KR980700641A - 디스크 드라이브 슬라이더용의 부분 에칭된 보호 오버코트 (a partially etched protective overcoat for a disk drive slider) - Google Patents

디스크 드라이브 슬라이더용의 부분 에칭된 보호 오버코트 (a partially etched protective overcoat for a disk drive slider) Download PDF

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Abstract

본 발명의 디스크 드라이브용 헤드는 하부 공기 내부 표면, 선두 에지 및 후미 에지를 갖는 슬라이더(26)와; 상기 슬라이더의 후미 에지에서 상기 슬라이더에 의해 장착되는 자기 트랜스듀서와; 상기 슬라이더의 공기 내포 표면에 부착되고, 선두 에지 및 후미 에지를 갖는 보호 오버코트(40)를 구비한다. 상기 보호 오버코트의 후미 에지는 슬라이더로부터 디스크 드라이브의 디스크표면까지의 최소 간격이 자기 트랜스듀서(25) 및 디스크 표면(22)사이에 놓이도록 상기 슬라이더의 후미 에지로 부터 이격된다.

Description

디스크 드라이브 슬라이더용의 부분 에칭된 보호 오버코트(A PARTIALLY ETCHED PROTECTIVE OVERCOAT FOR A DISK DRIVE SLIDER).
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (15)

