JPS6389162A - 滅菌処理装置 - Google Patents

滅菌処理装置

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JPS6389162A
JPS6389162A JP23591286A JP23591286A JPS6389162A JP S6389162 A JPS6389162 A JP S6389162A JP 23591286 A JP23591286 A JP 23591286A JP 23591286 A JP23591286 A JP 23591286A JP S6389162 A JPS6389162 A JP S6389162A
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JP
Japan
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plasma
processing chamber
sterilization
valve
introduction pipe
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Pending
Application number
JP23591286A
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English (en)
Inventor
健一 小島
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PLASMA SYST KK
PLASMA SYSTEM
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PLASMA SYST KK
PLASMA SYSTEM
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Publication date
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  • Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、滅菌処理装置に関し、更に詳しくは、プラズ
マを利用して、被処理物、例えば医療用器具等に対し、
短時間で完全な滅菌処理を行う装置に関するものである
〔従来の技術〕
従来よりこの種滅菌処理装置には各種の滅菌方法を用い
たものが提案され、また実用にも供されている。
その主なるものは、蒸気加熱、ヒーター乾式加熱、オゾ
ン及び紫外光等を利用したものである。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、これら装置の内、蒸気加熱及びヒーター
乾式加熱方式の装置は基本的には温度を上げることによ
って滅菌しようとするものである。
したがって、高温にも強い菌を完全に殺すことはできな
かった。
また、オゾン及び紫外光を利用した装置ではオゾンの化
学反応力、紫外光方式では紫外線の持つ殺菌力により滅
菌処理を行っている。
これらの装置においても、オゾン及び紫外光が当たらぬ
影の部分や被処理物が重なった部分では完全な滅菌が行
われないという問題点があり、また、完全な滅菌をしよ
うとすると長い時間をかけねばならず、処理効率が低下
するという問題点があった。
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みなされたもので、
その目的とするところは、短時間で完全な、高効率の滅
菌処理を行うことができる滅菌処理装置を提供すること
にある。
〔問題点を解決するための手段〕
この目的を達成するための、本発明は、プラズマ発生用
ガス導入管と真空排気管を有する処理室と、該処理室内
にプラズマを発生させるプラズマ発生手段とを備え、該
手段によるプラズマによって被処理物に対する滅菌処理
を行う構成を特徴とするものである。
〔実施例〕
以下1本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
本発明装置は、プラズマを利用して完全滅菌を行うもの
で、該プラズマを発生させるための手段としては種々あ
って特に限定はされないが、本実施例ではその主なる手
段としてマイクロ波と高周波を用いた場合を図示し、説
明する。
第1図はマイクロ波を用いた滅菌処理装置の概略構成図
で、図中1は処理室、2は開閉蓋、3はバルブ4を介し
て処理室1内にプラズマ発生用ガス(大気も含む)、好
ましくはO,(酸素) を導入するためのプラズマ発生
用ガス導入管(以下、ガス導入管という)、5はバルブ
6を介して処理室1内に大気を導入するための大気導入
管、7はバルブ8を介して処理室1内を真空排気するた
めの真空排気管、9は放電管、10は導波管、11はマ
イクロ波発振部、12は駆動電源を示す。
かかる構成に係る装置により被処理物の滅菌処理を行う
には、先ず、蓋2を開け、被処理物13を入れたパケッ
ト14を処理室1内に定置して蓋2を密閉する。次いで
、真空ポンプ(図示しない)を動作させ、真空排気管7
、バルブ8を介して処理室1内を所定の真空度にした後
、規定量のプラズマ発生用ガス、好ましくはO,(酸素
)をガス導入管3、バルブ4を介して処理室1内に導入
する0次いで、駆動電源12を動作させてマイクロ波発
振部11を動作させると導波管1oを介して放電管9よ
りプラズマが発生し、被処理物13に対する滅菌処理が
開始される。
所定の時間が経過したら、バルブ4を閉じてガス導入管
3よりのプラズマ発生用ガスの導入を停止し、駆動電源
12の動作を停止して、マイクロ波発振部11の動作を
停止する。次いで、真空ポンプの動作を停止し、処理室
1内を大気圧に戻すため、バルブ6を開け、大気導入管
5より細菌除去フィルター(図示しない)を介して大気
を導入して処理室1内を大気圧にした後、蓋2を開け。
パケット14を処理室1内より取り出し、被処理物13
