JPS624641B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS624641B2 JPS624641B2 JP12853680A JP12853680A JPS624641B2 JP S624641 B2 JPS624641 B2 JP S624641B2 JP 12853680 A JP12853680 A JP 12853680A JP 12853680 A JP12853680 A JP 12853680A JP S624641 B2 JPS624641 B2 JP S624641B2
- Authority
- JP
- Japan
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- thickness
- target
- sensor
- metal target
- measured
- Prior art date
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Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 19
- 230000035515 penetration Effects 0.000 claims description 11
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
- G01B7/10—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は渦電流を利用した厚さ計に関するもの
である。本発明の厚さ計は、金属ターゲツトに生
じる渦電流の大きさが金属ターゲツトの厚さと金
属ターゲツトに生じる渦電流の浸透深さの比の関
数になることを利用して被測定ターゲツトの厚さ
を高感度で測定するようにしたものである。
である。本発明の厚さ計は、金属ターゲツトに生
じる渦電流の大きさが金属ターゲツトの厚さと金
属ターゲツトに生じる渦電流の浸透深さの比の関
数になることを利用して被測定ターゲツトの厚さ
を高感度で測定するようにしたものである。
第１図イは本発明に係る厚さ計のセンサ１０部
分の原理的な構成説明図である。第１図イにおい
て、１１は非磁性体のボビン、１２はセンサ用コ
イル、１３はダミー用コイルで、これらは所定の
間隔を置いてボビン１０に巻装されている。コイ
ル１２，１３は測定器本体（図示せず）において
第１図ロに示すごとく抵抗１４，１５とともにブ
リツジ接続されており、このブリツジ回路の電源
端間には励磁電流１６が接続され、また検出端は
出力端子１７，１８に接続されている。
分の原理的な構成説明図である。第１図イにおい
て、１１は非磁性体のボビン、１２はセンサ用コ
イル、１３はダミー用コイルで、これらは所定の
間隔を置いてボビン１０に巻装されている。コイ
ル１２，１３は測定器本体（図示せず）において
第１図ロに示すごとく抵抗１４，１５とともにブ
リツジ接続されており、このブリツジ回路の電源
端間には励磁電流１６が接続され、また検出端は
出力端子１７，１８に接続されている。
第２図は第１図イに示したセンサ１０の使用状
態を示す図である。第２図において、２０はその
厚さがｔの被測定金属ターゲツトで、センサ１０
の受感面１９より一定の距離Ａだけ隔てたところ
にその一端面（上面）２１が位置するように配置
されている。このような厚さ計において、第１図
ロに示す励磁電源１６によりコイル１２，１３を
励磁すると、コイル１２による磁界の作用によつ
て、ターゲツト２０内に渦電流が生じる。この渦
電流の大きさに比例した磁界がセンサ用コイル１
２による磁界に相互作用し、その結果コイル１２
のインピーダンスが変化する。コイル１２のイン
ピーダンスの変化の割合はターゲツト２０に生じ
た渦電流の大きさに対応するもので、このインピ
ーダンスの変化は第１図ロに示すブリツジ回路の
不平衡電圧として出力端子１７，１８より取り出
