RU2003107828A - Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта - Google Patents
Измерение толщины стенки электрически проводящего объектаInfo
- Publication number
- RU2003107828A RU2003107828A RU2003107828/28A RU2003107828A RU2003107828A RU 2003107828 A RU2003107828 A RU 2003107828A RU 2003107828/28 A RU2003107828/28 A RU 2003107828/28A RU 2003107828 A RU2003107828 A RU 2003107828A RU 2003107828 A RU2003107828 A RU 2003107828A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- wall thickness
- characteristic value
- measured
- receiver
- measuring
- Prior art date
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims 4
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 claims 2
- 230000003213 activating Effects 0.000 claims 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims 1
- 230000001052 transient Effects 0.000 claims 1
- 230000001702 transmitter Effects 0.000 claims 1
Claims (7)
1. Способ измерения толщины стенки электрически проводящего объекта с использованием зонда, который содержит передающую катушку для наведения в объекте вихревых токов и приемную систему для получения сигнала, указывающего силу электромагнитного поля, созданного вихревыми токами, или изменения силы этого электромагнитного поля, при этом приемная система включает первый приемник и второй приемник, расположенный на расстоянии от первого приемника, при этом способ содержит стадии (a) расположения зонда вблизи объекта на расстоянии от ближней поверхности, (b) наведения переходных вихревых токов в объекте посредством активирования передатчика и записи сигналов приемника во времени, при этом V1(t) является сигналом первого приемника в зависимости от времени (t), a Vu(t) - сигналом второго приемника в зависимости от времени (t), (c) измерения толщины стенки на основе характеристики одного из сигналов, (d) вычисления характеристической величины Ф на основе комбинации V1(t) Vu(t), и (e) корректировки измеренной толщины стенки для расстояния между зондом и ближней поверхностью объекта с использованием предварительно определенного соотношения между толщиной стенки и характеристической величиной для различных значений расстояния между зондом и ближней поверхностью.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что корректировка измеренной толщины стенки включает измерение толщины стенки и определение характеристической величины для объекта, имеющего известную толщину стенки для различных значений подъема; выведение соотношения между измеренной толщиной стенки и характеристической величиной, и получение скорректированной толщины стенки посредством умножения измеренной толщины стенки на коэффициент коррекции, относящийся к характеристической величине.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что корректировка измеренной толщины WTm стенки содержит определение характеристической величины Ф0, для которой коэффициент коррекции равен 1, выведение из соотношения между измеренной толщиной стенки и характеристической величиной отношения изменения толщины стенки δWT1 к изменению характеристической величины δФ1, и корректировку толщины WTm стенки для неизвестного подъема с получением скорректированной толщины стенки WTcorr=WTm+(Ф2-Ф0)(δWT1/δФ), где Ф2 является характеристической величиной, измеренной вместе с толщиной WTmстенки.
4. Способ по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что дополнительно содержит измерение температуры объекта и корректировку скорректированной толщины стенки с учетом температуры.
5. Способ по п.4, отличающийся тем, что корректировка скорректированной толщины стенки с учетом температуры включает определение при температуре Т0 калибровки отношения изменения толщины стенки δWT к изменению температуры δТ и вычисления скорректированной толщины стенки с использованием уравнения WTcorr2=WTcorr+(Т-Т0)(δWT/δT).
6. Способ по любому из пп.1-5, отличающийся тем, что вычисление характеристической величины Ф на основе комбинации V1(t) и Vu(t) содержит вычисление характеристической величины из уравнения
где t0 является начальным моментом времени;
Δ - интервал выборки;
n - число выборок, включенных в суммирование.
