RU2260172C2 - Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта - Google Patents
Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта Download PDFInfo
- Publication number
- RU2260172C2 RU2260172C2 RU2003107828/28A RU2003107828A RU2260172C2 RU 2260172 C2 RU2260172 C2 RU 2260172C2 RU 2003107828/28 A RU2003107828/28 A RU 2003107828/28A RU 2003107828 A RU2003107828 A RU 2003107828A RU 2260172 C2 RU2260172 C2 RU 2260172C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- wall thickness
- characteristic value
- measured
- distance
- receiver
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
- G01B7/10—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Extrusion Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
Способ может быть использован для определения степени коррозии металлических труб. Вблизи поверхности электрически проводящего объекта размещают передающую катушку для наведения в объекте вихревых токов и приемную систему, состоящую из двух приемных катушек. Записывают сигналы во времени первой и второй приемных катушек. Толщину стенки объекта определяют на основе характеристики одного из сигналов. Вычисляют характеристическую величину Ф на основе обоих сигналов. Корректируют значение измеренной толщины стенки объекта для расстояния между зондом и объектом с использованием предварительно определенного соотношения между толщиной стенки и характеристической величиной Ф для различных значений расстояния между зондом и объектом. Изобретением решается задача исключения влияния расстояния между зондом и объектом на результат измерения толщины стенки электрически проводящего объекта. 6 з.п. ф-лы, 2 ил.
Description
Данное изобретение относится к контролю объекта из электрически проводящего материала электромагнитным способом. В способе электромагнитного контроля используют зонд, который содержит передающую катушку для наведения в объекте вихревых токов и приемную систему для получения сигнала, указывающего силу электромагнитного поля, созданного вихревыми токами, или изменения силы этого электромагнитного поля. В частности, данное изобретение относится к измерению толщины стенки и коррекции измеренной толщины стенки для неизвестных изменений подъема. Подъем является расстоянием между зондом и ближней поверхностью объекта, которая является поверхностью, наиболее близкой к зонду в противоположность дальней поверхности, которая является противоположной стороной объекта.
Примерами объектов, подходящих для контроля с помощью способа, согласно данному изобретению являются металлические плиты или стенки вместилищ, таких как трубы, котлы или контейнеры, имеющие радиус кривизны, который больше толщины объекта. Электрически проводящим материалом может быть любой электрически проводящий материал, например, углеродистая сталь или нержавеющая сталь. Другим применением способа, согласно данному изобретению, является измерение толщины слоя изоляции.
Задачей данного изобретения является обеспечение более точного измерения толщины объекта. Для этого данное изобретение предлагает способ измерения толщины стенки электрически проводящего объекта с использованием зонда, который содержит передающую катушку для наведения в объекте вихревых токов и приемную систему для получения сигнала, указывающего силу электромагнитного поля, созданного вихревыми токами, или изменения силы этого электромагнитного поля, при этом приемная система включает первый приемник и второй приемник, расположенный на расстоянии от первого приемника, при этом способ содержит стадии:
(a) расположения зонда вблизи объекта на расстоянии от ближней поверхности;
(b) наведения переходных вихревых токов в объекте посредством активирования передатчика и записи сигналов приемников во времени, при этом V1(t) является сигналом первого приемника в зависимости от времени t, a Vu(t) - сигналом второго приемника в зависимости от времени t;
(c) измерения толщины стенки на основе характеристики одного из сигналов;
(d) вычисления характеристической величины Ф на основе комбинации V1(t) Vu(t) и
(e) корректировки измеренной толщины стенки для расстояния между зондом и ближней поверхностью объекта с использованием предварительно определенного соотношения между толщиной стенки и характеристической величиной для различных значений расстояния между зондом и ближней поверхностью.
Ниже приводится подробное описание примера выполнения изобретения со ссылками на чертежи, на которых:
фиг.1 изображает первый вариант выполнения изобретения;
фиг.2 - график, иллюстрирующий корректировку измеренной толщины стенки для подъема.
