SE504603C2 - Metod vid tillverkning av en fältemissionskatod samt fältemissionskatod - Google Patents

Metod vid tillverkning av en fältemissionskatod samt fältemissionskatod

Info

Publication number
SE504603C2
SE504603C2 SE9500554A SE9500554A SE504603C2 SE 504603 C2 SE504603 C2 SE 504603C2 SE 9500554 A SE9500554 A SE 9500554A SE 9500554 A SE9500554 A SE 9500554A SE 504603 C2 SE504603 C2 SE 504603C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
substance
field emission
emitting ends
irregularities
emitting
Prior art date
Application number
SE9500554A
Other languages
English (en)
Other versions
SE9500554D0 (sv
SE9500554L (sv
Inventor
Vitaly S Kaftanov
Alexander L Suvorov
Evgenij P Sheshin
Original Assignee
Lightlab Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Lightlab Ab filed Critical Lightlab Ab
Priority to SE9500554A priority Critical patent/SE504603C2/sv
Publication of SE9500554D0 publication Critical patent/SE9500554D0/sv
Priority to CN96191941A priority patent/CN1097836C/zh
Priority to PCT/SE1996/000209 priority patent/WO1996025753A1/en
Priority to ES96903328T priority patent/ES2152513T3/es
Priority to DE69610902T priority patent/DE69610902T2/de
Priority to AT96903328T priority patent/ATE197515T1/de
Priority to AU47372/96A priority patent/AU689702B2/en
Priority to CA002212681A priority patent/CA2212681C/en
Priority to RU97115249/09A priority patent/RU2159478C2/ru
Priority to JP52490096A priority patent/JP3299544B2/ja
Priority to BR9607607A priority patent/BR9607607A/pt
Priority to EP96903328A priority patent/EP0809854B1/en
Publication of SE9500554L publication Critical patent/SE9500554L/sv
Publication of SE504603C2 publication Critical patent/SE504603C2/sv
Priority to MX9706141A priority patent/MX9706141A/es

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/02Manufacture of electrodes or electrode systems
    • H01J9/022Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes
    • H01J9/025Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes of field emission cathodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J1/00Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J1/02Main electrodes
    • H01J1/30Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
  • Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
  • Discharge Lamp (AREA)

