NL8006598A

NL8006598A - Werkwijze voor het slijpen van vlakke platen.

Info

Publication number: NL8006598A
Application number: NL8006598A
Authority: NL
Original assignee: Disco Co Ltd
Priority date: 1980-02-01
Filing date: 1980-12-03
Publication date: 1981-09-01
Also published as: US4567694A; DE3045760C2; IT1143339B; DE3045760A1; US4445300A; JPS56107869A; FR2474919A1; JPS6017664B2; FR2474919B1; IT8167130A0

Description

Έ.Ο. 29658 1

Werkwijze voor het slijpen van vlakke platen,

De uitvinding heeft betrekking op een werkwijze voor het slijpen van vlakke platen door de snijwerking van het slijpwiel over de dikte.

Tot nu toe is het slijpen van vlakke oppervlakken van 5 een hard, bros werkstuk (1), zoals silicium en glas tot stand gebracht door gebruikmaking van een ringvormig slijpwiel (2) dat aan het onderste open einde van een omgekeerde draaikom (10) is bevestigd, zoals weergegeven in figuur 1(a), Deze gebruikelijke werkwijze heeft het nadeel dat het 10 slijpen moet worden herhaald totdat het werkstuk is geslepen tot de gewenste dikte. Met andere woorden, het gebruikelijke slijpwiel (2), waarvan de zijde en de bodem elkaar snijden onder rechte hoeken slijpt het werkstuk met zowel de zijde als de bodem daarvan. Bij een der ge lijke slijpwerk-15 wijze bestaat een groot aanrakingsgebied dat een grote hoeveelheid wrijvingswarmte opwekt, hetgeen de nauwkeurigheid van de afmeting van het werkstuk tengevolge van warmte uitzetting nadelig beïnvloedt, terwijl het waarschijnlijk is dat de poriën worden gevuld met spaanders, met als gevolg 20 stomp worden, het ontstaan van brandmerken en het ontstaan van s lijp scheurtjes. Bovendien wordt de snijrand van het slijpwiel (2) stomp gedurende het slijpen, waardoor de slijpsteen van het werkstuk ontsnapt. Dit maakt het moeilijk om het werkstuk in een stap te slijpen, en maakt het nodig om 25 het slijpen beetje bij beetje te herhalen om het werkstuk tot een gewenste dikte te slijpen. Bij een andere soort van een gebruikelijk slijpwiel loopt de bodem taps naar binnen toe zoals weergegeven in figuur 1(b). Dit slijpwiel heeft toch nog een groot aanrakingsgebied en verliest gemakkelijk 30 zijn scherpte, waardoor het nodig is om de tapsheid opnieuw tot stand te brengen.

tl êt doel van de uitvinding is een werkwijze te verschaffen voor het gemakkelijk en nauwkeurig tot een gewenste dikte slijpen van harde, brosse vlakke platen, door gebruik-35 making van een dun slijpwiel dat onder een bepaalde hoek staat ten opzichte van het te slijpen oppervlak. Dat deel van het werkstuk dat door slijpen moet worden verwijderd wordt door het slijpwiel ondersneden terwijl het ondersnede 8 0 0 6 59 8 *· * 2 deel op zichzelf tot grove spaanders wordt gesplitst. Op deze wijze wordt alleen het oppervlak geslepen door het slijpwiel. In tegenstelling tot gebruikelijke werkwijze geeft de slijpwerkwijze volgens de uitvinding grove spaanders en 5 een kleine hoeveelheid fijn poeder. Slijpen volgens de werkwijze volgens de uitvinding wekt zeer weinig wrijvingswarmte op, waardoor het ontstaan van brandmerken, slijpscheurtjes, en verlies aan afmetingsnauwkeurigheid tengevolge van warmte uitzetting tot een minimum wordt beperkt.

10 3e uitvinding zal thans nader worden uiteen gezet aan de hand van de tekening waarin bij wijze van voorbeeld enige uitvoeringsvormen van de slijpwerkwijze volgens de uitvinding zijn weergegeven.