На фиг.1 объект из электрически проводящего материала обозначен позицией 2, а зонд - позицией 4. Зонд 4 содержит передающую катушку 6 для наведения вихревых токов в объекте 2, приемную систему для получения сигнала, указывающего силу электромагнитного поля, создаваемого вихревыми токами, или изменения силы этого электромагнитного поля, при этом приемная система содержит первый приемник 8 и второй приемник 10, который расположен на расстоянии от первого приемника 8. Передающая катушка 6 соединена с устройством (не изображено) для возбуждения передающей катушки, а приемная система соединена с устройством (не изображено) для записи сигналов из приемной системы. Расстояние между зондом 4 и ближней поверхностью 12 обозначено позицией L, а пространство между зондом 4 и объектом 2 заполнено, например, изолирующим слоем (не изображен), покрывающим ближнюю поверхность 12. Расстояние между приемниками 8 и 10 одного порядка с расстоянием L предпочтительно составляет между 0,1 и 0, 9 расстояния L.
Во время нормальной работы зонд 4 расположен над объектом 2 вблизи ближней поверхности 12 объекта 2.
В объекте (2) наводят вихревые токи посредством активирования передающей катушки 6 (подачи энергии и резкого отключения энергии). Сигналы приемников 8 и 10 записывают в зависимости от времени. Сигнал первого приемника 8 в зависимости от времени t обозначен V1(t), а сигнал второго приемника в зависимости от времени t обозначен Vu(t). Сигналы V1(t) и Vu(t) указывают силу магнитного поля или изменения магнитного поля. В варианте выполнения, показанном на фиг, 1, приемники являются катушками 8 и 10, а записываемые сигналы указывают изменения силы магнитного поля, при этом диаметр приемных катушек одного порядка с расстоянием L предпочтительно составляет от 0,1 до 0,9 расстояния L.
Однако когда приемники являются преобразователями с использованием эффекта Холла или когда сигналы из катушек интегрируются, то сигналы указывают силу магнитного поля.
Один из сигналов V1(t) и Vu(t) используют для определения толщины объекта, а оба сигнала V1(t) и Vu(t) используют для вычисления характеристической величины Ф. Следует отметить, что для данного изобретения не имеет значения, является ли V1(t) сигналом из приемника 8, a Vu(t) - сигналом из приемника 10 или же наоборот - V1(t) сигналом из приемника 10, a Vu(t) - сигналом из приемника 8.
Заявителем было установлено, что для выполнения коррекции необходимо лишь одновременно определять характеристическую величину Ф и толщину WTm стенки.
Уже известно измерение толщины стенки проводящего объекта с использованием вихревых токов, например, из публикации заявки на международный патент № WO 98/02 714 и описания европейского патента №321112. При измерении неизвестной толщины стенки имеется три толщины стенки: (1) действительная толщина стенки или истинная толщина стенки, (2) измеренная толщина стенки (до коррекции) и (3) скорректированная толщина стенки. Корректировка измеренной толщины стенки выполняется для получения толщины стенки, которая ближе к действительной толщине стенки, чем измеренная толщина стенки перед коррекцией.
На практике измеренная толщина стенки изменяется в зависимости от подъема. Измерение толщины стенки можно выполнять более точно, если можно использовать информацию на расстоянии L для корректировки измеренной толщины стенки. Заявитель нашел способ корректировки, в котором нет необходимости знать расстояние или подъем.
Для измерения толщины стенки зонд 4 располагают вблизи объекта 2 на расстоянии L от ближней поверхности 12 объекта 2, толщину которого необходимо определить.
Во время нормальной работы в объекте 2 наводят вихревые токи посредством активирования передатчика и записывают сигналы V1(t) первого приемника 8 и Vu(t) второго приемника 10 в зависимости от времени (t).
Из характеристики по меньшей мере одного из сигналов V1(t) и Vu(t) определяют известным образом толщину WTm стенки. Это может быть определением амплитуды сигнала в конкретный момент времени и сравнением ее с амплитудами, определенными в этот момент времени для испытательных объектов, имеющих известную толщину. В качестве альтернативного решения используется так называемое критическое время, то есть время после прерывания активирования передатчика, в которое созданные в объекте вихревые токи достигают дальнюю поверхность. Другой способ включает вычисление интеграла сигналов в течение времени между двумя заданными моментами времени и получения информации о толщине на основе вычисленной величины. В другом способе используют определение времени, которое необходимо для уменьшения сигнала от первой величины до второй величины, и получают толщину из соотношения между толщиной стенки и временем.
