CN101321601B - 激光加工喷嘴 - Google Patents

激光加工喷嘴 Download PDF

Info

Publication number
CN101321601B
CN101321601B CN2005800521421A CN200580052142A CN101321601B CN 101321601 B CN101321601 B CN 101321601B CN 2005800521421 A CN2005800521421 A CN 2005800521421A CN 200580052142 A CN200580052142 A CN 200580052142A CN 101321601 B CN101321601 B CN 101321601B
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser machining
mouth
cavity
nozzle
machining nozzle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2005800521421A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101321601A (zh
Inventor
N·斯佩克
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Trumpf Werkzeugmaschinen SE and Co KG
Original Assignee
Trumpf Werkzeugmaschinen SE and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=36685568&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=CN101321601(B) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Trumpf Werkzeugmaschinen SE and Co KG filed Critical Trumpf Werkzeugmaschinen SE and Co KG
Publication of CN101321601A publication Critical patent/CN101321601A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101321601B publication Critical patent/CN101321601B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36—Removing material
    • B23K26/38—Removing material by boring or cutting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1435—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor involving specially adapted flow control means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1435—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor involving specially adapted flow control means
    • B23K26/1438—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor involving specially adapted flow control means for directional control
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462—Nozzles; Features related to nozzles
    • B23K26/1464—Supply to, or discharge from, nozzles of media, e.g. gas, powder, wire

Abstract

本发明涉及一种激光加工喷嘴(4a)，它具有至少一个用于激光束和用于加工气体的导送腔(14)，该激光加工喷嘴具有设置在所述导送腔(14)的嘴口(15)区域内的空腔(17)，所述空腔向待加工工件方向敞开，其中，该开口具有一楔形的边缘(18′)。

