JPH05185265A - レーザ加工装置の加工ヘッド - Google Patents
レーザ加工装置の加工ヘッドInfo
- Publication number
- JPH05185265A JPH05185265A JP4004312A JP431292A JPH05185265A JP H05185265 A JPH05185265 A JP H05185265A JP 4004312 A JP4004312 A JP 4004312A JP 431292 A JP431292 A JP 431292A JP H05185265 A JPH05185265 A JP H05185265A
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- JP
- Japan
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- lens
- laser beam
- laser
- processing
- slit
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- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 集光レンズを効果的に冷却して安定したレー
ザ加工を行うことができるようにする。 【構成】 アシストガスは導入口４７を経由して側壁部
分２４１に設けられたマニホールド２８に一旦導入さ
れ、さらにスリット２９から加工チャンバ２６内に流れ
込む。このスリット２９は、集光レンズ２１の下端側に
おいて、レンズホルダ２２と側壁部分２４１との間で全
周にわたって均等に設けられるため、スリット２９を通
過したアシストガスは、集光レンズ２１の下端側表面に
沿って均等に噴出される。したがって、従来冷却が不十
分であった集光レンズ２１が効果的に冷却される。その
結果、集光レンズ２１の熱歪みが抑制され、安定したレ
ーザ加工が可能となり、加工性能が向上する。
ザ加工を行うことができるようにする。 【構成】 アシストガスは導入口４７を経由して側壁部
分２４１に設けられたマニホールド２８に一旦導入さ
れ、さらにスリット２９から加工チャンバ２６内に流れ
込む。このスリット２９は、集光レンズ２１の下端側に
おいて、レンズホルダ２２と側壁部分２４１との間で全
周にわたって均等に設けられるため、スリット２９を通
過したアシストガスは、集光レンズ２１の下端側表面に
沿って均等に噴出される。したがって、従来冷却が不十
分であった集光レンズ２１が効果的に冷却される。その
結果、集光レンズ２１の熱歪みが抑制され、安定したレ
ーザ加工が可能となり、加工性能が向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザビームをレンズを
用いて集光し被加工物に照射してレーザ加工を行うレー
ザ加工装置の加工ヘッドに関し、特にレンズを効果的に
冷却するようにしたレーザ加工装置の加工ヘッドに関す
る。
用いて集光し被加工物に照射してレーザ加工を行うレー
ザ加工装置の加工ヘッドに関し、特にレンズを効果的に
冷却するようにしたレーザ加工装置の加工ヘッドに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、レーザ加工装置は金属切断加工用
を中心に急速に普及しつつあるが、それに伴い、レーザ
出力の高出力化も顕著になってきた。この高出力レーザ
加工装置においては、レーザビームを伝送集光させる光
学部品に熱的負担が大きくかかる。特に、レーザビーム
を集光する集光レンズは、レーザビームを導く反射鏡に
比して、厳しい環境にさらされる。すなわち、背面から
直接冷却できる反射鏡と異なり、集光レンズは外周に設
けた水路による冷却に限られ、間接的にしか熱を逃がす
ことができない。また、反射鏡はその表面でレーザビー
ムを反射するのに対し、集光レンズは高いエネルギーを
持ったレーザビームが内部を通過していく。
を中心に急速に普及しつつあるが、それに伴い、レーザ
出力の高出力化も顕著になってきた。この高出力レーザ
加工装置においては、レーザビームを伝送集光させる光
学部品に熱的負担が大きくかかる。特に、レーザビーム
を集光する集光レンズは、レーザビームを導く反射鏡に
比して、厳しい環境にさらされる。すなわち、背面から