Комбинацию сигналов V1(t) и Vu(t) используют для вычисления характеристической величины Фm.
Затем измеренную толщину WTm стенки корректируют для неизвестного расстояния L между зондом 4 и ближней поверхностью 12 объекта 2 с использованием предварительно определенного соотношения между толщиной стенки и характеристической величиной для различных значений расстояния между зондом и ближней поверхностью. Это соотношение определяют в одной точке для того же объекта или для объекта, имеющего аналогичные электромагнитные свойства. Следует отметить, что расстояние L может изменяться с изменением положения вдоль объекта.
Ниже приводится описание процесса корректировки измеренной толщины стенки для подъема со ссылками на фиг.2.
Сначала измеряют сигналы V1(t) и Vu(t) для объекта, имеющего известную толщину WTk стенки. На основе этих сигналов определяют толщину WTm стенки и характеристическую величину Фm. Это повторяют для нескольких разных подъемов в том же месте. Толщина стенки и характеристическая величина показаны на графике на фиг.2А, где на горизонтальной оси откладывают подъем L, а на вертикальной оси - толщину стенки WT и характеристическую величину Ф. Сплошной линией показана измеренная толщина стенки в зависимости от подъема, а штриховой линией - характеристическая величина в виде функции подъема. Точки а, b, с, d, e, f и g являются измеренными величинами. Калибровка заключается в том, чтобы толщина WTm(c) стенки, измеренная в точке с, равнялась известной толщине WTk стенки.
Затем из графика, показанного на фиг.2А, - получают график, показанный на фиг.2В. На фиг.2В показана измеренная толщина стенки в виде функции характеристической величины.
Из фиг.2В определяют коэффициент коррекции CF и строят график, показанный на фиг.2С. Коэффициент коррекции равен известной толщине стенки, разделенной на измеренную толщину стенки, и коэффициент коррекции равен 1 для Фс, больше 1 для Ф<Фс и меньше 1 для Ф>Фс. Для получения коэффициента коррекции в виде непрерывной функции характеристической величины через точки проводят кривую.
Для корректировки измеренной толщины стенки одного и того же объекта (или объекта, имеющего аналогичные электромагнитные свойства) для неизвестного подъема, измеренную толщину WTm корректируют с использованием характеристической величины Фm. Скорректированная толщина стенки равна WTcorr=WTm· CF(Ф).
В качестве альтернативного решения соотношение между измеренной толщиной стенки и характеристической величиной (как показано на фиг.2В) апроксимируется линейным соотношением. Это линейное соотношение характеризуется наклоном, который равен отношению изменения толщины стенки δWT1 к изменению характеристической величины δФ1. Скорректированная толщина стенки равна WTcorr=WTm+(Ф2-Ф0)(δWT1/δФ), где Ф2 является характеристической величиной, относящейся к неизвестной толщине стенки, а Ф0 - характеристической величиной, для которой коэффициент коррекции равен 1 (Фс на фиг.2С).
Скорректированную толщину стенки предпочтительно корректируют для температуры измерения объекта. Это можно выполнять путем определения при температуре То калибровки отношения изменения толщины стенки δWT к изменению температуры δТ и вычисления скорректированной толщины стенки с использованием уравнения WTcorr2=WTcorr+(Т-Т0)(δWT/δT).
Вычисление характеристической величины Ф на основе комбинации V1(t) и Vu(t) предпочтительно содержит вычисление характеристической величины из уравнения 
где t0 является начальным моментом времени, Δ - интервалом выборки и n - числом выборок, включенных в суммирование.
