RU2000112331A - Термоэлектрический модуль с улучшенным теплообменом и способ его изготовления - Google Patents
Термоэлектрический модуль с улучшенным теплообменом и способ его изготовленияInfo
- Publication number
- RU2000112331A RU2000112331A RU2000112331/09A RU2000112331A RU2000112331A RU 2000112331 A RU2000112331 A RU 2000112331A RU 2000112331/09 A RU2000112331/09 A RU 2000112331/09A RU 2000112331 A RU2000112331 A RU 2000112331A RU 2000112331 A RU2000112331 A RU 2000112331A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- thermoelectric
- integrated circuit
- type
- electrodes
- indicated
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims 10
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 8
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims 6
- 238000005524 ceramic coating Methods 0.000 claims 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims 4
- 230000001070 adhesive Effects 0.000 claims 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 3
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 claims 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N al2o3 Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 claims 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 claims 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N tin hydride Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Claims (10)
1. Термоэлектрический модуль с улучшенным теплообменом, в состав которого входят: термоэлектрическая интегральная схема, на верхней и нижней поверхностях которой открытые поверхности термоэлектрических элементов первого и второго типов составляют матрицу таким образом, что каждый из упомянутых термоэлектрических элементов первого типа находится рядом с упомянутым термоэлектрическим элементом второго типа с образованием зазора, при этом зазор между ними заполнен электроизолирующим материалом в виде смолы первого типа, металлический слой, нанесенный на каждую из открытых поверхностей термоэлектрических элементов, расположенных на верхней и нижней поверхности указанной термоэлектрической интегральной схемы, первые электроды, сформированные на верхней поверхности термоэлектрической интегральной схемы в соответствии с первым рисунком схемы, каждый из которых электрически соединяет смежные термоэлектрические элементы; вторые электроды, сформированные на нижней поверхности термоэлектрической интегральной схемы в соответствии со вторым рисунком схемы, каждый из которых электрически соединяет смежные термоэлектрические элементы, при этом указанный термоэлектрический модуль отличается тем, что в его состав входит один из двух компонентов (А) и (В):
(A) - электроизолирующий слой, выполненный из материала в виде смолы второго типа, состоящий из керамического порошка с высокой теплопроводностью, который полностью покрывает по крайней мере одну верхнюю поверхность термоэлектрической интегральной схемы с первыми электродами и одну нижнюю поверхность термоэлектрической интегральной схемы со вторыми электродами;
(B) - электроизолирующий слой, выполненный из материала в виде смолы третьего типа, который полностью покрывает по крайней мере одну верхнюю поверхность термоэлектрической интегральной схемы с первыми электродами и одну нижнюю поверхность термоэлектрической интегральной схемы со вторыми электродами, и теплопередающий слой, состоящий из металлического листа с напыленным керамическим покрытием с высокой теплопроводностью, который установлен на указанном изолирующем слое таким образом, что напыленное керамическое покрытие контактирует с указанным изолирующим слоем.
(A) - электроизолирующий слой, выполненный из материала в виде смолы второго типа, состоящий из керамического порошка с высокой теплопроводностью, который полностью покрывает по крайней мере одну верхнюю поверхность термоэлектрической интегральной схемы с первыми электродами и одну нижнюю поверхность термоэлектрической интегральной схемы со вторыми электродами;
(B) - электроизолирующий слой, выполненный из материала в виде смолы третьего типа, который полностью покрывает по крайней мере одну верхнюю поверхность термоэлектрической интегральной схемы с первыми электродами и одну нижнюю поверхность термоэлектрической интегральной схемы со вторыми электродами, и теплопередающий слой, состоящий из металлического листа с напыленным керамическим покрытием с высокой теплопроводностью, который установлен на указанном изолирующем слое таким образом, что напыленное керамическое покрытие контактирует с указанным изолирующим слоем.
2. Термоэлектрический модуль по п. 1, отличающийся тем, что в качестве указанного материала в виде смолы второго типа, содержащего керамический порошок, используется эпоксидная смола, содержащая порошок из оксида алюминия.
3. Термоэлектрический модуль по п. 1, отличающийся тем, что объемное содержание керамического порошка в указанном материале в виде смолы второго типа составляет 5 - 50%.
4. Термоэлектрический модуль по п. 1, отличающийся тем, что в качестве указанного металлического листа с напыленным керамическим покрытием используется медная фольга с покрытием из напыленного оксида алюминия.
5. Термоэлектрический модуль по п. 1, отличающийся тем, что толщина напыленного керамического покрытия составляет 10 - 100 мкм.
6. Термоэлектрический модуль по п. 1, отличающийся тем, что в состав входит теплопроводный слой, нанесенный на указанный изолирующий слой из материала в виде смолы второго типа, содержащего керамический порошок.
7. Термоэлектрический модуль по п. 1, отличающийся тем, что указанный металлический слой выполнен по крайней мере из никеля или олова.
8. Конструкция, получаемая при соединении термоэлектрического модуля по п. 1 с подставкой, имеющей основание и стержни, проходящие через указанное основание, отличающаяся тем, что термоэлектрический модуль имеет контактный участок, через который подводится питание, и указанный контактный участок имеет пару сквозных отверстий для прохода стержней, выступающих над указанным основанием так, что этот указанный контактный участок непосредственно соединяется с указанными стержнями без использования проводов.
9. Способ изготовления термоэлектрического модуля с улучшенным теплообменом, при этом указанный способ включает следующие этапы: готовят термоэлектрическую интегральную схему, на верхней и нижней поверхностях которой расположены открытые поверхности термоэлектрических элементов первого и второго типов, путем размещения этих термоэлектрических элементов в виде матрицы таким образом, что каждый из термоэлектрических элементов первого типа находится рядом с термоэлектрическим элементом второго типа с образованием зазора, при этом зазор между ними заполнен электроизолирующим материалом в виде смолы первого типа, наносят металлический слой на каждую из открытых поверхностей указанных термоэлектрических элементов, расположенных на верхней и нижней поверхности указанной термоэлектрической интегральной схемы, формируют первые электроды на верхней поверхности указанной термоэлектрической интегральной схемы в соответствии с первым рисунком схемы, каждый из которых электрически соединяет смежные термоэлектрические элементы, формируют вторые электроды на нижней поверхности указанной термоэлектрической интегральной схемы в соответствии со вторым рисунком схемы, каждый из которых электрически соединяет смежные термоэлектрические элементы, соединяют электроизолирующий лист смолы второго типа, содержащей керамический порошок высокой теплопроводности, по крайней мере с одной верхней поверхностью указанной термоэлектрической интегральной схемы, имеющей первые электроды, и с нижней поверхностью указанной термоэлектрической интегральной схемы, имеющей вторые электроды.
10. Способ изготовления термоэлектрического модуля с улучшенным теплообменом, при этом указанный способ включает следующие этапы: готовят термоэлектрическую интегральную схему, на верхней и нижней поверхностях которой расположены открытые поверхности термоэлектрических элементов первого и второго типов, путем размещения этих термоэлектрических элементов в виде матрицы таким образом, что каждый из указанных термоэлектрических элементов первого типа находится рядом с указанным термоэлектрическим элементом второго типа с образованием зазора, при этом зазор между ними заполнен электроизолирующим материалом в виде смолы первого типа, наносят металлический слой на каждую из открытых поверхностей указанных термоэлектрических элементов, расположенных на верхней и нижней поверхности указанной термоэлектрической интегральной схемы, формируют первые электроды на верхней поверхности указанной термоэлектрической интегральной схемы в соответствии с первым рисунком схемы, каждый из которых электрически соединяет смежные термоэлектрические элементы, формируют вторые электроды на нижней поверхности указанной термоэлектрической интегральной схемы в соответствии со вторым рисунком схемы, каждый из которых электрически соединяет смежные термоэлектрические элементы, размещают электроизолирующий клейкий лист из смолы третьего типа по крайней мере на одной верхней поверхности указанной термоэлектрической интегральной схемы, имеющей первые электроды, и на нижней поверхности указанной термоэлектрической интегральной схемы, имеющей вторые электроды, размещают металлический лист с напыленным керамическим покрытием высокой теплопроводности на указанном клеящем листе таким образом, чтобы обеспечить контакт между напыленным керамическим покрытием и указанным клеящим листом, соединяют металлический лист с указанной термоэлектрической интегральной схемой с помощью клеящего листа.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11-226966 | 1999-08-10 | ||
