JPH0654206B2 - 渦電流距離測定装置 - Google Patents
渦電流距離測定装置Info
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- JPH0654206B2 JPH0654206B2 JP1231304A JP23130489A JPH0654206B2 JP H0654206 B2 JPH0654206 B2 JP H0654206B2 JP 1231304 A JP1231304 A JP 1231304A JP 23130489 A JP23130489 A JP 23130489A JP H0654206 B2 JPH0654206 B2 JP H0654206B2
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Description
【発明の詳細な説明】 本発明は被測定物に生じる渦電流を利用して被測定物ま
での距離を測定する渦電流距離測定装置に係わり、特に
連続鋳造の操業時にモールド内の湯面レベルを計測する
渦電流距離測定装置に関する。
での距離を測定する渦電流距離測定装置に係わり、特に
連続鋳造の操業時にモールド内の湯面レベルを計測する
渦電流距離測定装置に関する。
鋼の連続鋳造機用モールド内の溶鋼湯面レベルを測定す
るための湯面計として、渦電流を利用した渦電流距離測
定装置が用いられている。この原理を第４図により説明
する。この湯面計はプローブ１，交流電圧増幅機２，正
帰還増幅器３および交流電源４から構成される。プロー
ブ１は、中空ボビン５と、この中空ボビン５に巻回され
た１次コイル６と、この１次コイル６をはさんで前記中
空ボビン５に巻回された２次コイル７ａ，７ｂよりな
り、２次コイル７ａ，７ｂは互いに差動的に接続されて
いる。
るための湯面計として、渦電流を利用した渦電流距離測
定装置が用いられている。この原理を第４図により説明
する。この湯面計はプローブ１，交流電圧増幅機２，正
帰還増幅器３および交流電源４から構成される。プロー
ブ１は、中空ボビン５と、この中空ボビン５に巻回され
た１次コイル６と、この１次コイル６をはさんで前記中
空ボビン５に巻回された２次コイル７ａ，７ｂよりな
り、２次コイル７ａ，７ｂは互いに差動的に接続されて
いる。
次に作動について説明する。
正帰還増幅器３の出力電圧が１次コイル６に印加される
と、１次コイル６によって交流磁界が発生する。１次コ
イル６の交流磁界の磁力線は、１次コイル６と同軸に設
けられた１対の２次コイル７ａ，７ｂと鎖交して、１対
の２次コイル７ａ，７ｂに、それぞれ交流電圧を誘導さ
せる。１次コイル６の磁力線は、１対の２次コイル７
ａ，７ｂと鎖交すると同時にモールド内の溶鋼８内を通
過して、溶鋼８内に渦電流を発生させる。この渦電流の
発生によって、１次コイル６の交流磁界の方向と逆方向
の別の交流磁界が発生する。この結果、２次コイル７
ａ，７ｂと鎖交する１次コイル６の磁力線の一部が打ち
消され、磁力線の数が減少する。この磁力線の減少割合
は、上方の２次コイル７ａと下方の２次コイル７ｂとで
は異なる。これは、１対の２次コイル７ａ，７ｂの各々
と溶鋼８との間の距離が同一でないからである。従っ
て、１対の２次コイル７ａ，７ｂにそれぞれ誘導される
電圧の間に差が生じる。１対の２次コイル７ａ，７ｂは
互いに差動的に接続されているので、１対の２次コイル
７ａ，７ｂ間の誘導電圧の差の値は、交流電圧増幅器２
