JPH08233843A

JPH08233843A - 速度検出方法および速度センサ装置

Info

Publication number: JPH08233843A
Application number: JP7351297A
Authority: JP
Inventors: Takahide Hagiwara; 孝英萩原
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 1994-12-28
Filing date: 1995-12-27
Publication date: 1996-09-13

Abstract

(57)【要約】【課題】速度検出対象が金属などの導電性のものであ
れば、ここに何のマークも付すことなく非接触でその移
動速度を検出することができる速度検出方法と装置とを
提供する。【解決手段】互いに隣接する磁石および磁気センサ
を、これら磁石および磁気センサの配列方向に相対移動
可能な導電性移動体に対向配置し、磁石が移動体に誘起
させるうず電流と移動体内に誘起される発電電流とが発
生する磁界を、磁気センサで検出し、移動体の移動速度
を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、移動体の速度を非接触
で検出することができる速度検出方法と、この方法の実
施に直接使用する速度センサ装置とに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】直線運動や回転運動をする移動体の速度
を検出するものとしては、従来より速度発電機（タコジ
ェネレータ）、エンコーダ等が広く用いられている。

【０００３】速度発電機は直線運動の場合には回転運動
に変え、回転運動の場合にはその回転により、直流発電
機を駆動し、その出力電圧により速度を求めるものであ
る。エンコーダには直線運動を検出するリニヤエンコー
ダと回転速度を検出するロータリーエンコーダとがある
が、いずれも一定間隔の多数のマークを付した移動体
（または回転体）に対向してマークセンサを持ち、この
マークセンサでマークの通過数や通過速度を積算するこ
とにより移動量（回転量）や速度を求めるものである。

【０００４】ここにエンコーダの移動体に付けるマーク
は、フォトセンサなどの光学センサを用いるものでは、
スリットやバーコードなどで付される。ホール素子など
の磁気センサを用いるものでは、永久磁石を櫛歯状に埋
設してマークとする。

【０００５】

【従来技術の問題点】速度発電機を用いる方法は、特に
直線運動速度を検出する場合に回転運動に変換する機構
が必要になり、発電機自身も相当に大きいため、装置が
大型化する問題がある。

【０００６】エンコーダを用いる方法も同様に大型化す
る。このため独立したエンコーダに代えて速度検出対象
（移動体、回転体）に直接前記のマークを付しておくこ
とが考えられる。しかし速度検出対象に直接マークを付
すことは一般には非常に困難である。特に速度検出対象
に他の部材が摺接している場合などには一層困難であ
る。

【０００７】例えば筒型ショックアブソーバにおける伸
縮速度を検出する場合に、ピストンロッドの外周面に前
記のマークを付しておき、シリンダ側にこのマークを検
出するセンサを取付けることが考えられる。しかしこの
ピストンロッドにはシリンダのシール部材が密着してい
るから、ここに付すマークは耐摩耗性に優れたものにす
る必要があり、このようなマークを付すことは非常に困
難になる。

【０００８】

【発明の目的】本発明はこのような事情に鑑みなされた
ものであり、速度検出対象が金属などの導電性のもので
あれば、ここに何のマークも付すことなく非接触でその
移動速度を検出することができる速度検出方法を提供す
ることを第１の目的とする。またこの方法の実施に直接
使用する速度センサ装置を提供することを第２の目的と
する。

【０００９】

【発明の構成】本発明によれば第１の目的は、互いに隣
接する磁石および磁気センサをこれら磁石および磁気セ
ンサの配列方向に相対移動可能な導電性移動体に対向配
置し、前記磁石が前記移動体に誘起させる電流を前記磁
気センサで検出し、前記移動体の移動速度を検出するこ
とを特徴とする速度検出方法により達成できる。

【００１０】また第２の目的は、磁石に隣接して配設さ
れた磁気センサと、これら磁石および磁気センサに対向
してこれらの配列方向に相対移動可能な導電性移動体
と、前記磁気センサの出力信号を用いて前記移動体の相
対移動速度を求める検出回路とを備えることを特徴とす
る速度センサ装置により達成される。

【００１１】

【原理】まず図１〜８を用いて本発明の原理を説明す
る。図１と図２は本発明の原理説明図であり、図１は移
動体の静止時を、図２は同じく移動時を示す。図３はこ
の移動時に誘起される電流を説明する図、図４は各コイ
ルの接続回路図、図５は検出回路の構成例を示す回路
図、図６は各部の出力波形図である。