В варианте выполнения зонда 4, показанном на фиг.1, приемники 8 и 10 расположены один над другим в вертикальном направлении - перпендикулярно ближней поверхности 12 объекта 2. В альтернативном варианте выполнения (не изображен) антенные приемные средства разнесены в горизонтальном направлении - параллельно ближней поверхности 12. Это является предпочтительным, в частности, тогда, когда используется U-образный ферритовый сердечник, открытый конец которого направлен в сторону объекта. U-образный ферритовый сердечник содержит на обоих плечах передающую катушку и приемную катушку, затем ближе к U-образной части ферритового сердечника расположена вторая приемная катушка.
В трубах, покрытых изолирующим материалом, под изоляцией происходит коррозия. Обычно изолирующий материал защищен от воздействия внешней среды металлическим покрытием. Это металлическое покрытие называют оболочкой. Оболочка обычно выполняется из алюминия или стали и имеет толщину около 0,7 мм. Оболочку применяют секциями с типичной длиной 1 м. Проникновение воды предотвращается за счет частичного наложения друг на друга двух секций оболочки. Оболочку не надо удалять во время обследования с использованием технологии вихревых токов. В первом приближении действие оболочки состоит в задержке Δt принятого сигнала: если сигнал без оболочки является s(t), то сигнал с оболочкой становится s(t-Δt). Величина Δt изменяется вдоль секции оболочки: вблизи наложения секций Δt больше по сравнению с величиной в середине. Изменения сдвига Δt влияют на обычный способ с использованием импульсных вихревых токов: изменения в Δt проявляются как ложные изменения в измеряемой толщине стали. Заявителями установлено, что способ согласно данному изобретению, когда используют два приемника, является менее чувствительным к наличию металлической оболочки. Причиной этому является то, что, как было экспериментально установлено, характеристическая величина Ф почти не зависит от времени t: Ф(t)≈Ф(t-Δt), при этом
где τ=t или τ=t-Δt.
Claims (7)
1. Способ измерения толщины стенки электрически проводящего объекта с использованием зонда, который содержит передающую катушку для наведения в объекте вихревых токов и приемную систему для получения сигнала, указывающего силу электромагнитного поля, созданного вихревыми токами, или изменения силы этого электромагнитного поля, при этом приемная система включает первый приемник и второй приемник, расположенный на расстоянии от первого приемника, при этом способ содержит стадии:
(a) расположения зонда вблизи объекта на расстоянии от ближней поверхности;
(b) наведения переходных вихревых токов в объекте посредством активирования передатчика и записи сигналов приемника во времени, при этом V1(t) является сигналом первого приемника в зависимости от времени (t), a Vu(t) - сигналом второго приемника в зависимости от времени (t);
(c) измерения толщины стенки на основе характеристики одного из сигналов;
(d) вычисления характеристической величины Ф на основе комбинации V1(t) и Vu(t); и
(e) корректировки измеренной толщины стенки для расстояния между зондом и ближней поверхностью объекта с использованием предварительно определенного соотношения между толщиной стенки и характеристической величиной для различных значений расстояния между зондом и ближней поверхностью.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что корректировка измеренной толщины стенки включает измерение толщины стенки и определение характеристической величины для объекта, имеющего известную толщину стенки для различных значений подъема; выведение соотношения между измеренной толщиной стенки и характеристической величиной и получение скорректированной толщины стенки посредством умножения измеренной толщины стенки на коэффициент коррекции, относящийся к характеристической величине.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что корректировка измеренной толщины WTm стенки содержит определение характеристической величины Ф0, для которой коэффициент коррекции равен 1; выведение из соотношения между измеренной толщиной стенки и характеристической величиной отношения изменения толщины стенки δWT1 к изменению характеристической величины δФ1, и корректировку толщины WTm стенки для неизвестного подъема с получением скорректированной толщины стенки WTcorr=WTm+(Ф2-Ф0)(δWT1/δФ), где Ф2 является характеристической величиной, измеренной вместе с толщиной WTm стенки.
4. Способ по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что дополнительно содержит измерение температуры объекта и корректировку скорректированной толщины стенки с учетом температуры.
