JP7032738B2 - 検出素子、放射線検出装置、およびコンプトンカメラ - Google Patents
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Description
[放射線検出システム]
図1は、本開示の第1実施形態における放射線検出システムの構成を示すブロック図である。放射線検出システム1は、電源装置60および検出素子100を備えた放射線検出装置10、エンコーダ55、および演算装置90を含む。検出素子100は、検出信号Sx、Sy、Swを出力する。検出信号Sx、Sy、Swは、この例では、検出素子100の各端子から出力される電気信号に対し、コンデンサによって直流成分が除去されて、アンプによって増幅されている。電源装置60は、放射線検出装置10に含まれる各構成(検出素子100等)に電圧を印加する。エンコーダ55は、検出信号Sx、Sy、Swをクロック信号Ckに同期してサンプリングし、エンコードして出力する。検出信号の分解能は、クロック信号Ckに応じて決まる。この出力信号をSdという場合がある。演算装置90は、出力信号Sdに基づいて、放射線(荷電粒子)の飛跡を演算する。
放射線検出装置10は、チャンバ50を有している。チャンバ50の内部には、検出素子100、ドリフトケージ70およびドリフト電極80が配置されている。ドリフト電極80は、検出素子100に対向して配置され、接地電圧(GND)に対して負の電圧が印加されている。ドリフトケージ70は、検出素子100とドリフト電極80との間の空間を囲むように配置されている。ドリフトケージ70は、検出素子100とドリフト電極80との間の電界分布を均一化するように、ドリフト電極80から検出素子100に向けて徐々に電圧を接地電圧(GND)に近づけていくための導体(導電体)が形成されている。
検出素子100の構造について説明する。以下の説明においては、検出素子100は、電子を捕捉する単位となるピクセル(アノード電極)が六方最密で配置されている例を示す。なお、この配置は、アノード電極の配置について説明をするための例示である。実際には、数百~数百万個規模の多くのピクセルが配置されてもよい。まず、図2を用いて、検出素子100のドリフト電極80側の表面に現れている構成を簡単に説明する。その後、図3~図7を用いて、検出素子100の各構成を詳細に説明する。なお、説明の関係上、一つのアノード電極パターンの図面を記載する際に、隣接するアノード電極パターンについては表記しない場合がある。第1カソード電極パターンおよび第2カソード電極パターンについても同様とする。
・隣接するアノード電極101の中心間距離d1(1ピクセル長):554.26μm
・アノード電極101の直径d2:60μm
・第1カソード電極パターン205の線幅d3:440μm
・開口部202の直径d4:340μm
・アノード電極パターン105の線幅d5:300μm
・第2カソード電極パターン305の線幅d6:440μm
・開口部302の直径d7:260μm
・貫通電極112の直径d9:50μm
・ビア電極102の直径d10:30μm
・アノード電極パターン105間の距離d11:180μm
・第1カソード電極パターン205間の距離d12:40μm
・第2カソード電極パターン305間の距離d13:40μm
次に、放射線検出装置10における放射線の検出原理について、図8および図9を用いて説明する。なお、ドリフト電極80は、接地電圧(GND)に対して負の電圧が印加されている。第1カソード電極パターン205、第2カソード電極パターン305は、接地電圧(GND)が印加されている。アノード電極101(アノード電極パターン105)は、接地電圧(GND)に対して正の電圧が印加されている。
次に、図14乃至図23を用いて、本実施形態における検出素子100の製造方法について説明する。
なお、本実施形態において、貫通孔111は、円柱形状を有するものとして、説明したがこれに限定されない。貫通孔の径が基板の垂直方向に対して変化してもよい(言い換えれば、貫通孔の側面は、基板110に対する垂直方向に対し平行とならずに、傾きを有してもよい)。例えば、図24に示すように、第2面110b側から第1面110aに向かって貫通孔111の径が小さくなっていく形状(すなわち円錐台形状)であってもよい。
第2実施形態では、アノード電極パターン105上に絶縁層が形成された検出素子について説明する。
第1実施形態では、絶縁基板として、ガラス基板を用いる例を示したが、本実施形態では、ガラス基板とは異なる材料を用いた例を示す。
本実施形態では、第1カソード電極パターン、第2カソード電極パターンの露出部、アノード電極が同一の層に配置された検出素子の例を示す。
本実施形態では、第1カソード電極パターンの形状の異なる検出素子の例を示す。
第6実施形態は、第1実施形態と比べて、第2カソード電極パターンの構造が異なっている。すなわち、隣接する2つの第2カソード電極パターンが接続されて、線幅の大きい第2カソード電極パターンを構成している検出素子の例である。
本実施形態では、アノード電極の配置、および第2カソード電極パターンの形状が異なる検出素子の例について説明する。
本実施形態では、第3カソード電極パターンを有する検出素子の例について説明する。
上記の各実施形態における放射線検出装置10は、図43および図44に示すような具体的な構成の例として実現される。
Claims (16)
- 絶縁基板の第1面側に露出して配置された複数の露出電極であって、第1露出電極、前記第1露出電極の第1方向に配置された第2露出電極、前記第1露出電極の第1方向と交差する第2方向に配置された第3露出電極、および、前記第2露出電極の前記第2方向かつ前記第3露出電極の前記第1方向に配置された第4露出電極を、少なくとも含む露出電極と、
