JPS63317920A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

磁気ヘッドの製造方法

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JPS63317920A
JPS63317920A JP62154853A JP15485387A JPS63317920A JP S63317920 A JPS63317920 A JP S63317920A JP 62154853 A JP62154853 A JP 62154853A JP 15485387 A JP15485387 A JP 15485387A JP S63317920 A JPS63317920 A JP S63317920A
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magnetic head
slider
polishing
air bearing
bearing surface
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Toshio Matsumoto
松本　利夫
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  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、スライダと磁気ヘッド素体とを一体化して
なる磁気ヘッドの製造方法に関するものである。
〔従来の技術〕
従来、磁気ヘッドの製造方法としては、磁気記録媒体に
対向して移動する例えばＡｌ２Ｏ２と硬物質たるＴｉｃ
とを含むアルチック材よりなるスライダと、アルチック
材より軟らかい素材よりなりかつ上記媒体の情報の書込
み、読出しを行なう磁気ヘッド素体とを一体化した後、
スライダ及び磁気ヘッド素体における上記媒体に対する
浮上面側を研磨する方法が知られている。
ところで最近、記録密度を高めるために、磁気記録媒体
と磁気ヘッド素体との間隔を非常に小さくすることが要
求されている。この要求に対応するため上記製造方法で
は、磁気ヘッドの上記媒体からの浮上高さを低くするこ
とが図られている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
ところが、上記磁気ヘッドの製造方法では、磁気ヘッド
と磁気記録媒体との接触による摩耗を防ぐために、磁気
ヘッドの浮上高さは一定限界より低くできない問題があ
った。
また、硬物質を含むスライダの研磨は困難であるのに、
スライダより軟らかい磁気ヘッド素体の研磨は困難では
ない。このため、磁気ヘッド素体の研磨量はスライダの
研磨量よりも多くなって、磁気ヘッド素体には大きいリ
セッシングが発生する。
その結果、磁気ヘッド素体と磁気記録媒体との間隔が増
大する問題があった。
この発明は上記問題に鑑みなされたものでその目的は、
スライダの研磨を容易化して磁気ヘッド素体の研磨量を
減少することによって、リセッシングを小さくして磁気
ヘッド素体と磁気記録媒体との間隔増大を防止した磁気
ヘッドの製造方法を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
上記問題を解決するためにこの発明は、スライダの浮上
面側の硬物質をエツチングして除去してから研磨を行な
うことを特徴としている。
〔作用〕
かかる構成によって、スライダの浮上面側の研磨は容易
となる。従って、磁気ヘッド素体の研磨量は減少するの
でリセッシングは小さくなる。このため、磁気ヘッド素
体と磁気記録媒体との間隔は小さくなり、磁気記録にお
けるスペーシングロスが小さくなる。
〔実施例〕
以下、この発明の一実施例を第１図、第２図及び第３図
に基づいて詳細に説明する。
本発明に係る磁気ヘッドの製造方法では、磁気記録媒体
２１に対向して移動するスライダ１と磁気記録媒体２１
の情報の書込み、読出しを行なう磁気ヘッド素体１１と
が形成されている。
スライダ１は、例えばＴｉｃよりなる硬物質２と例えば
Ａ　ｊ２ｔ　Ｏｓよりなる軟物質３とを有するアルチッ
ク材で形成されていて、下部側に磁気記録媒体２１に対
向する浮上面４が形成されている。
磁気ヘッド素体１１は、スライダ１の図における右側に
設けられるＡｌｔｏ３等よりなる絶縁層１２と、絶縁層
１２の右側に設けられるパーマロイ等よりなる磁性体１
３と、磁性体１３の右側に設けられるＡｌｚＣｈ、Ｓ　