5. Способ по п.4, отличающийся тем, что корректировка скорректированной толщины стенки с учетом температуры включает определение при температуре Т0 калибровки отношения изменения толщины стенки δWT к изменению температуры δТ и вычисления скорректированной толщины стенки с использованием уравнения WTcorr2=WTcorr+(T-T0)(δWT/δT).
6. Способ по любому из пп.1-5, отличающийся тем, что вычисление характеристической величины Ф на основе комбинации V1(t) и Vu(t) содержит вычисление характеристической величины из уравнения
где t0 является начальным моментом времени;
Δ - интервал выборки;
n - число выборок, включенных в суммирование.
7. Способ по любому из пп.1-6, отличающийся тем, что приемная система содержит первую приемную катушку и вторую приемную катушку, расположенную на расстоянии от первой приемной катушки, и в котором сигнал представляет изменение вихревого тока, при этом V1 и Vu являются напряжениями на зажимах первой и второй приемной катушки соответственно.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP00307298 | 2000-08-24 | ||
| EP00307298.0 | 2000-08-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2003107828A RU2003107828A (ru) | 2004-09-10 |
| RU2260172C2 true RU2260172C2 (ru) | 2005-09-10 |
Family
ID=8173218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2003107828/28A RU2260172C2 (ru) | 2000-08-24 | 2001-08-22 | Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта |
Country Status (11)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6593737B2 (ru) |
| EP (1) | EP1311800B1 (ru) |
| JP (1) | JP2004507721A (ru) |
| CN (1) | CN1447902A (ru) |
| AT (1) | ATE433092T1 (ru) |
| AU (1) | AU2001287701A1 (ru) |
| CA (1) | CA2420309A1 (ru) |
| DE (1) | DE60138891D1 (ru) |
| NO (1) | NO20030814L (ru) |
| RU (1) | RU2260172C2 (ru) |
| WO (1) | WO2002016863A1 (ru) |
Families Citing this family (35)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6640151B1 (en) | 1999-12-22 | 2003-10-28 | Applied Materials, Inc. | Multi-tool control system, method and medium |
| US6708074B1 (en) | 2000-08-11 | 2004-03-16 | Applied Materials, Inc. | Generic interface builder |
| US6570379B2 (en) * | 2000-08-24 | 2003-05-27 | Shell Oil Company | Method for inspecting an object of electrically conducting material |
| US6538435B2 (en) * | 2000-08-24 | 2003-03-25 | Shell Oil Company | Method for detecting an anomaly in an object of electrically conductive material along first and second direction at inspection points |
| US7188142B2 (en) | 2000-11-30 | 2007-03-06 | Applied Materials, Inc. | Dynamic subject information generation in message services of distributed object systems in a semiconductor assembly line facility |
| US7160739B2 (en) | 2001-06-19 | 2007-01-09 | Applied Materials, Inc. | Feedback control of a chemical mechanical polishing device providing manipulation of removal rate profiles |
| US7698012B2 (en) | 2001-06-19 | 2010-04-13 | Applied Materials, Inc. | Dynamic metrology schemes and sampling schemes for advanced process control in semiconductor processing |
| US20030199112A1 (en) | 2002-03-22 | 2003-10-23 | Applied Materials, Inc. | Copper wiring module control |
| US6672716B2 (en) * | 2002-04-29 | 2004-01-06 | Xerox Corporation | Multiple portion solid ink stick |
| WO2004046835A2 (en) | 2002-11-15 | 2004-06-03 | Applied Materials, Inc. | Method, system and medium for controlling manufacture process having multivariate input parameters |
