DK160136B - Dyse til laserbearbejdning - Google Patents

Dyse til laserbearbejdning Download PDF

Info

Publication number
DK160136B
DK160136B DK416186A DK416186A DK160136B DK 160136 B DK160136 B DK 160136B DK 416186 A DK416186 A DK 416186A DK 416186 A DK416186 A DK 416186A DK 160136 B DK160136 B DK 160136B
Authority
DK
Denmark
Prior art keywords
nozzle
laser beam
laser
gas pressure
pressure center
Prior art date
Application number
DK416186A
Other languages
English (en)
Other versions
DK416186A (da
DK160136C (da
DK416186D0 (da
Inventor
Steen Erik Nielsen
Original Assignee
Aga Ab
Inst Produktudvikling
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Aga Ab, Inst Produktudvikling filed Critical Aga Ab
Publication of DK416186D0 publication Critical patent/DK416186D0/da
Priority to DK416186A priority Critical patent/DK160136C/da
Priority to PCT/DK1987/000103 priority patent/WO1988001553A1/en
Priority to AU79199/87A priority patent/AU7919987A/en
Priority to DE8787905945T priority patent/DE3778531D1/de
Priority to AT87905945T priority patent/ATE75173T1/de
Priority to EP87905945A priority patent/EP0280712B1/en
Priority to US07/192,789 priority patent/US4871897A/en
Priority to JP62505327A priority patent/JPH01500650A/ja
Publication of DK416186A publication Critical patent/DK416186A/da
Priority to FI881795A priority patent/FI88886C/fi
Priority to NO881907A priority patent/NO168876C/no
Publication of DK160136B publication Critical patent/DK160136B/da
Application granted granted Critical
Publication of DK160136C publication Critical patent/DK160136C/da

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B7/00Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
    • B08B7/0035Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like
    • B08B7/0042Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like by laser
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462Nozzles; Features related to nozzles
    • B23K26/1464Supply to, or discharge from, nozzles of media, e.g. gas, powder, wire
    • B23K26/1476Features inside the nozzle for feeding the fluid stream through the nozzle

