NO311751B1 - Laserbearbeidingshode og fremgangsmåte for laserbearbeiding - Google Patents
Laserbearbeidingshode og fremgangsmåte for laserbearbeiding Download PDFInfo
- Publication number
- NO311751B1 NO311751B1 NO19953030A NO953030A NO311751B1 NO 311751 B1 NO311751 B1 NO 311751B1 NO 19953030 A NO19953030 A NO 19953030A NO 953030 A NO953030 A NO 953030A NO 311751 B1 NO311751 B1 NO 311751B1
- Authority
- NO
- Norway
- Prior art keywords
- lens
- gas
- laser processing
- processing head
- nozzle
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 238000003754 machining Methods 0.000 title description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 62
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 11
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 239000012768 molten material Substances 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000002679 ablation Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/1462—Nozzles; Features related to nozzles
- B23K26/1482—Detachable nozzles, e.g. exchangeable or provided with breakaway lines
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
- B23K26/0648—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising lenses
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/0665—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by beam condensation on the workpiece, e.g. for focusing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/142—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor for the removal of by-products
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/1435—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor involving specially adapted flow control means
- B23K26/1438—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor involving specially adapted flow control means for directional control
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/1462—Nozzles; Features related to nozzles
- B23K26/1464—Supply to, or discharge from, nozzles of media, e.g. gas, powder, wire
- B23K26/1476—Features inside the nozzle for feeding the fluid stream through the nozzle
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Description
Den foreliggende oppfinnelse er rettet mot laserbearbeidings-hoder og mer bestemt mot et forbedret laserbearbeidlngshode egnet for bruk ved høyeffektiv ablasjon, skjæring eller boring i materialer slik som plast og metall.
Laserbearbeiding er velkjent innenfor maskinverktøy- og trykkeindustrien. Laserbearbeiding benyttes for å skjære og/eller bortsmelte materialer.
Et laserbearbeidlngshode omfatter typisk en fokuseringslinse montert i et generelt sylindrisk hus. Fokuseringslinsen kan holdes i huset ved bruk av et par av holderinger, en på hver side av linsen. Laserbearbeidingshodet omfatter typisk også et munnstykke som er festet til huset ved den ene enden. Munnstykket har en smal åpning gjennom hvilken den fokuserte laserstrålen passerer når den trer ut av bearbeidingshodet før den treffer arbeidsstykket. I bruk rettes en laserstråle gjennom fokuseringslinsen på arbeidsstykket. I noen tilfeller avbøyes laserstrålen fra ett eller flere fjernt plasserte speil før den rettes gjennom fokuseringslinsen på arbeidsstykket. Et vakuumavfallsfjerningssystem, adskilt fra laserbearbeidingshodet, benyttes vanligvis for å samle opp og fjerne avfall produsert ved skjæring eller ablasjon av arbeidsstykket ved hjelp av den fokuserte laserstrålen. Det forannevnte munnstykket beskytter fokuseringslinsen fra kontakt med avfallet som ikke tas opp av vakuumavf alls-fjerningssystemet.
Figur 1 er et tverrsnitt gjennom et konvensjonelt laserbearbeidlngshode. Laserbearbeidingshodet 1 omfatter en hul sylindrisk linseholder 2 omfattende et indre kammer 15 i hvilket en fokuseringslinse 3 holdes ved hjelp av et par av låseringer 4 og 5. Et munnstykke 6 er festet til den ytre overflaten av holderen 2 ved hjelp av en O-ring 7, som tetter kammeret 15, og en låsende settskrue 8. Munnstykket 6 omfatter—en tupp 9 med en trang åpning 10. En laserstråle, eventuelt reflektert fra et fjernt plassert speil (ikke vist i figur 1), fokuseres ved hjelp av linsen 3 og rettes gjennom åpningen 10. Ved utløp fra åpningen 10 skjærer eller bort-smelter laserstrålen det nødvendige materialet på arbeidsstykket. Som indikert tidligere omslutter et vakuumavfallsfjerningssystem (ikke vist i tegningene) munnstykket 6 for å fjerne mesteparten av det bortskårede eller det bortsmeltede materialet. Imidlertid, på grunn av det bortsmeltede materialets, som forlater overflaten, høye hastighet ' vil ikke vakuumsystemet som ligger rundt laserbearbeidingshodet ikke fjerne alt avfallet og noe av det kan entre åpningen i munnstykket. Munnstykket 6, med den trange åpningen 10, forhindrer store stykker av bortsmeltet materiale fra å kastes tilbake mot linsen. Selv med dette arrangementet kan imidlertid forurensninger og avfall sprette tilbake fra arbeidsoverflaten gjennom åpningen 10, skade linsen og etter-late den ubrukelig.