される。センサ用コイル１２を励磁することによ
つて、ターゲツト２０に生じる渦電流の大きさは (イ) センサ１０の受感面１９とターゲツト２０の
上面２１間の距離Ａ (ロ) ターゲツトの厚さｔに対する渦電流の浸透深
さεの比ｔ／ε に依存するものである。(ロ)項で示す浸透深さεは
ターゲツト２０において渦電流が流れる範囲の表
面からの深さを表わすもので、その値は(1)式で表
わされる。
態を示す図である。第２図において、２０はその
厚さがｔの被測定金属ターゲツトで、センサ１０
の受感面１９より一定の距離Ａだけ隔てたところ
にその一端面（上面）２１が位置するように配置
されている。このような厚さ計において、第１図
ロに示す励磁電源１６によりコイル１２，１３を
励磁すると、コイル１２による磁界の作用によつ
て、ターゲツト２０内に渦電流が生じる。この渦
電流の大きさに比例した磁界がセンサ用コイル１
２による磁界に相互作用し、その結果コイル１２
のインピーダンスが変化する。コイル１２のイン
ピーダンスの変化の割合はターゲツト２０に生じ
た渦電流の大きさに対応するもので、このインピ
ーダンスの変化は第１図ロに示すブリツジ回路の
不平衡電圧として出力端子１７，１８より取り出
される。センサ用コイル１２を励磁することによ
つて、ターゲツト２０に生じる渦電流の大きさは (イ) センサ１０の受感面１９とターゲツト２０の
上面２１間の距離Ａ (ロ) ターゲツトの厚さｔに対する渦電流の浸透深
さεの比ｔ／ε に依存するものである。(ロ)項で示す浸透深さεは
ターゲツト２０において渦電流が流れる範囲の表
面からの深さを表わすもので、その値は(1)式で表
わされる。
ε＝√１ ……(1)
(1)式において、
π…円周率
…励磁電流１６の発振周波数
σ…ターゲツト２０の導電率
μ…ターゲツト２０の比透磁率
ここで、距離Ａ、導電率σおよび比透磁率μを
一定にし、また励磁電源１６の周波数も一定と
してターゲツト２０の厚さtoのときの第１図イの
ブリツジ回路の出力端１７，１８より取り出され
る出力電圧をvoとし、toとvoを基準の値とし、任
意の厚さｔのときの出力電圧をＶとし、ｔとｖを
変えていき、これらの値を実験的に求め、ｔ／to
を横軸に、ｖ／voを縦軸にとつたグラフは第３
図のようになる。この場合、toは浸透深さεより
も小さな値にとる。第３図に示すごとくｔ／ε≫
１の範囲では曲線の勾配がゆるやかであるが、０
＜ｔ／ε≦１の範囲では曲線の勾配が極めて大き
くなつている。したがつて、第２図の装置におい
て、、ターゲツト２０の厚さｔに対し、この厚さ
と浸透深さεとの比が０＜ｔ／ε≦１の適当な値
をとるように励磁電源の周波数を定めてこれを
固定すれば、出力電圧ｖ／voをターゲツト２０
の厚さｔに対応して変化させることのできる厚さ
計を実現することができる。
一定にし、また励磁電源１６の周波数も一定と
してターゲツト２０の厚さtoのときの第１図イの
ブリツジ回路の出力端１７，１８より取り出され
る出力電圧をvoとし、toとvoを基準の値とし、任
意の厚さｔのときの出力電圧をＶとし、ｔとｖを
変えていき、これらの値を実験的に求め、ｔ／to
を横軸に、ｖ／voを縦軸にとつたグラフは第３
図のようになる。この場合、toは浸透深さεより
も小さな値にとる。第３図に示すごとくｔ／ε≫
１の範囲では曲線の勾配がゆるやかであるが、０
＜ｔ／ε≦１の範囲では曲線の勾配が極めて大き
くなつている。したがつて、第２図の装置におい
て、、ターゲツト２０の厚さｔに対し、この厚さ
と浸透深さεとの比が０＜ｔ／ε≦１の適当な値
をとるように励磁電源の周波数を定めてこれを
固定すれば、出力電圧ｖ／voをターゲツト２０
の厚さｔに対応して変化させることのできる厚さ
計を実現することができる。
第３図は基準とするターゲツト２０の厚さto＝
10μｍで、センサ１０の受感面１９からターゲツ
ト２０の上面２１までの距離Ａが1000μｍの場合
のグラフである。ターゲツト２０の厚さｔ＝10μ
ｍでセンサ１０の受感面１９からターゲツト２０
の上面２１までの距離Ａが1000μｍ（第３図の曲