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Description

i
DK 160136 B
Den foreliggende opfindelse angår en dyse til laserbearbejdning såsom skæring, ved hvilken bearbejdning en laserstråle kan rettes imod et emne, som bearbejdes, idet laserstrålen assisteres af en gasstrøm, som gennem dysen rettes imod emnet.
5
Det er velkendt at anvende en laserstråle til skæring i metal, og det er ligeledes velkendt, sammen med laserstrålen, at anvende en gasstråle, f.eks. med oxygen eller en blandingsgas imod'det bearbejdede område.
10
Under normale omstændigheder anvendes en koaksialt placeret laserstråle, dvs. en laserstråle placeret i aksen (E) gennem centrum af dysen, punkt (C). Laserstrålen er med andre ord placeret på det sted, hvor gastrykket/gasflowet er størst, 15 Endvidere giver denne symmetriske placering af laserstrålen i dysen en ensartet snitkvalitet uafhængig af skæreretningen. Gennem en relativ bevægelse mellem 1 aserstråle/dyse og materialet opnås en snitfuge. Formålet med den assisterende skæregas er hovedsageligt at fjerne smelte og dampe fra snitfugen.
20 Processens evne til at fjerne dette affaldsmateriale er afhængig af strømningsforholdene i dysen og i snitfugen.
Ifølge den foreliggende opfindelse er dysen indrettet til at kunne opretholde en forskydning mellem laserstrålens fokuse-25 ringspunkt og et gastrykcenter for gasstrømmen gennem dysen, hvorved laserstrålen er forskudt fremad i bearbejdningsretningen i forhold til gastrykcenteret. Derved opnås, at laserstrålen rammer emnet først og smelter denne del af emnet, som derefter blæses bort af gasstrømmen. På denne måde udnyttes 30 gasstrømmen mere effektivt, idet den først rammer emnet, når det materiale, der skal fjernes, er smeltet og dermed kan blæses bort.
Fortrinsvis er dysen cirkulær cylindrisk og er indrettet til 35 at kunne opretholde en given excentrisk position af laserstrålen i dysen. I en alternativ udførel sesform anvendes ligeledes en cirkulær cylindrisk dyse, men denne dyse er monteret med
DK 160136 B
2
laserstrålen i centrum, mens der er indrettet et excentrisk placeret udgangsdysehul for gasstrømmen. I en særlig udførelsesform kan dysen være indrettet til at blive forskudt radialt i forhold til laserstrålen. Det ligger dog indenfor opfindel- I
5 sens rammer at lade dysen antage andre former end cirkulær cylindrisk.
Fortrinsvis er laserstrålen placeret i en afstand d fra gastrykcenteret , hvor 0,01 D er mindre end afstanden d, der igen j 10 er mindre end D/2, hvor D er dysens diameter. Fortrinsvis er afstanden d lig med 0,25 X dysens diameter.
Der er fortrinsvis tilvejebragt en ekstern styring, som styrer dysen og/eller laserstrålen i afhængighed af den ønskede bear-15 bejdsningsretning. En sådan ekstern styring kan med fordel være indrettet til at kunne sammenkobles med en eksisterende styring af skærebord og/eller 1 aserhovedet. I en foretrukken udførelsesform er dysen indrettet til at opretholde en given position af laserstrålen i dysen i forhold til bearbejdnings-20 retningen således, at laserstrålen i hovedsagen altid ligger foran gastrykscentret i bearbejdningsretningen.
Opfindelsen skal i det følgende forklares nærmere under henvisning til tegningen, hvor 25
Fig. 1 viser et snit gennem den yderste del af en dyse ifølge opfindelsen,
Fig. 2 dysens bevægelse under en ændring af skæreretningen, 30
Fig. 3 en anden udførelsesform for en dyse ifølge opfindelsen ,
Fig. 4 en tredje udførelsesform for en dyse ifølge opfindel-35 sen,
Fig. 5 endnu en udførelsesform for en dyse ifølge opfindelsen, og
DK 160136 B
3
Fig. 6 yderligere eksempler på dysehuller.
Fig. 1 viser de principielle forhold omkring dysen ifølge opfindelsen. En laserstråle A fokuseres gennem et dysehul. Dyse-5 hullet er fortrinsvis cirkulært cylindrisk, men kan også have andre former. Sammen med laserstrålen A sendes en gasart, f.eks. oxygen eller en blandingsgas gennem dysen for at fjerne det materiale, som smeltes af laserstrålen. Gastrykcenteret, dvs. stedet, med det største dynamiske gastryk, der giver an-10 ledning til den største flowhastighed, vil i dette tilfælde ligge i centeret af dysen i punktet C på centeraksen E. Laser strålens brændpunkt D ligger forskudt fra centeraksen i afstanden d fra punktet C.
15 I f i g. 2 ses en snitfuge 22 i et emne. Pilen 24 angiver skæreretningen og pilen 25 en ny skæreretning. En dyse 11 er vist i fire forskellige positioner. Som det fremgår af figuren, ligger gastrykcenteret 30 placeret centralt i dysehullet, mens 1 aserstrålens brændpunkt 26 ligger forskudt fremad i skæreret-20 ningen. Under den første del af bevægelsen forskydes dysen i skæreretningen med laserstrålens brændpunkt forrest i en retlinet bevægelse. Når et knækpunkt 23 er nået, standses den retlinede bevægelse, og dysen drejes en vinkel Θ omkring laserstrålens brændpunkt, som angivet ved hjælp af pilen 25, og 25 derefter fortsættes den retlinede bevægelse i den nye skæreretning 24'. Som det fremgår af fig. 2 ligger 1 aserstrål ens brændpunkt 26 nu foran gastrykcenteret 30 i den ny skæreretning.
30 I fig. 3 er vist en alternativ udførelsesform. I denne udførelsesform er laserstrålen 10 placeret således, at laserstrålens akse 20 er sammenfaldende med den i hovedsagen cylindriske dyses akse. Til gengæld er dysehullet 32 placeret excentrisk. Den i fig. 3 viste dyse kan anvendes på samme måde 35 som den i fig. 2 viste blot med den ændring, at 1 aserstrålens brændpunkt ligger i centrum af dysen således, at gastrykcenteret er forskudt bagud i forhold til skæreretningen.
DK 160136B
4 I fig. 4 er vist endnu en udførelsesform, hvor dysen er indrettet som en radialt forskydelig plade 34 med et dysehul 32. Selve gastilførslen til en sådan plade kan naturligvis indrettes på mange måder og er ikke vist.
5
Fig. 5 viser en udførelsesform med en fastsiddende dyse 34 og et centralt placeret dysehul 32 samt en laserstråle 10 med et fokuseringspunkt 26, hvis position bestemmes af et bevægeligt linsesystem 36 eller en anden form for bevægelig optik, såsom 10 et system af hulspejle, optisk elementer/plader eller lignende. Opfindelsen kan naturligvis varieres på flere måder, og de her skitserede forskellige udførelsesformer vil kunne kombineres. Dysen og dysehullet behøver heller ikke nødvendigvis at være cirkulært cylindrisk, men kan, som antydet i fig. 6, have 15 forskellige udformninger. Som det aksiale snit fig. 6 viser, kan dysen være cylindrisk. En sådan cylindrisk dyse kan være cirkulær cylindrisk med et tværsnit som skitseret i fig. 6d eller elliptisk cylindrisk med et tværsnit som skitseret i fig. 6e eller med en anden hensigtsmæssig form såsom den i 20 fig. 6f skitserede. Med henblik på at optimere strømningsforholdene kan alternative udførelsesformer for dysen dog også komme i betragtning, såsom en kegleformet dyse, vist fig. 6b, eller en dobbeltkeglestub som skitseret i fig. 6c. Betragter man et tværgående snit gennem sådanne kegleformede dyser, vil 25 der også her være mange muligheder for udformningen såsom f.eks. cirkulært, elliptisk eller andre mere specielle former.
Det for opfindelsen væsentlige er, at dysen udformes således, at den tilvejebringer et veldefineret gastrykcenter i skæreplanen og tillader en laserstråle at passere gennem dysen med et 30 veldefineret brændpunkt ligeledes i skæreplanen og således, at der er en veldefineret afstand mellem gastrykcenteret og brændpunktet. Dysen skal være monteret således, at laserstrålens brændpunkt altid ligger foran gastrykcenteret i skæreretningen. Derved opnås forbedrede strømningsforhold gennem dyse og 35 snitfuge, hvorved afsætning af grater på snittets bagside formindskes markant både ved anvendelse af oxygen og ved anvendelse af gasblandinger. Ved anvendelse af specielle gasblan-