直接冷却できる反射鏡と異なり、集光レンズは外周に設
けた水路による冷却に限られ、間接的にしか熱を逃がす
ことができない。また、反射鏡はその表面でレーザビー
ムを反射するのに対し、集光レンズは高いエネルギーを
持ったレーザビームが内部を通過していく。
【０００３】図５は従来の加工ヘッドの構成を示す図で
ある。加工ヘッド２００の集光レンズ２１０は、レーザ
ビーム１Ａを集光し、その集光されたレーザビーム１Ａ
はノズル３１０から被加工物５３０に照射される。加工
ヘッド２００は側壁２４０によって形成される。その側
壁部分２４０Ａには、レンズホルダ２２０が固定され、
レンズホルダ２２０に集光レンズ２１０が保持されてい
る。また、抑え用レンズホルダ２３０は、集光レンズ２
１０をレンズホルダ２２０側に抑えている。この抑え用
レンズホルダ２３０と集光レンズ２１０との間にはＯリ
ング２７０が介在しており、加工チャンバ２６０内の気
密が保たれている。側壁部分２４０Ａには水路２５０が
設けられ、その水路２５０中を循環する冷却水によって
集光レンズ２１０がその外周から冷却される。
ある。加工ヘッド２００の集光レンズ２１０は、レーザ
ビーム１Ａを集光し、その集光されたレーザビーム１Ａ
はノズル３１０から被加工物５３０に照射される。加工
ヘッド２００は側壁２４０によって形成される。その側
壁部分２４０Ａには、レンズホルダ２２０が固定され、
レンズホルダ２２０に集光レンズ２１０が保持されてい
る。また、抑え用レンズホルダ２３０は、集光レンズ２
１０をレンズホルダ２２０側に抑えている。この抑え用
レンズホルダ２３０と集光レンズ２１０との間にはＯリ
ング２７０が介在しており、加工チャンバ２６０内の気
密が保たれている。側壁部分２４０Ａには水路２５０が
設けられ、その水路２５０中を循環する冷却水によって
集光レンズ２１０がその外周から冷却される。
【０００４】一方、アシストガスは配管４５０から継手
４６０、導入口４７０を経由して加工チャンバ２６０に
供給され、レーザビーム１Ａとともにノズル３１０から
吹き出される。このときの加工チャンバ２６０内のアシ
ストガス圧力は、圧力計３５０で測定され、レーザ加工
時にはこの圧力を基準にして管理される。
４６０、導入口４７０を経由して加工チャンバ２６０に
供給され、レーザビーム１Ａとともにノズル３１０から
吹き出される。このときの加工チャンバ２６０内のアシ
ストガス圧力は、圧力計３５０で測定され、レーザ加工
時にはこの圧力を基準にして管理される。
【０００５】このように、集光レンズ２１０はその外周
から間接的に冷却されるのみであり、しかも高エネルギ
のレーザビーム１Ａがその内部を通過していく。このた
め、レーザ出力の高出力化とも相まって、集光レンズ２
１０に対する熱的負担は大きくなる傾向にある。
から間接的に冷却されるのみであり、しかも高エネルギ
のレーザビーム１Ａがその内部を通過していく。このた
め、レーザ出力の高出力化とも相まって、集光レンズ２
１０に対する熱的負担は大きくなる傾向にある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、集光レンズ２
１０を効果的に冷却する方法が確立されていないのが現
状である。このため、集光レンズ２１０の熱歪みによる
レーザビーム１Ａの変形等が発生し、レーザ加工が不安
定になり、加工性能も低下する。
１０を効果的に冷却する方法が確立されていないのが現
状である。このため、集光レンズ２１０の熱歪みによる
レーザビーム１Ａの変形等が発生し、レーザ加工が不安
定になり、加工性能も低下する。
【０００７】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、集光レンズを効果的に冷却して安定したレー
ザ加工を行うことができるレーザ加工装置の加工ヘッド
を提供することを目的とする。
のであり、集光レンズを効果的に冷却して安定したレー
ザ加工を行うことができるレーザ加工装置の加工ヘッド
を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、レーザビームをレンズを用いて集光し被
加工物に照射してレーザ加工を行うレーザ加工装置の加
工ヘッドにおいて、前記レンズの外周にアシストガスの
吹き出し口を設けたことを特徴とするレーザ加工装置の
加工ヘッドが、提供される。
