SE504603C2 - Metod vid tillverkning av en fältemissionskatod samt fältemissionskatod - Google Patents
Metod vid tillverkning av en fältemissionskatod samt fältemissionskatodInfo
- Publication number
- SE504603C2 SE504603C2 SE9500554A SE9500554A SE504603C2 SE 504603 C2 SE504603 C2 SE 504603C2 SE 9500554 A SE9500554 A SE 9500554A SE 9500554 A SE9500554 A SE 9500554A SE 504603 C2 SE504603 C2 SE 504603C2
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- substance
- field emission
- emitting ends
- irregularities
- emitting
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/022—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes
- H01J9/025—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes of field emission cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J1/02—Main electrodes
- H01J1/30—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
- Discharge Lamp (AREA)
Description
15 20 25 30 35 504 603 jonkälleanordning för elektronkollision som består av ett knippe kolfiber med diametrar i storleksordningen två till tio mikrometer med emitterande ändar, vilka skurits av och ej vässats genom någon förfinande åtgärd.
De ovannämnda dokumenten inkorporeras härmed genom hänvis- ningen.
SAMANFATTNING AV UPPFINNINGEN Ett första syfte med uppfinningen är att tillhandahålla en metod vid tillverkningen av en fältemissionskatod, varvid katoden har en hög mekanisk och elektrisk hållbarhet.
Ett andra syfte med uppfinningen är att tillhandahålla en metod vid tillverkningen av en fältemissionskatod, varvid katoden har ett làgt utträdesarbete.
Ett tredje syfte med uppfinningen är att tillhandahålla en metod vid tillverkningen av en fältemissionskatod, varvid negativa miljöeffekter hos en lysanordning, vilken omfattar katoden, minimeras.
Ett fjärde syfte med uppfinningen är att tillhandahålla en metod vid tillverkningen av en fältemissionskatod, varvid katoden har en fördelaktig geometrisk konfiguration.
Ett femte syfte med uppfinningen är att tillhandahålla en metod vid tillverkningen av en fältemissionskatod, varvid katoden ger en mycket kort omslagstid för elektronemissionen.
Ovanstående syften uppnås genom särdragen som framställs i de bifogade patentkräven.
Vid en komplett metod enligt uppfinningen framställs fält- emissionskatoden från ett fibermaterial som innehåller ett för det första, första ämne, vilken metod omfattar, stegen att kombinera ett flertal fibrer av fibermaterialet; att klippa, 10 15 20 25 30 35 3 504 eos mekaniskt eller genom smältning, knippen av fibermaterialet, varvid varje knippe omfattar ett flertal fibersegment av förutbestämd längd; samt att anlöpa fibersegmenten för att från dessa avlägsna andra ämnen än det första ämnet och/eller för att normalisera strukturen hos det första ämnet i fibersegmen- ten. Efter klippning och anlöpning har varje fibersegment hos knippena en emitterande ände med inneboende ojämnheter, varvid metoden omfattar, för det andra, stegen att, till de emitte- rande ändarna av fibersegmenten, tillsätta joner av ett andra ämne med ett lägre utträdesarbete än det hos det första ämnet, för att sänka den elektriska fältstyrka som krävs för att inducera elektronfältemission fràn de emitterande ändarna och för att öka och förbättra ojämnheter hos de emitterande ändar- na, i syfte att underlätta elektronfältemission; samt att forma de emitterande ändarna genom att pàlägga en variabel spänning pà fibersegmenten och höja denna variabla spänning enligt en förutbestämd plan, under elektronfältemission fràn de emitte- rande ändarna, för att bevara ojämnheterna hos de emitterande ändarna, i en sàdan utsträckning att full driftspänning kommer att kunna pàläggas momentant utan någon väsentlig försämring av fältemissionsegenskaperna hos katoden.
I steget att tillsätta joner (bombardera de emitterande ändarna med joner) uppkommer typiskt en spridning eller divergering hos de hopbuntade fibersegmentens emitterande ändar, varvid nämnda spridning är fördelaktigt för en bredare fördelning av elektro- ner vid fältemissionen.