| RU2323410C2 (ru) * | 2002-12-19 | 2008-04-27 | Шелл Интернэшнл Рисерч Маатсхаппий Б.В. | Мониторинг толщины стенки |
| JP4718482B2 (ja) * | 2003-12-10 | 2011-07-06 | メッツォ ペーパー インコーポレイテッド | 繊維状ウェブを処理するための装置における稼働パラメータを制御する方法及びその方法を提供するための機器 |
| SE527125C2 (sv) * | 2003-12-31 | 2005-12-27 | Abb Ab | Metod och anordning för beröringsfri mätning av tjocklek eller ledningsförmåga med elektromagnetisk induktion |
| SE527091C2 (sv) * | 2003-12-31 | 2005-12-20 | Abb Ab | Metod och anordning för beröringsfri mätning av tjocklek och elektriska ledningsförmåga hos ett mätobjekt |
| JP4542973B2 (ja) * | 2005-09-15 | 2010-09-15 | 株式会社東芝 | 移動距離計測装置および移動距離計測方法 |
| EP2064515B1 (en) | 2006-09-21 | 2014-11-26 | Shell Internationale Research Maatschappij B.V. | Inspection of an electrically conductive object using eddy currents |
| GB2450112B (en) * | 2007-06-12 | 2010-12-08 | Ge Inspection Technologies Ltd | Automatic lift-off compensation for pulsed eddy current inspection |
| CN101398298B (zh) * | 2008-11-10 | 2010-09-29 | 清华大学 | 电磁超声测厚方法 |
| US20100240900A1 (en) * | 2009-03-23 | 2010-09-23 | Headwaters Technology Innovation, Llc | Dispersible carbon nanospheres and methods for making same |
| JP5513821B2 (ja) * | 2009-09-17 | 2014-06-04 | 株式会社荏原製作所 | 渦電流センサ、研磨装置、めっき装置、研磨方法、めっき方法 |
| CN101788260B (zh) * | 2010-03-18 | 2011-12-28 | 清华大学 | 一种金属薄膜厚度的电涡流测量方法 |
| JP4975142B2 (ja) * | 2010-06-17 | 2012-07-11 | トヨタ自動車株式会社 | 渦流計測用センサ及び渦流計測方法 |
| FR2981741B1 (fr) * | 2011-10-20 | 2013-11-29 | Messier Bugatti Dowty | Procede de mesure d'epaisseur d'une couche de revetement par induction de champs magnetiques |
| US9091664B2 (en) * | 2012-06-07 | 2015-07-28 | Thomas Krause | Pulsed eddy current sensor for precision measurement at-large lift-offs on metallic surfaces |
| US9335151B2 (en) | 2012-10-26 | 2016-05-10 | Applied Materials, Inc. | Film measurement |
| CN104465481A (zh) * | 2013-09-22 | 2015-03-25 | 盛美半导体设备（上海）有限公司 | 晶圆夹盘 |
| CN104034250B (zh) * | 2014-06-30 | 2016-08-24 | 山东中科普锐检测技术有限公司 | 涂层测厚仪温度补偿测量方法 |
| FR3025306B1 (fr) * | 2014-08-29 | 2020-07-10 | Safran | Procede non-destructif de mesure de l'epaisseur de barriere thermique et/ou de mur en superalliage d'aube creuse de turbomachine |
| US10073058B2 (en) | 2015-02-11 | 2018-09-11 | Structural Integrity Associates | Dynamic pulsed eddy current probe |
| US10895555B2 (en) | 2015-03-30 | 2021-01-19 | Structural Integrity Associates, Inc. | System for in-line inspection using a dynamic pulsed eddy current probe and method thereof |
| CN105509631B (zh) * | 2015-12-07 | 2018-05-18 | 天津因科新创科技有限公司 | 一种脉冲涡流壁厚检测方法和装置 |
| CN106197249A (zh) * | 2016-09-30 | 2016-12-07 | 天津华海清科机电科技有限公司 | Cmp过程中铜层厚度在线测量系统及其控制方法 |
| CN109764800A (zh) * | 2019-01-15 | 2019-05-17 | 西南石油大学 | 一种基于涡流热成像阵列的管道腐蚀壁厚检测系统 |
| EP4053494B1 (en) | 2021-03-02 | 2024-08-28 | ABB Schweiz AG | Thickness measurement using a pulsed eddy current system |
| JP7541684B2 (ja) | 2022-03-22 | 2024-08-29 | 株式会社Ｉｈｉ検査計測 | 導電性部材の板厚評価システムと方法 |
Family Cites Families (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3555887A (en) | 1967-09-19 | 1971-01-19 | American Mach & Foundry | Apparatus for electroacoustically inspecting tubular members for anomalies using the magnetostrictive effect and for measuring wall thickness |
| US3693075A (en) * | 1969-11-15 | 1972-09-19 | Forster F M O | Eddy current system for testing tubes for defects,eccentricity,and wall thickness |