決するために、レーザビームをレンズを用いて集光し被
加工物に照射してレーザ加工を行うレーザ加工装置の加
工ヘッドにおいて、前記レンズの外周にアシストガスの
吹き出し口を設けたことを特徴とするレーザ加工装置の
加工ヘッドが、提供される。
【０００９】
【作用】レーザビームを集光するレンズの外周にアシス
トガスの吹き出し口を設ける。アシストガスは、その吹
き出し口からレンズ表面に沿って均等に噴出される。こ
のため、レンズは効果的に冷却され、レンズの熱歪みが
抑制される。したがって、安定したレーザ加工が可能と
なり、加工性能が向上する。
トガスの吹き出し口を設ける。アシストガスは、その吹
き出し口からレンズ表面に沿って均等に噴出される。こ
のため、レンズは効果的に冷却され、レンズの熱歪みが
抑制される。したがって、安定したレーザ加工が可能と
なり、加工性能が向上する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図２はレーザ加工装置の全体構成を示す図であ
る。図において、レーザ発振器１０から出力されたレー
ザビーム１は、円偏光鏡１１、平面鏡１２、１３によっ
て加工ヘッド２０に導かれ、加工ヘッド２０で集光され
た後、被加工物５３に照射される。なお、加工ヘッド２
０の詳細は後述する。
明する。図２はレーザ加工装置の全体構成を示す図であ
る。図において、レーザ発振器１０から出力されたレー
ザビーム１は、円偏光鏡１１、平面鏡１２、１３によっ
て加工ヘッド２０に導かれ、加工ヘッド２０で集光され
た後、被加工物５３に照射される。なお、加工ヘッド２
０の詳細は後述する。
【００１１】アシストガスは、ボンベ４１からレギュレ
ータ４２で９気圧程度に減圧された後、電磁弁４３に供
給される。電磁弁４３は数値制御装置５０によって制御
されており、この電磁弁４３を経由したアシストガス
は、レギュレータ４４、配管４５を通じてガス導入口４
７から加工ヘッド２０に供給される。このときの加工チ
ャンバ２６（図１）内のアシストガス圧力は、圧力計３
５で測定され、レーザ加工時にはこの圧力を基準にして
管理される。
ータ４２で９気圧程度に減圧された後、電磁弁４３に供
給される。電磁弁４３は数値制御装置５０によって制御
されており、この電磁弁４３を経由したアシストガス
は、レギュレータ４４、配管４５を通じてガス導入口４
７から加工ヘッド２０に供給される。このときの加工チ
ャンバ２６（図１）内のアシストガス圧力は、圧力計３
５で測定され、レーザ加工時にはこの圧力を基準にして
管理される。
【００１２】加工ヘッド２０に供給されたアシストガス
は、ノズル３１で絞られて被加工物５３にレーザビーム
１と共に供給される。これにより被加工物５３表面では
熱的、化学的反応が起こりレーザ加工が行われる。数値
制御装置５０は、レーザ発振器１０のレーザ出力、電磁
弁４３の開弁度及びテーブル５０のサーボモータ５１、
５２の駆動等を制御し、その制御により、被加工物５３
に対する切断等のレーザ加工が最適な条件で行われる。
は、ノズル３１で絞られて被加工物５３にレーザビーム
１と共に供給される。これにより被加工物５３表面では
熱的、化学的反応が起こりレーザ加工が行われる。数値
制御装置５０は、レーザ発振器１０のレーザ出力、電磁
弁４３の開弁度及びテーブル５０のサーボモータ５１、
５２の駆動等を制御し、その制御により、被加工物５３
に対する切断等のレーザ加工が最適な条件で行われる。
【００１３】図１は本発明のレーザ加工装置の加工ヘッ
ドの構成を示す図である。図において、加工ヘッド２０
の集光レンズ２１は、レーザビーム１を集光し、その集
光されたレーザビーム１はノズル３１から被加工物５３
に照射される。加工ヘッド２０は側壁２４によって形成
される。その側壁部分２４１には、レンズホルダ２２が
固定され、レンズホルダ２２に集光レンズ２１が保持さ
れている。また、抑え用レンズホルダ２３は、集光レン
ズ２１をレンズホルダ２２側に抑えている。この抑え用
レンズホルダ２３と集光レンズ２１との間にはＯリング
２７が介在しており、このＯリング２７によって加工チ
ャンバ２６内の気密が保たれている。側壁部分２４１に
は水路２５が設けられ、その水路２５中を循環する冷却
水によって集光レンズ２１がその外周から冷却される。
ドの構成を示す図である。図において、加工ヘッド２０
の集光レンズ２１は、レーザビーム１を集光し、その集