【００１２】図１〜４において符号１０は移動体であ
り、アルミニウム、鉄、銅、ステンレススチールなどの
導電性の材料で板状または棒状に作られている。１２
（１２ａ、１２ｂ、１２ｃ）は３個のコイルであり、前
記移動体１０の移動方向と平行に等間隔に並べられて移
動体１０に対向している。中央のコイル１２ｂは励磁コ
イルであり、交流電源１４（図４参照）によって１００
〜１ｋＨ_Z で励磁される。この励磁コイル１２ｂの両側
のコイル１２ａ、１２ｃは磁気検出コイルである。

【００１３】今励磁コイル１２ｂに図１に示すようにｉ
_b の電流が流れ始めると、移動体１０を貫通するこのコ
イル１２ｂによる磁界φが増加する。この磁界φの増加
によって、移動体１０には、図１に示すように磁界φの
増加を防げるようにうず電流Ｉが誘起される。移動体１
０が静止していればうず電流Ｉは励磁コイル１２ｂを中
心にして対称に形成される。

【００１４】移動体１０が図２〜４に矢印で示すように
左側へ移動すれば、移動体１０が磁界Φの中を横断する
から、移動体１０にはフレミング右手の法則に従って発
電電流Ｉ_V が誘起される。このため移動体１０の移動方
向側にある磁気検出コイル１２ａの付近には（Ｉ−Ｉ
_V ）の電流が流れ、反対側の磁気検出コイル１２ｃの付
近には（Ｉ＋Ｉ_V ）の電流が流れる。

【００１５】各磁気検出コイル１２ａ、１２ｃには、そ
れぞれ電流（Ｉ−Ｉ_V ）と（Ｉ＋Ｉ_V ）による磁界変化
に対応する電流ｉ_a 、ｉ_c が誘起される。両磁気検出コ
イル１２ａ、１２ｃの出力極性を逆にして直列接続する
ことにより図４の出力端ＡＢ間にはｉ＝（ｉ_a −ｉ_c ）
の電流が流れる。発電電流Ｉ_V は移動体１０が磁界Φを
横断する速度に対応するから、この出力ｉにより移動体
１０の速度を検出することができる。

【００１６】ここに両コイル１２ａ、１２ｃの出力極性
が逆になるように接続したから、うず電流Ｉが出力ｉに
寄与する電流は相殺され、発電電流Ｉ_V による出力ｉに
対する寄与が２倍になる。また励磁コイル１２ｂの漏れ
磁界の一部が隣接するコイル１２ａ、１２ｃに影響を与
えるが、これらの影響も前記のように両コイル１２ａ、
１２ｃを接続することにより相殺される。図６において
は、電流ｉ_a 、ｉ_c はこの漏れ磁界の影響や、うず電流
Ｉによる成分を除き発電電流Ｉ_V による成分のみを示し
ている。

【００１７】今各コイル１２ａ、１２ｃを同じものとし
てそれらの同一電流Ｉ_V に対する出力ｉ_a 、ｉ_c の絶対
値が等しくなるようにした場合には、移動体１０の静止
時には出力ｉは０になる。また移動体１０が左へ移動し
た時には｜ｉ_a ｜＜｜ｉ_c ｜となり、右へ移動した時に
は｜ｉ_a ｜＞｜ｉ_c ｜となる。

【００１８】この発明ではこの出力電流ｉを用いて図５
に示す検出回路１６により速度信号ｖを得るものであ
る。すなわちこの検出回路１６では、まず整流器１８で
全波整流または半波整流し、さらに平滑回路２０で平滑
して速度信号ｖを得るものである。この速度信号ｖの電
圧は、移動体１０の移動速度の増減に対応して増減する
ことになる。なお検出回路１６は、出力電流ｉを励磁電
流ｉ_b との間で同期検波することにより移動速度を求め
るようにしてもよい。

【００１９】各コイル１２ａ、１２ｃの出力電流ｉ_a 、
ｉ_c の位相は互いに逆であるから、これらを電源１４の
位相と比較することにより、移動体１０の移動方向を検
出することができる。図５で２２は位相判別回路であ
り、出力電流ｉが電源１４による励磁電流ｉ_b と逆相な
ら左方向へ、同相なら右方向へ移動していると判定す
る。

【００２０】なお各コイル１２ａ、１２ｃの出力電流の
大小を比較することにより、移動方向を検出することも
可能である。例えば図７に示すように各コイル１２ａ、
１２ｃの出力を整流器２４で整流し、平滑回路２６で平
滑した後比較器２８でそれらの大小を判別するように構
成できる。