Description

15 20 25 30 35 504 603 jonkälleanordning för elektronkollision som består av ett knippe kolfiber med diametrar i storleksordningen två till tio mikrometer med emitterande ändar, vilka skurits av och ej vässats genom någon förfinande åtgärd.
De ovannämnda dokumenten inkorporeras härmed genom hänvis- ningen.
SAMANFATTNING AV UPPFINNINGEN Ett första syfte med uppfinningen är att tillhandahålla en metod vid tillverkningen av en fältemissionskatod, varvid katoden har en hög mekanisk och elektrisk hållbarhet.
Ett andra syfte med uppfinningen är att tillhandahålla en metod vid tillverkningen av en fältemissionskatod, varvid katoden har ett làgt utträdesarbete.
Ett tredje syfte med uppfinningen är att tillhandahålla en metod vid tillverkningen av en fältemissionskatod, varvid negativa miljöeffekter hos en lysanordning, vilken omfattar katoden, minimeras.
Ett fjärde syfte med uppfinningen är att tillhandahålla en metod vid tillverkningen av en fältemissionskatod, varvid katoden har en fördelaktig geometrisk konfiguration.
Ett femte syfte med uppfinningen är att tillhandahålla en metod vid tillverkningen av en fältemissionskatod, varvid katoden ger en mycket kort omslagstid för elektronemissionen.
Ovanstående syften uppnås genom särdragen som framställs i de bifogade patentkräven.
Vid en komplett metod enligt uppfinningen framställs fält- emissionskatoden från ett fibermaterial som innehåller ett för det första, första ämne, vilken metod omfattar, stegen att kombinera ett flertal fibrer av fibermaterialet; att klippa, 10 15 20 25 30 35 3 504 eos mekaniskt eller genom smältning, knippen av fibermaterialet, varvid varje knippe omfattar ett flertal fibersegment av förutbestämd längd; samt att anlöpa fibersegmenten för att från dessa avlägsna andra ämnen än det första ämnet och/eller för att normalisera strukturen hos det första ämnet i fibersegmen- ten. Efter klippning och anlöpning har varje fibersegment hos knippena en emitterande ände med inneboende ojämnheter, varvid metoden omfattar, för det andra, stegen att, till de emitte- rande ändarna av fibersegmenten, tillsätta joner av ett andra ämne med ett lägre utträdesarbete än det hos det första ämnet, för att sänka den elektriska fältstyrka som krävs för att inducera elektronfältemission fràn de emitterande ändarna och för att öka och förbättra ojämnheter hos de emitterande ändar- na, i syfte att underlätta elektronfältemission; samt att forma de emitterande ändarna genom att pàlägga en variabel spänning pà fibersegmenten och höja denna variabla spänning enligt en förutbestämd plan, under elektronfältemission fràn de emitte- rande ändarna, för att bevara ojämnheterna hos de emitterande ändarna, i en sàdan utsträckning att full driftspänning kommer att kunna pàläggas momentant utan någon väsentlig försämring av fältemissionsegenskaperna hos katoden.
I steget att tillsätta joner (bombardera de emitterande ändarna med joner) uppkommer typiskt en spridning eller divergering hos de hopbuntade fibersegmentens emitterande ändar, varvid nämnda spridning är fördelaktigt för en bredare fördelning av elektro- ner vid fältemissionen.
Det första materialet hos katoderna är kol eller ett ämne med liknande egenskaper. Användningen av kol är fördelaktig, exempelvis med hänsyn till dess förmàga att utveckla ojämnheter dá det träffas av joner under tillverkning och vid normal användning. Exempelvis är det andra materialet cesium eller något annat lämpligt material med ett làgt utträdesarbete.
De ojämnheter som kvarstàr efter steget att preparera de emitterande ändarna genom tillsättning av (dopning), eller bombardering med, joner är kritiskt för fältemissonsegen- 10 15 20 25 30 35 504 603 skaperna hos katoden. Ojämnheterna bestàr av toppar av exempel- vis cesiumdopat kol. Steget att forma de emitterande ändarna är en "inbrännings“-process, vid vilken ojämnheterna rundas av vid topparna genom smältning pà grund av värmegenerering orsakad av elektronfältemission. Om denna process utförs försiktigt kommer endast de skarpaste spetsarna att rundas av, vilket kvarlämnar ojämnheter som motstàr momentan pàläggning av full drift- spänning utan att smälta.
Företrädesvis pàläggs, i steget att forma, den variabla spän- ningen antingen i förutbestämda steg, i enlighet med en förut- bestämd (kontinuerlig) kurva, eller med reglering med hänsyn till en maximal spänningstidsderivata, i syfte att begränsa sannolikheten att lokal strömtäthet i ojämnheterna hos ändarna överskrider ett förutbestämt värde (vilket inskränker eller begränsar av de punkter där smältning sker).
I steget att anlöpa, hàlls fibrerna under en förutbestämd tid vid en förhöjd temperatur i en evakuerad kammare.
Steget att tillsätta (bombardera) respektive att forma, kan användas för sig självt för förbättring av funktionen hos fältemissionskatoderna.