Figuren 1(a) en 1(b) zijn doorsneden, waarin normale 15 slijpmethodes zijn weergegeven.

Figuur 2 geeft een doorsnede weer van een uitvoeringsvorm van de slijpwerkwijze volgens de uitvinding.

Figuur 3 geeft een doorsnede weer van een andere uitvoeringsvorm van de slijpwerkwijze volgens de uitvinding.

20 Figuur 4 geeft een perspectivisch aanzicht weer van een van spleten voorzien slijpwiel voor nog een andere slijpwerkwijze .

Figuur 5 geeft een doorsnede weer van een uitvoeringsvorm waarin een van spleten voorzien slijpwiel is gekoeld 25 met water.

Figuur 6 geeft een perspectivisch aanzicht weer van het slijpwiel voor een andere uitvoeringsvorm volgens de uitvinding.

In figuur 2, waarin het slijpen volgens de werkwijze 30 volgens de uitvinding is weergegeven, bestaat het werkstuk (1) uit hard bros silicium, glas, en dergelijke dat gemakkelijk bij uitoefening van slechts een kleine druk kan breken. Het dunne slijpwiel (2) voor het slijpen van het werkstuk (l) is gevormd door elektrolytisch neerslaan van 35 zeer harde schuurkorrels (zeer harde kristallijne materialen regulaire kristalstructuur).

zoals diamantkorrels en "brooranitride met een H'ez slijpwiel bestaat uit een cylinder waarvan het ondereinde schuin naar buiten is verwijd. 3e rand van het verwijde deel is het slijpdeel (3), dat een dikte bezit van 0,1 tot 0,5 mm 40 en een breedte van ongeveer 5 mm. 3e bodem (4) van de 8 00 6 59 8 9 3 rand staat schuin onder een hoek van 10° tot 4-5° ten opzichte van het slijp oppervlak (7), of de hoek (G) tussen het montagedeel (5) en het slijpdeel (3) is 100° tot 135°* zo dat de bodem (4) niet in aanraking komt met het slijp-5 oppervlak (7) van het werkstuk (1). Op deze wijze komt de snijrand (6) slechts over een minimale oppervlakte in aanraking met het snijvlak (8) van het werkstuk (1). fiet genoemde vertikale montagedeel (5) wordt stevig bevestigd, door lijmen en dergelijke, aan het getrapte deel (9) binnen Ί0 de omgekeerde kom (10).

De slijpsteen (2) die op deze wijze is geconstrueerd brengt slijpen tot stand gebaseerd op het principe van snijden. net slijpwiel (2) wordt met hoge snelheid te samen met de kom (10) gedraaid, terwijl het slijpwiel (2) voort Ί5 wordt bewogen of het werkstuk (1) wordt bewogen. De relatieve positie van het slijpwiel (2) en het werkstuk (1) wordt zodanig ingesteld dat de slijpdikte (t^) 0,3 tot 0,8 mm bedraagt, enige malen de dikte (i^) van het slijpwiel (2). Het slijpen wordt op gang gezet met de rand (6) 20 in aanraking met de zijde van het werkstuk (1), waarna het slijpwiel (2) of het werkstuk (1) met vooraf bepaalde snelheid wordt bewogen. Opgemerkt wordt dat het slijpen op zodanige wijze tot stand wordt gebracht dat alleen de rand (6) van het slijpwiel (2) in aanraking staat met het snij-25 vlak (8) terwijl het ondersneden deel van het werkstuk (1) boven het slijpgedeelte (3) tengevolge van de brosheid daarvan op zichzelf uiteen valt. Met andere woorden het deel van het werkstuk boven het snijvlak (8) wordt niet feitelijk geslepen, maar valt op zichzelf uiteen, terwijl 30 het slijpoppervlak (7) keurig door het slijpwiel (2) wordt geslepen. Op deze wijze worden tengevolge van het slijpen grove spaanders en een kleine hoeveelheid fijn poeder verkregen.