【００２１】また磁気検出コイル１２ａ、１２ｃの出力
レベルに予め差を設けておくことにより、出力電流ｉ＝
（ｉ_a −ｉ_c ）の出力レベルだけから移動方向を検出す
ることも可能である。図８はそのようにした場合の出力
波形図である。ここでは移動体１０の静止時における出
力電流ｉの振幅が一定値Ａ／２となるように各コイル１
２ａ、１２ｃの出力電流ｉ_a 、ｉ_c を設定する。そして
出力電流ｉが振幅Ａより大なら右へ移動中、小なら左へ
移動中と判別する。

【００２２】

【実施態様】図９は本発明による第１実施態様を示すも
のであり、（Ａ）は平断面図、（Ｂ）は同じく側面図で
ある。この実施態様はショックアブソーバのピストンロ
ッドなどの金属ロッド３０を移動体とするものである。
このロッド３０は例えば鉄製で表面をクロームメッキし
たものである。コイル１２ａ、１２ｂ、１２ｃは、それ
ぞれロッド３０の外周面に対向する略コ字形のコアを持
つ。この場合励磁コイル１２ｂのコアの両端にＮ、Ｓ極
が形成されるが、各極に対して前記原理の項で説明した
事項が成立し、各磁気検出コイル１２ａ、１２ｃの出力
が２倍になるだけである。

【００２３】図１０は第２実施態様を示すもので、
（Ａ）はその平断面図、（Ｂ）は側面図である。この実
施態様は回転盤３２を移動体とするものであり、この回
転盤３２の外周面に対向して３つのコイル１２ａ、１２
ｂ、１２ｃを周方向に配列したものである。

【００２４】図１１と図１２は前記図９の第１実施態様
を具体化した実施態様を示す平断面図と一部を断面した
側面図である。この実施態様は環状のコア３４に形成し
た４つの極にそれぞれコイル１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、
１２Ｄを巻き付けたユニットを等間隔に３段に重ねて樹
脂３６により封止し、センサーユニット３８を形成した
ものである。この場合にロッド３０の軸方向に並べた３
つのコイル１２ａ、１２ｂ、１２ｃにより得た出力ｉ
を、これらと対称位置にある３つのコイルにより得た出
力ｉと加算する。このように対称位置のコイルの出力ｉ
を加算することにより、ロッド３０の軸ぶれがコイルの
出力に及ぼす変動を打消すことが可能である。

【００２５】図１３は他の実施態様の概念図である。こ
の実施態様はＥ字形のコア４０を持ち、中央の極に励磁
コイル１２ｂを巻き、両側の極に磁気検出コイル１２
ａ、１２ｃを巻き付けたものである。この実施態様によ
れば移動体１０の移動方向に並べる３つのコイル１２
ａ、１２ｂ、１２ｃを共通のコア４０に巻付けて全体を
一体化でき、小型化に適する。

【００２６】図１４は他の実施態様の概念図である。こ
の実施態様は励磁コイルに代えて永久磁石４２を用い、
また磁気センサとしてホール素子などの半導体磁気検出
素子４４を用いたものである。この実施態様では永久磁
石４２の磁界φが変化しないから、移動体１０に誘起さ
れる発電電流Ｉ_v の大きさは移動体１０の速度により変
化する。磁界φと移動体１０の移動方向とが直交してい
れば、この発電電流Ｉ_v は速度に比例する。

【００２７】従って磁気素子４４はこの発電電流Ｉ_V が
形成する磁界を検出することにより、移動体１０の速度
を求めることができる。なお半導体磁気素子４４に代え
て磁気検出コイルを用いた場合には、磁界の時間変化を
検出することになるから、発電電流Ｉ_V の変化すなわち
移動体１０の加速度を検出することになる。従ってこの
時には磁気検出コイルの出力を積分して速度を求める必
要がある。

【００２８】図１５は他の実施態様の概念図である。こ
の実施態様は磁気検出コイル１２ａ、１２ｃに励磁コイ
ルの機能を持たせた２組のセンサユニット４６、４８
を、移動体１０を挾んで対称となる位置に配設したもの
である。この実施態様によれば、移動体１０と両センサ
ユニット４６、４８との間隔の変化が出力ｉに与える影
響を少なくすることができる。すなわち両センサユニッ
ト４６、４８の出力の和を出力ｉとすることにより、移
動体１０とセンサユニット４６、４８との間隔が変化し
ても、一方のセンサユニットの出力が増大すると他方の
センサユニットの出力が減少し、各センサユニットの出
力の変動を相殺させることができるからである。

