JP2010045157A - テラヘルツ電磁波放射素子およびテラヘルツ電磁波発生方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】装置の大型化を招かずに電磁波の出力を向上し得るテラヘルツ電磁波放射素子およびテラヘルツ電磁波発生方法を提供する。
【解決手段】テラヘルツ電磁波放射素子は、空乏層4を有する半導体基板1と、半導体基板1と上部電極2と、半導体基板1と接触し、かつ上部電極2と分離して形成される下部電極3とを備えている。上部電極2と下部電極3との電位差により空乏層4内の電界を制御可能である。テラヘルツ電磁波6を発生させる際には、上部電極2と下部電極3との間に逆方向電圧を加えた状態で、空乏層4にパルス光5を照射する。
【選択図】図3
【解決手段】テラヘルツ電磁波放射素子は、空乏層4を有する半導体基板1と、半導体基板1と上部電極2と、半導体基板1と接触し、かつ上部電極2と分離して形成される下部電極3とを備えている。上部電極2と下部電極3との電位差により空乏層4内の電界を制御可能である。テラヘルツ電磁波6を発生させる際には、上部電極2と下部電極3との間に逆方向電圧を加えた状態で、空乏層4にパルス光5を照射する。
【選択図】図3
Description
本発明は、テラヘルツ電磁波放射素子およびテラヘルツ電磁波発生方法に関し、より特定的には、放射されるテラヘルツ電磁波の出力を向上しうるテラヘルツ電磁波放射素子およびテラヘルツ電磁波発生方法に関する。
テラヘルツ電磁波は、テラヘルツ帯の周波数(およそ100GHz〜10THz)を有する電磁波である。テラヘルツ電磁波放射素子は、これまで未開拓であったテラヘルツ帯の新光源として注目されており、近年、このテラヘルツ波を用いた応用研究が盛んに行なわれている。
代表的なテラヘルツ電磁波放射素子としては、GaAsやInAsなどよりなる半導体基板が知られている。フェムト秒(10fs)程度のパルス幅を有するフェムト秒パルスレーザをこの半導体基板に照射すると、パルスレーザ光のエネルギによって半導体基板表面に存在するキャリアが励起されて電流が流れ、このパルス状の電流によってテラヘルツ電磁波が発生し、外部へ放射される。
また、テラヘルツ電磁波の出力を向上するために、上記半導体基板表面に微小な間隔で対向する電極を設けたテラヘルツ電磁波放射素子も提案されている。この素子においては、対向する電極同士の間に直流電圧を印加した状態で、フェムト秒パルスレーザが半導体基板に照射される。これにより、光励起されたキャリアが電極間に生じた電界によって加速され、高出力のテラヘルツ電磁波が発生する。また、上記半導体基板の代わりに超伝導体を用いた素子も提案されている。
さらに、テラヘルツ電磁波の出力を向上するために、上記半導体基板に磁場を印加する方法も提案されている。この方法においては、フェムト秒パルスレーザによって光励起されたキャリアが磁場によって加速され、過渡電流の方向が変化することで放射効率が増大して高出力のテラヘルツ電磁波が発生する。
なお、従来のテラヘルツ電磁波放射素子は、たとえば特開2005−101401号公報(特許文献1)に開示されている。
特開2005−101401号公報
近年、テラヘルツ波電磁波を用いた分析・測定装置の研究開発が進められており、これらの装置の適用範囲を広げるために、より高出力なテラヘルツ電磁波を放射可能な素子が望まれている。アンテナを用いた高強度テラヘルツ電磁波発生のために、電極を設けた大口径アンテナに高電界を印加し、高強度光パルスを照射する方法がある。テラヘルツ電磁波の出力を向上するには印加電圧の増大(第1の方法)およびアンテナの大口径化(第2の方法)が考えられる。第1の方法のうち、最も単純なものは大気を介した放電が発生してノイズ源となり、分析・測定装置に必要な精度が得られず適さない。また、櫛形電極を表面に作製した素子があるが、アンテナ素子構造が複雑となる。また、櫛形電極を持つ素子は、構造上、静電破壊が生じやすく取扱が容易でない。これらはさらなる高出力化のための第2の方法であるアンテナの大口径化に適さない。
したがって本発明の目的は、複雑な工程を必要とせずに高出力化が可能なテラヘルツ電磁波放射素子およびテラヘルツ電磁波発生方法を提供することである。
本発明のテラヘルツ電磁波放射素子は、空乏層を有する半導体層と、半導体層と接触する第1電極と、半層体層と接触し、かつ第1電極と分離して形成される第2電極とを備えている。第1電極と第2電極との電位差により空乏層内の電界を制御可能である。
