KR980006408A - 마스크 롬의 제조방법 - Google Patents
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- H10B20/27—ROM only
- H10B20/30—ROM only having the source region and the drain region on the same level, e.g. lateral transistors
- H10B20/38—Doping programmed, e.g. mask ROM
- H10B20/383—Channel doping programmed
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Abstract
본 발명의 전류 레벨을 증가시킬 수 있는 마스크 롬의 제조방법을 개시한다. 본 발명에 따르면, 종래와 같이 마스크 롬에 기판과 동일한 타입의 이온을 주입하여 형성되는 컴펜세이션 트랜지스터를 형성하는 공정 대신, 노말 N모스 트랜지스터 중 선택되는 트랜지스터에 소오스, 드레인과 동일한 타입의 셀 코딩 이온을 미리 형성 시킨 채널과 접하여지도록 주입하여, 노말리 턴온되는 트랜지스터를 형성한다. 이로써, 컴펜세이션 트랜지스터를 형성하는 공정으로 인한 전류 레벨의 감소를 방지하여, 소자의 셀 전류를 증가 시킨다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1a 도 및 제 1c 도는 종래의 낸드형 마스크 롬 제조방법을 설명하기 위하여 나타낸 마스크 롬의 단면도.
제 2a 도 내지 제 2c 도는 본 발명의 낸드형 마스크 롬의 제조방법을 설명하기 위한 각 공정별 단면도.
Claims (4)
- 제1전도 타입의 반도체 기판의 소정 부분에 제2전도 타입의 제1불순물을 소정 깊이로 이온 주입하는 단계; 상기 제1불순물이 주입된 영역 상부에 게이트를 형성하는 단계; 상기 게이트를 도핑 마스크로하여 제1불순물의 주입 영역보다는 얕은 깊이를 갖도록 제2전도 타입의 소오스, 드레인을 형성하는 단계; 상기 전체 구조물 상부에 디플리션 트랜지스터가 형성되어질 영역이 노출되도록 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 노출된 부분에 제2전도 타입의 제2불순물을 제1불순물 영역과 소오스, 드레인 영역 사이에 투사되도록 이온 주입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 롬의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 게이트는, 제1불순물의 주입 영역의 폭보다 소정 부분 적은 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 마스크 롬의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제1불순물은 As 원자 인 것을 특징으로 하는 마스크 롬의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제2불순물은 P31 원자 인 것을 특징으로 하는 마스크 롬의 제조방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960026333A KR980006408A (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 마스크 롬의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960026333A KR980006408A (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 마스크 롬의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980006408A true KR980006408A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66241525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960026333A KR980006408A (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 마스크 롬의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR980006408A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160076671A (ko) | 2014-12-23 | 2016-07-01 | 강민선 | 책 넘김이 용이한 독서대 |
-
1996
- 1996-06-29 KR KR1019960026333A patent/KR980006408A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160076671A (ko) | 2014-12-23 | 2016-07-01 | 강민선 | 책 넘김이 용이한 독서대 |
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