【００２９】図１６と図１７は他の実施態様を示す平断
面図と一部を断面した側面図、図１８はその原理説明図
である。この実施態様で用いるセンサユニット５０は、
ロッド５２を囲む環状のコア５４を持ち、このコア５４
の内周面に形成した３つの環状溝５６（５６ａ、５６
ｂ、５６ｃ）に励磁コイル５８と２つの磁気検出コイル
６０（６０ａ、６０ｂ）をそれぞれ装着したものであ
る。ここに励磁コイル５８は２つの磁気検出コイル６０
ａ、６０ｂの間に位置し、それぞれロッド５２を囲むよ
うに環状に巻かれている。

【００３０】今励磁コイル５８に励磁電流が流れ始める
と、点線で示す磁界φが増加するから、ロッド５２には
この磁界φの増加を防げるようにうず電流Ｉが誘起され
る。すなわちこの磁界φはコア５４のロッド５２に対す
る２つの環状の対向面からロッド５２内に入り、他の２
つの環状の対向面に向かうから、対称性によってロッド
５２の中心軸の回りを環状に流れる電流Ｉが誘起される
ものである。

【００３１】一方ロッド５２が図１７、１８で下方（矢
印方向）へ移動すれば、フレミング右手の法則によって
図１８にＩｖで示す発電電流が誘起される。従ってロッ
ド５２には、コア５４の下部付近に（Ｉ＋Ｉｖ）の電流
が環状に流れ、コア５４の上部付近には（Ｉ−Ｉｖ）の
電流が環状に流れることになる。

【００３２】磁気検出コイル６０ａ、６０ｂはそれぞれ
電流（Ｉ−Ｉｖ）と（Ｉ＋Ｉｖ）による磁界変化に対応
する電流を誘起し、両検出電流の差あるいは和によって
ロッド５２の移動速度を検出することができる。なおこ
の実施態様において励磁コイル５８に代えて永久磁石を
用いることは可能である。またこの励磁コイル５８を省
き、前記図１５で示したように２つの磁気検出コイル６
０ａ、６０ｂを合成することによって励磁コイルと同様
な機能を併せて持たせることも可能である。

【００３３】この図１６〜１８に示した実施態様によれ
ば構成が簡単であり、コイル５８、６０ａ、６０ｂはコ
ア５４の環状溝５６に装填し易くなり、組立性が向上す
る。またコア５４の各環状溝５６の間隔を狭くすること
も容易であるから、各コイル５８、６０ａ、６０ｂを接
近させて配置できる。このため検出感度を高めることが
できる。

【００３４】図１９と図２０は他の実施態様を示す平断
面図と側断面図である。この実施態様は導電性移動体を
シリンダ７０で形成したものである。この場合にこのシ
リンダ７０の内側に略円盤状のコア７２を配設し、この
コア７２の外周面に形成した環状溝７４（７４ａ、７４
ｂ、７４ｃ）を形成した。そして中央の環状溝７４ａに
励磁コイル７６を、その両側の環状溝７４ｂ、７４ｃに
それぞれ磁気検出コイル７８（７８ａ、７８ｂ）を装填
したものである。

【００３５】このようにシリンダ７０を用いる場合、う
ず電流と誘起電流の生成は前記図１８で示したものと略
同じとなる。

【００３６】このシリンダ７０は非磁性材料で作ること
が望ましい。例えばステンレススチール、銅、アルミニ
ウム、導電性セラミックス等が適する。ここに、銅、ア
ルミニウムは、銅、合金、アルミニウム合金を含む。こ
のようにすると、検出信号に与えるセンサとシリンダ７
０との間隙の変化の影響を軽減することができる。なお
この場合にはシリンダ７０の外周面に透磁率の高い材
料、例えば鉄などを積層することにより検出感度を高め
ることができ望ましい。

【００３７】図２１はそのようなシリンダの断面図であ
る。この図２１で７０Ａはシリンダ内層であり、その外
周面に磁性材層７０Ｂが積層されている。このシリンダ
内層７０Ａを貫通した磁界φはこの外層の鉄などの磁性
材層７０Ｂ内を通るから、磁気抵抗が減ることになり、
磁界φの強度が増大する。このようにすると検出感度が
著しく向上するばかりでなく、外部の磁界による雑音の
影響を受けにくくなりＳ／Ｎも向上する。