を介して正帰還増幅器３に正帰還される。
と、１次コイル６によって交流磁界が発生する。１次コ
イル６の交流磁界の磁力線は、１次コイル６と同軸に設
けられた１対の２次コイル７ａ，７ｂと鎖交して、１対
の２次コイル７ａ，７ｂに、それぞれ交流電圧を誘導さ
せる。１次コイル６の磁力線は、１対の２次コイル７
ａ，７ｂと鎖交すると同時にモールド内の溶鋼８内を通
過して、溶鋼８内に渦電流を発生させる。この渦電流の
発生によって、１次コイル６の交流磁界の方向と逆方向
の別の交流磁界が発生する。この結果、２次コイル７
ａ，７ｂと鎖交する１次コイル６の磁力線の一部が打ち
消され、磁力線の数が減少する。この磁力線の減少割合
は、上方の２次コイル７ａと下方の２次コイル７ｂとで
は異なる。これは、１対の２次コイル７ａ，７ｂの各々
と溶鋼８との間の距離が同一でないからである。従っ
て、１対の２次コイル７ａ，７ｂにそれぞれ誘導される
電圧の間に差が生じる。１対の２次コイル７ａ，７ｂは
互いに差動的に接続されているので、１対の２次コイル
７ａ，７ｂ間の誘導電圧の差の値は、交流電圧増幅器２
を介して正帰還増幅器３に正帰還される。
交流電圧増幅器２によって増幅された誘導電圧の差の値
は、プローブ１と、溶鋼８との間の距離に対応して変化
し、そして、正帰還増幅器３の出力電圧は増幅された誘
導電圧の値に対応して変化する。
は、プローブ１と、溶鋼８との間の距離に対応して変化
し、そして、正帰還増幅器３の出力電圧は増幅された誘
導電圧の値に対応して変化する。
従って、正帰還増幅器３の出力電圧を検出することによ
って、プローブ１の先端と溶鋼８の上面との間の距離
を、測定することができる。
って、プローブ１の先端と溶鋼８の上面との間の距離
を、測定することができる。
以上のように構成された測定装置を小型化して連続鋳造
設備の湯面計などに適用する場合、コイル径を小さくす
ると２次コイル７ａ，７ｂの誘起電圧が減少し、Ｓ／Ｎ
比が悪化する。また、溶鋼からの熱によるプローブ１の
温度変化により１次コイル６と２次コイル７ａ，７ｂの
寸法形状が微妙に変化し、２次コイル７ａ，７ｂに誘起
される電圧も変化して温度ドリフトの要因となってい
る。この解決法として特開昭62-90502号公報には、１次
コイルに印加する交流電流を大きくしたり、１次コイル
６と２次コイル７ａ，７ｂのコイル間隔を検出感度椎第
の位置に設定して、信号レベルを大きくしてＳ／Ｎ比の
改善を図る技術が開示される。また、温度ドリフトを減
少するため、温度補償回路を交流電圧増幅器２側に設
け、その温度補償係数を各プローブ１ごとに異なった係
数を用いて補正していた。
設備の湯面計などに適用する場合、コイル径を小さくす
ると２次コイル７ａ，７ｂの誘起電圧が減少し、Ｓ／Ｎ
比が悪化する。また、溶鋼からの熱によるプローブ１の
温度変化により１次コイル６と２次コイル７ａ，７ｂの
寸法形状が微妙に変化し、２次コイル７ａ，７ｂに誘起
される電圧も変化して温度ドリフトの要因となってい
る。この解決法として特開昭62-90502号公報には、１次
コイルに印加する交流電流を大きくしたり、１次コイル
６と２次コイル７ａ，７ｂのコイル間隔を検出感度椎第
の位置に設定して、信号レベルを大きくしてＳ／Ｎ比の
改善を図る技術が開示される。また、温度ドリフトを減
少するため、温度補償回路を交流電圧増幅器２側に設
け、その温度補償係数を各プローブ１ごとに異なった係
数を用いて補正していた。
上述のように従来の渦電流距離測定装置はプローブ１の