Det första materialet hos katoderna är kol eller ett ämne med liknande egenskaper. Användningen av kol är fördelaktig, exempelvis med hänsyn till dess förmàga att utveckla ojämnheter dá det träffas av joner under tillverkning och vid normal användning. Exempelvis är det andra materialet cesium eller något annat lämpligt material med ett làgt utträdesarbete.
De ojämnheter som kvarstàr efter steget att preparera de emitterande ändarna genom tillsättning av (dopning), eller bombardering med, joner är kritiskt för fältemissonsegen- 10 15 20 25 30 35 504 603 skaperna hos katoden. Ojämnheterna bestàr av toppar av exempel- vis cesiumdopat kol. Steget att forma de emitterande ändarna är en "inbrännings“-process, vid vilken ojämnheterna rundas av vid topparna genom smältning pà grund av värmegenerering orsakad av elektronfältemission. Om denna process utförs försiktigt kommer endast de skarpaste spetsarna att rundas av, vilket kvarlämnar ojämnheter som motstàr momentan pàläggning av full drift- spänning utan att smälta.
Företrädesvis pàläggs, i steget att forma, den variabla spän- ningen antingen i förutbestämda steg, i enlighet med en förut- bestämd (kontinuerlig) kurva, eller med reglering med hänsyn till en maximal spänningstidsderivata, i syfte att begränsa sannolikheten att lokal strömtäthet i ojämnheterna hos ändarna överskrider ett förutbestämt värde (vilket inskränker eller begränsar av de punkter där smältning sker).
I steget att anlöpa, hàlls fibrerna under en förutbestämd tid vid en förhöjd temperatur i en evakuerad kammare.
Steget att tillsätta (bombardera) respektive att forma, kan användas för sig självt för förbättring av funktionen hos fältemissionskatoderna.
Mer än en av nämnda katoder kan kombineras pà ett substrat för att bilda en sammansatt katod lämpad för geometrin hos en viss lysanordning.
Trots att uppfinningen är inriktad pà användning i lampor, fluorescenta lysrör, eller andra lysanordningar kan den tillämpas inom olika tekniska områden där fältemission är önskvärd.
KORT BESKRIVNING AV RITNINGARNA Fig. 1 visar för tydlighets skull endast nägra av fibrerna i ett knippe gjort av ett flertal fibrer som utgör en fältemissionskatod enligt uppfinningen efter steget att anlöpa; 10 15 20 25 30 35 5 504 eos Fig. 2 visar för tydlighets skull endast nägra av fibrerna i ett knippe gjort av ett flertal fibrer som utgör en fältemissionskatod enligt uppfinningen efter steget att tillsätta joner till fibersegmenten; Fig. 3 visar schematiskt en möjlig "grov" profil hos ett fibersegment i fig. l; Fig. 4 visar schematiskt en möjlig "flerspets"-profil hos ett fibersegment i fig. 2; Fig. 5 visar schematiskt en möjlig “avrundad" profil hos ett fibersegment efter steget att forma ändarna hos fibersegmenten med en variabel spänning; Fig. 6 visar fältemissionskatoder enligt uppfinningen fördelade i en matris på ett substrat i en lysanordning försedd med en modulatornätelektrod, en anod samt ett fluorescent lager, vilka verkar inuti en evakuerad glasbehàllare.
BESKRIVNING AV EN FÖREDRAGEN UTFÖRINGSFORM Utgående frán exempelvis kommersiellt tillgängliga polyakryl- nitrilkolfibrer formas katoderna genom mekanisk klippning av kolfibrerna. En fältemissionskatod enligt uppfinningen bestàr av ett knippe av kolfibrer med emitterande ändar. I ett knippe kan det finnas i storleksordningen hundra fibrer eller fler.
Fibrernas diameter är i omràdet sju mikrometer.
Det första steget i preparering av de klippta fiberknippena är anlöpning i en inert atmosfär vid en temperatur av 2 000 - 3 00OoC under nägra timmar. Denna behandling renar kolet hos fibrerna och normaliserar kornen och ytstrukturen hos fibret, vilket är viktigt i synnerhet nära dess emitterande ände. Fig. 1 visar endast en del av knippet l av fibrer 3 med emitterande ändar 2 efter anlöpningen. Fig. 3 visar en profil 5 hos ett fiber 4 efter anlöpningen, varvid profilen 5 hos den emitterande änden har små ojämnheter.