線のＡ点）からターゲツト２０の厚さｔ＝５μｍ
になつたとき（第３図の曲線のＢ点）の出力ｖ／
voの値の変化がほぼ20〓になつている。
10μｍで、センサ１０の受感面１９からターゲツ
ト２０の上面２１までの距離Ａが1000μｍの場合
のグラフである。ターゲツト２０の厚さｔ＝10μ
ｍでセンサ１０の受感面１９からターゲツト２０
の上面２１までの距離Ａが1000μｍ（第３図の曲
線のＡ点）からターゲツト２０の厚さｔ＝５μｍ
になつたとき（第３図の曲線のＢ点）の出力ｖ／
voの値の変化がほぼ20〓になつている。
渦電流を利用した場合、第４図イのようにして
被測定ターゲツトの厚さを測定することが考えら
れる。第４図イにおいて、１０は第１図及び第２
図で示したセンサと全く同一のセンサ、２０はタ
ーゲツトで、その下面２２がセンサ１０の受感面
１９よりＢだけ離れたところに配置される。この
装置において、ターゲツト２０の厚さをｔとし、
またセンサ１０の下面１９とターゲツト２０の上
面２１との距離をＣとすると、Ｃは Ｃ＝Ｂ−ｔ ……(2) で表わされる。したがつて、Ｂを一定にすれば、
ターゲツト２０の厚さｔが変化することによりＣ
が変化する。センサ１０のコイル１２を励磁する
ことによつてターゲツト２０に生じる渦電流の大
きさはＣに比例するので、Ｃに対する第２図のブ
リツジ回路の出力電圧Ｖとの関係を図示すると第
４図のロのごとくなる。
被測定ターゲツトの厚さを測定することが考えら
れる。第４図イにおいて、１０は第１図及び第２
図で示したセンサと全く同一のセンサ、２０はタ
ーゲツトで、その下面２２がセンサ１０の受感面
１９よりＢだけ離れたところに配置される。この
装置において、ターゲツト２０の厚さをｔとし、
またセンサ１０の下面１９とターゲツト２０の上
面２１との距離をＣとすると、Ｃは Ｃ＝Ｂ−ｔ ……(2) で表わされる。したがつて、Ｂを一定にすれば、
ターゲツト２０の厚さｔが変化することによりＣ
が変化する。センサ１０のコイル１２を励磁する
ことによつてターゲツト２０に生じる渦電流の大
きさはＣに比例するので、Ｃに対する第２図のブ
リツジ回路の出力電圧Ｖとの関係を図示すると第
４図のロのごとくなる。
このような厚さ計において、例えばターゲツト
２０の厚さｔが10μｍから５μｍに変化した場
合、Ｃの変化ΔＣの割合は5/1000＝0.5〓であ
る。第４図ロに示すように、距離ＣとセンサＳの
出力Ｖは正比例の関係にあるので、ｔが５μｍか
ら10μｍになつたときの出力の変化ΔＶも0.5〓
になる。これに対して、渦電流の大きさがｔ／to
の関数となることを利用した本発明の装置におい
ては、第４図の方法に比して出力変化がほぼ40倍
の20〓となる。したがつて、本発明によれば極め
て高感度の厚さ計を得ることができる。
２０の厚さｔが10μｍから５μｍに変化した場
合、Ｃの変化ΔＣの割合は5/1000＝0.5〓であ
る。第４図ロに示すように、距離ＣとセンサＳの
出力Ｖは正比例の関係にあるので、ｔが５μｍか
ら10μｍになつたときの出力の変化ΔＶも0.5〓
になる。これに対して、渦電流の大きさがｔ／to
の関数となることを利用した本発明の装置におい
ては、第４図の方法に比して出力変化がほぼ40倍
の20〓となる。したがつて、本発明によれば極め
て高感度の厚さ計を得ることができる。
第５図は本発明の他の実施例の構成説明図であ
る。第２図の実施例は単一のセンサを用いた場合
の実施例であるが、第５図は一方のセンサを基準
のセンサとした一対のセンサを用い、この一対の
センサを差動的に使用して厚さを測定するように
したものである。第５図において１０，１０′は
それぞれ第２図で説明したセンサと同一構成のセ
ンサで一定の間隔Ｄをへだてて互の受感面１９，
１９′が対向するように配置され、その中間付近
に被測定のターゲツト２０が配置されている。セ
ンサ１０，１０′のセンサ用コイル１２を励磁す
ることによつてターゲツト２０には渦電流が生じ
るが、この渦電流の浸透深さεがそれぞれ０＜
ｔ／ε≦１になるようにターゲツト２０の厚さに