光されたレーザビーム１はノズル３１から被加工物５３
に照射される。加工ヘッド２０は側壁２４によって形成
される。その側壁部分２４１には、レンズホルダ２２が
固定され、レンズホルダ２２に集光レンズ２１が保持さ
れている。また、抑え用レンズホルダ２３は、集光レン
ズ２１をレンズホルダ２２側に抑えている。この抑え用
レンズホルダ２３と集光レンズ２１との間にはＯリング
２７が介在しており、このＯリング２７によって加工チ
ャンバ２６内の気密が保たれている。側壁部分２４１に
は水路２５が設けられ、その水路２５中を循環する冷却
水によって集光レンズ２１がその外周から冷却される。
【００１４】一方、アシストガスは、図中矢印で示すよ
うに、配管４５から継手４６、導入口４７を経由して、
側壁部分２４１に設けられたマニホールド２８に一旦導
入され、さらにスリット２９から加工チャンバ２６内に
流れ込む。このスリット２９は、集光レンズ２１の下端
側（レーザビーム１の出射側）において、レンズホルダ
２２と側壁部分２４１との間で全周にわたって均等に設
けられる。このため、スリット２９を通過したアシスト
ガスは、集光レンズ２１の下端側表面に沿って均等に噴
出される。したがって、従来冷却が不十分であった集光
レンズ２１が効果的に冷却される。その結果、集光レン
ズ２１の熱歪みが抑制され、安定したレーザ加工が可能
となり、加工性能が向上する。また、このように集光レ
ンズ２１表面にアシストガスを噴出することにより、加
工チャンバ２６内に侵入した塵埃等が集光レンズ２１に
付着することを防止することができ、あるいは、集光レ
ンズ２１に付着した塵埃等の除去を行うことができる等
の効果も生じる。
うに、配管４５から継手４６、導入口４７を経由して、
側壁部分２４１に設けられたマニホールド２８に一旦導
入され、さらにスリット２９から加工チャンバ２６内に
流れ込む。このスリット２９は、集光レンズ２１の下端
側（レーザビーム１の出射側）において、レンズホルダ
２２と側壁部分２４１との間で全周にわたって均等に設
けられる。このため、スリット２９を通過したアシスト
ガスは、集光レンズ２１の下端側表面に沿って均等に噴
出される。したがって、従来冷却が不十分であった集光
レンズ２１が効果的に冷却される。その結果、集光レン
ズ２１の熱歪みが抑制され、安定したレーザ加工が可能
となり、加工性能が向上する。また、このように集光レ
ンズ２１表面にアシストガスを噴出することにより、加
工チャンバ２６内に侵入した塵埃等が集光レンズ２１に
付着することを防止することができ、あるいは、集光レ
ンズ２１に付着した塵埃等の除去を行うことができる等
の効果も生じる。
【００１５】さらに、アシストガスは一旦マニホールド
２８に導入されて均等なガス圧力になり、その状態でス
リット２９から加工チャンバ２６内に噴出される。この
ため、アシストガスの流れが、加工チャンバ２６全体に
わたって均等となる。したがって、アシストガスがノズ
ル３１から噴出される際、従来は１箇所の導入口から供
給されていたため回転等の乱れが生じ流れが偏っていた
のに対し、きれいな層流となって噴出される。すなわ
ち、レーザビーム１の光軸に対して均等なアシストガス
流となりノズル３１から噴出される。その結果、この点
からも、レーザ加工が安定し加工性能が向上する。
２８に導入されて均等なガス圧力になり、その状態でス
リット２９から加工チャンバ２６内に噴出される。この
ため、アシストガスの流れが、加工チャンバ２６全体に
わたって均等となる。したがって、アシストガスがノズ
ル３１から噴出される際、従来は１箇所の導入口から供
給されていたため回転等の乱れが生じ流れが偏っていた
のに対し、きれいな層流となって噴出される。すなわ
ち、レーザビーム１の光軸に対して均等なアシストガス
流となりノズル３１から噴出される。その結果、この点
からも、レーザ加工が安定し加工性能が向上する。
【００１６】図３は本発明の第２の実施例を示す図であ
る。第１の実施例との相違点は、スリット２９Ａを集光
レンズ２１の下端面と側壁部分２４１Ａとで構成するよ
うにした点である。側壁部分２４１Ａに設けられたマニ
ホールド２８Ａは、その一部がスリット２９Ａに向かっ
て狭められている。このように、集光レンズ２１の下端
面を用いてスリット２９Ａを構成するようにしたので、
そのスリット２９Ａから噴出されるアシストガスは、第
１の実施例の場合に比べて、集光レンズ２１の下端側表