周辺の温度の影響を受け、温度ドリフトが発生し、これ
を減少するためコイル寸法を変えたり、増幅器側（交流
電圧増幅器２および正帰還増幅器３）に温度補償回路を
設けたりして測定出力の安定を計っていた。具体的には
２次コイル７ａ，７ｂに微小な直流電流を流し、コイル
の直流抵抗の温度変化による直流電左の変化を温度補償
信号として用いる方法である。
周辺の温度の影響を受け、温度ドリフトが発生し、これ
を減少するためコイル寸法を変えたり、増幅器側（交流
電圧増幅器２および正帰還増幅器３）に温度補償回路を
設けたりして測定出力の安定を計っていた。具体的には
２次コイル７ａ，７ｂに微小な直流電流を流し、コイル
の直流抵抗の温度変化による直流電左の変化を温度補償
信号として用いる方法である。
しかし、この方法では個々のプローブ１に対応した温度
補償係数を有する温度補償回路が必要となり、各プロー
ブ１に対し互換性のある温度補償回路を有する増幅器と
なりえなかった。また、高感度の直流増幅器を用いるた
め、温度補償回路から低周波ノイズが増幅器側に侵入し
測定出力が不安定となる要因の１つとなっていた。
補償係数を有する温度補償回路が必要となり、各プロー
ブ１に対し互換性のある温度補償回路を有する増幅器と
なりえなかった。また、高感度の直流増幅器を用いるた
め、温度補償回路から低周波ノイズが増幅器側に侵入し
測定出力が不安定となる要因の１つとなっていた。
本発明の目的は、上記の問題点を解決するためプローブ
自体に温度補償機能をもたせることにより互換性のある
プローブ、増幅器を有する渦電流距離測定装置を提供す
ることにある。
自体に温度補償機能をもたせることにより互換性のある
プローブ、増幅器を有する渦電流距離測定装置を提供す
ることにある。
上記目的を達成するため、１次コイル，２次コイルに生
じる温度の影響を打ち消すように熱膨張体を１次コイル
と２次コイル間に設ければよく、本発明の渦電流距離測
定装置は、被測定体にほぼ垂直に配設したボビンに１次
コイルを巻回し、この１次コイルを挟んで１対の２次コ
イルを巻回し、前記１次コイルに帰還増幅器から交流電
流を印加して上記１対の２次コイルに誘起される誘起起
電圧の差分電圧を前記帰還増幅器に帰還し、この帰還増
幅器の出力電圧から被測定体までの距離を計測する渦電
流距離測定装置において、前記１次コイルと前記２次コ
イルの少なくとも一方の間に、前記２次コイルと前記１
次コイルのボビン軸方向の距離が所定の温度変化に対応
して所定量伸縮する熱膨張体を設け、前記所定量は、予
め得られている所定の温度変化に対する前記出力電圧の
変化量と、この変化量を打ち消す１次コイルと２次コイ
ルの少なくとも一方との間の距離の変化量との関係より
得られている前記距離の変化量である。また、前記熱膨
張体がエポキシ系接着剤により構成されるようにすると
よい。
じる温度の影響を打ち消すように熱膨張体を１次コイル
と２次コイル間に設ければよく、本発明の渦電流距離測
定装置は、被測定体にほぼ垂直に配設したボビンに１次
コイルを巻回し、この１次コイルを挟んで１対の２次コ
イルを巻回し、前記１次コイルに帰還増幅器から交流電
流を印加して上記１対の２次コイルに誘起される誘起起
電圧の差分電圧を前記帰還増幅器に帰還し、この帰還増
幅器の出力電圧から被測定体までの距離を計測する渦電
流距離測定装置において、前記１次コイルと前記２次コ
イルの少なくとも一方の間に、前記２次コイルと前記１
次コイルのボビン軸方向の距離が所定の温度変化に対応