本発明のテラヘルツ電磁波放射素子によれば、第1電極と第2電極との間の電圧が実質的に空乏層に加わるので、空乏層内を高電界にすることができる。その結果、空乏層内で光励起されたキャリアが大きく加速され、高出力のテラヘルツ電磁波を発生することができる。
本発明のテラヘルツ電磁波放射素子において好ましくは、第1電極と半導体層とはショットキー接触している。これにより、ショットキー接合部の空乏層においてキャリアが光励起される。また、半導体層の表面に空乏層が生じるので、パルス光が空乏層に到達しやすくなる。
本発明のテラヘルツ電磁波放射素子において好ましくは、第1電極はニクロム合金である。ニクロム合金は、電磁波の透過率が高いため、空乏層内で発生したテラヘルツ電磁波を外部に取り出しやすくなる。なお、「ニクロム合金」とは、ニッケルおよびクロムの含有量が50質量%以上の合金を意味している。
本発明のテラヘルツ電磁波放射素子において好ましくは、半導体層は、第1導電型の不純物領域と、第1導電型の不純物領域と接触する第2導電型の不純物領域とを有している。空乏層は第1導電型の不純物領域と第2導電型の不純物領域との接合部に形成される。これにより、pn接合部の空乏層においてキャリアが光励起される。
本発明のテラヘルツ電磁波発生方法は、空乏層を有する半導体層を準備する工程と、空乏層内の電界が増加するように半導体層に電圧を加える工程と、電圧を加えた状態で、空乏層にパルス光を照射する工程とを備えている。
本発明のテラヘルツ電磁波発生方法によれば、半導体層に加えられた電圧が実質的に空乏層に加わるので、空乏層内を高電界にすることができる。その結果、空乏層内で光励起されたキャリアが大きく加速され、高出力のテラヘルツ電磁波を発生することができる。
本発明のテラヘルツ電磁波放射素子およびテラヘルツ電磁波発生方法によれば、複雑な工程を必要とせずに電磁波の出力を向上することができる。
以下、本発明の実施の形態について、図面に基づいて説明する。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1におけるテラヘルツ電磁波放射素子の構成を示す斜視図である。図2は図1のII−II線に沿った断面図である。図1および図2を参照して、本実施の形態におけるテラヘルツ電磁波放射素子10は、半導体基板1(半導体層)と、上部電極2(第1電極)と、下部電極3(第2電極)とを備えている。半導体基板1の一方の主面(上面)には上部電極2が形成されており、一方の主面と対向する半導体基板1の主面(下面)には、下部電極3が上部電極2と分離して形成されている。つまり、上部電極2と下部電極3とは半導体基板1を挟んで互いに対向するように形成されている。上部電極2と半導体基板1とはショットキー接触しており、下部電極3と半導体基板1とはオーミック接触している。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1におけるテラヘルツ電磁波放射素子の構成を示す斜視図である。図2は図1のII−II線に沿った断面図である。図1および図2を参照して、本実施の形態におけるテラヘルツ電磁波放射素子10は、半導体基板1(半導体層)と、上部電極2(第1電極)と、下部電極3(第2電極)とを備えている。半導体基板1の一方の主面(上面)には上部電極2が形成されており、一方の主面と対向する半導体基板1の主面(下面)には、下部電極3が上部電極2と分離して形成されている。つまり、上部電極2と下部電極3とは半導体基板1を挟んで互いに対向するように形成されている。上部電極2と半導体基板1とはショットキー接触しており、下部電極3と半導体基板1とはオーミック接触している。
半導体基板1は、たとえばGaAs、InAs、またはInPなどよりなっている。半導体基板1にはp型不純物またはn型不純物が注入されていてもよい。上部電極2は、たとえばニクロムなどよりなっており、特にニッケルとクロムとよりなる合金が好ましい。下部電極3は、たとえば金などよりなっている。半導体基板1と上部電極2との組合せとしては、キャリア密度が2.5×1015cm-3となるようにSiをドープしたn型GaAsよりなる半導体基板1と、NiCr、ITO(酸化インジウムスズ)、または金よりなる上部電極2との組合せが特に好ましい。