7. Способ по любому из пп.1-6, отличающийся тем, что приемная система содержит первую приемную катушку и вторую приемную катушку, расположенную на расстоянии от первой приемной катушки, и в котором сигнал представляет изменение вихревого тока, при этом V1 и Vu являются напряжениями на зажимах первой и второй приемной катушки соответственно.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP00307298 | 2000-08-24 | ||
EP00307298.0 | 2000-08-24 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2003107828A true RU2003107828A (ru) | 2004-09-10 |
RU2260172C2 RU2260172C2 (ru) | 2005-09-10 |
Family
ID=8173218
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2003107828/28A RU2260172C2 (ru) | 2000-08-24 | 2001-08-22 | Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6593737B2 (ru) |
EP (1) | EP1311800B1 (ru) |
JP (1) | JP2004507721A (ru) |
CN (1) | CN1447902A (ru) |
AT (1) | ATE433092T1 (ru) |
AU (1) | AU2001287701A1 (ru) |
CA (1) | CA2420309A1 (ru) |
DE (1) | DE60138891D1 (ru) |
NO (1) | NO20030814L (ru) |
RU (1) | RU2260172C2 (ru) |
WO (1) | WO2002016863A1 (ru) |
Families Citing this family (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6640151B1 (en) | 1999-12-22 | 2003-10-28 | Applied Materials, Inc. | Multi-tool control system, method and medium |
US6708074B1 (en) | 2000-08-11 | 2004-03-16 | Applied Materials, Inc. | Generic interface builder |
US6538435B2 (en) * | 2000-08-24 | 2003-03-25 | Shell Oil Company | Method for detecting an anomaly in an object of electrically conductive material along first and second direction at inspection points |
US6570379B2 (en) * | 2000-08-24 | 2003-05-27 | Shell Oil Company | Method for inspecting an object of electrically conducting material |
US7188142B2 (en) | 2000-11-30 | 2007-03-06 | Applied Materials, Inc. | Dynamic subject information generation in message services of distributed object systems in a semiconductor assembly line facility |
US7698012B2 (en) | 2001-06-19 | 2010-04-13 | Applied Materials, Inc. | Dynamic metrology schemes and sampling schemes for advanced process control in semiconductor processing |
US7160739B2 (en) | 2001-06-19 | 2007-01-09 | Applied Materials, Inc. | Feedback control of a chemical mechanical polishing device providing manipulation of removal rate profiles |
US20030199112A1 (en) | 2002-03-22 | 2003-10-23 | Applied Materials, Inc. | Copper wiring module control |
US6672716B2 (en) * | 2002-04-29 | 2004-01-06 | Xerox Corporation | Multiple portion solid ink stick |
WO2004046835A2 (en) | 2002-11-15 | 2004-06-03 | Applied Materials, Inc. | Method, system and medium for controlling manufacture process having multivariate input parameters |
CN100376861C (zh) * | 2002-12-19 | 2008-03-26 | 国际壳牌研究有限公司 | 监测壁厚 |
JP4718482B2 (ja) * | 2003-12-10 | 2011-07-06 | メッツォ ペーパー インコーポレイテッド | 繊維状ウェブを処理するための装置における稼働パラメータを制御する方法及びその方法を提供するための機器 |
SE527125C2 (sv) * | 2003-12-31 | 2005-12-27 | Abb Ab | Metod och anordning för beröringsfri mätning av tjocklek eller ledningsförmåga med elektromagnetisk induktion |
SE527091C2 (sv) * | 2003-12-31 | 2005-12-20 | Abb Ab | Metod och anordning för beröringsfri mätning av tjocklek och elektriska ledningsförmåga hos ett mätobjekt |
JP4542973B2 (ja) * | 2005-09-15 | 2010-09-15 | 株式会社東芝 | 移動距離計測装置および移動距離計測方法 |
