mätobjekt
SE527125C2 (sv) * 2003-12-31 2005-12-27 Abb Ab Metod och anordning för beröringsfri mätning av tjocklek eller ledningsförmåga med elektromagnetisk induktion
JP4542973B2 (ja) * 2005-09-15 2010-09-15 株式会社東芝 移動距離計測装置および移動距離計測方法
MX2009003069A (es) 2006-09-21 2009-04-01 Shell Int Research Dispositivo y metodo para detectar una anomalia en un montaje de un primer y un segundo objeto.
GB2450112B (en) * 2007-06-12 2010-12-08 Ge Inspection Technologies Ltd Automatic lift-off compensation for pulsed eddy current inspection
CN101398298B (zh) * 2008-11-10 2010-09-29 清华大学 电磁超声测厚方法
US20100240900A1 (en) * 2009-03-23 2010-09-23 Headwaters Technology Innovation, Llc Dispersible carbon nanospheres and methods for making same
JP5513821B2 (ja) * 2009-09-17 2014-06-04 株式会社荏原製作所 渦電流センサ、研磨装置、めっき装置、研磨方法、めっき方法
CN101788260B (zh) * 2010-03-18 2011-12-28 清华大学 一种金属薄膜厚度的电涡流测量方法
JP4975142B2 (ja) 2010-06-17 2012-07-11 トヨタ自動車株式会社 渦流計測用センサ及び渦流計測方法
FR2981741B1 (fr) * 2011-10-20 2013-11-29 Messier Bugatti Dowty Procede de mesure d'epaisseur d'une couche de revetement par induction de champs magnetiques
US9091664B2 (en) * 2012-06-07 2015-07-28 Thomas Krause Pulsed eddy current sensor for precision measurement at-large lift-offs on metallic surfaces
US9335151B2 (en) 2012-10-26 2016-05-10 Applied Materials, Inc. Film measurement
CN104465481A (zh) * 2013-09-22 2015-03-25 盛美半导体设备(上海)有限公司 晶圆夹盘
CN104034250B (zh) * 2014-06-30 2016-08-24 山东中科普锐检测技术有限公司 涂层测厚仪温度补偿测量方法
FR3025306B1 (fr) * 2014-08-29 2020-07-10 Safran Procede non-destructif de mesure de l'epaisseur de barriere thermique et/ou de mur en superalliage d'aube creuse de turbomachine
US10073058B2 (en) 2015-02-11 2018-09-11 Structural Integrity Associates Dynamic pulsed eddy current probe
US10895555B2 (en) 2015-03-30 2021-01-19 Structural Integrity Associates, Inc. System for in-line inspection using a dynamic pulsed eddy current probe and method thereof
CN105509631B (zh) * 2015-12-07 2018-05-18 天津因科新创科技有限公司 一种脉冲涡流壁厚检测方法和装置
CN106197249A (zh) * 2016-09-30 2016-12-07 天津华海清科机电科技有限公司 Cmp过程中铜层厚度在线测量系统及其控制方法
CN109764800A (zh) * 2019-01-15 2019-05-17 西南石油大学 一种基于涡流热成像阵列的管道腐蚀壁厚检测系统
EP4053494A1 (en) 2021-03-02 2022-09-07 ABB Schweiz AG Thickness measurement using a pulsed eddy current system