| DE2345848C3 (de) * | 1973-09-12 | 1986-06-19 | ELEKTRO-PHYSIK Hans Nix & Dr.-Ing. E. Steingroever GmbH & Co KG, 5000 Köln | Elektromagnetischer Schichtdickenmesser |
| US4383218A (en) * | 1978-12-29 | 1983-05-10 | The Boeing Company | Eddy current flow detection including compensation for system variables such as lift-off |
| JPS5692804U (ru) * | 1979-12-17 | 1981-07-23 | ||
| US4492115A (en) * | 1984-04-11 | 1985-01-08 | Pa Incorporated | Method and apparatus for measuring defects in ferromagnetic tubing |
| DE3413787A1 (de) | 1984-04-12 | 1985-10-17 | Nukem Gmbh, 6450 Hanau | Verfahren und vorrichtung zur pruefung von elektrisch leitenden gegenstaenden mittels ultraschall |
| FR2572175A1 (fr) | 1984-10-24 | 1986-04-25 | Stein Heurtey | Procede et dispositif pour mesurer l'epaisseur de couches metalliques minces deposees sur un support conducteur |
| FR2574938B1 (fr) | 1984-12-19 | 1986-12-26 | Snecma | Methode de controle par courants de foucault sans contact et dispositif de mise en oeuvre |
| JPS61151402A (ja) * | 1984-12-26 | 1986-07-10 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | 差動相互誘導型渦流計測用センサ |
| US4644271A (en) * | 1985-02-25 | 1987-02-17 | Ltv Steel Company, Inc. | Method and apparatus for examining a workpiece |
| JPS62225947A (ja) * | 1986-03-26 | 1987-10-03 | Kobe Steel Ltd | 渦流測定用プロ−ブ |
| US4945305A (en) | 1986-10-09 | 1990-07-31 | Ascension Technology Corporation | Device for quantitatively measuring the relative position and orientation of two bodies in the presence of metals utilizing direct current magnetic fields |
| SE451886B (sv) | 1986-10-10 | 1987-11-02 | Sten Linder | Sett och anordning for beroringsfri metning av storheter hos eller i anslutning till elektriskt ledande material |
| JPS63139202A (ja) * | 1986-12-02 | 1988-06-11 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 電磁誘導形肉厚測定方法および測定装置 |
| US4843320A (en) * | 1987-12-17 | 1989-06-27 | Atlantic Richfield Company | Transient electromagnetic method for detecting corrosion on conductive containers |
| US4929898A (en) * | 1987-12-17 | 1990-05-29 | Atlantic Richfield | Transient electromagnetic method for detecting irregularities on conductive containers |
| US4849693A (en) * | 1988-02-29 | 1989-07-18 | Battelle Memorial Institute | Automated measurement system employing eddy currents to adjust probe position and determine metal hardness |
| US4843317A (en) | 1988-10-18 | 1989-06-27 | Conoco Inc. | Method and apparatus for measuring casing wall thickness using a flux generating coil with radial sensing coils and flux leakage sensing coils |
| JPH0654206B2 (ja) * | 1989-09-05 | 1994-07-20 | 株式会社ニレコ | 渦電流距離測定装置 |
| US5198764A (en) | 1991-02-22 | 1993-03-30 | Sentech Corp. | Position detector apparatus and method utilizing a transient voltage waveform processor |
| US5491409A (en) * | 1992-11-09 | 1996-02-13 | The Babcock & Wilcox Company | Multiple yoke eddy current technique for detection of surface defects on metal components covered with marine growth |
| US5569835A (en) | 1994-08-10 | 1996-10-29 | Ultrasonic Arrays, Inc. | Reference wire compensation method and apparatus |
| US5592092A (en) | 1994-10-28 | 1997-01-07 | Gas Research Institute | Pipe proximity warning device for accidental damage prevention mounted on the bucket of a backhoe |
| US5541510A (en) * | 1995-04-06 | 1996-07-30 | Kaman Instrumentation Corporation | Multi-Parameter eddy current measuring system with parameter compensation technical field |