Description

激光加工喷嘴
技术领域
本发明涉及一种激光加工喷嘴，其具有至少一个用于激光束和用于加工气体的导送腔。
背景技术
例如通过US 6423928 B1已经公开了一种这类激光加工喷嘴。
根据现有技术，在熔割(例如VA钢材)时，随着要加工的板厚度增加，应增大构造为孔式喷嘴的激光加工喷嘴的孔径。这样就需要更大气体压力。然而增加气体压力意味着要增加切割缝隙中的气体密度，由此更可能形成等离子。等离子阈值也与入射的功率密度(高的功率密度或处理温度＞＞等离子)和焦点位置(高的焦点位置＞＞等离子)相关并且限制熔割的质量。
在切割厚的板材时，降低切割气压能获得更好的切割边沿质量。然而，这关系到强烈的毛刺形成。
发明内容
需要解决这样的问题：改进用于激光束切割的喷嘴，使得能达到在切割边沿精度方面高质量的切割，其中尤其追求提高切割效率，也就是说在遵守高的切割质量的情况下达到更大的进给。特别是在切割厚板材时必须阻碍等离子体形成。
该问题通过开始所述类型的一种激光加工喷嘴解决，其中，所述激光加工喷嘴具有一个设置在气体导送腔的嘴口区域中的空腔，所述空腔仅向待加工工件方向敞开，其中该开口具有一楔形的边缘。
根据本发明的激光加工喷嘴的作用在于，获得较大的切割前沿覆盖度而不必增大激光加工喷嘴的嘴口直径。在此避免在该作用中产生扩散器，它会对熔化导致较低的冲量。
借助根据本发明的楔形边缘可以形成翻滚流。该翻滚流导致主气体射束首先流入一个容积(滞积容积)内，它的压力与周围相比较高。由此，与已知的激光加工喷嘴相比，加工气体达到从嘴口出来的更高的流出速度，因此可以更好地将冲量传递给板材或者说传递给切割前沿。相比已知的激光加工喷嘴，由于翻滚流与主气体射束之间的过渡区域中的同向的速度，主气体射束与周围之间的摩擦损失被降低。此外翻滚流对于工件上方区域中的主气体射束具有支持作用。另一支持效果出现在切割缝隙内部。相比已知的激光加工喷嘴，主气体射束在下面更远处才与切割前沿分离。这样有利于改善切割边缘。
在本发明的一个优选实施方式中，所述空腔关于导送腔的嘴口旋转对称地设置。通过这种设置得到，加工气体射束被加工气体的一个滞积容积包围。这产生了切割前沿的旋转对称覆盖。
如果气体导送腔的嘴口缩回到所述激光切割喷嘴的喷嘴尖的后面，则加工气体可以很好地滞积并流入该空腔中。
所述空腔在空腔底部的区域中具有圆形构造的内轮廓，由此，翻滚流的形成进一步得到支持。
但也可以想到，所述空腔在空腔底部的区域中具有多角形构造的内轮廓。
如果所述空腔的内侧面相对于导送腔横向设置或斜向延伸，则加工气体可以接近径向地流入所述空腔。
所述空腔延伸到所述气体导送腔的嘴口的后边优化了气流状况。
借助排出边缘，回流的气体可以尽可能同轴地流向主气体射束。这附加改善了切割效果。
附图说明
附图中示意性示出本发明的一些实施例，下面结合附图对其详细说明。附图示出：
图1一激光切割设备的结构；
图2根据本发明的第一激光加工喷嘴的纵剖面；
图3a，3b根据本发明的另一激光加工喷嘴；
图4a，4b根据本发明的另一激光加工喷嘴。
具体实施方式
附图1示出一个用于激光切割的激光加工设备1的结构，具有一CO2激光器2、一激光加工头4(激光加工喷嘴4a)和一工件支承座5。所产生的激光束6借助偏转镜被引导向激光加工头4并借助一些反射镜对准工件8。
在形成贯通的切割缝之前，激光束6必须穿透工件8。板8必须在一个位置上被点状地熔化或氧化，熔化物必须被吹走。
刺孔以及激光切割都需要通过补充气体来支持。氧气、氮气、压缩空气和/或特定用途的气体都可以被用作切割气体9。最终使用哪种气体取决于切割什么材料和对工件有什么样的质量要求。
产生的等离子体和气体可以借助抽吸装置10从抽吸室11吸走。
按照图2，本发明的激光加工喷嘴4a由两个相互连接的构件12和13构成。构造为孔式喷嘴的激光加工喷嘴4a具有用于切割气体和激光束的中心导送腔14。
孔式喷嘴4a的圆筒形嘴口15在流动方向上看缩回到喷嘴尖16的后面。关于嘴口15旋转对称地设置有一个用于容纳切割气体的环形延伸的空腔17。该空腔17仅朝向激光加工喷嘴4a的下侧面、即朝向工件和朝向嘴口15敞开，并且具有纯圆形的底部18。供切割气体用的该滞积容积由此在径向上并且也向喷嘴嘴口15的后面扩展。在图2中，箭头(主气体射束19和滞积的气体射束19′)表示切割气体流。在喷嘴尖16上，激光加工喷嘴4a具有比嘴口15本身大多倍的直径。
因此，附加借助空腔17施加的滞积容积被这样施加和成型：使得径向流出的气体的一部分通过“翻滚流”被导回并包围切割气体射束。喷嘴尖16距离待加工的板越近，气流阻力越大并且阻滞压力断面可以越有效地径向扩张。激光加工喷嘴4a的下侧的楔形收缩的边缘18′首先是形成翻滚流的原因。径向流出的加工气体被从这里部分地转向到空腔17中并沿着空腔17的内表面17′和17″经过排出边缘18″流回到主气体射束19。楔形的几何形状一方面导致径向流出的加工气体的流体分离，另一方面作为导流几何结构导致形成翻滚流。除了边缘18′外，空腔17的形状以及空腔17一直延伸到喷嘴嘴口15后面也与翻滚流的形成有关。
此外，为了产生翻滚流，切割距离，即喷嘴尖16的喷嘴下边缘与板表面之间的距离，必须选择得适当小(＜0.7mm，其中最佳切割距离是0.3-0.5mm)。如果切割距离较大，则在板表面上形成压力垫，它阻碍加工气体的有效冲量传递。此外不再能形成翻滚流。
这产生切割前沿的较高的覆盖度，它对
-质量(在厚板范围内熔化切割代替等离子切割，均匀的槽口结构)；
-进给(+10至+20％，个别情况下+80至+100％)；
-等离子阈值(厚板范围内的熔化切割)；
-气体消耗
产生积极作用。
在嘴口直径相同的情况下，切割气体消耗量低于目前的标准值。早先的研究可以看出，此外可以采用更小的嘴口直径进行切割，这样可以进一步降低切割气体消耗。
为了激光加工喷嘴4a的令人满意的功能，空腔17的与喷嘴开口相接的内侧面可以向外倾斜。根据倾斜角，即内侧面17′与工件之间的夹角，径向流出的气体进行偏转，倾斜度越大，即倾斜角越尖锐，损失越小。为了尽可能好地形成翻滚流，必要的是，滞积容积缩回到嘴口区域的平面的后边。底部18和紧接着的侧面18′的区域中的几何形状在此可以是圆形的或椭圆形的。
图3a，3b示出相对于图1中的孔式喷嘴4a的替换方案。如图3a所示，激光加工喷嘴20具有一个圆锥形的嘴口21(拉瓦尔喷嘴)。如图3b所示，激光加工喷嘴22具有一个环形缝隙23。这些可替换的实施方式组合了相对于图1中的激光加工喷嘴4a不变的滞积容积。因此保持了本发明的功能方式。
图4a和4b示出了相对于图1中的激光加工喷嘴4a的滞积容积的替换方案。如图4a和4b所示，除了圆形几何形状外还可以想到激光加工喷嘴24(空腔25)和26(空腔27)中的多角形的空腔构造。