Claims (8)

10 En ekstern styring kan i givet fald styre dysen og/eller laserstrålen i afhængighed af den ønskede bearbejdningsretning, hvilken eksterne styring eventuelt kan være sammenkoblet med en eksisterende styring og et skærebord og/eller et laserhoved . 15 Patentkrav.
1. Dyse til laserbearbejdning, såsom en skæring, ved hvilken 20 bearbejdning en laserstråle kan rettes imod et emne, som bearbejdes, idet laserstrålen assisteres af en gasstrøm, som gennem dysen rettes imod emnet, kendetegnet ved, at dysen (11) er indrettet til at kunne opretholde en forskydning mellem laserstrålens fokuseringspunkt (D) og et gastryk- 25 center (C) for gasstrømmen gennem dysen, hvorved laserstrålen (A) er forskudt fremad i bearbejdningsretningen i forhold til gastrykcenteret (C).
2. Dyse ifølge krav 1, kendetegnet ved, at dysen 30 er cirkulær cylindrisk og indrettet til at kunne opretholde en given excentrisk position af laserstrålen (A) i dysen (11).
3. Dyse ifølge krav 1, kendetegnet ved, at dysen (11) er cirkulær cylindrisk og er forsynet med et exeentr i sk 35 placeret udgangsdysehul (32) for gasstrømmen.
4. Dyse ifølge krav 1, kendetegnet ved, at dysen (34) er indrettet til at kunne forskydes radialt i forhold til t DK 160136 B laserstrålen (10).
5. Dyse ifølge krav 2, kendetegnet ved, at laserstrålen er placeret i en afstand d fra gastrykcenteret, hvor 5 0,01 D <d<D/2, hvor D er dysens diameter, idet d fortrinsvis er lig med 0,25 x D.
6. Dyse ifølge et eller flere af de foregående krav, kendetegnet ved, at der er tilvejebragt en ekstern sty- 10 ring, som styrer dysen og/eller laserstrålen i afhængighed af den ønskede bearbejdningsretning.
7. Dyse ifølge krav 6, kendetegnet ved, at den eksterne styring er indrettet til at kunne sammenkobles med en 15 eksisterende styring af skærebord og/eller laserhoved.
8. Dyse ifølge et eller flere af de foregående krav, kendetegnet ved, at dysen er i stand til at opretholde en given position af laserstrålen i dysen i forhold til bear- 20 bejdningsretningen således, at laserstrålen altid ligger foran gastrykscentret i bearbejdningsretningen. 25 1 35
DK416186A 1986-09-01 1986-09-01 Dyse til laserbearbejdning DK160136C (da)