Figuur 3 geeft een andere uitvoeringsvorm weer voor 35 het slijpen van het werkstuk (1) tot een grotere diepte via een enkele stap. Bij deze uitvoeringsvorm zijn drie slijp-wielen (2^), (2£), en (2^) met iets verschillende diameters bevestigd aan het getrapte deel (9) hinnen de kom (10). Het montagedeel (5) van het slijpwiel (2^) met de 40 grootste diameter is bevestigd aan het getrapte deel (9) binnen de kom (10). Het slijpwiel (22) met de middelste 8 00 6 59 8 4 diameter wordt via het afstandsstuk (11) bevestigd aan de binnenzijde van het montagedeel (5). J‘enslotte wordt het slijpwiel (2j) net de kleinste diameter via het afstands-stuk (11) op dezelfde wijze bevestigd. Het slijpgedeelte 5 (3) wordt dus in drie lagen aangebracht terwijl de snij- randen (6^), (62) en (6^) net verschillende diameters met bepaalde tussenruimten wordenaan gebracht.

Met de hierboven beschreven constructie kan het slijpen van het werkstuk (1) tot een grotere diepte tot stand 10 worden gebracht in een enkele stap omdat die delen die worden ondersneden door de snijranden (6^), (62), en (6^) van respectievelijk het slijpwiel (), (22), en (2^) op zichzelf op de hierboven beschreven wijze uiteen vallen.

Bij een andere uitvoeringsvorm, weergegeven in figuur 15 4, is het slijpwiel (2) voorzien van spleten (13) waardoor heen koelwater (12) wordt gespoten en spaanders gaan. De spleten (13) strekken zich uit vanaf de snijrand (6) tot het midden van het slijpgedeelte (3)· Het gebruik van het van spleten voorziene slijpwiel voorkomt dat porieën worden 20 gevuld met spaanders, waardoor de scherpte wordt behouden. Bovendien bereikt het koelwater (12) dat vanaf de binnenzijde van de slijpsteen (2) is ingespoten het snijvlak (8) via de spleet (13) voor het verwijderen van spaanders voor het afkoelen van het werkstuk (1) en het slijpwiel (2).

25 Hoe dunner de spleten (13) zijn en hoe groter het aantal daarvan is, hoe effectiever deze werken; maar de diepte, breedte en het aantal van de spleten moet worden bepaald in overeenstemming met het doel zodanig dat de nodige sterkte behouden blijft.

30 Figuur 6 geeft een andere uitvoeringsvorm weer van een slijpwiel volgens de uitvinding welke vrij is van belasting met spaanders welke een grote sterkte bezit. Het slijpdeel (3) van het slijpwiel (2) heeft een golf vorm in zijaanzicht, Hoe fijner de golven zijn en hoe groter het aan-35 tal daarvan is hoe beter de slijpsteen functioneert. De golf kan scherp driehoekig zijn of sinusvormig. Ook kunnen voor hetzelfde doel kleine gaten met een diameter van 0,1 tot 0,2 mm worden gevormd op het slijpdeel (3) door bewerking daarvan door middel van elektrische vonken.

80 0 6 59 8

Claims

1. Werkwijze voor liet slijpen van vlakke platen door draaiing met iioge snelheid van een slijpwiel "bevestigd aan het open einde van een omgekeerde kom, n e t h e t 5 kenmerk, dat de omtrek van een dun slijpwiel in aanraking wordt gebracht met het werkstuk zodat het slijpwiel het werkstuk over de dikterichting snijdt, waarbij het ondersneden gedeelte van het werkstuk op zichzelf uiteen valt, waarbij het slijpwiel zo dun mogelijk is en schuin naar buiten 10 uitsteekt vanaf het open einde van de kom.

2. Werkwijze voor het slijpen van vlakke platen volgens conclusie 1, m e t het kenmerk, dat het draaiende slijporgaan is samengesteld uit een aantal dunne slijpwielen die met zekere tussenruimten boven elkaar zijn 15 geplaatst.

3. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat het dunne slijpwiel is voorzien van spleten waar doorheen koelwater loopt. 8006598