Mer än en av nämnda katoder kan kombineras pà ett substrat för att bilda en sammansatt katod lämpad för geometrin hos en viss lysanordning.
Trots att uppfinningen är inriktad pà användning i lampor, fluorescenta lysrör, eller andra lysanordningar kan den tillämpas inom olika tekniska områden där fältemission är önskvärd.
KORT BESKRIVNING AV RITNINGARNA Fig. 1 visar för tydlighets skull endast nägra av fibrerna i ett knippe gjort av ett flertal fibrer som utgör en fältemissionskatod enligt uppfinningen efter steget att anlöpa; 10 15 20 25 30 35 5 504 eos Fig. 2 visar för tydlighets skull endast nägra av fibrerna i ett knippe gjort av ett flertal fibrer som utgör en fältemissionskatod enligt uppfinningen efter steget att tillsätta joner till fibersegmenten; Fig. 3 visar schematiskt en möjlig "grov" profil hos ett fibersegment i fig. l; Fig. 4 visar schematiskt en möjlig "flerspets"-profil hos ett fibersegment i fig. 2; Fig. 5 visar schematiskt en möjlig “avrundad" profil hos ett fibersegment efter steget att forma ändarna hos fibersegmenten med en variabel spänning; Fig. 6 visar fältemissionskatoder enligt uppfinningen fördelade i en matris på ett substrat i en lysanordning försedd med en modulatornätelektrod, en anod samt ett fluorescent lager, vilka verkar inuti en evakuerad glasbehàllare.
BESKRIVNING AV EN FÖREDRAGEN UTFÖRINGSFORM Utgående frán exempelvis kommersiellt tillgängliga polyakryl- nitrilkolfibrer formas katoderna genom mekanisk klippning av kolfibrerna. En fältemissionskatod enligt uppfinningen bestàr av ett knippe av kolfibrer med emitterande ändar. I ett knippe kan det finnas i storleksordningen hundra fibrer eller fler.
Fibrernas diameter är i omràdet sju mikrometer.
Det första steget i preparering av de klippta fiberknippena är anlöpning i en inert atmosfär vid en temperatur av 2 000 - 3 00OoC under nägra timmar. Denna behandling renar kolet hos fibrerna och normaliserar kornen och ytstrukturen hos fibret, vilket är viktigt i synnerhet nära dess emitterande ände. Fig. 1 visar endast en del av knippet l av fibrer 3 med emitterande ändar 2 efter anlöpningen. Fig. 3 visar en profil 5 hos ett fiber 4 efter anlöpningen, varvid profilen 5 hos den emitterande änden har små ojämnheter.
Det andra steget är bestràlning (bombardemang) av de emitte- rande ändarna med joner av cesium eller lantan. De emitterande ändarnas ytor genomdränks med joner, varigenom elektronut- 10 15 20 25 30 35 504 603 trädesarbetet minskar hos de emitterande ändarna. Dessutom orsakar bestràlningskollisionerna skarpa ojämnheter i de emitterande ändarna. Ojämnheter skulle alternativt kunna bildas genom bestràlning med ädelgasjoner. Fig. 2 visar endast en del av knippet 1 av fibrer 3 med emitterande ändar 2 efter bestràl- ningen, varvid ännu en fördelaktig effekt har uppnåtts. De emitterande ändarna 2 (spetsarna) har separerats nàgot, vilket ger en bredare fördelning av emitterade elektroder. Fig. 4 visar en profil 7 av en fiber 6 efter bestrálningen, varvid den emitterande ändens profil 7 har höga och skarpa ojämnheter 8.
Det tredje steget är formning ("inbränning") av de emitterande ändarnas ojämnheter. När ett elektroniskt fält som är till- räckligt starkt pàförs katoden kommer elektronemission att uppträda från de emitterande ändarna. Dá det elektriska fältet ökas kommer emissionen att nä nivåer i de skarpaste ojämn- heterna vilket får dem att smälta lokalt. elektriska fältstyrkan ökas làngsamt kommer smältningen att (topparna), Om den inskränkas och en väsentlig andel av ojämnheterna att bevaras liksom de emitterande ändarnas fältemissionsegenskaper. Före- trädesvis ökas det elektriska fältet i fem (jämna) steg från noll till full driftspänning, varvid varje steg varar omkring tio minuter. Fig. 5 visar en profil 10 av en fiber 9 efter formningen, varvid den emitterande ändens profil 10 har höga, men nàgot avrundade ojämnheter 11.
Fig. 6 visar en ljuskälla med fältemissionskatoden tillämpad i form av knippen 1, företrädesvis i en matris, anordnade pá ett ledande substrat 17. I samma plan som matrisen och i nära anslutning (i storleksordningen tiondels mm) ovanför (de emitterande ändarna av) knippena 1, finns en modulatorelektrod 12 med en apertur centrerad kring varje knippe. Substratet 17 och modulatorn 12 vilar pá dielektriska stöd 18 inuti en evakuerad glasbehàllare med en övre begränsning 15 och en undre begränsning 16. Motsatt knippena 1 och modulatorn finns pà insidan av den övre begränsningen 15 en anod 13 och ett fluore- scent lager 14. Substratet 17, modulatorn 12 respektive anoden 13 har elektriska anslutningar C, B respektive A, för pàförande 7 504 603 av spänningar som leder elektronerna fràn knippena l, via modulatorns aperturer, till det fluorescenta lagret 14 i anslutning med anoden 13. När elektronerna träffar det fluore- scenta lagret 14 emitteras ljus som nàr ut genom den trans- parenta anoden 13 och glasbehàllaren.

