RU2003107828A - Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта - Google Patents

Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта

Info

Publication number
RU2003107828A
RU2003107828A RU2003107828/28A RU2003107828A RU2003107828A RU 2003107828 A RU2003107828 A RU 2003107828A RU 2003107828/28 A RU2003107828/28 A RU 2003107828/28A RU 2003107828 A RU2003107828 A RU 2003107828A RU 2003107828 A RU2003107828 A RU 2003107828A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
wall thickness
characteristic value
measured
receiver
measuring
Prior art date
Application number
RU2003107828/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2260172C2 (ru
Inventor
Паулус Каролус Николас КРОУЗЕН
ДЕР СТЕН Йохан ВАН
Марк Теодор ЛОИЕР
Original Assignee
Шелл Интернэшнл Рисерч Маатсхаппий Б.В.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Шелл Интернэшнл Рисерч Маатсхаппий Б.В. filed Critical Шелл Интернэшнл Рисерч Маатсхаппий Б.В.
Publication of RU2003107828A publication Critical patent/RU2003107828A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2260172C2 publication Critical patent/RU2260172C2/ru

Links

Claims (7)

1. Способ измерения толщины стенки электрически проводящего объекта с использованием зонда, который содержит передающую катушку для наведения в объекте вихревых токов и приемную систему для получения сигнала, указывающего силу электромагнитного поля, созданного вихревыми токами, или изменения силы этого электромагнитного поля, при этом приемная система включает первый приемник и второй приемник, расположенный на расстоянии от первого приемника, при этом способ содержит стадии (a) расположения зонда вблизи объекта на расстоянии от ближней поверхности, (b) наведения переходных вихревых токов в объекте посредством активирования передатчика и записи сигналов приемника во времени, при этом V1(t) является сигналом первого приемника в зависимости от времени (t), a Vu(t) - сигналом второго приемника в зависимости от времени (t), (c) измерения толщины стенки на основе характеристики одного из сигналов, (d) вычисления характеристической величины Ф на основе комбинации V1(t) Vu(t), и (e) корректировки измеренной толщины стенки для расстояния между зондом и ближней поверхностью объекта с использованием предварительно определенного соотношения между толщиной стенки и характеристической величиной для различных значений расстояния между зондом и ближней поверхностью.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что корректировка измеренной толщины стенки включает измерение толщины стенки и определение характеристической величины для объекта, имеющего известную толщину стенки для различных значений подъема; выведение соотношения между измеренной толщиной стенки и характеристической величиной, и получение скорректированной толщины стенки посредством умножения измеренной толщины стенки на коэффициент коррекции, относящийся к характеристической величине.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что корректировка измеренной толщины WTm стенки содержит определение характеристической величины Ф0, для которой коэффициент коррекции равен 1, выведение из соотношения между измеренной толщиной стенки и характеристической величиной отношения изменения толщины стенки δWT1 к изменению характеристической величины δФ1, и корректировку толщины WTm стенки для неизвестного подъема с получением скорректированной толщины стенки WTcorr=WTm+(Ф20)(δWT1/δФ), где Ф2 является характеристической величиной, измеренной вместе с толщиной WTmстенки.
4. Способ по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что дополнительно содержит измерение температуры объекта и корректировку скорректированной толщины стенки с учетом температуры.
5. Способ по п.4, отличающийся тем, что корректировка скорректированной толщины стенки с учетом температуры включает определение при температуре Т0 калибровки отношения изменения толщины стенки δWT к изменению температуры δТ и вычисления скорректированной толщины стенки с использованием уравнения WTcorr2=WTcorr+(Т-Т0)(δWT/δT).
6. Способ по любому из пп.1-5, отличающийся тем, что вычисление характеристической величины Ф на основе комбинации V1(t) и Vu(t) содержит вычисление характеристической величины из уравнения
Figure 00000001
где t0 является начальным моментом времени;
Δ - интервал выборки;
n - число выборок, включенных в суммирование.
7. Способ по любому из пп.1-6, отличающийся тем, что приемная система содержит первую приемную катушку и вторую приемную катушку, расположенную на расстоянии от первой приемной катушки, и в котором сигнал представляет изменение вихревого тока, при этом V1 и Vu являются напряжениями на зажимах первой и второй приемной катушки соответственно.
RU2003107828/28A 2000-08-24 2001-08-22 Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта RU2260172C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP00307298.0 2000-08-24
EP00307298 2000-08-24