に対する滅菌処理を完了する。
以上の説明に係る装置は、処理室1内でプラズマを発生
させ、これにより滅菌処理を行うものであるが、プラズ
マはこれを第2図に示すように。
外部部分15で発生させて、これを処理室1内に導入す
ることも可能である。
なお、第2図において、第1図との対応部分には同一符
号を附しである。
次に、高周波を用いた本発明装置を第3図から第5図に
示す概略構成図に基づいて説明する。
第3図はバレル型対向電極方式であって1図中20は横
形円筒処理室、21は開閉蓋、22はバルブ23を介し
て処理室20内にプラズマ発生用ガスを導入するガス導
入管、24はバルブ25を介してガス導入管22と連通
され、処理室20内を大気圧に戻すための大気導入管、
26はバルブ27を介して処理室20内を真空排気する
ための真空排気管、28.29は処理室20の外周に配
設された高周波電極、30は高周波電源を示す。
かから構成される装置により被処理物の滅菌処理を行う
手順につき説明すると、先ず、蓋21を開け、被処理物
13を入れたパケット14を処理室2o内に定置して蓋
21を密閉する。
次いで、真空ポンプ(図示しない)を動作させ、真空排
気管26、バルブ27を介して処理室20内を所定の真
空度にした後、規定量のプラズマ発生用ガスをガス導入
管22、バルブ23を介して処理室20内に導入する0
次いで、高周波電源30より電極28.29に高周波電
力を印加すると、処理室20内にてプラズマ放電が起き
てプラズマが発生し、被処理物13に対する滅菌処理が
開始される。
所定の時間が経過したら、バルブ23を閉じてガス導入
管22よりのプラズマ発生用ガスの導入を停止し、高周
波電源3oの動作を停止する。
ついで、真空ポンプの動作を停止し、バルブ25を開い
て、大気導入管24より細菌除去フィルター(図示しな
い)を介して処理室20内に大気を導入して処理室20
内を大気圧に戻した後、蓋21を開け、パケット14を
処理室20内より取り出し、被処理物13に対する滅菌
処理を完了する。
第4図は高周波を用いた平行平板型の内部電極方式の滅
菌処理装置の概略構成図であって、第3図との対応部分
には同一符号を附し、その構成説明は省略する。また、
当該装置による滅菌処理手順も前記バレル型対向電極方
式のそれと同じであるため手順説明は省略する。
なお、前記の高周波を用いた装置において、その高周波
電極28.29の配置は、特に図示しないが、処理室2
0の外部と内部に配置の外部電極方式と内部電極方式、
処理室20の外周に配置の誘導方式等、公知の全ての電
極方式を含むものである。
また、高周波を用いた本発明装置においても、前記マイ
クロ波を用いた場合と同様に、第5図に示すように、プ
ラズマを外部部分31で発生させて、これを処理室20
内に導入することも可能で ゛ある。
以上、本発明装置は、真空処理室内において、被処理物
に対してプラズマ発生手段により得られたプラズマによ
って滅菌処理を行うものであるが、該プラズマによって
充分な滅菌効果が得られるのは次のような理由によるも
のである。
■ プラズマ状態で発生する高速粒子の作用による。
すなわち、プラズマ中では電子、イオン、高速中性粒子
が高速で運動しており、これらは半導体基板(シリコン
)のような硬い材料にもダメージを与える種々のエネル
ギーを持っている。
このため、これら高速粒子が菌に当ると瞬時に菌は破壊
されてしまう。
■ 特に、プラズマ発生用ガスとして02(酸素)を用
いた場合1周知のように、半導体の製造工程の一種、ア
ッシング(ホトレジスト等を灰化すること)処理に使用
されている。0□プラズマ中に生じた原子状a素Oと高
分子樹脂とは、下記の化学反応により、CO2とH,O
に分解気化する。
Cx Hy + O−+G O、十H,○よって、特に
02プラズマを用いた場合、殆どの菌は短時間の内に分
解気化してしまう。
■ プラズマ状態で発生する紫外線の作用による。
すなわち、高分子材料の表面改質に利用される程強力な
紫外線を放出し、その波長も通常の紫外線ランプからの
ものより波長が短く、強い殺菌力を有している。
■ 処理室内を真空に近くすることで、菌自身の持つ内
圧でほぼ全ての細胞が破壊する。
〔発明の効果〕
しかして、本発明によれば、プラズマ発生用ガス導入管
と真空排気管を有する処理室と、該処理室内にプラズマ
を発生させるプラズマ発生手段とを備え、該プラズマ発
生手段により得られたプラズマによって被処理物の滅菌
処理を行うものであるから、プラズマの有する強力なる
滅菌作用によって、被処理物に対し、従来に比し、きわ
めて短時間で、かつ完全なる滅菌処理を行うことができ
るものである。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の実施例を示すもので、第1図はマイクロ
波を用いた本発明装置の一例での概略構成図、第2図は
マイクロ波を用いた本発明装置の他例を示す概略構成図
、第3図及び第4図は高周波を用いた本発明装置の概略
構成図、第5図は高周波を用いた本発明装置の他例を示
す概略構成図である。 1.20・・・処理室 2.21・・・蓋 3.22・・・プラズマ発生用ガス導入管8.26・・
・真空排気管 9・・・放電管 10・・・導波管 11・・・マイクロ波発振部 12・・・駆動電源 28.29・・・高周波電極 30・・・高周波電源

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、プラズマ発生用ガス導入管と真空排気管を有する処
    理室と、該処理室内にプラズマを発生させるプラズマ発
    生手段とを備え、該プラズマ発生手段によるプラズマに
    よって被処理物に対する滅菌処理を行う構成を特徴とす
    る滅菌処理装置。
JP23591286A 1986-10-03 1986-10-03 滅菌処理装置 Pending JPS6389162A (ja)

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