SU1078237A1 - Способ измерени толщины металлических пленок - Google Patents

Abstract

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩ1НЫ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК, заключающийс  В ТОМ, что измер емые пленки располагают посередине зазора между катушками экранного вихретокового преобразовател , возбуждают одну из них посредством генератора высокочастотных колебаний и по амплитуде напр - женин на другой катушке преобразовател  определ ют толщину пленок, о тличающийс   тем, что, с целью расширени  диапазона измер еЪ Ъ мых толщин, пленки толщиной перемещают к торцу катушки ьгRu )d,(v2,4l)() где -3.„ R S

Description

Изобретение относитс  к контроль но-измерительной технике и может быть использовано дл  электромагнит ной толщинометри }. Известен способ измерени  толщин неферромагнитных металлических пленок , заключающийс  в том, что метал лическую пленку располагают на фиксированном рассто нии от катушек экраннох о преобразовател , и устройство дл  его реализации, содержа щее генератор переменного тока, вих ретоковый преобразователь экранного типа, измерительный усилитель, инди катор и систему ориентации. Дл  рас ширени  пределов измер емых параметров , например толщины металлических материалов, устройство снабжено четырьм  управл емыми ключами, образующими плечи мостовой схемы, в одну из диагоналей которой включен индуктивный возбудитель магнитного пол , а в другую - генератор намагничивающего тока, ключи противоположных плеч мостовой схемы попарно соединены между собой, включающий вход одной пары соединен с цепью сброса, выключающий вход - с включающим входом второй пары и выходом первой схемы временной задержки , а выключак ций вход второй пары соединен с выходом третьей .схемы временной задержки ClJ. Недостатками способа  вл ютс  узкий диапазон измер емых толщин металлических пленок и его сложност Целью изобретени   вл етс  расширение диапазона измер емых толщин Поставленна  цель достигаетс  тем, что согласно способу измерени  толщины металлических пленок, заклю чающемус  в том, что измер емые пленки располагают посередине зазора между катушками экранного вихретокового преобразовател , возбуждаю одну из них посредством генератора высокочастотных колебаний и по ампл туде напр жени  на другой катушке преобразовател  определ ют толщину пленок, пленки толщинойh h перемещают к торцу катушки, где -ie к 2 «е - , j к - коэффициент св зи между возбуждающей катушкой вихретокового преобразовател  и ее зеркальным изображением при рассто нии от катушки до пленки , равном 0; f,u - радиус катушки и ее эквивалентна  добротность; ш - частота питающего тока; - удельна  электропроводность металлической пленки и ее магнитна  проницаемость; Рассто ни  от иленки до катушек экранного вихретокового преобразовател . Способ реализуетс  с помощью устройства ,, содержащего последовательно соединенные генератор высокочастотных колебаний, вихретоковый преобразователь экранного типа, амплитудный детектор и индикатор. Вихретоковый преобразователь содержит измерительную и возбуждающую катушки , включенные в контуры с трансформаторной св зью. Измер емую пленку располагают в зазоре между катушками резонансного экранного преобразовател , возбуждают одну из катушек переменным током и по амплитуде напр жени  на другой суд т о толщине измер емой пленки. При этом металлическую пленку размещают посередине зазора между катушками и производ т отсчет по шкале дл  толстых пленок вторичного прибора, а если указатель прибора расположен вначале шкалы, пленку перемещают к торцу одной из катушек преобразовател  и производ т отсчет по шкале дл  тонких пленок. Таким образом, способ измерений толщины металлических пленок позвол ет расширить диапазон измер емых толщин.

Claims (1)

1. СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК, заключающийся в том, что измеряемые пленки располагают посередине зазора между катушками экранного вихретокового преобразователя, возбуждают одну из них посредством генератора высокочастотных колебаний и по амплитуде напряжения на другой катушке преобразователя определяют толщину пленок, о тличающийс я тем, что, с целью расширения диапазона измеряе мых толщин, пленки толщиной перемещают к торцу катушки ^где .1 -ίι \--KSe * ^{R 2} ;

   К - коэффициент связи между возбуждающей катушкой вихретокового измерительного преобразователя и ее зеркальным изображением при расстоянии от катушки до пленки;

   ₽ - радиус катушки; е

   Q - эквивалентная добротность ® катушки;

   а) - частота питающего тока;

   6 - удельная проводимость измеряемой пленки;

   М- - абсолютная магнитная проницаемость .

   ί