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2003107828A true RU2003107828A (ru) 2004-09-10
RU2260172C2 RU2260172C2 (ru) 2005-09-10

Family

ID=8173218

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2003107828/28A RU2260172C2 (ru) 2000-08-24 2001-08-22 Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта

Country Status (11)

Country Link
US (1) US6593737B2 (ru)
EP (1) EP1311800B1 (ru)
JP (1) JP2004507721A (ru)
CN (1) CN1447902A (ru)
AT (1) ATE433092T1 (ru)
AU (1) AU2001287701A1 (ru)
CA (1) CA2420309A1 (ru)
DE (1) DE60138891D1 (ru)
NO (1) NO20030814L (ru)
RU (1) RU2260172C2 (ru)
WO (1) WO2002016863A1 (ru)

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6640151B1 (en) 1999-12-22 2003-10-28 Applied Materials, Inc. Multi-tool control system, method and medium
US6708074B1 (en) 2000-08-11 2004-03-16 Applied Materials, Inc. Generic interface builder
US6538435B2 (en) * 2000-08-24 2003-03-25 Shell Oil Company Method for detecting an anomaly in an object of electrically conductive material along first and second direction at inspection points
US6570379B2 (en) * 2000-08-24 2003-05-27 Shell Oil Company Method for inspecting an object of electrically conducting material
US7188142B2 (en) 2000-11-30 2007-03-06 Applied Materials, Inc. Dynamic subject information generation in message services of distributed object systems in a semiconductor assembly line facility
US7698012B2 (en) 2001-06-19 2010-04-13 Applied Materials, Inc. Dynamic metrology schemes and sampling schemes for advanced process control in semiconductor processing
US7160739B2 (en) 2001-06-19 2007-01-09 Applied Materials, Inc. Feedback control of a chemical mechanical polishing device providing manipulation of removal rate profiles
US20030199112A1 (en) 2002-03-22 2003-10-23 Applied Materials, Inc. Copper wiring module control
US6672716B2 (en) * 2002-04-29 2004-01-06 Xerox Corporation Multiple portion solid ink stick
AU2003290932A1 (en) 2002-11-15 2004-06-15 Applied Materials, Inc. Method, system and medium for controlling manufacture process having multivariate input parameters
CN100376861C (zh) * 2002-12-19 2008-03-26 国际壳牌研究有限公司 监测壁厚
WO2005056921A1 (en) * 2003-12-10 2005-06-23 Metso Paper, Inc. A method for controlling the running parameters in an apparatus for processing a fibrous web and a device for applying the said method
SE527091C2 (sv) * 2003-12-31 2005-12-20 Abb Ab Metod och anordning för beröringsfri mätning av tjocklek och elektriska ledningsförmåga hos ett mätobjekt
SE527125C2 (sv) * 2003-12-31 2005-12-27 Abb Ab Metod och anordning för beröringsfri mätning av tjocklek eller ledningsförmåga med elektromagnetisk induktion
JP4542973B2 (ja) * 2005-09-15 2010-09-15 株式会社東芝 移動距離計測装置および移動距離計測方法
MX2009003069A (es) 2006-09-21 2009-04-01 Shell Int Research Dispositivo y metodo para detectar una anomalia en un montaje de un primer y un segundo objeto.
GB2450112B (en) * 2007-06-12 2010-12-08 Ge Inspection Technologies Ltd Automatic lift-off compensation for pulsed eddy current inspection
CN101398298B (zh) * 2008-11-10 2010-09-29 清华大学 电磁超声测厚方法
US20100240900A1 (en) * 2009-03-23 2010-09-23 Headwaters Technology Innovation, Llc Dispersible carbon nanospheres and methods for making same
JP5513821B2 (ja) * 2009-09-17 2014-06-04 株式会社荏原製作所 渦電流センサ、研磨装置、めっき装置、研磨方法、めっき方法
CN101788260B (zh) * 2010-03-18 2011-12-28 清华大学 一种金属薄膜厚度的电涡流测量方法
JP4975142B2 (ja) 2010-06-17 2012-07-11 トヨタ自動車株式会社 渦流計測用センサ及び渦流計測方法
FR2981741B1 (fr) * 2011-10-20 2013-11-29 Messier Bugatti Dowty Procede de mesure d'epaisseur d'une couche de revetement par induction de champs magnetiques
US9091664B2 (en) * 2012-06-07 2015-07-28 Thomas Krause Pulsed eddy current sensor for precision measurement at-large lift-offs on metallic surfaces
US9335151B2 (en) 2012-10-26 2016-05-10 Applied Materials, Inc. Film measurement
CN104465481A (zh) * 2013-09-22 2015-03-25 盛美半导体设备(上海)有限公司 晶圆夹盘
CN104034250B (zh) * 2014-06-30 2016-08-24 山东中科普锐检测技术有限公司 涂层测厚仪温度补偿测量方法
FR3025306B1 (fr) * 2014-08-29 2020-07-10 Safran Procede non-destructif de mesure de l'epaisseur de barriere thermique et/ou de mur en superalliage d'aube creuse de turbomachine
US10073058B2 (en) 2015-02-11 2018-09-11 Structural Integrity Associates Dynamic pulsed eddy current probe
US10895555B2 (en) 2015-03-30 2021-01-19 Structural Integrity Associates, Inc. System for in-line inspection using a dynamic pulsed eddy current probe and method thereof
CN105509631B (zh) * 2015-12-07 2018-05-18 天津因科新创科技有限公司 一种脉冲涡流壁厚检测方法和装置
CN106197249A (zh) * 2016-09-30 2016-12-07 天津华海清科机电科技有限公司 Cmp过程中铜层厚度在线测量系统及其控制方法
CN109764800A (zh) * 2019-01-15 2019-05-17 西南石油大学 一种基于涡流热成像阵列的管道腐蚀壁厚检测系统
EP4053494A1 (en) 2021-03-02 2022-09-07 ABB Schweiz AG Thickness measurement using a pulsed eddy current system

