JPH04302813A - ハードディスク用薄膜磁気ヘッド装置 - Google Patents
ハードディスク用薄膜磁気ヘッド装置Info
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- JPH04302813A JPH04302813A JP3091553A JP9155391A JPH04302813A JP H04302813 A JPH04302813 A JP H04302813A JP 3091553 A JP3091553 A JP 3091553A JP 9155391 A JP9155391 A JP 9155391A JP H04302813 A JPH04302813 A JP H04302813A
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
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-
- G—PHYSICS
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- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
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- G—PHYSICS
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- G—PHYSICS
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
- G11B5/6011—Control of flying height
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/4902—Electromagnet, transformer or inductor
- Y10T29/49021—Magnetic recording reproducing transducer [e.g., tape head, core, etc.]
- Y10T29/49032—Fabricating head structure or component thereof
- Y10T29/49036—Fabricating head structure or component thereof including measuring or testing
- Y10T29/49041—Fabricating head structure or component thereof including measuring or testing with significant slider/housing shaping or treating
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、剛性基板上に磁性層が
形成されてなるハードディスクに対して記録再生を行う
ハードディスク用薄膜磁気ヘッド装置に関するものであ
る。
形成されてなるハードディスクに対して記録再生を行う
ハードディスク用薄膜磁気ヘッド装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】いわゆるハードディスクに対して情報信
号の書き込み、あるいは読み出しを行うための磁気ヘッ
ド装置は、記録再生に際してディスク面より微小間隙を
もって浮上する浮上型とするのが一般的であり、したが
って通常はスライダと磁気ヘッドとが一体構造とされて
いる。
号の書き込み、あるいは読み出しを行うための磁気ヘッ
ド装置は、記録再生に際してディスク面より微小間隙を
もって浮上する浮上型とするのが一般的であり、したが
って通常はスライダと磁気ヘッドとが一体構造とされて
いる。
【０００３】従来、この種の磁気ヘッド装置としては、
例えばスライダを含めて磁気ヘッド装置全体がフェライ
ト材等により一体形成されたモノリシック型の磁気ヘッ
ド装置や、スライダに別途作製した磁気ヘッドを埋め込
んだコンポジット型の磁気ヘッド装置、さらにはスライ
ダに真空薄膜形成技術によって薄膜磁気ヘッドを直接形
成した薄膜型の磁気ヘッド装置等が知られている。
例えばスライダを含めて磁気ヘッド装置全体がフェライ