対してセンサ１０，１０′の各励磁電源の周波数
が選ばれている。このように、厚さｔに対する渦
電流の浸透深さεをそれぞれ選定することによ
り、センンサ１０，１０′はそれぞれ被測定ター
ゲツト２０の基準厚さtoとの比ｔ／toに対して第
３図に示すごとくの出力変化Ｖ／Voを生じ、第
５図の厚さ計においては一方のセンサ（例えば１
０′）を基準のセンサとし、このセンサに対する
他方のセンサ１０の出力の差が取り出されるよう
になつている。このように、一対のセンサを用い
差動で測定するようにした第５図の装置において
は、ターゲツト２０の位置の変動に対するセンサ
１０，１０′の出力が互にキヤンセルされるの
で、第２図のごとく１つのセンサを用いた場合よ
り位置の変動を受けない利点がある。
る。第２図の実施例は単一のセンサを用いた場合
の実施例であるが、第５図は一方のセンサを基準
のセンサとした一対のセンサを用い、この一対の
センサを差動的に使用して厚さを測定するように
したものである。第５図において１０，１０′は
それぞれ第２図で説明したセンサと同一構成のセ
ンサで一定の間隔Ｄをへだてて互の受感面１９，
１９′が対向するように配置され、その中間付近
に被測定のターゲツト２０が配置されている。セ
ンサ１０，１０′のセンサ用コイル１２を励磁す
ることによつてターゲツト２０には渦電流が生じ
るが、この渦電流の浸透深さεがそれぞれ０＜
ｔ／ε≦１になるようにターゲツト２０の厚さに
対してセンサ１０，１０′の各励磁電源の周波数
が選ばれている。このように、厚さｔに対する渦
電流の浸透深さεをそれぞれ選定することによ
り、センンサ１０，１０′はそれぞれ被測定ター
ゲツト２０の基準厚さtoとの比ｔ／toに対して第
３図に示すごとくの出力変化Ｖ／Voを生じ、第
５図の厚さ計においては一方のセンサ（例えば１
０′）を基準のセンサとし、このセンサに対する
他方のセンサ１０の出力の差が取り出されるよう
になつている。このように、一対のセンサを用い
差動で測定するようにした第５図の装置において
は、ターゲツト２０の位置の変動に対するセンサ
１０，１０′の出力が互にキヤンセルされるの
で、第２図のごとく１つのセンサを用いた場合よ
り位置の変動を受けない利点がある。
なお、上述の実施例では被測定の金属ターゲツ
ト２０を板体とし、この板体の厚さを測定する場
合について説明したが、被測定の金属ターゲツト
は板体に限るものではなく、丸棒（線）であつて
もよい。金属ターゲツトが丸棒の場合、本発明の
厚さ計においてはその丸棒の直径が測定される。
第６図は金属ターゲツトが丸棒の場合に、本発明
を適用した実施例の構成説明図である。第６図に
おいて、１０はセンサ、４０は丸棒（線）状の導
電体のターゲツトである。ターゲツト４０はセン
サ１０の受感面１９より一定の距離をへだてて配
置されている。このような構成において、センサ
１０を励磁すると、ターゲツト４０内に渦電流が
生じる。ターゲツト４０の直径をｄとすると、こ
のｄに対して渦電流の浸透深さεは第２図及び第
４図で説明したごとく０＜ｄ／ε≦１に選ばれて
いる。このようにｄとεの関係を選定することに
より、ターゲツトの直径ｄと基準の直径doの比
ｄ／doに対するセンサ１０の出力電圧の変化
ｖ／voは第３図に示すごとくなり、直径ｄのわ
ずかな変化に対して大きな出力変化を得ることが
できる。
ト２０を板体とし、この板体の厚さを測定する場
合について説明したが、被測定の金属ターゲツト
は板体に限るものではなく、丸棒（線）であつて
もよい。金属ターゲツトが丸棒の場合、本発明の
厚さ計においてはその丸棒の直径が測定される。
第６図は金属ターゲツトが丸棒の場合に、本発明
を適用した実施例の構成説明図である。第６図に
おいて、１０はセンサ、４０は丸棒（線）状の導
電体のターゲツトである。ターゲツト４０はセン
サ１０の受感面１９より一定の距離をへだてて配
置されている。このような構成において、センサ
１０を励磁すると、ターゲツト４０内に渦電流が
生じる。ターゲツト４０の直径をｄとすると、こ