AU2007298991B2 (en) | 2006-09-21 | 2011-05-26 | Tuv Rheinland Sonovation Holding B.V. | Device and method for detecting an anomaly in an assembly of a first and a second object |
GB2450112B (en) * | 2007-06-12 | 2010-12-08 | Ge Inspection Technologies Ltd | Automatic lift-off compensation for pulsed eddy current inspection |
CN101398298B (zh) * | 2008-11-10 | 2010-09-29 | 清华大学 | 电磁超声测厚方法 |
US20100240900A1 (en) * | 2009-03-23 | 2010-09-23 | Headwaters Technology Innovation, Llc | Dispersible carbon nanospheres and methods for making same |
JP5513821B2 (ja) * | 2009-09-17 | 2014-06-04 | 株式会社荏原製作所 | 渦電流センサ、研磨装置、めっき装置、研磨方法、めっき方法 |
CN101788260B (zh) * | 2010-03-18 | 2011-12-28 | 清华大学 | 一种金属薄膜厚度的电涡流测量方法 |
JP4975142B2 (ja) | 2010-06-17 | 2012-07-11 | トヨタ自動車株式会社 | 渦流計測用センサ及び渦流計測方法 |
FR2981741B1 (fr) * | 2011-10-20 | 2013-11-29 | Messier Bugatti Dowty | Procede de mesure d'epaisseur d'une couche de revetement par induction de champs magnetiques |
US9091664B2 (en) * | 2012-06-07 | 2015-07-28 | Thomas Krause | Pulsed eddy current sensor for precision measurement at-large lift-offs on metallic surfaces |
US9335151B2 (en) | 2012-10-26 | 2016-05-10 | Applied Materials, Inc. | Film measurement |
CN104465481A (zh) * | 2013-09-22 | 2015-03-25 | 盛美半导体设备(上海)有限公司 | 晶圆夹盘 |
CN104034250B (zh) * | 2014-06-30 | 2016-08-24 | 山东中科普锐检测技术有限公司 | 涂层测厚仪温度补偿测量方法 |
FR3025306B1 (fr) * | 2014-08-29 | 2020-07-10 | Safran | Procede non-destructif de mesure de l'epaisseur de barriere thermique et/ou de mur en superalliage d'aube creuse de turbomachine |
US10073058B2 (en) | 2015-02-11 | 2018-09-11 | Structural Integrity Associates | Dynamic pulsed eddy current probe |
US10895555B2 (en) | 2015-03-30 | 2021-01-19 | Structural Integrity Associates, Inc. | System for in-line inspection using a dynamic pulsed eddy current probe and method thereof |
CN105509631B (zh) * | 2015-12-07 | 2018-05-18 | 天津因科新创科技有限公司 | 一种脉冲涡流壁厚检测方法和装置 |
CN106197249A (zh) * | 2016-09-30 | 2016-12-07 | 天津华海清科机电科技有限公司 | Cmp过程中铜层厚度在线测量系统及其控制方法 |
CN109764800A (zh) * | 2019-01-15 | 2019-05-17 | 西南石油大学 | 一种基于涡流热成像阵列的管道腐蚀壁厚检测系统 |
EP4053494B1 (en) | 2021-03-02 | 2024-08-28 | ABB Schweiz AG | Thickness measurement using a pulsed eddy current system |
JP7541684B2 (ja) | 2022-03-22 | 2024-08-29 | 株式会社Ihi検査計測 | 導電性部材の板厚評価システムと方法 |
Family Cites Families (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3555887A (en) | 1967-09-19 | 1971-01-19 | American Mach & Foundry | Apparatus for electroacoustically inspecting tubular members for anomalies using the magnetostrictive effect and for measuring wall thickness |
US3693075A (en) * | 1969-11-15 | 1972-09-19 | Forster F M O | Eddy current system for testing tubes for defects,eccentricity,and wall thickness |
DE2345848C3 (de) * | 1973-09-12 | 1986-06-19 | ELEKTRO-PHYSIK Hans Nix & Dr.-Ing. E. Steingroever GmbH & Co KG, 5000 Köln | Elektromagnetischer Schichtdickenmesser |
US4383218A (en) * | 1978-12-29 | 1983-05-10 | The Boeing Company | Eddy current flow detection including compensation for system variables such as lift-off |
JPS5692804U (ru) * | 1979-12-17 | 1981-07-23 | ||
US4492115A (en) * | 1984-04-11 | 1985-01-08 | Pa Incorporated | Method and apparatus for measuring defects in ferromagnetic tubing |
DE3413787A1 (de) | 1984-04-12 | 1985-10-17 | Nukem Gmbh, 6450 Hanau | Verfahren und vorrichtung zur pruefung von elektrisch leitenden gegenstaenden mittels ultraschall |
