KR970705173A

KR970705173A - 기판반송장치

Info

Publication number: KR970705173A
Application number: KR1019970700748A
Authority: KR
Inventors: 타케바야시 유지; 아카오 토쿠노부; 콘노 요시카즈
Original assignee: 시바타 쇼타로; 고쿠사이 덴키 가부시키가이샤
Priority date: 1995-06-08
Filing date: 1996-06-06
Publication date: 1997-09-06
Also published as: US5957651A; WO1996042108A1; TW367300B; KR100286248B1; EP0776035A1; EP0776035A4

Abstract

반송아암에 부담을 주지않고 기판의 위치결정을 실행할 수 있는 기판반송장치를 제공한다.

기틀(11)에 대하여 선회와 상하동작이 가능하게 설치된 선회축(12)와, 선회축(12)에 회전동작이 가능하게 보기둥( ) 으로 지지된 신축이 가능한 반송아암(ㄹ14)와, 반송아암(14)의 선단부에 설치되어 기판(18)을 올려놓는 기판받이(16)을 구비한다.

기판받이(16)의 하방에 기판받이(16)과 거의 평행으로 배치되는 가이드베이스(20)을 선회축(12)에 고정하고, 가이드베이스(20)을 통해서 기판얼라인멘트기구

(21)을 선회축(12)에 설치한다.

기판얼라인멘트기구(21)은 에어실린더(22)에 연결되는 한쌍의 위치보정부재

(24),(24)를 변위(變位)시키면 위치보정부재(24),(24)가 기판(18)의 위치보정을 실행한다.

Description

기판반송장치.

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제2도는 제1도의 장치의 평면도.

Claims

기틀(11)에 대하여 선회와 상하동작이 가능하게 설치된 선회축(12)와, 선회축에 회전동작이 가능하게 추(樞)지지된 신축이 가능한 반송아암(14)와, 반송아암의 선단부에 설치된 기판받이(16)을 구비하고 그 기판받이(16)위에 기판(18)을 올려놓고 기판을 반송하는 기판반송장치(10)에 있어서, 상기의 기판받이(16)위에 놓여지는 기판(18)의 위치보정을 행하는 기판얼라인멘트기구(21)을, 가이드베이스(20

)을 통해서 선회축에 설치한 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
제1항에 있어서, 상기의 기판얼라인멘트기구(21)은 구동부에 연결되어 기판(18)을 끼고 서로 대항하는 적어도 한쌍의 위치보정부재(24)를 가지며, 각 위치보정부재(24)는 구동부의 구동에 의해서 변위(變位)하여 기판(18)과 맞접할 수 있게 한 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
제1항에 있어서, 상기의 기판얼라인멘트기구(21)은 한편이 가이드베이스(20)에 고정되고 다른편이 구동부에 연결되어 기판(18)을 끼고 서로 대향하는 적어도 한쌍의 위치보정부재(24)를 가지며, 상기의 다른편의 위치보정부재(24)는 구동부의 구동에 의해서 변위하여, 각 위치보정부재(24)는 기판(18)과 맞접할 수 있는 것을 특징으로하는 기판반송장치.
기틀(11)에 대하여 선회와 상하동작이 가능하게 설치된 선회축(12)와, 선회축에 회전동작이 가능하게 추 지지된 신축이 가능한 반송아암(14)와, 반송아암(14)의 선단에 설치된 기판받이(16)을 구비하고, 그 기판받이(16)위에 기판(18)을 올려놓고 기판(18)을 반송하는 기판반송장치에 있어서, 상기 기판받이(16)의 하방에 기판받이와 거의 평행으로 배치되는 가이드베이스(20)을 상기의 선회축(12)에 고정하고, 그 가이드베이스에 지지되는 구동부를 설치하여 상기 기판받이 상방까지 뻗는 위치보정부재(24)를 그 구동부에 연결하고, 상기 구동부의 구동에 의해서 위치보정부재(24)가 변위하여 기판의 위치보정을 실행하는 것을 특징으로하는 기판반송장치.
제2항 내지 제4항의 어느 한 항에 있어서, 상기한 위치보정부재(24)는 직사각형태의 기판(18)에 대하여 대각선상에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
제5항에 있어서, 상기 각 위치보정부재(24)는 직사각형태의 각부(모서리부)

(18a)(19b)에 있어서 인접하는 변에 각각 맞접할 수 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
제2항 내지 제6항의 어느 한 항에 있어서, 상기 위치보정부재(24)의 기판(18)에 맞접하는 기판맞접하는 부(28)은 평면시각으로 원형형태인것을 특징으로 하는 기판반송장치.
제2항 내지 제6항의 어느 한 항에 있어서, 상기의 위치보정부재(24)의 기판(18)에 맞접하는 기판맞접하는 부(28)은 평면시각으로 타원형 형태인것을 특징으로 하는 기판반송장치.
제1항 내지 제8항의 어느 한 항에 있어서, 상기의 기판받이(16)은 반송아암(14)에 설치되는 기초부와 기초부에서 분기되어 선단을 뻗는 복수의 조갑부(16b)를 구비하며, 그 조갑부(16b)는 그 선단부에 있어서 선단을 향해서 폭이 가늘게 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
제9항에 있어서, 상기 조갑부(16b)는 그 선단부에 있어서 선단을 향해서 두께가 얇게 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
제9항 또는 제10항의 어느 한 항에 있어서, 상기 기판받이(16)은 상기 조갑부의 적당한 위치에 복수의 조갑부(16b)를 연결하는 연결부(16c)를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.