Det andra steget är bestràlning (bombardemang) av de emitte- rande ändarna med joner av cesium eller lantan. De emitterande ändarnas ytor genomdränks med joner, varigenom elektronut- 10 15 20 25 30 35 504 603 trädesarbetet minskar hos de emitterande ändarna. Dessutom orsakar bestràlningskollisionerna skarpa ojämnheter i de emitterande ändarna. Ojämnheter skulle alternativt kunna bildas genom bestràlning med ädelgasjoner. Fig. 2 visar endast en del av knippet 1 av fibrer 3 med emitterande ändar 2 efter bestràl- ningen, varvid ännu en fördelaktig effekt har uppnåtts. De emitterande ändarna 2 (spetsarna) har separerats nàgot, vilket ger en bredare fördelning av emitterade elektroder. Fig. 4 visar en profil 7 av en fiber 6 efter bestrálningen, varvid den emitterande ändens profil 7 har höga och skarpa ojämnheter 8.
Det tredje steget är formning ("inbränning") av de emitterande ändarnas ojämnheter. När ett elektroniskt fält som är till- räckligt starkt pàförs katoden kommer elektronemission att uppträda från de emitterande ändarna. Dá det elektriska fältet ökas kommer emissionen att nä nivåer i de skarpaste ojämn- heterna vilket får dem att smälta lokalt. elektriska fältstyrkan ökas làngsamt kommer smältningen att (topparna), Om den inskränkas och en väsentlig andel av ojämnheterna att bevaras liksom de emitterande ändarnas fältemissionsegenskaper. Före- trädesvis ökas det elektriska fältet i fem (jämna) steg från noll till full driftspänning, varvid varje steg varar omkring tio minuter. Fig. 5 visar en profil 10 av en fiber 9 efter formningen, varvid den emitterande ändens profil 10 har höga, men nàgot avrundade ojämnheter 11.
Fig. 6 visar en ljuskälla med fältemissionskatoden tillämpad i form av knippen 1, företrädesvis i en matris, anordnade pá ett ledande substrat 17. I samma plan som matrisen och i nära anslutning (i storleksordningen tiondels mm) ovanför (de emitterande ändarna av) knippena 1, finns en modulatorelektrod 12 med en apertur centrerad kring varje knippe. Substratet 17 och modulatorn 12 vilar pá dielektriska stöd 18 inuti en evakuerad glasbehàllare med en övre begränsning 15 och en undre begränsning 16. Motsatt knippena 1 och modulatorn finns pà insidan av den övre begränsningen 15 en anod 13 och ett fluore- scent lager 14. Substratet 17, modulatorn 12 respektive anoden 13 har elektriska anslutningar C, B respektive A, för pàförande 7 504 603 av spänningar som leder elektronerna fràn knippena l, via modulatorns aperturer, till det fluorescenta lagret 14 i anslutning med anoden 13. När elektronerna träffar det fluore- scenta lagret 14 emitteras ljus som nàr ut genom den trans- parenta anoden 13 och glasbehàllaren.
Claims (11)
1. En metod vid tillverkningen av en fältemissionskatod som utgörs av minst ett fibersegment innehållande ett första ämne, varvid nämnda fibersegment vartdera har en emitterande ände med inneboende ojämnheter, vilken metod omfattar steget - att forma nämnda emitterande ändar genom pàförande av en variabel spänning pà nämnda fibersegment och ökande av nämnda variabla spänning, under elektronfältemission fràn i en förutbestämd nämnda emitterande ändar, för att bevara, utsträckning, ojämnheterna hos nämnda emitterande ändar.
2. En metod enligt krav l, vilken metod, företrädesvis före nämnda steg att forma, omfattar steget - att, till nämnda fibersegment, ämne med lägre utträdesarbete än det hos nämnda första tillsätta joner av ett andra ämne, för att minska den elektriska fältstyrka som krävs för att inducera elektronfältemission fràn nämnda emitte- rande ändar.