Priority Applications (10)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DK416186A DK160136C (da) 1986-09-01 1986-09-01 Dyse til laserbearbejdning
AU79199/87A AU7919987A (en) 1986-09-01 1987-08-21 A nozzle for laser processing
PCT/DK1987/000103 WO1988001553A1 (en) 1986-09-01 1987-08-21 A nozzle for laser processing
DE8787905945T DE3778531D1 (de) 1986-09-01 1987-08-21 Duese fuer laserbehandlung.
AT87905945T ATE75173T1 (de) 1986-09-01 1987-08-21 Duese fuer laserbehandlung.
EP87905945A EP0280712B1 (en) 1986-09-01 1987-08-21 A nozzle for laser processing
US07/192,789 US4871897A (en) 1986-09-01 1987-08-21 Nozzle for laser processing
JP62505327A JPH01500650A (ja) 1986-09-01 1987-08-21 レーザー処理用ノズル
FI881795A FI88886C (fi) 1986-09-01 1988-04-18 Munstycke foer laserbehandling
NO881907A NO168876C (no) 1986-09-01 1988-04-29 Dyse for laserbehandling

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DK416186A DK160136C (da) 1986-09-01 1986-09-01 Dyse til laserbearbejdning
DK416186 1986-09-01

Publications (4)

Publication Number Publication Date
DK416186D0 DK416186D0 (da) 1986-09-01
DK416186A DK416186A (da) 1988-03-02
DK160136B true DK160136B (da) 1991-02-04
DK160136C DK160136C (da) 1991-07-08

Family

ID=8130849

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DK416186A DK160136C (da) 1986-09-01 1986-09-01 Dyse til laserbearbejdning

Country Status (8)

Country Link
US (1) US4871897A (da)
EP (1) EP0280712B1 (da)
JP (1) JPH01500650A (da)
AU (1) AU7919987A (da)
DE (1) DE3778531D1 (da)
DK (1) DK160136C (da)
FI (1) FI88886C (da)
WO (1) WO1988001553A1 (da)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5168143A (en) * 1990-01-29 1992-12-01 E. I. Du Pont De Nemours And Company Method for laser cutting metal plates
US5068513A (en) * 1990-09-28 1991-11-26 Beloit Corporation Water jet slitter with laser finish and method
US5120926A (en) * 1990-11-26 1992-06-09 General Motors Corporation Method and apparatus for high speed laser cutting
DE4123716A1 (de) * 1991-07-17 1993-01-21 Thyssen Stahl Ag Vorrichtung zum hochgeschwindigkeitsschneiden duenner bleche mittels laserstrahlung
DE4226620C2 (de) * 1992-08-12 1995-01-19 Thyssen Stahl Ag Verfahren zum Laserstrahlschneiden von band- oder plattenförmigen Werkstücken, insbesondere von Elektroblech
JPH06285662A (ja) * 1993-04-07 1994-10-11 Fanuc Ltd レーザ加工装置及びレーザ加工方法
JP3044188B2 (ja) * 1996-02-15 2000-05-22 核燃料サイクル開発機構 レーザー除染法
JP4162772B2 (ja) * 1998-09-09 2008-10-08 日酸Tanaka株式会社 レーザピアシング方法およびレーザ切断装置
US6376797B1 (en) 2000-07-26 2002-04-23 Ase Americas, Inc. Laser cutting of semiconductor materials
US6667459B1 (en) 2000-11-21 2003-12-23 Hypertherm, Inc. Configurable nozzle baffle apparatus and method
FR2826892B1 (fr) 2001-07-03 2003-09-05 Air Liquide Procede et installation de soudage laser avec melange gazeux ar/he a teneurs controlees en fonction de la puissance laser
FR2834658B1 (fr) 2002-01-11 2004-04-02 Air Liquide PROCEDE ET INSTALLATION DE SOUDAGE LASER AVEC MELANGE GAZEUX N2/He A TENEURS CONTROLEES EN FONCTION DE LA PUISSANCE LASER
US6870128B2 (en) 2002-06-10 2005-03-22 Japan Drilling Co., Ltd. Laser boring method and system
FR2840835B1 (fr) * 2002-06-14 2004-08-27 Air Liquide Utilisation de melanges gazeux helium/azote en soudage laser de tubes en acier inoxydable
FR2840834B1 (fr) * 2002-06-14 2004-12-03 Air Liquide Utilisation de melanges gazeux helium/azote en soudage laser jusqu'a 12 kw
FR2840832B1 (fr) 2002-06-14 2004-07-23 Air Liquide Utilisation de melanges gazeux helium/azote en soudage laser de flancs raboutes
EP1632305A1 (de) * 2004-09-04 2006-03-08 Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG Verfahren zur Ermittlung und Verfahren zur Einstellung der gegenseitigen Lage der Achse eines Laserbearbeitungsstrahls und der Achse eines Prozessgasstrahls an einer Laserbearbeitungsmaschine sowie Laserbearbeitungsmaschine mit Einrichtungen zur Umsetzung der Verfahren
DE102007042493B3 (de) * 2007-09-03 2008-11-20 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung und Verfahren zum Laserstrahlschneiden von Werkstücken
CN101497150B (zh) * 2008-02-01 2012-10-10 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 激光切割装置
CN101497493B (zh) * 2008-02-01 2012-12-26 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 激光切割装置
DE102010029385A1 (de) * 2010-05-27 2011-12-01 Robert Bosch Gmbh Laserinduzierte Fremdzündung für eine Brennkraftmaschine
CN104475402B (zh) * 2014-11-29 2016-12-07 宁波江东思犒技术服务有限公司 用于磁钢的双面激光清洗装置
TWI599431B (zh) 2015-11-03 2017-09-21 財團法人工業技術研究院 雷射加工裝置及雷射排屑裝置
JP7028820B6 (ja) * 2019-03-18 2023-12-19 ファナック株式会社 ワークを切断するレーザ加工方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1215713A (en) * 1967-03-16 1970-12-16 Nat Res Dev Improvements relating to thermal cutting apparatus
JPS6011186B2 (ja) * 1977-03-16 1985-03-23 英夫 横木 プレキヤストコンクリ−トブロックスラブ工法
DE3008176C2 (de) * 1979-03-07 1986-02-20 Crosfield Electronics Ltd., London Gravieren von Druckzylindern
JPS5674387A (en) * 1979-11-22 1981-06-19 Mitsubishi Electric Corp Cutting method
JPS58103993A (ja) * 1981-12-17 1983-06-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd レ−ザ加工機用外部光学装置
JPS58103992A (ja) * 1981-12-17 1983-06-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd レ−ザ加工機用外部光学装置
US4461947A (en) * 1982-08-24 1984-07-24 Allied Corporation Rotating laser beam with coincident gas jet