ト材等により一体形成されたモノリシック型の磁気ヘッ
ド装置や、スライダに別途作製した磁気ヘッドを埋め込
んだコンポジット型の磁気ヘッド装置、さらにはスライ
ダに真空薄膜形成技術によって薄膜磁気ヘッドを直接形
成した薄膜型の磁気ヘッド装置等が知られている。
【０００４】なかでも、薄膜型の磁気ヘッド装置は、高
飽和磁束密度を有する金属磁性膜を磁気コアとしており
、磁界分布が急峻でインダクタンスが小さい等の優れた
特徴を有し、記録密度の向上や高速転送レートが必要と
される状況にあって、実用化が最も期待されるものであ
る。
飽和磁束密度を有する金属磁性膜を磁気コアとしており
、磁界分布が急峻でインダクタンスが小さい等の優れた
特徴を有し、記録密度の向上や高速転送レートが必要と
される状況にあって、実用化が最も期待されるものであ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記薄
膜型の磁気ヘッド装置においては、スライダと薄膜磁気
ヘッドの磁気コアとの材質が大きく異なることに起因し
て、いわゆるコアリセスと称される薄膜磁気ヘッド特有
の問題が生ずる。前記コアリセスは、ハードディスクと
の対向面（エア・ベアリング面）の加工後に発生するも
ので、薄膜磁気ヘッドの磁気コアが前記エア・ベアリン
グ面から後退する現象である。
膜型の磁気ヘッド装置においては、スライダと薄膜磁気
ヘッドの磁気コアとの材質が大きく異なることに起因し
て、いわゆるコアリセスと称される薄膜磁気ヘッド特有
の問題が生ずる。前記コアリセスは、ハードディスクと
の対向面（エア・ベアリング面）の加工後に発生するも
ので、薄膜磁気ヘッドの磁気コアが前記エア・ベアリン
グ面から後退する現象である。
【０００６】例えば、スライダがＡｌ２ Ｏ３ −Ｔｉ
Ｃ等のような非常に硬い材料からなる場合、薄膜磁気ヘ
ッドの磁気コアはある程度軟らかい金属磁性膜からなる
ため、この金属磁性膜のみ選択的に研磨が進み、記録再
生を行う磁気ギャップがエア・ベアリング面から若干後
退してしまう。このように、コアリセスが生じ磁気ギャ
ップがエア・ベアリング面から後退すると、ハードディ
スクと磁気ヘッド間のスペーシングが問題となり、高記
録密度を達成することが難しくなる。
Ｃ等のような非常に硬い材料からなる場合、薄膜磁気ヘ
ッドの磁気コアはある程度軟らかい金属磁性膜からなる
ため、この金属磁性膜のみ選択的に研磨が進み、記録再
生を行う磁気ギャップがエア・ベアリング面から若干後
退してしまう。このように、コアリセスが生じ磁気ギャ
ップがエア・ベアリング面から後退すると、ハードディ
スクと磁気ヘッド間のスペーシングが問題となり、高記
録密度を達成することが難しくなる。
【０００７】前記コアリセスに対する対策としては、種
々の方法があり、ある程度の改善は可能である。例えば
、非常に微細な研磨材を使用し、時間をかけて研磨すれ
ば、コアリセスは減少する。しかし、リセス量の減少に
伴い製造コストが急激に増加し、あまり現実的でない。
々の方法があり、ある程度の改善は可能である。例えば
、非常に微細な研磨材を使用し、時間をかけて研磨すれ
ば、コアリセスは減少する。しかし、リセス量の減少に
伴い製造コストが急激に増加し、あまり現実的でない。
【０００８】本発明は、かかる実情に鑑みて提案された
ものであって、高記録密度が達成可能で、しかも製造コ
スト等の経済性の点からも満足し得るハードディスク用
薄膜磁気ヘッド装置を提供することを目的とする。
ものであって、高記録密度が達成可能で、しかも製造コ
スト等の経済性の点からも満足し得るハードディスク用
薄膜磁気ヘッド装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明のハードディスク用薄膜磁気ヘッド装置は
、スライダ部材の磁気ヘッド形成面に金属磁性膜を磁気
コアとする薄膜磁気ヘッドが形成されてなり、前記スラ
イダ部材のハードディスク対向面からの磁気コアの後退
量（以下、コアリセス量と称する。）が、スペーシング
ロスが０．５〜１．５ｄＢとなる範囲に設定されている
ことを特徴とするものである。
めに、本発明のハードディスク用薄膜磁気ヘッド装置は
、スライダ部材の磁気ヘッド形成面に金属磁性膜を磁気
コアとする薄膜磁気ヘッドが形成されてなり、前記スラ
イダ部材のハードディスク対向面からの磁気コアの後退
量（以下、コアリセス量と称する。）が、スペーシング
ロスが０．５〜１．５ｄＢとなる範囲に設定されている