のｄに対して渦電流の浸透深さεは第２図及び第
４図で説明したごとく０＜ｄ／ε≦１に選ばれて
いる。このようにｄとεの関係を選定することに
より、ターゲツトの直径ｄと基準の直径doの比
ｄ／doに対するセンサ１０の出力電圧の変化
ｖ／voは第３図に示すごとくなり、直径ｄのわ
ずかな変化に対して大きな出力変化を得ることが
できる。
第７図は一対のセンサ１０，１０′を用いて丸
棒状の被測定ターゲツト４０の直径を差動的に測
定するようにしたものである。この場合、第５図
で説明したのと同様にターゲツト４０の位置の変
動による影響を受けずにターゲツト４０の直径を
測定することができる。なお第７図において、５
０は熱膨脹係数の小さいセラミツクで構成した取
付部材で、この取付部材の両端にセンサ１０，１
０′が取り付けられている。このように取付部材
で両センサ１０，１０′を取付けるようにした第
７図の装置においては、センサ１０，１０′と被
測定ターゲツト間の距離が変動しないので、更に
測定誤差を軽減することのできる厚さ計が得られ
る。
棒状の被測定ターゲツト４０の直径を差動的に測
定するようにしたものである。この場合、第５図
で説明したのと同様にターゲツト４０の位置の変
動による影響を受けずにターゲツト４０の直径を
測定することができる。なお第７図において、５
０は熱膨脹係数の小さいセラミツクで構成した取
付部材で、この取付部材の両端にセンサ１０，１
０′が取り付けられている。このように取付部材
で両センサ１０，１０′を取付けるようにした第
７図の装置においては、センサ１０，１０′と被
測定ターゲツト間の距離が変動しないので、更に
測定誤差を軽減することのできる厚さ計が得られ
る。
以上説明したように、本発明に係る厚さ計では
渦電流の大きさがターゲツトの厚さとターゲツト
に生じる渦電流の浸透深さの比ｔ／εの関数であ
ることを利用し、しかも関数曲線の勾配が大きい
０＜ｔ／ε≦１の範囲で厚さを測定している。こ
のため、高感度で厚さを測定できる。
渦電流の大きさがターゲツトの厚さとターゲツト
に生じる渦電流の浸透深さの比ｔ／εの関数であ
ることを利用し、しかも関数曲線の勾配が大きい
０＜ｔ／ε≦１の範囲で厚さを測定している。こ
のため、高感度で厚さを測定できる。
第１図イは本発明に係る厚さ計のセンサ部分の
原理的な構成説明図、第１図ロはセンサ内にある
コイルの接続を示した回路図、第２図は本発明に
よる方法で厚さを測定する場合のセンサの使用状
態を示す構成説明図、第３図は被測定物の厚さと
センサの出力の相対比較値の関係を表わしたグラ
フ、第４図イは変位計を厚さ計として使用する従
来の方法を示した図、第４図ロはイの方法におい
てセンサの受感面と被測定物の上面の距離とセン
サの出力の関係を表わしたグラフ、第５図は本発
明の他の実施例で一対のセンサを差動的に使用し
て厚さを測定する場合の構成説明図、第６図は被
測定物となる金属ターゲツトが丸棒の場合に本発
明を適用した実施例の構成説明図、第７図は被測
定物となる金属ターゲツトが丸棒の場合に本発明
を適用した他の実施例で一対のセンサを差動的に
使用して測定する場合の構成説明図である。 １０……センサ、１２……センサ用コイル、１
６……励磁電源、２０……金属ターゲツト（板
体）、４０……金属ターゲツト（丸棒）。
原理的な構成説明図、第１図ロはセンサ内にある
コイルの接続を示した回路図、第２図は本発明に
よる方法で厚さを測定する場合のセンサの使用状
態を示す構成説明図、第３図は被測定物の厚さと
センサの出力の相対比較値の関係を表わしたグラ
フ、第４図イは変位計を厚さ計として使用する従
来の方法を示した図、第４図ロはイの方法におい
てセンサの受感面と被測定物の上面の距離とセン
サの出力の関係を表わしたグラフ、第５図は本発
明の他の実施例で一対のセンサを差動的に使用し
て厚さを測定する場合の構成説明図、第６図は被
測定物となる金属ターゲツトが丸棒の場合に本発
明を適用した実施例の構成説明図、第７図は被測
定物となる金属ターゲツトが丸棒の場合に本発明