Claims (7)

1.一种激光加工喷嘴(4a；20；22；24；26)，具有至少一个用于激光束和用于加工气体的导送腔(14)，其中，所述导送腔(14)的一中央嘴口(15)缩回到所述激光加工喷嘴(4a；20；22；24；26)的喷嘴尖(16)的后面，其特征在于，所述激光加工喷嘴(4a；20；22；24；26)具有设置在所述导送腔(14)的中央嘴口(15)与喷嘴尖(16)之间的空腔(17；25；27)，所述空腔(17；25；27)仅在朝向待加工工件和中央嘴口(15)的方向敞开，其中，该所述空腔(17；25；27)具有一用于形成翻滚流的楔形的边缘(18′)。
2.如权利要求1所述的激光加工喷嘴，其特征在于，该空腔(17；25；27)关于所述导送腔(14)的中央嘴口(15)旋转对称地设置。
3.如权利要求1或2所述的激光加工喷嘴，其特征在于，所述空腔(17)的空腔底部(18)的区域中具有圆形构造的内轮廓。
4.如权利要求1或2所述的激光加工喷嘴，其特征在于，所述空腔(25；27)的空腔底部的区域中具有多角形构造的内轮廓。
5.如权利要求1或2所述的激光加工喷嘴，其特征在于，所述空腔(17；25；27)的内侧面(17′，17″)相对于导送腔(14)的轴线方向横向设置。
6.如权利要求1或2所述的激光加工喷嘴，其特征在于，所述空腔(17；25；27)一直延伸到所述导送腔(14)的中央嘴口(15)的后边。
7.如权利要求1或2所述的激光加工喷嘴，其特征在于，所述空腔(17；25；27)的开口具有一个排出边缘(18″)。
CN2005800521421A 2005-11-25 2005-11-25 激光加工喷嘴 Expired - Fee Related CN101321601B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/EP2005/012625 WO2007059787A1 (de) 2005-11-25 2005-11-25 Laserbearbeitungsdüse

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101321601A CN101321601A (zh) 2008-12-10
CN101321601B true CN101321601B (zh) 2011-05-11

Family

ID=36685568

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2005800521421A Expired - Fee Related CN101321601B (zh) 2005-11-25 2005-11-25 激光加工喷嘴