FR2572175A1 (fr) | 1984-10-24 | 1986-04-25 | Stein Heurtey | Procede et dispositif pour mesurer l'epaisseur de couches metalliques minces deposees sur un support conducteur |
FR2574938B1 (fr) | 1984-12-19 | 1986-12-26 | Snecma | Methode de controle par courants de foucault sans contact et dispositif de mise en oeuvre |
JPS61151402A (ja) * | 1984-12-26 | 1986-07-10 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | 差動相互誘導型渦流計測用センサ |
US4644271A (en) * | 1985-02-25 | 1987-02-17 | Ltv Steel Company, Inc. | Method and apparatus for examining a workpiece |
JPS62225947A (ja) * | 1986-03-26 | 1987-10-03 | Kobe Steel Ltd | 渦流測定用プロ−ブ |
US4945305A (en) | 1986-10-09 | 1990-07-31 | Ascension Technology Corporation | Device for quantitatively measuring the relative position and orientation of two bodies in the presence of metals utilizing direct current magnetic fields |
SE451886B (sv) | 1986-10-10 | 1987-11-02 | Sten Linder | Sett och anordning for beroringsfri metning av storheter hos eller i anslutning till elektriskt ledande material |
JPS63139202A (ja) * | 1986-12-02 | 1988-06-11 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 電磁誘導形肉厚測定方法および測定装置 |
US4843320A (en) * | 1987-12-17 | 1989-06-27 | Atlantic Richfield Company | Transient electromagnetic method for detecting corrosion on conductive containers |
US4929898A (en) * | 1987-12-17 | 1990-05-29 | Atlantic Richfield | Transient electromagnetic method for detecting irregularities on conductive containers |
US4849693A (en) * | 1988-02-29 | 1989-07-18 | Battelle Memorial Institute | Automated measurement system employing eddy currents to adjust probe position and determine metal hardness |
US4843317A (en) | 1988-10-18 | 1989-06-27 | Conoco Inc. | Method and apparatus for measuring casing wall thickness using a flux generating coil with radial sensing coils and flux leakage sensing coils |
JPH0654206B2 (ja) * | 1989-09-05 | 1994-07-20 | 株式会社ニレコ | 渦電流距離測定装置 |
US5198764A (en) | 1991-02-22 | 1993-03-30 | Sentech Corp. | Position detector apparatus and method utilizing a transient voltage waveform processor |
US5491409A (en) * | 1992-11-09 | 1996-02-13 | The Babcock & Wilcox Company | Multiple yoke eddy current technique for detection of surface defects on metal components covered with marine growth |
US5569835A (en) | 1994-08-10 | 1996-10-29 | Ultrasonic Arrays, Inc. | Reference wire compensation method and apparatus |
US5592092A (en) | 1994-10-28 | 1997-01-07 | Gas Research Institute | Pipe proximity warning device for accidental damage prevention mounted on the bucket of a backhoe |
US5541510A (en) * | 1995-04-06 | 1996-07-30 | Kaman Instrumentation Corporation | Multi-Parameter eddy current measuring system with parameter compensation technical field |
SE508354C2 (sv) | 1996-07-05 | 1998-09-28 | Asea Atom Ab | Förfarande och anordning för bestämning av skikttjocklek |
US6291992B1 (en) * | 1996-07-12 | 2001-09-18 | Shell Oil Company | Eddy current inspection technique |
NL1005160C2 (nl) * | 1997-01-31 | 1998-08-03 | Roentgen Tech Dienst Bv | Inrichting voor het bepalen van eigenschappen van een elektrisch geleidend voorwerp. |
US6037768A (en) * | 1997-04-02 | 2000-03-14 | Iowa State University Research Foundation, Inc. | Pulsed eddy current inspections and the calibration and display of inspection results |