ことを特徴とするものである。
【００１０】
【作用】コアリセス量を減少しようとすると、製造コス
トが大幅に増加する。一方、前記コアリセス量は、磁気
記録の観点から見てスペーシングとなり電磁変換特性に
影響を与えるが、どの程度影響を与えるかは記録波長に
よって異なる。本発明においては、電磁変換特性と経済
性を両立するために、記録密度に見合ったコアリセス量
に設定されている。
トが大幅に増加する。一方、前記コアリセス量は、磁気
記録の観点から見てスペーシングとなり電磁変換特性に
影響を与えるが、どの程度影響を与えるかは記録波長に
よって異なる。本発明においては、電磁変換特性と経済
性を両立するために、記録密度に見合ったコアリセス量
に設定されている。
【００１１】すなわち、スペーシングロスが０．５〜１
．５ｄＢとなる範囲であれば、電磁変換特性上は許容し
得る。また、前記範囲内でコアリセス量を許容すれば、
研磨方法等に対する製造上の制約が緩和され、製造コス
トの上昇は最小限に抑えられる。
．５ｄＢとなる範囲であれば、電磁変換特性上は許容し
得る。また、前記範囲内でコアリセス量を許容すれば、
研磨方法等に対する製造上の制約が緩和され、製造コス
トの上昇は最小限に抑えられる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明を適用した実施例について、具
体的な実験結果をもとに詳細に説明する。先ず、本発明
が適用される薄膜磁気ヘッド装置の一構成例を、図１に
概略的に示す。
体的な実験結果をもとに詳細に説明する。先ず、本発明
が適用される薄膜磁気ヘッド装置の一構成例を、図１に
概略的に示す。
【００１３】この薄膜磁気ヘッド装置は、図１に示すよ
うに、セラミックス等の非磁性材料よりなりハードディ
スクとの対向面に溝加工が施されてなるスライダ部材１
と、前記対向面と直交する一端面１ａに形成される薄膜
磁気ヘッド２とを主たる構成要素とするものである。
うに、セラミックス等の非磁性材料よりなりハードディ
スクとの対向面に溝加工が施されてなるスライダ部材１
と、前記対向面と直交する一端面１ａに形成される薄膜
磁気ヘッド２とを主たる構成要素とするものである。
【００１４】上記スライダ部材１は、例えばＡｌ２ Ｏ
３ −ＴｉＣのような非常に硬いセラミック材料より形
成されており、ハードディスクとの対向面，すなわちエ
ア・ベアリング面１ｂの中央部には、当該スライダ部材
１の走行方向に沿った凹部１ｃが空気流入溝として形成
されている。また、上記スライダ部材１のエア・ベアリ
ング面１ｂは、空気流入端側において斜めに切り欠かれ
、テーパー面１ｄとされており、このテーパー面１ｄで
空気圧を受けて上記スライダ部材１を速やかに浮上させ
るようになされている。
３ −ＴｉＣのような非常に硬いセラミック材料より形
成されており、ハードディスクとの対向面，すなわちエ
ア・ベアリング面１ｂの中央部には、当該スライダ部材
１の走行方向に沿った凹部１ｃが空気流入溝として形成
されている。また、上記スライダ部材１のエア・ベアリ
ング面１ｂは、空気流入端側において斜めに切り欠かれ
、テーパー面１ｄとされており、このテーパー面１ｄで
空気圧を受けて上記スライダ部材１を速やかに浮上させ
るようになされている。
【００１５】一方、上記スライダ部材１の一端面１ａに
は、アルミナ層３を介して薄膜磁気ヘッド２が形成され
ている。この薄膜磁気ヘッド２は、図２に示すように、
下部磁性膜４と上部磁性膜５とを一対の磁気コアとし、
これら磁性膜４，５間に絶縁膜６を介して導体コイル７
がスパイラル状にエッチング形成されてなるものである
。
は、アルミナ層３を介して薄膜磁気ヘッド２が形成され
ている。この薄膜磁気ヘッド２は、図２に示すように、
下部磁性膜４と上部磁性膜５とを一対の磁気コアとし、
これら磁性膜４，５間に絶縁膜６を介して導体コイル７
がスパイラル状にエッチング形成されてなるものである
。
【００１６】ここで、上記下部磁性膜４と上部磁性膜５
は、上記スライダ部材１のエア・ベアリング面１ｂ側で
ギャップスペーサ８を介して所定のデプスをもって対向
され、磁気ギャップｇが構成されている。そして、上記
下部磁性膜４と上部磁性膜５の先端部がスライダ部材１
のエア・ベアリング面１ｂと面一とされ、磁気ギャップ
ｇがこのエア・ベアリング面１ｂに臨んだかたちとなる
のが理想的である。
は、上記スライダ部材１のエア・ベアリング面１ｂ側で