なお、上部電極2および下部電極3の位置および形状については任意である。上部電極2および下部電極3は、少なくとも半導体基板1に接触しており、かつ上部電極2と下部電極3との電位差により空乏層4内の電界を制御可能であればよい。
半導体基板1は上部電極2との接合部付近に空乏層4を有している。空乏層4は上部電極2の材料の仕事関数と、半導体基板1の材料の仕事関数との差に起因して形成され、空乏層4の内部にはキャリアがほとんど存在していない。空乏層4は、半導体基板1の内部において、上部電極2と半導体基板1との接触部から下部電極3の方へ延在している。上部電極2および下部電極3に電圧を加えない状態における空乏層4の厚さは、上部電極2と半導体基板1との材料の組合せや、上部電極2と接触する部分における半導体基板1の不純物濃度などによって制御可能である。
テラヘルツ電磁波放射素子10は、たとえば、蒸着法、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、またはスパッタリング法などを用いて半導体基板1の上面に上部電極2を形成し、半導体基板1の下面に下部電極3を形成することによって製造される。
続いて、本実施の形態におけるテラヘルツ電磁波放射素子10を用いたテラヘルツ電磁波発生方法について説明する。
図3は、本発明の実施の形態1におけるテラヘルツ電磁波の発生方法を説明するための図である。図4は図3のA部拡大図である。図3および図4を参照して、始めに、下部電極3よりも低い電位を上部電極2に与える。この状態は、上部電極2と下部電極3との間に逆方向電圧を加えた状態である。すると、空乏層4の厚さは増大して厚さW2となり、逆方向電圧は実質的に厚さW2の空乏層4の両側に加わる。その結果、空乏層4内に大きな電界が発生する。次に、上部電極2と下部電極3との間に逆方向電圧を加えた状態で、たとえばフェムト秒パルスレーザ装置などのレーザ装置9から空乏層4へパルス光5を照射する。このパルス光5のエネルギにより空乏層4内でキャリアが光励起され、光励起されたキャリアが空乏層4内の電界によって加速される。具体的には、図4に示すように、正孔7は上部電極2の方へ加速され、電子8は下部電極3の方へ加速される。その結果、半導体基板1内に大きな電流が流れ、高出力のテラヘルツ電磁波6が発生する。発生したテラヘルツ電磁波6の一部は、半導体基板1および上部電極2を透過して外部に放出される。
本実施の形態におけるテラヘルツ電磁波放射素子10およびテラヘルツ電磁波発生方法によれば、上部電極2と下部電極3との間に逆方向電圧を印加すると、この逆方向電圧は、厚さW2の空乏層4に実質的に印加される。このため、半導体基板1内に大きな電界を発生させることができる。その結果、光励起されたキャリアが加速され、高出力のテラヘルツ電磁波を発生することができる。
加えて、半導体基板1に電極を形成しただけの簡易な構成であるため、発光領域を容易に大面積化することができる。
また、上部電極2と半導体基板1とはショットキー接触しているので、ショットキー接合部の空乏層4においてキャリアが光励起される。また、半導体基板1の表面に空乏層4が生じるので、パルス光5が空乏層に到達しやすくなる。
さらに、上部電極2をニッケルとクロムとよりなる材料で形成した場合には、光の透過率が向上し、空乏層4内で発生したテラヘルツ電磁波を外部に取り出しやすくなる。
本実施の形態におけるテラヘルツ電磁波放射素子10によって発生された高出力のテラヘルツ電磁波を用いることによって、特に分析・測定装置の高性能化を図ることができる。すなわち、従来の分析・測定装置においては、テラヘルツ電磁波が透過しうる厚さに被測定物を加工する必要があったが、本実施の形態におけるテラヘルツ電磁波放射素子10を用いれば、テラヘルツ電磁波が被測定物を透過しやすくなるため、このような加工が不要になる。また、分析・測定装置における必要なSN比(Signal to Noise Ratio)を確保することができる。
(実施の形態2)
図5は、本発明の実施の形態2におけるテラヘルツ電磁波放射素子の構成を模式的に示す断面図である。図5を参照して、本実施の形態におけるテラヘルツ電磁波放射素子10aは、半導体基板および上部電極の構成が実施の形態1におけるテラヘルツ電磁波放射素子と異なっている。具体的には、半導体基板1は、p型不純物領域1aとn型不純物領域1bとを有している。p型不純物領域1aはn型不純物領域1b上に形成されており、p型不純物領域1aの上面は上部電極2aとオーミック接触している。n型不純物領域1bの下面は下部電極3とオーミック接触している。p型不純物領域1aとn型不純物領域1bとの接合部には空乏層4aが形成されている。
