JPS62224489A - レ−ザ光学系保護装置 - Google Patents

レ−ザ光学系保護装置

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Publication number
JPS62224489A
JPS62224489A JP61067652A JP6765286A JPS62224489A JP S62224489 A JPS62224489 A JP S62224489A JP 61067652 A JP61067652 A JP 61067652A JP 6765286 A JP6765286 A JP 6765286A JP S62224489 A JPS62224489 A JP S62224489A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cooling
lens
cooling gas
optical system
gas
Prior art date
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Pending
Application number
JP61067652A
Other languages
English (en)
Inventor
Hideyuki Motohara
元原 秀幸
Ken Tanaka
憲 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP61067652A priority Critical patent/JPS62224489A/ja
Publication of JPS62224489A publication Critical patent/JPS62224489A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462Nozzles; Features related to nozzles
    • B23K26/1464Supply to, or discharge from, nozzles of media, e.g. gas, powder, wire
    • B23K26/1476Features inside the nozzle for feeding the fluid stream through the nozzle
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
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    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462Nozzles; Features related to nozzles
    • B23K26/1488Means for protecting nozzles, e.g. the tip surface

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、レーザ加工におけるレーザ光学系保護装置
に係り、詳しくは、加工ヘッドに設けられた加工レンズ
の冷却および塵埃の除去に関するものである。
〔従来の技術〕
るウォータポケット(2)を備えたボディ、(3)はボ
ディα)に装着され、加工レンズ(4)を保持したレン
ズマウン)、(5)はボディ(1)に固着されたアダプ
タ、(6)はアダプタ(5)に螺着されたノズル、(7
)はレーザ光である。
次に動作について説明する。レーザ加工においては、図
示しないレーザ発i器から出力されたレーザ光(7)を
加ニレ、ンズ(4)により集光してノズル(6)から被
加工物に照射するとともに、加工ガスをノズル(6)か
ら加工部分に噴射することで加工が行なわれる。この時
、加工レンズ(4)等のレーザ光学系はレーザ光(7)
を吸収して加熱されて温度が上昇し。
いわゆる熱レンズ作用によってレーザ光(7)の焦点位
置が変化したり、最悪の場合は加工レンズ(4)が破壊
されるのを防ぐために、ウオークポケット(2)によっ
て加工レンズ(4)を冷却している。即ち、ウォータポ
ケット(2)に冷却水を循環させることにより加工レン
ズ(4)等レーザ光学系を間接的に冷却して上記現象の
発生を防止しているのである。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら従来のレーザ光学系保護装置は、レーザ光
学系の冷却を冷却水で間接的に行なっているため完全に
熱レンズ作用を取り除くことは不可能であった。また、
装置は防塵構造となっているが完全に塵埃を防げるもの
ではなく、このため鑵 塵埃が加工レンズ(4)に違積するとレーザ光(7)を
吸収して熱レンズ作用が発生するという問題点があった
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、レーザ光学系の熱レンズ作用をなくすことが
できるレーザ光学系保護装置を得ることを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明に係るレーザ光学系保護装置は、加工レンズを
保持したレンズマウントが固着されたボディに、冷却ガ
スの吹出し口を有したエアーポケットと冷却水の循環路
を有したウォータポケットとを設けたものである。
〔作用〕
この発明においては、エアーポケットから吹出す冷却ガ
スによって加工レンズを冷却するとともに、加工レンズ
表面の塵埃を除去する一方、ウォータポケットを循環す
る冷却水によって上記加工レンズを冷却する。
〔発明の実施例〕
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第1
図において(2)〜(7)は従来のものと同一であり説
明を省略する。(1a)は冷却水の循環路であるウォー
タポケット(2)と冷却ガス(lのの吹出し口を有した
エアーポケット(8)を備えたボディ、(9)はエアー
ポケット(8)に冷却ガス(1のを供給する冷却ガス供
給装置であり、例えば水分および油分を除去したドライ
エアーが送出される。
上記構成において従来と同様にしてレーザ加工を行う際
、加工レンズ(4)はレーザ光(7)により熱レンズ作
用が生ずることは前述したとおりである。
この熱レンズ作用は、加工レンズ(4)の効果的連動を
行うとともに表面の汚れを極力防止することで解消され
ることは周知である。したがって、この発明ではウォー
タポケット(2)に冷却水を循環させて加工レンズ(4
)を間接的に冷却する一方、冷却ガス供給装置(9)か
らエアーポケット(8)にドライエアー等の冷却ガスα
のを供給して吹出し口から加工レンズ(4)に直接吹き
付けることで、冷却と塵埃の除去を行うものである。即
ち、冷却水による間接冷却と冷却ガスαΦによる直接冷
却を併用して加工レンズ(4)の冷却を行うとともに、
冷却ガスαのにより塵埃の付着を防止して熱レンズ作用
を抑制するものである。
なお、上記実施例ではウォータポケット(2)に循環さ
れた冷却水と、エアーポケット(8)からの冷却ガスα
のとを併用して加工レンズ(4)の冷却を行う ・もの
としたが、冷却ガス(1ののみでも上記実施例と同様の
効果を奏する。
また、上記覚施例による冷却ガスαのはドライエアーと
し工いるが、窒素ガス、アルゴンガス又はヘリウムガス
であっても所期の目的を達成し得る。
ところで、上記実施例では加工レンズ(4)の熱レンズ
作用除去について説明したが、レーザ光(7)の伝播経
路に設けられた、例えば反射ミラー等の冷却(熱レンズ
作用除去)についても利用できることはいうまでもない
〔発明の効果〕
以上のようにこの発明によれば、冷却ガスを加工レンズ
に直接吹き付けることによって加工レンズの冷却および
塵埃の除去を行う一方、冷却水によって加工レンズを間
接的に冷却するように構成したので、熱レンズ作用が抑
制でき、精度の高いレーザ加工が行えるレーザ光学系保
護装置が得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例によるレーザ光学系装置を
示す断面図、第2図は従来の装置を示す断面図である。 図において、(1a)はボディ、(2)はウォータポケ
ット、(3)はレンズマウント、(4)は加工レンズ、
(6)はノズル、(力はレーザ光、(aはエアーポケッ
ト、(9)は冷却ガス供給装置、(lのは冷却ガスであ
る。 なお、図中、同一符号は同一部分を示す。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)冷却ガスの吹出し口を有したエアーポケットと冷
    却水の循環路を有したウォータポケットを備えたボディ
    と、このボディに固着され、レーザ光を集光する加工レ
    ンズを保持するレンズマウントと、上記加工レンズによ
    り集光されたレーザ光を照射するノズルと、上記エアー
    ポケットに冷却ガスを供給する冷却ガス供給装置とから
    成ることを特徴とするレーザ光学系保護装置。
  2. (2)冷却ガスは、水分および油分が除去されたドライ
    エアーであることを特徴とする特許請求の範囲第1項記
    載のレーザ光学系保護装置。
  3. (3)冷却ガスは、窒素(N)、アルゴン(Ar)又は
    ヘリウム(He)であることを特徴とする特許請求の範
    囲第1項記載のレーザ光学系保護装置。
JP61067652A 1986-03-26 1986-03-26 レ−ザ光学系保護装置 Pending JPS62224489A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US5756962A (en) * 1994-08-02 1998-05-26 Mcneil - Ppc, Inc. Laser-processing head for laser processing apparatus
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DE202015102740U1 (de) * 2015-05-27 2016-08-31 Uwe Bergmann Laserschweißvorrichtung mit Spritzerschutzeinrichtung

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