して所定量伸縮する熱膨張体を設け、前記所定量は、予
め得られている所定の温度変化に対する前記出力電圧の
変化量と、この変化量を打ち消す１次コイルと２次コイ
ルの少なくとも一方との間の距離の変化量との関係より
得られている前記距離の変化量である。また、前記熱膨
張体がエポキシ系接着剤により構成されるようにすると
よい。
第４図を用いて説明する。
１次コイル６に交流電流を供給すると、交流磁界が発生
し、２次コイル７ａ，７ｂに電圧が誘起する。この誘起
電圧は１次コイル６と２次コイル７ａ，７ｂ間の相互イ
ンピーダンスＭ７ａ，Ｍ７ｂの変化によって変わる。２
次コイル７ａ，７ｂを差動的に結合するとその差分電圧
ｅは次のように表される。
し、２次コイル７ａ，７ｂに電圧が誘起する。この誘起
電圧は１次コイル６と２次コイル７ａ，７ｂ間の相互イ
ンピーダンスＭ７ａ，Ｍ７ｂの変化によって変わる。２
次コイル７ａ，７ｂを差動的に結合するとその差分電圧
ｅは次のように表される。
この(1)式における正帰還増幅器３の出力電圧ｅ０は次
のように表される。
のように表される。
ｅ１：正帰還増幅器３の入力電圧 Ｎ：反転増幅度 Ａ２：交流電圧増幅器２の増幅度 Ｍ7a：１次コイル６と２次コイル７ａとの相互インピー
ダンス Ｍ7b：１次コイル６と２次コイル７ｂとの相互インピー
ダンス Ｐ1,Ｒ2：正帰還抵抗 Ｚｐ：１次コイル６のインピーダンス 相互インピーダンスＭ7a，Ｍ7bはレベル測定の対象であ
る溶鋼レベルの変動によって変動し、この変動よりレベ
ルを測定する。しかし、温度変化によりコイルが膨張し
変形して、１次コイル６と２次コイル７a,及び１次コイ
ル６と２次コイル7bとの結合関係が変化した場合も
Ｍ7a，Ｍ7bは変化する。このためレベル測定値となるｅ
０も(2)式によって温度の変化に応じて変化する。
ダンス Ｍ7b：１次コイル６と２次コイル７ｂとの相互インピー
ダンス Ｐ1,Ｒ2：正帰還抵抗 Ｚｐ：１次コイル６のインピーダンス 相互インピーダンスＭ7a，Ｍ7bはレベル測定の対象であ
る溶鋼レベルの変動によって変動し、この変動よりレベ
ルを測定する。しかし、温度変化によりコイルが膨張し
変形して、１次コイル６と２次コイル７a,及び１次コイ
ル６と２次コイル7bとの結合関係が変化した場合も
Ｍ7a，Ｍ7bは変化する。このためレベル測定値となるｅ
０も(2)式によって温度の変化に応じて変化する。
つまり、１次コイル６と２次コイル7bの結合関係が密と
なるとＭ7bは大きくなり出力ｅ０は大きくなる。また、
１次コイル６と２次コイル7aの結合関係が密となるとＭ
7aは大きくなり出力ｅ０は小さくなる。そこで温度変化
によって１次コイル６と２次コイル7a,7b との結合関係
が密になろうとしたとき、膨張してコイル間の距離を拡
大して結合関係を打ち消す熱膨張体を１次コイル６と２
次コイル7a,7b の間に設ければ温度変化の出力ｅ０への
影響を少なくすることができる。
なるとＭ7bは大きくなり出力ｅ０は大きくなる。また、
１次コイル６と２次コイル7aの結合関係が密となるとＭ
7aは大きくなり出力ｅ０は小さくなる。そこで温度変化
によって１次コイル６と２次コイル7a,7b との結合関係
が密になろうとしたとき、膨張してコイル間の距離を拡
大して結合関係を打ち消す熱膨張体を１次コイル６と２
次コイル7a,7b の間に設ければ温度変化の出力ｅ０への
影響を少なくすることができる。
上記は１次コイル６と２次コイル7a,7b の結合関係が密
になる場合について説明したが温度変化によって結合が