US6201987B1 (en) | 1998-05-26 | 2001-03-13 | General Electric Company | Error compensation for device tracking systems employing electromagnetic fields |
US6344741B1 (en) * | 2000-06-20 | 2002-02-05 | Her Majesty The Queen As Represented By The Minister Of National Defence In Right Of Canada | Pulsed eddy current method for detection of corrosion in multilayer structures using the lift-off point of intersection |
-
2001
- 2001-08-18 US US09/931,993 patent/US6593737B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-08-22 CN CN01814484.5A patent/CN1447902A/zh active Pending
- 2001-08-22 JP JP2002521917A patent/JP2004507721A/ja active Pending
- 2001-08-22 AU AU2001287701A patent/AU2001287701A1/en not_active Abandoned
- 2001-08-22 DE DE60138891T patent/DE60138891D1/de not_active Expired - Fee Related
- 2001-08-22 EP EP01967295A patent/EP1311800B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-08-22 CA CA002420309A patent/CA2420309A1/en not_active Abandoned
- 2001-08-22 RU RU2003107828/28A patent/RU2260172C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2001-08-22 WO PCT/EP2001/009720 patent/WO2002016863A1/en active Application Filing
- 2001-08-22 AT AT01967295T patent/ATE433092T1/de not_active IP Right Cessation
-
2003
- 2003-02-21 NO NO20030814A patent/NO20030814L/no not_active Application Discontinuation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2003107828A (ru) | Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта | |
RU2260172C2 (ru) | Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта | |
KR100186887B1 (ko) | 전자유량계 및 유량의 전자측정방법 | |
US6701783B2 (en) | Device and a process for determining the positions of border areas between different mediums | |
RU2004128445A (ru) | Определение профиля поверхности объекта | |
CA2454748A1 (en) | Method for evaluating the measurement signals of a propagation-time based measurement device | |
MY130258A (en) | Method for determining the distance between an object and a device of varying location, in particular a motor vehicle | |
RU2003107829A (ru) | Способ контроля объекта из электрически проводящего материала | |
CA2161615C (en) | Electric conductivity measurement circuit and probe | |
RU2005122641A (ru) | Мониторинг толщины стенки | |
US5847562A (en) | Thickness gauging of single-layer conductive materials with two-point non linear calibration algorithm | |
EP0028487A1 (en) | Hall effect thickness measuring instrument | |
US6807861B2 (en) | Instrument for noncontact measurement of physical property | |
JP5687108B2 (ja) | 変位計測システム | |
CN110160603A (zh) | 一种吸油烟机的油杯液位测量装置 | |
JPH0678899B2 (ja) | 変位検出装置 | |
CN110160602B (zh) | 一种吸油烟机的油杯液位测量方法 | |
SU845122A1 (ru) | Способ бесконтактного измерени элЕКТРОпРОВОдНОСТи и МАгНиТНОй пРО-НицАЕМОСТи пРОВОд щиХ ОбРАзцОВ | |
RU1554594C (ru) | Устройство для измерения коэффициента отражения объекта в свободном пространстве | |
SU1626191A1 (ru) | Способ определени поверхностного сопротивлени провод щей пленки | |
JP3133143B2 (ja) | 電磁流量計 | |
SU1171735A1 (ru) | Способ определени коррел ционной функции некогерентно рассе нных ионосферой сигналов | |
KR100822348B1 (ko) | 속도 추정 장치 | |
Aumann et al. | An interpolation technique for time-domain phased array measurements | |
CN115856447A (zh) | 一种基于lfm的幅相响应测量定时方法 |