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3555887A (en) 1967-09-19 1971-01-19 American Mach & Foundry Apparatus for electroacoustically inspecting tubular members for anomalies using the magnetostrictive effect and for measuring wall thickness
US3693075A (en) * 1969-11-15 1972-09-19 Forster F M O Eddy current system for testing tubes for defects,eccentricity,and wall thickness
DE2345848C3 (de) * 1973-09-12 1986-06-19 ELEKTRO-PHYSIK Hans Nix & Dr.-Ing. E. Steingroever GmbH & Co KG, 5000 Köln Elektromagnetischer Schichtdickenmesser
US4383218A (en) * 1978-12-29 1983-05-10 The Boeing Company Eddy current flow detection including compensation for system variables such as lift-off
JPS5692804U (ru) * 1979-12-17 1981-07-23
US4492115A (en) * 1984-04-11 1985-01-08 Pa Incorporated Method and apparatus for measuring defects in ferromagnetic tubing
DE3413787A1 (de) 1984-04-12 1985-10-17 Nukem Gmbh, 6450 Hanau Verfahren und vorrichtung zur pruefung von elektrisch leitenden gegenstaenden mittels ultraschall
FR2572175A1 (fr) 1984-10-24 1986-04-25 Stein Heurtey Procede et dispositif pour mesurer l'epaisseur de couches metalliques minces deposees sur un support conducteur
FR2574938B1 (fr) 1984-12-19 1986-12-26 Snecma Methode de controle par courants de foucault sans contact et dispositif de mise en oeuvre
JPS61151402A (ja) * 1984-12-26 1986-07-10 Nippon Kokan Kk <Nkk> 差動相互誘導型渦流計測用センサ
US4644271A (en) * 1985-02-25 1987-02-17 Ltv Steel Company, Inc. Method and apparatus for examining a workpiece
JPS62225947A (ja) * 1986-03-26 1987-10-03 Kobe Steel Ltd 渦流測定用プロ−ブ
US4945305A (en) 1986-10-09 1990-07-31 Ascension Technology Corporation Device for quantitatively measuring the relative position and orientation of two bodies in the presence of metals utilizing direct current magnetic fields
SE451886B (sv) * 1986-10-10 1987-11-02 Sten Linder Sett och anordning for beroringsfri metning av storheter hos eller i anslutning till elektriskt ledande material
JPS63139202A (ja) * 1986-12-02 1988-06-11 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 電磁誘導形肉厚測定方法および測定装置
US4843320A (en) * 1987-12-17 1989-06-27 Atlantic Richfield Company Transient electromagnetic method for detecting corrosion on conductive containers
US4929898A (en) * 1987-12-17 1990-05-29 Atlantic Richfield Transient electromagnetic method for detecting irregularities on conductive containers
US4849693A (en) * 1988-02-29 1989-07-18 Battelle Memorial Institute Automated measurement system employing eddy currents to adjust probe position and determine metal hardness
US4843317A (en) 1988-10-18 1989-06-27 Conoco Inc. Method and apparatus for measuring casing wall thickness using a flux generating coil with radial sensing coils and flux leakage sensing coils
JPH0654206B2 (ja) * 1989-09-05 1994-07-20 株式会社ニレコ 渦電流距離測定装置
US5198764A (en) 1991-02-22 1993-03-30 Sentech Corp. Position detector apparatus and method utilizing a transient voltage waveform processor
US5491409A (en) * 1992-11-09 1996-02-13 The Babcock & Wilcox Company Multiple yoke eddy current technique for detection of surface defects on metal components covered with marine growth
US5569835A (en) 1994-08-10 1996-10-29 Ultrasonic Arrays, Inc. Reference wire compensation method and apparatus
US5592092A (en) 1994-10-28 1997-01-07 Gas Research Institute Pipe proximity warning device for accidental damage prevention mounted on the bucket of a backhoe
US5541510A (en) * 1995-04-06 1996-07-30 Kaman Instrumentation Corporation Multi-Parameter eddy current measuring system with parameter compensation technical field
SE508354C2 (sv) 1996-07-05 1998-09-28 Asea Atom Ab Förfarande och anordning för bestämning av skikttjocklek
US6291992B1 (en) * 1996-07-12 2001-09-18 Shell Oil Company Eddy current inspection technique
NL1005160C2 (nl) * 1997-01-31 1998-08-03 Roentgen Tech Dienst Bv Inrichting voor het bepalen van eigenschappen van een elektrisch geleidend voorwerp.
US6037768A (en) * 1997-04-02 2000-03-14 Iowa State University Research Foundation, Inc. Pulsed eddy current inspections and the calibration and display of inspection results
US6201987B1 (en) 1998-05-26 2001-03-13 General Electric Company Error compensation for device tracking systems employing electromagnetic fields
US6344741B1 (en) * 2000-06-20 2002-02-05 Her Majesty The Queen As Represented By The Minister Of National Defence In Right Of Canada Pulsed eddy current method for detection of corrosion in multilayer structures using the lift-off point of intersection

Also Published As

Publication number Publication date
US20020149359A1 (en) 2002-10-17
ATE433092T1 (de) 2009-06-15
CN1447902A (zh) 2003-10-08
AU2001287701A1 (en) 2002-03-04
NO20030814D0 (no) 2003-02-21
NO20030814L (no) 2003-04-22
EP1311800A1 (en) 2003-05-21
JP2004507721A (ja) 2004-03-11
WO2002016863A1 (en) 2002-02-28
CA2420309A1 (en) 2002-02-28
DE60138891D1 (de) 2009-07-16
EP1311800B1 (en) 2009-06-03
US6593737B2 (en) 2003-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2260172C2 (ru) Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта
RU2283488C2 (ru) Способ контроля объекта из электрически проводящего материала
JPH0762668B2 (ja) 容器壁における腐食を検出する方法
CA1270918A (en) Method for detecting corrosion on conductive containers
RU2299399C2 (ru) Определение профиля поверхности объекта
US6291992B1 (en) Eddy current inspection technique
US4839593A (en) Transient electromagnetic method for directly detecting corrosion on conductive containers
US5343146A (en) Combination coating thickness gauge using a magnetic flux density sensor and an eddy current search coil
RU2003107828A (ru) Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта
RU2323410C2 (ru) Мониторинг толщины стенки
JP5507782B2 (ja) 導電材料中のクラックの検出
SU1610425A1 (ru) Способ определени глубины поверхностно-обработанных слоев металлических деталей
Malikov et al. Measurement System for Studying Thickness by Means of Subminiature Eddy-Current Transducers
CA2258623C (en) Eddy current inspection technique
JPH08262051A (ja) 流速測定方法及び流速測定装置
JPS6041443B2 (ja) 電磁石装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20080823