Claims (11)

10 15 20 25 30 35 504 603 P A T E N T K R A V
1. En metod vid tillverkningen av en fältemissionskatod som utgörs av minst ett fibersegment innehållande ett första ämne, varvid nämnda fibersegment vartdera har en emitterande ände med inneboende ojämnheter, vilken metod omfattar steget - att forma nämnda emitterande ändar genom pàförande av en variabel spänning pà nämnda fibersegment och ökande av nämnda variabla spänning, under elektronfältemission fràn i en förutbestämd nämnda emitterande ändar, för att bevara, utsträckning, ojämnheterna hos nämnda emitterande ändar.
2. En metod enligt krav l, vilken metod, företrädesvis före nämnda steg att forma, omfattar steget - att, till nämnda fibersegment, ämne med lägre utträdesarbete än det hos nämnda första tillsätta joner av ett andra ämne, för att minska den elektriska fältstyrka som krävs för att inducera elektronfältemission fràn nämnda emitte- rande ändar.
3. En metod enligt krav 2, varvid nämnda fältemissionskatod är gjord av ett fibermaterial som innehåller nämnda första ämne, varvid metoden omfattar stegen - att klippa fràn nämnda fibermaterial minst ett fibersegment av en förutbestämd längd; - att anlöpa nämnda fibersegment för att därifrån avlägsna andra ämnen än nämnda första ämne och/eller för att norma- lisera strukturen hos nämnda första ämne i nämnda fiber- segment, samt de nämnda stegen - att, till nämnda fibersegment, tillsätta joner av ett andra ämne med lägre utträdesarbete än det hos nämnda första ämne, - att forma nämnda emitterande ändar genom pàförande av en variabel spänning pà nämnda fibersegment och ökande av nämnda variabla spänning, under elektronfältemission från nämnda emitterande ändar.
4. En metod enligt nàgot av kraven 1-3, vilken metod omfattar 10 15 20 25 9 504 eos bestràlning av nämnda emitterande ändar med joner av ädelgas, för att åstadkomma skarpa ojämnheter däri.
5. En metod enligt krav 2, 3 eller 4, varvid stegen att tillägga joner även används för införande av nya ojämnheter och/eller förbättring av inneboende ojämnheter hos nämnda emitterande ändar, för att underlätta elektronfältemission.
6. En metod enligt krav 1, 2, 3 eller 4, varvid steget att forma nämnda emitterande ändar fullgörs för att begränsa sannolikheten för att lokal strömtäthet i ojämnheter hos nämnda ändar överskrider ett förutbestämt värde.
7. En metod enligt krav l, 2, 3 eller 4, varvid nämnda katoder formas som knippen av ett flertal av nämnda fibersegment.
8. En metod enligt krav 3 eller 4 och 7, varvid steget att tillsätta joner även används för att fà nämnda emitterande ändar (av de i knippen anordnade fibersegmenten) att divergera.
9. En metod enligt nàgot av föregående krav, varvid nämnda första ämne är kol.
10. En metod enligt nàgot tillämpligt krav av de föregående kraven, varvid nämnda andra ämne är cesium.
11. ll. En fältemissionskatod tillverkad enligt något av före- gàende krav.
SE9500554A 1995-02-15 1995-02-15 Metod vid tillverkning av en fältemissionskatod samt fältemissionskatod SE504603C2 (sv)