を適用した他の実施例で一対のセンサを差動的に
使用して測定する場合の構成説明図である。 １０……センサ、１２……センサ用コイル、１
６……励磁電源、２０……金属ターゲツト（板
体）、４０……金属ターゲツト（丸棒）。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被測定の金属ターゲツトに所定の距離を隔て
たところに配置されるセンサ用コイルを交流励磁
することによつて前記金属ターゲツトに生じる渦
電流を前記センサ用コイルのインピーダンス変化
として検出するセンサを具備し、前記金属ターゲ
ツトに生じる渦電流の大きさがこの金属ターゲツ
トの厚さｔと金属ターゲツトに生じる渦電流の浸
透深さεの比ｔ／εの関数になることを利用して
０＜ｔ／ε≦１の範囲で前記金属ターゲツトの厚
さを測定するようにしたことを特徴とする厚さ
計。 ２ 前記金属ターゲツトを板体とし、この板体の
厚さを測定するようにしたことを特徴とする特許
請求範囲第１項記載の厚さ計。 ３ 前記金属ターゲツトを丸棒とし、この丸棒の
径（厚さ）を測定するようにしたことを特徴とす
る特許請求範囲第１項記載の厚さ計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12853680A JPS5753604A (en) | 1980-09-18 | 1980-09-18 | Thickness gauge |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12853680A JPS5753604A (en) | 1980-09-18 | 1980-09-18 | Thickness gauge |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5753604A JPS5753604A (en) | 1982-03-30 |
| JPS624641B2 true JPS624641B2 (ja) | 1987-01-31 |
Family
ID=14987175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12853680A Granted JPS5753604A (en) | 1980-09-18 | 1980-09-18 | Thickness gauge |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5753604A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1194275B (it) * | 1983-06-15 | 1988-09-14 | Cise Spa | Misuratore di spessori elevati "senza contatto" per materiali metallici ad di sopra della temperatura di curie |
| JPS60119016A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-26 | 昭和電線電纜株式会社 | 電線、ケーブルのゴム・プラスチツク被覆の難燃化処理方法 |
| JPS6166104A (ja) * | 1984-09-07 | 1986-04-04 | Anelva Corp | 金属薄膜膜厚測定方法 |
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-
1980
- 1980-09-18 JP JP12853680A patent/JPS5753604A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5753604A (en) | 1982-03-30 |
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