Also Published As

Publication number Publication date
EP0280712B1 (en) 1992-04-22
FI881795A (fi) 1988-04-18
DK416186A (da) 1988-03-02
WO1988001553A1 (en) 1988-03-10
US4871897A (en) 1989-10-03
FI881795A0 (fi) 1988-04-18
FI88886B (fi) 1993-04-15
DK160136C (da) 1991-07-08
EP0280712A1 (en) 1988-09-07
DK416186D0 (da) 1986-09-01
FI88886C (fi) 1993-07-26
DE3778531D1 (de) 1992-05-27
JPH01500650A (ja) 1989-03-09
AU7919987A (en) 1988-03-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DK160136B (da) Dyse til laserbearbejdning
US4467171A (en) Laser cutting nozzle
JP5437578B2 (ja) 材料処理用の流体ジェットを発生する方法及び装置、並びにそのような装置に使用する流体ノズル
JP3686317B2 (ja) レーザ加工ヘッド及びこれを備えたレーザ加工装置
WO2017043460A1 (ja) セルフバーニングの発生を抑制するレーザ加工方法およびレーザ加工装置
CN110170743B (zh) 激光加工头
JP6425678B2 (ja) レーザ加工装置の加工ヘッド
CN110039175A (zh) 一种激光切割头喷嘴导气装置
JP2011041963A (ja) レーザ加工装置におけるレーザ加工ヘッド
WO1997034731A1 (en) Laser machining
ES2249633T3 (es) Proceso e instalacion de corte por haz de laser utilizando un objetivo multifocal y una tobera convergente/divergente.
KR20020010101A (ko) 고밀도 에너지빔 가공 방법 및 장치
MX2014011942A (es) Boquilla de laser con elemento movil de perfil externo mejorado.
SE544166C2 (sv) Lasermunstycke, insats för ett lasermunstycke, laserskäranordning samt förfaranden för laserskärning
JPH11245077A (ja) レーザ加工ヘッド
JP2016030264A (ja) レーザ加工ヘッド
IT9083400A1 (it) Dispositivo per un laser di potenza soprattutto per la saldatura
JPS6027486A (ja) レ−ザ溶接装置
JP2021049547A (ja) バリ取り装置
JP2000202676A (ja) レ―ザ加工ヘッド
EP3819069B1 (en) Laser machining method
JPS5987995A (ja) レ−ザ・ガス切断装置
Gaebelein et al. Pushing the envelope of liquid-jet guided laser machining applying modern IR fiber lasers
JP4374611B2 (ja) レーザ加工装置
JPH0117431Y2 (da)

Legal Events

Date Code Title Description
PBP Patent lapsed