面により近接して流れる。したがって、集光レンズ２１
をより効果的に冷却でき、また、塵埃等の付着防止や付
着した塵埃等の除去等もより効果的に行うことができ
る。
る。第１の実施例との相違点は、スリット２９Ａを集光
レンズ２１の下端面と側壁部分２４１Ａとで構成するよ
うにした点である。側壁部分２４１Ａに設けられたマニ
ホールド２８Ａは、その一部がスリット２９Ａに向かっ
て狭められている。このように、集光レンズ２１の下端
面を用いてスリット２９Ａを構成するようにしたので、
そのスリット２９Ａから噴出されるアシストガスは、第
１の実施例の場合に比べて、集光レンズ２１の下端側表
面により近接して流れる。したがって、集光レンズ２１
をより効果的に冷却でき、また、塵埃等の付着防止や付
着した塵埃等の除去等もより効果的に行うことができ
る。
【００１７】図４は本発明の第３の実施例を示す図であ
る。第１及び第２の実施例との相違点は、レンズホルダ
２２Ｂの下端側にスリット状の噴出口（小さな穴）２９
Ｂを設けるようにした点である。この場合、アシストガ
スは、マニホールド２８Ｂからレンズホルダ２２Ｂの噴
出口２９Ｂに導入され、その噴出口２９Ｂから集光レン
ズ２１の下端面に近接して噴出される。この噴出口２９
Ｂはレンズホルダ２２Ｂに設けられるので、第１及び第
２の実施例の場合に比べて、より簡単に制作することが
できる。
る。第１及び第２の実施例との相違点は、レンズホルダ
２２Ｂの下端側にスリット状の噴出口（小さな穴）２９
Ｂを設けるようにした点である。この場合、アシストガ
スは、マニホールド２８Ｂからレンズホルダ２２Ｂの噴
出口２９Ｂに導入され、その噴出口２９Ｂから集光レン
ズ２１の下端面に近接して噴出される。この噴出口２９
Ｂはレンズホルダ２２Ｂに設けられるので、第１及び第
２の実施例の場合に比べて、より簡単に制作することが
できる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明では、レーザ
ビームを集光するレンズの外周にアシストガスの吹き出
し口を設け、アシストガスがその吹き出し口からレンズ
表面に沿って均等に噴出されるように構成した。このた
め、レンズは効果的に冷却され、レンズの熱歪みが抑制
される。したがって、安定したレーザ加工が可能とな
り、加工性能が向上する。
ビームを集光するレンズの外周にアシストガスの吹き出
し口を設け、アシストガスがその吹き出し口からレンズ
表面に沿って均等に噴出されるように構成した。このた
め、レンズは効果的に冷却され、レンズの熱歪みが抑制
される。したがって、安定したレーザ加工が可能とな
り、加工性能が向上する。
【００１９】また、レンズ表面にアシストガスを吹き出
すことにより、加工チャンバ内に侵入した塵埃等がレン
ズに付着することを防止することができ、あるいは、レ
ンズに付着した塵埃等の除去を行うことができる等の効
果も生じる。
すことにより、加工チャンバ内に侵入した塵埃等がレン
ズに付着することを防止することができ、あるいは、レ
ンズに付着した塵埃等の除去を行うことができる等の効
果も生じる。
【００２０】さらに、アシストガスの流れが、加工チャ
ンバ全体にわたって均等となる。したがって、アシスト
ガスがノズルから噴出される際、従来は１箇所の導入口
から供給されていたため回転等の乱れが生じ流れが偏っ
ていたのに対し、きれいな層流となって噴出される。す
なわち、レーザビームの光軸に対して均等なアシストガ
ス流となりノズルから噴出される。その結果、この点か
らも、レーザ加工が安定し加工性能が向上する。
ンバ全体にわたって均等となる。したがって、アシスト
ガスがノズルから噴出される際、従来は１箇所の導入口
から供給されていたため回転等の乱れが生じ流れが偏っ
ていたのに対し、きれいな層流となって噴出される。す
なわち、レーザビームの光軸に対して均等なアシストガ
ス流となりノズルから噴出される。その結果、この点か
らも、レーザ加工が安定し加工性能が向上する。
【図１】本発明のレーザ加工装置の加工ヘッドの構成を
示す図である。
示す図である。
【図２】レーザ加工装置の全体構成を示す図である。
【図３】本発明の第２の実施例を示す図である。
【図４】本発明の第３の実施例を示す図である。
【図５】従来の加工ヘッドの構成を示す図である。