ギャップスペーサ８を介して所定のデプスをもって対向
され、磁気ギャップｇが構成されている。そして、上記
下部磁性膜４と上部磁性膜５の先端部がスライダ部材１
のエア・ベアリング面１ｂと面一とされ、磁気ギャップ
ｇがこのエア・ベアリング面１ｂに臨んだかたちとなる
のが理想的である。
【００１７】しかしながら、上記薄膜磁気ヘッド２を形
成した後に、上記スライダ部材１のエア・ベアリング面
１ｂの面精度を出すために研磨加工を施すと、図３に示
すように、磁気コアである下部磁性膜４と上部磁性膜５
がエア・ベアリング面１ｂから後退する。これは、下部
磁性膜４と上部磁性膜５が金属磁性膜であって、Ａｌ２
Ｏ３ −ＴｉＣからなるスライダ部材１やアルミナ層
３等に比して硬度が低いことから、研磨の進みが速いこ
とによる。
成した後に、上記スライダ部材１のエア・ベアリング面
１ｂの面精度を出すために研磨加工を施すと、図３に示
すように、磁気コアである下部磁性膜４と上部磁性膜５
がエア・ベアリング面１ｂから後退する。これは、下部
磁性膜４と上部磁性膜５が金属磁性膜であって、Ａｌ２
Ｏ３ −ＴｉＣからなるスライダ部材１やアルミナ層
３等に比して硬度が低いことから、研磨の進みが速いこ
とによる。
【００１８】そこで、先ず、前記下部磁性膜４と上部磁
性膜５のエア・ベアリング面１ｂからの後退量（コアリ
セス量）ｄと、製造コストの関係について検討した。コ
アリセス量ｄを減らすための改善策の１つとして、研磨
に使用する遊離砥粒の微細化がある。例えば、図４に示
すように、エア・ベアリング面１ｂをポリッシュする際
に使用する遊離砥粒を小さくし、かつ粒径分布の幅を狭
くすると、コアリセス量ｄを小さくすることができる。 勿論、このときには適当な加圧、油膜厚、分散材等が必
要であることは言うまでもない。
性膜５のエア・ベアリング面１ｂからの後退量（コアリ
セス量）ｄと、製造コストの関係について検討した。コ
アリセス量ｄを減らすための改善策の１つとして、研磨
に使用する遊離砥粒の微細化がある。例えば、図４に示
すように、エア・ベアリング面１ｂをポリッシュする際
に使用する遊離砥粒を小さくし、かつ粒径分布の幅を狭
くすると、コアリセス量ｄを小さくすることができる。 勿論、このときには適当な加圧、油膜厚、分散材等が必
要であることは言うまでもない。
【００１９】ところが、図５に示すように、使用する遊
離砥粒を小さくしていくと、加工レートが急激に低下し
、加工時間が桁違いに大きくなって著しく生産性を悪化
させることになる。故に、コアリセス量を改善するため
のコストは、図６に示すように、コアリセス量が小さく
なればなるほど飛躍的に大きくなる。
離砥粒を小さくしていくと、加工レートが急激に低下し
、加工時間が桁違いに大きくなって著しく生産性を悪化
させることになる。故に、コアリセス量を改善するため
のコストは、図６に示すように、コアリセス量が小さく
なればなるほど飛躍的に大きくなる。
【００２０】一方、コアリセス量は、磁気記録の観点か
ら見てスペーシングとなり、電磁変換特性に影響を与え
るが、これは記録波長によって異なる。線記録密度とス
ペーシング感度（ｄＢ／１０ｎｍ）の関係を図７に示す
。この図７からも明らかなように、線記録密度が大きく
なるのに比例して、１０ｎｍ当たりのスペーシングロス
が増大している。
ら見てスペーシングとなり、電磁変換特性に影響を与え
るが、これは記録波長によって異なる。線記録密度とス
ペーシング感度（ｄＢ／１０ｎｍ）の関係を図７に示す
。この図７からも明らかなように、線記録密度が大きく
なるのに比例して、１０ｎｍ当たりのスペーシングロス
が増大している。
【００２１】そこで、スペーシングロス０．５ｄＢ、１
．０ｄＢ、１．５ｄＢとなるコアリセス量を各線記録密
度毎にプロットしたのが図８である。図８より、スペー
シングロスを大きく設定するにしたがって、許容される
コアリセス量が大きくなることがわかる。
．０ｄＢ、１．５ｄＢとなるコアリセス量を各線記録密
度毎にプロットしたのが図８である。図８より、スペー
シングロスを大きく設定するにしたがって、許容される
コアリセス量が大きくなることがわかる。
【００２２】以上の検討結果より、本実施例においては
、達成されるべき線記録密度の最大値から許容されるコ
アリセス量を決め、この範囲において安価な薄膜磁気ヘ
ッド装置を提供することとする。すなわち、図８におい
て、スペーシングロスが０．５〜１．５ｄＢの範囲に入
るコアリセス量（図８においてスペーシングロス０．５