3. En metod enligt krav 2, varvid nämnda fältemissionskatod är gjord av ett fibermaterial som innehåller nämnda första ämne, varvid metoden omfattar stegen - att klippa fràn nämnda fibermaterial minst ett fibersegment av en förutbestämd längd; - att anlöpa nämnda fibersegment för att därifrån avlägsna andra ämnen än nämnda första ämne och/eller för att norma- lisera strukturen hos nämnda första ämne i nämnda fiber- segment, samt de nämnda stegen - att, till nämnda fibersegment, tillsätta joner av ett andra ämne med lägre utträdesarbete än det hos nämnda första ämne, - att forma nämnda emitterande ändar genom pàförande av en variabel spänning pà nämnda fibersegment och ökande av nämnda variabla spänning, under elektronfältemission från nämnda emitterande ändar.
4. En metod enligt nàgot av kraven 1-3, vilken metod omfattar 10 15 20 25 9 504 eos bestràlning av nämnda emitterande ändar med joner av ädelgas, för att åstadkomma skarpa ojämnheter däri.
5. En metod enligt krav 2, 3 eller 4, varvid stegen att tillägga joner även används för införande av nya ojämnheter och/eller förbättring av inneboende ojämnheter hos nämnda emitterande ändar, för att underlätta elektronfältemission.
6. En metod enligt krav 1, 2, 3 eller 4, varvid steget att forma nämnda emitterande ändar fullgörs för att begränsa sannolikheten för att lokal strömtäthet i ojämnheter hos nämnda ändar överskrider ett förutbestämt värde.
7. En metod enligt krav l, 2, 3 eller 4, varvid nämnda katoder formas som knippen av ett flertal av nämnda fibersegment.
8. En metod enligt krav 3 eller 4 och 7, varvid steget att tillsätta joner även används för att fà nämnda emitterande ändar (av de i knippen anordnade fibersegmenten) att divergera.
9. En metod enligt nàgot av föregående krav, varvid nämnda första ämne är kol.
10. En metod enligt nàgot tillämpligt krav av de föregående kraven, varvid nämnda andra ämne är cesium.
11. ll. En fältemissionskatod tillverkad enligt något av före- gàende krav.
Priority Applications (13)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE9500554A SE504603C2 (sv) | 1995-02-15 | 1995-02-15 | Metod vid tillverkning av en fältemissionskatod samt fältemissionskatod |
EP96903328A EP0809854B1 (en) | 1995-02-15 | 1996-02-15 | A field emission cathode and methods in the production thereof |
AU47372/96A AU689702B2 (en) | 1995-02-15 | 1996-02-15 | A field emission cathode and methods in the production thereof |
RU97115249/09A RU2159478C2 (ru) | 1995-02-15 | 1996-02-15 | Способ изготовления катода с автоэлектронной эмиссией, катод с автоэлектронной эмиссией и устройство автоэлектронной эмиссии |
ES96903328T ES2152513T3 (es) | 1995-02-15 | 1996-02-15 | Un catodo de emision de campo y metodos para su produccion. |
DE69610902T DE69610902T2 (de) | 1995-02-15 | 1996-02-15 | Feldemissionskathode und herstellungsverfahren derselben |
AT96903328T ATE197515T1 (de) | 1995-02-15 | 1996-02-15 | Feldemissionskathode und herstellungsverfahren derselben |
CN96191941A CN1097836C (zh) | 1995-02-15 | 1996-02-15 | 场发射阴极及其生成方法和场发射器件 |
CA002212681A CA2212681C (en) | 1995-02-15 | 1996-02-15 | A field emission cathode and methods in the production thereof |
PCT/SE1996/000209 WO1996025753A1 (en) | 1995-02-15 | 1996-02-15 | A field emission cathode and methods in the production thereof |
JP52490096A JP3299544B2 (ja) | 1995-02-15 | 1996-02-15 | 電界放出カソード及びその製造方法 |
BR9607607A BR9607607A (pt) | 1995-02-15 | 1996-02-15 | Processo na produção de um catodo de emissão de campo e catodo e dipositivo de emissão de campo |