  1. 디스크 드라이브용의 헤드에 있어서, 하부 공기 내포 표면, 선두 에지 및 후미 에지를 갖는 슬라이더; 상기 슬라이더의 후미 에지에서 상기 슬라이더에 의해 장착되는 자기 트랜스듀서; 및 상기 슬라이더의 공기 내포 표면에 부착되고, 선두 에지 및 후미 에지를 갖는 보호 오버코트를 구비하며, 상기 보호 오버코트의 후미 에지는 상기 슬라이더의 후미 에지로 부터 이격되는 것을 특징으로 하는 헤드.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 보호 오버코트는 탄소를 함유하는 것을 특징으로 하는 헤드.
  3. 데이터를 기억하기 위한 데이터 트랙을 갖는 기억 디스크; 회전을 위해 상기 기억 디스크를 장착하는 스핀들모터; 상기 기억 디스크의 데이터 트랙으로 부터 정보를 판독하고 상기 기억 디스크의 데이터 트랙에 정보를 기록하며, 하부 공기 내포 표면, 선두 에지 및 후미 에지를 갖는 슬라이더와 상기 슬라이더의 후미 에지에서 상기 슬라이더에 의해 장착되는 자기 트랜스듀서를 가지는 상호작용 수단을 포함하는데, 상기 슬라이더의 하부 공기 내포 표면은 상기 상호작용 수단으로 하여금 경사 각도 θ로 상기 기억 디스크를 비행하도록 배열 및 구성되고; 제어 신호에 응답하고, 상기 기억 디스크의 소정 데이터 트랙에 대해 상기 상호작용 수단을 선택적으로 위치시키기 위한 동작을 위해 상기 상호작용 수단을 장착하는 액츄에이터; 및 상기 슬라이더의 공기 내포 표면에 부착되고, 선두 에지 및 후미 에지를 갖는 보호 오버코트를 포함하며, 상기 보호 오버코트의 후미 에지는 상기 슬라이더의 후미 에지로 부터 거리 x 만큼 이격되는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 보호 오버코트는, 수학식 1, 즉 d = hg＋xθ+ ((4δ×x ×(x-L))/L2) - t 에 따른 최소 거리 d 로 상기 기억 디스크 위에서 비행하고, 여기서, d 는 보호 오버코트와 디스크 표면간의 최소 거리이고, hg는 슬라이더의 후미 에지와 디스크간의 거리이며, x는 보호 오버코트와 슬라이더의 후미 에지간의 간격이며, θ는 슬라이더의 경사 각도이고, δ는 슬라이더 정점이며, L 은 슬라이더의 길이이고, t 는 보호 오버코트의 두께이며; 거리 hg 는 θ의 값이 소정값 이상인 경우에는 거리 d 보다 작고, θ의 값이 소정값 이하인 경우에는 거리 d 보다 큰 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브.
  5. 제 3 항에 있어서, 상기 보호 오버코트는 탄소를 함유하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브.
  6. 디스크 드라이브에 사용하기 위한 헤드를 제조하는 방법에 있어서, 하부 공기 내포 표면, 선두 에지 및 후미 에지를 갖는 슬라이더를 제공하는 단계; 상기 슬라이더의 전체 하부 공기 내포 표면에 보호 오버코트를 입히는 단계; 상기 보호 오버코트에 마스크를 입히는 단계; 상기 마스크의 후미 에지가 상기 슬라이더의 후미 에지로 부터 이격되어 상기 마스크의 후미 에지를 지나 연장하는 상기 보호 오버코트의 일부분이 노출되도록 상기 마스크가 선두 에지 및 후미 에지를 갖도록 배열하는 단계; 상기 마스크의 후미 에지를 지나 연장하는 상기 보호 오버코트의 부분을 제거하는 단계; 및 상기 마스크를 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 제조 방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 마스크의 후미 에지를 지나 연장하는 상기 보호 오버코트의 부분을 제거하는 상기 단계는 에칭 기술을 사용하여 시행되는 것을 특징으로 하는 헤드 제조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 에칭 기술은 산소 플라즈마 에칭 기술을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 제조 방법.
  9. 제 6 항에 있어서, 상기 마스크는 진공 테이프를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 제조 방법.
  10. 제 6 항에 있어서, 상기 마스크는 기계적인 마스크를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 제조 방법.
  11. 제 6 항에 있어서, 상기 보호 오버코트는 탄소를 함유하는 것을 특징으로 하는 헤드 제조 방법.
  12. 제 6 항에 있어서, 상기 슬라이더에 상기 보호 오버코트를 부착하기 위해 상기 슬라이더의 전체 하부 공기 내포 표면에 접착 물질층을 입히는 상기 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 제조 방법.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 접착 물질층은 Si 를 함유하는 것을 특징으로 하는 헤드 제조 방법.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 Si 접착 물질층은 제거 후에도 SiOx 의 형태로 잔류하는 것을 특징으로 하는 헤드 제조 방법.
  15. 데이터를 기억하기 위한 데이터 트랙을 갖는 기억 디스크와, 회전을 위해 상기 기억 디스크를 장착하는 스핀들 모터와, 슬라이더 및 자기 트랜스듀서를 포함하며 상기 기억 디스크의 데이터 트랙으로 부터 정보를 판독하고 상기 기억 디스크의 데이터 트랙에 정보를 기록하는 상호작용 수단과, 제어 신호에 응답하고, 상기 기억 디스크의 소정 데이터 트랙에 대해 상기 상호작용 수단을 선택적으로 위치시키기 위한 동작을 위해 상기 상호작용 수단을 장착하는 액츄에이터를 구비한 디스크 드라이브에 사용하기 위한 슬라이더에 있어서, 상기 슬라이더는 하부 공기 내포 표면, 선두 에지 및 후미 에지를 가지며; 상기 자기 트랜스듀서는 상기 슬라이더의 후미 에지에서 상기 슬라이더에 의해 장착되며; 상기 공기 내포 표면은 상기 슬라이더로 하여금 경사 각도 θ로 상기 기억 디스크 위에서 비행하도록 배열 및 구성되며; 상기 슬라이더의 공기 내포 표면에 선두 에지 및 후미 에지를 갖는 보호 오버코트가 부착되며; 상기 보호 오버코트의 후미 에지는 상기 슬라이더의 후미 에지로 부터 거리 x 만큼 이격되고, 상기 보호 오버코트의 후미 에지는, 수학식 1, 즉 d = hg + xθ+ ((4δ×x ×(x-L))/L2) - t 에 따른 최소 거리 d로 상기 기억 디스크 위에서 비행하며, 여기서, d 는 보호 오버코트와 디스크 표면간의 최소 거리이고, hg 는 슬라이더의 후미 에지와 디스크간의 거리이며, x 는 보호 오버코트와 슬라이더의 후미 에지간의 간격이며, θ는 슬라이더의 경사 각도이고, δ는 슬라이더 정점이며, L 은 슬라이더의 길이이고, t 는 보호 오버코트의 두께이며, 거리 hg 는 θ의 값이 소정값 이상인 경우에는 거리 d 보다 작고, θ의 값이 소정값 이하인 경우에는 거리 d 보다 큰 것을 특징으로 하는 슬라이더.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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