| SE508354C2 (sv) | 1996-07-05 | 1998-09-28 | Asea Atom Ab | Förfarande och anordning för bestämning av skikttjocklek |
| US6291992B1 (en) | 1996-07-12 | 2001-09-18 | Shell Oil Company | Eddy current inspection technique |
| NL1005160C2 (nl) * | 1997-01-31 | 1998-08-03 | Roentgen Tech Dienst Bv | Inrichting voor het bepalen van eigenschappen van een elektrisch geleidend voorwerp. |
| US6037768A (en) * | 1997-04-02 | 2000-03-14 | Iowa State University Research Foundation, Inc. | Pulsed eddy current inspections and the calibration and display of inspection results |
| US6201987B1 (en) | 1998-05-26 | 2001-03-13 | General Electric Company | Error compensation for device tracking systems employing electromagnetic fields |
| US6344741B1 (en) * | 2000-06-20 | 2002-02-05 | Her Majesty The Queen As Represented By The Minister Of National Defence In Right Of Canada | Pulsed eddy current method for detection of corrosion in multilayer structures using the lift-off point of intersection |
-
2001
- 2001-08-18 US US09/931,993 patent/US6593737B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-08-22 AU AU2001287701A patent/AU2001287701A1/en not_active Abandoned
- 2001-08-22 AT AT01967295T patent/ATE433092T1/de not_active IP Right Cessation
- 2001-08-22 JP JP2002521917A patent/JP2004507721A/ja active Pending
- 2001-08-22 CA CA002420309A patent/CA2420309A1/en not_active Abandoned
- 2001-08-22 DE DE60138891T patent/DE60138891D1/de not_active Expired - Fee Related
- 2001-08-22 RU RU2003107828/28A patent/RU2260172C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2001-08-22 WO PCT/EP2001/009720 patent/WO2002016863A1/en active Application Filing
- 2001-08-22 CN CN01814484.5A patent/CN1447902A/zh active Pending
- 2001-08-22 EP EP01967295A patent/EP1311800B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-02-21 NO NO20030814A patent/NO20030814L/no not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6593737B2 (en) | 2003-07-15 |
| CN1447902A (zh) | 2003-10-08 |
| DE60138891D1 (de) | 2009-07-16 |
| JP2004507721A (ja) | 2004-03-11 |
| US20020149359A1 (en) | 2002-10-17 |
| ATE433092T1 (de) | 2009-06-15 |
| EP1311800B1 (en) | 2009-06-03 |
| AU2001287701A1 (en) | 2002-03-04 |
| CA2420309A1 (en) | 2002-02-28 |
| NO20030814D0 (no) | 2003-02-21 |
| EP1311800A1 (en) | 2003-05-21 |
| WO2002016863A1 (en) | 2002-02-28 |
| NO20030814L (no) | 2003-04-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2260172C2 (ru) | Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта | |
| RU2283488C2 (ru) | Способ контроля объекта из электрически проводящего материала | |
| JPH0762668B2 (ja) | 容器壁における腐食を検出する方法 | |
| CA1270918A (en) | Method for detecting corrosion on conductive containers | |
| RU2299399C2 (ru) | Определение профиля поверхности объекта | |
| US6291992B1 (en) | Eddy current inspection technique | |
| US4839593A (en) | Transient electromagnetic method for directly detecting corrosion on conductive containers | |
| US5343146A (en) | Combination coating thickness gauge using a magnetic flux density sensor and an eddy current search coil | |
| RU2003107828A (ru) | Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта | |
| RU2323410C2 (ru) | Мониторинг толщины стенки | |
| SU1610425A1 (ru) | Способ определени глубины поверхностно-обработанных слоев металлических деталей | |
| CA2258623C (en) | Eddy current inspection technique | |
| JPH08262051A (ja) | 流速測定方法及び流速測定装置 | |
| JPS6041443B2 (ja) | 電磁石装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20080823 |