【００３８】なお前記の金属ロッド３０、５２を移動体
とする場合にも、これらのロッド３０、５２を金属に代
えてステンレススチール、銅、アルミニウム、導電性セ
ラミックスなどで作ることにより、検出信号に与えるセ
ンサとロッド３０、５２との間隙の変化の影響を軽減す
ることができる。この場合ロッド３０、５２の中心付近
に透磁率の高い鉄などのロッドを埋め込んでおき、２層
構造とすることにより検出感度を向上させることができ
る。

【００３９】図２２はこのようなロッド８０の断面図で
ある。この図で８２はロッド８０の中心軸上に埋め込ま
れた透磁率の高い鉄などの芯材である。この場合には磁
界φはロッド７４の外層８４をほぼ半径方向に貫通し、
芯材８２内を軸方向に通ることになる。このため磁気抵
抗も減るから磁束φの強度が増大すると共に、検出感度
が著しく向上する。

【００４０】この発明は、筒型クッションユニットの伸
縮を検出する場合に好適なものであるが、これに限定さ
れないのは勿論である。またこの発明により検出した移
動体の速度を積分することにより位置検出も可能であ
る。

【００４１】

【発明の効果】請求項１の発明は以上のように、移動体
の移動方向と平行に磁石と磁気センサとを対向配列し、
磁石が移動体に誘起させるうず電流と移動体内に誘起さ
れる発電電流とが発生する磁界を、磁気センサで検出す
るものであるから、移動体の移動速度を非接触で検出す
ることができる。また移動体には従来のエンコーダのよ
うにスリットやバーコードなどのマークを付する必要が
無いから製造が容易になる。

【００４２】ここに磁石として交番磁界を発生する励磁
コイルを用い、磁気センサとして磁気検出コイルを用い
ることができ、この場合には磁気検出コイルの出力を整
流することにより移動体の移動速度を求めることができ
る（請求項２）。

【００４３】また磁気センサは磁石を挾んで略対称位置
に一対設け、磁石が両センサに及ぼす影響を互いに相殺
するように両センサの出力極性を設定しておくことによ
り、発電電流Ｉ_v による影響だけを得ることができる
（請求項３）。逆に磁気センサを挾んで略対称位置に一
対の磁石を設け、両磁石がそれらの間にある磁気センサ
に与える影響を相殺するようにしても同様の効果が得ら
れる（請求項４）。

【００４４】請求項５の発明によれば、この発明の方法
の実施に直接用いる速度センサ装置が得られる。請求項
６の発明によれば同様に交流励磁コイルを用い、磁気セ
ンサの出力を整流しかつ平滑する速度センサ装置が得ら
れる。この場合検出回路は磁気センサの出力を励磁電流
との間で同期検波することにより移動速度を求めること
が可能である（請求項７）。

【００４５】磁石として永久磁石を用いることも可能で
あり、この時磁気センサとしてホール素子などの半導体
磁気検出素子を用いればその出力の大きさから移動速度
を直接求められる（請求項９）。しかし磁気センサとし
て磁気検出コイルを用いた時はこの出力を積分すること
により移動速度を検出することができる（請求項８）。

【００４６】導電性移動体をロッドとし、磁石および磁
気センサをこのロッドの外周面に対向配置したものや
（請求項１０）、導電性移動体をシリンダとしてその内
周面に磁石や磁気センサを対向配置したものが可能であ
る（請求項１１）。これらの場合にロッドを囲む環状の
コアや、シリンダ内周面に対向する略円盤状コアにロッ
ドあるいはシリンダに対向する環状溝を形成し、ここに
環状に巻いた励磁コイルや磁気検出コイルを装填するこ
とができる（請求項１２、１３）。この場合にはコアの
構造が簡単でコイルの組立性が良好になる。またコアの
小型化も容易であるから、各コイルの間隔を狭くして検
出感度を高めることが可能である。

【００４７】導電性移動体を非磁性材で作り、センサと
この移動体との間隙の大小による磁場への影響を減らす
ことにより、検出信号に与えるセンサと移動体との間隙
の変化の影響を減らすことができる（請求項１４）。こ
の場合に非磁性材としてはステンレススチール、銅、ア
ルミニウム、導電性セラミックスなどが適する（請求項
１５）。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の原理説明図