疎になる場合も同様である。
になる場合について説明したが温度変化によって結合が
疎になる場合も同様である。
この熱膨張体としてエポキシ系接着剤を用い、その塗布
量によって熱膨張体の厚みを調整することができる。
量によって熱膨張体の厚みを調整することができる。
以下、本発明の実施例を第１図〜第４図を用いて説明す
る。
る。
第１図は本実施例のプローブ１（第４図に示す）の詳細
を表す図である。
を表す図である。
プローブ１は、セラミックス（アルミナ，線膨張係数α
２＝7.1 ×10-6／℃）で構成されたボビン５と、このボ
ビン５に巻回された１次コイル６，この１次コイル６を
挟んで巻回された２次コイル７ａ，７ｂ，この２次コイ
ル７ａ，７ｂの１次コイル６側に設けられエポキシ系接
着剤（線膨張係数α１＝6.5 ×10-5／℃）を塗り重ねて
層とした熱膨張体９ａ，９ｂ，からなり、２次コイル７
ａと７ｂは差動的に結合されている。熱膨張体９ａ，９
ｂは１次コイル６の中心からそれぞれＷａ，Ｗｂ離れて
おり厚みはそれぞれΔＷａ，ΔＷｂである。なお、熱膨
張体９ａ，９ｂはいずれか一方のみ設けるだけでよい場
合が多い。次に熱膨張体９ａ，９ｂの厚さΔＷａ，Ｗｂ
の決め方について説明する。
２＝7.1 ×10-6／℃）で構成されたボビン５と、このボ
ビン５に巻回された１次コイル６，この１次コイル６を
挟んで巻回された２次コイル７ａ，７ｂ，この２次コイ
ル７ａ，７ｂの１次コイル６側に設けられエポキシ系接
着剤（線膨張係数α１＝6.5 ×10-5／℃）を塗り重ねて
層とした熱膨張体９ａ，９ｂ，からなり、２次コイル７
ａと７ｂは差動的に結合されている。熱膨張体９ａ，９
ｂは１次コイル６の中心からそれぞれＷａ，Ｗｂ離れて
おり厚みはそれぞれΔＷａ，ΔＷｂである。なお、熱膨
張体９ａ，９ｂはいずれか一方のみ設けるだけでよい場
合が多い。次に熱膨張体９ａ，９ｂの厚さΔＷａ，Ｗｂ
の決め方について説明する。
まず、熱膨張体９ａ，９ｂを塗布しない状態とする。
この状態で、標準温度（例えば20℃）において、第４図
に示す正帰還増幅器３の出力ｅ０が被測定物８の距離と
対応する出力となるよう調整する。
に示す正帰還増幅器３の出力ｅ０が被測定物８の距離と
対応する出力となるよう調整する。
次にプローブ１の周囲温度を所定温度（例えば10℃）上
昇させこのときの温度ドリフ電圧Δｅｔを測定する。こ
こでΔｅｔ／ｅ０に対して、この変化を打ち消すように
ΔＷａ，又はΔＷｂを塗布すればよい。このためΔｅｔ
／ｅ０とΔＷａ／Ｗａ又はΔＷｂ／Ｗｂとの関係を調べ
ると第２図に示す相関関係が得られる。
昇させこのときの温度ドリフ電圧Δｅｔを測定する。こ
こでΔｅｔ／ｅ０に対して、この変化を打ち消すように
ΔＷａ，又はΔＷｂを塗布すればよい。このためΔｅｔ
／ｅ０とΔＷａ／Ｗａ又はΔＷｂ／Ｗｂとの関係を調べ
ると第２図に示す相関関係が得られる。
第２図は、熱膨張体９ａ，９ｂの厚みとΔｅｔ／ｅ０と
の関係を示す。
の関係を示す。
縦軸のΔｅｔ／ｅ０は前述の所定温度上昇させたときの
温度ドリフト電圧の変化の割合を示し、横軸は、縦軸の
左側が熱膨張体９ｂの厚みの比ΔＷｂ／Ｗｂ右側が熱膨
張体９ａの厚み比ΔＷａ／Ｗａを示す。
温度ドリフト電圧の変化の割合を示し、横軸は、縦軸の
左側が熱膨張体９ｂの厚みの比ΔＷｂ／Ｗｂ右側が熱膨
張体９ａの厚み比ΔＷａ／Ｗａを示す。
第２図は標準温度において熱膨張体９の厚みの比をΔＷ
／Ｗとし所定温度上昇させると、温度ドリフト電圧の比
