KR970062748A - 처리장치 및 처리 방법 - Google Patents

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히가시 데쓰로
동경엘렉트론 가부시키가이샤
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    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • G—PHYSICS
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    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술분야
처리장치 및 처리방법.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
오존을 유효하게 이용하여 피처리체에 부착한 유기오염물을 제거하는 처리장치 및 처리방법을 제공함.
3. 발명의 해결방법의 요지
피처리체를 유지하는 피처리체 유지수단과, 피처리체 및 피처리체 유지수단을 수용하는 처리실과, 피처리체에 대하여 자외선을 조사하는 자외선 조사수단과, 자외선 조사수단을 수용하는 자외선 조사수단실과, 처리실과 자외선 조사수단실을 연이어 통하는 개구를 개폐하는 개폐수단과, 자외선 조사수단의 자외선 조사에 의하여 생성되고, 처리실 내에 존재하는 오존을 배기하는 제1의 배기수단과, 자외선 조사 수단실에 발생하는 오존을 배기하는 제2의 배기수단을 가진 처리장치 및 이것을 사용는 처리방법.
4. 발명의 중요한 용도
LCD기판 등의 피처리체를 도포처리하기 전공정에 사용됨.

Description

처리장치 및 처리방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 관계된 처리장치의 제1실시형태를 나타낸 개략단면도.

Claims (17)

  1. 피처리체를 유지하는 피처리체 유지수단과, 상기 피처리체 및 상기 피처리체 유지수단을 수용하는 처리실과, 상기 피처리체에 대하여 자외선을 조사하는 자외선 조사수단과, 상기 자외선 조사수단을 수용하는 자외선 조사수단실과, 상기 처리실과 상기 자외선 조사수단실을 연이어 통하는 개구를 개폐하는 개폐수단과, 상기 자외선 조사수단의 자외선 조사에 의하여 생성되고, 상기 처리실 내에 존재하는 오존을 배기하는 제1의 배기수단과, 상기 자외선 조사수단실에 발생하는 오존을 배기하는 제2의 배기수단을 구비하는 처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 피처리체 유지수단과 상기 자외선 조사수단이 상대적으로 평행이동 가능하게 설치되어 있는 처리장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 피처리체 유지수단과 상기 자외선 조사수단이 상대적으로 접근ㆍ이격 가능하게 설치되어 있는 처리장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 피처리체 유지수단과 상기 자외선 조사수단이 상대적으로 평행이동 가능함과 함께 상대적으로 접근ㆍ이격 가능하게 설치되어 있는 처리장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 피처리체 유지수단은 가열수단을 가진 처리장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 피처리체 유지수단은 냉각수단을 가진 처리장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 제1의 배기수단은 배기의 정지ㆍ개시를 행하는 개폐기구를 가진 처리장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 제2의 배기수단은 배기의 정지ㆍ개시를 행하는 개폐기구를 가진 처리장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 제2의 배기수단은 상기 자외선 조사수단실 내의 열을 외계로 배출하는 열배기수단을 가진 처리장치.
  10. 피처리체를 처리실 내의 피처리체 유지수단에 얹어놓는 공정과; 상기 피처리체 유지수단과 상기 자외선 조사수단의 적어도 한편을 자외선 조사시의 위치로 이동하는 공정과, 상기 피처리체에 자외선을 조사하는 공정과, 상기 피처리체 유지수단과 상기 자외선 조사수단의 적어도 한편을 상기 자외선 조사시의 위치로부터 벗어나게 하는 공정과, 상기 자외선 조사수단의 자외선 조사에 의하여 생성하고, 상기 처리실 내에 존재하는 오존을 제1의 배기수단에 의하여 배기하는 공정과, 상기 자외선 조사수단을 수용하는 자외선 조사수단실에 발생하는 오존을 제2의 배기수단에 의하여 배기하는 공정을 구비하는 처리방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 피처리체에 자외선을 조사하는 공정은, 상기 처리실과 상기 자외선 조사수단실을 연이어 통하는 개구를 개폐수단에 의하여 닫아두고, 그 상태에서 자외선 조사수단을 작동시키고, 상기 개폐수단에 의하여 개구를 염으로써 행하는 처리방법.
  12. 제10항에 있어서, 상기 자외선 처리수단실 내의 열을 열배기수단에 의하여 밖으로 방출하는 처리방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 열배기수단에 의한 방열을 처리중 항상 행하는 처리방법.
  14. 제10항에 있어서, 상기 피처리체에 자외선을 조사하는 공정에 있어서, 상기 자외선 조사수단을 상기 피처리체의 표면에 대하여 평행하게 이동시키는 처리방법.
  15. 제10항에 있어서, 상기 피처리체에 자외선을 조사하는 공정에 있어서, 상기 피처리체 유지수단과 상기 자외선 조사수단과의 거리를 변화시키는 처리방법.
  16. 제10항에 있어서, 상기 피처리체에 자외선을 조사하는 공정에 있어서, 상기 자외선 조사수단의 자외선조사에 의하여 생성되고, 상기 처리실 내에 존재하는 오존의 배기를 정지하는 처리방법.
  17. 제10항에 있어서, 상기 개폐수단에 의하여 개구를 닫은 상태로 상기 자외선조사수단실 내에 존재하는 오존의 배기를 행하는 처리방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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