JP6187436B2 - 電子放出装置及びそれを備えるトランジスタ - Google Patents
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Description
4,5:トランジスタ
12:基板
12A:凸部
13:下側絶縁膜
14:電子放出膜
16:絶縁膜
18:引き出し電極
20:レーザ光照射装置
32:上側絶縁膜
33:遮蔽電極
34:アノード膜
Claims (12)
- 基板と、
前記基板の上方に設けられており、開口が形成されている電子放出膜と、
前記電子放出膜に向けて光を照射するように構成されている光照射装置と、を備え、
前記電子放出膜は、前記開口を画定する端部に前記光が照射したときに、前記端部から電子を放出するように構成されており、
前記電子放出膜の前記開口は、前記基板の上面に対して直交する方向から観測したときに、長手方向を持って伸びる形状を有しており、
前記光照射装置は、電界の振動面が前記長手方向に直交する直線偏光のレーザ光を照射するように構成されている、電子放出装置。 - 前記基板の材料は、前記光照射装置の前記光に対して透明であり、
前記光照射装置は、前記基板を透過して前記電子放出膜に前記光を照射するように構成されている、請求項1に記載の電子放出装置。 - 前記電子放出膜の上方に設けられており、開口が形成されている引き出し電極をさらに備えており、
前記引き出し電極の前記開口は、前記電子放出膜の前記開口の上方に配置されている、請求項1又は2に記載の電子放出装置。 - 前記基板の上面に対して直交する方向から観測したときに、前記電子放出膜の前記開口を画定する前記端部は、前記引き出し電極の前記開口の範囲内に存在する、請求項3に記載の電子放出装置。
- 前記基板の上面には、凸部が形成されており、
前記凸部の側面の一部は、前記電子放出膜で被覆されており、
前記凸部の頂面は、前記電子放出膜の前記開口を介して露出する、請求項3又は4に記載の電子放出装置。 - 基板と、
前記基板の上方に設けられており、開口が形成されているカソード膜と、
前記カソード膜の上方に設けられているアノード膜と、
前記カソード膜に向けて光を照射するように構成されている光照射装置と、を備え、
前記カソード膜は、前記開口を画定する端部に前記光が照射したときに、前記端部から電子を放出するように構成されており、
前記カソード膜の前記開口は、前記基板の上面に対して直交する方向から観測したときに、長手方向を持って伸びる形状を有しており、
前記光照射装置は、電界の振動面が前記長手方向に直交する直線偏光のレーザ光を照射するように構成されている、トランジスタ。 - 前記基板の材料は、前記光照射装置の前記光に対して透明であり、
前記光照射装置は、前記基板を透過して前記カソード膜に前記光を照射するように構成されている、請求項6に記載のトランジスタ。 - 前記カソード膜と前記アノード膜の間に設けられており、開口が形成されている引き出し電極をさらに備えており、
前記引き出し電極の前記開口は、前記カソード膜の前記開口の上方に配置されている、請求項6又は7に記載の電子放出装置。 - 前記基板の上面に対して直交する方向から観測したときに、前記カソード膜の前記開口を画定する前記端部は、前記引き出し電極の前記開口の範囲内に存在する、請求項8に記載のトランジスタ。
- 前記基板の上面には、凸部が形成されており、
前記凸部の側面の一部は、前記カソード膜で被覆されており、
前記凸部の頂面は、前記カソード膜の前記開口を介して露出する、請求項8又は9に記載のトランジスタ。 - 基板と、
前記基板の上方に設けられており、開口が形成されている電子放出膜と、
前記電子放出膜の上方に設けられており、開口が形成されている引き出し電極と、を備え、
前記電子放出膜は、前記開口を画定する端部に光が照射したときに、前記端部から電子を放出するように構成されており、
前記引き出し電極の前記開口は、前記電子放出膜の前記開口の上方に配置されており、
前記基板の上面には、凸部が形成されており、
前記凸部の側面の一部は、前記電子放出膜で被覆されており、
前記凸部の頂面は、前記電子放出膜の前記開口を介して露出する、電子放出装置。 - 基板と、
前記基板の上方に設けられており、開口が形成されているカソード膜と、
前記カソード膜の上方に設けられているアノード膜と、
前記カソード膜と前記アノード膜の間に設けられており、開口が形成されている引き出し電極と、を備え、
前記カソード膜は、前記開口を画定する端部に光が照射したときに、前記端部から電子を放出するように構成されており、
前記引き出し電極の前記開口は、前記カソード膜の前記開口の上方に配置されており、
前記基板の上面には、凸部が形成されており、
前記凸部の側面の一部は、前記カソード膜で被覆されており、
前記凸部の頂面は、前記カソード膜の前記開口を介して露出する、トランジスタ。
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