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8188403B2 (zh)
EP (2) EP1957232B1 (zh)
JP (1) JP5039050B2 (zh)
CN (1) CN101321601B (zh)
AT (1) ATE494981T1 (zh)
DE (1) DE502005010866D1 (zh)
WO (2) WO2007059787A1 (zh)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008052656B3 (de) * 2008-10-22 2009-12-10 Marco Czaban Schneiddüse
DE102008053729C5 (de) 2008-10-29 2013-03-07 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Laserbearbeitungsdüse zum Bearbeiten von Blechen
DE102009014947A1 (de) * 2009-03-30 2010-10-07 Iht Automation Gmbh & Co. Kg Schweiß- oder Schneidbrenner
DE102010029112A1 (de) * 2010-05-19 2011-11-24 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Verfahren zur Laserbearbeitung und Laserbearbeitungskopf zur Durchführung des Verfahrens
DE102014009308A1 (de) * 2014-06-26 2015-12-31 Iht Automation Gmbh & Co. Kg Schweiß- oder Schneidwerkzeug
JP2018533481A (ja) 2015-10-30 2018-11-15 ハイパーサーム インコーポレイテッド レーザ加工ヘッド用の二重ノズル
US11850681B2 (en) 2015-10-30 2023-12-26 Hypertherm, Inc. Highly positioned laser processing nozzle
US10569360B2 (en) 2015-10-30 2020-02-25 Hypertherm, Inc. Highly positioned laser processing nozzle

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4774392A (en) * 1985-04-16 1988-09-27 Amada Engineering & Service Co., Inc. Laser cutting method for high chromium steel and a device to carry out that method
US6118097A (en) * 1992-10-23 2000-09-12 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Machining head and laser machining apparatus
CN1112276C (zh) * 2000-01-07 2003-06-25 清华大学 垂直装卸的分体式激光熔覆同轴送粉喷嘴
CN1139455C (zh) * 2001-03-30 2004-02-25 清华大学 可调宽带双向对称送粉激光熔覆喷嘴
CN2659622Y (zh) * 2003-12-16 2004-12-01 中国航空工业第一集团公司北京航空制造工程研究所 激光焊平焊接头气体保护装置
CN2666594Y (zh) * 2004-01-13 2004-12-29 中国航空工业第一集团公司北京航空制造工程研究所 激光焦点位置随动控制焊接头

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3907408A (en) * 1973-08-20 1975-09-23 Caterpillar Tractor Co Cassegrainian mirror arrangement for lasers
US4121085A (en) * 1976-05-07 1978-10-17 Caterpillar Tractor Co. Gas nozzle for laser welding
FR2488539A1 (fr) * 1980-08-12 1982-02-19 Didiot John Torche de decoupe munie d'un capteur de distance capacitif et machine de decoupe pourvue d'une telle torche
JPS626790A (ja) * 1985-07-02 1987-01-13 Mitsubishi Electric Corp レ−ザ加工ヘツド
JPS6356389A (ja) * 1986-08-25 1988-03-10 Amada Co Ltd レ−ザ加工機の加工ヘツド
FR2626511B1 (fr) * 1988-02-03 1990-05-18 Air Liquide Buse de decoupe laser, tete de decoupe comportant une telle buse et procede de decoupe les mettant en oeuvre
JP2998517B2 (ja) * 1992-10-23 2000-01-11 三菱電機株式会社 加工ヘッド及びレーザ加工装置
JP3355260B2 (ja) 1995-07-12 2002-12-09 株式会社吉野工業所 卓上表示装置
JPH1029083A (ja) * 1996-07-12 1998-02-03 Daihen Corp レーザ加工装置用ノズルハイトセンサ
JP2000126888A (ja) 1998-10-21 2000-05-09 Nippei Toyama Corp レーザ加工装置
US6423928B1 (en) * 2000-10-12 2002-07-23 Ase Americas, Inc. Gas assisted laser cutting of thin and fragile materials
US7619180B2 (en) * 2003-06-25 2009-11-17 Reinhard Diem Laser head of a laser beam processing machine comprising alternating nozzles
EP1669159A1 (de) * 2004-12-07 2006-06-14 Bystronic Laser AG Bearbeitungsdüse zum Laserschneiden mir einer über den Düsenkörper hinausragenden Düsenhülse, Laserbearbeitungsvorrichtung und Laserbearbeitungsverfahren mit der entsprechenden Bearbeitungsdüse