I et forsøk på å løse dette problemet ble et system benyttet i teknikkens stand for å tvinge luft eller andre gasser gjennom åpningen 10 mot arbeidsstykket for å forhindre at partikler kastes tilbake mot linseholderen 2. Som illustrert i figur 1 omfatter systemet et gassinnløp 11 og et omkrets-liggende gasskammer 12 i munnstykket 6, likesom spalter 13 i holderen 2. Gassveien er vist ved henvisningstall 14. Selv om det tidligere kjente laserbearbeidingshodet vist i figur 1 er tilstrekkelig for flere formål, krever bruk av høy-effektive lasere for fjerning av store mengder materiale fra arbeidsstykkeoverflater et forbedret system. Ved slik anvendelse benyttes en laserstråle med et energinivå på 1200 watt og høyere for å bortsmelte materialet fra arbeidsoverflaten. Et konvensjonelt laserbearbeidlngshode av typen vist generelt i figur 1 er utilstrekkelig for å forhindre at avsmeltet materiale spretter tilbake gjennom munnstykkeåpningen med stor kraft over en lengre tidsperiode. Linsen kan bli belagt med forurensninger fra arbeidsoverflaten. I noen tilfelle*- fører denne kontamineringen til varmeoppbygging, noe som kan føre til at fokuseringslinsen sprekker eller skades på annen måte. For å unngå den foran nevnte kontamineringen og/eller varmeoppbyggingen er det nødvendig periodisk å avbryte prosessen og rense fokuseringslinsen. Dette resulterer i kostbar dødtid og redusert drifts-effektivitet . ;Ifølge oppfinnelsen er det således tilveiebragt et laserbearbeidlngshode som angitt i innledningen til det medfølgende selvstendige krav 1 og en fremgangsmåte for laserbearbeiding av et arbeidsstykke som angitt i innledningen til det selvstendige krav 10. Laserbearbeidingshodet og fremgangs-måten for laserberabeidingen er kjennetegnet ved de karakte-riserende trekk som angitt i de selvstendige kravene, henholdsvis krav 1 og krav 10. Foretrukne trekk ved laserbearbeidingshodet fremgår av de medfølgende uselsv-stendige kravene 1 til 9, og foretrukne trekkved fremgangs-måten for laserbearbeidingen fremgår av kravene 11 og 12. ;Den foreliggende oppfinnelse er rettet mot et forbedret laserbearbeidlngshode som omfatter en gassfordelingsinnretning for innføring av gass i hodet under trykk nær linsen for å forhindre at linsen skades av forurensninger eller avsmeltet materiale som kommer fra arbeidsstykket. Gass-strømningen, etter at den entrer ved linsen, rettes bort fra linsen og mot munnstykket. I en foretrukket utførelsesform av oppfinnelsen omfatter gassfordelingsinnretningen en inn-retning for å danne en virvelbevegelse når gassen entrer hodet nær linsen. Gassvirvelen holder linsen ren og eliminer-er varmeoppbygning i linsen. Gassvirvelen skaper en ytterligere kraft som forhindrer forurensninger og avsmeltet materiale i å nå. linsen. Virvelen resulterer i at linsen holdes ren, kjølig og skadefri gjennom hele laserdriften. I en illustrativ utførelsesform tilveiebringes virvel-bevegelsen av en ringformet gassfordeler med et antall avvinklede spalter slik at gassen som entrer huset der linsen er monterT, entrer i en spiralbevegelse som skaper virvelen. ;t ;Laserbearbeidingshodet ifølge den foreliggende oppfinnelse omfatter i en annen foretrukket utførelsesform et munnstykke med et legemsavsnitt som omfatter et gassinnløp motsatt av et gassutløp og et indre kammer avsmalnet fra en vid åpning ved innløpet til en trang åpning ved utløpet. Det avsmalnende indre kammeret gir rom for gasstrømning fra en vid åpning til en trang åpning som resulterer i øket gasstrømningshastighet når den strømmer ut fra den trange åpningen. Den økede hastigheten tjener til å forhindre at forurensninger og avsmeltet materiale spretter tilbake gjennom munnstykket og når linsen. Figur 1 er et skjematisk tverrsnitt gjennom et laserbearbeidlngshode ifølge teknikkens stand. Figur~2 er et skjematisk tverrsnitt gjennom et laserbearbeidlngshode ifølge den foreliggende oppfinnelse. Figur 3 er et tverrsnitt gjennom linseholderavsnittet i laserbearbeidingshodet i figur 2. Figur 4 er et enderiss av gassfordeleren tatt langs linjen 4-41 figur 3. ;Det vises nå til figur 2 der det forbedrede laserbearbeidingshodet 20 ifølge den foreliggende oppfinnelse består av en sammenstilling som omfatter et ytre hus 22 og et indre 1inseholder-munnstykke 24. En laserfokuseringslinse 26 er anordnet inne i det ytre huset 22 ved dettes ene ende. Som vist i figur 2 holdes linsen 26 i det ytre huset 22 ved hjelp av en ytre låser ing 28 som står i inngrep med gjenger 30 på det ytre husets 22 indre diameter. Linsen 26 holdes på sin indre overflate ved linseholder-munnstykkets 24 innløps-ende 32. Selv om linsen kan holdes på sin indre overflate ved hjelp av en annen låsering eller egnet holdeelement, oppnås fordelene*"" ved den foreliggende oppfinnelse best når linsen holdes'på sin indre overflate ved hjelp av linseholder-munnstykket 24.
Linseholder-munnstykket 24 vist i figur 2 er en foretrukket utførelsesform av denne som omfatter et avsmalnet indre kammer 34 og en gassfordeler 36 ved innløpsenden 32. Det indre kammeret 34 er dannet ved et avsmalnet legemsavsnitt 38 og tilveiebringer en vid innløpsåpning 40 og en trang utløps-åpning 42. Utførelsesformen vist i figur 2 omfatter en f jernbar tupp 44 vist i denne utførelsesformen som skrudd inn i åpningen 43. Den fjernbare tuppen 44 er valgfri.
Fordelaktig kan tuppen 44 skrus inn i eller ut av åpningen 43 i linseholder-munnstykket 24 for å justere klaringen fra tuppens 44 frontoverflate mot arbeidsstykkets overflate.
Linseholder-munnstykket 24 holdes inne i det sylindriske huset 22 ved hjelp av en gjenget flens 46 som griper inn i indre plasserte gjenger 30 i huset 22. I tillegg inneholder et ringformet spor 48 en O-ringstetning 50 for å tilveiebringe en gasstett tetning ved utløpsenden mellom huset 22 og linseholder-munnstykket 24.
Huset 22 omfatter videre et gassinnløp 52. En gasspassasje 54 er utformet mellom husets 22 indre overflate og linse-holderens 24 ytre overflate. Flensen 56 og 0-ringen 50 forhindrer gass fra å unnslippe ved munnstykkets 24 utløpsende slik at gasstrømmen, som vist ved pilene 58, først rettes mot linseholder-munnstykkets 24 innløpsende 32.
Laserbearbeidingshodet ifølge den foreliggende oppfinnelse omfatter videre en ringformet gassfordeler 36 for mottak av gass fra passasjen 54 og for å rette gassen først over fokuseringslinsens 26 indre flate 26a og deretter gjennom kammeret 34 fra innløpsenden 32 mot åpningen 42 der den strømmei—at av laserbearbeidingshodet 20. Således vil det forstås at gassfordeleren 36 tilveiebringer passasje for gass
L
fra passasjen 54 inn i kammeret 34. Gassf ordeleren 36 omfatter fordelingshull 60 plassert i avstand rundt for-delerens 36 omkrets. Den ringformede gassfordeleren 36 er dannet av en ring 62 med fordelingshull 60, der hvert av disse står i gasskommunikasjon med et antall fordelingsspalter 63. I en foretrukket utførelsesform vist i figur 4 danner lengdeaksen 67 av hver spalte 63 en vinkel 64 (målt ved ringens 62 ytre overflate) med en forlengelse 66' av ringens 62 radius. Gassfordeleren 36 er fortrinnsvis en integrert del av linseholderen 24. Imidlertid kan alternativt fordeleren være et separat element som er festet til holderens 24 innløpsende. Spesifikt er gassfordeleren fortrinnsvis tilveiebragt som en integrert del av linseholder-munnstykket s 24 gjengede flens 46. Med andre ord fungerer i den foretrukne utførelsesformen den gjengede flenserr 46 som den nevnte ringen 62. I dette arrangementet er en rekke fordelingshull 60 anordnet rundt omkretsen tilveiebragt i flensen 46. Disse fordelingshullenes 60 akser er generelt parallelle med laserbearbeidingshodets 20 akse og generelt vinkelrett på den gjengede flensens 46 innvendig anordnede overflate 46a (se figur 3). Fordelingsspalter 63 tilveiebringer gasskommunikasjon mellom fordelingshull 60 og kammeret 34.
Innføringen av gass først nær 1inseholderarrangementet og deretter ved hjelp av vinklede spalter 63 som skaper en virvelbevegelse over linsens innvendige overflate, forhindrer at linsen 26 skades eller forurenses av avsmeltede partikler fra arbeidsstykket. Virvelen av gasstrømning renser linsen og forhindrer varmeoppbygning i linsen 26 ved å fjerne varme ved tvunget konveksjon. Gasstrømmen rettes mot munnstykkeutløpet 42. Dette forhindrer at partikler og forurensninger når linsen 26 og forlenger derved linsens levetid betydelig.
Det er ttr variabler som bør kontrolleres for å oppnå optimal ytelse fra laserbearbeidingshodet ifølge den foreliggende oppfinnelse. Disse er størrelsen på den trange utløps-åpningen 42 og gasstrykket i laserbearbeidingshodet under drift. Den trange utløpsåpningen bør være så liten som mulig for å minimalisere linsens eksponering mot forurensninger og avfall, men den må være stor nok til å gi plass for laser-strålens diameter når denne går ut av bearbeidingshodet. En unødvendig stor utløpsåpning kan kreve for store gass-strømninger for å virke effektivt. For en gitt utløpsåpning bør gasstrykket være stort nok til å generere tilstrekkelig gasstrømning til å kjøle linsen og til å forhindre at den kontamineres ved avsmeltede partikler og forurensninger. For laserbearbeidingshodet ifølge den foreliggende oppfinnelse som benytter en linse 26 med fokallengde på 12,7 cm er en utløpsåpning på 0,23 cm og et gasstrykk på 517 kPa i laserbearbeidingshodet funnet å tillate at bearbeidingshodet kan drives —i lengre tidsperioder uten avbrytelser for nødvendig linserengjøring. Det skal forstås at en faglært arbeider enkelt kan etablere andre egnede kombinasjoner av utløps-åpningsstørrelse og gasstrykk ved rutineeksperimentering.
For å gi plass for mindre variasjoner i fokuslengde for linser med en gitt nominell fokallengde uten at det er behov for å fjerne linsen fra huset 22, kan det avsmalnende legemsavsnittet 38 skrus enten med eller mot klokken for å justere linsens posisjon inne i det ytre huset 22. Når det avsmalnende legemsavsnittet er skrudd til ønsket posisjon justeres den ytre låseringen 28 korresponderende for å sikre at linsen 26 holdes sikkert i posisjon.
Claims (12)
1.
Laserbearbeidlngshode (20), omfattende: et hus (22); som har en første og en andre motstående ende; innretninger (28, 30 og 32) for å holde en fokuseringslinse (26) innfri huset (22) ved den ene enden;
et munnstykke (24) for festing til huset (22), nevnte munnstykke (24) har et gassutløp (42) og. et gassinnløp ved den motsatt andre enden lokalisert, under bruk, nær en linse som holdes i nevnte holdeinnretninger (28, 30, 32); og en gassfordelerinnretning (36) for innføring av gass inn i gassinnløpet i nevnte munnstykke (24);karakterisert vedat gassutløpet (42) er, under bruk, lokalisert nær nevnte andre ende av nevnte hus (22), og gassfordelerinnretningen (36) innretter, under bruk, en gasstrøm generelt i en retning mot overflaten av linsen slik at den kontakter og strømmer over en indre overflate av 1insen.
2.
Laserbearbeidlngshode ifølge krav 1,karakterisert vedat nevnte hus (22) er sylindrisk.
3.
Laserbearbeidlngshode ifølge krav 1 eller krav , k a r a k terisert ved at munnstykket (24) har en sylindrisk ytre flate og en avsmalnende indre flate, munnstykket (24) har en vid åpning ved gassinnløpsenden (40) og en trang åpning ved gassutløpsenden (42).
4 .
Laserbearbeidlngshode ifølge et hvilket som helst av kravene 1-3,karakterisert vedat nevnte gassfordelingsinnretning (36) omfatter innretninger for å danne en hvirvelbevegelse på en linse som holdes i nevnte holdeinnretninger (28, 30, 32).
5.
Laserbearbeidlngshode ifølge krav 4,karakterisert vedat virveldannende innretninger omfatter et ringformet element (62) med et antall vinklede spalter (63).
6.
Laserbearbeidlngshode ifølge et hvilket som helst av kravene 1-5,karakterisert vedat gassfordeleren (36) er en integrert del av munnstykket (24).
7.
Laserbearbeidlngshode ifølge et hvilket som helst av kravene 1 til 6,karakterisert vedat munnstykket (24) omfatter en fjernbar tupp (44) ved gassutløpet (42).
8.
Laserbearbeidlngshode ifølge ifølge et hvilket som helst av kravene 1-7,karakterisert vedat det innbefatter en gassspassasje (54) utformet under bruk mellom huset (22) og munnstykket (24) for å tilveiebringe for-bindelse mellom hus (22) et gassinnløp (52) og fordelerinn-retningen (36).
9.
Laserbearbeidlngshode ifølge et hvilket som helst av kravene 1-8,karakterisert vedat nevnte holdeinn-retning omfatter en linsespalte utformet mellom en låsering (28) og gassinnløpet i nevnte munnstykke (24).
10.
Fremgangsmåte for laserbearbeiding av et arbeidsstykke, karakterisertterisert ved at den omfatter: en linsespalte utformet mellom en tilveiebringing av en laser for fokusering av en laserstråle på et arbeidsstykke;
retting av laserstrålen gjennom en fokuseringslinse (26) på arbeidsstykket; og
retting av en gasstrøm generelt 1 retning mot linsens overflate nær nevnte arbeiddstykke, gasser strømmer så mot arbeidsstykket.
11.
Fremgangsmåte ifølge krav 10,karakterisertved at gasstrømmen har en hvirvelbevegelse over linsens (26) indre overflate (26a).
12.
Fremgangsmåte ifølge krav 11,karakterisertved at nevnte fokuseringslinse (26) holdes i holdeinn-retningene (28, 30, 32) i laserbearbeidingshodet (20).
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US28433994A | 1994-08-02 | 1994-08-02 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NO953030D0 NO953030D0 (no) | 1995-08-01 |
NO953030L NO953030L (no) | 1996-02-05 |
NO311751B1 true NO311751B1 (no) | 2002-01-21 |
Family
ID=23089827
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NO19953030A NO311751B1 (no) | 1994-08-02 | 1995-08-01 | Laserbearbeidingshode og fremgangsmåte for laserbearbeiding |
Country Status (25)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5756962A (no) |
EP (1) | EP0695600B1 (no) |
JP (1) | JP3759642B2 (no) |
KR (1) | KR100373947B1 (no) |
CN (1) | CN1098742C (no) |
AT (1) | ATE189870T1 (no) |
AU (1) | AU711116B2 (no) |
BR (1) | BR9503519A (no) |
CA (1) | CA2155158C (no) |
CZ (1) | CZ287565B6 (no) |
DE (1) | DE69515148T2 (no) |
DK (1) | DK0695600T3 (no) |
ES (1) | ES2144101T3 (no) |
FI (1) | FI106848B (no) |
GR (1) | GR3033403T3 (no) |
HK (1) | HK1002895A1 (no) |
HU (1) | HU221768B1 (no) |
IL (1) | IL114786A (no) |
NO (1) | NO311751B1 (no) |
NZ (1) | NZ272635A (no) |
RU (1) | RU2143964C1 (no) |
TR (1) | TR199500946A2 (no) |
TW (1) | TW353405U (no) |
UA (1) | UA27963C2 (no) |
ZA (1) | ZA956422B (no) |
Families Citing this family (54)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IL121476A0 (en) * | 1996-09-04 | 1998-02-08 | Esc Medical Systems Ltd | Device and method for cooling skin during laser treatment |
US6822187B1 (en) | 1998-09-09 | 2004-11-23 | Gsi Lumonics Corporation | Robotically operated laser head |
US6184491B1 (en) | 1999-11-03 | 2001-02-06 | Caterpillar Inc. | Method and apparatus for monitoring weld quality |
JP4892126B2 (ja) * | 2000-04-20 | 2012-03-07 | ローム株式会社 | インク液滴検出用レーザセンサおよびその組み立て方法 |
DE50005527D1 (de) | 2000-08-05 | 2004-04-08 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh | Laserbearbeitungsmaschine mit wenigstens einem mit einem Spülmedium beaufschlagbaren optischen Element |
JP4055353B2 (ja) | 2000-11-07 | 2008-03-05 | 松下電器産業株式会社 | 光加工装置 |
US6752501B2 (en) | 2001-04-23 | 2004-06-22 | Dee E. Willden | Lensless laser focusing device |
JP4678811B2 (ja) * | 2001-07-24 | 2011-04-27 | 株式会社アマダエンジニアリングセンター | レーザー加工機 |
DE10138867A1 (de) * | 2001-08-08 | 2003-03-06 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Reduzierung von Ablationsprodukten auf der Werkstückoberfläche beim Laserbohrprozess |
US6642477B1 (en) | 2001-10-23 | 2003-11-04 | Imra America, Inc. | Method for laser drilling a counter-tapered through-hole in a material |
WO2003076117A1 (en) * | 2002-03-14 | 2003-09-18 | Hitachi Zosen Corporation | Method and device for prevention of adhesion of dirt and contamination on optical parts in laser beam machine |
DE10238557A1 (de) * | 2002-08-22 | 2004-03-04 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von düsenartigen Ausbrüchen in Sprüharmen für Geschirrspülmaschinen |
US6683277B1 (en) * | 2002-12-20 | 2004-01-27 | Osram Opto Semiconductors | Laser ablation nozzle assembly |
US7038166B2 (en) * | 2003-03-18 | 2006-05-02 | Loma Linda University Medical Center | Containment plenum for laser irradiation and removal of material from a surface of a structure |
GB2414954B (en) | 2004-06-11 | 2008-02-06 | Exitech Ltd | Process and apparatus for ablation |
EP1657020A1 (de) * | 2004-11-10 | 2006-05-17 | Synova S.A. | Verfahren und Vorrichtung zur Optimierung der Kohärenz eines Flüssigkeitsstrahls für eine Materialbearbeitung und Flüssigkeitsdüse für eine solche Vorrichtung |
JP4947973B2 (ja) * | 2005-06-02 | 2012-06-06 | ソニー株式会社 | レーザ加工装置とその加工方法及びデブリ回収機構とその回収方法 |
JP4896457B2 (ja) * | 2005-07-12 | 2012-03-14 | エンシュウ株式会社 | レーザ加工機のレーザ照射用ノズル装置及びこの照射用ノズルによるブロー方法。 |
JP4012221B2 (ja) * | 2005-07-15 | 2007-11-21 | ファナック株式会社 | レーザ加工ヘッド |
FR2891483B1 (fr) * | 2005-10-05 | 2009-05-15 | Commissariat Energie Atomique | Procede et installation de decoupe/de soudage laser |
CN101317311B (zh) * | 2005-12-01 | 2011-12-07 | 伊雷克托科学工业股份有限公司 | 激光微加工应用的光学构件清洁及碎片管理 |
US7863542B2 (en) * | 2005-12-22 | 2011-01-04 | Sony Corporation | Laser processing apparatus and laser processing method as well as debris extraction mechanism and debris extraction method |
DE102006014694B3 (de) | 2006-03-28 | 2007-10-31 | Eos Gmbh Electro Optical Systems | Prozesskammer und Verfahren für die Bearbeitung eines Werkstoffs mit einem gerichteten Strahl elektromagnetischer Strahlung, insbesondere für eine Lasersintervorrichtung |
CN100463977C (zh) * | 2006-07-31 | 2009-02-25 | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所 | 大气环境下激光表面改性气体保护方法及装置 |
DE212007000018U1 (de) | 2006-11-14 | 2008-08-07 | Belyaev, Dmitry Anatolievich | Vorrichtung für die Reinigung des optischen Lesekopfes für die Daten von Blue-ray Kompakt Disks |
US8093532B2 (en) | 2008-03-31 | 2012-01-10 | Electro Scientific Industries, Inc. | Laser machining of fired ceramic and other hard and/or thick materials |
US8136618B2 (en) * | 2009-01-21 | 2012-03-20 | The Raymond Corporation | Cyclonic motor cooling for material handling vehicles |
US8642919B2 (en) * | 2009-03-31 | 2014-02-04 | Ats Automation Tooling Systems Inc. | Laser processing nozzle |
EP2293050B1 (en) * | 2009-04-07 | 2016-09-07 | ANBE SMT Co. | Heating apparatus for x-ray inspection |
US20100314363A1 (en) * | 2009-06-12 | 2010-12-16 | Roger Blaine Trivette | Laser nozzle tips |
DE102010029385A1 (de) * | 2010-05-27 | 2011-12-01 | Robert Bosch Gmbh | Laserinduzierte Fremdzündung für eine Brennkraftmaschine |
KR101986277B1 (ko) * | 2011-10-05 | 2019-06-05 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 레이저 프로세싱 시스템들 내의 입자 제어 |
FR2982184B1 (fr) * | 2011-11-07 | 2014-08-01 | Air Liquide | Buse laser a element mobile sur couche gazeuse |
CN103302404A (zh) * | 2012-03-09 | 2013-09-18 | 深圳富泰宏精密工业有限公司 | 激光加工设备 |
CN102769246A (zh) * | 2012-08-01 | 2012-11-07 | 山东能源机械集团大族再制造有限公司 | 一种二氧化碳激光器 |
JP6331345B2 (ja) * | 2013-11-18 | 2018-05-30 | 株式会社島津製作所 | レンズホルダ |
EP3045258B1 (en) * | 2014-03-13 | 2018-09-12 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Laser machining head |
DE102014103635C5 (de) * | 2014-03-17 | 2019-12-19 | RWTH Aachen - Körperschaft des öffentlichen Rechts | Unterdruckkammer mit einem Schutzgehäuse |
FR3026667B1 (fr) * | 2014-10-03 | 2016-12-09 | Areva Nc | Dispositif de decoupe par laser apte a etre utilise dans un milieu contamine |
US9945253B2 (en) * | 2015-01-29 | 2018-04-17 | Rohr, Inc. | Collecting / removing byproducts of laser ablation |
KR102506370B1 (ko) * | 2016-04-06 | 2023-03-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 광 조사 장치의 렌즈 어셈블리 |
JP6655181B2 (ja) * | 2016-05-30 | 2020-02-26 | 本田技研工業株式会社 | レーザ加工装置 |
KR102176234B1 (ko) * | 2017-09-07 | 2020-11-09 | 주식회사 엘지화학 | 나노 입자 생산 반응기 |
US11045903B2 (en) * | 2017-12-05 | 2021-06-29 | Covidien Lp | Shielding gas weld cone and method |
DE202018006843U1 (de) | 2018-02-02 | 2023-09-26 | Precitec Gmbh & Co. Kg | Gaszufuhrvorrichtung sowie Laserbearbeitungskopf mit derselben |
DE102018102348A1 (de) | 2018-02-02 | 2019-08-08 | Precitec Gmbh & Co. Kg | Gaszufuhrvorrichtung sowie Laserbearbeitungskopf mit derselben |
DE102018102337B4 (de) | 2018-02-02 | 2022-02-17 | Precitec Gmbh & Co. Kg | Gaszufuhrvorrichtung sowie Laserbearbeitungskopf mit derselben |
JP6852031B2 (ja) * | 2018-09-26 | 2021-03-31 | 株式会社東芝 | 溶接装置及びノズル装置 |
DE102018131886B3 (de) * | 2018-09-26 | 2020-02-13 | Scansonic Mi Gmbh | Vorrichtung zur Strömungsführung eines Prozessmediums für eine Laserbearbeitungsvorrichtung |
SE544166C2 (sv) * | 2019-02-08 | 2022-02-15 | Vaederstad Holding Ab | Lasermunstycke, insats för ett lasermunstycke, laserskäranordning samt förfaranden för laserskärning |
DE102019103659B4 (de) * | 2019-02-13 | 2023-11-30 | Bystronic Laser Ag | Gasführung, Laserschneidkopf und Laserschneidmaschine |
CN110039175B (zh) * | 2019-05-29 | 2024-05-17 | 武汉奥森迪科智能科技股份有限公司 | 一种激光切割头喷嘴导气装置 |
DE102021107422A1 (de) | 2021-03-24 | 2022-09-29 | Mogema BV | Vorrichtung und Verfahren zum Schweißen |
WO2024010426A1 (ko) * | 2022-07-08 | 2024-01-11 | 주식회사 엘지에너지솔루션 | 용접 장치, 배터리 제조 장치 및 자동차 제조 장치 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3696230A (en) * | 1970-01-19 | 1972-10-03 | Hughes Aircraft Co | Laser lens cooling and cleaning system |
US4031351A (en) * | 1972-10-25 | 1977-06-21 | Groupement Atomique Alsacienne Atlantique | High energy laser beam cutting method and apparatus |
IT1111412B (it) * | 1978-03-01 | 1986-01-13 | Prima Progetti Spa | Macchina automatica di taglio a raggio laser particolarmente per elementi di rivestimento interno di veicoli |
US4315133A (en) * | 1980-05-12 | 1982-02-09 | Gte Automatic Electric Laboratories, Inc. | Apparatus protecting a lens from airborne particulates |
US4461947A (en) * | 1982-08-24 | 1984-07-24 | Allied Corporation | Rotating laser beam with coincident gas jet |
US4518843A (en) * | 1982-09-01 | 1985-05-21 | Westinghouse Electric Corp. | Laser lens and light assembly |
US4467171A (en) * | 1982-09-30 | 1984-08-21 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Laser cutting nozzle |
JPS59163093A (ja) * | 1983-03-05 | 1984-09-14 | Oimatsu Sangyo:Kk | レ−ザ加工機におけるレ−ザビ−ムヘツド |
US4555610A (en) * | 1983-09-13 | 1985-11-26 | Data Card Corporation | Laser machining system |
JPS61296990A (ja) * | 1985-06-25 | 1986-12-27 | Mitsubishi Electric Corp | レンズホルダ− |
JPS6221495A (ja) * | 1985-07-23 | 1987-01-29 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工ヘツド |
JPS6272495A (ja) * | 1985-09-27 | 1987-04-03 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 加工ヘツド |
JPS62224489A (ja) * | 1986-03-26 | 1987-10-02 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ光学系保護装置 |