がΔｅｔ／ｅ０となることを示す。つまり、標準温度に
おいてΔＷｂ／Ｗｂ＝0.2の厚みに塗布すれば、所定温
度上昇させると温度ドリフト電圧が減少方向にΔｅｔ／
ｅ０＝0.3 となり、ΔＷａ／Ｗａ＝0.2 の厚みに塗布す
れば所定温度上昇させると増加方向にΔｅｔ／ｅ＝0.3
となる。故に、プローブ１の周囲温度を所定温度上昇さ
せたときΔｅｔ／ｅ０＝0.3 上昇した場合はこれを相殺
するため、熱膨張体９ｂを標準温度においてΔＷｂ／Ｗ
ｂ＝0.2 塗布すればよい。
／Ｗとし所定温度上昇させると、温度ドリフト電圧の比
がΔｅｔ／ｅ０となることを示す。つまり、標準温度に
おいてΔＷｂ／Ｗｂ＝0.2の厚みに塗布すれば、所定温
度上昇させると温度ドリフト電圧が減少方向にΔｅｔ／
ｅ０＝0.3 となり、ΔＷａ／Ｗａ＝0.2 の厚みに塗布す
れば所定温度上昇させると増加方向にΔｅｔ／ｅ＝0.3
となる。故に、プローブ１の周囲温度を所定温度上昇さ
せたときΔｅｔ／ｅ０＝0.3 上昇した場合はこれを相殺
するため、熱膨張体９ｂを標準温度においてΔＷｂ／Ｗ
ｂ＝0.2 塗布すればよい。
また、プローブ１の周囲温度を所定温度上昇させたとき
Δｅｔ／ｅ０＝0.3 降下した場合は、これを相殺するた
め熱膨張体９ａを標準温度においてΔＷａ／Ｗａ＝0.2
塗布すればよい。
Δｅｔ／ｅ０＝0.3 降下した場合は、これを相殺するた
め熱膨張体９ａを標準温度においてΔＷａ／Ｗａ＝0.2
塗布すればよい。
第３図は本実施例の効果を示す図である。横軸はプロー
ブ１の周囲温度を示す。縦軸は、温度ドリフト電圧Δｅ
ｔを測定距離に換算した長さ（mm）を示し、標準温度＝
20℃では温度ドリフトは０である。線Ｂは熱膨張体９を
用いない場合を示し、線Ａは熱膨張体９により線Ｂを修
正した場合を示す。なお連続鋳造の操業時にモールド内
の湯面レベルを計測する場合測定位置の温度は高温とな
るため、プローブ１を断熱材で覆い、さらに空気等の冷
却材で冷却している。
ブ１の周囲温度を示す。縦軸は、温度ドリフト電圧Δｅ
ｔを測定距離に換算した長さ（mm）を示し、標準温度＝
20℃では温度ドリフトは０である。線Ｂは熱膨張体９を
用いない場合を示し、線Ａは熱膨張体９により線Ｂを修
正した場合を示す。なお連続鋳造の操業時にモールド内
の湯面レベルを計測する場合測定位置の温度は高温とな
るため、プローブ１を断熱材で覆い、さらに空気等の冷
却材で冷却している。
本実施例の効果は次の通りである。
(1) 従来、温度ドリフト調整はプローブ１と増幅器
２，３とを組み合わせて調整する必要があったが本実施
例ではプローブ１単体で温度補正が可能となり調整時間
が従来の約１／５以下に短縮される。
２，３とを組み合わせて調整する必要があったが本実施
例ではプローブ１単体で温度補正が可能となり調整時間
が従来の約１／５以下に短縮される。
(2) プローブ１の温度ドリフト電圧を本実施例の熱膨
張体９を用いない場合と比べ１／３以下に減少でき測定
スパンでの計測誤差は0.1 mm／℃以下に減少できる。
張体９を用いない場合と比べ１／３以下に減少でき測定
スパンでの計測誤差は0.1 mm／℃以下に減少できる。
(3) 増幅器２，３の回路構成が簡単になるとともに、
温度補償回路から発生する低周波ノイズが除去されＳ／
Ｎが２倍以上向上する。
温度補償回路から発生する低周波ノイズが除去されＳ／
Ｎが２倍以上向上する。
以上の説明から明らかなように本発明によればプローブ
の温度ドリフト電圧を測定し、この値に応じた厚みの熱