JP22696699 | 1999-08-10 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2000112331A true RU2000112331A (ru) | 2002-04-20 |
RU2185042C2 RU2185042C2 (ru) | 2002-07-10 |
Family
ID=16853423
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2000112331/09A RU2185042C2 (ru) | 1999-08-10 | 2000-05-18 | Термоэлектрический модуль с улучшенным теплообменом и способ его изготовления |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6274803B1 (ru) |
KR (1) | KR100343386B1 (ru) |
DE (1) | DE10022726C2 (ru) |
RU (1) | RU2185042C2 (ru) |
Families Citing this family (61)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6401462B1 (en) * | 2000-03-16 | 2002-06-11 | George Bielinski | Thermoelectric cooling system |
US6620994B2 (en) | 2000-10-04 | 2003-09-16 | Leonardo Technologies, Inc. | Thermoelectric generators |
US6828579B2 (en) * | 2001-12-12 | 2004-12-07 | Hi-Z Technology, Inc. | Thermoelectric device with Si/SiC superlattice N-legs |
US20050121065A1 (en) * | 2003-12-09 | 2005-06-09 | Otey Robert W. | Thermoelectric module with directly bonded heat exchanger |
CN100379045C (zh) * | 2004-01-18 | 2008-04-02 | 财团法人工业技术研究院 | 微型热电冷却装置的结构及制造方法 |
JP2005277206A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Toshiba Corp | 熱電変換装置 |
US7531739B1 (en) | 2004-10-15 | 2009-05-12 | Marlow Industries, Inc. | Build-in-place method of manufacturing thermoelectric modules |
US20060124165A1 (en) * | 2004-12-09 | 2006-06-15 | Marlow Industries, Inc. | Variable watt density thermoelectrics |
US8686277B2 (en) * | 2004-12-27 | 2014-04-01 | Intel Corporation | Microelectronic assembly including built-in thermoelectric cooler and method of fabricating same |
JP2006234362A (ja) | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Komatsu Electronics Inc | 熱交換器及び熱交換器の製造方法 |
US20070101737A1 (en) | 2005-11-09 | 2007-05-10 | Masao Akei | Refrigeration system including thermoelectric heat recovery and actuation |
DE102005057763A1 (de) * | 2005-12-02 | 2007-06-06 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Thermoelektrisches Modul |
TW200902846A (en) * | 2007-07-02 | 2009-01-16 | Man-Huang Chen | Solid temperature difference power generating plate and device thereof |
JP4404127B2 (ja) * | 2007-09-28 | 2010-01-27 | ヤマハ株式会社 | 熱電モジュール用基板およびこの基板を用いた熱電モジュール |
JP5501623B2 (ja) * | 2008-01-29 | 2014-05-28 | 京セラ株式会社 | 熱電モジュール |
JP5522943B2 (ja) * | 2008-01-29 | 2014-06-18 | 京セラ株式会社 | 熱電モジュール |
DE102008038985A1 (de) | 2008-08-13 | 2010-02-18 | Emitec Gesellschaft Für Emissionstechnologie Mbh | Thermoelektrische Vorrichtung |
DE102009002953B4 (de) * | 2009-05-08 | 2013-03-07 | Mtu Friedrichshafen Gmbh | Schwungrad, Brennkraftmaschine mit Schwungrad sowie System aus einer Brennkraftmaschine und einer anzutreibenden Maschine, Verwendung des Systems |
US8193439B2 (en) * | 2009-06-23 | 2012-06-05 | Laird Technologies, Inc. | Thermoelectric modules and related methods |
US20110016888A1 (en) * | 2009-07-24 | 2011-01-27 | Basf Se | Thermoelectric module |
US20110030754A1 (en) * | 2009-08-06 | 2011-02-10 | Laird Technologies, Inc. | Thermoelectric modules and related methods |
WO2011104772A1 (ja) | 2010-02-26 | 2011-09-01 | 富士通株式会社 | 発電装置、発電方法及び発電装置の製造方法 |