MX9706141A MX9706141A (es) | 1995-02-15 | 1997-08-12 | Catodo de emision por campo y metodos usados en la produccion del mismo. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE9500554A SE504603C2 (sv) | 1995-02-15 | 1995-02-15 | Metod vid tillverkning av en fältemissionskatod samt fältemissionskatod |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SE9500554D0 SE9500554D0 (sv) | 1995-02-15 |
SE9500554L SE9500554L (sv) | 1996-08-16 |
SE504603C2 true SE504603C2 (sv) | 1997-03-17 |
Family
ID=20397229
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE9500554A SE504603C2 (sv) | 1995-02-15 | 1995-02-15 | Metod vid tillverkning av en fältemissionskatod samt fältemissionskatod |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
BR (1) | BR9607607A (sv) |
RU (1) | RU2159478C2 (sv) |
SE (1) | SE504603C2 (sv) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010157489A (ja) | 2008-12-02 | 2010-07-15 | Canon Inc | 電子放出素子の製造方法および画像表示装置の製造方法 |
RU2692594C2 (ru) * | 2017-08-07 | 2019-06-25 | Акционерное общество "НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МАШИНОСТРОЕНИЯ" (АО "НИИМаш") | Ионный ракетный двигатель |
-
1995
- 1995-02-15 SE SE9500554A patent/SE504603C2/sv not_active IP Right Cessation
-
1996
- 1996-02-15 BR BR9607607A patent/BR9607607A/pt not_active IP Right Cessation
- 1996-02-15 RU RU97115249/09A patent/RU2159478C2/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SE9500554D0 (sv) | 1995-02-15 |
RU2159478C2 (ru) | 2000-11-20 |
SE9500554L (sv) | 1996-08-16 |
BR9607607A (pt) | 1998-11-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5973446A (en) | Field emission cathode and methods in the production thereof | |
EP1892742A1 (en) | Diamond electron emission cathode, electron emission source, electron microscope, and electron beam exposure device | |
CN103632911B (zh) | 离子源器件和方法 | |
CN1538485A (zh) | 电子发射源的制造方法 | |
AU689702B2 (en) | A field emission cathode and methods in the production thereof | |
US3745402A (en) | Field effect electron emitter | |
SE510412C2 (sv) | En ljuskälla innefattande en fältemissionskatod och en fältemissionskatod för användning i en ljuskälla | |
SE504603C2 (sv) | Metod vid tillverkning av en fältemissionskatod samt fältemissionskatod | |
EP3719829B1 (en) | Emitter, electron gun in which same is used, electronic device in which same is used, and method for manufacturing same | |
US7808169B2 (en) | Electron emitting device and electromagnetic wave generating device using the same | |
US8143774B2 (en) | Carbon based field emission cathode and method of manufacturing the same | |
RU2207653C2 (ru) | Холодный катод, изготовленный из пористого пеноуглеродного материала | |
JP2005032638A5 (sv) | ||
CN1361918A (zh) | 生产场致发射阴极的方法、场致发射阴极及光源 | |
US10720296B1 (en) | Field emission neutralizer comprising a graphitized carbon nanotube structure | |
JP4707336B2 (ja) | カーボンナノファイバーを用いた電子源の製造方法 | |
JP2002022899A (ja) | 電子線照射装置 | |
EP3996126A1 (en) | Emitter, electron gun using same, electronic device using same, and method for producing same | |
WO1999009580A1 (en) | Cathode from getter material | |
CN212648179U (zh) | 一种阴极发射体 | |
US6759686B2 (en) | Silicon-based ultra-violet LED | |
Makarova et al. | Field emission properties of a blade cathode based on a carbon foil | |
Leshukov et al. | Plasmachemical Processing of Field Emission Cathodes Made of Carbon Fibers Bundles | |
AL-QUDAH et al. | Analysis of the relationship between the distribution of a dielectric layer on a nano-tip apex and the distribution of emitted electrons | |
KR20200076641A (ko) | 그래핀 필름을 포함하는 냉음극 및 이를 이용한 전자총 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
NUG | Patent has lapsed |