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3555887A (en) 1967-09-19 1971-01-19 American Mach & Foundry Apparatus for electroacoustically inspecting tubular members for anomalies using the magnetostrictive effect and for measuring wall thickness
US3693075A (en) * 1969-11-15 1972-09-19 Forster F M O Eddy current system for testing tubes for defects,eccentricity,and wall thickness
DE2345848C3 (de) * 1973-09-12 1986-06-19 ELEKTRO-PHYSIK Hans Nix & Dr.-Ing. E. Steingroever GmbH & Co KG, 5000 Köln Elektromagnetischer Schichtdickenmesser
US4383218A (en) * 1978-12-29 1983-05-10 The Boeing Company Eddy current flow detection including compensation for system variables such as lift-off
JPS5692804U (ru) * 1979-12-17 1981-07-23
US4492115A (en) * 1984-04-11 1985-01-08 Pa Incorporated Method and apparatus for measuring defects in ferromagnetic tubing
DE3413787A1 (de) 1984-04-12 1985-10-17 Nukem Gmbh, 6450 Hanau Verfahren und vorrichtung zur pruefung von elektrisch leitenden gegenstaenden mittels ultraschall
FR2572175A1 (fr) 1984-10-24 1986-04-25 Stein Heurtey Procede et dispositif pour mesurer l'epaisseur de couches metalliques minces deposees sur un support conducteur
FR2574938B1 (fr) 1984-12-19 1986-12-26 Snecma Methode de controle par courants de foucault sans contact et dispositif de mise en oeuvre
JPS61151402A (ja) * 1984-12-26 1986-07-10 Nippon Kokan Kk <Nkk> 差動相互誘導型渦流計測用センサ
US4644271A (en) * 1985-02-25 1987-02-17 Ltv Steel Company, Inc. Method and apparatus for examining a workpiece
JPS62225947A (ja) * 1986-03-26 1987-10-03 Kobe Steel Ltd 渦流測定用プロ−ブ
US4945305A (en) 1986-10-09 1990-07-31 Ascension Technology Corporation Device for quantitatively measuring the relative position and orientation of two bodies in the presence of metals utilizing direct current magnetic fields
SE451886B (sv) * 1986-10-10 1987-11-02 Sten Linder Sett och anordning for beroringsfri metning av storheter hos eller i anslutning till elektriskt ledande material
JPS63139202A (ja) * 1986-12-02 1988-06-11 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 電磁誘導形肉厚測定方法および測定装置
US4843320A (en) * 1987-12-17 1989-06-27 Atlantic Richfield Company Transient electromagnetic method for detecting corrosion on conductive containers
US4929898A (en) * 1987-12-17 1990-05-29 Atlantic Richfield Transient electromagnetic method for detecting irregularities on conductive containers
US4849693A (en) * 1988-02-29 1989-07-18 Battelle Memorial Institute Automated measurement system employing eddy currents to adjust probe position and determine metal hardness
US4843317A (en) 1988-10-18 1989-06-27 Conoco Inc. Method and apparatus for measuring casing wall thickness using a flux generating coil with radial sensing coils and flux leakage sensing coils
JPH0654206B2 (ja) * 1989-09-05 1994-07-20 株式会社ニレコ 渦電流距離測定装置
US5198764A (en) 1991-02-22 1993-03-30 Sentech Corp. Position detector apparatus and method utilizing a transient voltage waveform processor
US5491409A (en) * 1992-11-09 1996-02-13 The Babcock & Wilcox Company Multiple yoke eddy current technique for detection of surface defects on metal components covered with marine growth
US5569835A (en) 1994-08-10 1996-10-29 Ultrasonic Arrays, Inc. Reference wire compensation method and apparatus
US5592092A (en) 1994-10-28 1997-01-07 Gas Research Institute Pipe proximity warning device for accidental damage prevention mounted on the bucket of a backhoe
US5541510A (en) * 1995-04-06 1996-07-30 Kaman Instrumentation Corporation Multi-Parameter eddy current measuring system with parameter compensation technical field
SE508354C2 (sv) 1996-07-05 1998-09-28 Asea Atom Ab Förfarande och anordning för bestämning av skikttjocklek
US6291992B1 (en) * 1996-07-12 2001-09-18 Shell Oil Company Eddy current inspection technique
NL1005160C2 (nl) * 1997-01-31 1998-08-03 Roentgen Tech Dienst Bv Inrichting voor het bepalen van eigenschappen van een elektrisch geleidend voorwerp.
US6037768A (en) * 1997-04-02 2000-03-14 Iowa State University Research Foundation, Inc. Pulsed eddy current inspections and the calibration and display of inspection results
US6201987B1 (en) 1998-05-26 2001-03-13 General Electric Company Error compensation for device tracking systems employing electromagnetic fields
US6344741B1 (en) * 2000-06-20 2002-02-05 Her Majesty The Queen As Represented By The Minister Of National Defence In Right Of Canada Pulsed eddy current method for detection of corrosion in multilayer structures using the lift-off point of intersection