１ レーザビーム ２０ 加工ヘッド ２１ 集光レンズ ２２，２２Ａ，２２Ｂ レンズホルダ ２６ 加工チャンバ ２８，２８Ａ，２８Ｂ マニホールド ２９，２９Ａ スリット ２９Ｂ 噴出口 ２４１，２４１Ａ，２４１Ｂ 加工ヘッドの側壁部分
Claims (6)
- 【請求項１】 レーザビームをレンズを用いて集光し被
加工物に照射してレーザ加工を行うレーザ加工装置の加
工ヘッドにおいて、 前記レンズの外周にアシストガスの吹き出し口を設けた
ことを特徴とするレーザ加工装置の加工ヘッド。 - 【請求項２】 前記吹き出し口は、スリットまたは小さ
な穴であることを特徴とする請求項１記載のレーザ加工
装置の加工ヘッド。 - 【請求項３】 前記吹き出し口の背後に前記アシストガ
スを溜める空間を設けたことを特徴とする請求項１記載
のレーザ加工装置の加工ヘッド。 - 【請求項４】 前記吹き出し口は、前記レンズを保持す
るレンズホルダと他の部材とによって構成されることを
特徴とする請求項１記載のレーザ加工装置の加工ヘッ
ド。 - 【請求項５】 前記吹き出し口は、前記レンズと他の部
材とによって構成されることを特徴とする請求項１記載
のレーザ加工装置の加工ヘッド。 - 【請求項６】 前記吹き出し口は、前記レンズを保持す
るレンズホルダに設けられることを特徴とする請求項１
記載のレーザ加工装置の加工ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4004312A JPH05185265A (ja) | 1992-01-14 | 1992-01-14 | レーザ加工装置の加工ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4004312A JPH05185265A (ja) | 1992-01-14 | 1992-01-14 | レーザ加工装置の加工ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05185265A true JPH05185265A (ja) | 1993-07-27 |
Family
ID=11580969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4004312A Pending JPH05185265A (ja) | 1992-01-14 | 1992-01-14 | レーザ加工装置の加工ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05185265A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5756962A (en) * | 1994-08-02 | 1998-05-26 | Mcneil - Ppc, Inc. | Laser-processing head for laser processing apparatus |
| JP2012020311A (ja) * | 2010-07-14 | 2012-02-02 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工機 |
| US10464167B2 (en) * | 2014-07-15 | 2019-11-05 | Toyokoh Co., Ltd. | Laser irradiation apparatus |
| US11465237B2 (en) | 2018-02-02 | 2022-10-11 | Precitec Gmbh & Co. Kg | Gas supply device and laser processing head comprising same |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59142520A (ja) * | 1983-02-03 | 1984-08-15 | Asahi Optical Co Ltd | レ−ザ応用機の集光レンズ冷却装置 |
-
1992
- 1992-01-14 JP JP4004312A patent/JPH05185265A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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