膨張体を２次コイルと１次コイルの間に設けることによ
り温度ドリフト電圧を減少させ、温度補正をプローブで
行うことができる。これによりプローブとこの増幅器に
互換性をもたせることが可能となる。
の温度ドリフト電圧を測定し、この値に応じた厚みの熱
膨張体を２次コイルと１次コイルの間に設けることによ
り温度ドリフト電圧を減少させ、温度補正をプローブで
行うことができる。これによりプローブとこの増幅器に
互換性をもたせることが可能となる。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は熱膨
張体の厚みと温度ドリフト電圧の関係を示す図、第３図
は本実施例の効果を示す図、第４図は渦電流距離測定装
置の構成を示す図である。 １……プローブ、２……交流電圧増幅器 ３……正帰還増幅器、４……交流電源 ５……中空ボビン、６……１次コイル ７ａ，７ｂ……２次コイル、８……溶鋼 ９ａ，９ｂ……熱膨張体
張体の厚みと温度ドリフト電圧の関係を示す図、第３図
は本実施例の効果を示す図、第４図は渦電流距離測定装
置の構成を示す図である。 １……プローブ、２……交流電圧増幅器 ３……正帰還増幅器、４……交流電源 ５……中空ボビン、６……１次コイル ７ａ，７ｂ……２次コイル、８……溶鋼 ９ａ，９ｂ……熱膨張体
Claims (2)
- 【請求項１】被測定体にほぼ垂直に配設したボビンに１
次コイルを巻回し、この１次コイルを挟んで１対の２次
コイルを巻回し、前記１次コイルに帰還増幅器から交流
電流を印加して上記１対の２次コイルに誘起される誘起
起電圧の差分電圧を前記帰還増幅器に帰還し、この帰還
増幅器の出力電圧から被測定体までの距離を計測する渦
電流距離測定装置において、前記１次コイルと前記２次
コイルの少なくとも一方との間に、前記２次コイルと前
記１次コイルのボビン軸方向の距離が所定の温度変化に
対応して所定量伸縮する熱膨張体を設け、前記所定量
は、予め得られている所定の温度変化に対する前記出力
電圧の変化量と、この変化量を打ち消す１次コイルと２
次コイルの少なくとも一方との間の距離の変化量との関
係より得られる前記距離の変化量であることを特徴とす
る渦電流距離測定装置。 - 【請求項２】前記熱膨張体がエポキシ系接着剤により構
成されることを特徴とする請求項１記載の渦電流距離測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1231304A JPH0654206B2 (ja) | 1989-09-05 | 1989-09-05 | 渦電流距離測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1231304A JPH0654206B2 (ja) | 1989-09-05 | 1989-09-05 | 渦電流距離測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0392703A JPH0392703A (ja) | 1991-04-17 |
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Family
ID=16921526
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1989
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