US9515245B2 (en) * | 2010-07-23 | 2016-12-06 | King Abdullah University Of Science And Technology | Apparatus, system, and method for on-chip thermoelectricity generation |
KR101153720B1 (ko) * | 2010-09-16 | 2012-06-14 | 한국기계연구원 | 열전모듈 및 이의 제조방법 |
US9082928B2 (en) | 2010-12-09 | 2015-07-14 | Brian Isaac Ashkenazi | Next generation thermoelectric device designs and methods of using same |
CN102157673B (zh) * | 2011-01-17 | 2012-10-24 | 天津大学 | 耐高温的温差热电器件的制造方法 |
US8649179B2 (en) | 2011-02-05 | 2014-02-11 | Laird Technologies, Inc. | Circuit assemblies including thermoelectric modules |
JP5308577B2 (ja) * | 2011-02-22 | 2013-10-09 | パナソニック株式会社 | 熱電変換素子とその製造方法 |
DE102011005246A1 (de) | 2011-03-08 | 2012-09-13 | Behr Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung eines thermoelektrischen Moduls |
KR20130035016A (ko) * | 2011-09-29 | 2013-04-08 | 삼성전기주식회사 | 열전 모듈 |
RU2499374C2 (ru) * | 2012-01-24 | 2013-11-20 | Общество с ограниченной ответственностью "Тегас Электрик" | Плата печатная |
US9203010B2 (en) | 2012-02-08 | 2015-12-01 | King Abdullah University Of Science And Technology | Apparatuses and systems for embedded thermoelectric generators |
FR2994024B1 (fr) * | 2012-07-30 | 2015-04-10 | Valeo Systemes Thermiques | Ensemble comprenant un element thermo electrique et un moyen de connexion electrique dudit element thermo electrique, module thermo electrique comprenant un tel ensemble. |
JP5979240B2 (ja) | 2012-10-10 | 2016-08-24 | 富士通株式会社 | 熱電変換装置および電子装置 |
FR2997172A1 (fr) * | 2012-10-23 | 2014-04-25 | Airbus Operations Sas | Convertisseur thermo-electrique |
US10224474B2 (en) | 2013-01-08 | 2019-03-05 | Analog Devices, Inc. | Wafer scale thermoelectric energy harvester having interleaved, opposing thermoelectric legs and manufacturing techniques therefor |
RU2534445C1 (ru) * | 2013-06-04 | 2014-11-27 | Открытое акционерное общество "РИФ" | Термоэлектрический охлаждающий модуль |
US10164164B2 (en) * | 2013-06-13 | 2018-12-25 | Brian Isaac Ashkenazi | Futuristic hybrid thermoelectric devices and designs and methods of using same |
DE102013214988A1 (de) | 2013-07-31 | 2015-02-05 | Behr Gmbh & Co. Kg | Thermoelektrisches Modul |
CN103560203B (zh) * | 2013-10-23 | 2016-09-07 | 合肥工业大学 | 一种简单高效的薄膜温差电池结构及其制作方法 |
JP6240514B2 (ja) * | 2014-01-22 | 2017-11-29 | 株式会社アツミテック | 熱電変換モジュール |
DE102014002246A1 (de) * | 2014-02-21 | 2015-08-27 | Stiebel Eltron Gmbh & Co. Kg | Aufbau eines Peltiermoduls für Warmwasserspeicher |
CN108807451A (zh) | 2014-05-09 | 2018-11-13 | 美国亚德诺半导体公司 | 晶片级热电能量收集器 |
RU2554632C1 (ru) * | 2014-07-22 | 2015-06-27 | Евгения Александровна Алисевич | Варочно-отопительная печь с малоинерционным режимом изменения температуры конфорки |
DE102014214285A1 (de) * | 2014-07-22 | 2016-02-11 | Mahle International Gmbh | Temperiervorrichtung, insbesondere für eine Batterie eines Kraftfahrzeugs |
DE102015202968A1 (de) * | 2015-02-19 | 2016-08-25 | Mahle International Gmbh | Wärmeleitende und elektrisch isolierende Verbindung für ein thermoelektrisches Modul |
CN105222392B (zh) * | 2015-10-16 | 2017-08-25 | 西南技术物理研究所 | 半导体制冷器抗过载冲击能力的提高方法 |
DE102016202435A1 (de) * | 2016-02-17 | 2017-08-17 | Mahle International Gmbh | Wärmeübertrager |
WO2017168969A1 (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 株式会社村田製作所 | 熱電変換モジュールおよび熱電変換モジュールの製造方法 |
DE102016005368A1 (de) * | 2016-05-04 | 2017-11-09 | Gentherm Gmbh | Hybride Thermoelektrische Vorrichtung |
CN109314173A (zh) * | 2016-06-23 | 2019-02-05 | 3M创新有限公司 | 柔性热电模块 |
KR101947237B1 (ko) * | 2016-10-27 | 2019-05-10 | 현대자동차주식회사 | 열전 모듈 제조 장치 |
KR101959874B1 (ko) * | 2017-05-15 | 2019-03-19 | 주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지 | 온도제어모듈의 응축방지시스템 |
GB2569637A (en) * | 2017-12-21 | 2019-06-26 | Sumitomo Chemical Co | Electronic device |
RU2680675C1 (ru) * | 2018-03-21 | 2019-02-25 | Общество с ограниченной ответственностью "Компания РМТ" | Способ изготовления термоэлектрических микроохладителей (варианты) |