Priority Applications (13)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9500554A SE504603C2 (sv) 1995-02-15 1995-02-15 Metod vid tillverkning av en fältemissionskatod samt fältemissionskatod
EP96903328A EP0809854B1 (en) 1995-02-15 1996-02-15 A field emission cathode and methods in the production thereof
AU47372/96A AU689702B2 (en) 1995-02-15 1996-02-15 A field emission cathode and methods in the production thereof
RU97115249/09A RU2159478C2 (ru) 1995-02-15 1996-02-15 Способ изготовления катода с автоэлектронной эмиссией, катод с автоэлектронной эмиссией и устройство автоэлектронной эмиссии
ES96903328T ES2152513T3 (es) 1995-02-15 1996-02-15 Un catodo de emision de campo y metodos para su produccion.
DE69610902T DE69610902T2 (de) 1995-02-15 1996-02-15 Feldemissionskathode und herstellungsverfahren derselben
AT96903328T ATE197515T1 (de) 1995-02-15 1996-02-15 Feldemissionskathode und herstellungsverfahren derselben
CN96191941A CN1097836C (zh) 1995-02-15 1996-02-15 场发射阴极及其生成方法和场发射器件
CA002212681A CA2212681C (en) 1995-02-15 1996-02-15 A field emission cathode and methods in the production thereof
PCT/SE1996/000209 WO1996025753A1 (en) 1995-02-15 1996-02-15 A field emission cathode and methods in the production thereof
JP52490096A JP3299544B2 (ja) 1995-02-15 1996-02-15 電界放出カソード及びその製造方法
BR9607607A BR9607607A (pt) 1995-02-15 1996-02-15 Processo na produção de um catodo de emissão de campo e catodo e dipositivo de emissão de campo
MX9706141A MX9706141A (es) 1995-02-15 1997-08-12 Catodo de emision por campo y metodos usados en la produccion del mismo.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9500554A SE504603C2 (sv) 1995-02-15 1995-02-15 Metod vid tillverkning av en fältemissionskatod samt fältemissionskatod

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE9500554D0 SE9500554D0 (sv) 1995-02-15
SE9500554L SE9500554L (sv) 1996-08-16
SE504603C2 true SE504603C2 (sv) 1997-03-17

Family

ID=20397229

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE9500554A SE504603C2 (sv) 1995-02-15 1995-02-15 Metod vid tillverkning av en fältemissionskatod samt fältemissionskatod

Country Status (3)

Country Link
BR (1) BR9607607A (sv)
RU (1) RU2159478C2 (sv)
SE (1) SE504603C2 (sv)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010157489A (ja) 2008-12-02 2010-07-15 Canon Inc 電子放出素子の製造方法および画像表示装置の製造方法
RU2692594C2 (ru) * 2017-08-07 2019-06-25 Акционерное общество "НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МАШИНОСТРОЕНИЯ" (АО "НИИМаш") Ионный ракетный двигатель

Also Published As

Publication number Publication date
SE9500554D0 (sv) 1995-02-15
RU2159478C2 (ru) 2000-11-20
SE9500554L (sv) 1996-08-16
BR9607607A (pt) 1998-11-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5973446A (en) Field emission cathode and methods in the production thereof
EP1892742A1 (en) Diamond electron emission cathode, electron emission source, electron microscope, and electron beam exposure device
CN103632911B (zh) 离子源器件和方法
CN1538485A (zh) 电子发射源的制造方法
AU689702B2 (en) A field emission cathode and methods in the production thereof
US3745402A (en) Field effect electron emitter
SE510412C2 (sv) En ljuskälla innefattande en fältemissionskatod och en fältemissionskatod för användning i en ljuskälla
SE504603C2 (sv) Metod vid tillverkning av en fältemissionskatod samt fältemissionskatod
EP3719829B1 (en) Emitter, electron gun in which same is used, electronic device in which same is used, and method for manufacturing same
US7808169B2 (en) Electron emitting device and electromagnetic wave generating device using the same
US8143774B2 (en) Carbon based field emission cathode and method of manufacturing the same
RU2207653C2 (ru) Холодный катод, изготовленный из пористого пеноуглеродного материала
JP2005032638A5 (sv)
CN1361918A (zh) 生产场致发射阴极的方法、场致发射阴极及光源
US10720296B1 (en) Field emission neutralizer comprising a graphitized carbon nanotube structure
JP4707336B2 (ja) カーボンナノファイバーを用いた電子源の製造方法
JP2002022899A (ja) 電子線照射装置
EP3996126A1 (en) Emitter, electron gun using same, electronic device using same, and method for producing same
WO1999009580A1 (en) Cathode from getter material
CN212648179U (zh) 一种阴极发射体
US6759686B2 (en) Silicon-based ultra-violet LED
Makarova et al. Field emission properties of a blade cathode based on a carbon foil
Leshukov et al. Plasmachemical Processing of Field Emission Cathodes Made of Carbon Fibers Bundles
AL-QUDAH et al. Analysis of the relationship between the distribution of a dielectric layer on a nano-tip apex and the distribution of emitted electrons
KR20200076641A (ko) 그래핀 필름을 포함하는 냉음극 및 이를 이용한 전자총

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed