RU2009144566A

RU2009144566A - Способ изготовления эмитирующего электроны прибора и способ изготовления устройства отображения изображения

Info

Publication number: RU2009144566A
Application number: RU2009144566/07A
Authority: RU
Inventors: Наофуми АОКИ (JP); Наофуми АОКИ; Содзи НИСИДА (JP); Содзи НИСИДА
Original assignee: Кэнон Кабусики Кайся (Jp); Кэнон Кабусики Кайся
Priority date: 2008-12-02
Filing date: 2009-12-01
Publication date: 2011-06-10
Also published as: US8388400B2; JP2010157489A; KR20100062965A; US20100136869A1; RU2430446C2; EP2194563A3; EP2194563A2; CN101752160A

Abstract

1. Способ изготовления эмитирующего электроны прибора, включающего в себя эмитирующий электроны элемент, который включает в себя структуру, содержащую металл, и лежащий поверх этой структуры слой с низкой работой выхода, выполненный из материала с меньшей работой выхода, чем работа выхода этого металла, и который осуществляет автоэлектронную эмиссию с поверхности, причем способ содержит: ! обеспечение структуры, содержащей металл, на которой был сформирован слой оксида металла, содержащий оксид того же металла, что и металл, содержащийся в этой структуре; и ! обеспечение слоя с низкой работой выхода на слое оксида металла. ! 2. Способ по п.1, в котором слой с низкой работой выхода выполняют из поликристаллического борида лантана. ! 3. Способ по п.2, в котором слой оксида металла содержит лантан. ! 4. Способ по п.3, дополнительно содержащий обеспечение слоя оксида лантана на слое с низкой работой выхода. ! 5. Способ по п.4, в котором слой оксида лантана выполняют из триоксида дилантана. ! 6. Способ по п.1, в котором металлом является молибден, а слой оксида металла содержит оксид молибдена и оксид лантана. ! 7. Способ по п.1, в котором металлом является вольфрам, а слой оксида металла содержит оксид вольфрама и оксид лантана. ! 8. Способ изготовления эмитирующего электроны прибора, содержащий: ! формирование электропроводной пленки, содержащей металл, на изолирующем слое, имеющем угловую часть и боковую поверхность, соединенную с угловой частью, и верхнюю поверхность, таким образом, что электропроводная пленка простирается по боковой поверхности и верхней поверхности изолирующего слоя и частично покрывает угловую часть; ! тра

Claims

1. Способ изготовления эмитирующего электроны прибора, включающего в себя эмитирующий электроны элемент, который включает в себя структуру, содержащую металл, и лежащий поверх этой структуры слой с низкой работой выхода, выполненный из материала с меньшей работой выхода, чем работа выхода этого металла, и который осуществляет автоэлектронную эмиссию с поверхности, причем способ содержит:

обеспечение структуры, содержащей металл, на которой был сформирован слой оксида металла, содержащий оксид того же металла, что и металл, содержащийся в этой структуре; и

обеспечение слоя с низкой работой выхода на слое оксида металла.

2. Способ по п.1, в котором слой с низкой работой выхода выполняют из поликристаллического борида лантана.

3. Способ по п.2, в котором слой оксида металла содержит лантан.

4. Способ по п.3, дополнительно содержащий обеспечение слоя оксида лантана на слое с низкой работой выхода.

5. Способ по п.4, в котором слой оксида лантана выполняют из триоксида дилантана.

6. Способ по п.1, в котором металлом является молибден, а слой оксида металла содержит оксид молибдена и оксид лантана.

7. Способ по п.1, в котором металлом является вольфрам, а слой оксида металла содержит оксид вольфрама и оксид лантана.

8. Способ изготовления эмитирующего электроны прибора, содержащий:

формирование электропроводной пленки, содержащей металл, на изолирующем слое, имеющем угловую часть и боковую поверхность, соединенную с угловой частью, и верхнюю поверхность, таким образом, что электропроводная пленка простирается по боковой поверхности и верхней поверхности изолирующего слоя и частично покрывает угловую часть;

травление электропроводной пленки;

обеспечение слоя оксида металла, содержащего оксид того же металла, что и металл, содержащийся в электропроводной пленке, на протравленной электропроводной пленке; и

обеспечение слоя с низкой работой выхода, выполненного из материала с меньшей работой выхода, чем работа выхода металла, входящего в состав слоя оксида металла,

при этом формирование включает в себя формирование электропроводной пленки таким образом, что электропроводная пленка имеет первую часть, находящуюся на боковой поверхности, и вторую часть, находящуюся на угловой части, и первая часть имеет меньшую плотность, чем плотность второй части, а травление включает в себя травление первой и второй частей травителем, способным сильнее травить первую часть, чем вторую часть.

9. Способ по п.8, в котором слой с низкой работой выхода выполняют из поликристаллического борида лантана.

10. Способ по п.9, в котором слой оксида металла содержит лантан.

11. Способ по п.10, дополнительно содержащий обеспечение слоя оксида лантана на слое с низкой работой выхода.

12. Способ по п.11, в котором слой оксида лантана выполняют из триоксида дилантана.

13. Способ по п.8, в котором металлом является молибден, а слой оксида металла содержит оксид молибдена и оксид лантана.

14. Способ по п.8, в котором металлом является вольфрам, а слой оксида металла содержит оксид вольфрама и оксид лантана.

15. Способ изготовления устройства отображения изображения, включающего в себя эмитирующие электроны приборы и светоизлучающие элементы, которые излучают свет при бомбардировке электронами, эмитируемыми из эмитирующих электроны приборов, причем способ содержит изготовление каждого из эмитирующих электроны приборов способом по любому из пп.1-14.