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2003107828A (ru) Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта
RU2260172C2 (ru) Измерение толщины стенки электрически проводящего объекта
KR100186887B1 (ko) 전자유량계 및 유량의 전자측정방법
US6701783B2 (en) Device and a process for determining the positions of border areas between different mediums
CA2454748A1 (en) Method for evaluating the measurement signals of a propagation-time based measurement device
MY130258A (en) Method for determining the distance between an object and a device of varying location, in particular a motor vehicle
CA2161615C (en) Electric conductivity measurement circuit and probe
RU2005122641A (ru) Мониторинг толщины стенки
US5847562A (en) Thickness gauging of single-layer conductive materials with two-point non linear calibration algorithm
EP0393741B1 (en) Acoustic detection device
US4841770A (en) Apparatus and method for determining the amount of substance in a vessel
US6807861B2 (en) Instrument for noncontact measurement of physical property
CN110160603A (zh) 一种吸油烟机的油杯液位测量装置
JPH0678899B2 (ja) 変位検出装置
CN110160602B (zh) 一种吸油烟机的油杯液位测量方法
SU845122A1 (ru) Способ бесконтактного измерени элЕКТРОпРОВОдНОСТи и МАгНиТНОй пРО-НицАЕМОСТи пРОВОд щиХ ОбРАзцОВ
RU1554594C (ru) Устройство для измерения коэффициента отражения объекта в свободном пространстве
Sasaki et al. Air-coupled ultrasonic time-of-flight measurement system using amplitude-modulated and phase inverted driving signal for accurate distance measurements
JP2012008117A (ja) 変位計測システム
GB2076166A (en) Method of Measuring and Indicating the State of Charge of an Accumulator
SU1626191A1 (ru) Способ определени поверхностного сопротивлени провод щей пленки
JP3133143B2 (ja) 電磁流量計
SU1171735A1 (ru) Способ определени коррел ционной функции некогерентно рассе нных ионосферой сигналов
KR100388886B1 (ko) 마이크로웨이브를이용한거리측정에있어서의웨이팅팩터결정방법
KR100822348B1 (ko) 속도 추정 장치