ｉ　０２等よりなるギャップ層１４と、ギャップ層１４
の右側に設けられる有機絶縁層１５と、有機絶縁層１５
内に設けられるコイル１６と、有機絶縁層１５の右側か
らギャップ層１４の右側下部に至る範囲に設けられるパ
ーマロイ等からなる磁性体１７と、磁性体１７の右側に
設けられるＡｌｔｏ、３等よりなる保護膜１８とで形成
されている。
この磁気ヘッド素体１１は、下部側に磁気記録媒体２１
に対向する浮上面１９が形成されていて、浮上面１９と
スライダ１の浮上面４との間にはりセソシンｌ”Ｄ＋が
形成されている。
上記のように形成されたスライダ１と磁気ヘッド素体１
１とは一体化される。
次に、スライダｌの浮上面４側を、例えばＣＦ　ａ又は
ＣＦ、に０２を加えたガスでエツチングして、第２図で
示すように硬物質２の選択的な除去が行われる。上記除
去の終了後、浮上面４及び１９の研磨が行われる。
この研磨は、上記エツチングによって硬物質２が除去さ
れた結果、下方に突出するようになった浮上面４側の軟
物質３の削除を主体とするもので第３図に示すように、
浮上面４と磁気記録媒体２１との間隔が所定の浮上高さ
Ｈとなるように行われる。
一方、浮上面１９に対しては、浮上面４との間のリセッ
シングＤ２が上記リセッシングＤ１よりも小さくなるよ
うに行われる。このリセソシングＤ２が形成されると浮
上面１９と磁気記録媒体２１との間には、リセッシング
Ｄｔに浮上高さＨを加えた間隔Ｓが形成される。
なお、アルチック材よりなるスライダ１の硬物質２を選
択的に除去した磁気ヘッドが、コンタクトスタートスト
ップ方式をとる場合でも好ましい影響を与えることは例
えば米国特許第４５４９２３８号明細書に開示されてい
る通りである。
次に作用について説明する。
上記構成によって、磁気ヘッド素体１１の浮上面１９と
磁気記録媒体２１との間隔Ｓは、リセソシンクＤ２がリ
セソシングＤ、より小さくなった分だけ縮小される。
従って、磁気ヘッド素体１１を備えた磁気ヘッドはスペ
ーシングロスの少ない記録再生が可能となり高密度記録
に適したものとなる。
なお、上記実施例ではアルチック材を用いたスライダ１
を説明したが、これに限定されることなくこの発明では
、エツチング及びエツチングガスによって選択的に固い
部分だけが除去される素材でスライダ１を形成すること
も可能である。
〔発明の効果〕
以上説明したようにこの発明は、スライダの浮」二面側
の硬物質をエツチングして除去してから研磨を行なうよ
うにしたことを特徴としている。
従って、スライダの浮上面の研磨は容易となり工、チン
グによって荒れた浮上面は研磨によって容易に平坦化さ
れる。
また、磁気ヘッド素体の研磨量はスライダの研磨量より
多くならないので磁気ヘッド素体のリセソシングは小さ
くなる。その結果、磁気ヘッド素体の浮上面と磁気記録
媒体との間隔は縮小されてスペーシングロスの少ない記
録再生が可能となる。
従って、高密度記録に適した磁気ヘッドを提供できる効
果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例におけるエツチング前の概略断
面図を示し、第２図はエツチング後の概略断面図、第３
図は研磨後の概略断面図である。 １・・・・・・スライダ、２・・・・・・硬物質、４，
１９・・・・・・浮上面、１１・・・・・・磁気ヘッド
素体、２１・・・・・・磁気記録媒体。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）硬物質を含み、磁気記録媒体に対向して移動する
    スライダと、上記媒体の情報の書込み、読出しを行なう
    磁気ヘッド素体とを一体化し、上記スライダ及び磁気ヘ
    ッド素体における浮上面側を研磨するようにした磁気ヘ
    ッドの製造方法において、上記スライダの浮上面側の上
    記硬物質をエッチングして除去してから上記研磨を行な
    うようにしたことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
  2. （２）硬物質はＴｉｃより成ることを特徴とする特許請
    求の範囲第１項記載の磁気ヘッドの製造方法。
  3. （３）エッチングはＣＦ＿４にＯ＿２を加えたガスによ
    り行うことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁
    気ヘッドの製造方法。
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