前記絶縁基板の第1面の反対側の第2面側に配置された第1電極パターンであって、前記第1露出電極と前記第2露出電極とに第1貫通電極により接続されたパターン、および前記第3露出電極と前記第4露出電極とに第2貫通電極により接続されたパターンを、少なくとも含む第1電極パターンと、
第1露出部を有する第2電極パターンあって、前記第1露出電極と前記第3露出電極とに対応して前記第2方向に沿って配置されたパターン、および前記第2露出電極と前記第4露出電極とに対応して前記第2方向に沿って配置されたパターンを、少なくとも含み、前記第1露出部は、前記第1面側において露出し、前記露出電極と分離して配置される、第2電極パターンと、
第2露出部を有する第3電極パターンであって、前記第1露出電極と前記第4露出電極とを結ぶ第3方向に沿って配置され、かつ、前記第1電極パターンと前記第2電極パターンとで前記第3電極パターンを挟むように配置されたパターンを、少なくとも含み、前記第2露出部は、前記第1面側において露出し、前記露出電極および前記第2電極パターンと分離して配置される、第3電極パターンと、
を備えることを特徴とする検出素子。 - 前記第2電極パターンは、前記露出電極の一つを囲む第1開口部を有し、
前記第3電極パターンは、前記露出電極の一つを囲む第2開口部を有し、
前記第1開口部の幅は、前記第2開口部の幅よりも大きいことを特徴とする、
請求項1に記載の検出素子。 - 前記第3電極パターンの前記第2露出部は、前記第2電極パターンと同一の層に配置されることを特徴とする、
請求項1または2に記載の検出素子。 - 前記露出電極は、前記第2電極パターンと同一の層に配置されることを特徴とする、
請求項3に記載の検出素子。 - 前記第1電極パターン、前記第2電極パターン、および前記第3電極パターンの少なくともいずれか一つは、前記第1露出電極、前記第2露出電極、および前記第4露出電極を囲む領域において、電気的に接続されていることを特徴とする、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載の検出素子。 - 前記第2面側において、前記第1電極パターン上の絶縁層を有する、
請求項1乃至5のいずれか一項に記載の検出素子。 - 前記第1露出電極と前記第2露出電極とは隣接して配置され、
前記第1露出電極と前記第3露出電極とは隣接して配置され、
前記第1露出電極と前記第4露出電極とは隣接して配置されていることを特徴とする、
請求項1乃至6のいずれか一項に記載の検出素子。 - 前記第1露出電極と前記第2露出電極との距離、前記第1露出電極と前記第3露出電極との距離、および前記第1露出電極と前記第4露出電極との距離は等しいことを特徴とする、
請求項7に記載の検出素子。 - 前記第2電極パターンに前記第1露出電極と第3露出電極とを結ぶ第1仮想直線を設けたときに、前記第1露出電極の中心と、前記第1露出電極の前記中心を通り前記第1仮想直線に直交する第2仮想直線が前記第2電極パターンの縁部と交差する第1交点との距離は、前記第1露出電極と前記第3露出電極との間の中間点と、前記中間点を通り前記第1仮想直線に直交する第3仮想直線が前記第2電極パターンの縁部と交差する第2交点との距離よりも大きいことを特徴とする、
請求項8に記載の検出素子。 - 前記第2電極パターンは、波線形状の縁部を有することを特徴とする、
請求項9に記載の検出素子。 - 前記露出電極は、前記第2露出電極を通り、かつ前記第1露出電極と前記第4露出電極との間を通る第4方向に設けられた第5露出電極をさらに含み、
第3露出部を有する第4電極パターンであって、前記第1露出電極と前記第5露出電極とに対応して前記第4方向に沿って配置され、かつ、前記第2電極パターンと前記第3電極パターンとで前記第4電極パターンを挟むように配置されたパターンを、少なくとも含み、前記第3露出部は、前記第1面側において露出し、前記露出電極、前記第2電極パターン、および前記第3電極パターンと分離して配置される、第4電極パターンをさらに含む、
請求項1乃至6のいずれか一項に記載の検出素子。 - 前記第3電極パターンは、前記第1露出電極を囲む第1環状パターンと、前記第4露出電極を囲む第2環状パターンと、前記第1環状パターンと前記第2環状パターンとを接続する接続パターンを有し、
前記接続パターンの幅は、前記第1環状パターンの外周幅および前記第2環状パターンの外周幅より狭いことを特徴とする、
請求項7に記載の検出素子。 - 前記第3電極パターンは絶縁表面上に設けられ、
前記絶縁表面は凹部を有し、
前記露出電極は前記凹部に設けられ、
前記凹部の表面から前記露出電極の上面までの距離は、前記絶縁表面から前記第3電極パターンの上面までの距離よりも大きいことを特徴とする、
請求項1乃至12のいずれか一項に記載の検出素子。 - 請求項1乃至13のいずれか一項に記載の検出素子と、前記検出素子の前記露出電極、前記第1電極パターン、前記第2電極パターンおよび前記第3電極パターンに接続された電源装置と、を含むことを特徴とする、
放射線検出装置。 - 前記電源装置により印加される前記露出電極の電位と前記第2電極パターンの電位と間の電位差は、前記電源装置により印加される前記露出電極の電位と前記第3電極パターンの電位との間の電位差よりも大きいことを特徴とする、
請求項14に記載の放射線検出装置。 - 請求項14または15に記載の放射線検出装置と、前記放射線検出装置を取り囲むように設けられた光を検出する検出モジュールとを含むことを特徴とする、コンプトンカメラ。
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