RU2007140787A

RU2007140787A - Способ и система очистки трехфтористого азота

Info

Publication number: RU2007140787A
Application number: RU2007140787/15A
Authority: RU
Inventors: Раджив Р. СИНГХ (US); Раджив Р. СИНГХ; Дэвид Ф. ОРЛОВСКИ (US); Дэвид Ф. ОРЛОВСКИ; Мэттью Х. ЛУЛИ (US); Мэттью Х. ЛУЛИ; Мартин Р. ПАОНЕССА (US); Мартин Р. ПАОНЕССА
Original assignee: Хонейвелл Интернэшнл Инк. (Us); Хонейвелл Интернэшнл Инк.
Priority date: 2005-04-07
Filing date: 2006-03-21
Publication date: 2009-05-20
Also published as: ZA200708536B; EP1866241A1; JP2008537720A; TW200640561A; US20060228285A1; CN101189185A; KR20070116258A; WO2006110270A1; US7384618B2

Abstract

1. Способ очистки трехфтористого азота NF3, включающий стадии: ! (а) обеспечение сырого продукта, содержащего NF3 и по меньшей мере одну примесь, причем эта примесь содержится в первой концентрации; ! (б) контактирование сырого продукта с адсорбентом, представляющим собой углеродное молекулярное сито на основе полиакрилонитрила и ! (в) выделение NF3 из адсорбента с получением очищенного NF3, содержащего примесь во второй концентрации, при этом вторая концентрация меньше, чем первая концентрация. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что адсорбент включает гранулы с площадью поверхности от примерно 500 м2/г до примерно 1500 м2/г по весу и размером пор от примерно 10 Е до примерно 15 Е. ! 3. Способ по п.2, отличающийся тем, что указанные гранулы имеют площадь поверхности примерно 1000 м2/г и размер пор равный примерно 13 Е. ! 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что примесь представляет собой CF4. ! 5. Способ по п.4, отличающийся тем, что первая концентрация CF4 составляет от примерно 4 ч./млн по объему до примерно 5 об.%. ! 6. Способ по п.1, отличающийся тем, что вторая концентрация составляет менее 1 ч./млн по объему. ! 7. Способ по п.1, отличающийся тем, что стадия контактирования длится от примерно 1 до примерно 100 с. ! 8. Система для непрерывной очистки трехфтористого азота NF3, содержащая: ! (а) поток исходного сырого продукта, содержащего NF3 и по меньшей мере одну примесь, при этом примесь содержится в первой концентрации; ! (б) адсорбент, представляющий собой углеродное молекулярное сито на основе полиакрилонитрила, которое находится в контакте с потоком исходного продукта, и ! (в) очищенный NF3, содержащий примесь во второй концентрации, при этом вторая концентрация ме�

Claims

1. Способ очистки трехфтористого азота NF₃, включающий стадии:

(а) обеспечение сырого продукта, содержащего NF₃ и по меньшей мере одну примесь, причем эта примесь содержится в первой концентрации;

(б) контактирование сырого продукта с адсорбентом, представляющим собой углеродное молекулярное сито на основе полиакрилонитрила и

(в) выделение NF₃ из адсорбента с получением очищенного NF₃, содержащего примесь во второй концентрации, при этом вторая концентрация меньше, чем первая концентрация.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что адсорбент включает гранулы с площадью поверхности от примерно 500 м²/г до примерно 1500 м²/г по весу и размером пор от примерно 10 Е до примерно 15 Е.

3. Способ по п.2, отличающийся тем, что указанные гранулы имеют площадь поверхности примерно 1000 м²/г и размер пор равный примерно 13 Е.

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что примесь представляет собой CF₄.

5. Способ по п.4, отличающийся тем, что первая концентрация CF₄ составляет от примерно 4 ч./млн по объему до примерно 5 об.%.

6. Способ по п.1, отличающийся тем, что вторая концентрация составляет менее 1 ч./млн по объему.

7. Способ по п.1, отличающийся тем, что стадия контактирования длится от примерно 1 до примерно 100 с.

8. Система для непрерывной очистки трехфтористого азота NF₃, содержащая:

(а) поток исходного сырого продукта, содержащего NF₃ и по меньшей мере одну примесь, при этом примесь содержится в первой концентрации;

(б) адсорбент, представляющий собой углеродное молекулярное сито на основе полиакрилонитрила, которое находится в контакте с потоком исходного продукта, и

(в) очищенный NF₃, содержащий примесь во второй концентрации, при этом вторая концентрация меньше, чем первая концентрация.

9. Система по п.8, отличающаяся тем, что поток исходного сырого продукта содержит от примерно 4 ч./млн по объему до примерно 5 об.% CF₄.

10. Система по п.8, отличающаяся тем, что величина второй концентрации составляет менее 1 ч./млн по объему.