JP4542973B2 - 移動距離計測装置および移動距離計測方法 - Google Patents
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Description
図2は本発明に係る実施形態1の移動体31の外観図であり、(a)は移動体31の正面図、(b)は移動体31の側面図である。また、図2(b)には炉内構造物2もあわせて示している。
図8は実施形態2の移動距離計測装置の構成図であり、(a)は移動距離計測装置のブロック図であって、コイルユニット1は縦断面図で示す。また、図8(b)は(a)のC−C矢視断面図である。また、図8(a)には炉内構造物2もあわせて示している。
図9は実施形態3の移動距離計測装置の構成図である。実施形態3では、コイルユニット1の近傍に、温度補償ユニット20を取り付けている。この温度補償ユニット20の位置は、コイルユニット1と同じ温度になる位置であればどこでもよく、また、コイルユニットによって生じる磁界の影響が小さい場所が好ましい。温度補償ユニット20は、温度測定用励磁コイル21、検出コイル22および基準距離測定用部材23から構成されている。基準距離測定用部材23と温度測定用励磁コイル21および検出コイル23の距離は既知である。温度測定用励磁コイル21および検出コイル22は出力変化検出手段5に接続されている。
Claims (2)
- 導電性の構造物に沿って移動する移動体の前記構造物に対する相対移動距離を測定する移動距離計測装置において、
前記移動体と一体となって移動する移動検出用励磁コイルと、
前記移動検出用励磁コイルに交流電圧を負荷する手段と、
前記移動検出用励磁コイルに対して前記移動体の移動方向の前方および後方に配置された、前記移動体と一体となって移動する少なくとも2つの検出コイルと、
前記検出コイルに発生した励起電圧の振幅比および位相差に基づいて、前記移動体の前記構造物に対する相対移動距離を算出する演算手段と、
前記移動検出用励磁コイルに負荷された電圧に対する前記励起電圧の振幅比に基づいて、前記移動体と前記構造物との距離を求め、前記相対移動距離を補正する補正手段と、
前記移動体と一体となって移動する温度測定用励磁コイルと、
前記温度測定用励磁コイルに交流電圧を負荷する手段と、
前記移動体と一体となって移動する温度測定用検出コイルと、
前記移動体と一体となって移動する導電体である基準距離測定用部材と、
前記温度測定用検出コイルに発生した励起電圧の前記温度測定用励磁コイルに負荷された電圧に対する比、前記温度測定用励磁コイルと前記基準距離測定用部材との距離、および、前記温度測定用検出コイルと前記基準距離測定用部材との距離に基づいて温度を算出する温度算出手段と、
前記温度算出手段が算出した温度に基づいて、前記相対移動距離を補正する温度補償手段と、
を有することを特徴とする移動距離計測装置。 - 導電性の構造物に沿って移動する移動体の前記構造物に対する移動体の相対移動距離を測定する移動距離計測方法において、
交流電流によって前記構造物に前記移動体の移動に伴って移動する渦電流を発生させ、前記移動体の移動方向の前方および後方の少なくとも2箇所で前記渦電流によって発生した磁界により励起される励起電圧を測定する電圧測定工程と、
前記励起電圧の振幅比および位相差に基づいて、前記移動体の前記構造物に対する相対移動距離を求める移動距離算出工程と、
前記交流電流の大きさに対する前記励起電圧の振幅比に基づいて、前記移動体と前記構造物との距離を求め、前記相対移動距離を補正する補正工程と、
第二の交流電流によって前記移動体と一体となって移動する導電体に第二の渦電流を発生させ、前記導電体と所定の距離だけ離れた位置で前記第二の渦電流によって発生した磁界により励起される第二の励起電圧を測定する温度測定用電圧測定工程と
前記第二の交流電流の大きさに対する前記第二の励起電圧の振幅比および前記所定の距離に基づいて温度を算出する温度算出工程と、
前記温度算出工程で算出した温度に基づいて、前記相対移動距離を補正する温度補償工程と、
を有することを特徴とする移動距離計測方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005268213A JP4542973B2 (ja) | 2005-09-15 | 2005-09-15 | 移動距離計測装置および移動距離計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005268213A JP4542973B2 (ja) | 2005-09-15 | 2005-09-15 | 移動距離計測装置および移動距離計測方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007078558A JP2007078558A (ja) | 2007-03-29 |
JP4542973B2 true JP4542973B2 (ja) | 2010-09-15 |
Family
ID=37939040
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005268213A Active JP4542973B2 (ja) | 2005-09-15 | 2005-09-15 | 移動距離計測装置および移動距離計測方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4542973B2 (ja) |
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JP2007078558A (ja) | 2007-03-29 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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