図5は、本発明の実施の形態2におけるテラヘルツ電磁波放射素子の構成を模式的に示す断面図である。図5を参照して、本実施の形態におけるテラヘルツ電磁波放射素子10aは、半導体基板および上部電極の構成が実施の形態1におけるテラヘルツ電磁波放射素子と異なっている。具体的には、半導体基板1は、p型不純物領域1aとn型不純物領域1bとを有している。p型不純物領域1aはn型不純物領域1b上に形成されており、p型不純物領域1aの上面は上部電極2aとオーミック接触している。n型不純物領域1bの下面は下部電極3とオーミック接触している。p型不純物領域1aとn型不純物領域1bとの接合部には空乏層4aが形成されている。
なお、これ以外の構成およびテラヘルツ電磁波発生方法は、実施の形態1におけるテラヘルツ電磁波放射素子およびテラヘルツ電磁波発生方法と同様であるため、同一の部材には同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。
テラヘルツ電磁波放射素子10aにおいて、p型不純物領域1aおよびn型不純物領域1bの各々は、たとえば、上部電極2および下部電極3を形成する前に、半導体基板1の上面または下面から半導体基板1内に不純物イオンを注入することにより形成される。また、n型(p型)基板の主面にp型(n型)半導体層をエピタキシャル成長することにより形成されてもよい。
本実施の形態におけるテラヘルツ電磁波放射素子10aによれば、実施の形態1のテラヘルツ電磁波放射素子とほぼ同様の効果を得ることができる。
加えて、半導体基板1は、p型不純物領域1aと、p型不純物領域1aと接触するn型不純物領域1bとを有しており、空乏層4aはp型不純物領域1aとn型不純物領域1bとの接合部に形成されている。これにより、逆方向電圧(下部電極3の電位よりも上部電極3の電位が低いような電圧)を加えた状態でpn接合部の空乏層4aにパルス光を照射することにより、空乏層4aにおいてキャリアが光励起される。
なお、本発明において空乏層は、第1導電型の不純物領域と第2導電型の不純物領域との接合部に形成されればよく、第1導電型の不純物領域および第2導電型の不純物領域の位置および不純物濃度は任意である。
以上に開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考慮されるべきである。本発明の範囲は、以上の実施の形態ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての修正や変形を含むものと意図される。
本発明は、電力用避雷器の内部を診断するための分析・測定装置に利用可能である。
1 半導体基板、1a p型不純物領域、1b n型不純物領域、2,2a 上部電極、3 下部電極、4,4a 空乏層、5 パルス光、6 テラヘルツ電磁波、7 正孔、8 電子、9 レーザ装置、10,10a テラヘルツ電磁波放射素子。
Claims (5)
- 空乏層を有する半導体層と、
前記半導体層と接触する第1電極と、
前記半層体層と接触し、かつ前記第1電極と分離して形成される第2電極とを備え、
前記第1電極と前記第2電極との電位差により前記空乏層内の電界を制御可能である、テラヘルツ電磁波放射素子。 - 前記第1電極と前記半導体層とはショットキー接触している、請求項1に記載のテラヘルツ電磁波放射素子。
- 前記第1電極はニクロム合金よりなる、請求項1または2に記載のテラヘルツ電磁波放射素子。
- 前記半導体層は、第1導電型の不純物領域と、前記第1導電型の不純物領域と接触する第2導電型の不純物領域とを有し、
前記空乏層は前記第1導電型の不純物領域と前記第2導電型の不純物領域との接合部に形成される、請求項1に記載のテラヘルツ電磁波放射素子。 - 空乏層を有する半導体層を準備する工程と、
前記空乏層内の電界が増加するように前記半導体層に電圧を加える工程と、
前記電圧を加えた状態で、前記空乏層にパルス光を照射する工程とを備えた、テラヘルツ電磁波発生方法。
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