【図２】本発明の原理説明図

【図３】移動体内に誘起される電流を示す図

【図４】各コイルの接続回路図

【図５】検出回路の構成例を示すブロック図

【図６】各部の出力波形図

【図７】他の検出回路の構成例を示すブロック図

【図８】他の出力波形を示す図

【図９】本発明の一実施態様を示す図

【図１０】本発明の他の実施態様を示す図

【図１１】本発明の他の実施態様の一部を断面した平面
図

【図１２】同じく一部を断面した側面図

【図１３】本発明の他の実施態様の概念図

【図１４】本発明の他の実施態様の概念図

【図１５】本発明の他の実施態様の概念図

【図１６】本発明の他の実施態様を示す平断面図

【図１７】同じく一部を断面した側面図

【図１８】同じく原理を説明する図

【図１９】ロッドの他の実施態様を示す断面図

【図２０】他の実施態様を示す平断面図

【図２１】同じく側断面図

【図２２】シリンダの他の実施態様を示す断面図

【符号の説明】

１０移動体１２ａ、１２ｃ、６０ａ、６０ｂ、７８磁気検出コイ
ル１２ｂ、５８、７６励磁コイル１４交流電源１６検出回路３０、５２、８０移動体としての金属ロッド３２移動体としての回転盤３４、４０、５４、７２コア３８センサユニット４２永久磁石４４半導体磁気検出素子４６、４８、５０センサユニット５６、７４環状溝７０移動体としてのシリンダ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】互いに隣接する磁石および磁気センサを
これら磁石および磁気センサの配列方向に相対移動可能
な導電性移動体に対向配置し、前記磁石が前記移動体に
誘起させる電流を前記磁気センサで検出し、前記移動体
の移動速度を検出することを特徴とする速度検出方法。
【請求項２】磁石は交番磁界を発生する励磁コイルで
あり、前記磁気センサは磁気検出コイルであり、この磁
気検出コイルの出力から移動速度を求める請求項１の速
度検出方法。
【請求項３】磁気センサは磁石を挾んで略対称位置に
一対設けられ、前記磁石がその両側の各磁気センサに与
える影響を相殺するようにした請求項１の速度検出方
法。
【請求項４】磁石は磁気センサを挾んで略対称位置に
一対設けられ、両磁石がそれらの間に位置する磁気セン
サに与える影響を相殺するようにした請求項１の速度検
出方法。
【請求項５】磁石に隣接して配設された磁気センサ
と、これら磁石および磁気センサに対向してこれらの配
列方向に相対移動可能な導電性移動体と、前記磁気セン
サの出力信号を用いて前記移動体の相対移動速度を求め
る検出回路とを備えることを特徴とする速度センサ装
置。
【請求項６】前記磁石は交番磁界を発生する励磁コイ
ルであり、前記検出回路は前記磁気センサの出力を整流
しかつ平滑して移動速度を求める請求項５の速度センサ
装置。
【請求項７】前記磁石は交番磁界を発生する励磁コイ
ルであり、前記検出回路は前記磁気センサの出力を励磁
電流との間で同期検波する事により移動速度を求める請
求項５の速度センサ装置。
【請求項８】前記磁石は永久磁石であり、前記磁気セ
ンサは磁気検出コイルであり、前記検出回路は前記磁気
検出コイルの出力を時間積分することにより速度を求め
る請求項５の速度センサ装置。
【請求項９】前記磁気センサはホール素子である請求
項５の速度センサ装置。
【請求項１０】導電性移動体はロッドであり、磁石お
よび磁気センサはこのロッドの外周面に対向配置されて
いる請求項５の速度センサ装置。
【請求項１１】導電性移動体はシリンダであり、磁石
および磁気センサはこのシリンダの内周面に対向配置さ
れている請求項５の速度センサ装置。
【請求項１２】磁石および磁気センサは、ロッドの外
周を囲む環状のコアの内周面に形成した環状の溝に装填
された励磁コイルおよび磁気検出コイルで形成されてい
る請求項１０の速度センサ装置。
【請求項１３】磁石および磁気センサは、シリンダの
内周面に対向配置された略円盤状コアの外周に設けた環
状溝に装填された励磁コイルおよび磁気検出コイルで形
成されている請求項１１の速度センサ装置。
【請求項１４】導電性移動体は非磁性材で作られてい
る請求項５の速度センサ装置。
【請求項１５】導電性移動体は、ステンレススチー
ル、銅、アルミニウム、導電性セラミックスのうちのい
ずれかである請求項１４の速度センサ装置。