ｄＢの線とスペーシングロス１．５ｄＢの線に囲まれた
領域。図中斜線領域。）を許容範囲とし、その範囲内で
薄膜磁気ヘッド装置を製造する。
、達成されるべき線記録密度の最大値から許容されるコ
アリセス量を決め、この範囲において安価な薄膜磁気ヘ
ッド装置を提供することとする。すなわち、図８におい
て、スペーシングロスが０．５〜１．５ｄＢの範囲に入
るコアリセス量（図８においてスペーシングロス０．５
ｄＢの線とスペーシングロス１．５ｄＢの線に囲まれた
領域。図中斜線領域。）を許容範囲とし、その範囲内で
薄膜磁気ヘッド装置を製造する。
【００２３】前述の範囲とすれば、先ずスペーシングロ
スに関しては、何れの線記録密度においても１．５ｄＢ
以下とされるので、電磁変換特性上の問題はない。また
、製造上の観点からは、ある程度コアリセスが許容され
ることになるので、製造コストを現実的な範囲に収める
ことが可能となる。
スに関しては、何れの線記録密度においても１．５ｄＢ
以下とされるので、電磁変換特性上の問題はない。また
、製造上の観点からは、ある程度コアリセスが許容され
ることになるので、製造コストを現実的な範囲に収める
ことが可能となる。
【００２４】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明においては、記録密度に見合ったコアリセス量に設定
されているので、電磁変換特性と経済性を両立すること
ができる。すなわち、本発明によれば、高記録密度が達
成可能で、しかも製造コスト等の経済性の点からも満足
し得るハードディスク用薄膜磁気ヘッド装置を提供する
ことが可能である。
明においては、記録密度に見合ったコアリセス量に設定
されているので、電磁変換特性と経済性を両立すること
ができる。すなわち、本発明によれば、高記録密度が達
成可能で、しかも製造コスト等の経済性の点からも満足
し得るハードディスク用薄膜磁気ヘッド装置を提供する
ことが可能である。
【図１】薄膜磁気ヘッド装置の一例を示す概略斜視図で
ある。
ある。
【図２】図１のＡ−Ａ線における断面図である。
【図３】磁気ギャップ近傍の拡大断面図である。
【図４】ポリッシングに使用する遊離砥粒の粒径とコア
リセス量の関係を示す特性図である。
リセス量の関係を示す特性図である。
【図５】ポリッシングに使用する遊離砥粒の粒径と加工
レートの関係を示す特性図である。
レートの関係を示す特性図である。
【図６】コアリセス量とこれを達成するための改善コス
トの関係を示す特性図である。
トの関係を示す特性図である。
【図７】スペーシング感度と線記録密度の関係を示す特
性図である。
性図である。
【図８】所定のスペーシングロス時のコアリセス量と線
記録密度の関係を示す特性図である。
記録密度の関係を示す特性図である。
１・・・スライダ部材
１ｂ・・エア・ベアリング面
４・・・下部磁性膜
５・・・上部磁性膜
Claims (1)
- 【請求項１】 スライダ部材の磁気ヘッド形成面に金
属磁性膜を磁気コアとする薄膜磁気ヘッドが形成されて
なり、前記スライダ部材のハードディスク対向面からの
磁気コアの後退量が、スペーシングロスが０．５〜１．
５ｄＢとなる範囲に設定されていることを特徴とするハ
ードディスク用薄膜磁気ヘッド装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3091553A JPH04302813A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | ハードディスク用薄膜磁気ヘッド装置 |
| US07/853,831 US5469312A (en) | 1991-03-29 | 1992-03-19 | Thin film magnetic head device having a core recess set to a predetermined spacing loss |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3091553A JPH04302813A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | ハードディスク用薄膜磁気ヘッド装置 |
Publications (1)
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