CH673004A5 (no) * | 1987-05-20 | 1990-01-31 | Weidmueller C A Gmbh Co | |
DE3918363A1 (de) * | 1989-06-06 | 1990-12-13 | Inst Nat Sciences Appliq | Vorrichtung fuer einen leistungslaser |
JPH0366490A (ja) * | 1989-08-03 | 1991-03-22 | Topcon Corp | レーザ装置 |
JPH05185265A (ja) * | 1992-01-14 | 1993-07-27 | Fanuc Ltd | レーザ加工装置の加工ヘッド |
-
1995
- 1995-07-24 NZ NZ272635A patent/NZ272635A/en not_active IP Right Cessation
- 1995-07-25 AU AU27165/95A patent/AU711116B2/en not_active Expired
- 1995-07-26 HU HU9502243A patent/HU221768B1/hu active IP Right Grant
- 1995-07-28 UA UA95073568A patent/UA27963C2/uk unknown
- 1995-07-31 IL IL11478695A patent/IL114786A/xx not_active IP Right Cessation
- 1995-08-01 EP EP95305373A patent/EP0695600B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-08-01 RU RU95113211A patent/RU2143964C1/ru active
- 1995-08-01 CZ CZ19951981A patent/CZ287565B6/cs not_active IP Right Cessation
- 1995-08-01 DK DK95305373T patent/DK0695600T3/da active
- 1995-08-01 BR BR9503519A patent/BR9503519A/pt not_active IP Right Cessation
- 1995-08-01 AT AT95305373T patent/ATE189870T1/de active
- 1995-08-01 KR KR1019950023624A patent/KR100373947B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1995-08-01 CA CA002155158A patent/CA2155158C/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-08-01 FI FI953660A patent/FI106848B/fi not_active IP Right Cessation
- 1995-08-01 JP JP21399595A patent/JP3759642B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1995-08-01 ZA ZA9506422A patent/ZA956422B/xx unknown
- 1995-08-01 NO NO19953030A patent/NO311751B1/no not_active IP Right Cessation
- 1995-08-01 ES ES95305373T patent/ES2144101T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1995-08-01 DE DE69515148T patent/DE69515148T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-08-02 TR TR95/00946A patent/TR199500946A2/xx unknown
- 1995-08-02 CN CN95109508A patent/CN1098742C/zh not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-04-08 US US08/631,627 patent/US5756962A/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-05-07 TW TW086210052U patent/TW353405U/zh unknown
-
1998
- 1998-03-10 HK HK98101965A patent/HK1002895A1/xx not_active IP Right Cessation
-
2000
- 2000-05-11 GR GR20000401091T patent/GR3033403T3/el unknown
Also Published As
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NO311751B1 (no) | Laserbearbeidingshode og fremgangsmåte for laserbearbeiding | |
US8207472B2 (en) | Debris capture and removal for laser micromachining | |
US8946588B2 (en) | Method and apparatus for improving reliability of a machining process | |
JPH0284288A (ja) | レーザー切断装置 | |
US5308951A (en) | Laser beam machine | |
KR20140100923A (ko) | 레이저 조사 장치 및 레이저 조사 방법 | |
DK160136B (da) | Dyse til laserbearbejdning | |
EP0474557A1 (fr) | Laser utilisé pour des usinages de pièces mécaniques | |
JPS59142520A (ja) | レ−ザ応用機の集光レンズ冷却装置 | |
JP2000202676A (ja) | レ―ザ加工ヘッド | |
JPS6027487A (ja) | レ−ザ溶接装置 | |
KR100600797B1 (ko) | 레이저 절단장치 | |
JP4826113B2 (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 | |
JP2017121660A (ja) | レーザ加工装置及び方法 | |
JPS6327910Y2 (no) | ||
JPH0117430Y2 (no) | ||
GB2299777A (en) | Laser nozzle mounting | |
JPH0117431Y2 (no) | ||
JPS626785A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
JPH05277780A (ja) | レーザ出射ユニット | |
JPH0323275B2 (no) | ||
Angell et al. | Processing parameters for laser micromachining | |
JPS62112388A (ja) | レ−ザ集光装置 | |
JPS6272495A (ja) | 加工ヘツド | |
EP0211128A1 (fr) | Support des outils d'un tour automatique avec dispositif d'arrosage de ces outils |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MK1K | Patent expired |