JP7237417B2 (ja) * | 2018-11-16 | 2023-03-13 | 東京特殊電線株式会社 | 熱電モジュール用基板及び熱電モジュール |
BR112021009454B1 (pt) | 2018-11-16 | 2023-09-26 | Ats Ip, Llc | Método para produzir um dispositivo termoelétrico |
JP2020150215A (ja) * | 2019-03-15 | 2020-09-17 | 三菱マテリアル株式会社 | 熱電変換モジュール |
KR102314606B1 (ko) * | 2020-08-10 | 2021-10-18 | 이상신 | 열전 모듈 및 이를 포함하는 전자 장치 |
CN113594343B (zh) * | 2021-07-07 | 2022-10-28 | 西安交通大学 | 热电器件及其制造模具和制造方法 |
US20230074679A1 (en) * | 2021-09-03 | 2023-03-09 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Image sensor with actively cooled sensor array |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1025687A (en) * | 1962-03-02 | 1966-04-14 | Philips Electronic Associated | Improvements in thermo-electric devices |
DE1934173U (de) * | 1964-04-30 | 1966-03-10 | Siemens Schukkertwerke Ag | Thermoelektrische anordnung. |
DE1639503B1 (de) * | 1965-07-02 | 1970-06-04 | Siemens Ag | Verfahren zum Herstellen einer Thermobatterie |
JPS6451039A (en) * | 1987-08-20 | 1989-02-27 | Eiichi Saotome | Salt powder for instant fish processing |
US5837929A (en) * | 1994-07-05 | 1998-11-17 | Mantron, Inc. | Microelectronic thermoelectric device and systems incorporating such device |
US5522225A (en) * | 1994-12-19 | 1996-06-04 | Xerox Corporation | Thermoelectric cooler and temperature sensor subassembly with improved temperature control |
JPH08316532A (ja) * | 1995-05-19 | 1996-11-29 | Hitachi Chem Co Ltd | 冷却ユニット構造 |
JP3528471B2 (ja) * | 1996-02-26 | 2004-05-17 | 松下電工株式会社 | 熱電モジュールの製造方法 |
JP2896497B2 (ja) | 1996-07-31 | 1999-05-31 | 工業技術院長 | フレキシブル熱電素子モジュール |
AU7904298A (en) * | 1997-07-15 | 1999-02-10 | Ivo F. Sbalzarini | High efficiency thermoelectric converter and applications thereof |
JPH11159907A (ja) * | 1997-11-25 | 1999-06-15 | Matsushita Electric Works Ltd | 電子加熱冷却装置 |
JPH11168245A (ja) * | 1997-12-04 | 1999-06-22 | Yazaki Corp | 熱電変換装置 |
-
2000
- 2000-05-10 DE DE10022726A patent/DE10022726C2/de not_active Expired - Fee Related
- 2000-05-15 KR KR1020000025744A patent/KR100343386B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-05-18 RU RU2000112331/09A patent/RU2185042C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2000-05-18 US US09/574,069 patent/US6274803B1/en not_active Expired - Lifetime
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2000112331A (ru) | Термоэлектрический модуль с улучшенным теплообменом и способ его изготовления | |
RU2185042C2 (ru) | Термоэлектрический модуль с улучшенным теплообменом и способ его изготовления | |
US4989117A (en) | Molded integrated circuit package incorporating thin decoupling capacitor | |
CA1257010A (en) | Heat dissipation for electronic components on a ceramic substrate | |
KR920019530A (ko) | 열전도성 접착 필름, 열전도성 접착제 층을 포함하는 라미네이트 및 이의 용도 | |
CN104349593A (zh) | 具有散热垫及电性突柱的散热增益型线路板 | |
EP0015053A1 (en) | A method of manufacturing a semi-conductor power device assembly and an assembly thereby produced | |
JPH08316532A (ja) | 冷却ユニット構造 | |
JPH10261744A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
CN101661920B (zh) | 芯片封装载板及其制造方法 | |
CN102117801B (zh) | 高功率型发光二极管模块结构制作方法 | |
CN108777199A (zh) | 一种双面电阻层结构的大功率抗浪涌合金片电阻 | |
CA1235528A (en) | Heat dissipation for electronic components on ceramic substrate | |
JPH0239879B2 (ru) | ||
CN103137614A (zh) | 加强散热的光学组件封装结构及其制造方法 | |
JP4362303B2 (ja) | 熱電素子とその製造方法 | |
TW200901235A (en) | Apertured fixed chip resistor and method for fabricating the same | |
CN205984476U (zh) | 芯片电阻器 | |
EP0942635A1 (en) | A power semiconductor device for "flip-chip" connections | |
JPH09153647A (ja) | 熱電変換モジュール用熱伝導性基板 | |
CN214101918U (zh) | 一种可内层互连的多层线路板 | |
TW200901238A (en) | Chip resistor and method for fabricating the same | |
CN209169169U (zh) | 一种灯组基板模组及灯组 | |
JPH11163424A (ja) | 熱電モジュールの作製方法 | |
JPS62214631A (ja) | 混成集積回路 |