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4774392A (en) * 1985-04-16 1988-09-27 Amada Engineering & Service Co., Inc. Laser cutting method for high chromium steel and a device to carry out that method
US6118097A (en) * 1992-10-23 2000-09-12 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Machining head and laser machining apparatus
CN1112276C (zh) * 2000-01-07 2003-06-25 清华大学 垂直装卸的分体式激光熔覆同轴送粉喷嘴
CN1139455C (zh) * 2001-03-30 2004-02-25 清华大学 可调宽带双向对称送粉激光熔覆喷嘴
CN2659622Y (zh) * 2003-12-16 2004-12-01 中国航空工业第一集团公司北京航空制造工程研究所 激光焊平焊接头气体保护装置
CN2666594Y (zh) * 2004-01-13 2004-12-29 中国航空工业第一集团公司北京航空制造工程研究所 激光焦点位置随动控制焊接头

Also Published As

Publication number Publication date
WO2007060008A1 (de) 2007-05-31
EP1957232A1 (de) 2008-08-20
EP1976658A1 (de) 2008-10-08
DE502005010866D1 (de) 2011-02-24
EP1957232B1 (de) 2011-01-12
US8188403B2 (en) 2012-05-29
US20080237207A1 (en) 2008-10-02
JP2009517216A (ja) 2009-04-30
JP5039050B2 (ja) 2012-10-03
WO2007059787A1 (de) 2007-05-31
ATE494981T1 (de) 2011-01-15
CN101321601A (zh) 2008-12-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101321601B (zh) 激光加工喷嘴
JP5882927B2 (ja) 材料処理用の流体ジェットを発生する方法及び装置、並びにそのような装置に使用する流体ノズル
JP3658406B2 (ja) レーザビームカッティング用のノズル装置
CN102256738B (zh) 用于加工板的激光加工喷嘴
JP6388986B2 (ja) 最適化されたガスダイナミックスを用いてレーザ切断する方法
JPH0284288A (ja) レーザー切断装置
US10933491B2 (en) Laser beam processing device comprising a coupling device for coupling a focused laser beam into a fluid jet
JP5389822B2 (ja) キーホールを安定化させることのできるノズルを使用するレーザー溶接法
CN111254431B (zh) 一种用于气氛保护的光-粉同路送粉喷嘴
US6191380B1 (en) Plasma arc torch head
JP2010234373A (ja) レーザ加工用ノズル及びレーザ加工装置
CN110039175A (zh) 一种激光切割头喷嘴导气装置
JP2015515380A (ja) 改良された外形の移動要素を備えたレーザノズル
US4369919A (en) Plasma torch for processing metals in the air and under water
PL197681B1 (pl) Sposób i urządzenie do wytwarzania włókien zwłaszcza włókien wełny mineralnej
SE1950144A1 (sv) Lasermunstycke, insats för ett lasermunstycke, laserskäranordning samt förfaranden för laserskärning
US20170326706A1 (en) Nozzle device
JP2003193124A (ja) 冶金学的ランス及び装置
JP2017177155A (ja) レーザ加工ヘッド
TW202134005A (zh) 聚焦管及其用途
CN110072664B (zh) 用于产生液体射流的设备
JP2002239770A (ja) レーザ切断用ノズル
JP2000234116A (ja) 転炉吹錬用ラバールノズル及びそれを使った操業方法
JP6924715B2 (ja) レーザ加工用ノズル及びレーザ加工装置
JP4374611B2 (ja) レーザ加工装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20110511

Termination date: 20201125

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee